JP3334983B2 - 金属製シール材を用いた流体用機器を構成する金属製部材のシール方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、主に半導体製造プラン
ト等の流体輸送ラインに介設されるバルブ、圧力計、流
量計及びフィルター等に用いられる金属製ダイヤフラム
や金属製パッキン等の板状の金属製シール材のシール方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体製造プラント等の流体輸
送ラインに介設される高純度ガス用のバルブには、シー
ル材として金属製ダイヤフラムや金属製パッキンが使用
されて居り、これらによって流体の漏洩を防止するよう
にしている。図５は半導体製造プラントの流体輸送ライ
ンに介設されるライン逆止弁の拡大縦断面図を示し、シ
ール材に金属製ダイヤフラムを使用したものである。
又、図６は同じく流体輸送ラインに介設されるダイヤフ
ラム型流体制御弁の拡大縦断面図を示し、シール材に板
状の金属製パッキンを使用したものである。

【０００３】即ち、前者のライン逆止弁は、流入通路３
０を有する上流側本体３１と、流出通路３２を有し、上
流側本体３１との間に弁室３３を形成する下流側本体３
４と、上流側本体３１に取り付けられ、流入通路３０と
弁室３３とを連通する連絡通路３５を有する静止シール
体３６と、静止シール体３６に取り付けられたシール部
材３７と、弁室３３内に配置され、両本体３１，３４に
挾持される環状の金属製ダイヤフラム３８と、金属製ダ
イヤフラム３８の内周縁部に固着され、シール部材３７
に当離座する筒状の可動シール体３９と、両本体３１，
３４を締め付け固定するユニオンナット４０等から構成
されている。又、シール材となる金属製ダイヤフラム３
８は、上流側本体３１の雄ネジ部３１ａにユニオンナッ
ト４０を螺着して両本体３１，３４を締め付けることに
よって、上流側本体３１と下流側本体３４とで気密状に
挾圧保持されている。

【０００４】一方、後者のバルブは、弁室４１を有する
ボディ４２と、ボディ４２に嵌合され、弁室４１に連通
する流入通路４３及び弁室４１内に位置する弁座４４を
有する上流側本体４５と、ボディ４２に嵌合され、弁室
４１に連通する流出通路４６を有する下流側本体４７
と、ボディ４２と両本体４５，４７との間に介設された
板状の環状の金属製パッキン４８と、ボディ４２と両本
体４５，４７とを締め付け固定する押え板４９及びボル
ト５０と、弁室４１を覆うべくボディ４２の上面に固定
され、挿通孔５１ａを有するダイヤフラムクランプ５１
と、弁室４１内に縦向きに配設され、上端部がダイヤフ
ラムクランプ５１に固定されたスラストピン５２と、ス
ラストピン５２の下端部に固着され、弁座４４に当離座
する弁体５３と、スラストピン５２を挿通せしめて弁室
４１内に縦向きに配設され、上端部がダイヤフラムクラ
ンプ５１の挿通孔５１ａに挿通されると共に下端部が弁
体５３へ固着されたスラストピンハウジング５４と、外
周縁部がボディ４２とダイヤフラムクランプ５１との間
に挾持固定され、内周縁部がスラストピンハウジング５
４に固着されたダイヤフラム５５と、ダイヤフラムクラ
ンプ５１に固定板５６を介して支持固定され、駆動軸５
７ａを有するアクチュエータ５７と、アクチュエータ５
７の駆動軸５７ａと対向する位置に縦向きに配設され、
上端部が固定板５６にスライド自在に支持されると共に
下端部がスラストピンハウジング５４の上端部に連結さ
れた駆動レバー５８等から構成されている。又、シール
材となる金属製パッキン４８は、押え板４９及びボルト
５０でボディ４２と上流側本体４５及び下流側本体４７
とを締め付けることによって、ボディ４２と両本体４
５，４７とで気密状に挾圧保持されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従前の金属
製シール材のシール方法は、何れも金属製ダイヤフラム
３８や金属製パッキン４８のシール材をこれを収容する
部材で挾み、ユニオンナット４０やボルト５０等を用い
て前記部材を締め付け、シール材を気密状に挾圧保持す
るようにしている為、部品点数が増えてコストの高騰を
招くと共に、製品自体の小型化を図れないと云う問題が
あった。又、ユニオンナット４０やボルト５０等を用い
た場合には、長期間の使用によってネジが弛むことがあ
り、これに伴ってシール性が著しく低下すると云う問題
があった。更に、錆の発生等を防止する為にネジ部に油
を使用することもあり、この場合には油が流路内に混入
して管路が汚損されると云う問題もあった。

【０００６】本発明は、上記の問題点を解消する為に創
案されたものであり、その目的は部品点数の削減や製品
の小型化を図れると共に、シール性の低下等を来さない
金属製シール材のシール方法を提供するにある。

【０００７】本件発明は、中央部に小径の突部を形成し
た流体用機器を構成する金属製部材と、中央部に小径の
凹部を形成した流体用機器を構成する金属製部材とを前
者の突部を後者の凹部の内方へ挿入することにより組み
合わせ、前記突部の前端面の外周縁部に環状に形成した
突条と前記凹部の前端面の外周縁部に環状に形成したテ
ーパー面との間又は前記突部の前端面の外周縁部に環状
に形成したテーパー面と前記凹部の前端面の外周縁部に
環状に形成した突条との間に板状の金属製シール材又は
金属製ダイヤフラムの外周縁部から成る板状の金属製シ
ール材を介在させた状態で、前者の金属製部材の大径部
の前端面と後者の金属製部材の大径部の前端面とを当接
させると共に、両金属製部材の前記当接部分の外周を前
記金属製シール材に熱歪みを与えることなしに溶接し、
溶接後の両金属製部材の収縮変形を利用して前記金属製
シール材を前記環状のテーパー面と環状の突状との間で
気密状に挟圧保持するようにしたことを発明の基本構成
とするものである。

【０００８】

【作用】金属製ダイヤフラムや金属製パッキン等の金属
製シール材を、一方の金属製部材に形成したテーパ面と
他方の金属製部材に形成した突条とで挾む。次に、金属
製部材同志を溶接する。即ち、金属製部材を溶接する個
所は、金属製シール材が熱の影響を受けない個所で且つ
溶接による収縮変形の方向が金属製シール材を挾持する
方向と同一になるような個所を溶接する。そうすると、
金属製部材の溶接部近傍は、温度上昇によって膨張し、
続いて起こる冷却によって収縮が生じる。その結果、金
属製部材同志が締め付けられ、金属製シール材はテーパ
面と突条とで確実且つ強固に挾圧保持されることなる。
特に、金属製シール材をテーパ面と突条とで挾圧してい
る為、より高い気密性の確保が可能となる。本発明の方
法では、溶接による金属製部材の収縮変形を利用して金
属製シール材を金属製部材で締め付けるようにしている
為、従来のように金属製シール材をナットやボルト等で
締め付ける方法に比較して、部品点数が削減してコスト
低減を図れると共に、製品自体の小型化を図れる。然
も、ネジの弛みによるシール性の低下が皆無になる等、
優れた効果を発揮することができる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図１は本発明の金属製シール材のシール方
法を用いたライン逆止弁の拡大縦断面図であり、当該ラ
イン逆止弁は、上流側本体１、下流側本体２、静止シー
ル体３、シール部材４、金属製ダイヤフラム５及び可動
シール体６から構成されて居り、金属製シール材に金属
製ダイヤフラム５を使用したものである。

【００１０】前記上流側本体１は、ステンレス鋼等の金
属製部材により断面形状が略Ｔ字型に形成されて居り、
中心軸線上には直線状の流入通路７が、下流側には流入
通路７に直交する断面形状略凹状の上流側壁面Ｗ１が夫
々形成されている。又、上流側壁面Ｗ１の外周縁部に
は、図２に示すように後述する金属製ダイヤフラム５の
外周縁部を気密状に押圧保持する為の環状の突条１ａが
形成されている。更に、上流側壁面Ｗ１の外側部位に
は、下流側方向へ突出して下流側本体２の上流側外周面
に嵌合される筒部１ｂが一体的に形成されて居り、当該
筒部１ｂの内方に下流側本体２の上流側端部や金属製ダ
イヤフラム５が夫々挿着される。

【００１１】前記下流側本体２は、ステンレス鋼等の金
属製部材により断面形状が略Ｔ字型に形成されて居り、
中心軸線上には流入通路７と同一直線上に位置する流出
通路８が、上流側本体１の上流側壁面Ｗ１に対向する面
には上流側壁面Ｗ１との間に弁室９を形成する為の断面
形状略凹状の下流側壁面Ｗ２が夫々形成されている。
又、下流側壁面Ｗ２の外周縁部には、図２に示すように
上流側本体１の突条１ａに対向するテーパ面２ａが形成
されて居り、これによって金属製ダイヤフラム５の気密
挾持が行われる。更に、下流側本体２の上流側端部に
は、上流側本体１の筒部１ｂ内に嵌合される小径部２ｂ
と筒部１ｂの端面に当接する大径部２ｃが夫々一体的に
形成されている。尚、大径部２ｃの外径は、筒部１ｂの
外径と同一に設定されている。

【００１２】前記静止シール体３は、ステンレス鋼等の
金属製部材により下流側が閉塞された略筒状に形成され
て居り、上流側に形成した挿入筒部３ａを流入通路７の
下流側に挿入してカシメ固定することによって、上流側
本体１の窪み部に収納固定されている。又、静止シール
体３の下流側面には、後述するシール部材４を挿着する
為の環状の溝３ｂと、シール部材４を押圧する金属製押
えリング１０を固定する為のカシメ体３ｃとが夫々形成
されている。更に、静止シール体３の周壁部には、流入
通路７と弁室９とを連通する複数の連絡通路３ｄが等角
度毎に穿設されている。

【００１３】前記シール部材４は、或る程度以上の弾性
を有するゴムやプラスチック等により環状に形成されて
居り、静止シール体３の環状の溝３ｂに圧入保持されて
いる。即ち、当該シール部材４は、溝３ｂ内へシール部
材４を挿入した後、押えリング１０を溝３ｂの内周縁側
に挿着し、最後にカシメ体３ｃを折り曲げることによ
り、溝３ｂ内に圧入固定されている。

【００１４】前記ダイヤフラム５は、ステンレス鋼やイ
ンコネル（商標名）等の金属製薄板により環状に形成さ
れて居り、その外周縁部には、下流側へ向けて二段に折
り曲げられた係止片５ａが形成されている。又、ダイヤ
フラム５は、その係止片５ａが図２に示すように下流側
本体２のテーパ面２ａへ係合され、テーパ面２ａと下流
側本体２の突条１ａとの間で気密状に挾圧保持されるこ
とによって、軸線方向へ変形可能になっている。尚、ダ
イヤフラム５は、無圧状態に於いては平板形態に保持さ
れている。

【００１５】前記可動シール体６は、ステンレス鋼等の
金属製部材により略筒状に形成されて居り、ダイヤフラ
ム５の内周縁部に溶着され、上流側の端面がシール部材
４に当離座するようになっている。尚、ダイヤフラム５
が平板形態に保持される無圧状態に於いては、可動シー
ル体６はシール部材４へ極軽く当接した状態になってい
る。

【００１６】以上のように構成されたライン逆止弁にあ
っては、流入通路７に流体が流入すると、ダイヤフラム
５がその両面に作用する圧力差によって下流側壁面Ｗ２
方向に押圧されて変形し、可動シール体６がシール部材
４から離れる。その結果、流入通路７と流出通路８との
間が連通され、流体は流入通路７から連絡通路３ｄ及び
弁室９を経て流出通路８へと流れる。又、流体が逆流し
たときには、ダイヤフラム５がその両面に作用する圧力
差によって上流側壁面Ｗ１方向に押圧され、可動シール
体６がシール部材４に強く当接する。その結果、流入通
路７と流出通路８との間の連通が遮断され、流出通路８
から流入通路７への逆流が阻止される。尚、ダイヤフラ
ム５に過大な流体圧が掛かった場合でも、ダイヤフラム
５は上流側壁面Ｗ１や下流側壁面Ｗ２に当接して支持さ
れる為、過大に変形することはない。

【００１７】次に、金属製ダイヤフラム５を上流側本体
１と下流側本体２とで気密状に挾圧保持する場合につい
て説明する。先ず、上流側本体１の上流側壁面Ｗ１と下
流側本体２の下流側壁面Ｗ２との間に可動シール体６を
溶着したダイヤフラム５を配置し、上流側本体１の筒部
１ｂを下流側本体２の小径部２ｂに嵌合して両本体１，
２でダイヤフラム５を挾み込む。このとき、ダイヤフラ
ム５の係止片５ａは、上流側本体１の突条１ａと下流側
本体２のテーパ面２ａとの間で挾持された格好になって
いる。又、筒部１ｂの端面と下流側本体２の端面とは当
接状態になっている。次に、図示していないが、自動溶
接装置（例えば自動ＴＩＧ溶接装置等）によって、上流
側本体１と下流側本体２とを溶接する。このとき、両本
体１，２を溶接する個所は、金属製ダイヤフラム５が熱
の影響を受けない個所で且つ溶接による収縮変形の方向
がダイヤフラム５を挾持する方向と同一になるような個
所を溶接する。即ち、本実施例では、筒部１ｂと大径部
２ｃの突き合わせ部分を全周に亘って溶接する。そうす
ると、両本体１，２の溶接部Ｗ近傍は、温度上昇によっ
て膨張し、続いて起こる冷却によって収縮が生じる。そ
の結果、上流側本体１と下流側本体２とが図１の矢印方
向へ締め付けられ、ダイヤフラム５の外周縁部（係止片
５ａ）は突条１ａとテーパ面２ａとで確実且つ強固に挾
圧保持されることなる。特に、ダイヤフラム５の外周縁
部をテーパ面２ａと突条１ａとで挾圧している為、より
高い気密性の確保が可能となる。尚、溶接条件やシール
部の寸法・形状等は、溶接による収縮方向がダイヤフラ
ム５を挾持する方向と同一になること、ダイヤフラム５
が熱の影響を受けないこと、シール部の締め代よりも溶
接による収縮変形の量が大きくなること、等の条件を充
足するように設定することは勿論である。

【００１８】本発明のシール方法を用いたライン逆止弁
は、シール用のダイヤフラム５を溶接による収縮変形を
利用して上流側本体１と下流側本体２とで締め付けるよ
うにしている為、ダイヤフラム５及び両本体１，２を締
め付ける為の部品（ナットやボルト等）が不要になり、
部品点数が削減してコスト低減を図れると共に、弁自体
の小型化を図れる。然も、ネジによる締め付けがない
為、ネジの弛みによるシール性の低下もなく、確実なシ
ールを行える。又、シール材として溶接が困難な材質の
ダイヤフラム５も使用することができ、至極便利であ
る。更に、両本体１，２を溶接する個所はダイヤフラム
５が熱の影響を受けない個所を溶接している為、ダイヤ
フラム５が熱によって変形したり、組成が変化したりす
ると云うこともない。そのうえ、ダイヤフラム５が熱の
影響を受けないように溶接部分の肉厚を厚くしている
為、耐圧性や強度が不足すると云うこともない。加え
て、溶接条件や溶接部の寸法・形状等によって両本体
１，２の収縮変形力を変えることができ、適宜の締め付
け力でシール材を挾圧保持することができる。

【００１９】図３は本発明の金属製シール材のシール方
法を用いたダイヤフラム型流体制御弁の拡大縦断面図で
あり、シール材に板状の金属製パッキンを使用したもの
である。当該制御弁は、弁室１１、弁室１１に連通する
深穴１２及び弁室１１に連通する流出通路１３を有する
ボディ１４と、ボディ１４の深穴１２に嵌合され、弁室
１１に連通する流入通路１５及び弁室１１内に位置する
弁座１６を有する上流側本体１７と、ボディ１４と上流
側本体１７との間に介設された板状の環状の金属製パッ
キン１８と、弁室１１を覆うべくボディ１４の上面に固
定され、挿通孔１９ａを有するダイヤフラムクランプ１
９と、弁室１１内に縦向きに配設され、上端部がダイヤ
フラムクランプ１９に固定されたスラストピン２０と、
スラストピン２０の下端部に固着され、弁座１６に当離
座する弁体２１と、スラストピン２０を挿通せしめて弁
室１１内に縦向きに配設され、上端部がダイヤフラムク
ランプ１９の挿通孔１９ａに挿通されると共に下端部が
弁体２１へ固着されたスラストピンハウジング２２と、
外周縁部がボディ１４とダイヤフラムクランプ１９との
間に挾持固定され、内周縁部がスラストピンハウジング
２２に固着されたダイヤフラム２３と、ダイヤフラムク
ランプ１９に固定板２４を介して支持固定され、駆動軸
２５ａを有するアクチュエータ２５と、アクチュエータ
２５の駆動軸２５ａと対向する位置に縦向きに配設さ
れ、上端部が固定板２４にスライド自在に支持されると
共に下端部がスラストピンハウジング２２の上端部に連
結された駆動レバー２６と、駆動レバー２６の引き戻し
用スプリング２７等から構成されている。又、シール材
となる金属製パッキン１８は、深穴１２内に形成したテ
ーパ面１２ａと上流側本体１７に形成した環状の突条１
７ａとで気密状に挾圧保持されている。更に、上流側本
体１７の外周面には、ボディ１４の端面に対向するフラ
ンジ部１７ｂが形成されている。

【００２０】以上のように構成された流体制御弁にあっ
ては、弁体２１が弁座１６に当接している状態から、ア
クチュエータ２５の駆動軸２５ａが突出すると、駆動レ
バー２６と弁体２１とスラストピン２０との連結体は、
スラストピン２０の略中間位置を中心点とする回転運動
をし、駆動レバー２６の下端部は矢印ａ方向へ、また弁
体２１は矢印ｂ方向へ回動する。その結果、弁体２１は
弁座１６から離れて開弁状態となる。反対にアクチュエ
ータ２５の駆動軸２５ａが引っ込むと、引き戻し用スプ
リングの弾性力によって駆動レバー２６と弁体２１とス
ラストピン２０との連結体は、スラストピン２０の略中
間位置を中心点とする回転運動をし、駆動レバー２６の
下端部は矢印ａ反対方向へ、また弁体２１は矢印ｂ反対
方向へ回動する。その結果、弁体２１は弁座１６へ当接
して閉弁状態となる。

【００２１】次に、金属製パッキン１８をボディ１４と
上流側本体１７とで気密状に挾圧保持する場合について
説明する。先ず、上流側本体１７の深穴１２内に金属製
パッキン１８と上流側本体１７の下流側端部を挿入し、
上流側本体１７の突条１７ａと深穴１２内のテーパ面１
２ａとで金属製パッキン１８を挾む。このとき、上流側
本体１７のフランジ部１７ｂは、ボディ１４の端面に近
接状態になっている。次に、図示していないが、自動溶
接装置（例えば自動ＴＩＧ溶接装置等）によって、ボデ
ィ１４と上流側本体１７とを溶接する。このとき、溶接
する個所は、金属製パッキン１８が熱の影響を受けない
個所で且つ溶接による収縮変形の方向が金属製パッキン
１８を挾持する方向と同一になるような個所を溶接す
る。即ち、本実施例では、フランジ部１７ｂとボディ１
４の端面との突き合わせ部分を全周に亘って溶接する。
そうすると、溶接部Ｗ近傍は、温度上昇によって膨張
し、続いて起こる冷却によって収縮が生じる。その結
果、ボディ１４と上流側本体１７とが締め付けられ、金
属製パッキン１８は突条１７ａとテーパ面１２ａとで確
実且つ強固に挾圧保持されることなる。特に、金属製パ
ッキン１８をテーパ面１２ａと突条１７ａとの間で挾着
している為、より高度な気密性の確保が可能となる。

【００２２】本発明のシール方法を用いた流体制御弁
は、シール用の金属製パッキン１８を溶接による収縮変
形を利用してボディ１４と上流側本体１７とで締め付け
るようにしている為、金属製パッキン１８等を締め付け
る為の部品（ボルト等）が不要になり、部品点数が削減
してコスト低減を図れると共に、弁自体の小型化を図れ
る。又、ネジによる締め付けがない為、ネジの弛みによ
るシール性の低下もなく、確実なシールを行える。更
に、ボディ１４と上流側本体１７とは部分的に溶融され
る為、溶接後の狂いが殆どなく、同軸度等が保持され
る。そのうえ、上流側本体１７の端部（突条１７ａ）と
深穴１２内の底部（テーパ面１２ａ）との間を金属製パ
ッキン１８でシールし、上流側本体１７のフランジ部１
７ｂと深穴１２の開口部との間を溶接によりシールして
いる為、嵌め合い部や突き当て部があっても、この部分
がガス溜まりになると云うこともない。

【００２３】

【発明の効果】上述の通り、請求項１に記載の発明で
は、板状の金属製シール材をこれを収容する金属製部材
で挾持し、金属製部材の金属製シール材が熱の影響を受
けない個所で且つ溶接による収縮方向が金属製シール材
の挾持方向と同一になるような個所を溶接し、溶接によ
る金属製部材の収縮変形を利用して金属製シール材を気
密状に挾圧保持するようにしている。その結果、次のよ
うな効果を奏することができる。 （１）金属製シール材をナットやボルト等で締め付ける
従来の方法に比較して、部品点数が削減してコスト低減
を図れると共に、製品自体の小型化を図れる。 （２）ナットやボルト等を使用していない為、ネジの弛
みによるシール性の低下がなく、シールを確実に行え
る。然も、製品が不用意に分解されると云うこともな
い。 （３）錆の発生等を防止する為にネジ部に油を使用する
こともなく、油が流路内に混入して管路が汚損されると
云う問題もない。 （４）溶接による収縮変形力を利用してシール材を締め
付けるようにしている為、溶接ができない材質の金属製
シール材も使用でき、至極便利である。 （５）金属製部材を溶接する個所は、金属製シール材が
熱の影響を受けない個所を溶接している為、金属製シー
ル材が熱によって変形したり、組成が変化したりすると
云うこともない。 （６）金属製シール材が熱の影響を受けないように溶接
部分の肉厚を厚くしている為、耐圧性や強度が不足する
と云うこともない。 （７）溶接条件や溶接部の寸法・形状等によって溶接に
よる金属製部材の収縮変形力を変えることができる。そ
の結果、適宜の締め付け力で金属製シール材を挾圧保持
することができ、至極便利である。 （８）金属製部材同志は部分的に溶融される為、溶接後
の狂いが殆どなく、同軸度等が保持される。

【００２４】又、請求項２に記載の発明では、上記効果
に加えて、更に次のような効果を奏し得る。即ち、請求
項２の発明では、金属製シール材を一方の金属製部材に
形成したテーパ面と他方の金属製部材に形成した突条と
で挾持するようにしている為、より高い気密性の確保が
可能となる。その結果、取り扱い流体が高圧であって
も、流体が漏洩し難く、シール性に極めて優れている。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のシール方法を用いたライン逆止弁の拡
大縦断面図である。

【図２】図１のＡ部の拡大詳細図である。

【図３】本発明のシール方法を用いたダイヤフラム型流
体制御弁の拡大縦断面図である。

【図４】図３のＢ部の拡大詳細図である。

【図５】従来のシール方法を用いたライン逆止弁の拡大
縦断面図である。

【図６】従来のシール方法を用いた流体制御弁の拡大縦
断面図である。

【符号の説明】

１は上流側本体、１ａは突条、２は下流側本体、２ａは
テーパ面、５は金属製ダイヤフラム、１２ａはテーパ
面、１４はボディ、１７は上流側本体、１７ａは突条、
１８は金属製パッキン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F16J 3/00 - 3/06 F16J 15/16 - 15/30 F16J 15/46 - 15/52

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 中央部に小径の突部を形成した流体用機
   器を構成する金属製部材と、中央部に小径の凹部を形成
   した流体用機器を構成する金属製部材とを前者の突部を
   後者の凹部の内方へ挿入することにより組み合わせ、前
   記突部の前端面の外周縁部に環状に形成した突条と前記
   凹部の前端面の外周縁部に環状に形成したテーパー面と
   の間又は前記突部の前端面の外周縁部に環状に形成した
   テーパー面と前記凹部の前端面の外周縁部に環状に形成
   した突条との間に板状の金属製シール材又は金属製ダイ
   ヤフラムの外周縁部から成る板状の金属製シール材を介
   在させた状態で、前者の金属製部材の大径部の前端面と
   後者の金属製部材の大径部の前端面とを当接させると共
   に、両金属製部材の前記当接部分の外周を前記金属製シ
   ール材に熱歪みを与えることなしに溶接し、溶接後の両
   金属製部材の収縮変形を利用して前記金属製シール材を
   前記環状のテーパー面と環状の突状との間で気密状に挟
   圧保持するようにしたことを特徴とする金属製シール材
   を用いた流体用機器を構成する金属製部材のシール方
   法。