JP3369523B2 - 逆止弁 - Google Patents
逆止弁Info
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- JP3369523B2 JP3369523B2 JP36900499A JP36900499A JP3369523B2 JP 3369523 B2 JP3369523 B2 JP 3369523B2 JP 36900499 A JP36900499 A JP 36900499A JP 36900499 A JP36900499 A JP 36900499A JP 3369523 B2 JP3369523 B2 JP 3369523B2
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- valve
- spring
- check valve
- main body
- valve body
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F1/00—Springs
- F16F1/02—Springs made of steel or other material having low internal friction; Wound, torsion, leaf, cup, ring or the like springs, the material of the spring not being relevant
- F16F1/04—Wound springs
- F16F1/06—Wound springs with turns lying in cylindrical surfaces
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K15/00—Check valves
- F16K15/02—Check valves with guided rigid valve members
- F16K15/025—Check valves with guided rigid valve members the valve being loaded by a spring
- F16K15/026—Check valves with guided rigid valve members the valve being loaded by a spring the valve member being a movable body around which the medium flows when the valve is open
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
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- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/7722—Line condition change responsive valves
- Y10T137/7837—Direct response valves [i.e., check valve type]
- Y10T137/7854—In couplings for coaxial conduits, e.g., drill pipe check valves
- Y10T137/7856—Valve seat formed on or carried by a coupling element
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- Y10T137/7904—Reciprocating valves
- Y10T137/7922—Spring biased
- Y10T137/7929—Spring coaxial with valve
- Y10T137/7937—Cage-type guide for stemless valves
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Check Valves (AREA)
- Valve Housings (AREA)
- Lift Valve (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
プロセス等において洗浄液や腐食性溶液などが流れる配
管に介装される合成樹脂製の逆止弁に関するものであ
る。
プロセス等において洗浄液や腐食性溶液などが流れる配
管に介装される合成樹脂製の逆止弁に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造プロセスにおける洗浄工程や
エッチング工程において、洗浄液やエッチング液等を供
給する配管に介装される逆止弁は、高度のクリーン度が
要求される。特に、金属イオンによる汚染が発生しない
ように、このような配管に介装される逆止弁は、フッ素
樹脂（例えばＰＦＡやＰＰ、ＰＥ）などの耐蝕性・耐摩
耗性に優れた合成樹脂で作製されている。
エッチング工程において、洗浄液やエッチング液等を供
給する配管に介装される逆止弁は、高度のクリーン度が
要求される。特に、金属イオンによる汚染が発生しない
ように、このような配管に介装される逆止弁は、フッ素
樹脂（例えばＰＦＡやＰＰ、ＰＥ）などの耐蝕性・耐摩
耗性に優れた合成樹脂で作製されている。
【０００３】このような逆止弁は、従来、例えば図３に
示すように、ＰＦＡ製の逆止弁本体５０を貫通する流路
５１に拡径状の弁体収納室５２を設け、この弁体収納室
５２内に、球状のボール弁体５３と、このボール弁体５
３を閉弁方向に押圧するスプリング５４とを収納して構
成されている。そしてこれらボール弁体５３やスプリン
グ５４も、ＰＦＡなどの合成樹脂にて作製されている。
示すように、ＰＦＡ製の逆止弁本体５０を貫通する流路
５１に拡径状の弁体収納室５２を設け、この弁体収納室
５２内に、球状のボール弁体５３と、このボール弁体５
３を閉弁方向に押圧するスプリング５４とを収納して構
成されている。そしてこれらボール弁体５３やスプリン
グ５４も、ＰＦＡなどの合成樹脂にて作製されている。
【０００４】上記構成の逆止弁では、弁体収納室５２よ
りも上流側（図において右側）の流路５１が弁体収納室
５２に開口する開口周縁（弁座）５５に、スプリング５
４の押圧力によってボール弁体５３が圧接されて閉弁状
態に保持される。一方、上記流路５１に流入した流体の
流体圧がスプリング５４のバネ力を超えたとき、スプリ
ング５４を圧縮しながらボール弁体５３が開弁方向に移
動する。これによって、このボール弁体５３が上記した
弁座５５から離間して開弁状態となり、流体が弁体収納
室５２を通して下流側に流通する。
りも上流側（図において右側）の流路５１が弁体収納室
５２に開口する開口周縁（弁座）５５に、スプリング５
４の押圧力によってボール弁体５３が圧接されて閉弁状
態に保持される。一方、上記流路５１に流入した流体の
流体圧がスプリング５４のバネ力を超えたとき、スプリ
ング５４を圧縮しながらボール弁体５３が開弁方向に移
動する。これによって、このボール弁体５３が上記した
弁座５５から離間して開弁状態となり、流体が弁体収納
室５２を通して下流側に流通する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の逆止弁においては、スプリング５４のバネ力の低下
に起因して、弁座５５にボール弁体５３が当接した閉弁
状態でのシール性が次第に損なわれるという問題を有し
ている。つまり、スプリング５４は、閉弁時にボール弁
体５３を弁座５５に圧接させた状態とするために、所定
の圧縮変形を生じさせて弁体収納室５２内に介装されて
いる。そして開弁時にはその圧縮変形量がさらに大きく
なる。
成の逆止弁においては、スプリング５４のバネ力の低下
に起因して、弁座５５にボール弁体５３が当接した閉弁
状態でのシール性が次第に損なわれるという問題を有し
ている。つまり、スプリング５４は、閉弁時にボール弁
体５３を弁座５５に圧接させた状態とするために、所定
の圧縮変形を生じさせて弁体収納室５２内に介装されて
いる。そして開弁時にはその圧縮変形量がさらに大きく
なる。
【０００６】このとき、上記構成の逆止弁では、流入す
る流体圧に応じてスプリング５４が全圧縮状態ともなり
易く、この場合に、大きな内部応力が発生する。合成樹
脂からなるスプリング５４では、このような応力状態で
の使用が繰返されると応力緩和（クリープ）が生じて、
初期のバネ力からの低下が生じ易い。このため、閉弁時
の押圧力が小さくなってシール性が低下し、充分な逆止
弁機能が維持できなくなる。
る流体圧に応じてスプリング５４が全圧縮状態ともなり
易く、この場合に、大きな内部応力が発生する。合成樹
脂からなるスプリング５４では、このような応力状態で
の使用が繰返されると応力緩和（クリープ）が生じて、
初期のバネ力からの低下が生じ易い。このため、閉弁時
の押圧力が小さくなってシール性が低下し、充分な逆止
弁機能が維持できなくなる。
【０００７】本発明は、上記した問題点に鑑みなされた
ものであって、その目的は、合成樹脂製のスプリングの
バネ力の低下を抑えて、安定した逆止弁機能を維持し得
る逆止弁を提供することにある。
ものであって、その目的は、合成樹脂製のスプリングの
バネ力の低下を抑えて、安定した逆止弁機能を維持し得
る逆止弁を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】そこで請求項１の逆止弁
は、内部に貫通する流路を有する逆止弁本体と、上記流
路に介装されてこの流路を開閉する合成樹脂製の弁体
と、この弁体を閉弁方向に押圧する合成樹脂製のスプリ
ングとを備え、上記弁体にスプリングの押圧力を超える
開弁方向の流体圧が作用したとき、スプリングが圧縮さ
れながら弁体が開弁方向に移動して上記流路を開くよう
に形成した、半導体製造装置内の配管用の逆止弁であっ
て、スプリングに全圧縮が生じないように弁体の開弁方
向の移動量を規制する弁体移動量規制手段を設けてお
り、弁体基部が、後方に向かって径小となる逆テーパ状
の円錐台部を有する形状であり、円錐台部の外周面にお
ける周方向等間隔の位置に、弁体移動量規制手段を構成
する複数のスライド案内板が、径方向外方に突出して後
方に延びる形状で一体形成されており、各弁体移動量規
制手段の後方端における各軸心側を、スプリングのバネ
端部によって周方向に相互に連接していることを特徴と
している。
は、内部に貫通する流路を有する逆止弁本体と、上記流
路に介装されてこの流路を開閉する合成樹脂製の弁体
と、この弁体を閉弁方向に押圧する合成樹脂製のスプリ
ングとを備え、上記弁体にスプリングの押圧力を超える
開弁方向の流体圧が作用したとき、スプリングが圧縮さ
れながら弁体が開弁方向に移動して上記流路を開くよう
に形成した、半導体製造装置内の配管用の逆止弁であっ
て、スプリングに全圧縮が生じないように弁体の開弁方
向の移動量を規制する弁体移動量規制手段を設けてお
り、弁体基部が、後方に向かって径小となる逆テーパ状
の円錐台部を有する形状であり、円錐台部の外周面にお
ける周方向等間隔の位置に、弁体移動量規制手段を構成
する複数のスライド案内板が、径方向外方に突出して後
方に延びる形状で一体形成されており、各弁体移動量規
制手段の後方端における各軸心側を、スプリングのバネ
端部によって周方向に相互に連接していることを特徴と
している。
【０００９】この構成によれば、弁体の開弁方向に大き
な流体圧が作用する場合でも、弁体の移動は弁体移動量
規制手段によって途中で規制され、これによって、スプ
リングは、全圧縮になる前の圧縮量で保持される。した
がって、スプリングに過度の圧縮変形が生じるのが抑え
られるので、このスプリングが合成樹脂製であっても、
応力緩和によるバネ力の低下が抑制される。この結果、
閉弁状態に戻ったときの弁体に対する閉弁方向の押圧力
の低下が抑えられて、安定した逆止弁機能を維持するこ
とができる。
な流体圧が作用する場合でも、弁体の移動は弁体移動量
規制手段によって途中で規制され、これによって、スプ
リングは、全圧縮になる前の圧縮量で保持される。した
がって、スプリングに過度の圧縮変形が生じるのが抑え
られるので、このスプリングが合成樹脂製であっても、
応力緩和によるバネ力の低下が抑制される。この結果、
閉弁状態に戻ったときの弁体に対する閉弁方向の押圧力
の低下が抑えられて、安定した逆止弁機能を維持するこ
とができる。
【００１０】請求項２の逆止弁は、請求項１の逆止弁に
おいて、スプリングの径方向への変位を抑制するスプリ
ング保持手段を設けていることを特徴としている。この
構成によれば、スプリングの径方向への変位が抑えられ
ることで、このスプリングと弁体とに軸心方向のずれが
生じるのが抑制される。この結果、閉弁時に逆止弁本体
の弁座に当接した弁体に対し、スプリングからの押圧力
に偏りが生じるのが抑えられ、全周にわたってより均一
な圧接状態が維持されるので、これによっても、閉弁時
におけるシール性が良好に維持される。
おいて、スプリングの径方向への変位を抑制するスプリ
ング保持手段を設けていることを特徴としている。この
構成によれば、スプリングの径方向への変位が抑えられ
ることで、このスプリングと弁体とに軸心方向のずれが
生じるのが抑制される。この結果、閉弁時に逆止弁本体
の弁座に当接した弁体に対し、スプリングからの押圧力
に偏りが生じるのが抑えられ、全周にわたってより均一
な圧接状態が維持されるので、これによっても、閉弁時
におけるシール性が良好に維持される。
【００１１】請求項３の逆止弁は、請求項１又は２の逆
止弁において、スプリングを弁体に一体形成しているこ
とを特徴としている。このようにスプリングが弁体に一
体形成された構成であれば、スプリングと弁体との軸心
方向のずれが生じるのがより確実に抑えられ、これによ
って、閉弁時のシール性がさらに良好に維持される。
止弁において、スプリングを弁体に一体形成しているこ
とを特徴としている。このようにスプリングが弁体に一
体形成された構成であれば、スプリングと弁体との軸心
方向のずれが生じるのがより確実に抑えられ、これによ
って、閉弁時のシール性がさらに良好に維持される。
【００１２】請求項４の逆止弁は、請求項１、２又は３
の逆止弁において、弁体における閉弁方向の先端に、弁
体よりも弾性の大きなシール部材を装着していることを
特徴としている。この構成によれば、例えば衝撃的な閉
弁動作が弁体に繰返し生じる場合でも、閉弁時のシール
性が良好に維持される。つまり、上記のような閉弁動作
で、合成樹脂製の弁体が直接逆止弁本体の弁座に接離す
る構成では、弁座に圧接される局部箇所に窪みなどの塑
性変形が生じてシール性の低下が生じ易い。そこで、上
記のように弾性の大きなシール部材を弁体に装着し、こ
れが弁座に接離する構成とすることで、上記のような局
部箇所の塑性変形が抑えられて、閉弁時のシール性が良
好に維持される。
の逆止弁において、弁体における閉弁方向の先端に、弁
体よりも弾性の大きなシール部材を装着していることを
特徴としている。この構成によれば、例えば衝撃的な閉
弁動作が弁体に繰返し生じる場合でも、閉弁時のシール
性が良好に維持される。つまり、上記のような閉弁動作
で、合成樹脂製の弁体が直接逆止弁本体の弁座に接離す
る構成では、弁座に圧接される局部箇所に窪みなどの塑
性変形が生じてシール性の低下が生じ易い。そこで、上
記のように弾性の大きなシール部材を弁体に装着し、こ
れが弁座に接離する構成とすることで、上記のような局
部箇所の塑性変形が抑えられて、閉弁時のシール性が良
好に維持される。
【００１３】請求項５の逆止弁は、請求項１から４のい
ずれかの逆止弁において、逆止弁本体を流路方向に沿っ
て上流側本体と下流側本体とに分割形成すると共に、こ
れら上流側本体と下流側本体との流路方向に相対面する
箇所にリップシール部を設けていることを特徴としてい
る。このように、上流側本体と下流側本体とから成る逆
止弁本体において、リップシール部を設けてこのリップ
シール部に充分な面圧を作用させたシール構造とするこ
とで、液漏れ等がより確実に抑えられる。
ずれかの逆止弁において、逆止弁本体を流路方向に沿っ
て上流側本体と下流側本体とに分割形成すると共に、こ
れら上流側本体と下流側本体との流路方向に相対面する
箇所にリップシール部を設けていることを特徴としてい
る。このように、上流側本体と下流側本体とから成る逆
止弁本体において、リップシール部を設けてこのリップ
シール部に充分な面圧を作用させたシール構造とするこ
とで、液漏れ等がより確実に抑えられる。
【００１４】請求項６の逆止弁は、請求項１から５のい
ずれかの５の逆止弁において、逆止弁本体を流路方向に
沿って上流側本体と下流側本体とに分割形成し、これら
上流側本体と下流側本体との流路方向に相対面する面間
の外周側を溶接してシールしていることを特徴としてい
る。このように、上流側本体と下流側本体とを相互に溶
接したシール構造によれば、液漏れ等がさらに確実に防
止された逆止弁として提供することができる。
ずれかの５の逆止弁において、逆止弁本体を流路方向に
沿って上流側本体と下流側本体とに分割形成し、これら
上流側本体と下流側本体との流路方向に相対面する面間
の外周側を溶接してシールしていることを特徴としてい
る。このように、上流側本体と下流側本体とを相互に溶
接したシール構造によれば、液漏れ等がさらに確実に防
止された逆止弁として提供することができる。
【００１５】請求項７の逆止弁は、請求項１から６のい
ずれかの逆止弁において、前記合成樹脂がフッ素樹脂で
あることを特徴としている。これにより、耐食性や耐摩
耗性等に優れ、また、腐食性流体等が流れる場合でも金
属溶出のない逆止弁とすることができる。
ずれかの逆止弁において、前記合成樹脂がフッ素樹脂で
あることを特徴としている。これにより、耐食性や耐摩
耗性等に優れ、また、腐食性流体等が流れる場合でも金
属溶出のない逆止弁とすることができる。
【００１６】
〔発明の詳細な説明〕
【発明の実施の形態】〔実施形態１〕次に、本発明の一
実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。図
１（ａ）に示すように、本実施形態の逆止弁は、バルブ
本体（逆止弁本体）１の両端に、チューブ２・２がナッ
ト３・３を螺着することによって液密状に接続されるユ
ニオン継手構造で形成されている。バルブ本体１は、同
図（ｂ）に示すように、図において右側の上流側本体４
（以下、イン側本体という）４と、左側の下流側本体
（以下、アウト側本体という）５とに分割形成され、こ
れら４・５を相互に同軸状に連結して構成されている。
なお、本実施形態の逆止弁は、後述する弁体６やスプリ
ング７も含めた各構成部品が、例えばＰＦＡなどの耐蝕
性・耐摩耗性に優れた合成樹脂により作製されている。
実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。図
１（ａ）に示すように、本実施形態の逆止弁は、バルブ
本体（逆止弁本体）１の両端に、チューブ２・２がナッ
ト３・３を螺着することによって液密状に接続されるユ
ニオン継手構造で形成されている。バルブ本体１は、同
図（ｂ）に示すように、図において右側の上流側本体４
（以下、イン側本体という）４と、左側の下流側本体
（以下、アウト側本体という）５とに分割形成され、こ
れら４・５を相互に同軸状に連結して構成されている。
なお、本実施形態の逆止弁は、後述する弁体６やスプリ
ング７も含めた各構成部品が、例えばＰＦＡなどの耐蝕
性・耐摩耗性に優れた合成樹脂により作製されている。
【００１７】イン側本体４には、その右端側に、端面か
ら軸方向に凹入するチューブ接続用凹部４ａが形成され
ている。この凹部４ａに、後述するスリーブ１３が圧入
されたチューブ２が挿入され接続される。一方、このイ
ン側本体４の左端側には、その端面から右端側に向かっ
て順次凹入する本体連結用凹部４ｂと、この凹部４ｂよ
りも径小な弁体収納空間４ｃとが設けられている。そし
て、この弁体収納空間４ｃとチューブ接続用凹部４ａと
を、内径が所定の寸法に設定されたイン側オリフィス流
路部４ｄによって相互に連通させて、このイン側本体４
に、軸心に沿って貫通する段差状の貫通穴が形成されて
いる。
ら軸方向に凹入するチューブ接続用凹部４ａが形成され
ている。この凹部４ａに、後述するスリーブ１３が圧入
されたチューブ２が挿入され接続される。一方、このイ
ン側本体４の左端側には、その端面から右端側に向かっ
て順次凹入する本体連結用凹部４ｂと、この凹部４ｂよ
りも径小な弁体収納空間４ｃとが設けられている。そし
て、この弁体収納空間４ｃとチューブ接続用凹部４ａと
を、内径が所定の寸法に設定されたイン側オリフィス流
路部４ｄによって相互に連通させて、このイン側本体４
に、軸心に沿って貫通する段差状の貫通穴が形成されて
いる。
【００１８】なお、イン側オリフィス流路部４ｄが弁体
収納空間４ｃに開口する開口周縁は、後述する弁体６が
接離する弁座４ｅとして形成されている。一方、チュー
ブ接続用凹部４ａを囲う壁面の外周には雄ねじが形成さ
れ、また、本体連結用凹部４ｂの内面には雌ねじが形成
されている。
収納空間４ｃに開口する開口周縁は、後述する弁体６が
接離する弁座４ｅとして形成されている。一方、チュー
ブ接続用凹部４ａを囲う壁面の外周には雄ねじが形成さ
れ、また、本体連結用凹部４ｂの内面には雌ねじが形成
されている。
【００１９】アウト側本体５にも、その左端側に上記と
ほぼ同様なチューブ接続用凹部５ａが設けられ、また、
右端側には、その端面から左端側に向かって凹入するバ
ネ収納部５ｂが設けられている。このバネ収納部５ｂ
は、上記弁体収納空間４ｃと同一の内径寸法で形成され
ている。そして、チューブ接続用凹部５ａとバネ収納部
５ｂとを、所定の内径寸法のアウト側オリフィス流路部
５ｃを通して相互に連通させて、このアウト側本体５に
も軸心に沿う貫通穴が形成されている。このアウト側本
体５をイン側本体４に連結することで、バルブ本体１の
軸心上を貫通する流路が形成されている。
ほぼ同様なチューブ接続用凹部５ａが設けられ、また、
右端側には、その端面から左端側に向かって凹入するバ
ネ収納部５ｂが設けられている。このバネ収納部５ｂ
は、上記弁体収納空間４ｃと同一の内径寸法で形成され
ている。そして、チューブ接続用凹部５ａとバネ収納部
５ｂとを、所定の内径寸法のアウト側オリフィス流路部
５ｃを通して相互に連通させて、このアウト側本体５に
も軸心に沿う貫通穴が形成されている。このアウト側本
体５をイン側本体４に連結することで、バルブ本体１の
軸心上を貫通する流路が形成されている。
【００２０】なお、アウト側オリフィス流路部５ｃとバ
ネ収納部５ｂとの間の段差面は、後述するスプリング７
が着座するバネ受け面５ｄとして形成されている。一
方、バネ収納部５ｂを囲う壁面は、外周に雄ねじが形成
された連結部５ｅとして形成されている。この連結部５
ｅをイン側本体４の本体連結用凹部４ｂに挿入しなが
ら、この凹部４ｂ内面の雌ねじに上記雄ねじを螺着させ
締め付けることによって、このアウト側本体５がイン側
本体４に同軸状に連結される。このとき、連結部５ｅの
端面がイン側本体４の本体連結用凹部４ｂにおける底面
に圧接されて、イン側本体４とアウト側本体５との間が
シールされている。
ネ収納部５ｂとの間の段差面は、後述するスプリング７
が着座するバネ受け面５ｄとして形成されている。一
方、バネ収納部５ｂを囲う壁面は、外周に雄ねじが形成
された連結部５ｅとして形成されている。この連結部５
ｅをイン側本体４の本体連結用凹部４ｂに挿入しなが
ら、この凹部４ｂ内面の雌ねじに上記雄ねじを螺着させ
締め付けることによって、このアウト側本体５がイン側
本体４に同軸状に連結される。このとき、連結部５ｅの
端面がイン側本体４の本体連結用凹部４ｂにおける底面
に圧接されて、イン側本体４とアウト側本体５との間が
シールされている。
【００２１】また、このような連結状態で、イン側本体
４の弁体収納空間４ｃとアウト側本体５のバネ収納部５
ｂとが軸方向に一体的に連なる組立状態となり、この連
結空間に、弁体６と、圧縮コイルバネの形状に成形され
たスプリング７とが収納されて、この逆止弁が構成され
ている。
４の弁体収納空間４ｃとアウト側本体５のバネ収納部５
ｂとが軸方向に一体的に連なる組立状態となり、この連
結空間に、弁体６と、圧縮コイルバネの形状に成形され
たスプリング７とが収納されて、この逆止弁が構成され
ている。
【００２２】弁体６は、同図（ｃ）に示すように、図に
おいて右端側（以下、前方ともいう）に、外径が前方に
向かうほど径小となるテーパ状の弁部１１ａと、この弁
部１１ａに左端側（以下、後方ともいう）から連なる円
筒部１１ｂとを有する弁体基部１１を設けて構成され、
この弁体基部１１の外周面に、後方に延びる複数枚、図
示例では４枚のスライド案内板１２…が延設されてい
る。なお、本実施形態においては、これらスライド案内
板１２…が、後述するように、この弁体６の開弁方向の
移動量を規制する弁体移動量規制手段としての機能と、
スプリング７の径方向への変位を抑制するスプリング保
持手段としての機能とを兼用する構成となっている。
おいて右端側（以下、前方ともいう）に、外径が前方に
向かうほど径小となるテーパ状の弁部１１ａと、この弁
部１１ａに左端側（以下、後方ともいう）から連なる円
筒部１１ｂとを有する弁体基部１１を設けて構成され、
この弁体基部１１の外周面に、後方に延びる複数枚、図
示例では４枚のスライド案内板１２…が延設されてい
る。なお、本実施形態においては、これらスライド案内
板１２…が、後述するように、この弁体６の開弁方向の
移動量を規制する弁体移動量規制手段としての機能と、
スプリング７の径方向への変位を抑制するスプリング保
持手段としての機能とを兼用する構成となっている。
【００２３】上記各スライド案内板１２…は、弁体基部
１１の円筒部１１ｂの外周面における周方向等間隔の位
置に、それぞれ径方向外方に突出する形状で連設され、
また、円筒部１１ｂの後端面よりもさらに後方に延びる
形状で形成されている。そして、円筒部１１ｂの後端面
から後方に延びる軸心側の各端面形状が二段の段差状に
形成されて、円筒部１１ｂ側がバネ受け部１２ａ、この
バネ受け部１２ａよりも後方がスプリング嵌合部１２ｂ
となっている。すなわち、軸心を挟んで相対面するバネ
受け部１２ａ・１２ａ間の寸法はスプリング７の内径よ
りも小さく設定され、また、スプリング嵌合部１２ｂ・
１２ｂ間の寸法は、これらの間にスプリング７がほぼ嵌
合した状態で位置するように、スプリング７の外径寸法
とほぼ同等寸法に設定されている。また、スンプリング
嵌合部１２ｂの軸方向寸法は、スプリング７の自然長状
態から全圧縮状態までの範囲で、スプリング７の適正な
圧縮機能を妨げない程度に設定される。
１１の円筒部１１ｂの外周面における周方向等間隔の位
置に、それぞれ径方向外方に突出する形状で連設され、
また、円筒部１１ｂの後端面よりもさらに後方に延びる
形状で形成されている。そして、円筒部１１ｂの後端面
から後方に延びる軸心側の各端面形状が二段の段差状に
形成されて、円筒部１１ｂ側がバネ受け部１２ａ、この
バネ受け部１２ａよりも後方がスプリング嵌合部１２ｂ
となっている。すなわち、軸心を挟んで相対面するバネ
受け部１２ａ・１２ａ間の寸法はスプリング７の内径よ
りも小さく設定され、また、スプリング嵌合部１２ｂ・
１２ｂ間の寸法は、これらの間にスプリング７がほぼ嵌
合した状態で位置するように、スプリング７の外径寸法
とほぼ同等寸法に設定されている。また、スンプリング
嵌合部１２ｂの軸方向寸法は、スプリング７の自然長状
態から全圧縮状態までの範囲で、スプリング７の適正な
圧縮機能を妨げない程度に設定される。
【００２４】これにより、各スプリング嵌合部１２ｂの
内側にスプリング７の前端側を挿入することで、このス
プリング７が弁体６とほぼ同軸状に保持され、また、こ
のスプリング７の前端が、バネ受け部１２ａとスプリン
グ嵌合部１２ｂとの間の段差面に当接して位置するよう
になっている。
内側にスプリング７の前端側を挿入することで、このス
プリング７が弁体６とほぼ同軸状に保持され、また、こ
のスプリング７の前端が、バネ受け部１２ａとスプリン
グ嵌合部１２ｂとの間の段差面に当接して位置するよう
になっている。
【００２５】こうして、スプリング７が各スライド案内
板１２の内側に組付けられた弁体６が、同図（ｂ）に示
すように、弁体収納空間４ｃおよびバネ収納部５ｂ内に
収納されて、本実施形態の逆止弁が構成されている。こ
のような組立状態において、弁体６は、軸方向に圧縮さ
れたスプリング７のバネ力によって前方に押圧され、こ
れによって、前記した弁座４ｅの全周にわたって、弁体
６先端のテーパ状の弁部１１ａが圧接されて、弁体収納
空間４ｃへのイン側オリフィス流路部４ｄの連通を遮断
した閉弁状態で保持されている。
板１２の内側に組付けられた弁体６が、同図（ｂ）に示
すように、弁体収納空間４ｃおよびバネ収納部５ｂ内に
収納されて、本実施形態の逆止弁が構成されている。こ
のような組立状態において、弁体６は、軸方向に圧縮さ
れたスプリング７のバネ力によって前方に押圧され、こ
れによって、前記した弁座４ｅの全周にわたって、弁体
６先端のテーパ状の弁部１１ａが圧接されて、弁体収納
空間４ｃへのイン側オリフィス流路部４ｄの連通を遮断
した閉弁状態で保持されている。
【００２６】また、各スライド案内板１２は、各径方向
外方の端面形状が、弁体収納空間４ｃおよびバネ収納部
５ｂの内周面にそれぞれ嵌合する形状となっている。こ
れによって、弁体６およびスプリング７が、イン側オリ
フィス流路部４ｄやアウト側オリフィス流路部５ｃと同
軸上に保持されて軸方向に移動するように構成されてい
る。
外方の端面形状が、弁体収納空間４ｃおよびバネ収納部
５ｂの内周面にそれぞれ嵌合する形状となっている。こ
れによって、弁体６およびスプリング７が、イン側オリ
フィス流路部４ｄやアウト側オリフィス流路部５ｃと同
軸上に保持されて軸方向に移動するように構成されてい
る。
【００２７】なお、イン側本体４の前端側、およびアウ
ト側本体５の後端側の各継手部には、各外周に、前記し
た各ナット３・３が螺着される雄ねじがそれぞれ形成さ
れている。前記したチューブ接続用凹部４ａ・５ａに、
それぞれスリーブ１３・１３が圧入されたチューブ２・
２を挿入し、前記したナット３・３を上記各雄ねじに螺
着して軸方向に締め付けることによって、各チューブ２
・２が液密状態でイン側本体４の前端部、アウト側本体
５の後端部にそれぞれ接続される。
ト側本体５の後端側の各継手部には、各外周に、前記し
た各ナット３・３が螺着される雄ねじがそれぞれ形成さ
れている。前記したチューブ接続用凹部４ａ・５ａに、
それぞれスリーブ１３・１３が圧入されたチューブ２・
２を挿入し、前記したナット３・３を上記各雄ねじに螺
着して軸方向に締め付けることによって、各チューブ２
・２が液密状態でイン側本体４の前端部、アウト側本体
５の後端部にそれぞれ接続される。
【００２８】上記スリーブ１３、例えばイン側本体４に
チューブ２を接続するための前端側のスリーブ１３に
は、軸心上に、イン側オリフィス流路部４ｄの内径とほ
ぼ同一径の貫通穴１３ａが形成され、外周側に、チュー
ブ２の内径よりも径大な膨出部１３ｂが設けられてい
る。ナット３をイン側本体４の前端側に螺着して軸方向
に締め付けることによって、スリーブ１３の後端側がチ
ューブ接続用凹部４ａの内面に密着して押圧され、これ
により、スリーブ１３とイン側本体４との間がシールさ
れる。
チューブ２を接続するための前端側のスリーブ１３に
は、軸心上に、イン側オリフィス流路部４ｄの内径とほ
ぼ同一径の貫通穴１３ａが形成され、外周側に、チュー
ブ２の内径よりも径大な膨出部１３ｂが設けられてい
る。ナット３をイン側本体４の前端側に螺着して軸方向
に締め付けることによって、スリーブ１３の後端側がチ
ューブ接続用凹部４ａの内面に密着して押圧され、これ
により、スリーブ１３とイン側本体４との間がシールさ
れる。
【００２９】同時に、チューブ２の端部側が、チューブ
接続用凹部４ａにおける前端側のテーパ面と上記膨出部
１３ｂとの間に挟まれ、両者の各面にチューブ２の内外
面が圧接された組付状態となる。これにより、チューブ
２とスリーブ１３との間のシールと共に、チューブ２と
イン側本体４とのシールも付与されて、このチューブ２
がイン側本体４に液密状に接続される。アウト側本体５
にチューブ２を接続するための後端側のスリーブ１３も
上記とほぼ同様に形成されており、ナット３の締め付け
によって、上記同様にチューブ２がアウト側本体５に液
密状に接続される。
接続用凹部４ａにおける前端側のテーパ面と上記膨出部
１３ｂとの間に挟まれ、両者の各面にチューブ２の内外
面が圧接された組付状態となる。これにより、チューブ
２とスリーブ１３との間のシールと共に、チューブ２と
イン側本体４とのシールも付与されて、このチューブ２
がイン側本体４に液密状に接続される。アウト側本体５
にチューブ２を接続するための後端側のスリーブ１３も
上記とほぼ同様に形成されており、ナット３の締め付け
によって、上記同様にチューブ２がアウト側本体５に液
密状に接続される。
【００３０】上記のように両端にチューブ２・２が接続
され、前方のチューブ２およびスリーブ１３の貫通穴１
３ａを通して、例えば洗浄水や薬液などがイン側オリフ
ィス流路部４ｄに流入し、これによって弁体６の弁体基
部１１に作用する流体圧がスプリング７による閉弁方向
の押圧力を超えると、同図（ｄ）に示すように弁体６が
後方に移動し、弁部１１ａが弁座４ｅから後方に離間し
た開弁状態となる。
され、前方のチューブ２およびスリーブ１３の貫通穴１
３ａを通して、例えば洗浄水や薬液などがイン側オリフ
ィス流路部４ｄに流入し、これによって弁体６の弁体基
部１１に作用する流体圧がスプリング７による閉弁方向
の押圧力を超えると、同図（ｄ）に示すように弁体６が
後方に移動し、弁部１１ａが弁座４ｅから後方に離間し
た開弁状態となる。
【００３１】これにより、図中破線矢印で示すように、
流体がイン側オリフィス流路部４ｄから弁体収納空間４
ｃ内に流入する。そして、弁体基部１１に沿って外側に
一端迂回して後方に流れ、さらにスプリング７の軸心側
の空間を通してバネ収納部５ｂを通過し、アウト側オリ
フィス流路部５ｃおよび後方のスリーブ１３の貫通穴１
３ａを通して後方のチューブ２へと流出して、この逆止
弁を通して前方から後方に向かう正流方向での流れ状態
が継続される。
流体がイン側オリフィス流路部４ｄから弁体収納空間４
ｃ内に流入する。そして、弁体基部１１に沿って外側に
一端迂回して後方に流れ、さらにスプリング７の軸心側
の空間を通してバネ収納部５ｂを通過し、アウト側オリ
フィス流路部５ｃおよび後方のスリーブ１３の貫通穴１
３ａを通して後方のチューブ２へと流出して、この逆止
弁を通して前方から後方に向かう正流方向での流れ状態
が継続される。
【００３２】一方、イン側オリフィス流路部４ｄに流入
する流体圧が低下し、或いは、弁部１１ａを挟んで後方
側の流体圧が前方側よりも高くなると、この圧力差とス
プリング７による押圧力とによって弁体６が前方に移動
し、同図（ｂ）に示したように、弁部１１ａが弁座４ｅ
に圧接された閉弁状態となって、後方から前方に向かう
逆流方向の流体の流れが遮断される。こうして、弁部１
１ａを挟む圧力差によって開弁状態と閉弁状態との切換
えが自動的に行われ、正流方向の流れのみを許容する逆
止弁機能が維持される。
する流体圧が低下し、或いは、弁部１１ａを挟んで後方
側の流体圧が前方側よりも高くなると、この圧力差とス
プリング７による押圧力とによって弁体６が前方に移動
し、同図（ｂ）に示したように、弁部１１ａが弁座４ｅ
に圧接された閉弁状態となって、後方から前方に向かう
逆流方向の流体の流れが遮断される。こうして、弁部１
１ａを挟む圧力差によって開弁状態と閉弁状態との切換
えが自動的に行われ、正流方向の流れのみを許容する逆
止弁機能が維持される。
【００３３】ところで、開弁状態では、弁体６よりも上
流側の流体圧に応じ、スプリング７に圧縮変形が生じて
弁体６が後方に移動する。このとき、本実施形態の逆止
弁では、流体圧の増加に伴う弁体６の後方への移動は、
同図（ｄ）に示す位置を越えては生じない。すなわちこ
の状態で、弁体６の各スライド案内板１２…の後方端面
が、バネ収納部５ｂとアウト側オリフィス流路部５ｃと
の間の前記したバネ受け面５ｄに当接するように構成さ
れており、これによって、弁体６の移動が阻止される。
流側の流体圧に応じ、スプリング７に圧縮変形が生じて
弁体６が後方に移動する。このとき、本実施形態の逆止
弁では、流体圧の増加に伴う弁体６の後方への移動は、
同図（ｄ）に示す位置を越えては生じない。すなわちこ
の状態で、弁体６の各スライド案内板１２…の後方端面
が、バネ収納部５ｂとアウト側オリフィス流路部５ｃと
の間の前記したバネ受け面５ｄに当接するように構成さ
れており、これによって、弁体６の移動が阻止される。
【００３４】したがって、スプリング７の圧縮変形量も
上記の弁体６の移動位置で最大となり、それ以上の変形
は生じない。このため、スプリング７に過度の圧縮変形
が生じるのが防止され、このため、このスプリング７が
ＰＦＡなどの合成樹脂製であっても、応力緩和（クリー
プ）によるバネ力の低下が抑制される。この結果、流体
圧が低下したとき等に閉弁状態に復帰した場合での弁体
６に対する閉弁方向の押圧力の低下が抑えられ、これに
よって、逆止弁機能が長期にわたって安定して維持され
る。
上記の弁体６の移動位置で最大となり、それ以上の変形
は生じない。このため、スプリング７に過度の圧縮変形
が生じるのが防止され、このため、このスプリング７が
ＰＦＡなどの合成樹脂製であっても、応力緩和（クリー
プ）によるバネ力の低下が抑制される。この結果、流体
圧が低下したとき等に閉弁状態に復帰した場合での弁体
６に対する閉弁方向の押圧力の低下が抑えられ、これに
よって、逆止弁機能が長期にわたって安定して維持され
る。
【００３５】一方、開弁状態から閉弁状態へと復帰する
場合の弁体６は、各スライド案内板１２の径方向外方の
端面がバネ収納部５ｂや弁体収納空間４ｃの内面で案内
されることによって、軸心に沿う移動が保持される。こ
れにより、弁座４ｅの全周にわたる均等な当接状態が維
持され、弁部１１ａの弁座４ｅの圧接状態に偏りが生じ
ることが防止される。したがって、これによっても閉弁
状態での良好なシール性が安定して維持される。
場合の弁体６は、各スライド案内板１２の径方向外方の
端面がバネ収納部５ｂや弁体収納空間４ｃの内面で案内
されることによって、軸心に沿う移動が保持される。こ
れにより、弁座４ｅの全周にわたる均等な当接状態が維
持され、弁部１１ａの弁座４ｅの圧接状態に偏りが生じ
ることが防止される。したがって、これによっても閉弁
状態での良好なシール性が安定して維持される。
【００３６】さらに、スプリング７は、その外周側がス
ライド案内板１２…で囲われて径方向の変形が阻止さ
れ、したがって、軸方向の変形のみが生じ得る構成とな
っている。したがって、スプリング７に径方向へのクリ
ープ変形等も生じることはなく、この結果、このスプリ
ング７から弁体６へは、この弁体６を軸方向に沿っての
み押圧する作用状態が保持され、スプリング７の押圧方
向と弁体６の閉弁方向とにずれが生じることが抑えられ
る。したがって、これによっても、弁座４ｅに当接した
弁部１１ａに対し、その軸心回りにスプリング７の押圧
力が均等に作用して圧接状態に偏りが生じることが防止
されるので、さらに閉弁時における良好なシール性が安
定して維持される。
ライド案内板１２…で囲われて径方向の変形が阻止さ
れ、したがって、軸方向の変形のみが生じ得る構成とな
っている。したがって、スプリング７に径方向へのクリ
ープ変形等も生じることはなく、この結果、このスプリ
ング７から弁体６へは、この弁体６を軸方向に沿っての
み押圧する作用状態が保持され、スプリング７の押圧方
向と弁体６の閉弁方向とにずれが生じることが抑えられ
る。したがって、これによっても、弁座４ｅに当接した
弁部１１ａに対し、その軸心回りにスプリング７の押圧
力が均等に作用して圧接状態に偏りが生じることが防止
されるので、さらに閉弁時における良好なシール性が安
定して維持される。
【００３７】〔実施形態２〕次に、本発明の他の実施形
態について、図２を参照して説明する。なお、説明の便
宜上、前記図１に示した部材と同一の機能を有する部材
には、同一の符号を付記して詳細な説明を省略する。
態について、図２を参照して説明する。なお、説明の便
宜上、前記図１に示した部材と同一の機能を有する部材
には、同一の符号を付記して詳細な説明を省略する。
【００３８】本実施形態の逆止弁は、同図（ａ）に示す
ように、アウト側本体５のバネ収納部５ｂがイン側本体
４の弁体収納空間４ｃよりも径小に形成されており、そ
の内径寸法は、スプリング７がこのバネ収納部５ｂにほ
ぼ嵌合した状態で位置するように、このスプリング７の
外径寸法に合わせて設定されている。
ように、アウト側本体５のバネ収納部５ｂがイン側本体
４の弁体収納空間４ｃよりも径小に形成されており、そ
の内径寸法は、スプリング７がこのバネ収納部５ｂにほ
ぼ嵌合した状態で位置するように、このスプリング７の
外径寸法に合わせて設定されている。
【００３９】一方、弁体収納空間４ｃに収納される弁体
６は、同図（ｂ）に示すように、弁体基部１１が、右端
側のシールリング装着部１１ｃと、このシールリング装
着部１１ｃの後方で、後方に向かって径小となる逆テー
パ状の円錐台部１１ｄとを有する形状に形成されてい
る。
６は、同図（ｂ）に示すように、弁体基部１１が、右端
側のシールリング装着部１１ｃと、このシールリング装
着部１１ｃの後方で、後方に向かって径小となる逆テー
パ状の円錐台部１１ｄとを有する形状に形成されてい
る。
【００４０】シールリング装着部１１ｃは、その外周形
状が、断面円弧状に径方向内方に凹入する形状に形成さ
れ、このシールリンブ装着部１１ｃに、断面円形のＯリ
ングより成るシールリング２１が装着される。このシー
ルリング２１として、シールリング装着部１１ｃの軸方
向の厚さ寸法よりもやや大きな径のＯリングが選定され
ている。
状が、断面円弧状に径方向内方に凹入する形状に形成さ
れ、このシールリンブ装着部１１ｃに、断面円形のＯリ
ングより成るシールリング２１が装着される。このシー
ルリング２１として、シールリング装着部１１ｃの軸方
向の厚さ寸法よりもやや大きな径のＯリングが選定され
ている。
【００４１】したがって、シールリング２１はシールリ
ング装着部１１ｃの端面よりも前方にやや突出した状態
で、シールリング装着部１１ｃに装着される。これによ
って、このシールリング２１が、後述する弁座４ｅに接
離する弁部として機能するように構成されている。な
お、このシールリング２１は、弁体６や逆止弁本体１を
構成するＰＦＡ等の合成樹脂よりも弾性の大きなフッ素
ゴム等によって形成されている。
ング装着部１１ｃの端面よりも前方にやや突出した状態
で、シールリング装着部１１ｃに装着される。これによ
って、このシールリング２１が、後述する弁座４ｅに接
離する弁部として機能するように構成されている。な
お、このシールリング２１は、弁体６や逆止弁本体１を
構成するＰＦＡ等の合成樹脂よりも弾性の大きなフッ素
ゴム等によって形成されている。
【００４２】前記円錐台部１１ｄの外周面における周方
向等間隔の位置に、４枚のスライド案内板１２…が、前
記実施形態１と同様に、径方向外方に突出して後方に延
びる形状で一体形成されている。但し、これらスライド
案内板１２…は、後方への長さを短くして形成されてい
る。そして、これらスライド案内板１２…における後方
端に、スプリング７が後方に延びる形状で一体形成され
ている。すなわち、各スライド案内板１２…の後方端に
おける各軸心側を、スプリング７のバネ端部によって周
方向に相互に連接して、このバネ端部から螺旋状に後方
に延びるスプリング７が、弁体６と同軸状に一体形成さ
れている。
向等間隔の位置に、４枚のスライド案内板１２…が、前
記実施形態１と同様に、径方向外方に突出して後方に延
びる形状で一体形成されている。但し、これらスライド
案内板１２…は、後方への長さを短くして形成されてい
る。そして、これらスライド案内板１２…における後方
端に、スプリング７が後方に延びる形状で一体形成され
ている。すなわち、各スライド案内板１２…の後方端に
おける各軸心側を、スプリング７のバネ端部によって周
方向に相互に連接して、このバネ端部から螺旋状に後方
に延びるスプリング７が、弁体６と同軸状に一体形成さ
れている。
【００４３】このように、スプリング７が一体形成され
た弁体６の前記シールリング装着部１１ｃにシールリン
グ２１を装着して、これら弁体６およびスプリング７
が、同図（ａ）に示すように、弁体収納空間４ｃとバネ
収納部５ｂとに収納されて、本実施形態の逆止弁が構成
されている。
た弁体６の前記シールリング装着部１１ｃにシールリン
グ２１を装着して、これら弁体６およびスプリング７
が、同図（ａ）に示すように、弁体収納空間４ｃとバネ
収納部５ｂとに収納されて、本実施形態の逆止弁が構成
されている。
【００４４】この場合、イン側オリフィス流路部４ｄと
弁体収納空間４ｃとの間の段差面が、前記のように弁部
として機能するシールリング２１が接離する弁座４ｅと
して形成されている。また、弁体６のスライド案内板１
２…は、径方向外方の端面が、前記同様に弁体収納空間
４ｃの内面に嵌合する形状に形成されている。また、バ
ネ収納部５ｂが弁体収納空間４ｃよりも径小に形成され
ていることによって、これらの間の段差面が、各スライ
ド案内板１２…の後端面に所定の間隔で軸方向に対面し
て位置する弁体移動規制面５ｆとなっている。
弁体収納空間４ｃとの間の段差面が、前記のように弁部
として機能するシールリング２１が接離する弁座４ｅと
して形成されている。また、弁体６のスライド案内板１
２…は、径方向外方の端面が、前記同様に弁体収納空間
４ｃの内面に嵌合する形状に形成されている。また、バ
ネ収納部５ｂが弁体収納空間４ｃよりも径小に形成され
ていることによって、これらの間の段差面が、各スライ
ド案内板１２…の後端面に所定の間隔で軸方向に対面し
て位置する弁体移動規制面５ｆとなっている。
【００４５】一方、本実施形態におけるアウト側本体５
には、バネ収納部５ｂを囲う連結部５ｅの右端面に、イ
ン側本体４側に向かって断面山形状に突出するリップシ
ール部５ｇが全周にわたって一体形成されている。
には、バネ収納部５ｂを囲う連結部５ｅの右端面に、イ
ン側本体４側に向かって断面山形状に突出するリップシ
ール部５ｇが全周にわたって一体形成されている。
【００４６】上記した弁体６とスプリング７とを収容し
て、イン側本体４とアウト側本体５とが、前記同様に、
本体連結用凹部４ｂに連結部５ｅを螺着することによっ
て相互に連結される。このとき、上記リップシール部５
ｇが、イン側本体４の弁体収納空間４ｃと本体連結用凹
部４ｂとの間の段差面に当接して軸方向に圧接された状
態となるまで、ねじ締めが行われる。したがってこの箇
所で、イン側本体４とアウト側本体５との間に、より確
実なシールが付与される。
て、イン側本体４とアウト側本体５とが、前記同様に、
本体連結用凹部４ｂに連結部５ｅを螺着することによっ
て相互に連結される。このとき、上記リップシール部５
ｇが、イン側本体４の弁体収納空間４ｃと本体連結用凹
部４ｂとの間の段差面に当接して軸方向に圧接された状
態となるまで、ねじ締めが行われる。したがってこの箇
所で、イン側本体４とアウト側本体５との間に、より確
実なシールが付与される。
【００４７】さらに、本実施形態における逆止弁は、上
記のようにイン側本体４とアウト側本体５とを相互に連
結した後、イン側本体４の後端側外周と、これに後方か
ら近接して位置するアウト側本体５の環状鍔状部５ｈの
外周とを相互に溶接し、両者間を全周にわたって閉塞す
る溶接部２２を形成した組立が行われる。したがって、
この溶接部２２によってイン側本体４とアウト側本体５
との間が、さらに二次シールされた構成となっている。
記のようにイン側本体４とアウト側本体５とを相互に連
結した後、イン側本体４の後端側外周と、これに後方か
ら近接して位置するアウト側本体５の環状鍔状部５ｈの
外周とを相互に溶接し、両者間を全周にわたって閉塞す
る溶接部２２を形成した組立が行われる。したがって、
この溶接部２２によってイン側本体４とアウト側本体５
との間が、さらに二次シールされた構成となっている。
【００４８】上記構成の逆止弁においても、同図（ａ）
に示す状態では、弁体６がスプリング７のバネ力によっ
て前方に押圧され、これによって、先端のシールリング
２１が弁座４ｅに圧接されて、イン側オリフィス流路部
４ｄを塞ぐ閉弁状態が保持される。この状態から、イン
側オリフィス流路部４ｄに流入した流体圧がスプリング
７による閉弁方向の押圧力を超えると、同図（ｃ）に示
すように弁体６が後方に移動し、シールリング２１が弁
座４ｅから後方に離間して開弁状態となる。
に示す状態では、弁体６がスプリング７のバネ力によっ
て前方に押圧され、これによって、先端のシールリング
２１が弁座４ｅに圧接されて、イン側オリフィス流路部
４ｄを塞ぐ閉弁状態が保持される。この状態から、イン
側オリフィス流路部４ｄに流入した流体圧がスプリング
７による閉弁方向の押圧力を超えると、同図（ｃ）に示
すように弁体６が後方に移動し、シールリング２１が弁
座４ｅから後方に離間して開弁状態となる。
【００４９】このときも、流体圧の増加に伴って弁体６
が後方に移動する際に、各スライド案内板１２…の後端
面が、弁体収納空間４ｃとバネ収納部５ｂとの間の前記
した弁体移動規制面５ｆに当接すると、それ以上の弁体
６の移動が阻止される。したがって、スプリング７の圧
縮変形量も上記の弁体６の移動位置で最大となり、それ
以上の変形は生じない。これにより、スプリング７のバ
ネ力の低下が抑えられ、この結果、弁体６に対する閉弁
方向の押圧力の低下が抑えられて、逆止弁機能が長期に
わたって安定して維持される。
が後方に移動する際に、各スライド案内板１２…の後端
面が、弁体収納空間４ｃとバネ収納部５ｂとの間の前記
した弁体移動規制面５ｆに当接すると、それ以上の弁体
６の移動が阻止される。したがって、スプリング７の圧
縮変形量も上記の弁体６の移動位置で最大となり、それ
以上の変形は生じない。これにより、スプリング７のバ
ネ力の低下が抑えられ、この結果、弁体６に対する閉弁
方向の押圧力の低下が抑えられて、逆止弁機能が長期に
わたって安定して維持される。
【００５０】また、開弁状態から閉弁状態へと復帰する
場合の弁体６の移動も、各スライド案内板１２の径方向
外方の端面がバネ収納部５ｂの内面で案内されて、シー
ルリング２１が弁座４ｅに全周にわたって均等に圧接さ
れる状態が維持されるので、閉弁時における良好なシー
ル性が保持される。
場合の弁体６の移動も、各スライド案内板１２の径方向
外方の端面がバネ収納部５ｂの内面で案内されて、シー
ルリング２１が弁座４ｅに全周にわたって均等に圧接さ
れる状態が維持されるので、閉弁時における良好なシー
ル性が保持される。
【００５１】さらに、スプリング７は、そのほぼ全体が
バネ収納部５ｂに嵌挿されて径方向の変形が阻止されて
いるので、このスプリング７に、径方向へのクリープ変
形等も前記同様に生じることはなく、これによっても、
スプリング７の押圧方向と弁体６の閉弁方向とにずれが
生じることが抑えられるので、これによっても、前記同
様に閉弁時の良好なシール性が維持される。したがっ
て、本実施形態の逆止弁においては、前記スライド案内
板１２によって、前記実施形態と同様に弁体移動量規制
手段が構成される一方、バネ収納部５ｂによって、スプ
リング７の径方向への変位を抑制するスプリング保持手
段が構成されている。
バネ収納部５ｂに嵌挿されて径方向の変形が阻止されて
いるので、このスプリング７に、径方向へのクリープ変
形等も前記同様に生じることはなく、これによっても、
スプリング７の押圧方向と弁体６の閉弁方向とにずれが
生じることが抑えられるので、これによっても、前記同
様に閉弁時の良好なシール性が維持される。したがっ
て、本実施形態の逆止弁においては、前記スライド案内
板１２によって、前記実施形態と同様に弁体移動量規制
手段が構成される一方、バネ収納部５ｂによって、スプ
リング７の径方向への変位を抑制するスプリング保持手
段が構成されている。
【００５２】一方、本実施形態では、スプリング７が弁
体６に同軸状に一体成形されているので、スプリング７
と弁体６との軸心方向のずれが生じることはなく、これ
によって、上記した弁座４ｅに圧接した弁体６の面圧に
偏りが生じることが確実に抑えられて、より良好なシー
ル性が維持される。
体６に同軸状に一体成形されているので、スプリング７
と弁体６との軸心方向のずれが生じることはなく、これ
によって、上記した弁座４ｅに圧接した弁体６の面圧に
偏りが生じることが確実に抑えられて、より良好なシー
ル性が維持される。
【００５３】また、弁体とスプリングとが別体で構成さ
れている従来の逆止弁では、例えば配管内外からウォー
タハンマなどの衝撃的な圧力変動が加わるときに弁体と
スプリングとが分離し、相対的な位置関係にずれが生じ
て逆止弁機能を果たさなくなる場合を生じているが、本
実施形態におけるスプリング７が弁体６に一体形成され
た逆止弁では、上記のような衝撃的な圧力変動が生じて
もスプリング７が弁体６から分離することはなく、した
がって、これによってもさらに安定した逆止弁機能が保
持される。
れている従来の逆止弁では、例えば配管内外からウォー
タハンマなどの衝撃的な圧力変動が加わるときに弁体と
スプリングとが分離し、相対的な位置関係にずれが生じ
て逆止弁機能を果たさなくなる場合を生じているが、本
実施形態におけるスプリング７が弁体６に一体形成され
た逆止弁では、上記のような衝撃的な圧力変動が生じて
もスプリング７が弁体６から分離することはなく、した
がって、これによってもさらに安定した逆止弁機能が保
持される。
【００５４】また、本実施形態においては、弁座４ｅに
接離する弁部として、弾性の大きなシールリング２１を
設けている。すなわち、弁座４ｅと弁部とが共にＰＦＡ
などの同一材質の合成樹脂から成る場合等には、例えば
衝撃的な閉弁動作が繰返されると、応力集中箇所に局部
的に塑性変形が生じてシール性が低下することがある。
そこで、一方を弾性の大きな材質で形成することで、上
記のような衝撃的な閉弁動作が繰返されても、応力集中
が緩和されて全周にわたる均一な圧接状態が保持される
ので、これによっても良好なシール性が維持される。
接離する弁部として、弾性の大きなシールリング２１を
設けている。すなわち、弁座４ｅと弁部とが共にＰＦＡ
などの同一材質の合成樹脂から成る場合等には、例えば
衝撃的な閉弁動作が繰返されると、応力集中箇所に局部
的に塑性変形が生じてシール性が低下することがある。
そこで、一方を弾性の大きな材質で形成することで、上
記のような衝撃的な閉弁動作が繰返されても、応力集中
が緩和されて全周にわたる均一な圧接状態が保持される
ので、これによっても良好なシール性が維持される。
【００５５】また、本実施形態の逆止弁は、イン側本体
４とアウト側本体５との間にリップシール部５ｇによる
一次シールと、溶接部２２による二次シールとを設けて
おり、これによって、完全に内部流体の漏れ止めを防止
することが可能となっている。特に、例えば半導体製造
工程において使用される薬液や純水は非常に純度が高
く、ゴミの噛み込み等による逆止弁の作動不良は殆ど生
じない。したがって、特に上記のように溶接を施して完
全な漏れ止めが得られる構造とすることで、半導体製造
工程や液晶製造工程等に好適な逆止弁として提供するこ
とができる。
４とアウト側本体５との間にリップシール部５ｇによる
一次シールと、溶接部２２による二次シールとを設けて
おり、これによって、完全に内部流体の漏れ止めを防止
することが可能となっている。特に、例えば半導体製造
工程において使用される薬液や純水は非常に純度が高
く、ゴミの噛み込み等による逆止弁の作動不良は殆ど生
じない。したがって、特に上記のように溶接を施して完
全な漏れ止めが得られる構造とすることで、半導体製造
工程や液晶製造工程等に好適な逆止弁として提供するこ
とができる。
【００５６】以上に、本発明の具体的な実施形態につい
て説明したが、本発明は上記各形態に限定されるもので
はなく、この発明の範囲内で種々変更することが可能で
ある。例えば上記では、ＰＦＡで各構成部品が形成され
る逆止弁を例に挙げたが、例えばＰＴＦＥや、ＥＴＦ
Ｅ、ＣＴＦＥ、ＥＣＴＦＥ等のその他の耐薬品性や耐熱
性に優れた特性を有する合成樹脂や、これらを組合せて
各構成部品を形成することも可能である。
て説明したが、本発明は上記各形態に限定されるもので
はなく、この発明の範囲内で種々変更することが可能で
ある。例えば上記では、ＰＦＡで各構成部品が形成され
る逆止弁を例に挙げたが、例えばＰＴＦＥや、ＥＴＦ
Ｅ、ＣＴＦＥ、ＥＣＴＦＥ等のその他の耐薬品性や耐熱
性に優れた特性を有する合成樹脂や、これらを組合せて
各構成部品を形成することも可能である。
【００５７】また上記では、両端にチューブ２・２が接
続される継手部を有するユニオン継手構造の逆止弁を例
に挙げたが、例えば一端側に管用テーパ雄ねじや雌ねじ
を有する構造の逆止弁にも本発明を適用して構成するこ
とが可能である。さらに実施形態２では、弁体６の先端
に装着されるシール部材として、Ｏリングから成るシー
ルリング２１を設けた構成を挙げたが、例えばゴムキャ
ップ等のその他の弾性の大きな部材でこのシール部材を
構成することが可能である。
続される継手部を有するユニオン継手構造の逆止弁を例
に挙げたが、例えば一端側に管用テーパ雄ねじや雌ねじ
を有する構造の逆止弁にも本発明を適用して構成するこ
とが可能である。さらに実施形態２では、弁体６の先端
に装着されるシール部材として、Ｏリングから成るシー
ルリング２１を設けた構成を挙げたが、例えばゴムキャ
ップ等のその他の弾性の大きな部材でこのシール部材を
構成することが可能である。
【００５８】
【発明の効果】以上のように、本発明の請求項１の逆止
弁においては、弁体の開弁方向の移動量を規制する弁体
移動量規制手段を設けて、スプリングに過度の圧縮変形
を生じさせない構成であるので、このスプリングが合成
樹脂製であっても応力緩和によるバネ力の低下が抑制さ
れ、これによって、弁体に対する閉弁方向の押圧力の低
下が抑えられて、安定した逆止弁機能を維持することが
できる。
弁においては、弁体の開弁方向の移動量を規制する弁体
移動量規制手段を設けて、スプリングに過度の圧縮変形
を生じさせない構成であるので、このスプリングが合成
樹脂製であっても応力緩和によるバネ力の低下が抑制さ
れ、これによって、弁体に対する閉弁方向の押圧力の低
下が抑えられて、安定した逆止弁機能を維持することが
できる。
【００５９】請求項２の逆止弁においては、スプリング
の径方向への変位を抑制するスプリング保持手段を設け
ているので、スプリングと弁体とに軸心方向のずれが生
じるのが抑えられ、この結果、閉弁時に弁体が逆止弁本
体の弁座に全周にわたってより均一に圧接した状態が維
持されるので、これによっても、閉弁時におけるシール
性が良好に維持される。
の径方向への変位を抑制するスプリング保持手段を設け
ているので、スプリングと弁体とに軸心方向のずれが生
じるのが抑えられ、この結果、閉弁時に弁体が逆止弁本
体の弁座に全周にわたってより均一に圧接した状態が維
持されるので、これによっても、閉弁時におけるシール
性が良好に維持される。
【００６０】請求項３の逆止弁においては、スプリング
を弁体に一体形成しているので、スプリングと弁体とに
軸心方向のずれが生じるのがさらに確実に抑えられて、
閉弁時のシール性がさらに良好に維持される。
を弁体に一体形成しているので、スプリングと弁体とに
軸心方向のずれが生じるのがさらに確実に抑えられて、
閉弁時のシール性がさらに良好に維持される。
【００６１】請求項４の逆止弁においては、弁体の閉弁
方向の先端に、弁体よりも弾性の大きなシール部材を装
着しているので、例えば衝撃的な閉弁動作が弁体に繰返
し生じる場合でも、逆止弁本体の弁座に圧接される上記
シール部材に局部的な塑性変形が生じることが抑えら
れ、したがって、これによっても閉弁時のシール性が良
好に維持される。
方向の先端に、弁体よりも弾性の大きなシール部材を装
着しているので、例えば衝撃的な閉弁動作が弁体に繰返
し生じる場合でも、逆止弁本体の弁座に圧接される上記
シール部材に局部的な塑性変形が生じることが抑えら
れ、したがって、これによっても閉弁時のシール性が良
好に維持される。
【００６２】請求項５の逆止弁においては、逆止弁本体
を構成する上流側本体と下流側本体との間にリップシー
ル部を設けており、このリップシール部に充分な面圧を
作用させてシールすることができるので、液漏れ等をよ
り確実に抑えることが可能となる。
を構成する上流側本体と下流側本体との間にリップシー
ル部を設けており、このリップシール部に充分な面圧を
作用させてシールすることができるので、液漏れ等をよ
り確実に抑えることが可能となる。
【００６３】請求項６の逆止弁においては、上流側本体
と下流側本体とを相互に溶接したシール構造としている
ので、液漏れ等がさらに確実に防止された逆止弁として
提供することができる。
と下流側本体とを相互に溶接したシール構造としている
ので、液漏れ等がさらに確実に防止された逆止弁として
提供することができる。
【００６４】請求項７の逆止弁においては、フッ素樹脂
から成ることによって耐食性や耐摩耗性等に優れ、ま
た、腐食性流体等が流れる場合でも金属溶出のない逆止
弁として提供することができる。
から成ることによって耐食性や耐摩耗性等に優れ、ま
た、腐食性流体等が流れる場合でも金属溶出のない逆止
弁として提供することができる。
【図１】本発明の一実施形態における逆止弁を示すもの
で、同図（ａ）は全体構成を示す外形図、同図（ｂ）は
断面図、同図（ｃ）は、この逆止弁に内装されている弁
体とスプリングとの斜視図、同図（ｄ）は開弁動作状態
を示す断面図である。
で、同図（ａ）は全体構成を示す外形図、同図（ｂ）は
断面図、同図（ｃ）は、この逆止弁に内装されている弁
体とスプリングとの斜視図、同図（ｄ）は開弁動作状態
を示す断面図である。
【図２】本発明の他の実施形態における逆止弁を示すも
ので、同図（ａ）は全体構成を示す断面図、同図（ｃ）
はこの上記逆止弁に内装されている弁体およびスプリン
グとシールリングとの斜視図、同図（ｄ）は開弁動作状
態を示す断面図である。
ので、同図（ａ）は全体構成を示す断面図、同図（ｃ）
はこの上記逆止弁に内装されている弁体およびスプリン
グとシールリングとの斜視図、同図（ｄ）は開弁動作状
態を示す断面図である。
【図３】従来の逆止弁の要部断面図である。
１ バルブ本体（逆止弁本体）
４ イン側本体（上流側本体）
５ アウト側本体（下流側本体）
５ｇ リップシール部
６ 弁体
７ スプリング
１２ スライド案内板（弁体移動量規制手段、スプリ
ング保持部） ２１ シールリング（シール部材）
ング保持部） ２１ シールリング（シール部材）
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F16K 15/00 - 15/20
F16K 1/00
F16K 27/02
Claims (7)
- 【請求項１】 内部に貫通する流路を有する合成樹脂製
の逆止弁本体と、上記流路に介装されてこの流路を開閉
する合成樹脂製の弁体と、この弁体を閉弁方向に押圧す
る合成樹脂製のスプリングとを備え、上記弁体にスプリ
ングの押圧力を超える開弁方向の流体圧が作用したと
き、スプリングが圧縮されながら弁体が開弁方向に移動
して上記流路を開くように形成した、半導体製造装置内
の配管用の逆止弁であって、 スプリングに全圧縮が生じないように弁体の開弁方向の
移動量を規制する弁体移動量規制手段を設けており、 弁体基部が、後方に向かって径小となる逆テーパ状の円
錐台部を有する形状であり、 円錐台部の外周面における周方向等間隔の位置に、弁体
移動量規制手段を構成する複数のスライド案内板が、径
方向外方に突出して後方に延びる形状で一体形成されて
おり、 各弁体移動量規制手段の後方端における各軸心側を、ス
プリングのバネ端部によって周方向に相互に連接して い
ることを特徴とする逆止弁。 - 【請求項２】 スプリングの径方向への変位を抑制する
スプリング保持手段を設けていることを特徴とする請求
項１の逆止弁。 - 【請求項３】 スプリングを弁体に一体形成しているこ
とを特徴とする請求項１又は２の逆止弁。 - 【請求項４】 弁体における閉弁方向の先端に、弁体よ
りも弾性の大きなシール部材を装着していることを特徴
とする請求項１、２又は３の逆止弁。 - 【請求項５】 逆止弁本体を流路方向に沿って上流側本
体と下流側本体とに分割形成すると共に、これら上流側
本体と下流側本体との流路方向に相対面する箇所にリッ
プシール部を設けていることを特徴とする請求項１から
４のいずれかの逆止弁。 - 【請求項６】 逆止弁本体を流路方向に沿って上流側本
体と下流側本体とに分割形成し、これら上流側本体と下
流側本体との流路方向に相対面する面間の外周側を溶接
してシールしていることを特徴とする請求項１から５の
いずれかの逆止弁。 - 【請求項７】 前記合成樹脂がフッ素樹脂であることを
特徴とする請求項１から６のいずれかの逆止弁。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36900499A JP3369523B2 (ja) | 1999-12-27 | 1999-12-27 | 逆止弁 |
| US09/714,467 US6564828B1 (en) | 1999-12-27 | 2000-11-16 | Check valve |
| DE60024047T DE60024047T2 (de) | 1999-12-27 | 2000-12-22 | Rückschlagventil |
| EP00311662A EP1113205B1 (en) | 1999-12-27 | 2000-12-22 | Check valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36900499A JP3369523B2 (ja) | 1999-12-27 | 1999-12-27 | 逆止弁 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001182852A JP2001182852A (ja) | 2001-07-06 |
| JP3369523B2 true JP3369523B2 (ja) | 2003-01-20 |
Family
ID=18493316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36900499A Expired - Lifetime JP3369523B2 (ja) | 1999-12-27 | 1999-12-27 | 逆止弁 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6564828B1 (ja) |
| EP (1) | EP1113205B1 (ja) |
| JP (1) | JP3369523B2 (ja) |
| DE (1) | DE60024047T2 (ja) |
Cited By (1)
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