TWI432665B - Connection of Fluid Machinery and Joint - Google Patents

Description

流體機械與接頭之連接構造

本發明是關於泵、閥、蓄壓器等流體機械與軟管或配管等接頭之連接構造，詳細地說是關於藉由流體機械的流體供排道周圍部份與流體用接頭之嵌合連結，使供排道和形成在上述接頭的流路成為連通連接的流體機械與接頭之連接構造。

例如：半導體或液晶面板製造裝置所採用的洗淨用藥液移送用流體系統中，為了防止混入在洗淨液或藥液等流體路徑的雜質侵入泵內部造成故障或損傷，較多的狀況是於藥液移送方向在泵上游側設有濾器。

上述的習知例，已知有專利文獻1(日本特開2006-49756號公報)所揭示之藥液供應系統相關的構造。即，於專利文獻1的第1圖中，可理解到圖號14所示為濾器，其是配置在圖號11所示之泵的藥液流動方向上游側。

如上述習知例所示，當流體供應系統中以獨立機械設置濾器時，需要濾器的設置空間因此有裝置大型化的缺點，除此之外，使用壽命等因素造成更新時濾器大部份的狀況為總成組合件更換，以致也需要重視其對於運轉成本不利的影響。

此外，流體的供應系統總是難免令人擔心流體會從連接部洩漏，可是當濾器為其中之一構件的構成時對於其供排部分別需要有各自與配管等的連接部，以致也會有忘記施工等主因造成流體從連接部洩漏之擔心部位增加的缺點。

本發明之目的，是著重於上述藥液供應系統等流體系統或裝置的流體機械與接頭之連接構造，對構造加以檢討並研究，藉此提供一種可使濾器等功能零件一體裝備在該連接部，可盡可能減少上述缺點的流體機械與接頭之連接構造。

本發明相關的流體機械與接頭之連接構造，是一種藉由流體機械P的流體供排道1周圍部份3與流體用接頭T的嵌合連結，使上述供排道1和形成在上述接頭T的流路4成為連通連接的流體機械與接頭之連接構造，其特徵為，可使流動在上述流體機械P和上述接頭T之間的流體通過且對該流體進行作用的功能零件5，是在由上述周圍部份3和上述接頭T的雙方所密封之狀態下以跨該等周圍部份3和接頭T的狀態安裝在周圍部份3和接頭T之間的同時，在上述流體機械P和上述接頭T的嵌合狀態下可構成密封部Sm之彼此嵌合的環狀溝槽6和環狀突起7，是分開形成在上述流體機械P和上述接頭T。

本發明相關的流體機械與接頭之連接構造，其特徵為，以可使上述環狀突起7的內圍面7A和上述環狀溝槽6的外圍面6A，及上述環狀突起7的外圍面7B和上述環狀溝槽6的內圍面6B分別成為緊密嵌合的狀態壓入上述環狀突起7和上述環狀溝槽6的同時，上述環狀突起7的內圍面7A和上述環狀溝槽6的外圍面6A之餘隙d1是設定成比上述環狀突起7的外圍面7B和上述環狀溝槽6的內圍面6B的餘隙d2還大。

本發明相關的流體機械與接頭之連接構造，其特徵為，上述功能零件5，是構成為形成在上述周圍部份3的環狀端壁21和形成在上述接頭T的環狀端壁17之間所壓接夾持的環狀構件。申請專利範圍第3項相關的發明，是於申請專利範圍第2項所記載的流體機械與接頭之連接構造中，其特徵為，上述功能零件5，是構成為形成在上述周圍部份3的環狀端壁21和形成在上述接頭T的環狀端壁17之間所壓接夾持的環狀構件。

本發明相關的流體機械與接頭之連接構造，其特徵為，一對的上述環狀端壁17、21當中上述環狀溝槽6存在側即環狀溝槽側環狀端壁21和上述功能零件5，是於上述流體機械P與上述接頭之嵌合連結狀態下，凹凸嵌合成可限制上述環狀溝槽側環狀端壁21倒往徑內側。

本發明相關的流體機械與接頭之連接構造，其特徵為，上述環狀溝槽6是形成在上述流體機械P，上述環狀突起7是形成在上述接頭T。

本發明相關的流體機械與接頭之連接構造，其特徵為，上述功能零件5，是構成為由安裝在上述兩環狀端壁17、21間的環狀框架25A和支撐在該環狀框架25A且位於其徑內側的網眼構件25B所形成的濾器。

根據本發明相關的流體機械與接頭之連接構造，只要組裝流體機械和接頭，就能夠使功能零件以密封狀態一體組裝在該連接構造部位的流路部份，因此不需要功能零件專用的設置空間。基於此，就能夠消除因需要功能零件設置空間而造成裝置大型化的所謂以獨立機械設置功能零件時的缺點(習知缺點)。接著，功能零件因是安裝在流體機械和接頭之間的構成，因此使用壽命等造成要更換時只要更換功能零件單項品即可，與一體組裝有不能分解之功能零件的流體機械(例如，過濾裝置)之總成組合件更換的習知例相比，能夠降低成本(運轉成本)。

此外，功能零件是以密封狀態裝備在流體機械和接頭，所以又具有不會造成功能零件缺置部位增加的優點。其結果，藉由著重於藥液供應系統等流體系統或裝置的流體機械與接頭之連接構造，對構造加以檢討並研究，能夠提供一種可使濾器等功能零件一體裝備在該連接部，盡可能減少上述缺點的流體機械與接頭之連接構造。

根據本發明相關的流體機械與接頭之連接構造，彼此嵌合形成密封部的環狀溝槽和環狀突起的尺寸是設定成可使該嵌合部的內外圍各自成為尺寸緊密嵌合(強制嵌合)的狀態，因此與例如只有將內外圍的任一方為緊密嵌合構造就構成為嵌合部全體壓入的手段相比，其優點是只要將環狀溝槽或環狀突起朝徑內側或徑外側稍微變形就可獲得充分壓入量，能夠使環狀溝槽或環狀突起的耐久性或密封性成為良好。

根據本發明相關的流體機械與接頭之連接構造，功能零件是周圍部份的環狀端壁和接頭的環狀端壁之間所壓接夾持的環狀構件，因此能夠順利組入作為流體流路最佳剖面圓形的流路具有優越泛用性的同時，具有容易製作且生產性佳的優點。

根據本發明相關的流體機械與接頭之連接構造，環狀溝槽側環狀端壁和功能零件是凹凸嵌合著，所以就能夠限制環狀溝槽側環狀端壁倒往徑內側能夠維持環狀溝槽和環狀突起的良好嵌合狀態，只要單純將零件構件組入在流體機械和接頭之間，不需特別操作，就能夠提供可長期維持良好密封性更高品質的連接構造。

根據本發明相關的流體機械與接頭之連接構造，具有下述效果。即，可使環狀溝槽和環狀突起緊密嵌合的構造，長期下來，會有徑方向厚度難以充分取得以致構成為較薄的環狀突起較容易先磨損或變形的傾向。因此，將該使用壽命較差的環狀突起設置在較小的零件並且有利於成本的接頭，如此一來要更換時不用更換流體機械只要更換接頭即可，因此具有能夠減輕使用者負擔的優點。

根據本發明相關的流體機械與接頭之連接構造時，在流體機械和接頭之間裝備環狀的濾器，因此其優點是對於厭惡垃圾或雜質侵入的泵(流體機械)與接頭之連接連結可獲得最佳的構成。

[發明之最佳實施形態]

以下，一邊參照圖面一邊說明本發明的流體機械與接頭之連接構造的實施形態。第1圖至第4圖分別為表示泵與接頭之連接構造的組裝狀態側面圖、分解狀態側面圖、要部放大圖、剖面透視圖。第5、6圖分別為表示密封部的另一構造局部圖，第7、8圖分別為表示濾器製造方法的作用圖，第9圖為表示節流器(orifice)剖面圖。

[實施例1]

實施例1的流體機械與接頭之連接構造，如第1圖至第3圖所示，藉由將泵P的一對藥液(流體的一例)供排道1、2當中的供應道(流入口)1周圍部份3與接頭T的嵌合連結，使供應道1和形成在接頭T的流路4成為連通連接，即所謂的泵P與接頭T之連接構造。可讓從接頭T流至泵P的藥液通過且對該藥液進行淨化作用的濾器(「功能環體」的一例)5，是在由周圍部份3和接頭T雙方所密封之狀態下以跨該等周圍部份3和接頭T的狀態安裝在周圍部份3和接頭T之間的同時，在泵P和接頭T的嵌合狀態下構成密封部Sm之彼此嵌合的環狀溝槽6和環狀突起7是分開形成在泵P和接頭T。

泵P，如第1圖、第2圖所示，具有開口在呈矩形形狀的泵體8側面8a的供應道1及排出道2。供應道1是可透過接頭T連結有供應側配管11，排出道2可透過接頭T連結有排出側配管12。泵體8的供應道1的周圍部份3和接頭T之間，及泵體8的排出道2的周圍部份9和接頭T之間，分別安裝有上述的濾器5。該等供排道1、2與接頭T之間的各連接部1R、2R的構造是彼此相同，該連接構造的細部是以供應側的連接部1R為例子進行下述說明。

在說明供應側的泵P與接頭T之連接部1R的構造之前，首先針對各零件或各部進行說明。接頭T，如第1圖至第3圖所示，其構成具有可形成具軸心X之藥液流動用內部流路4的接頭體10、內圈13、聯接螺帽14及止轉螺栓15。接頭體10的泵側外圍形成有外螺紋10a，及外螺紋鎖緊用的階差壁10b，前端形成有朝軸心X方向延伸的環狀突起7。

接著，環狀突起7的延續內圍部，形成有可使濾器5內嵌的內圍面即內嵌合部16，及可在軸心X方向承接濾器5的環狀端壁17。內部流路4是形成為由：與供應側配管11的內徑同徑的主流路4a；已壙徑的泵側的連接流路4b；連接該等兩流路4a、4b的錐形流路4c所構成的階差流路。另，各配管11、12，其一例為含氟樹脂製的軟管，但也可以是其他的材質。

泵P的周圍部份3，具有：內徑與接頭T的連接流路4b同徑且可延續供應道1的接收流路19；延續接收流路19，並且，在外部開口的同時，具有內螺紋20a可自由螺合於接頭T之外螺紋10a的開口內圍部20；於接收流路19的徑外側部位以在開口內圍部20開口的狀態形成的上述環狀溝槽6；及形成在環狀溝槽6開口部徑內側的環狀端壁21。

濾器5，如第1圖至第3圖所示，構成為由：安裝在接頭側環狀端壁17和泵側環狀端壁21之間的合成樹脂[含氟樹脂(PFA)等]製環狀框架5A；及支撐在該環狀框架5A位於其徑內側的一對網眼構件5B、5B所形成的軸心X方向長度短的圓筒形零件。

接著，針對濾器5的製造方法進行說明時，首先如第7A圖所示，進行第1步驟即準備好一對具有多數縱向及橫向棧材22、23的合成樹脂[含氟樹脂(PFA)等]製網眼構件5B，及具有角剖面形狀的圓筒形狀環狀框架5A。其次，如第7B圖所示，進行第2步驟即是將網眼構件5B配置成分別覆蓋著環狀框架5A的表面和背面，然後進行第3步驟即夾住該等三者5B、5A、5B進行加熱加壓使環狀框架5A和各網眼構件5B熱熔黏接。接著，進行第4步驟即是在第8A圖所示的熱熔黏接狀態下，去除各網眼構件5B當中從環狀框架5A突出在徑外側的部份。經由第4步驟去除網眼構件的多餘部份後，就可完成第8B圖所示的濾器5。

接著，在使接頭T與泵P連結時，如第4圖所示的排出道2側的連接部2R所示，為讓濾器5可進入內嵌合部16將該濾器5成為夾在內嵌合部16和開口內圍部20之間的狀態，在該狀態下將接頭體10的外螺紋10a螺合在周圍部份3的內螺紋20a，並且，進行旋轉鎖緊。利用該螺合鎖緊，就能夠使連接部2R成為第1圖或第4圖的供應側連接部1R所示的組裝狀態。即，於供應側的連接部1R的組裝狀態下，濾器5是被壓接夾持於形成在周圍部份3的環狀端壁21和形成在接頭T的環狀端壁17之間。

於供應側連接部1R，如第3圖及第4圖所示，以大致齒輪狀形成在接頭體10外圍的卡合凹部10c其中之一，從軸心X方向看是以吻合於形成在泵體8側面的螺帽部8n螺裝有止轉螺栓15使接頭T成為止轉(防鬆)狀態，以階差壁10b抵接於側面8a結束接頭體10的鎖緊。於該組裝狀態，濾器5的環狀框架5A的兩側面5a、5a是由兩環狀端壁17、21壓接夾持在軸心X方向，分別形成有接頭側環狀端壁17和側面5a的壓接所造成的接頭側密封部St，及泵側環狀端壁21和側面5a的壓接所造成的泵側密封部Sp。該等的壓接是成為接頭體10旋轉螺入同時形成的摩擦壓接，因此能夠獲得良好的密封性。

接著，如第1圖至第3圖所示，經由接頭T的環狀突起7壓入泵P的環狀溝槽6又形成有主密封部Sm。環狀溝槽6的軸心X方向的深度(長度)是設定成足以使其與環狀突起7的前端周圍面7a之間存在有軸心X方向的間隙k的深度(長度)尺寸。如第3圖所示，環狀突起7的內圍面7A的徑t1是設定成比環狀溝槽6的外圍面6A的徑m1還稍微小(t1<m1)，並且，環狀突起7的外圍面7B的徑t2是設定成比環狀溝槽6的內圍面6B的徑m2還稍微大(t2>m2)，藉此使形成主密封部Sm的環狀突起7可壓入環狀溝槽6。但是，環狀突起7的內圍面直徑t1與環狀溝槽6的外圍面直徑m1的直徑差(d1=m1-t1)，是比環狀突起7的外圍面直徑t2與環狀溝槽6的內圍面直徑m2的直徑差(d2=t2-m2)還大(d1>d2)。

即，如第3圖所示，環狀突起7藉由強制被送入環狀溝槽6，使其內圍面7A和外圍面7B的雙方以徑方向壓縮狀態被壓入，由該環狀突起7和環狀溝槽6的軸心X方向具有充分長度的壓入嵌合構成主密封部Sm。另，環狀突起7壓入量大的一側即內徑側的前端部，形成有切斷成斜面的傾斜內面部18，藉此使接頭體10旋轉進入時的環狀突起7進入環狀溝槽6時的進入可容易順暢進行。另，第3圖中，內外的壓入量即直徑差d1、d2，為了圖面上容易理解是加以誇張繪製。

然而，接頭T和各配管11、12的連接構造，如第2圖所示，藉由聯接螺帽14的鎖入，可形成有內圈13的圓筒狀密封部13a和接頭體10的圓筒狀溝槽部10m所形成的一次密封部s1，及內圈13的環狀密封端面13b和接頭體10的突出內端面10t所形成的二次密封部s2，及接頭體10的傾斜密封面10k和配管11、12外圍密封面q所形成的三次密封部s3，係屬習知(例如參照日本特開平10-54489號公報)技術，於此省略詳細說明。

[實施例2]

實施例2的流體機械與接頭之連接構造的要部如第5圖所示。該實施例2的連接部1R，如第5A圖所示，於各環狀端面17、21形成有朝軸心X方向突出的剖面三角形狀環突起17a、21a，除此之外其他是和實施例1的連接部1R、2R相同。另，為了圖面上方便理解，第5圖中，誇張繪製環突起17a、21a。

即，從第5A所示的組裝前狀態(分解狀態)旋轉鎖入接頭體10成為第5B圖所示的組裝狀態時，各環突起17a、21a多少會受到壓縮，以致使濾器5的環狀框架5A的兩端壁5a、5a凹陷變形，成為恰如嵌合般的貫入狀態，在接頭側密封部St和泵側密封部Sp獲得更高的密封性。於該狀況，若事先將泵體8和接頭體10形成比環狀框架5A還硬的材料時，就有利於鎖入時可讓環狀框架5A容易變形。構造上，雖然也可在濾器5設有環突起17a、21a，但從各密封部Sp、St的使用壽命所伴隨的零件更換角度來看，採用如第5圖所示將環突起17a、21a形成在泵體8和接頭體10的手段是較為上策。

此外，泵側的環突起21a貫入環狀框架5A可獲得具有下述效果的優點。即，環狀突起7壓入環狀溝槽6，可使溝槽內圍側部份6N變形倒向徑內側(軸心X側)，雖然還是會擔心其對主密封部Sm的密封性造成不良影響，但環突起21a對環狀框架5的貫入，可抑制或阻止溝槽內圍側部份6N倒向徑內側，能夠達到主密封部Sm所期待的功能可確保良好的密封性。

[實施例3]

實施例3的流體機械與接頭之連接構造的要部如第6圖所示。該實施例3的連接部1R，如第6A圖所示，於各環狀端面17、21形成有朝軸心X方向突出的剖面三角形狀環突起17a、21a，並且，於環狀框架5A的兩側面5a、5a形成有朝軸心X方向凹入的剖面三角形狀環溝槽5m、5m，除此之外其他是和實施例1的連接部1R、2R相同。於該狀況，環溝槽5m、5m的剖面尺寸，如第6B圖的假想線所示，形成為比環突起17a、21a的剖面尺寸還若干(稍微)小。

即，從第6A圖所示的組裝前狀態(分解狀態)旋轉鎖入接頭體10成為第6B圖所示的組裝狀態時，各環突起17a、21a和對應的環溝槽5m、5m一邊受到壓接一邊成緊密嵌合，使接頭側密封部St和泵側密封部Sp的密封性提高。於該狀況，在環突起17a、21a部位的壓接力應該是實施例2的比較強，但該實施例3的構造，基於環溝槽5m的形成，可使連接部1R組裝導致的環突起17a、21a的壓入所造成的環狀框架5A的變形比實施例2的狀況還輕微，因此就能夠使濾器5長壽命化。此外，各環突起17a、21a的變形也會比實施例2的狀況還輕微，因此又具有可使接頭體10或泵體8長壽命化的優點。

再加上，環狀溝槽6存在側即環狀溝槽側環狀端壁21和濾器5，於泵P與接頭T之嵌合連結狀態(第6B圖的狀態)下，凹凸嵌合著環突起21a和環溝槽5m，所以具有可抑制環狀溝槽側環狀端壁21倒向徑內側的優點。該優點本身是和實施例2相同，但實施例2的狀況，是不確定環突起21a是否會如第5B圖所示均衡貫入環狀框架5A，相對於此，實施例3的手段是在環狀框架5A形成有環溝槽5m，所以能夠準確使環突起21a貫入環狀框架5A，因此其優點是能夠如願防止環狀溝槽側環狀端壁21倒往徑內側。

根據上述的構成，只要組裝接頭T與泵體8之連接部1R，就能以密封狀態一體組裝濾器5，不需要濾器專用的設置空間。如此一來，就能夠消除因需要濾器設置空間而造成裝置大型化所謂流體供應系統中以獨立機械設置濾器時的缺點。接著，濾器5是以夾在接頭體10的端面和泵體8的端面之間成為位置保持的構造，所以更換時只要更換濾器5單項品即可，此與網眼構件不能分解地組入成一體之過濾裝置的總成組合件更換之習知例相比，還可降低成本(運轉成本)。又加上，濾器5是裝備在接頭T與泵P之主密封部Sm的徑內側，所以又具有不會造成濾器5缺置部位增加的優點。

[另一實施例]

連接構造(連接部1R、2R)，也可構成為分別在接頭T的接頭體10及泵等流體機械P形成有環狀突起7，接著是於濾器等功能零件5形成有環狀溝槽6，於該狀況時，濾器等功能零件5主要是成為可內裝在流體機械P的構造。此外，功能零件5，如第9圖所示，也可以是具有一對大徑開口部26、26和一對錐形道25、25及小徑道24的節流器(orifice)或濾網(strainer)(省略圖示)等各種裝置。

1．．．供應道

1R．．．連接部

2．．．排出道

2R．．．連接部

3．．．周圍部份

4．．．流路(內部流路)

4a．．．主流路

4b．．．連接流路

4c．．．錐形流路

5．．．功能零件(濾器)

5A．．．環狀框架

5B．．．網眼構件

5a．．．側面

5m．．．環溝槽

6．．．環狀溝槽

6A．．．外圍面

6B．．．內圍面

6N．．．溝槽內圍側部份

7．．．環狀突起

7A．．．外圍面

7B．．．內圍面

7a．．．前端周面

8．．．泵體

8a．．．側面

8n．．．螺帽部

9．．．周圍部份

10．．．接頭體

10a．．．外螺紋

10b．．．凸螺紋鎖緊用的段差壁

10c．．．卡合凹部

10k．．．傾斜密封面

10m．．．圓筒狀溝槽部

10t．．．突出內端面

11．．．配管

12．．．配管

13．．．內圈

13a．．．圓筒狀密封部

13b．．．環狀密封前面

14．．．聯接螺帽

15．．．止轉螺栓

16．．．內嵌合部

17．．．環狀端壁

17a．．．環突起

18．．．傾斜內面部

19．．．接收流路

20．．．開口內圍部

20a．．．內螺紋

21．．．環狀端壁

21a．．．環突起

22．．．縱向棧材

23．．．橫向棧材

24．．．小徑道

25．．．錐形道

26．．．大徑開口部

K．．．軸心方向的間隙

q．．．配管11、12外圍密封面

t1．．．內圍面7A的徑

t2．．．外圍面7B的徑

m1．．．外圍面6A的徑

d1．．．餘隙(內圍面直徑t1和外圍面直徑m1的直徑差)

d2．．．餘隙(外圍面直徑t2和內圍面直徑m2的直徑差)

s1．．．一次密封部

s2．．．二次密封部

s3．．．三次密封部

T．．．接頭

P．．．流體機械(泵)

Sm．．．密封部(主密封部)

St．．．接頭側密封部

Sp．．．泵側密封部

X．．．軸心

第1圖為表示泵與接頭之連接構造的局部切剖後的側面圖(實施例1)。

第2圖為表示供應側連接構造的詳細分解剖面圖。

第3圖為第1圖連接部的要部放大剖面圖。

第4圖為第1圖配管與泵供排部之連接部斜方向看的概略剖面透視圖。

第5圖為表示密封部的另一構造剖面圖，第5A圖表示組裝前的剖面圖，第5B圖為表示組裝後的剖面圖。

第6圖為表示密封部的又另一構造透視圖，第6A圖表示組裝前的剖面圖，第6B圖為表示組裝後的剖面圖。

第7圖為表示濾器的製造方法，第7A圖表示第1步驟，第7B圖為表示第2、3步驟。

第8圖為表示濾器的製造方法，第8A圖表示第4步驟，第8B圖為表示製造完成的濾器。

第9圖為功能零件的另一構造剖面圖。

1．．．供應道

1R．．．連接部

2．．．排出道

2R．．．連接部

3．．．周圍部份

4．．．流路(內部流路)

5．．．功能零件(濾器)

5A．．．環狀框架

5B．．．網眼構件

7．．．環狀突起

8．．．泵體

8a．．．側面

9．．．周圍部份

10．．．接頭體

10a．．．外螺紋

10c．．．卡合凹部

11．．．配管

12．．．配管

13．．．內圈

14．．．聯接螺帽

15．．．止轉螺栓

P．．．流體機械(泵)

T．．．接頭

Sm．．．密封部(主密封部)

Sp．．．泵側密封部

St．．．接頭側密封部

X．．．軸心

Claims (4)

1. 一種流體機械與接頭之連接構造，係藉由流體機械的流體供排道周圍部份與流體用接頭的嵌合連結，使上述流體的供排道和形成在上述接頭的流路成為連通連接的流體機械與接頭之連接構造，上述構造在具備流體機械與接頭的連接構造，進一步地，具備濾器，上述濾器可使跨上述流體機械和上述接頭之間流動的流體通過且對該流體進行過濾作用，並且在由上述周圍部份和上述接頭的雙方所密封之狀態下以跨該等周圍部份和接頭的狀態安裝在周圍部份和接頭之間的流體機械與接頭的連接構造，其特徵為：構成密封部之彼此嵌合的環狀溝槽和環狀突起，是分開形成在上述流體機械和上述接頭，內嵌合部係形成在於環狀突起連續的內圍面，上述濾器嵌合在內嵌合部，並且為構成為形成在上述周圍部份的環狀端壁和形成在上述接頭的環狀端壁之間所壓接夾持的環狀構件。
2. 如申請專利範圍第1項所記載的流體機械與接頭之連接構造，其中，是以可使上述環狀突起的內圍面和上述環狀溝槽的外圍面，及上述環狀突起的外圍面和上述環狀溝槽的內圍面分別成為緊密嵌合的狀態壓入上述環狀突起和上述環狀溝槽的同時，將上述環狀突起的內圍面和上述環狀溝槽的外圍面之餘隙設定成比上述環狀突起的外圍面和上述環狀溝槽的內圍面餘隙還大。
3. 如申請專利範圍第1項所記載的流體機械與接頭之連接構造，其中，上述環狀端壁和上述濾器，是於上述流體機械與上述接頭之嵌合連結時，凹凸嵌合成可限制上述環狀端壁倒往徑內側。
4. 如申請專利範圍第1至3項任一項所記載的流體機械與接頭之連接構造，其中，上述濾器，是構成為由安裝在上述兩環狀端壁間的環狀框架和支撐在該環狀框架且位於其徑內側的網眼構件所形成的濾器。