KR0177533B1 - 배관용 필터 - Google Patents

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피. 휘트록 마이클
에이. 배어 제임스
히데노리 나카야마
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길버트 피. 와이너
폴 코오포레이션
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Abstract

배관용 필터는 기부의 양단 사이에 형성된 제1벽부와 제2벽부를 갖는 중공형 기부와 기부 상에 설치된 필터 요소를 포함한다. 사용 시에, 필터의 기부는 표준적인 배관 컨넥터의 내부에 설치되며 양 벽부는 배관 컨넥터에 의해 탄성적으로 변형되어 벽부의 표면이 가압되어 배관 컨넥터와 내부 표면과 밀봉성 접촉을 한다. 기부에 연결된 필터 요소는 배관 컨넥터 및/또는 배관 컨넥터가 부착되는 관 내에 설치된다. 본 발명의 다른 형태에 의하면, 필터 요소가 방사상으로 외측을 향해 연장되어 있는 플랜지를 갖는 중공형 기부를 포함한다 환형의 밀봉 부재가 플랜지 상에 설치되어 있고, 필터 요소는 기부 상에 설치되어 있다. 사용 시에, 필터의 기부는 표준적인 배관 컨넥터 내에 설치되고, 밀봉 부재는 가압되어 배관 컨넥터의 내면 및 플랜지와 밀봉성 접촉을 하게 된다.

Description

배관용 필터
제1도는 본 발명에 따른 필터의 한 실시예의 종단면도.
제2도는 본 발명에 따른 필터가 채용될 수 있는 한 형식의 종래의 배관 컨넥터의 종단면도.
제3도는 필터의 기부가 압축된 상태로 제2도의 배관 컨넥터 내에 위치한 제1도의 필터의 종단면도.
제4도는 압축되지 않은 상태로 종래의 배관 컨넥터 내에 위치한 본 발명의 다른 실시예의 일부에 대한 종단면도.
제5도는 제4도의 실시예의 일부에 대한 확대 종단면도.
제6도는 압축된 상태의 제4도의 실시예에 대한 종단면도.
제7도는 배관 컨넥터 내에 위치한 본 발명의 다른 실시예의 일부에 대한 종단면도.
제8a도와 제8b도는 제7도의 실시예의 필터 기부의 일례에 대한 단면도.
제9도와 제10도는 제7도의 실시예의 필터 기부의 다른 예의 일부에 대한 단면도로서, 밀봉 부재가 기부 상에 설치되는 방식을 도시한 단면도.
제11도와 제12도는 제7도의 실시예의 필터 기부의 또 다른 예의 일부에 대한 단면도.
제13도와 제14도는 제7도의 실시예의 필터 기부의 또 다른 예의 일부에 대한 단면도.
제15도는 배관 컨넥터에 설치된 본 발명의 다른 실시예의 일부에 대한 종단면도.
제16도는 다른 형식의 종래의 배관 컨넥터에 설치된 제7도의 실시예에 대한 종단면도이고,
제17도는 배관 컨넥터에 설치된 본 발명의 다른 실시예에 대한 종단면도이다.
본 발명은 배관용 필터에 관한 것으로, 특히 반도체 제조에 사용되는 가스를 이송하는 배 관용으로 설계된 표준적인 배관 컨넥터와 같이 사용될 수 있는 배관용 필터에 관한 것이다.
반도체 제조에는 여러 가지 가스가 사용된다. 가스 내의 미립자 물질이 제조 중인 반도체에 결함을 가져올 수 있기 때문에, 가스는 고도의 순도를 갖는 것이 중요하다. 따라서, 이와 같은 가스를 이송하는 배관 라인을 따라 배관용 미립자 필터를 설치하는 것이 일반적이다.
배관용 필터란 직선의 유동로(입구, 필터 요소와 필터의 출구가 동일축 상에 있음)를 가지며, 배관 라인에 쉽게 설치되는 필터를 말한다.
배관 라인에 사용되는 종래의 배관용 필터는 양단에 연결부를 갖는 관 모양의 본체를 갖는 스풀(spool) 모양의 핏팅(fitting)과 핏팅 내부에 용접된 필터 요소를 포함한다. 사용에 있어서, 스풀 모양의 핏팅은 접합될 양쪽 관의 단면부 사이에 놓여지며, 핏팅의 양단은 양쪽 관의 단면부에 설치되는 표준적인 배관 컨넥터의 양 반부에 기밀(氣密)하게 연결된다.
이런 형식의 배관용 필터는 몇 가지 단절을 갖는다. 그 하나는 스풀 모양의 핏팅의 길이 때문에 상기 필터가 배관 라인의 길이를 증가시키며, 따라서 기존 배관 라인을 개조 설치하는 것이 어렵거나 불가능할 수 있다. 더욱이, 스풀 모양의 핏팅의 양단에서 접합이 이루어지기 때문에, 배관 라인에서 연결부의 수는 배관용 필터가 없는 경우보다 더 많으며, 따라서, 오염과 누설이 가능한 부위의 수도 증가한다.
따라서, 본 발명은 매우 압축되어 있어서, 설치되는 배관 라인의 길이를 증가시키지 않는 배관용 필터를 제공한다.
본 발명은 또한 여러 가지 형식의 표준적인 배관 컨넥터와 함께 사용될 수 있으며, 배관 라인에 간단히 설치될 수 있는 배관용 필터를 제공한다.
본 발명은 제조하기에 경제적인 배관용 필터를 아울러 제공한다.
본 발명은 또한 본 발명에 따른 필터를 채용한 배관용 컨넥터 조립품을 제공한다.
본 발명의 한 형태에 따른 필터는 제1 및 제2의 부분을 갖는 배관 컨넥터 내에 설치되도록 마련되며, 제1 및 제2의 개단부와 양단부 사이에 형성된 제1 및 제2의 벽부를 갖는 중공형 기부로서, 양 컨넥터부가 함께 조여지기 전에는 양 벽부가 상호간 제1 거리로 이격되는 제1 위치와 양 컨넥터부가 함께 조여진 후에는 양 벽부가 양 컨넥터부에 대해 밀봉되며 상호간의 제2 거리로 이격되는 제2 위치 사이에서 양 벽부가 변형될 수 있는 중공형 기부; 및 기부 상에 설치된 필터 요소를 포함한다.
본 발명의 다른 형태에 따른 필터는 절삭된 모서리 면을 갖는 제1 컨넥터부와, 제1 컨넥터부와 결합된 제2 컨넥터부를 갖는 배관 컨넥터 내에 설치되도록 마련되며, 제1 및 제2의 개단부를 가지며 제1 및 제2의 컨넥터부가 함께 조여질 때 제1 컨넥터부의 절삭 및 모서리 면에 대해 기밀하게 변형될 수 있는 중공형 기부; 및 기부 상에 설치되는 필터 요소를 포함한다.
본 발명의 또 다른 형태에 따른 필터는 제1 및 제2 컨넥터부를 갖는 배관 컨넥터 내에 설치되도록 마련되며, 중심선 및 방사상으로 외측을 향해 연장된 플랜지를 갖는 중공형 기부; 양 컨넥터부가 함께 조여져 플랜지 및 제1 컨넥터부와 기밀하게 접촉할 때, 적어도 제1 컨넥터부에 대해 변형될 수 있는, 플랜지 상에 설치되는 탄성의 밀봉 링; 및 기부상에 설치되는 필터 요소를 포함한다.
본 발명에 따른 배관 컨넥터 조립품은 제1 중공형 내공과 제1 단부면을 갖는 제1 컨넥터부, 제1 중공형 내공과 등축 상에 있는 제2 중공형 내공을 가지며 제1 단부면과 대면하는 제2 단부면을 갖는 제2 컨텍터부 및 양 단부면 사이에 밀봉이 이루어지도록 제1 및 제2의 단부면 사이에 위치하는 밀봉 부재를 포함하는 배관 컨넥터: 배관 컨넥터 내에서 제1 및 제2 컨렉터부 사이에 위치하며, 중심선, 제1 및 제2의 개단부, 및 탄성적으로 변형되어 각각 제1 및 제2 컨넥터부와 밀봉성 접촉을 하도록 양 단부 사이에 형성되고 어떤 간격으로 이격되어 있는 제1 및 제2의 벽부를 갖는 중공형 필터 기부: 및 기부 상에 설치된 필터 요소를 포함한다
본 발명의 다른 형태에 따른 배관 컨넥터 조립품은 제1 중공형 내공 및 제1 단면부를 갖는 제1 컨넥터부; 제1 중공형 내공과 동축 상에 있는 제2 중공형 내공, 및 제1 단부면과 대면하는 제2 단부면을 갖는 제2 컨넥터부; 양 컨넥터부 사이에 위치하며, 중심선 및 방사상으로 외측을 향해 연장된 플랜지를 갖는 중공형 기부; 플랜지 상에 설치되고 플랜지 및 제1 단부면과 밀봉성 접촉을 하도록 가압된 탄성의 밀봉 링; 및 기부상에 설치된 필터 요소를 포함한다.
본 발명에 따른 필터는 배관 컨넥터 내에 설치될 수 있으므로 필터는 그것이 설치되는 배관 라인의 길이를 실질적으로 증가시키지 않는다. 따라서, 필터는 최소한의 작업으로 설치할 수 있으며 기존 배관 라인에 쉽게 적용될 수 있다.
본 발명의 바람직한 몇 가지 실시예가 첨부된 도면을 참조하여 기술될 것이다. 기술되는 실시에는 가스의 여과에 사용하기 위한 것이며, 특히 반도체 제조용 가스의 여과에 사용하기 위한 것이다. 그러나, 본 발명은 다른 종류의 가스를 여과하는 용도와 가스가 아닌 유체를 여과하는 용도로 사용될 수 있다.
제1도는 본 발명에 따른 필터의 한 실시예의 종단면도, 제2도는 본 발명에 따른 필터가 채용될 수 있는 한 형식의 종래의 배관 컨넥터의 종단면도, 제3도는 필터의 기부가 압축된 상태로 제2도의 배관 컨넥터 내에 위치한 제1도의 필터의 종단면도, 제4도는 압축되지 않은 상태로 종래의 배관 컨넥터 내에 위치한 본 발명의 다른 실시예의 일부에 대한 종단면도, 제5도는 제4도의 실시예의 일부에 대한 확대 종단면도, 제6도는 압축된 상태의 제4도의 실시예에 대한 종단면도, 제7도는 배관 컨텍터 내에 위치한 된 발명의 다른 실시예의 일부에 대한 종단면도, 제8a도와 제8b도는 제7도의 실시예의 필터 기부의 일례에 대한 단면도, 제9도와 제10도는 제7도의 실시예의 필터 기부의 다른 예의 일부에 대한 단면도로서, 밀봉 부재가 기부 상에 설치되는 방식을 도시한 단면도, 제11도와 제12도는 제7도의 실시예의 필터 기부의 또 다른 예의 일부에 대한 단면도, 제13도와 제14도는 제7도의 실시예의 필터 기부의 또 다른 예의 일부에 대한 단면도, 제15도는 배관 컨넥터에 설치된 본 발명의 다른 실시예의 일부에 대한 종단면도, 제16도는 다른 형식의 종래의 배관 컨넥터에 설치된 제7도의 실시예에 패한 종단면도이고, 제17도는 배관 컨넥터에 설치된 본 발명의 다른 실시예에 대한 종단면도이다.
본 발명의 필터의 일 실시예에 대한 종단면도로서 필터가 표준적인 배관 컨넥터의 내부에 설치되기 전의 상태를 보여주는 제1도에 도시된 바와 같이, 필터의 본 실시예는 중공형으로 양단에 개단부를 갖는 변형성 기부(10)와 필터 요소(20)를 포함한다. 요소(20)의 일단(이하에서 개단부로 칭한다)은 기부(10)에 부착되며, 한편 타단(이하에서 폐단부로 칭한다)은 적절한 수단에 의해 폐쇄된다. 필터 요소(20)는 어떤 바람직한 방향성도 갖지 않으며, 유체는 개단부에서 폐단부로 또는 반대 방향으로 필터를 통하여 흐를 수 있다 그러나, 필터 요소(20)의 변형 강도, 즉 변형없이 필터 요소(20)에 발생하는 미분적 압력에 저항하는 능력은 필터 요소(20)의 개단부가 상류 단으로, 폐단부가 하류 단으로 사용될 때 일반적으로 더 크다.
기부(10)는 필터가 설치되는 배관 컨넥터의 표면과 긴밀하게 접촉하도록 탄성적으로나 비탄성적으로 변형될 수 있는 탄성 물질로 만들어진다. 기부(10)는 통상적으로 여과될 유체에 대해 완전히 비투과성인 물질로 만들어지나, 비투과성이 아닌 경우에도 그 물질은 필터 요소(20)보다 다공성이 적어서 입자가 필터 요소(20)를 우회하여 기부(10)를 통하여 흐를 수 없는 것이 바람직하다. 필터가 반도체 제조용 가스를 여과하는 데 사용될 때, 기부(10)는 내식성 금속으로 만들어지는 것이 바람직하며, 그 예로서는 316L 스테인레스 강 무접합 관의 스테인레스 강, 및 하스텔로이(Hastelloy : 고강도 니켈기의 내식성 합금에 대한 Cabot 코오포레이션의 상표)와 같은 니켈 합금이 있다. 여과될 유체가 비부식성일 때, 폴리머와 같은 다른 물질이 사용될 수도 있다.
필터가 설치되는 배관 컨넥터는 통상적으로 축대칭이며, 따라서 기부(10)도 마찬가지로 축대칭이 되도록 보통 증축에 대한 회전체의 형태를 갖는다. 기부(10)는 두 개의 개단부를 가지며, 그 사이에 서로 이격되어 있고 배관 컨넥터의 내면에 대해 밀봉되도록 변형될 수 있는 제1 및 제2의 벽부가 형성되어 있다. 기부(10)의 주변 벽부가 제1도에서 기부(10)의 우측 단으로부터 기부(10)의 중심선에 대해 외측으로 경사져 있는 제1 벽부(12)와, 기부(10)의 주변 벽부가 제1 벽부(12)의 좌측단으로부터 기부(10)의 중심선에 대해 내측으로 경사져 있는 제2 벽부(13)로 이루어진 주변 벽부를 갖는 융기부(11)에 의해 양 벽부는 구분된다. 제1 벽부(12)와 제2 벽부(13)는 간격을 두고 대면하고 있다. 본 실시예에서, 제1 벽부(12)와 제2 벽부(13)는 각기 기부(10)의 종방향 중심선과 일정한 기울기 θ1과 θ2를 갖는다. 비록, 제1 벽부(12)와 제2 벽부(13)가 만나는 곳에 첨예한 모서리를 형성하는 것도 가능하지만, 제1 벽부(12)와 제2 벽부(13)의 대면한 양쪽단은 변화하는 기울기를 갖는 활모양의 제3 벽부(14)에 의해 접속된다. 그러나, 기부(10)가 스테인레스 강과 같은 귿속의 관으로 제조할 때, 경사진 제1 벽부(12)와 제2 벽부(13) 사이에 활 모양의 제3 벽부(14)를 갖는 기부(10)를 형성하는 것이 일반적으로 더 쉽다. 제1도에 도시된 바와 같이, 기부(10)의 벽부(12)-벽부(14)의 내면과 외면은 유사하게 성형될 수도 있다.
기부(10)는 필터 요소(20)에 쉽게 부착될 수 있는 연결부를 포함하는 것이 바람직하다. 본 실시예에서, 연결부는 제1도에서 융기부(11)의 좌측 단으로부터 연장된 관형부(管形部)(15)의 형태이다. 관형부(15)는 필터 요소(20)의 개단부가 짧은 길이로 이에 중첩되어 쉽게 연결될 수 있도록 충분히 길다. 비록 제1도에서 관형부(15)는 일정한 직경을 갖지만, 이것은 그 대신 경사를 갖게 형성될 수 있다.
필터가 배관 컨넥터 내에 설치될 땐 유독 가스나 부식성 가스가 기부(10)의 주변에 축적되는 것을 막기 위하여 하나 이상의 배출공(16)이 융기부(11)의 주변벽을 관통하여 형성될 수도 있다.
기부(10)는 또한 관형부(15)의 반대쪽 단에서 융기부(11)와 접속된 구순부(17)를 포함할 수 있다. 구순부(17)는 배관 컨넥터 내로 필터를 설치할 때 도움을 준다.
기부(10)는 액압 성형, 축방향의 기계적 가압, 축방향의 충격 부하 또는 상기한 방법의 조합과 같은 적절한 방법을 관 길이로 소재에 수행하여 필요한 형상으로 성형될 수 있다. 소재는 복잡한 형상을 가질 필요가 없고 일정한 벽 두께와 일정한 직경을 가질 수 있다. 성형 공정 중, 융기부(11)가 되는 관 부분의 벽 두께는 정상적으로 관의 처음의 벽 두께에 비해 감소된다. 결과적으로 완성된 기부(10)에서 융기부(11)의 벽두께는 관형부(15)와 벽 두께보다 더 얇아질 수도 있다. 그러나, 융기부(11)와 관형부(15)의 상대적인 벽 두께는 크게 중요하지 않으며 균일한 벽 두께를 갖는 완성된 기부(10)를 생산하는 방법도 또한 사용될 수도 있다.
기부(10)가 금속으로 만들어질 때, 배관 컨넥터의 내면에 대한 밀봉력을 개선하기 위해 금속을 소둔하는 것이 바람직할 수도 있다. 완전히 소둔되었을 때, 기부(10)의 표면은 컨넥터의 내면의 작은 불규칙성을 보완하기 위해 다소 변형될 수도 있다.
기부(10)의 외면은 필요한 성질을 부여하기 위해 적합한 물질로 피복될 수도 있다. 예를 들면, 기부(10)가 스테인레스 강으로 만들어진 때, 상기 기부(10)의 거친 표면은 밀봉성을 증가시키기 위해 은이나 니켈로 피복될 수 있다. 가능한 피복 물질의 다른 예는 테플론(Teflon), 실리콘 및 몰리브덴을 함유한 내마모성 피복이다.
기부(10)의 외면과 배관 컨넥터의 내면 사이에 반드시 완전한 밀봉이 이루어져야 하는 것은 아니다. 필터 요소(20)에 의해 포집될 수 있을 정도로 큰 미립자에 대한 방벽으로서 작용하는 밀봉성을 이루면 충분하며, 기부(10)의 표면 조도는 이에 따라 선택될 수 있다. 제1도에 도시된 필터 요소(20)는 일반적으로 원추형인데, 그러나 형태는 크게 중요하지 않으며, 필터 요소(20)는 그 대신에 예를 들어, 원통형, 백형 또는 원반형일 수 있다. 주름진 필터 요소(20)가 사용될 수 있지만, 그러나 필터가 작은 직경의 관의 컨넥터에 사용될 때는, 필터 요소(20)가 크기에 대한 고려 때문에 통상적으로 주름이 잡히지 않게 된다. 비록 설명된 필터 요소(20)가 중공형 중심을 가지고 있지만, 필터 요소(20)를 단단하게 하는 것도 또한 가능하다. 필터 요소(20)을 통한 바람직한 유동 특성에 따라서 선택될 수 있다. 기부(10)의 경우와 같이, 반도체 제조에 사용되는 가스의 여과에 사용될 때, 필터 요소(20)는 바람직하게는 스테인레스 강이나 하스텔로이와 같은 내식성 금속으로 만들어질 수 있다. 적합한 금속 필터 재료의 예는 서로의 접점에서 함께 소결된 매우 가늘고 짧은 금속 섬유로 구성된 농도형 필터 재료로, 피앰에프(PMF)라는 상표로 폴 코오포레이션에서 판매하는 것과 같은 것이다. 다른 예로는 와이어로 짜서 소결한 망으로 리쥐메쉬(Rigimesh)라는 상표로 폴 코오포레이션에서 판매하는 것과 같은 것이다. 또 다른 예로는 망의 구멍 내에 소결된 금속 분말을 갖는 와이어 망으로 피엠엡(PMF)이라는 상표로 폴 코오포레이션에서 판매하는 것과 같은 것이다 이들 중 어느 필터 재료도 스테인레스 강이나 하스텔로이와 같은 내식성 금속으로 형성될 수 있다. 필터가 비부식성 유체를 여과하기 위해 사용될 때는, 비금속 필터가 또한 사용될 수도 있다.
필터 요소(20)는 어떠한 적절한 방식으로도 기부에 결합될 수 있다. 기부(10)와 필터 요소(20)가 모두 금속으로 형성된 때는 레이저 용접이나 저항 용접과 같은 용접 방법으로 결합시키는 것이 편리하다. 기부(10)와 필터 요소(20)가 중합 재료와 같은 비금속으로 만들어질 때, 본딩이나 열용접과 같은 기존의 방법으로 결합될 수 있다.
제조된 것으로서, 필터 요소(20)가 만들어지는 재료는 일반적으로 평판형이 될 것이다. 평판의 길이 방향의 모서리가 인접하거나 중첩될 때까지 평판의 일부를 롤 성형을 한 다음 모서리를 서로 접합함으로써 평판은 원추형으로 성형될 수 있다. 필터 요소(20)가 금속으로 만들어질 때, 길이 방향의 모서리는 예를 들면, 중첩 용접부를 형성하도록 저항 용접이나 레이저 용접으로 편리하게 접합될 수 있다
필터 요소(20)의 폐단부는 적절한 방식으로 패쇄된다. 본 발명의 실시예에서, 비투과성 밀봉 단부 캡(30)은 여과되는 유체에 상응하는 어떤 물질로도 만들어질 수 있다. 필터가 반도체 제조용 가스를 여과하기 위해 사용될 때, 단부 캡(30)은 스테인레스 강이나 하스텔로이와 같은 내식성 금속으로 만들어지는 것이 바람직하다. 단부 갭(30)이 금속으로 만들어지는 경우, 적절한 접합 방법이 사용된다면, 단부 캡(30)의 주위를 따라 레이저나 저항 용접에 의해 필터 요소(20)를 고정시키는 것이 편리하다. 필터 요소(20)의 패단부를 폐쇄하는 데 단부 캡을 사용하는 대신에, 필터 요소(20)의 폐단부를 그 자제로 밀봉하는 것도 또한 가능하다.
제1도의 실시에는 다양한 형식의 표준 배관 컨넥터와 함께 사용될 수 있다. 제2도는 본 발명에 사용될 수 있으며 상업적으로 제품화된 표준 배관 컨넥터의 일예의 종단면도이며, 제3도는 그 내부에 제1도의 필터가 설치된 제2도와 같은 배관 컨넥터의 일부의 확대도이다. 도시된 컨넥터는 일본 동경의 산코우 코우교우 케이케이(Sankou Kougyou K. K.)에서 슈퍼 제이에스케이(Super JSK)라는 상표로 판매되어 사용되는 형식의 것이다. 이 컨넥터는 연결용 어미나사(60)에 의해 체결된 제1 부분(40)과 제2 부분(50)으로 구성된다. 제1 부분(40)은 관이 부착되는 관형부(41)와 관형부(41)의 일단에 일체로서 형성된 직경이 큰 머리부(42)를 포함한다. 원통형 내공(43)은 제1 부분(40)의 중심을 관통하여 전 길이에 걸쳐 형성되어 있다. 컨넥터의 제2 부분(50)은 마찬가지로 관형부(51)와 관형부(51)의 일단에 일체로서 형성된 직경이 큰 머리부(52)를 포함한다. 원통형 내공(53)은 제2 부분(50)의 중심을 관통하여 전 길이에 걸쳐 형성되어 있다. 제1 부분(40)과 제2 부분(50)이 함께 결합될 때, 두 개의 중심 내공(43)과 내공(53)은 동심축에 위치된다. 중심 내공(43)과 내공(53)의 내경은 배관 컨텍터가 사용되는 관의 내경에 달려 있다. 예를들면, 배관에 사용되는 배관 컨넥터가 1/2 인치(12.7㎜)의 공칭 외경을 갖는 경우에, 중심 내공(43)과 내공(53)은 약 10.3㎜(약 0.406 인치)의 내경을 갖는다. 그러므로, 필터 요소(20)가 기부(10)의 관형부(15)에 연결되는 제1도의 필터의 외경은 필터가 중심 내공(43)이나 내공(53)의 어느 하나의 내부에 맞추어지기에 충분한 정도로 작은 것이 바람직하다.
각각의 머리부(42)와 머리부(52)는 동일한 환형 요부(凹部)(44)와 요부(54)를 가지며 이들은 각각 밀봉 부재(70)을 수납하는 중심 내공(43)과 내공(53)의 단부면 상에 원주상으로 형성되어 있다. 각각의 환형 요부는 대략 반원형의 단면을 갖는다. 밀봉 부재(70)는 전형적으로 기존의 스프링이 내장된 C형 링이나 O형 링, 즉, O자 모양이나 C자 모양의 단면을 가지며 내부에 코일 스프링을 가질 수 있는 환형 부재이다. 본 발명에 따른 필터가 반도체 제조에 사용되는 것과 같은 부식성 가스를 여과하기 위하여 사용될 때, 밀봉 부재는 내식성 금속으로 만들어지는 것이 바람직하다. 제2도는 손으로 조인 상태로 조립된 배관 컨넥터를 보여 주며, 제3도는 밀봉 부재(70)가 변형되고 가압되어 환형 요부(44)와 요부(54)의 표면과 밀봉성 접촉을 하도록 더 조여진 배관 컨넥터를 보여 준다.
각각의 환형 요부(44)와 요부(54)의 내부의 원주상 주변부는 절삭된 모서리 면(45)과 모서리 면(55)에 의해 각각 해당 중심 내공(43)과 내공(53)에 접속된다. 머리부(42)와 머리부(52)는 제2도와 제3도에 도시된 바와 같이 서로 대면하는 관계로 위치할 때, 절삭된 대면하는 양 머리부의 모서리 면(45)과 모서리 면(55)은 제1도의 필터의 기부(10)를 수납하는 공간을 형성한다. 절삭된 모서리 면(45)과 모서리 면(55)이 중심 내공(43) 및 내공(53)과 만나는 양쪽 모서리는 각각 참조 번호(46)와 참조 번호(56)에 의해 지시되어 있다.
제2도에 도시된 바와 같이, 슈퍼 제이에스케이 컨넥터에서, 절삭된 모서리 면(45)과 모서리 면(55)은 모두 컨넥터의 중심선에 대해 동일한 각도(θ3)로 경사져 있다. 밀봉 부재(70)와 환형 요부(44)와 요부(54) 사이의 바람직한 밀봉성 접촉이 이루어지도록 통상적인 기밀도로 조립될 때, 기부(10)와 절삭된 모서리 면 사이에 긴밀한 밀봉이 이루어질 수 있게 절삭된 모서리 면(45)과 모서리 면(55) 사이에서 기부(10)가 압축되고 변형되도록, 융기부(11)의 제1 벽부(12)와 제2 벽부(13) 사이의 간격과 기부(10)가 변형되기 전의 기부(10)의 중심선에 대해 양 벽부의 경사각(θ1)과 경사각(θ2)이 선정된다. 바람직하게는, 기부(10)가 변형되기 전의 각도 차이(θ31)나 각도 차이(θ32)는 약 0도에서 약 20도 범위이며, 더 바람직하게는 약 2도에서 약 10도 범위이다.
융기부(11)의 제1 벽부(12)와 제2 벽부(13)가 일정한 기울기를 가질 필요는 없다. 예를 들면, 융기부(11)는 그 양단 사이의 절단면이 실제적으로 원이거나 타원일 수 있다.
외부의 나사선(57)은 제2 부분(50)의 머리부(52)의 외측에 형성되고, 육각부(58)는 사용자가 컨넥터를 쉽게 조립하도록 머리부(52)에 인접한 제2 부분(50) 상에 형성된다.
연결용 어미나사(60)는 일반적으로 머리부(42)와 머리부(52)를 감싸는 관형의 부재이다. 연결용 어미나사(60)는 머리부(52) 상에 형성된 외부의 나사선(57)과 결합되는 내부의 나사선과 제1 부분(40)의 관형부(41)가 통과할 수 있는 관통공을 갖는 단부의 벽(61)을 갖는다.
연결용 어미나사(60)에서 제1 부분(40)에 부착되는 관으로 전달되는 비트는 힘을 막기 위하여 볼 베어링(62)은 단부의 벽(61)과 제1 부분(40)의 머리부(42) 사이의 연결용 어미나사(60) 내에 설치된다.
제3도에 도시된 방식으로 컨넥터의 제1 부분(40)과 제2 부분(50)이 서로 분리된 상태로 배판 컨넥터 내에 제1도의 필터를 설치하기 위하여, 필터 요소(20)가 중심 내공(43)과 같은 해당 중심 내공으로 연장된 상태로 필터는 제1 부분(40)과 같은 한 부분 내에 설치된다. C형 링과 같은 밀봉 부재(70)는 제1 부분(40)의 환형 요부(44)에 위치하며, 그 다음에 양 머리부(42)와 머리부(52)는 서로 대면하고 중심 내공(43)과 내공(53)이 정렬이 되도록 제2 부분(50)이 제1 부분(40)과 결합된다. 그 다음에 양 부분, 제1 부분(40)과 제2부분(50)은 제2 부분(50)의 외부의 나사선(57) 위로 연결용 어미나사(60)를 돌려 끼움으로써 서로 고정된다.
제1 부분(40)과 제2 부분(50)은 연결용 어미나사(60)를 조임으로써 서로를 향해 이동되므로, 필터의 기부(10)의 융기부는 절삭된 모서리 면(45)과 모서리 면(55) 사이에서 압착되며 제1 도에 도시된 형태에서, 기부(10)의 융기부(11)의 외면이 컨넥터의 절삭된 모서리 면(45)과 모서리 면(55)의 양쪽과 긴밀한 표면 접촉을 하고 있는 제3도에 도시된 것과 같은 형태로 변형된다. 기부(10)의 탄성 때문에, 기부(10)에서의 탄성력은 변형에 저항하도록 작용하며, 상기 탄성력은 기부(10)가 절삭된 양 모서리 면에 압축되어 밀봉성 접촉을 유지하게 한다. 기부(10)는 절삭된 모서리 면(45)과 모서리 면(55) 사이에서 탄성적으로 변형되기 때문에, 머리부(42)와 머리부(52) 사이의 간격은 온도나 상기 양 머리부에 가해지는 외력의 변동에 따라 변하지만, 기부(10)는 절삭된 양 모서리 면과 긴밀한 밀봉성 접촉을 한 상태에 낳아 있을 수 있다.
필터는 역전시킬 수 있는 것이 바람직하며, 따라서 필터는 필터 요소(20)가 컨넥터의 제2 부분(50)와 중심 내공(53) 속으로 연장되게 설치할 수도 있다.
융기부(11)는 절삭된 모서리 면(45)과 모서리 면(55) 사이에서 압축되므로, 제1 벽부(12)와 제2 벽부(13) 사이의 간격은 감소하는 동시에 융기부(11)의 직경은 증가하게 된다. 변형 전의 기부(10)의 크기는 융기부(11)가 변형 과정에서 최대 직경에 도달되었을 때, 상기 융기부(11)가 환형 요부(44)와 요부(54)에서 밀봉 부재(70)와 접촉하지않도록, 바람직하게 선정된다.
기부(10)가 제1 부분(40)과 제2 부분(50) 사이에서 압축될 때 기부(10)의 변형이 완전히 탄성적이라면, 기부(10)는 컨넥터가 해체된 경우, 초기의 형태로 되돌아 오며, 기부(10)를 재사용하는 것을 생각할 수 있다.
그러나, 본 발명에 따른 필터가 반도체 제조에 사용될 때, 오염을 막기 위하여, 필터 요소(20)는 보편적으로 재사용되지 않으며, 여과 능력이 미립자의 형성으로 손상되었을 때 세척되기보다는 폐기된다.
그러므로, 기부(10)가 재사용이 가능한 것일 필요가 없으며, 따라서, 기부(10)가 배관 컨넥터 내에 설치된 때, 기부(10)의 변형이 완전히 탄성적일 필요는 없다.
제3도에 도시된 바와 같이, 필터의 기부(10)는 배관 컨넥터 내에 완전히 맞추어질 수 있으며, 밀봉 부재(70)는 필터가 부재한 상태에서와 같은 정도로 압축되며, 따라서, 컨넥터의 제1 부분(40)과 제2 부분(50) 사이의 간격은 변하지 않는다. 그러므로, 필터는 이것이 설치되는 배관 라인의 길이를 증가시키지 않는다. 필터 요소(20)의 길이에 따라, 그 일부는 배관 라인으로 연장된다. 그러나 이것이 배관 라인의 길이에 영향을 주지 않는다. 그러므로, 필터는 기존의 배관 라인에서 어떤 변형없이도 쉽게 설치될 수 있다. 더욱이, 필터는 배관 컨넥터의 밀봉 부재(70)를 접촉하지 않으므로, 배관 컨넥터의 완전한 밀봉성은 필터가 있음으로 인해 영향을 받지 않는다.
제4도에서 제6도는 종래의 슈퍼 제이에스케이 배관 컨넥터 내에 설치된 본 발명에 의한 필터의 다른 실시예를 도시한다. 제4도는 배관 컨넥터가 손으로 조여서 필터에 아무런 변형도 주지 않고 조립된 때, 필터가 나타내는 모습을 보며 주며, 제5도는 제4도의 일부의 확대도이며, 제6도는 배관 컨넥터가 일반적으로 사용되는 상태 하의 조임 정도로 조정되어 있어 변형되어 배관 컨넥터의 내부와 밀봉성 접촉을 하고 있는 때, 필터가 나타내는 모습을 보여준다. 본 실시예는 제1도의 실시예와 전반적으로 동일한 구조를 가지며, 기부(80), 기부(80)에 부착된 필터 요소(20)와 필터 요소(20)의 폐단부에 기밀하게 연결되어 있고 도시되지 않은 비투과성 단부 캡을 포함한다. 제5도에 가장 잘 도시된 바와 같이, 기부(80)는 필터 요소(20)의 개단부를 지지하는 관형부(81), 관형부(81)에 접속된 융기부(82)와 관형부(81)의 반대쪽 단에 있는 융기부(82)에 접속된 구순부(83)을 갖는다. 상기의 세부분(81-83)은 모두 동축상에 있다. 기부(80)은 전체적으로 도시된 단면을 기부(80)의 종축에 관해 회전시켰을 때 형성되는 회전체의 형태를 갖는다.
기부(10)의 양 벽부가 컨넥터의 절삭된 모서리 면(45)과 모서리 면(55)과 표면 접촉을 하고 있는 제1도의 실시예의 기부(10)과 비교하면, 본 실시예의 기부(80)의 융기부(82)는 중심 내공(43)과 내공(53)이 각각 컨넥터의 제1 부분(40)과 제2 부분(50)의 절삭된 모서리면(45)과 모서리 면(55)과 접속되는 곳인 모서리(46)과 모서리(56)에 대해 밀봉하도록 성형된 벽부를 갖는다. 그러므로, 융기부(82)는 컨넥터의 제1 부분(40)과 제2 부분(50)과 실제적인 선형 접촉 또는 매우 제한된 표면 접촉을 하는 것이 바람직하다.
융기부(82)는 어떤 특정한 형상을 가질 필요는 없으나, 융기부(82)의 외면과 컨넥터의 양쪽 부분이 접촉하는 점에서의 그 양' 표면 사이의 두개의 각도는 컨넥터가 도시되지 않은 연결용 어미나사에 의해 조여질 때, 기부(80)는 컨넥터의 양 부분 사이의 위치에 확실하게 고정되고 시설 작동 압력이 필터에 가해질 때, 흐름의 하방으로 휩쓸려가지 않도록, 또한 융기부(82)와 컨넥터의 양 부분 사이의 접촉으로 형성되는 밀봉은 적어도 필터 요소(20)에 의해 포착될 정도로 큰 미립자에 대해 방벽으로 작용하기에 충분하도록 정해지는 것이 바람직하다. 각도(θ2)(모서리(46)와 접촉하는 지점에서 융기부(82)의 외면에 대한 접선과 중심 내공(43)의 내면 사이의 각도)와 각도(θ1)(모서리(56)와 접촉하는 지점에서 융기부(82)의 외면에 대한 접선과 중심 내공(53)의 내면 사이의 각도)는 서로 같은 것이 바람직하다. 더욱이, 두 각도는 0도보다 큰 것이 바람직하며, 컨넥터의 제1 부분(40)과 제2 부분(50)이 서로 조여지기 전, 즉, 기부(80)가 제4도와 제5도에 도시된 바와 같이 압축되지 않은 상태일 때, 적어도 10도인 것이 더 바람직하다. 모서리(46)와 모서리(56)에서 융기부(82)의 외면에 대한 접선과 절삭된 모서리 면(45)과 모서리 면(55) 사이의 각도는 각각 (θ32)와 (θ31)이며, 여기서 θ3는 절삭된 모서리 면(45)이나 모서리 면(55)의 접선과 중심 내공(43)이나 중심 내공(53) 사이의 각각의 각도이다. 각도(θ31)와 각도(θ32)는 약 5도에서 약 80도 범위에 있는 것이 바람직하며, 기부(80)가 변형되기 전, 즉, 컨넥터가 제5도에 도시된 바와 같이 손으로 조인 상태일 때 약 30도에서 약 55도 범위에 있는 것이 더 바람직하다. 제조가 간단하도록, 이들 각도는 서로 같게 만들어질 수 있다.
융기부(82)는 일정 기울기의 직선부 그리고/또는 변화하는 기울기의 곡선부로 구성된 단면부를 가질 수 있다 예를 들면, 단면상으로 융기부(82)는 관형부(81)와 구순부(83) 사이에서 타원의 호나 원의 호와 같이 연속적인 형상을 가질 수 있다. 대안으로서, 융기부(82)는 일정 기울기인 부분의 일부를 포함할 수도 있다. 제4도에서 제6도까지의 실시예에서, 융기부(82)는 궁형의 벽부(84)의 양단으로부터 그어진 접선을 따라 연장된 일정 기울기를 갖는, 두 개의 이격된 직선 벽부(85)와 벽부(86)에 접속된 궁형 벽부(84)를 포함한 주변 벽을 갖는다. 궁형 벽부(84)는 원의 중심으로부터 측정된 각도(θ4)에 걸치는 단면부에서 원의 호이며, 상기 원의 중심은 기부(80)의 종측과 일치할 필요는 없다. 궁형 벽부(84)는 원형이므로, θ4는 2 × θ2와 거의 같다.
직선 벽부(85)와 벽부(86)의 길이는 조립된 컨넥터의 제1부분(40)과 제2부분(50)의 모서리(46)와 모서리(56)가 직선 벽부(85)와 벽부(86)를 따라서 기부(80)의 융기부(82)와 접촉하도록 선정하는 것이 바람직하다. 배관 컨넥터의 크기는 공차 범위 내에서 변화하기 때문에, 컨넥터의 제1부분(40)과 제2부분(50)의 모서리(46)와 모서리(56)에 접촉하는 융기부(82) 상의 정착한 점은 컨넥터에 따라 다르다. 그러나, 만일 접촉하는 점이 직선 벽부(85)와 벽부(86) 내에 존재하면, 각도(θ1)와 각도(θ2)는 크기의 변화에 관계없이 실제적으로 일정하게 유지될 수 있다.
기부(80)의 구순부(83)는 필터 작용에 꼭 필요한 것은 아니다. 그러나, 상기 구순부(83)는 제1부분(40)과 제2부분(50)을 정렬할 때나 컨넥터를 조립할 때 도움이 된다.
제6도에 도시된 바와 칼이, 컨넥터의 제1부분(40)과 제2부분(50)의 환형 요부(44)와 요부(54)가 밀봉 부재(70)와 밀봉성 접촉을 하도록 도시되지 않은 연결용 어미나사를 조임으로써 컨넥터의 제1부분(40)과 제2부분(50)에 서로를 향한 힘이 가해질 때, 기부(80)의 융기부(82)는 축방향으로 약간 압축되고 두 개의 직선 벽부(85)와 벽부(86) 사이의 간격은 감소하게 된다. 이와 동시에, 융기부(82)의 주변 벽부는 기부(80)의 방사 방향으로 외측을 향해 융기한다. 융기부(82)의 초기 반경은 융기부(82)가 제6도에 도시된 바와 같이 최대 직경으로 되어진 때, 상기 융기부(82)가 컨넥터의 제1부분(40)과 제2부분(50)의 환형 요부(44)와 요부(54) 사이에 위치한 밀봉 부재(70)를 접촉하지 않는다.
제1도와 배출공(16)에 해당하는 하나 이상의 배출공(87)이 융기부(82)와 외주변부와 밀봉 부재(70)의 내주변부 사이의 공간으로 배출하기 위하며 융기부(82)의 벽을 관통하여 형성되는 것이 바람직하다.
기부(80), 필터 요소(20)와 제4도의 필터의 도시되지 않은 단부캡은 제1도에 도시된 필터에 사용된 것과 같은 재료로 만들어질 수 있다.
제4도의 필터는 컨넥터의 제1부분(40)으로 필터를 삽입한 후, 그 다음, 제4도에 도시된 바와 같이, 필터의 기부(80)와 융기부(82)의 외주변부가 모서리(46)와 모서리(56)와 접촉하도록 컨넥터의 양부분을 결합함으로써 컨넥터 내에 설치될 수 있다. 연결용 어미나사는 제2부분(50)의 외부 나사선과 맞물릴 때까지 제1부분(40)의 관형부 위로 맞추어지며, 연결용 어미나사는 제1부분(40)과 제2부분(50)이 서로를 향해 몰리도록 조여진다. 양쪽 부분이 서로 접근하므로, 필터의 기부(80)는 컨넥터의 모서리(46)와 모서리(56) 사이에서 탄성적으로나 소성적으로 변형되어 제6도에 도시된 상태로 된다. 기부(80)가 변형에 저항하게 하는 기부(80)의 형성 물질의 탄성은 기부(80)의 주면부에 압력을 가하여 모서리(46)와 모서리(56)에 대해 긴밀한 접촉이 이루어지게 하며 그 사이에 밀봉을 생성한다. 이 때에, 기부(80)는 모서리(46)와 모서리(56)에 대해 기본적으로 선형 접촉 상태에 있으나, 기부(80)의 변형량과, 절삭된 모서리 면(45)과 모서리 면(55)의 양쪽 각도(θ3)에 따라, 기부(80)와 절삭된 양 모서리 면 사이에 일부 표면 접촉이 있을 수 있다. 그러나, 기부(80)와 컨넥터의 제1부분(40)과 제2부분(50) 사이에 양호한 밀봉이 형성되는 한, 절삭된 모서리 면(45)과 모서리 면(55)과의 표면 접촉이 있는 것은 전혀 무방하다.
기부(80)가 변형되는 것과 동시에, 밀봉 부재(70)는 컨넥터에 주요한 밀봉을 형성하기 위해 가압되어 컨넥터와 양쪽 부분의 환형 요부(44)와 요부(54)에 대해 밀봉성 접촉을 한다. 기부(80)의 크기는 배관 컨넥터가 완전히 조립된 상태이고 융기부(82)가 컨넥터의 제1부분(40)과 제2부분(50)의 모서리(46)와 모서리(56)에 대해 밀봉성 접촉을 하도록 가압되어질 때, 밀봉 부재(70)는 같은 양으로 변형되며 필터가 부재하는 경우와 실질적으로 같은 정도의 밀봉력으로 환형 요부(44)와 요부(54)에 대해 밀봉된다. 결과적으로, 필터는 컨넥터의 제1부분(40)과 제2부분(50) 사이에서 밀봉 부재(70)에 의해 생성되는 밀봉의 완전성에 영향을 주지 않는다.
제4도와 필터는 제1도의 필터와 같은 정도의 이점을 제공한다. 더욱이, 기부(80)가 컨넥터의 제1부분(40)과 제2부분(50)에 대해 실질적으로 선형 접촉 상태 또는 한정적인 표면 접촉 상태에 있기 때문에, 절삭된 모서리 면(45)와 모서리 면(55)의 표면 가공 정도가 다소 열악하여도 양호한 밀봉이 기부(80)에 의해 생성될 수 있다.
제4도에서 제6도까지에서, 본 발명의 필터가 설치되는 배관 컨넥터는 컨텍터의 중심 내공(43)과 내공(63)과 환형 요부(44)와 요부(54)를 접속하는 절삭된 모서리 면(45)와 모서리 면(55)을 갖는 형식의 것이다. 그러나, 절삭된 모서리 면(45)와 모서리 면(55)은 컨넥터와 기부(80) 사이의 밀봉을 이루기 위해 꼭 필요한 것은 아니다.
그러므로, 제4도의 필터는, 컨넥터의 양 부분의 단부면이 양 중심 내공과 직각으로 만나는 컨넥터와 같이, 절삭된 양 모서리 면을 갖지 않는 컨넥터 내에 설치될 수 있다.
제7도는 제2도에 도시된 것과 같은 슈퍼 제이에스케이 배관 컨넥터 내에 설치된 본 발명에 따른 필터의 또 다른 실시예를 도시한다. 앞에 나온 실시예와 같이, 상기 필터는 중공형 기부(90)와 중공형 기부(90)에 연결된 필터 요소(20)를 포함한다. 본 실시예는 기부(90)의 형상과 기부(90)와 배관 컨넥터 사이의 밀봉을 형성하는 방식에 관련하여 앞의 다른 실시예와 다르다. 앞의 다른 실시예와 비교하여, 필터의 기부(90)는 배관 컨넥터 그 자체의 표면에 대해서 보다는 밀봉 부재(70)에 대해서 밀봉이 이루어 진다.
필터의 기부(90)는 필터 요소(20)의 일단과 관형부(91)로부터 방사상으로 외측을 향해 연장된 플랜지(92)를 지지하기 위한 관형부(91)의 형태인 연결부를 갖는다. 플랜지(92)는 밀봉 부재(70)와 밀봉성 접촉 상태에 있는 외주면을 갖는다. 플랜지(92)와 밀봉 부재(70) 사이의 밀봉은 필터 요소(20)를 통과하기에 너무 큰 입자가 플랜지(92)와 밀봉 부재(70) 사이를 통과함으로써 필터 요소(20)를 우회하는 것을 막기에 충분할 정도로만 양호하면 되며, 그러므로 밀봉 부재(70)와 컨넥터의 제1부분(40)과 제2부분(50) 사이의 밀봉 정도로 높은 완전성을 가질 필요는 없다.
기부(90)는 여과될 유체에 대응할 수 있는 어떤 물질로도 만들어질 수 있으며, 일반적으로 첫번째 실시예의 기부와 동일한 물질로 만들어질 수 있다. 그러나, 본 실시예의 기부(90)는 밀봉을 형성하기 위해 변형될 필요가 없으므로, 변형성에 관한 아무런 특별한 요구 조건이 없으므로, 기부는 탄성적일 필요가 없다. 그러므로, 사용될 수 있는 재료의 범위는 제1도의 실시예의 기부보다 더 크다.
필터 요소(20)는 제1도의 실시예의 필터 요소와 동일한 구조의 것일 수 있으며, 첫번째 실시예에 관하여 설명된 방법으로 기부(90)에 연결될 수 있다. 필터 요소(20)의 도시되지 않은 폐단부는 제1도에 도시된 것과 같은 막힌 단부 캡과 같은 적절한 수단에 의해 폐쇄된다.
배관 컨넥터의 제1부분(40)과 제2부분(50)이 제7도에 도시된 바와 같이, 끝을 맞대어 위치하고, 도시되지 않은 연결용 어미나사를 조임으로써 밀봉 부재(70)가 환형 요부(44)와 요부(54)와 밀봉성 접촉을 하게 가압된 때, 밀봉 부재(70)는 그 단면 형상이 제2도에 도시된 것과 같이 타원형에서 실제로 원형으로 바뀌도록 변형된다. 플랜지(92)의 크기는 밀봉 부재(70)의 이러한 변형이 밀봉 부재(70)로 플랜지(92)의 외주변과 긴밀한 밀봉성 접촉을 하게 가압하도록 선정된다. 연결용 어미나사가 조여진 때, 기부(90)는 밀봉 부재(70)에 의해 컨넥터에 지지되고, 기부(90)와 컨넥터의 내면 사이에는 어떤 접촉도 필요 없다.
또한, 밀봉 부재(70)가 이완되고 변형되지 않은 상태에 있을 때 기부(90)와 밀봉 부재(70)가 서로 어떤 방식으로 연결되어 있어야 할 필요가 꼭 있는 것은 아니다. 그러나, 배관 컨넥터 내에 필터의 설치가 용이하도록, 배관 컨넥터 내에 필터를 설치하기 전에, 밀봉 부재(70)가 단일체를 형성하도록 기부(90)의 플랜지(92)상에 설치된다면 편리하다.
플랜지(92)와 밀봉 부재(70)가 만들어지는 재료에 따라, 양자를 서로 용접하는 것을 생각할 수 있으나, 밀봉 부재(70)는 보편적으로 매우 얇기 때문에, 용접은 쉽게 밀봉 부재(70)의 변형을 유발하며 밀봉 부재(70)가 컨넥터의 환형 요부(44)와 요부(54)에 대해 확실한 밀봉을 형성하는 것을 저해할 수 있다. 그러므로, 바람직하게는 플랜지(92)의 주변은 밀봉 부재(70)를 용접을 전혀 하지 않고 보지할 수 있도록 성형된다.
예를 들면, 밀봉 부재(70)는 기부(90)의 축의 중심선에서 먼쪽을 향한 플랜지(92)의 외주면 상에 가압되어 맞추어질 수 있다. 제8a도는 밀봉 부재(70)가 가압되어 맞추어진 플랜지(92)를 갖는 기부(90)의 실시예에 대한 단면도이며, 제8b도는 제8a도의 구역(B)의 확대도이다.
제8B에 도시된 바와 같이, 플랜지(92)의 외주변부는 단면에서 보여지는 바와 같이 실제로 평평한 제1부분(93)과 제2부분(94)과, 이들 제1부분(93)과 제2부분(94)을 접속하는 곡선형의 제3부분(95)을 갖는다.
기부(90)의 중심선에서 제1부분(93)의 표면까지의 거리(R1)는 변형되지 않은 상태의 밀봉 부재(70)의 내경과 같거나 내경보다 약간 크게 선정하여, 밀봉 부재(70)와 제1부분(93) 사이에 간섭적인 조립이 이루어지게 한다. 플랜지 (92)의 제2부분(94)의 표면까지의 거리(R2)는 밀봉 부재(70)가 제2부분(94)을 넘어 미끄러지는 것을 막기 위하여, 변형되지 않은 밀봉 부재(70)의 내경(R0)보다 크게 선정된다. 제3부분(95)은 밀봉 부재(70)가 컨넥터의 환형 요부(44)와 요부(54) 사이에서 변형될 때 밀봉 부재(70)의 내주면에 대해 단단히 맞추어지도록 곡선형이 된다. 필터 요소(20)는 밀봉 부재(70)가 플랜지(92) 상에 설치되기 전 또는 후에 기부(90)에 부착될 수 있다. 플랜지(92)와 밀봉 부재(70) 사이의 바람직한 조립의 견고성은 플랜지(92)의 외주의 크기를 적절하게 선정함으로써 이루어질 수 있다. 밀봉 부재(70)가 플랜지(92) 상에 가압되어 맞추어지는 대신에, 변형되지 않은 상태의 밀봉 부재(70)가 플랜지(92) 위로 느슨하게 조립되지만 플랜지(92)의 형상에 의해 플랜지(92)로부터 이탈되는 것을 제한하도록, 플랜지(92)의 치수가 정해질 수 있다. 제9도와 제10도는 그와 같은 플랜지(92)를 도시한, 본 발명에 따른 필터의 기부(90)의 플랜지(92)의 일부분에 대한 단면도이다. 본 실시예에서, V형 홈(96)이 플랜지(92)의 외주면의 원주에 형성되어 있다. 플랜지(92) 상에 밀봉 부재(70)를 설치하기 위해서, 밀봉 부재(70)는 먼저 제9도에 도시한 바와 같이 플랜지(92) 위로 위치되어 진다. 이 때, 변형되지 않은 상태에 있는 밀봉 부재(70)는 V형 홈(96)과 접촉하거나, 양자는 환형의 간격을 가지며 이격될 수도 있다. 이를 테면, 기부(90)의 종축 중심선매서 플랜지(92)의 방사상의 외단까지의 거리(R3)는 밀봉 부재(70)의 내경(R0)보다 짧을 수 있다. 그 다음에 제10도에 도시된 바와 같이 홈(96)의 양쪽 면이 서로를 향해 이동하게 하고 밀봉 부재(70)가 플랜지(92)로부터 이탈하는 것을 막기 위해서, 플랜지(92)는 적절한 도구(100)에 의해 외주 전체에 걸쳐 변형된다. 플랜지(92)의 단부가 밀봉 부재(70)를 어떤 방식으로든 변형시켜야 하는 것이 꼭 필요한 것은 아니며, 밀봉 부재(70)는 플랜지(92)로부터 어떤 간격으로 이격될 수조차 있다. 기부(70)의 중심선에서 변형된 상태의 플랜지(92)의 외단까지의 거리(R4)는 밀봉 부재(70)의 변형되지 않은 내경(R0)보다 더 큰 것으로 충분하다. 결합된 기부(90)와 밀봉 부재(70)는 그 다음에 제7도에 도시된 것과 같은 방식으로 배관 컨넥터 내에 설치될 수 있다. 컨렉터의 제1부분(40)과 제2부분(50)은 서로를 향해 이동되어질 때, 밀봉 부재(70)는 플랜지(92)에 있는 홈(96)의 내면과 밀봉성 접촉을 하도록 변형된다.
제11도와 제12도는 본 발명에 따른 필터의 기부(90)의 플랜지(92) 상에 밀봉 부재(70)를 설치하는 또 다른 방법을 도시한다. 본 실시예에서, 플랜지(92)의 외주는 경사진 표면(97)과 경사진 표면(97)에 인접하는 평면(98)을 가지며, 양 표면(97)과 표면(98)은 플랜지(92)의 원주 주위로 연장되어 있다. 평면(98)은 플랜지(92)의 측면에 돌출하여 구순부(99)를 형성한다. 기부(90) 상에 밀봉 부재(70)를 설치하기 위하여, 먼저 밀봉 부재(70)는 제11도에 도시된 바와 같이 플랜지(92)의 외주 위로 느슨하게 맞추어 진다. 기부(90)의 중심선에서 평면(98)까지의 거리(R6)는 변형되지 않은 상태의 밀봉 부재(70)의 내경(R0)보다 더 작을 수 있어 밀봉 부재(70)는 평면(98) 상으로 쉽게 미끄러질 수 있다. 기부(90)의 중심선에서 경사진 표면(97)의 외단까지의 거리(R5)는 변형되지 않은 밀봉 부재(70)의 내경(R0)보다 더 큰 것이 바람직하며, 이에 따라 경사진 표면(97)이 밀봉 부재(70)의 측방향의 운동을 제한할 수 있다. 제11도에 도시된 바와 같이 밀봉 부재(70)가 위치한 후, 구순부(99)는 제12도의 화살표 방향으로 힘이 가해짐으로써 전 외주면을 따라 방사상으로 외측을 향해 굽어지며 이에 따라 기부(90)의 중심선에서 구순부(99)의 외단까지의 거리(R7)가 현 상태에서 변형되지 않은 밀봉 부재(70)의 내경(R0)보다 더 크다. 이 상태에서, 밀봉 부재(70)는 현재 플랜지(92)에서 미끄러져 일탈되는 것이 방지되며, 필터와 밀봉 부재(70)는 배관 컨넥터 내에 단일체로서 설치될 수 있다. 플랜지의 구순부(99)가 외측으로 굽어져 있을 때, 구순부(99)가 밀봉 부재(70)를 변형시키는 것이 반드시 필요한 것은 아니다. 더욱이, 플랜지(92)의 표면(97)과 표면(98)과, 변형되지 않은 밀봉 부재(70) 사이에 간격이 있는 것도 가능하다. 필터와 밀봉 부재(70)가 배관 컨넥터 내에 설치되고 컨텍터의 제1부분(40)과 제2부분(5())이 서로를 향해 가압될 때, 밀봉 부재(70)의 결과적인 변형은 밀봉 부재(70)와 플랜지(92) 사이에 긴밀한 밀봉성 접촉을 만들어 낸다.
제13도와 제14도는 기부(90)의 플랜지(92) 상에 밀봉 부재(70)를 설치하는 또 다른 방법을 보여준다. 본 실시예에서 플랜지(92)는, 곡선형 부분(95)에 의해 접속되는 제1부분(93)과 제2부분(94)을 갖는 제8a도와 제8b도의 플랜지(92)와 같은 형상을 갖는다. 그러나, 기부(90)의 중심선에서 제1부분(93)의 표면까지의 거리(R1)는 밀봉 부재(70)가 제1부분(93) 상으로 쉽게 미끄러지도록 변형되지 않은 밀봉 부재(70)의 내경(R0)보다 더 작을 수 있다. 밀봉 부재(70)가 제13도에 도시된 플랜지(92)의 외주상에 설치된 후, 적절한 도구(100)가 제1부분(93)에 인접한 플랜지(92)의 측면을 대해 전 외주에 걸쳐 화살표 방향으로 가압된다. 결과적으로, 제1부분(93)은 제14도에 도시된 바와 같이, 밀봉 부재(70)를 향해 외측으로 변형되고, 이에 의해 플랜지(92) 상에 밀봉 부재(70)를 보지한다. 제14도에 도시된 상태에서, 밀봉 부재(70)가 배관 컨넥터의 양 부분 사이에서 압축될 때, 밀봉 부재(70)와 플랜지(92)사이에 밀봉성 접촉이 이루어지기 때문에, 플랜지(92)와 밀봉 부재(70)사이는 느슨하게 맞추어질 수 있다. 플랜지(92) 상에 밀봉 부재(70)를 설치하는 이와 같은 방법이 채택될 때, 변형되지 않은 상태에서 제1부분(93)의 치수는 플랜지(92) 상에 밀봉 부재(70)를 보지하는 데에 덜 중요하기 때문에, 플랜지(92)의 외주의 제조 공차는 제8a도와 제83도에 도시된 방법이 채택될 때 덜 엄격할 수 있다 그러므로, 플랜지(92)는 더 경제적으로 제조될 수 있다.
제15도는 종래의 슈퍼 제이에스케이 배관 컨넥터 내에 설치된 본 발명에 의한 필터의 다른 실시예의 일부분에 대한 종단면도이다. 필터는 중공형 기부(110)와, 기부(110)의 일단에 기밀하게 연결된 필터 요소(20)를 구비한다. 기부(110)는 필터 요소(20)와 관형부(111)로부터 방사상으로 외측을 향해 연장된 플랜지(112)를 지지하는 관형부(111) 형태의 연결부를 갖는다. 필터가 컨넥터 내에 설치된 때, 플랜지(112)는 컨넥터의 제1부분(40)과 제2부분(50) 사이에 끼워진다. 제1환형 요부(113a)와 제1환형 요부(l13b)는 플랜지(112)의 반대쪽 측면에 형성되어 있다. 필터의 종축 중심선으로부터 요부(113a)와 요부(l13b)의 거리는 컨넥터의 중심선으로부터 컨넥터의 환형 요부(44)와 요부(54)의 거리와 부합한다. 그러므로, 제15도에 도시된 바와 같이, 필터가 설치된 때, 플랜지(112)에서의 제1환형 요부(113a)와 제1환형 요부(l13b)의 각각은 컨넥터에서의 판형 요부(44)와 요부(54)와 대면한다. 조립이 된 경우, 컨넥터는 두개의 밀봉 부재(70)를 구비하는데, 그 하나는 환형 요부(113a)와 요부(44) 사이에 위치하고 다른 하나는 환형 요부(l13b)와 요부(54) 사이에 위치한다. 컨넥터의 제1부분(40)과 제2부분(50)이 도시되지 않은 어미나사에 의해 서로를 향해 이동될 때, 밀봉 부재(70)는 가압되어, 플랜지(112)의 환형 요부(113a)와 요부(l13b) 및 컨넥터의 환형 요부(44)와 요부(54)에 대해 긴밀한 밀봉성 접촉을 하게 된다. 밀봉 부재(70)와 플랜지(112)의 측면 사이의 밀봉의 완전성은 밀봉 부재(70)와 커넥터의 제1부분(40)과 제2부분(59) 사이의 밀봉의 완전성만큼 양호한 것이 바람직 하다.
기부(110)와 필터 요소(20)는 앞의 실시예에서 이에 사용된 것과 같은 재료로 만들어질 수 있다. 필터 요소(20)의 폐단부은 제1도에 도시된 것과 같은 비투과성 단부 캡과 같은 적당한 수단에 의해 밀봉될 수 있다.
기부(110)의 플랜지(112)는 조립된 배관 컨넥터의 길이를 조금만 증가시키는 얇은 부재일 수 있다. 그러므로, 제15도의 실시예는 기존 배관 라인에 쉽게 설치될 수 있다.
제1도에서 제15도는 슈퍼 제이에스케이 배관 컨넥터에 적용된 본 발명의 여러 가지 실시예를 보여 주지만, 본 발명은 다른 형식의 종래의 배관 컨넥터에도 또한 적응될 수 있다. 제16도는 일본의 토요코 카가쿠주식회사(Toyoko Kagaku Co. Ltd. )에서 엠씨지(MCG) 배관 컨넥터로 판매되는 종래의 배관 컨넥터에 적용된 본 발명의 실시예를 도시한다. 앰씨지 배관 컨렉터의 전반적인 구조는 슈퍼 제이에스케이 배관 컨넥터의 구조와 유사하며, 제2도의 슈퍼 제이에스케이 배관 컨넥터의 부분에 상응하는 제16도의 앰씨지 배관 컨넥터의 부분은 재2도의 참조 번호에 100을 더한 참조 번호에 의해 표시된다.
제16도의 엠씨지 배관 컨넥터는 연결용 어미나사(160)에 의해 결합되는 제1부분(140)과 제2부분(150)을 포함한다. 제1부분(140)은 관이 부착되는 관형부(141)와, 관형부(141)의 일단에 일체로서 형성된 직경이 큰 머리부(142)를 구비한다. 원통형 내공(143)은 제1부분(140)의 중심을 관통하여 전장에 걸쳐 형성되어 있다.
마찬가지로, 컨넥터의 제2부분(150)은 관형부(151)와, 관형부(151)의 일단에 일체로서 형성된 직경이 큰 머리부(152)를 갖는다. 원통형 내공(153)은 제2부분(150)의 중심을 관통하여 전장에 걸쳐 형성되어 있다. 제1부분(140)과 제2부분(150)이 결합되어진 때, 두 중심 내공(143)과 내공(153)은 동축상에 배치된다. 일체로 형성된 육각부(158)는 조립시 제2부분(150)을 용이하게 돌릴 수 있도록 머리부(152)에 인접하여 형성되어 있다.
연결용 어미나사(160)는 양 부분의 머리부 위로 조립되며 제2부분(150)의 머리부(152) 상에 형성된 외부 나사선(157)에 맞물리는 내부 나사선을 갖는다. 연결용 어미나사(160)에서 제1부분(140)으로 전달되는 비트는 힘을 막기 위해서, 볼 베어링(162)은 연결용 어미나사(160)의 단부의 벽(161)과 제1부분(140)의 머리부(142) 사이에 설치된다.
환형 요부(44)와 요부(54)가 제1부분(40)과 제2부분(50)의 대면하는 단부 면에 형성되어 있는 슈퍼 제이에스케이 배관 컨넥터에 비교하여, 엠씨지 컨넥터에서는 머리부(142)와 머리부(152)의 대면하는 양 단부는 밀봉 부재(70)와 밀봉성 접촉을 하도록, 각각 대면하는 평면(144)과 평면(154)을 갖는다.
각각의 평면(144)과 평면(154)의 반경상으로 내측 주변은 절삭된 모서리 면(145)과 모서리 면(155)에 의해 해당 중심 내공(143)과 내공(153)에 접속된다. 절삭된 모서리 면(145)과 모서리 면(155)이 중심 내공(143)과 내공(153)에 접속되는 모서리는 각각 참조번호 146과 156으로 표시되어 있다.
엠씨지 컨넥터는 슈퍼 제이에스케이 배관 컨넥터에 대해 기본적으로 상술한 방식과 같은 방식으로 조립되는데, 연결용 어미나사(160)를 조이는 것이 밀봉 부재를 가압하여 판형 요부와 밀봉성 접촉을 하게 되기보다는 머리부(142)와 머리부(152)의 평면(144)과 평면(154)에 대해 밀봉성 접촉을 하게 되는 것은 예외가 된다. 제16도는 밀봉 부재(70)와 밀봉성 접촉을 하는 플랜지(92)를 구비한 기부(90)를 갖는, 제7도에 도시된 형식의 필터를 사용하고 있는 엠씨지 컨넥터를 도시한다. 그러나, 앰씨지 컨넥터는 또한 제1도나 제4도에 도시된 형식과 같은, 본 발명에 따른 다른 형식의 필터와 같이 사용될 수도 있다.
제1도에서 제6도의 실시예에서, 컨넥터의 제1부분(40)과 제2부분(50)의 내면과 밀봉성 접촉을 하는 필터 기부의 백부는 필터 기부의 중심 내공을 구획짓는 융기부의 부분들이다. 그러나, 융기부를 가질 필요는 없다 제17도는 제16도에 도시된 형식의 종래의 엠씨지 배관 컨넥터 내에 설치된 본 발명에 따른 필터의 다른 실시예를 보여 준다. 본 실시예는 중공형 탄성 기부(120)와 필터 요소(20)를 포함한다. 기부(120)는 컨넥터의 제1부분(140)과 제2부분(150)의 절삭된 모서리 면(145)과 모서리 면(155)에 대해 밀봉을 하도록 설계되어 있다. 기부(120)는, 그 일단이 필터 요소(20)에 기밀하게 연결된 제1개단부와 제2개단부를 갖는 관형부(121)를 구비한다. 관형부(121)의 양단 사이에는 관형부(121)에서 방사상으로 외측을 향해 연장된 원반형의 제1벽부(122)와 제2벽부(123)가 형성되어 있다. 제1벽부(122)와 제2벽부(123) 사이의 간격과 그 외경은 기부(120)가 배관 컨넥터 내에 설치되어 있을 때 제1벽부(122)의 외주단이 절삭된 모서리 면(145)과 접촉하고, 제2벽부(123)의 외주단이 절삭된 모서리 면(155)과 접촉하도록 선정된다. 기부(120)는 앞의 실시예의 기부에 사용된 것과 같은 재료로 만들어질 수 있다.
제17도의 실선은 컨넥터가 손으로 조인 상태로 조립될 때 변형 전의 제1벽부(122)와 제2벽부(123)의 형상을 보여 준다. 컨넥터가 도시되지 않은 연결용 어미나사에 의해 조여진 때, 컨넥터의 제1부분(140)과 제2부분(150)은 서로를 향해 가압되고, 이 과정에서 제1벽부(122)와 제2벽부(123)는 기부(120)의 중심선에 대하여 점선으로 도시된 형상으로 굽어지면서 서로를 향하여 탄성적으로 변형된다. 제1벽부(122)와 제2벽부(123)는 변형에 저항하려는 성향이 있으며, 따라서 제1벽부(122)와 제2벽부(123)의 각각의 외주단은 가압되어 절삭된 모서리 면(145)과 모서리 면(155)에 대해 밀봉성 접촉을 하게 된다. 그러나, 그 대신에 제1벽부(122)와 제2벽부(123)는 절삭된 모서리 면(145)과 모서리 면(155)에 대해 표면 접촉이 이루어지도록 성형될 수 있다. 이 때에, 제1벽부(122)와 제2벽부(123)는 절삭된 모서리 면(145)과 모서리 면(155)에 대해 실제적으로 선형 접촉 또는 한정적인 면 접촉을 하게 된다. 제1벽부(122)와 제2벽부(123)가 변형되는 동시에, 밀봉 부재(70)는 변형되어 평면(144)과 평면(154)에 대해 밀봉성 접촉을 하게 되어 컨넥터에 주요한 밀봉을 형성하게 된다. 앞의 실시예에서와 같이, 기부(120)의 제1벽부(122)와 제2벽부(123)와, 절삭된 모서리 면(145)과 모서리 면(155) 사이에 형성된 밀봉은 밀봉 부재(70)에 의해 형성된 밀봉만큼 고도의 완전성을 요하지 않으며, 필터 요소(20)를 통하여 통과하기에 너무 큰 입자가 필터 요소(20)를 우회하는 것을 막기에
충분할 정도로만 양호하면 된다.
제17도의 필터는 제2도에 도시된 것과 같은 슈퍼 제이에스케이 배관 컨넥터와 같은 다른 형식의 배관 컨넥터에 사용될 수 있다. 더욱이, 배관 컨넥터가 모서리 면(145)와 모서리 면(155)에 상응하는 절삭된 표면을 갖는 것이 반드시 필요한 것은 아니며, 벽부(122)와 벽부(123)는 배관 컨넥터의 어떤 대면하는 표면에 대해서도 밀봉을 할 수 있다.
본 발명에 따른 필터는 상업적으로 입수 가능한 종래의 배관 컨넥터에 사용되는 것으로 상기에 설명되었다. 그러나, 본 발명은 이와 같은 특수한 컨넥터에 사용되는 것에 국한되지 않으며, 필터와 컨넥터 사이에 밀봉성 접촉이 가능한 다른 형식의 것에 사용될 수 있다.

Claims (42)

  1. 제1 및 제2의 부분을 갖는 배관 컨넥터에 설치되도록 마련되는 필터로서, 제1 및 제2의 개단부와 양 단부 사이에 형성된 제1 및 제2의 벽부를 갖는 중공형 기부로서 양 컨넥터부가 함께 조여지기 전에는 양 벽부가 상호간 제1거리로 이격되는 제1위치와 양 컨넥터부가 함께 조여진 후에는 양 벽부가 양 컨넥터부에 대해 밀봉되며 상호간 제2거리로 이격되는 제2위치 사이에서 양 벽부가 변형될 수 있는 중공형 금속 기부; 및 기부 상에 설치된 필터 요소를 포함하는 필터.
  2. 제1항에 있어서, 기부가 중심선을 가지며, 제1 및 제2의 벽부가 중심선에 대해 반대 방향으로 경사져 있는 것을 특징으로 하는 필터.
  3. 제2항에 있어서, 제1 및 제2의 벽부가 각각 일정한 기울기를 가지며, 기부는 제1 및 제2의 벽부를 접속하는 궁형 단면을 갖는 제3의 벽부를 포함하는 것을 특징으로 하는 필터.
  4. 제1항에 있어서, 기부가 회전체 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 필터.
  5. 제1항에 있어서, 기부가 금속관으로부터 형성되는 것을 특징으로 하는 필터.
  6. 제5항에 있어서, 금속관이 소둔된 상태인 것을 특징으로 하는 필터.
  7. 제1항에 있어서, 배출공이 개단부 사이의 기부를 통하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 필터.
  8. 제1항에 있어서, 필터 요소의 일단을 밀봉하는 단부 캡을 포함하는 것을 특징으로 하는 필터.
  9. 제1항에 있어서, 기부가, 필터 요소가 그 위에 설치되는 관형부를 포함하는 것을 특징으로 하는 필터.
  10. 제1항에 있어서, 각각의 벽부가 내면과, 내면과 유사하게 성형된 외면을 갖는 것을 특징으로 하는 필터.
  11. 절삭된 모서리 면을 갖는 제1 컨넥터부 및 제1 컨넥터부에 결합된 제2 컨넥터부를 갖는 배관 컨넥터 내에 설치되도록 마련되는 필터로서, 제1 및 제2의 개단부를 가지며 제1 및 제2의 컨넥터부가 함께 조여질 때 제1컨넥터부의 절삭된 모서리 면에 대해 기밀하게 변형될 수 있는 중공형 기부: 및 기부 상에 설치되는 필터 요소를 포함하는 필터.
  12. 제1 및 제2의 부분을 갖는 배관 컨넥터 내에 설치되도록 마련되는 필터로서, 중심선 및 방사상으로 외측을 향해 연장된 플랜지를 갖는 중공형 기부; 양 컨넥터부가 함께 조여져 플랜지 및 제1 컨넥터부와 기밀하게 접촉할 때, 적어도 제1 컨넥터부에 대해 변형될 수 있는, 중공형 횡단면을 가지며 플랜지 상에 설치되는 탄성의 밀봉 링 ; 및 기부 상에 설치되는 필터 요소를 포함하는 필터.
  13. 제12항에 있어서, 플랜지가 외주를 갖고 밀봉 링이 외주 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 필터.
  14. 제13항에 있어서, 밀봉 링이 플랜지의 외주 상에 가압되어 맞추어 지는 것을 특징으로 하는 필터.
  15. 제13항에 있어서, 컨넥터의 양 부분이 서로 조여지기 전에 밀봉 링이 플랜지의 외주 상에 느슨하게 맞추어지는 것을 특징으로 하는 필터.
  16. 제15항에 있어서, 플랜지의 외주가 제1 및 제2의 측방의 모서리를 가지며, 기부의 중심선에서 측방의 모서리까지의 거리가 기부의 중심선에서 측정한 변형되지 않은 상태에서 밀봉 링의 내경보다 더 큰 것을 특징으로 하는 필터.
  17. 제16항에 있어서, 외주가 이에 형성된 홈을 가지며, 밀봉 링이 홈 내에 위치되는 것을 특징으로 하는 필터.
  18. 제12항에 있어서, 플랜지가 측면을 가지며, 밀봉 링이 그 측면상에 설치되는 것을 특징으로 하는 필터.
  19. 제18항에 있어서, 상기 측면이 밀봉 링을 수용하기 위한 환형 요부를 갖는 것을 특징으로 하는 필터.
  20. 제19항에 있어서, 플랜지가 각각 환형 요부를 갖는 제1 및 제2의 측면을 가지며, 밀봉 링이 제1측면의 환형 요부에 수용되며, 그리고 다른 밀봉 링은 제2측면의 환형 요부에 수용되는 것을 특징으로 하는 필터.
  21. 제1 및 제2의 부분을 갖는 배관 컨넥터 내에 설치되도록 마련되는 필터로서, 중심선 및, 중심선에서 먼쪽을 향한 외주를 갖는 방사상으로 외측을 향해 연장된 플랜지를 갖는 중공형 기부; 양 컨넥터부가 함께 조여져 적어도 제1 컨넥터부에 대해 변형될 수 있는, 플랜지의 외주 및 제1 컨넥터부와 기밀하게 접촉할 때, 플랜지의 외주 상에 설치되는 탄성의 밀봉 링 ; 및 기부 상에 설치되는 필터 요소를 포함하는 필터.
  22. 제1중공형 내공과 제1단부면을 갖는 제1 컨텍터부, 제1중공형 내공과 동축 상에 있는 제2중공형 내공을 가지며 제1단부면과 대면하는 제2단부면을 갖는 제2 컨넥터부와, 및 단부면 사이에 밀봉이 이루어지도록 제1 및 제2의 단부면 사이에 위치하는 밀봉 부재를 포함하는 배관 컨넥터; 배관 컨넥터 내에서 제1 및 제2 컨넥터부 사이에 위치하며, 중심선, 제1 및 제2의 개단부와, 및 탄성적으로 변형되어 각각 제1 및 제2의 컨넥터부와 밀봉성 접촉을 하도록 양 단부 사이에 형성되고 어떤 간격으로 이격되어 있는 제1 및 제2의 벽부를 갖는 중공형 필터; 및 기부 상에 설치된 필터 요소를 포함하는 배관 컨넥터 조립품.
  23. 제22항에 있어서, 제1 및 제2의 벽부가 어떤 간격으로 이격된, 대면하는 내면을 갖는 것을 특징으로 하는 배관 컨넥터 조립품.
  24. 제2a항에 있어서, 벽부가 제1 및 제2 컨넥터 부분과 실질적으로 선형 접촉을 하고 있는 것을 특징으로 하는 배관 컨넥터 조립품.
  25. 제22항에 있어서, 벽부가 제1 및 제2 컨넥터 부분과 면 접촉을 하고 있는 것을 특징으로 하는 배관 컨넥터 조립품.
  26. 제25항에 있어서, 각각의 단부면이 이에 형성된 절삭된 모서리 면을 가지며, 벽부가 상기 절삭된 모서리 면과 기밀하게 접촉하는 것을 특징으로 하는 배관 컨넥터 조립품.
  27. 제26항에 있어서, 제1벽부가 기부의 중심선에 대하여 일정한 기울기를 가지며, 변형 전의 제1벽부의 기울기와 제1 컨넥터 부분의 모서리 면의 기울기 사이의 차이가 약 20도보다 작은 것을 특징으로 하는 배관 컨넥터 조립품.
  28. 제27항에 있어서, 기울기의 차이가 약 2도 내지 약 10도인 것을 특징으로 하는 배관 컨넥터 조립품.
  29. 제22항에 있어서, 컨넥터의 부분이 단부면이 내공과 만나는 모서리를 가지며, 기부의 벽부가 상기 모서리를 따라 컨넥터의 부분과 기밀하게 접촉하는 것을 특징으로 하는 배관 컨넥터 조립품.
  30. 제29항에 있어서, 제1벽부가 기부의 중심선에 대해 경사져 있고, 변형 전의 제1벽부에 대한 접선과 제1 컨넥터부의 모서리에서 제1 컨넥터부의 단부면 사이의 각도가 약 5도 내지 약 80도인 것을 특징으로 하는 배관 컨넥터 조립품.
  31. 제30항에 있어서, 상기 각도가 약 30도 내지 약 55도인 것을 특징으로 하는 배관 컨넥터 조립품.
  32. 제29항에 있어서, 변형 전의 제1벽부에 대한 접선과 제1 컨넥터부의 모서리에서 제1내공 사이의 각도는 적어도 약 10도인 것을 특징으로 하는 배관 컨넥터 조립품.
  33. 제22항에 있어서, 기부가, 컨넥터 부분의 각 단부면사이의 공간과 소통되는 배출공을 그의 양 개단부 사이에 형성되고 갖는 것을 특징으로 하는 배관 컨넥터 조립품.
  34. 제22항에 있어서, 밀봉 부재와 컨넥터 부분 사이의 밀폐의 완전성이 기부의 각 백부와 컨넥터 부분 사이의 밀폐의 완전성보다 더 높은 것을 특징으로 하는 배관 컨넥터 조립품.
  35. 제22항에 있어서, 벽부가 변형된 상태에 있을 때 밀봉 부재와 기부가 어떤 간격으로 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 배관 컨넥터 조립품.
  36. 제22항에 있어서, 벽부가 중심선에 대해 반대 방향으로 경사져 있는 것을 특징으로 하는 배관 컨넥터 조립품.
  37. 제1 중공형 내공과 제1단부면을 갖는 제1 컨넥터부, 제1 중공형 내공과 동축을 갖는 제2 중공형 내공과, 제1단부면과 대면하는 제2단부면을 갖는 제2 컨넥터부, 양 컨넥터부 사이에 위치하며, 중심선 및 방사상으로 외측을 향해 연장된 플랜지를 갖는 중공형 기부; 플랜지 상에 설치되고 중공형 횡단면을 가지며 플랜지 및 제1단부면과 밀봉성 접촉을 하도록 가압된 탄성의 밀봉 링 및 기부 상에 설치된 필터 요소를 포함하는 배관 컨넥터 조립품.
  38. 제37항에 있어서, 플랜지가 외주를 갖고, 밀봉 링은 외주 상에 설치되며 상기 외주 및 양 컨넥터부의 제1 및 제2단부면과 기밀하게 접촉하는 것을 특징으로 하는 배관 컨넥터 조립품.
  39. 제37항에 있어서, 플랜지가 측면을 갖고, 밀봉 링은 측면 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 배관 컨넥터 조립품.
  40. 제1 및 제2부분을 갖는 배관 컨넥터 내에 설치되도록 마련되는 필터로서, 제1 및 제2개단부를 갖는 관형부, 및 관형부로부터 연장되는 제1 및 제2의 대면하는 벽부를 갖는 중공형 기부로서, 각 벽부는 관형부에 연결된 내주변부, 및 어떤 간격으로 이격되어 대면하는 면을 갖는 외주변부를 가지며, 양 컨넥터부가 함께 조여지기 전에는 외주변부가 상호간 제1거리로 이격되는 제1위치와, 양 컨넥터부가 함께 조여진 후에는 외주변부가 양 컨벅터부에 대해 밀봉되고 상호간 제2거리로 이격되는 제2위치 사이에서 양 벽부가 변형될 수 있는 중공형 기부; 및 기부 상에 설치된 필터 요소를 포함하는 필터.
  41. 제40항에 있어서, 각 벽부가 원반형인 것을 특징으로 하는 배관 컨넥터 조립품.
  42. 제40항에 있어서, 제1 및 제2벽부가 변형되지 않은 상태에서 실질적으로 평행인 것을 특징으로 하는 배관 컨넥터 조립품.
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