KR101992086B1

KR101992086B1 - 반도체 가스배관용 피팅구

Info

Publication number: KR101992086B1
Application number: KR1020190056881A
Authority: KR
Inventors: 이은경; 최종희
Original assignee: 이은경
Priority date: 2019-05-15
Filing date: 2019-05-15
Publication date: 2019-06-21

Abstract

본 발명은 배관을 연결하는 피팅구의 안정적인 체결과 더불어 가스켓의 투입이 외부에서 이루어지도록 하는 반도체 가스배관용 피팅구에 관한 것으로, 제1관통공이 형성되고 외주면에 숫나사부가 형성되며, 후단에 다각 형상의 체결단을 갖는 메일너트; 제2관통공이 형성되고 내주면에 암나사부가 형성된 너트본체와, 상기 너트본체에 형성되며 상기 제2관통공과 연통하는 포지션슬롯,으로 구성되어 상기 메일너트와 체결되는 피메일너트; 상기 메일너트의 제1관통공과 피메일너트의 제2관통공을 각각 관통하여 설치되고, 선단에 함몰된 씰링단이 형성되며 내측으로 유로를 갖는 제1그랜드 및 제2그랜드; 및 상기 피메일너트의 포지션슬롯을 통해 삽입되며, 가스켓 포지션을 정렬한 상태로 메일너트와 피메일너트 사이로 배치시키는 가스켓얼라이너;를 포함하여 구성된다.

Description

반도체 가스배관용 피팅구{Fittings device for semiconductor gas piping}

본 발명은 반도체 가스배관용 피팅구에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 배관을 연결하는 피팅구의 안정적인 체결과 더불어 가스켓의 투입이 외부에서 이루어지도록 하는 반도체 가스배관용 피팅구에 관한 것이다.

일반적으로 반도체를 생산하는 공정은 크게 나누면 증착(deposition), 이온주입(ion injection), 포토리소그라피(photo lithography), 식각(etch), 세정(cleaning) 등이 여러 번 반복되는 것으로 이루어진다.

상기 공정 중에 가스가 필요한 공정은 플라즈마 즉 이온화된 상태의 기체를 이용하는 것으로 Ar, SiH4, N2O,PH3, SF6, Cl, O2 등의 다양한 기체가 사용되고 있으며, 이러한 기체 즉 가스의 경우 제도원가가 상당히 고가인 것이 대부분이며 또 누출이 되면 인체에 치명적인 영향을 주는 기체도 포함되어 있다.

위와 같은 가스를 유동시키기 위한 배관에는 양면접속 형태의 피팅이 적용되며, 이러한 피팅의 연결 형태는 일반 산업 배관 설비에서 사용되는 파이프 배관의 나사가공 밀폐의 연결 형태보다 나사트랩 구조로 인한 이물질 누적의 문제나 잔류가스의 정체와 같은 문제를 발생시키지 않기 때문에 고순도의 유체 또는 기체가 필요한 첨단 산업 시설의 배관에 보편적으로 사용되고 있다.

여기서, 양면접속피팅구는 양면접속피팅에 포함되는 구성부로써 메일양면접속구와 피메일양면접속구로 대변되며, 상기 메일양면접속구는 외주면으로 나사가 형성되어 외면은 볼트 형상을 가지나 내부에 면가공부재의 관통공이 구비되는 차이를 갖는 메일너트가 포함되며, 상기 피메일양면접속구는 메일너트와 체결되기 위해 내주면으로 나사가 형성된 피메일너트가 포함되는 것을 특징으로 한다.

도 1에는 양면접속피팅구를 나타낸 요부단면도로써, 일측 배관에 용접되어 설치되는 일측 면가공부재(1) 및 메일너트(4)를 구비한 메일양면접속구(6)와 타측으로 타측 배관에 용접되어 설치되는 타측 면가공부재(2) 및 피메일너트(5)를 구비한 피메일양면접속구(7)가 배치되고 상기 면가공부재들 사이로 실링가스켓(3)이 배치된다.

이때, 양면접속피팅구는 일측 면가공부재(1)의 외주면에 위치한 메일너트(4)와 타측 면가공부재(2)의 외주면에 위치한 피메일너트(5)의 나사결합 조임에 의해 씰링가스켓(3)이 양측의 면가공부재들에 의해 압착되어 밀폐되는 구조로 체결된다.

그러나, 양면접속피팅구는 면가공부재의 선단에 형성된 돌기가 가스켓과 접촉되는 구조이기 때문에, 메일너트의 설정된 체결토크 이상의 과조임이 이루어질 경우 가스켓의 파손 또는 짓눌림에 의한 가스켓의 형상이 뒤틀리게 되어 가스가 누수되는 치명적인 문제를 야기시킨다.

또한, 면가공부재의 선단에 형성된 돌기 사이로 가스켓이 배치되기 때문에 도 1에 점선으로 표시된 데드 스페이스(Dead space)가 형성될 수 밖에 없는 구조이다. 즉 가스 또는 유체가 유동하는 과정에서 가스켓에 걸리면서 와류가 형성되기 때문에 유동이 원활하지 못한 문제가 있다.

또한, 위 양면접속피팅구는 내부 가스켓의 삽입 유무를 확인할 수 없는 구조이기 때문에 가스켓이 미장착되는 오조립이 발생할 수 있는 문제가 있다.

국내공개특허 제10-2016-0125402호

본 발명은 상기와 같은 문제점 및 기술적 편견을 해소하기 위해 안출된 것으로, 배관을 연결하는 피팅구의 조립시 가스켓에 데미지가 가해지지 않도록 하고, 면가공부재와 가스켓 사이로 데드 스페이스의 발생을 방지하며, 가스켓이 외부에서 피메일너트를 통해 삽입되도록 함으로써 가스켓의 시각적 확인이 가능토록 하는 반도체 가스배관용 피팅구를 제공하는 데 그 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 가스배관용 피팅구는, 제1관통공이 형성되고 외주면에 숫나사부가 형성되며, 후단에 다각 형상의 체결단을 갖는 메일너트; 제2관통공이 형성되고 내주면에 암나사부가 형성된 너트본체와, 상기 너트본체에 형성되며 상기 제2관통공과 연통하는 포지션슬롯,으로 구성되어 상기 메일너트와 체결되는 피메일너트; 상기 메일너트의 제1관통공과 피메일너트의 제2관통공을 각각 관통하여 설치되고, 선단에 함몰된 씰링단이 형성되며 내측으로 유로를 갖는 제1그랜드 및 제2그랜드; 및 상기 피메일너트의 포지션슬롯을 통해 삽입되며, 가스켓 포지션을 정렬한 상태로 메일너트와 피메일너트 사이로 배치시키는 가스켓얼라이너;를 포함하여 구성된다.

이때, 상기 가스켓얼라이너는, 소정의 폭을 갖는 가스켓과, 상기 가스켓을 끼운상태로 직립된 상태를 유지시키는 판 상의 가스켓리테이너,로 구성된 것이 바람직하다.

또한, 상기 가스켓은, 내측에는 상기 제1그랜드 및 제2그랜드의 유로와 대응하는 직경의 유로공이 형성되고, 외주 둘레에는 상기 가스켓리테이너에 끼워지는 소정의 폭을 갖는 걸림면이 형성되며, 상기 걸림면의 양측에는 가스켓리테이너에 끼워진 가스켓의 이탈을 방지하기 위한 이탈방지턱,이 형성된 것이 바람직하다.

그리고, 상기 가스켓리테이너는, 일측이 상기 피메일너트의 제2관통공 내주면 직경과 대응하는 곡면부를 갖는 판 상의 몸체; 상기 몸체에 형성되며, 상기 가스켓이 끼워진 상태로 고정되는 고정홀; 및 상기 고정홀의 둘레를 따라 어느 일측에 고정홀과 연결되게 형성된 비틀림슬롯;으로 구성된 것이 바람직하다.

마지막으로, 상기 가스켓은 상기 제1,2그랜드의 씰링단과 면 접촉을 이루면서 씰링되는 것이 바람직하다.

상기와 같은 구성을 가진 본 발명의 반도체 가스배관용 피팅구에 의하면, 메일너트와 피메일너트의 체결이 완료되기 전에 가스켓이 피메일너트의 포지션슬롯을 통해 외부에서 삽입되고, 삽입된 가스켓이 피메일너트의 중심에 배치되게 하여 제1,2그랜드의 수용단에 안정적으로 수용되도록 함으로써 체결완료 후 가스켓의 데미지가 원천적으로 차단되게 하는 탁월한 효과가 있다.

또한, 가스켓이 피메일너트의 중심에 배치됨에 따라 가스켓의 유로공이 제1,2그랜드의 유로들과 일치되기 때문에 종래와 같이 유로 상에 데드 스페이스가 형성되지 않는 구조적 효과 또한 탁월하다.

또한, 피메일너트의 포지션슬롯을 통해 가스켓의 삽입 유무를 시각적으로 확인할 수 있는 있으며, 가스켓의 교체가 용이하게 이루어지는 효과가 있다.

도 1은 종래의 피팅구를 나타낸 요부단면도이고,
도 2는 본 발명에 따른 반도체 가스배관용 피팅구를 나타낸 사시도이며,
도 3은 도 2의 분해사시도이고,
도 4는 도 2의 단면도이며,
도 5는 도 4의 I-I선 단면도이고,
도 6은 본 발명에 따른 반도체 가스배관용 피팅구의 구성중 가스켓리테이너와 가스켓을 나타낸 분해사시도이며,
도 7은 본 발명에 따른 반도체 가스배관용 피팅구의 구성중 가스켓리테이너의 다른 형상을 보여준 분해사시도이고,
도 8a 내지 도 8b는 본 발명에 따른 반도체 가스배관용 피팅구가 체결되는 과정을 보여주는 참고도이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부된 도면을 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예들은 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

도 2는 본 발명에 따른 반도체 가스배관용 피팅구를 나타낸 사시도이며, 도 3은 도 2의 분해사시도이고, 도 4는 도 2의 단면도이며, 도 5는 도 4의 I-I선 단면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 반도체 가스배관용 피팅구의 구성중 가스켓리테이너와 가스켓을 나타낸 분해사시도이며, 도 7은 본 발명에 따른 반도체 가스배관용 피팅구의 구성중 가스켓리테이너의 다른 형상을 보여준 분해사시도이고, 도 8a 내지 도 8b는 본 발명에 따른 반도체 가스배관용 피팅구가 체결되는 과정을 보여주는 참고도이다.

도 2 내지 도 8에 나타낸 바와 같이 본 발명의 피팅구(100)는, 제1관통공(111)이 형성되고 외주면에 숫나사부(112)가 형성되며, 후단에 다각 형상의 체결단(113)을 갖는 메일너트(110); 제2관통공(122)이 형성되고 내주면에 암나사부(123)가 형성된 너트본체(121)와, 상기 너트본체(121)에 형성되며 상기 제2관통공(122)과 연통하는 포지션슬롯(124),으로 구성되어 상기 메일너트(110)와 체결되는 피메일너트(120); 상기 메일너트(110)의 제1관통공(111)과 피메일너트(120)의 제2관통공(122)을 각각 관통하여 설치되고, 선단에 함몰된 씰링단(S)이 형성되며 내측으로 유로(P)를 갖는 제1그랜드(130) 및 제2그랜드(140); 및 상기 피메일너트(120)의 포지션슬롯(124)을 통해 삽입되며, 가스켓(160) 포지션을 정렬한 상태로 메일너트(110)와 피메일너트(120) 사이로 배치시키는 가스켓얼라이너(150);를 포함하여 구성된다.

설명에 앞서, 본 발명의 피팅구(100)는 피메일너트(120)와 메일너트(110)의 체결시 가스켓(160)이 피메일너트(120)의 포지션슬롯(124)을 통해 삽입될 수 있도록 하고, 피팅구(100) 내부에 가스켓(160)의 존재 유무를 확인할 수 있는 것에 가장 큰 특징이 있다.

본 발명의 피팅구(100)는 도 2와 같이 도면상 우측에 메일너트(110)가 배치되고, 좌측으로 피메일너트(120)가 배치되어 상호 나사체결에 의해 결합된 상태를 유지하고 있다.

또한, 메일너트(110)와 피메일너트(120)의 양측으로는 각각 배관(미 도시)이 연결되는 제1그랜드(130)와 제2그랜드(140)가 노출되게 배치되어 있다.

이하, 본 발명의 피팅구(100)를 구성하는 메일너트(110), 피메일너트(120), 제1그랜드(130), 제2그랜드(140) 및 가스켓얼라이너(150)에 대해 상세히 설명하기로 한다.

메일너트(110)는 도 3 및 도 4와 같이 내측으로 제1그랜드(130)가 관통한 상태로 배치될 수 있도록 하는 원형의 제1관통공(111)이 형성되어 있으며, 외주면 일측에는 숫나사부(112)가 형성되어 있다.

그리고, 숫나사부(112)가 형성된 후단 타측에는 후술하는 피메일너트(120)와 나사체결을 이룰 때 회전력을 제공하기 위한 다각 형상의 체결단(113)이 형성되어 있다.

이 경우, 체결단(113)은 메일너트(110)의 회전을 위해 형성된 것이기 때문에 6각 또는 8각으로 형성될 수도 있다.

피메일너트(120)는 도 3 내지 도 5와 같이 외주면이 다각의 형상을 이루고 있으며, 도 4와 같이 메일너트(110)와 나사 체결되는 것으로 너트본체(121)와 포지션슬롯(124)으로 구성되어 있다.

너트본체(121)에는 도 4와 같이 내측으로 제2그랜드(140)가 관통한 상태로 배치될 수 있도록 하는 제2관통공(122)이 형성되고, 제2관통공(122)의 내주면의 도면상 우측으로는 메일너트(110)의 숫나사부(112)와 체결되는 암나사부(123)가 형성되어 있다.

포지션슬롯(124)은 너트본체(121)의 외면에서 제2관통공(122)과 연통될 수 있도록 제2관통공(122)의 중심축과 직교된 상태로 형성되어 있다.

포지션슬롯(124)은 후술하는 가스켓얼라이너(150)가 통과하여 피메일너트(120)의 제2관통공(122) 상에 배치될 수 있도록 형성된 통로로써, 포지션슬롯(124)의 길이는 도 5와 같이 후술하는 가스켓리테이너(170)의 길이와 대응하고, 포지션슬롯(124)의 폭은 도 4와 같이 후술하는 가스켓(160)의 폭과 최소한 대응된다.

제1그랜드(130) 및 제2그랜드(140)는 도 3 및 도 4와 같이, 메일너트(110)와 피메일너트(120)의 나사 체결시 메일너트(110)와 피메일너트(120)를 통해 유체 또는 기체가 유동할 수 있도록 하는 것으로, 메일너트(110)의 제1관통공(111)과 피메일너트(120)의 제2관통공(122)을 각각 관통한 상태로 마주하게 설치되며, 내측으로는 유체 또는 기체가 유동할 수 있는 유로(P)가 형성되어 있다.

또한, 제1그랜드(130) 및 제2그랜드(140)의 마주하는 선단에는 길이방향 내측으로 함몰된 씰링단(S)이 유로(P)와 연통되게 형성되어 있으며, 유로(P)와 연통된 부위를 제외한 씰링단(S)의 바닥면은 편평한 면을 이루고 있다.

이러한 씰링단(S)은 도 4와 같이 가스켓(160)의 양단을 수용시킴으로써 메일너트(110)와 피메일너트(120)의 체결에 따른 제1그랜드(130)와 제2그랜드(140)의 씰링이 이루어지도록 한다.

가스켓얼라이너(150)는 도 3 내지 도 6과 같이, 가스켓(160)이 제1그랜드(130)와 제2그랜드(140) 사이로 배치될 때 정확한 위치의 포지션이 정렬된 상태로 피메일너트(120)의 제2관통공(122) 상에 배치될 수 있도록 하는 것으로, 피메일너트(120)에 형성된 포지션슬롯(124)을 통해 제2관통공(122)으로 삽입된다.

가스켓얼라이너(150)는, 소정의 폭을 갖는 가스켓(160)과, 가스켓(160)을 끼운상태로 가스켓(160)의 직립된 상태를 유지시키는 판 상의 가스켓리테이너(170)로 구성된다.

가스켓(160)은 도 6과 같이 원형의 링 형태로, 중심부 내측에는 제1그랜드(130) 및 제2그랜드(140)의 유로(P) 직경과 대응하는 유로공(161)이 형성되고, 외주 둘레면에는 후술하는 가스켓리테이너(170)의 고정홀(173)에 끼워지는 소정의 폭을 갖는 걸림면(162)이 형성되어 있으며, 걸림면(162)의 폭 방향 양측에는 상기 걸림면(162)과 단차지게 형성되어 가스켓(160)이 가스켓리테이너(170)에 끼워진 상태에서 가스켓(160)의 이탈을 방지하기 위한 이탈방지턱(163)이 형성되어 있다.

이때, 걸림면(162)의 폭은 도 4와 같이 메일너트(110)와 피메일너트(120)가 체결완료 시, 마주하는 제1그랜드(130)와 제2그랜드(140)의 선단이 서로 맞닿지 않을 정도가 바람직한데, 이는 제1그랜드(130)와 제2그랜드(140)의 선단이 맞닿을 경우 상대적인 가스켓(160)과의 밀착력 저하로 인해 가스켓(160)의 씰링 기능이 떨어지기 때문이다.

또한, 제1그랜드(130)와 제2그랜드(140)의 선단이 이격됨에 따라 메일너트(110)의 설정된 회전 이상의 과체결이 이루어지더라도 가스켓(160)의 손상 및 데미지가 방지된다.

그리고, 이탈방지턱(163)이 형성되는 가스켓(160)의 외측방향 양면은 편평한 면을 갖는 것이 바람직한데, 이는 가스켓(160)의 양면이 메일너트(110)와 피메일너트(120)의 체결시 제1그랜드(130) 및 제2그랜드(140) 씰링단(S)의 편평한 바닥면과 완전한 면 접촉을 이루도록 함으로써 씰링이 강력하게 이루어지도록 하기 위함이다.

가스켓리테이너(170)는 몸체(171)와, 고정홀(173) 및 비틀림슬롯(174)으로 형성되어 있다.

몸체(171)는 소정의 면적을 갖는 판 상의 형상을 이루고 있으며, 몸체(171)의 일측 즉 도면상 하측에는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 피메일너트(120)의 제2관통공(122)의 내주면 직경과 대응하는 곡면부가 형성되어 있다.

곡면부는 도 5와 같이 몸체(171)가 피메일너트(120)의 포지션슬롯(124)을 통해 삽입될 때 제2관통공(122)의 도면상 하측방향 직경부위에 일치되게 안착되면서 몸체(171)가 직립되게 설치될 수 있도록 한다.

이때, 몸체(171)의 너비는 도 5와 같이 포지션슬롯(124)의 길이와 대응하거나 또는 미세하게 적은 것이 바람직한데, 이는 포지션슬롯(124)에 삽입된 몸체(171)의 유동이 최소화될 수 있도록 하기 위함이다.

고정홀(173)은 도 3과 같이 가스켓(160)이 몸체(171)에 직립된 상태로 끼워질 수 있도록 가스켓(160)의 걸림면(162)이 끼워진 상태로 고정되게 하는 것으로서, 가스켓(160)의 걸림면(162) 직경과 대응하는 직경으로 몸체(171)를 관통한 상태로 형성되어 있으며, 고정홀(173)의 중심 위치는 마주하는 제1그랜드(130) 및 제2그랜드(140)의 유로(P) 중심과 일치한다.

즉, 고정홀(173)은 도 4 및 도 5와 같이 끼워진 가스켓(160)의 직립상태를 유지시킴과 동시에 가스켓(160)의 유로공(161)이 제1,2그랜드(130.140)의 유로(P)와 정렬되도록 한다.

비틀림슬롯(174)은 도 5 및 도 6과 같이, 몸체(171)에 형성된 고정홀(173)의 둘레를 따라 도면상 상측방향으로 고정홀(173)과 연결되게 형성되어 있다.

이 비틀림슬롯(174)은 가스켓(160)이 고정홀(173)에 끼워질 때 비틀림슬롯(174)과 연결된 고정홀(173) 주변이 뒤틀려지도록 하여 가스켓(160)의 삽입이 이루어지도록 한다.

그리고, 가스켓(160)과 가스켓리테이너(170)의 재질은 서스 또는 니켈인 것이 바람직하다.

한편, 도 7에는 가스켓리테이너(170)의 다른 형상이 도시되어 있다.

여기서, 가스켓리테이너(170)의 몸체(171)에 형성된 고정홀(173)에는 고정홀(173)로부터 어느 일방향 즉 도면상 좌측방향을 향해 소정길이로 연장되게 형성되어 고정홀(173)에 끼워진 가스켓(160)의 유동을 방지하는 유동방지플레이트(177)가 더 형성될 수도 있다.

이 유동방지플레이트(177)는 판상 형태로 고정홀(173)과 직교하는 방향으로 연장되게 형성되어 있으며, 고정홀(173)에 끼워진 가스켓(160)의 걸림면(162) 표면 전체를 감싸 가스켓(160)의 유동을 방지시킨다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 피팅구(100)가 체결되는 과정을 설명하면 다음과 같다.

도 8a 내지 도 8b는 피팅구(100)가 체결되는 과정을 보여주는 참고도이다.

먼저, 도 8a와 같이 피메일너트(120)의 제2관통공(122)으로 제2그랜드(140)를 삽입하여 위치시킨다.

그리고, 메일너트(110)의 제1관통공(111)에 제2그랜드(140)를 삽입한 상태로 메일너트(110)를 피메일너트(120)에 나선 결합시킨다.

이때, 메일너트(110)는 도 8a와 같이 피메일너트(120)의 입구 선단에만 나선 결합된 상태이다.

이후, 가스켓리테이너(170)에 가스켓(160)이 끼워진 가스켓얼라이너(150)를 피메일너트(120)의 포지션슬롯(124)을 통해 도 8b와 같이 피메일너트(120)의 제2관통공(122) 내부에 안착시킨다.

이때, 가스켓리테이너(170)는 곡면부가 피메일너트(120)의 제2관통공(122) 하측의 직경부위와 일치되게 안착됨에 따라 직립된 상태를 유지하게 되고, 이로 인해 가스켓리테이너(170)에 끼워진 가스켓(160) 또한 직립된 상태를 유지하게 된다.

또한, 가스켓(160)의 유로공(161)의 중심은 제1그랜드(130) 및 제2그랜드(140)의 유로(P)와 축선상으로 일치된 상태이다.

가스켓리테이너(170)의 삽입이 완료되면, 도 8b에 도시된 어느 일방향의 화살표방향으로 메일너트(110)를 회전시키면서 피메일너트(120)와의 계속적인 체결이 이루어지도록 한다.

메일너트(110)의 계속적인 체결이 이루어질 때, 제1그랜드(130)와 제2그랜드(140)는 마주하는 간격을 줄여가게 되고, 어느 순간 제1그랜드(130)와 제2그랜드(140)의 씰링단(S)으로 가스켓(160)의 양면을 각각 수용시켜 가스켓(160)을 가압하면서 도 8c와 같이 피팅구(100)의 체결을 완료한다.

이때, 가스켓(160)의 유로공(161)은 피팅구(100)의 체결이 완료된 상태에서 도 8c와 같이 제1,2그랜드(130.140)의 유로(P)와 동일한 직경을 유지한 상태로 제1,2그랜드(130.140)를 연결시키기 때문에 종래와 같은 데드 스페이스(Dead space)를 형성하지 않아 기체 또는 유체를 흐름이 원활하게 이루어지도록 한다.

한편, 기 체결된 가스켓(160)의 유지보수 또는 교체시에는 도 8c의 상태에서 메일너트(110)를 역으로 회전시켜 도 8b와 같이 후퇴시킨 후 가스켓리테이너(170)를 인출하면 된다.

지금까지 서술된 바와 같이 본 발명의 피팅구는, 메일너트와 피메일너트의 체결이 완료되기 전에 가스켓이 피메일너트의 포지션슬롯을 통해 외부에서 삽입되고, 삽입된 가스켓이 피메일너트의 중심에 배치되게 하여 제1,2그랜드의 수용단에 안정적으로 수용되도록 함으로써 체결완료 후 가스켓의 데미지가 원천적으로 차단되게 하는 탁월한 효과가 있다.

이상, 본 발명의 피팅구를 바람직한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 설명하였으나, 이는 발명의 이해를 돕고자 하는 것일 뿐 발명의 기술적 범위를 이에 한정하고자 함이 아님은 물론이다.

즉, 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 않고도 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 다양한 변형이나 개조가 가능함은 물론이고, 그와 같은 변경이나 개조는 청구범위의 해석상 본 발명의 기술적 범위 내에 있음은 말할 나위가 없다.

100 : 피팅구 110 : 메일너트
111 : 제1관통공 112 : 숫나사부
113 : 체결단 120 : 피메일너트
121 : 너트본체 122 : 제2관통공
123 : 암나사부 124 : 포지션슬롯
130 : 제1그랜드 140 : 제2그랜드
150 : 가스켓얼라이너 160 : 가스켓
161 : 유로공 162 : 걸림면
163 : 이탈방지턱 170 : 가스켓리테이너
171 : 몸체 171a : 곡면부
173 : 고정홀 174 : 비틀림슬롯
177 : 유동방지플레이트 P : 유로
S : 씰링단

Claims

제1관통공(111)이 형성되고 외주면에 숫나사부(112)가 형성되며, 후단에 다각 형상의 체결단(113)을 갖는 메일너트(110);
제2관통공(122)이 형성되고 내주면에 암나사부(123)가 형성된 너트본체(121)와, 상기 너트본체(121)에 형성되며 상기 제2관통공(122)과 연통하는 포지션슬롯(124),으로 구성되어 상기 메일너트(110)와 체결되는 피메일너트(120);
상기 메일너트(110)의 제1관통공(111)과 피메일너트(120)의 제2관통공(122)을 각각 관통하여 설치되고, 선단에 함몰된 씰링단(S)이 형성되며 내측으로 유로(P)를 갖는 제1그랜드(130) 및 제2그랜드(140); 및
상기 피메일너트(120)의 포지션슬롯(124)을 통해 삽입되며, 가스켓(160) 포지션을 정렬한 상태로 메일너트(110)와 피메일너트(120) 사이로 배치시키는 가스켓얼라이너(150);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 가스배관용 피팅구.
제1항에 있어서,
상기 가스켓얼라이너(150)는,
소정의 폭을 갖는 가스켓(160)과, 상기 가스켓(160)을 끼운상태로 직립된 상태를 유지시키는 판 상의 가스켓리테이너(170),로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 가스배관용 피팅구.
제2항에 있어서,
상기 가스켓(160)은,
내측에는 상기 제1그랜드(130) 및 제2그랜드(140)의 유로(P)와 대응하는 직경의 유로공(161)이 형성되고, 외주 둘레에는 상기 가스켓리테이너(170)에 끼워지는 소정의 폭을 갖는 걸림면(162)이 형성되며, 상기 걸림면(162)의 양측에는 가스켓리테이너(170)에 끼워진 가스켓(160)의 이탈을 방지하기 위한 이탈방지턱(163),이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 가스배관용 피팅구.
제2항에 있어서,
상기 가스켓리테이너(170)는,
일측이 상기 피메일너트(120)의 제2관통공(122) 내주면 직경과 대응하는 곡면부를 갖는 판 상의 몸체(171);
상기 몸체(171)에 형성되며, 상기 가스켓(160)이 끼워진 상태로 고정되는 고정홀(173); 및
상기 고정홀(173)의 둘레를 따라 어느 일측에 고정홀(173)과 연결되게 형성된 비틀림슬롯(174);으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 가스배관용 피팅구.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가스켓(160)은 상기 제1,2그랜드(130.140)의 씰링단(S)과 면 접촉을 이루면서 씰링되는 것을 특징으로 하는 반도체 가스배관용 피팅구.