WO2023075106A1 - 반도체 가스 배관용 피팅 고정구 - Google Patents

반도체 가스 배관용 피팅 고정구 Download PDF

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WO2023075106A1
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female
gasket
nut
male
fitting
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PCT/KR2022/012294
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Inventor
노은식
이선용
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디케이락 주식회사
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    • F16L19/00—Joints in which sealing surfaces are pressed together by means of a member, e.g. a swivel nut, screwed on or into one of the joint parts
    • F16L19/02—Pipe ends provided with collars or flanges, integral with the pipe or not, pressed together by a screwed member
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    • F16L2201/00—Special arrangements for pipe couplings
    • F16L2201/60—Identification or marking

Definitions

  • the present invention relates to a fixture, and more particularly, to a fitting fixture for semiconductor gas piping used to connect gas piping used in a semiconductor manufacturing process.
  • a process for producing semiconductors is largely divided into deposition, ion injection, photolithography, etching, cleaning, and the like, which are repeated several times.
  • the process requiring gas uses plasma, that is, gas in an ionized state, and various gases such as Ar, SiH4, N2O, PH3, SF6, Cl, and O2 are used.
  • plasma that is, gas in an ionized state
  • gases such as Ar, SiH4, N2O, PH3, SF6, Cl, and O2 are used.
  • Ar Ar
  • SiH4, N2O, PH3, SF6, Cl, and O2 oxygen
  • connection form of these fittings does not cause problems such as accumulation of foreign substances or retention of residual gas due to the screw trap structure compared to the threaded sealing connection form of pipe piping used in general industrial plumbing facilities, so that high purity fluid or gas It is universally used for piping in high-tech industrial facilities that require
  • the double-sided fitting is a component included in the double-sided fitting and is represented by a male double-sided fitting and a female double-sided fitting.
  • a male nut having a difference provided is included
  • the female double-sided connector includes a female nut having a screw formed on an inner circumferential surface to be fastened with the male nut.
  • the previous two-sided connection fitting has a disadvantage in that it is possible to know only whether the gasket is inserted and not to check whether the nut is over-tightened or not fastened.
  • the technical problem to be achieved by the present invention is that the material of the gasket can be checked by color, the female nut can be tightened without leakage by rotating the female nut like a standard VCR type, and the work result can be checked from a distance by displaying the color on the female nut.
  • An object of the present invention is to provide a fitting fixture for semiconductor gas piping that can check both over-tightening and non-tightening and does not require image marking during fastening construction.
  • a female fitting portion connected to a pipe on one side through which gas used in a semiconductor process flows; a male fitting part connected to the other pipe at a position opposite to the one pipe and connected to the female fitting part; a female nut portion supported inside the female fitting portion; a male nut portion supported inside the male fitting portion and coupled to the female nut portion to connect the female fitting portion and the male fitting portion; and a gasket portion having one side supported by the female fitting and the other side supported by the male nut to prevent leakage of gas from the female fitting and the male fitting, wherein the gasket extends to the outside of the female nut.
  • a protruding piece including one side portion is exposed, a gasket display unit is provided on the protruding piece to display an area of the protruding piece, the gasket display unit is displayed corresponding to the material of the gasket unit, and the female nut unit has the gasket A gasket slot into which a portion is inserted is provided, a first display unit and a second display unit are provided in an area of the female nut unit in which the gasket slot is provided, and the first display unit and the second display unit are displayed in different colors so that the arm nut A fitting fixture for a semiconductor gas pipe in which a negative fastening state is displayed may be provided.
  • the gasket part may include a gasket body having a gasket hole communicating with the female fitting part and the male fitting part; a protruding piece provided on the gasket body and having an end exposed to the outside of the gasket slot; and the gasket display unit provided on the protruding piece.
  • the female nut part may include a female nut body provided with the gasket slot; The first display unit provided on one side of the female nut body provided with the gasket slot; and a second display portion provided on the other side surface of the female nut body having the gasket slot and provided in a different color from the first display portion, wherein the male nut of the female nut portion is provided when the protruding piece is positioned on the first display portion.
  • a state before locking of the part is shown, and when the protruding piece is located on the second display unit, a state in which the female nut part and the male nut part are fastened may be displayed.
  • the material of the gasket can be checked by color
  • the female nut can be rotated like a standard VCR type, and the female nut can be tightened without leaking
  • the work result can be checked from a distance by displaying the color on the female nut, and over-tightening and All non-tightening can be checked, and image marking is not required during fastening construction, so work time can be shortened and work results cannot be manipulated.
  • FIG. 1 is a view schematically showing a fitting fixture for a semiconductor gas pipe according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 2 is an exploded perspective view of Figure 1;
  • FIG. 3 is a view schematically illustrating a gasket part separated from FIG. 1 .
  • FIG. 1 is a view schematically showing a fitting fixture for a semiconductor gas pipe according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is an exploded perspective view of FIG. 1
  • FIG. drawing and
  • FIG. 4 is a use state diagram of this embodiment.
  • the fitting fixture 1 for a semiconductor gas pipe includes a female fitting part 100 connected to one side pipe through which gas used in the semiconductor process flows, and a female fitting part 100 opposite to the one side pipe.
  • the male fitting part 200 connected to the pipe on the other side of the position and connected to the female fitting part 100, the female nut part 300 supporting the female fitting part 100 inside, and the male fitting part 200
  • a male nut portion 400 supported on the inside and coupled to the female nut portion 300 to connect the female fitting portion 100 and the male fitting portion 200, one side supported by the female fitting portion 100 and the other side portion is supported by the male nut portion 400 and includes a gasket portion 500 preventing leakage of gas from the female fitting portion 100 and the male fitting portion 200 .
  • the female fitting part 100 is coupled to one side pipe through which gas used in the semiconductor process flows, and the male fitting part ( 200) can be combined.
  • the female fitting part 100 in this embodiment includes a female fitting body 110 and a first flow path 120 provided inside the female fitting body 110 .
  • multi-level steps are provided on the outer wall of the female fitting body 110, and the female fitting body 110 can be engaged and supported in the female nut body 310 of the female nut part 300.
  • the male fitting part 200 is disposed to face the female fitting part 100 and is coupled to the other pipe through which the gas used in the semiconductor process flows, and the gasket part is coupled between the male nut part 400 and the female nut part 300. It may be coupled to the female fitting part 100 with 500 interposed therebetween.
  • the male fitting part 200 is provided on one side of the male fitting body 210 disposed to face the female fitting body 110 and the male fitting body 210. It includes a gasket contact portion 220 contacting the gasket portion 500 and a second flow path 230 provided inside the male fitting body 210 .
  • the female nut part 300 may be fastened to the male nut part 400 to fix the positions of the female fitting part 100 and the male fitting part 200 with the gasket part 500 interposed therebetween.
  • the female nut part 300 is disposed at a position corresponding to the female fitting part 100 and coupled to the male nut body 410 of the male nut part 400.
  • the nut body 310 and the first display unit 320 provided on the outer surface of the female nut body 310 to indicate the fastening position of the gasket unit 500, and the female nut body to be in contact with the first display unit 320 ( 310) and includes a second display unit 330 provided on the outer surface and showing a fastening position of the gasket unit 500 and provided in a color different from that of the first display unit 320.
  • the female nut body 310 of the female nut portion 300 is provided with a gasket slot 311, and the gasket portion 500 is connected to the female nut body 310 through the gasket slot 311. ) can be entered.
  • the gasket slot 311 may be provided in the female nut body 310 in the area where the first display unit 320 and the second display unit 330 are provided.
  • the first display unit 320 of the female nut unit 300 is displayed in red, for example, so that the position of the gasket unit 500 can be easily checked even from a distance.
  • the protruding piece 520 of the gasket part 500 may be disposed on the first display part 320. That is, in this embodiment, after the female nut part 300 and the male nut part 400 are fastened, the protruding piece 520 of the gasket part 500 is the most of the gasket slot 311 provided in the first display part 320. It can be placed outside.
  • the second display unit 330 of the female nut unit 300 is displayed in blue, for example, so that the position of the gasket can be easily checked even from a distance.
  • the male nut part 400 may be fastened to the female nut part 300 to fix the positions of the female fitting part 100 and the male fitting part 200 with the gasket part 500 interposed therebetween.
  • the male nut portion 400 is provided on one side of the male nut body 410 provided with the male nut thread 411 on the outer wall and the male nut body 410 and fastened. It includes a male nut head 420 serving as a fastening place for a tool.
  • the inside of the male nut body 410 is empty, so that the gas for semiconductor processing is supplied through the male nut body 410, the male fitting body 210, the female fitting body 110, and the gasket hole 511), the female fitting body 110, and the female nut body 310.
  • the gasket portion 500 is introduced into the female nut body 310 through the gasket slot 311 of the female nut portion 300, and one side of the gasket portion 500 is a female nut. It is supported by the body 310 and the other side is supported by the gasket contact portion 220 of the male fitting portion 200 to prevent gas leakage from the female fitting portion 100 and the male fitting portion 200 .
  • the gasket unit 500 includes a gasket body 510 having a gasket hole 511 in the center thereof, and a gasket portion 510 provided on the gasket body 510 and one side of the gasket slot 311 It includes a protruding piece 520 exposed to the outside of the protruding piece 520 and a gasket display unit 530 provided on the protruding piece 520 to indicate the material of the gasket body 510 in color.
  • the gasket display unit 530 may display a color different from that of the first display unit 320 and the second display unit 330, for example, yellow.
  • the material of the gasket unit 500 can be easily confirmed by the color displayed on the gasket display unit 530 .
  • the material of the gasket can be checked by color, and the female nut can be tightened without leakage by rotating the female nut like the standard VCR type, and the work result can be checked from a distance by displaying the color on the female nut.
  • Both over-tightening and non-tightening can be checked, and since image marking is not required during fastening construction, work time can be shortened and work results cannot be manipulated.

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Abstract

반도체 가스 배관용 피팅 고정구가 개시된다. 본 발명의 반도체 가스 배관용 피팅 고정구는, 반도체 공정에 사용되는 가스가 흐르는 일측 배관에 연결되는 암 피팅부; 일측 배관과 대향되는 위치의 타측 배관에 연결되어 암 피팅부와 연결되는 수 피팅부; 암 피팅부가 내측에 지지되는 암 너트부; 수 피팅부가 내측에 지지되며 암 너트부와 결합되어 암 피팅부와 수 피팅부를 연결시키는 수 너트부; 및 일측부는 암 피팅부에 지지되고 타측부는 수 너트부에 지지되어 암 피팅부와 수 피팅부에서 가스의 누설을 방지하는 개스킷부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

반도체 가스 배관용 피팅 고정구
본 발명은, 고정구에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 반도체의 제조 공정에 사용되는 가스 배관을 연결하는데 사용되는 반도체 가스 배관용 피팅 고정구에 관한 것이다.
일반적으로 반도체를 생산하는 공정은 크게 나누면 증착(deposition), 이온주입(ion injection), 포토리소그라피(photo lithography), 식각(etch), 세정(cleaning) 등이 여러 번 반복되는 것으로 이루어진다.
전술한 공정 중에 가스가 필요한 공정은 플라즈마 즉 이온화된 상태의 기체를 이용하는 것으로 Ar, SiH4, N2O,PH3, SF6, Cl, O2 등의 다양한 기체가 사용되고 있다. 이러한 기체 즉 가스의 경우 제도원가가 상당히 고가인 것이 대부분이며 또 누출이 되면 인체에 치명적인 영향을 주는 기체도 포함되어 있다.
위와 같은 가스를 유동시키기 위한 배관에는 양면접속 형태의 피팅이 적용된다. 이러한 피팅의 연결 형태는 일반 산업 배관 설비에서 사용되는 파이프 배관의 나사가공 밀폐의 연결 형태보다 나사트랩 구조로 인한 이물질 누적의 문제나 잔류가스의 정체와 같은 문제를 발생시키지 않기 때문에 고순도의 유체 또는 기체가 필요한 첨단 산업 시설의 배관에 보편적으로 사용되고 있다.
여기서, 양면접속피팅구는 양면접속피팅에 포함되는 구성부로써 수 양면접속구와 암 양면접속구로 대변되며, 수 양면접속구는 외주면으로 나사가 형성되어 외면은 볼트 형상을 가지나 내부에 면가공부재의 관통공이 구비되는 차이를 갖는 메일너트가 포함되며, 암 양면접속구는 메일너트와 체결되기 위해 내주면으로 나사가 형성된 암 너트가 포함한다.
한편 이전의 양면접속피팅구는 개스킷의 삽입 여부만을 알 수 있고 너트의 과체결 또는 미체결을 확인할 수 없는 단점이 있다.
또한 체결 시 수 너트를 회전하도록 되어 있어 적용에 제한이 있고, 수 너트를 회전시키면 누설이 발생되더 금지 사항으로 되어 있다.
나아가 암 너트를 회전하기 위해서는 개스킷과 리테이너를 따라 제작해야 하고, 체결 시공 시 아이 마킹 작업이 필요하여 새로운 개선책이 요구된다.
전술한 기술구성은 본 발명의 이해를 돕기 위한 배경기술로서, 본 발명이 속하는 기술분야에서 널리 알려진 종래 기술을 의미하는 것은 아니다.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 개스킷의 재질을 색상으로 확인할 수 있고 표준 VCR 타입과 같이 암 너트를 회전시켜 누설없이 체결이 가능하며 암 너트에 색상을 표시하여 작업 결과를 멀리서도 확인할 수 있으며 과체결 및 미체결을 모두 확인할 수 있고 체결 시공 시 이미지 마킹이 필요없는 반도체 가스 배관용 피팅 고정구를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 반도체 공정에 사용되는 가스가 흐르는 일측 배관에 연결되는 암 피팅부; 상기 일측 배관과 대향되는 위치의 타측 배관에 연결되어 상기 암 피팅부와 연결되는 수 피팅부; 상기 암 피팅부가 내측에 지지되는 암 너트부; 상기 수 피팅부가 내측에 지지되며 상기 암 너트부와 결합되어 상기 암 피팅부와 상기 수 피팅부를 연결시키는 수 너트부; 및 일측부는 상기 암 피팅부에 지지되고 타측부는 상기 수 너트부에 지지되어 상기 암 피팅부와 상기 수 피팅부에서 가스의 누설을 방지하는 개스킷부를 포함하고, 상기 개스킷부는 상기 암 너트부의 외부로 일측부가 노출되는 돌출편을 포함하고, 상기 돌출편에는 노출된 상기 돌출편의 영역이 표시되도록 개스킷 표시부가 마련되고, 상기 개스킷 표시부는 상기 개스킷부의 재질에 대응되게 표시되고, 상기 암 너트부에는 상기 개스킷부가 삽입되는 개스킷 슬롯이 마련되고, 상기 개스킷 슬롯이 마련된 상기 암 너트부의 영역에는 제1 표시부와 제2 표시부가 마련되고, 상기 제1 표시부와 상기 제2 표시부는 서로 다른 색상으로 표시되어 상기 암 너트부의 체결 상태가 표시되는 반도체 가스 배관용 피팅 고정구가 제공될 수 있다.
상기 개스킷부는, 상기 암 피팅부 및 상기 수 피팅부와 연통되는 개스킷 홀이 마련된 개스킷 바디; 상기 개스킷 바디에 마련되어 단부가 상기 개스킷 슬롯의 외부로 노출되는 돌출편; 및 상기 돌출편에 마련되는 상기 개스킷 표시부를 포함할 수 있다.
상기 암 너트부는, 상기 개스킷 슬롯이 마련된 암 너트바디; 상기 개스킷 슬롯이 마련된 상기 암 너트바디의 일측면에 마련되는 상기 제1 표시부; 및 상기 개스킷 슬롯이 마련된 상기 암 너트바디의 타측면에 마련되며 상기 제1 표시부와 다른 색상으로 마련되는 제2 표시부를 포함하고, 상기 제1 표시부에 상기 돌출편이 위치되면 상기 암 너트부의 상기 수 너트부의 잠근 전 상태를 나타내고, 상기 제2 표시부에 상기 돌출편이 위치되면 상기 암 너트부와 상기 수 너트부가 체결된 상태를 나타날 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 개스킷의 재질을 색상으로 확인할 수 있고 표준 VCR 타입과 같이 암 너트를 회전시켜 누설없이 체결이 가능하며 암 너트에 색상을 표시하여 작업 결과를 멀리서도 확인할 수 있으며 과체결 및 미체결을 모두 확인할 수 있고 체결 시공 시 이미지 마킹이 필요없어 작업 시간을 단축할 수 있고 작업 결과의 조작이 불가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 가스 배관용 피팅 고정구를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1의 분해 사시도이다.
도 3은 도 1에서 개스킷부가 분리된 것을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 본 실시 예의 사용 상태도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 가스 배관용 피팅 고정구를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 분해 사시도이고, 도 3은 도 1에서 개스킷부가 분리된 것을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 4는 본 실시 예의 사용 상태도이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 반도체 가스 배관용 피팅 고정구(1)는, 반도체 공정에 사용되는 가스가 흐르는 일측 배관에 연결되는 암 피팅부(100)와, 일측 배관과 대향되는 위치의 타측 배관에 연결되어 암 피팅부(100)와 연결되는 수 피팅부(200)와, 암 피팅부(100)가 내측에 지지되는 암 너트부(300)와, 수 피팅부(200)가 내측에 지지되며 암 너트부(300)와 결합되어 암 피팅부(100)와 수 피팅부(200)를 연결시키는 수 너트부(400)와, 일측부는 암 피팅부(100)에 지지되고 타측부는 수 너트부(400)에 지지되어 암 피팅부(100)와 수 피팅부(200)에서 가스의 누설을 방지하는 개스킷부(500)를 구비한다.
암 피팅부(100)는, 반도체 공정에 사용되는 가스가 흐르는 일측 배관에 결합되며 수 너트부(400)와 암 너트부(300)의 결합으로 개스킷부(500)를 사이에 두고 수 피팅부(200)와 결합될 수 있다.
본 실시 예에서 암 피팅부(100)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 암 피팅바디(110)와, 암 피팅바디(110)의 내부에 마련되는 제1 유로(120)를 포함한다.
본 실시 예에서 암 피팅바디(110)의 외벽에는 다단의 단턱이 마련되어 암 피팅바디(110)는 암 너트부(300)의 암 너트바디(310)의 내부에 걸림 지지될 수 있다.
수 피팅부(200)는, 암 피팅부(100)와 마주보도록 배치되며 반도체 공정에 사용되는 가스가 흐르는 타측 배관에 결합되며 수 너트부(400)와 암 너트부(300)의 결합으로 개스킷부(500)를 사이에 두고 암 피팅부(100)와 결합될 수 있다.
본 실시 예에서 수 피팅부(200)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 암 피팅바디(110)와 마주보게 배치되는 수 피팅바디(210)와, 수 피팅바디(210)의 일측부에 마련되어 개스킷부(500)와 접촉되는 개스킷 접촉부(220)와, 수 피팅바디(210)의 내부에 마련되는 제2 유로(230)를 포함한다.
암 너트부(300)는, 수 너트부(400)와 체결되어 개스킷부(500)를 사이에 두고 암 피팅부(100)와 수 피팅부(200)를 위치 고정시킬 수 있다.
본 실시 예에서 암 너트부(300)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 암 피팅부(100)와 대응되는 위치에 배치되며 수 너트부(400)의 수 너트바디(410)와 결합되는 암 너트바디(310)와, 암 너트바디(310)의 외측 표면부에 마련되어 개스킷부(500)의 체결 위치를 나타내는 제1 표시부(320)와, 제1 표시부(320)와 접하도록 암 너트바디(310)의 외측 표면부에 마련되어 개스킷부(500)의 체결 위치를 나타내며 제1 표시부(320)와 다른 색상으로 마련되는 제2 표시부(330)를 포함한다.
암 너트부(300)의 암 너트바디(310)에는, 도 2에 도시된 바와 같이, 개스킷 슬롯(311)이 마련되고, 개스킷부(500)는 개스킷 슬롯(311)을 통해 암 너트바디(310)로 인입될 수 있다.
본 실시 예에서 개스킷 슬롯(311)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 표시부(320)와 제2 표시부(330)가 마련된 영역의 암 너트바디(310)에 마련될 수 있다.
암 너트부(300)의 제1 표시부(320)는, 예를 들어 빨간색으로 표시되어 멀리서도 개스킷부(500)의 위치를 쉽게 확인하도록 가이드할 수 있다. 본 실시 예에서 암 너트부(300)를 수 너트부(400)에 체결이 완료된 후에 개스킷부(500)의 돌출편(520)은 제1 표시부(320)에 배치될 수 있다. 즉 본 실시 예에서 암 너트부(300)와 수 너트부(400)의 체결이 완료된 후에 개스킷부(500)의 돌출편(520)은 제1 표시부(320)에 마련된 개스킷 슬롯(311)의 가장 외측자리에 배치될 수 있다.
암 너트부(300)의 제2 표시부(330)는, 예를 들어 파란색으로 표시되어 멀리서도 개스킷의 위치를 쉽게 확인하도록 가이드할 수 있다.
수 너트부(400)는, 암 너트부(300)와 체결되어 개스킷부(500)를 사이에 두고 암 피팅부(100)와 수 피팅부(200)를 위치 고정시킬 수 있다.
본 실시 예에서 수 너트부(400)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 외벽에 수 너트나사산(411)이 마련된 수 너트바디(410)와, 수 너트바디(410)의 일측부에 마련되어 체결 공구의 체결 장소로 제공되는 수 너트헤드(420)를 포함한다.
본 실시 예에서 수 너트바디(410)의 내부는 비어 있어 반도체 공정용 가스는 수 너트바디(410), 수 피팅바디(210), 암 피팅바디(110), 개스킷부(500)의 개스킷 홀(511), 암 피팅바디(110), 암 너트바디(310)의 내부로 이동될 수 있다.
개스킷부(500)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 암 너트부(300)의 개스킷 슬롯(311)을 통해 암 너트바디(310)의 내부로 인입되며 개스킷부(500)의 일측부는 암 너트바디(310)에 지지되고 타측부는 수 피팅부(200)의 개스킷 접촉부(220)에 지지되어 암 피팅부(100)와 수 피팅부(200)에서 가스가 누설되는 것을 방지할 수 있다.
본 실시 예에서 개스킷부(500)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 중앙부에 개스킷 홀(511)이 마련된 개스킷 바디(510)와, 개스킷 바디(510)에 마련되며 일측부가 개스킷 슬롯(311)의 외부로 노출되는 돌출편(520)과, 돌출편(520)에 마련되어 개스킷 바디(510)의 재질을 색상으로 나타내는 개스킷 표시부(530)를 포함한다.
본 실시 예에서 개스킷 표시부(530)에는 전술한 제1 표시부(320) 및 제2 표시부(330)와 다른 색상 예를 들어 노랑색으로 표시될 수 있다.
본 실시 예는 암 너트바디(310)의 체결 시 돌출부가 암 너트바디(310)에 걸려 회전되므로 암 너트바디(310)의 과체결 및 미체결을 모두 확인할 수 있다.
또한 본 실시 예는 개스킷 표시부(530)에 표시되는 색상으로 개스킷부(500)의 재질을 쉽게 확인할 수 있다.
이상에서 살펴 본 바와 같이 본 실시 예는 개스킷의 재질을 색상으로 확인할 수 있고 표준 VCR 타입과 같이 암 너트를 회전시켜 누설없이 체결이 가능하며 암 너트에 색상을 표시하여 작업 결과를 멀리서도 확인할 수 있으며 과체결 및 미체결을 모두 확인할 수 있고 체결 시공 시 이미지 마킹이 필요없어 작업 시간을 단축할 수 있고 작업 결과의 조작이 불가능하다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

Claims (3)

  1. 반도체 공정에 사용되는 가스가 흐르는 일측 배관에 연결되는 암 피팅부;
    상기 일측 배관과 대향되는 위치의 타측 배관에 연결되어 상기 암 피팅부와 연결되는 수 피팅부;
    상기 암 피팅부가 내측에 지지되는 암 너트부;
    상기 수 피팅부가 내측에 지지되며 상기 암 너트부와 결합되어 상기 암 피팅부와 상기 수 피팅부를 연결시키는 수 너트부; 및
    일측부는 상기 암 피팅부에 지지되고 타측부는 상기 수 너트부에 지지되어 상기 암 피팅부와 상기 수 피팅부에서 가스의 누설을 방지하는 개스킷부를 포함하고,
    상기 개스킷부는 상기 암 너트부의 외부로 일측부가 노출되는 돌출편을 포함하고,
    상기 돌출편에는 노출된 상기 돌출편의 영역이 표시되도록 개스킷 표시부가 마련되고, 상기 개스킷 표시부는 상기 개스킷부의 재질에 대응되게 표시되고,
    상기 암 너트부에는 상기 개스킷부가 삽입되는 개스킷 슬롯이 마련되고,
    상기 개스킷 슬롯이 마련된 상기 암 너트부의 영역에는 제1 표시부와 제2 표시부가 마련되고,
    상기 제1 표시부와 상기 제2 표시부는 서로 다른 색상으로 표시되어 상기 암 너트부의 체결 상태가 표시되는 반도체 가스 배관용 피팅 고정구.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 개스킷부는,
    상기 암 피팅부 및 상기 수 피팅부와 연통되는 개스킷 홀이 마련된 개스킷 바디;
    상기 개스킷 바디에 마련되어 단부가 상기 개스킷 슬롯의 외부로 노출되는 돌출편; 및
    상기 돌출편에 마련되는 상기 개스킷 표시부를 포함하는 반도체 가스 배관용 피팅 고정구.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 암 너트부는,
    상기 개스킷 슬롯이 마련된 암 너트바디;
    상기 개스킷 슬롯이 마련된 상기 암 너트바디의 일측면에 마련되는 상기 제1 표시부; 및
    상기 개스킷 슬롯이 마련된 상기 암 너트바디의 타측면에 마련되며 상기 제1 표시부와 다른 색상으로 마련되는 제2 표시부를 포함하고,
    상기 제1 표시부에 상기 돌출편이 위치되면 상기 암 너트부의 상기 수 너트부의 잠근 전 상태를 나타내고, 상기 제2 표시부에 상기 돌출편이 위치되면 상기 암 너트부와 상기 수 너트부가 체결된 상태를 나타내는 반도체 가스 배관용 피팅 고정구.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003028396A (ja) * 2001-07-23 2003-01-29 Ito Koki Kk 液化ガスの気化装置
JP2008216156A (ja) * 2007-03-07 2008-09-18 Taiyo Nippon Sanso Engineering Corp 管継手の締め付け角度判定方法及び管継手の締め付け角度判定治具
KR101407676B1 (ko) * 2013-09-17 2014-06-13 주식회사 유니락 파이프 피팅 장치의 스톱 칼라
JP2017106562A (ja) * 2015-12-10 2017-06-15 ダイキン工業株式会社 管継手
KR101992086B1 (ko) * 2019-05-15 2019-06-21 이은경 반도체 가스배관용 피팅구

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6857638B2 (en) * 2003-02-14 2005-02-22 Rubber Fab, Inc. Gasket for sanitary fittings
KR101612778B1 (ko) 2014-09-29 2016-04-18 (주)엠지씨 반도체 가스배관용 피팅 고정장치
KR102398655B1 (ko) 2020-05-28 2022-05-13 진현 조개채취장치

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003028396A (ja) * 2001-07-23 2003-01-29 Ito Koki Kk 液化ガスの気化装置
JP2008216156A (ja) * 2007-03-07 2008-09-18 Taiyo Nippon Sanso Engineering Corp 管継手の締め付け角度判定方法及び管継手の締め付け角度判定治具
KR101407676B1 (ko) * 2013-09-17 2014-06-13 주식회사 유니락 파이프 피팅 장치의 스톱 칼라
JP2017106562A (ja) * 2015-12-10 2017-06-15 ダイキン工業株式会社 管継手
KR101992086B1 (ko) * 2019-05-15 2019-06-21 이은경 반도체 가스배관용 피팅구

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