KR20230062181A - 반도체 가스 배관용 피팅 고정구 - Google Patents

반도체 가스 배관용 피팅 고정구 Download PDF

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Abstract

반도체 가스 배관용 피팅 고정구가 개시된다. 본 발명의 반도체 가스 배관용 피팅 고정구는, 반도체 공정에 사용되는 가스가 흐르는 일측 배관에 연결되는 암 피팅부; 일측 배관과 대향되는 위치의 타측 배관에 연결되어 암 피팅부와 연결되는 수 피팅부; 암 피팅부가 내측에 지지되는 암 너트부; 수 피팅부가 내측에 지지되며 암 너트부와 결합되어 암 피팅부와 수 피팅부를 연결시키는 수 너트부; 및 일측부는 암 피팅부에 지지되고 타측부는 수 너트부에 지지되어 암 피팅부와 수 피팅부에서 가스의 누설을 방지하는 개스킷부를 포함하고, 개스킷부는 암 너트부의 외부로 일측부가 노출되는 돌출편을 포함하고, 돌출편에는 노출된 돌출편의 영역이 표시되도록 개스킷 표시부가 마련되고, 개스킷 표시부는 상기 개스킷부의 재질에 대응되게 표시되고, 암 너트부에는 개스킷부가 삽입되는 개스킷 슬롯이 마련되고, 개스킷 슬롯이 마련된 암 너트부의 영역에는 제1 표시부와 제2 표시부가 마련되고, 제1 표시부와 제2 표시부는 서로 다른 색상으로 표시되어 암 너트부의 체결 상태가 표시되는 것을 특징으로 한다.

Description

반도체 가스 배관용 피팅 고정구{FIXING APPARATUS FOR A GAS PIPE OF SEMICONDUCTOR}
본 발명은, 고정구에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 반도체의 제조 공정에 사용되는 가스 배관을 연결하는데 사용되는 반도체 가스 배관용 피팅 고정구에 관한 것이다.
일반적으로 반도체를 생산하는 공정은 크게 나누면 증착(deposition), 이온주입(ion injection), 포토리소그라피(photo lithography), 식각(etch), 세정(cleaning) 등이 여러 번 반복되는 것으로 이루어진다.
전술한 공정 중에 가스가 필요한 공정은 플라즈마 즉 이온화된 상태의 기체를 이용하는 것으로 Ar, SiH4, N2O,PH3, SF6, Cl, O2 등의 다양한 기체가 사용되고 있다. 이러한 기체 즉 가스의 경우 제도원가가 상당히 고가인 것이 대부분이며 또 누출이 되면 인체에 치명적인 영향을 주는 기체도 포함되어 있다.
위와 같은 가스를 유동시키기 위한 배관에는 양면접속 형태의 피팅이 적용된다. 이러한 피팅의 연결 형태는 일반 산업 배관 설비에서 사용되는 파이프 배관의 나사가공 밀폐의 연결 형태보다 나사트랩 구조로 인한 이물질 누적의 문제나 잔류가스의 정체와 같은 문제를 발생시키지 않기 때문에 고순도의 유체 또는 기체가 필요한 첨단 산업 시설의 배관에 보편적으로 사용되고 있다.
여기서, 양면접속피팅구는 양면접속피팅에 포함되는 구성부로써 수 양면접속구와 암 양면접속구로 대변되며, 수 양면접속구는 외주면으로 나사가 형성되어 외면은 볼트 형상을 가지나 내부에 면가공부재의 관통공이 구비되는 차이를 갖는 메일너트가 포함되며, 암 양면접속구는 메일너트와 체결되기 위해 내주면으로 나사가 형성된 암 너트가 포함한다.
한편 이전의 양면접속피팅구는 개스킷의 삽입 여부만을 알 수 있고 너트의 과체결 또는 미체결을 확인할 수 없는 단점이 있다.
또한 체결 시 수 너트를 회전하도록 되어 있어 적용에 제한이 있고, 수 너트를 회전시키면 누설이 발생되더 금지 사항으로 되어 있다.
나아가 암 너트를 회전하기 위해서는 개스킷과 리테이너를 따라 제작해야 하고, 체결 시공 시 아이 마킹 작업이 필요하여 새로운 개선책이 요구된다.
전술한 기술구성은 본 발명의 이해를 돕기 위한 배경기술로서, 본 발명이 속하는 기술분야에서 널리 알려진 종래 기술을 의미하는 것은 아니다.
한국등록특허공보 제10-1612778호(주식회사 엠지씨) 2016. 04. 08.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 개스킷의 재질을 색상으로 확인할 수 있고 표준 VCR 타입과 같이 암 너트를 회전시켜 누설없이 체결이 가능하며 암 너트에 색상을 표시하여 작업 결과를 멀리서도 확인할 수 있으며 과체결 및 미체결을 모두 확인할 수 있고 체결 시공 시 이미지 마킹이 필요없는 반도체 가스 배관용 피팅 고정구를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 반도체 공정에 사용되는 가스가 흐르는 일측 배관에 연결되는 암 피팅부; 상기 일측 배관과 대향되는 위치의 타측 배관에 연결되어 상기 암 피팅부와 연결되는 수 피팅부; 상기 암 피팅부가 내측에 지지되는 암 너트부; 상기 수 피팅부가 내측에 지지되며 상기 암 너트부와 결합되어 상기 암 피팅부와 상기 수 피팅부를 연결시키는 수 너트부; 및 일측부는 상기 암 피팅부에 지지되고 타측부는 상기 수 너트부에 지지되어 상기 암 피팅부와 상기 수 피팅부에서 가스의 누설을 방지하는 개스킷부를 포함하고, 상기 개스킷부는 상기 암 너트부의 외부로 일측부가 노출되는 돌출편을 포함하고, 상기 돌출편에는 노출된 상기 돌출편의 영역이 표시되도록 개스킷 표시부가 마련되고, 상기 개스킷 표시부는 상기 개스킷부의 재질에 대응되게 표시되고, 상기 암 너트부에는 상기 개스킷부가 삽입되는 개스킷 슬롯이 마련되고, 상기 개스킷 슬롯이 마련된 상기 암 너트부의 영역에는 제1 표시부와 제2 표시부가 마련되고, 상기 제1 표시부와 상기 제2 표시부는 서로 다른 색상으로 표시되어 상기 암 너트부의 체결 상태가 표시되는 반도체 가스 배관용 피팅 고정구가 제공될 수 있다.
상기 개스킷부는, 상기 암 피팅부 및 상기 수 피팅부와 연통되는 개스킷 홀이 마련된 개스킷 바디; 상기 개스킷 바디에 마련되어 단부가 상기 개스킷 슬롯의 외부로 노출되는 돌출편; 및 상기 돌출편에 마련되는 상기 개스킷 표시부를 포함할 수 있다.
상기 암 너트부는, 상기 개스킷 슬롯이 마련된 암 너트바디; 상기 개스킷 슬롯이 마련된 상기 암 너트바디의 일측면에 마련되는 상기 제1 표시부; 및 상기 개스킷 슬롯이 마련된 상기 암 너트바디의 타측면에 마련되며 상기 제1 표시부와 다른 색상으로 마련되는 제2 표시부를 포함하고, 상기 제1 표시부에 상기 돌출편이 위치되면 상기 암 너트부의 상기 수 너트부의 잠근 전 상태를 나타내고, 상기 제2 표시부에 상기 돌출편이 위치되면 상기 암 너트부와 상기 수 너트부가 체결된 상태를 나타날 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 개스킷의 재질을 색상으로 확인할 수 있고 표준 VCR 타입과 같이 암 너트를 회전시켜 누설없이 체결이 가능하며 암 너트에 색상을 표시하여 작업 결과를 멀리서도 확인할 수 있으며 과체결 및 미체결을 모두 확인할 수 있고 체결 시공 시 이미지 마킹이 필요없어 작업 시간을 단축할 수 있고 작업 결과의 조작이 불가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 가스 배관용 피팅 고정구를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1의 분해 사시도이다.
도 3은 도 1에서 개스킷부가 분리된 것을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 본 실시 예의 사용 상태도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 가스 배관용 피팅 고정구를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 분해 사시도이고, 도 3은 도 1에서 개스킷부가 분리된 것을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 4는 본 실시 예의 사용 상태도이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 반도체 가스 배관용 피팅 고정구(1)는, 반도체 공정에 사용되는 가스가 흐르는 일측 배관에 연결되는 암 피팅부(100)와, 일측 배관과 대향되는 위치의 타측 배관에 연결되어 암 피팅부(100)와 연결되는 수 피팅부(200)와, 암 피팅부(100)가 내측에 지지되는 암 너트부(300)와, 수 피팅부(200)가 내측에 지지되며 암 너트부(300)와 결합되어 암 피팅부(100)와 수 피팅부(200)를 연결시키는 수 너트부(400)와, 일측부는 암 피팅부(100)에 지지되고 타측부는 수 너트부(400)에 지지되어 암 피팅부(100)와 수 피팅부(200)에서 가스의 누설을 방지하는 개스킷부(500)를 구비한다.
암 피팅부(100)는, 반도체 공정에 사용되는 가스가 흐르는 일측 배관에 결합되며 수 너트부(400)와 암 너트부(300)의 결합으로 개스킷부(500)를 사이에 두고 수 피팅부(200)와 결합될 수 있다.
본 실시 예에서 암 피팅부(100)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 암 피팅바디(110)와, 암 피팅바디(110)의 내부에 마련되는 제1 유로(120)를 포함한다.
본 실시 예에서 암 피팅바디(110)의 외벽에는 다단의 단턱이 마련되어 암 피팅바디(110)는 암 너트부(300)의 암 너트바디(310)의 내부에 걸림 지지될 수 있다.
수 피팅부(200)는, 암 피팅부(100)와 마주보도록 배치되며 반도체 공정에 사용되는 가스가 흐르는 타측 배관에 결합되며 수 너트부(400)와 암 너트부(300)의 결합으로 개스킷부(500)를 사이에 두고 암 피팅부(100)와 결합될 수 있다.
본 실시 예에서 수 피팅부(200)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 암 피팅바디(110)와 마주보게 배치되는 수 피팅바디(210)와, 수 피팅바디(210)의 일측부에 마련되어 개스킷부(500)와 접촉되는 개스킷 접촉부(220)와, 수 피팅바디(210)의 내부에 마련되는 제2 유로(230)를 포함한다.
암 너트부(300)는, 수 너트부(400)와 체결되어 개스킷부(500)를 사이에 두고 암 피팅부(100)와 수 피팅부(200)를 위치 고정시킬 수 있다.
본 실시 예에서 암 너트부(300)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 암 피팅부(100)와 대응되는 위치에 배치되며 수 너트부(400)의 수 너트바디(410)와 결합되는 암 너트바디(310)와, 암 너트바디(310)의 외측 표면부에 마련되어 개스킷부(500)의 체결 위치를 나타내는 제1 표시부(320)와, 제1 표시부(320)와 접하도록 암 너트바디(310)의 외측 표면부에 마련되어 개스킷부(500)의 체결 위치를 나타내며 제1 표시부(320)와 다른 색상으로 마련되는 제2 표시부(330)를 포함한다.
암 너트부(300)의 암 너트바디(310)에는, 도 2에 도시된 바와 같이, 개스킷 슬롯(311)이 마련되고, 개스킷부(500)는 개스킷 슬롯(311)을 통해 암 너트바디(310)로 인입될 수 있다.
본 실시 예에서 개스킷 슬롯(311)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 표시부(320)와 제2 표시부(330)가 마련된 영역의 암 너트바디(310)에 마련될 수 있다.
암 너트부(300)의 제1 표시부(320)는, 예를 들어 빨간색으로 표시되어 멀리서도 개스킷부(500)의 위치를 쉽게 확인하도록 가이드할 수 있다. 본 실시 예에서 암 너트부(300)를 수 너트부(400)에 체결이 완료된 후에 개스킷부(500)의 돌출편(520)은 제1 표시부(320)에 배치될 수 있다. 즉 본 실시 예에서 암 너트부(300)와 수 너트부(400)의 체결이 완료된 후에 개스킷부(500)의 돌출편(520)은 제1 표시부(320)에 마련된 개스킷 슬롯(311)의 가장 외측자리에 배치될 수 있다.
암 너트부(300)의 제2 표시부(330)는, 예를 들어 파란색으로 표시되어 멀리서도 개스킷의 위치를 쉽게 확인하도록 가이드할 수 있다.
수 너트부(400)는, 암 너트부(300)와 체결되어 개스킷부(500)를 사이에 두고 암 피팅부(100)와 수 피팅부(200)를 위치 고정시킬 수 있다.
본 실시 예에서 수 너트부(400)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 외벽에 수 너트나사산(411)이 마련된 수 너트바디(410)와, 수 너트바디(410)의 일측부에 마련되어 체결 공구의 체결 장소로 제공되는 수 너트헤드(420)를 포함한다.
본 실시 예에서 수 너트바디(410)의 내부는 비어 있어 반도체 공정용 가스는 수 너트바디(410), 수 피팅바디(210), 암 피팅바디(110), 개스킷부(500)의 개스킷 홀(511), 암 피팅바디(110), 암 너트바디(310)의 내부로 이동될 수 있다.
개스킷부(500)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 암 너트부(300)의 개스킷 슬롯(311)을 통해 암 너트바디(310)의 내부로 인입되며 개스킷부(500)의 일측부는 암 너트바디(310)에 지지되고 타측부는 수 피팅부(200)의 개스킷 접촉부(220)에 지지되어 암 피팅부(100)와 수 피팅부(200)에서 가스가 누설되는 것을 방지할 수 있다.
본 실시 예에서 개스킷부(500)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 중앙부에 개스킷 홀(511)이 마련된 개스킷 바디(510)와, 개스킷 바디(510)에 마련되며 일측부가 개스킷 슬롯(311)의 외부로 노출되는 돌출편(520)과, 돌출편(520)에 마련되어 개스킷 바디(510)의 재질을 색상으로 나타내는 개스킷 표시부(530)를 포함한다.
본 실시 예에서 개스킷 표시부(530)에는 전술한 제1 표시부(320) 및 제2 표시부(330)와 다른 색상 예를 들어 노랑색으로 표시될 수 있다.
본 실시 예는 암 너트바디(310)의 체결 시 돌출부가 암 너트바디(310)에 걸려 회전되므로 암 너트바디(310)의 과체결 및 미체결을 모두 확인할 수 있다.
또한 본 실시 예는 개스킷 표시부(530)에 표시되는 색상으로 개스킷부(500)의 재질을 쉽게 확인할 수 있다.
이상에서 살펴 본 바와 같이 본 실시 예는 개스킷의 재질을 색상으로 확인할 수 있고 표준 VCR 타입과 같이 암 너트를 회전시켜 누설없이 체결이 가능하며 암 너트에 색상을 표시하여 작업 결과를 멀리서도 확인할 수 있으며 과체결 및 미체결을 모두 확인할 수 있고 체결 시공 시 이미지 마킹이 필요없어 작업 시간을 단축할 수 있고 작업 결과의 조작이 불가능하다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
1 : 반도체 가스 배관용 피팅 고정구
100 : 암 피팅부 110 : 암 피팅바디
120 : 제1 유로 200 : 수 피팅부
210 : 수 피팅바디 220 : 개스킷 접촉부
230 : 제2 유로 300 : 암 너트부
310 : 암 너트바디 311 : 개스킷 슬롯
320 : 제1 표시부 330 : 제2 표시부
400 : 수 너트부 410 : 수 너트바디
411 : 수 너트나사산 420 : 수 너트헤드
500 : 개스킷부 510 : 개스킷 바디
511 : 개스킷 홀 520 : 돌출편
530 : 개스킷 표시부

Claims (3)

  1. 반도체 공정에 사용되는 가스가 흐르는 일측 배관에 연결되는 암 피팅부;
    상기 일측 배관과 대향되는 위치의 타측 배관에 연결되어 상기 암 피팅부와 연결되는 수 피팅부;
    상기 암 피팅부가 내측에 지지되는 암 너트부;
    상기 수 피팅부가 내측에 지지되며 상기 암 너트부와 결합되어 상기 암 피팅부와 상기 수 피팅부를 연결시키는 수 너트부; 및
    일측부는 상기 암 피팅부에 지지되고 타측부는 상기 수 너트부에 지지되어 상기 암 피팅부와 상기 수 피팅부에서 가스의 누설을 방지하는 개스킷부를 포함하고,
    상기 개스킷부는 상기 암 너트부의 외부로 일측부가 노출되는 돌출편을 포함하고,
    상기 돌출편에는 노출된 상기 돌출편의 영역이 표시되도록 개스킷 표시부가 마련되고, 상기 개스킷 표시부는 상기 개스킷부의 재질에 대응되게 표시되고,
    상기 암 너트부에는 상기 개스킷부가 삽입되는 개스킷 슬롯이 마련되고,
    상기 개스킷 슬롯이 마련된 상기 암 너트부의 영역에는 제1 표시부와 제2 표시부가 마련되고,
    상기 제1 표시부와 상기 제2 표시부는 서로 다른 색상으로 표시되어 상기 암 너트부의 체결 상태가 표시되는 반도체 가스 배관용 피팅 고정구.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 개스킷부는,
    상기 암 피팅부 및 상기 수 피팅부와 연통되는 개스킷 홀이 마련된 개스킷 바디;
    상기 개스킷 바디에 마련되어 단부가 상기 개스킷 슬롯의 외부로 노출되는 돌출편; 및
    상기 돌출편에 마련되는 상기 개스킷 표시부를 포함하는 반도체 가스 배관용 피팅 고정구.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 암 너트부는,
    상기 개스킷 슬롯이 마련된 암 너트바디;
    상기 개스킷 슬롯이 마련된 상기 암 너트바디의 일측면에 마련되는 상기 제1 표시부; 및
    상기 개스킷 슬롯이 마련된 상기 암 너트바디의 타측면에 마련되며 상기 제1 표시부와 다른 색상으로 마련되는 제2 표시부를 포함하고,
    상기 제1 표시부에 상기 돌출편이 위치되면 상기 암 너트부의 상기 수 너트부의 잠근 전 상태를 나타내고, 상기 제2 표시부에 상기 돌출편이 위치되면 상기 암 너트부와 상기 수 너트부가 체결된 상태를 나타내는 반도체 가스 배관용 피팅 고정구.
KR1020210147185A 2021-10-29 2021-10-29 반도체 가스 배관용 피팅 고정구 KR102642714B1 (ko)

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