JP2003029848A - 定圧レギュレータ - Google Patents
定圧レギュレータInfo
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D16/00—Control of fluid pressure
- G05D16/04—Control of fluid pressure without auxiliary power
- G05D16/06—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule
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- G05—CONTROLLING; REGULATING
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- G05D16/0644—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule the sensing element being a membrane the membrane acting directly on the obturator
- G05D16/0647—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule the sensing element being a membrane the membrane acting directly on the obturator using one membrane without spring
- G05D16/065—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule the sensing element being a membrane the membrane acting directly on the obturator using one membrane without spring characterised by the form of the obturator
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
- F16K27/0236—Diaphragm cut-off apparatus
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
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- Y10T137/7781—With separate connected fluid reactor surface
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 長期にわたって弁室のシール性能を保持し腐
食性の薬液ラインにおいて使用可能な定圧レギュレータ
を提供する。 【解決手段】 本体１と蓋体２との間に本体とで気室９
を形成するダイヤフラム４が挟持され、気室の周囲には
本体と蓋とにより挟持される気室形成リング３が設けら
れ、気室形成リングの上面と下面には、ダイヤフラムの
環状突部１５を裏打ちするシールリング２２が嵌挿され
る第１の凹所２３と、気室９を密封するシールリング２
４が嵌挿される第２の凹所２５とが、それぞれ設けられ
ている。ダイヤフラム４は本体に形成されたプラグ６と
で流体制御部１２を形成する中央円筒部１３を有し、ダ
イヤフラム４と蓋体２との間には第２の弁室２０が形成
され、本体１には第１の弁室７と入口流路８が、また第
２の弁室２０には出口流路２１が、形成されている。
食性の薬液ラインにおいて使用可能な定圧レギュレータ
を提供する。 【解決手段】 本体１と蓋体２との間に本体とで気室９
を形成するダイヤフラム４が挟持され、気室の周囲には
本体と蓋とにより挟持される気室形成リング３が設けら
れ、気室形成リングの上面と下面には、ダイヤフラムの
環状突部１５を裏打ちするシールリング２２が嵌挿され
る第１の凹所２３と、気室９を密封するシールリング２
４が嵌挿される第２の凹所２５とが、それぞれ設けられ
ている。ダイヤフラム４は本体に形成されたプラグ６と
で流体制御部１２を形成する中央円筒部１３を有し、ダ
イヤフラム４と蓋体２との間には第２の弁室２０が形成
され、本体１には第１の弁室７と入口流路８が、また第
２の弁室２０には出口流路２１が、形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一次側（上流側）
の流体圧力が変動しても二次側（下流側）の流体圧力を
一定に保つ定圧レギュレータに関するものであり、さら
に詳しくは主として超純水ラインや各種化学薬液ライン
において好適に用いられるコンパクトで安定した流体圧
力制御が得られる定圧レギュレータに関するものであ
る。
の流体圧力が変動しても二次側（下流側）の流体圧力を
一定に保つ定圧レギュレータに関するものであり、さら
に詳しくは主として超純水ラインや各種化学薬液ライン
において好適に用いられるコンパクトで安定した流体圧
力制御が得られる定圧レギュレータに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】本発明者等は先に、定圧レギュレータ内
部での部品の接触による発塵や、微小流量での圧力制御
性能の悪化などを解決した定圧レギュレータについて先
行出願しており、その内容は特開２００１−１４１０８
３号公報に開示されている。
部での部品の接触による発塵や、微小流量での圧力制御
性能の悪化などを解決した定圧レギュレータについて先
行出願しており、その内容は特開２００１−１４１０８
３号公報に開示されている。
【０００３】その構造は図６に示すとおり、第１の弁室
４０と入口流路４１とを有する本体４２と、第２の弁室
４３と出口流路４４とを有する蓋体４５と、第１の弁室
４０の上部周縁に固定された第１のダイヤフラム４６
と、本体４２と蓋体４５とによって挟持された第２のダ
イヤフラム４７と、第１及び第２のダイヤフラム４６、
４７の中央に設けた環状接合部４８に接合され軸方向に
移動自在のスリーブ４９と、第１の弁室４０の底部に固
定されスリーブ４９下端部との間に流体制御部５１を形
成するプラグ５２とからなり、本体４２の内周面と第１
及び第２のダイヤフラム４６、４７とに包囲された気室
５３を有し、気室５３に連通するエア供給口５４が設け
られ、第２のダイヤフラム４７の受圧面積を第１のダイ
ヤフラム４６の受圧面積より大とした構造となってい
る。
４０と入口流路４１とを有する本体４２と、第２の弁室
４３と出口流路４４とを有する蓋体４５と、第１の弁室
４０の上部周縁に固定された第１のダイヤフラム４６
と、本体４２と蓋体４５とによって挟持された第２のダ
イヤフラム４７と、第１及び第２のダイヤフラム４６、
４７の中央に設けた環状接合部４８に接合され軸方向に
移動自在のスリーブ４９と、第１の弁室４０の底部に固
定されスリーブ４９下端部との間に流体制御部５１を形
成するプラグ５２とからなり、本体４２の内周面と第１
及び第２のダイヤフラム４６、４７とに包囲された気室
５３を有し、気室５３に連通するエア供給口５４が設け
られ、第２のダイヤフラム４７の受圧面積を第１のダイ
ヤフラム４６の受圧面積より大とした構造となってい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
定圧レギュレータでは、ダイヤフラム４７の材質が、腐
食性流体のラインに好適に使用されるポリテトラフルオ
ロエチレン（以下ＰＴＦＥという）のようなクリープを
起こしやすいものであれば、ダイヤフラム４７の環状突
部５５がクリープを起こし経時的に第２の弁室４３のシ
ール性能が低下することがあった。また、ゴム弾性体を
使用すると、流体熱によりゴムが劣化し、やはりシール
性能が低下することがあった。また、プラグ５２が本体
４２に螺合される構造であったため、第１の弁室４０に
長期の圧力変動や温度の変化が起こると、ゆがみや変形
により接合部におけるシール性能が低下することがあっ
た。
定圧レギュレータでは、ダイヤフラム４７の材質が、腐
食性流体のラインに好適に使用されるポリテトラフルオ
ロエチレン（以下ＰＴＦＥという）のようなクリープを
起こしやすいものであれば、ダイヤフラム４７の環状突
部５５がクリープを起こし経時的に第２の弁室４３のシ
ール性能が低下することがあった。また、ゴム弾性体を
使用すると、流体熱によりゴムが劣化し、やはりシール
性能が低下することがあった。また、プラグ５２が本体
４２に螺合される構造であったため、第１の弁室４０に
長期の圧力変動や温度の変化が起こると、ゆがみや変形
により接合部におけるシール性能が低下することがあっ
た。
【０００５】本発明は、以上のような従来技術の問題点
に鑑みてなされたもので、長期にわたって弁室のシール
性能を保持し、腐食性の高い薬液ラインにおいても使用
可能なコンパクトで安定した流体圧力制御が得られる定
圧レギュレータを提供することを目的とする。
に鑑みてなされたもので、長期にわたって弁室のシール
性能を保持し、腐食性の高い薬液ラインにおいても使用
可能なコンパクトで安定した流体圧力制御が得られる定
圧レギュレータを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の構成をその実施
態様を示す図１を参照して説明すると、本発明の定圧レ
ギュレータは、本体１と、蓋体２と、本体１と蓋体２と
の間に挟持された気室形成用リング３と、上部と下部が
それぞれ蓋体２と本体１とに接合されたダイヤフラム４
とを具備し、本体１には、上部にダイヤフラム４の下部
が接合される接合部５と、底面中央より突出する円柱状
のプラグ６を有する第１の弁室７と、第１の弁室７に連
通する入口流路８と、ダイヤフラム４と本体１との間に
形成された気室９に連通する通気孔１０とが設けられ、
ダイヤフラム４には、中央部に前記プラグ６とで流体制
御部１２を形成しプラグ６の外径より小さい内径を有す
る円筒部１３と、円筒部１３の上部に設けられた鍔部１
４と、鍔部１４の径方向に延長して設けられかつその周
縁に環状突部１５を有する第１の膜部１６と、円筒部１
３の下端面に径方向に延長して設けられた第２の膜部１
７と、第２の膜部１７に連続して設けられ本体１の接合
部５に接合される環状接合部１８とが設けられ、蓋体２
には、下端面周縁部にダイヤフラム４の環状突部１５が
嵌合される環状溝１９と、環状溝１９の内側に位置しダ
イヤフラム４の上下動を許容する第２の弁室２０と、第
２の弁室２０に連通する出口流路２１とが設けられ、ま
た前記気室形成用リング３は第２の弁室２０の内径とほ
ぼ同じ内径を有し前記気室９を密封するよう本体１と蓋
体２との間に挟持され、気室形成用リング３の上面には
ダイヤフラム４の環状突部１５を裏打ちするシールリン
グ２２が嵌挿される第１の凹所２３が設けられ、気室形
成用リング３の下面には気室９を密封するシールリング
２４が嵌挿される第２の凹所２５が設けられていること
を特徴としている。
態様を示す図１を参照して説明すると、本発明の定圧レ
ギュレータは、本体１と、蓋体２と、本体１と蓋体２と
の間に挟持された気室形成用リング３と、上部と下部が
それぞれ蓋体２と本体１とに接合されたダイヤフラム４
とを具備し、本体１には、上部にダイヤフラム４の下部
が接合される接合部５と、底面中央より突出する円柱状
のプラグ６を有する第１の弁室７と、第１の弁室７に連
通する入口流路８と、ダイヤフラム４と本体１との間に
形成された気室９に連通する通気孔１０とが設けられ、
ダイヤフラム４には、中央部に前記プラグ６とで流体制
御部１２を形成しプラグ６の外径より小さい内径を有す
る円筒部１３と、円筒部１３の上部に設けられた鍔部１
４と、鍔部１４の径方向に延長して設けられかつその周
縁に環状突部１５を有する第１の膜部１６と、円筒部１
３の下端面に径方向に延長して設けられた第２の膜部１
７と、第２の膜部１７に連続して設けられ本体１の接合
部５に接合される環状接合部１８とが設けられ、蓋体２
には、下端面周縁部にダイヤフラム４の環状突部１５が
嵌合される環状溝１９と、環状溝１９の内側に位置しダ
イヤフラム４の上下動を許容する第２の弁室２０と、第
２の弁室２０に連通する出口流路２１とが設けられ、ま
た前記気室形成用リング３は第２の弁室２０の内径とほ
ぼ同じ内径を有し前記気室９を密封するよう本体１と蓋
体２との間に挟持され、気室形成用リング３の上面には
ダイヤフラム４の環状突部１５を裏打ちするシールリン
グ２２が嵌挿される第１の凹所２３が設けられ、気室形
成用リング３の下面には気室９を密封するシールリング
２４が嵌挿される第２の凹所２５が設けられていること
を特徴としている。
【０００７】本発明の好ましい実施態様によれば、前記
第１の凹所は気室形成用リング３の上面に形成された環
状溝２２であり、第２の凹所は気室形成リング３の下面
に形成された環状溝２５である。
第１の凹所は気室形成用リング３の上面に形成された環
状溝２２であり、第２の凹所は気室形成リング３の下面
に形成された環状溝２５である。
【０００８】また本発明の他の実施態様によれば、図５
に示されるように、蓋体３０の本体１との接合部には気
室形成用リング３１が内包される段差部３２が設けら
れ、シールリング２２が嵌挿される第１の凹所が気室形
成用リング３１の外側周面と段差部３２との間に形成さ
れた環状切欠部３６であり、シールリング２４が嵌挿さ
れる第２の凹所が気室形成用リング３１の外周面と段差
部３２との間に形成された環状切欠部３７となってい
る。
に示されるように、蓋体３０の本体１との接合部には気
室形成用リング３１が内包される段差部３２が設けら
れ、シールリング２２が嵌挿される第１の凹所が気室形
成用リング３１の外側周面と段差部３２との間に形成さ
れた環状切欠部３６であり、シールリング２４が嵌挿さ
れる第２の凹所が気室形成用リング３１の外周面と段差
部３２との間に形成された環状切欠部３７となってい
る。
【０００９】さらに、本発明の好ましい実施態様によれ
ば、ダイヤフラム４の材質はＰＴＦＥである。
ば、ダイヤフラム４の材質はＰＴＦＥである。
【００１０】また、好ましい実施態様では通気孔１０は
少なくとも２個設けられている。
少なくとも２個設けられている。
【００１１】尚、本体１、蓋体２の材質はＰＴＦＥやＰ
ＦＡ等のフッ素樹脂が好適に使用されるが、ポリ塩化ビ
ニル、ポリプロピレンなどのその他のプラスチック或い
は金属でも良く特に限定されない。また、気室形成用リ
ング３、ベースプレート２６は強度、耐熱性の観点から
ポリプロピレンが好適に使用されるが、同様に、その他
のプラスチックや金属でも良く特に限定されない。さら
に、ダイヤフラム４の材質はＰＴＦＥ等のフッ素樹脂が
好適に使用されるが、ゴム及び金属でも良く特に限定さ
れない。
ＦＡ等のフッ素樹脂が好適に使用されるが、ポリ塩化ビ
ニル、ポリプロピレンなどのその他のプラスチック或い
は金属でも良く特に限定されない。また、気室形成用リ
ング３、ベースプレート２６は強度、耐熱性の観点から
ポリプロピレンが好適に使用されるが、同様に、その他
のプラスチックや金属でも良く特に限定されない。さら
に、ダイヤフラム４の材質はＰＴＦＥ等のフッ素樹脂が
好適に使用されるが、ゴム及び金属でも良く特に限定さ
れない。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施態様につい
て、図面を参照して説明するが、本発明が本実施態様に
限定されないことは言うまでもない。
て、図面を参照して説明するが、本発明が本実施態様に
限定されないことは言うまでもない。
【００１３】図１は、本発明の定圧レギュレータを示す
縦断面図である。図２は、本発明の定圧レギュレータに
おいて一次圧が低下した状態を示す縦断面図である。図
３は、図１における本体の平面図である。図４は、図１
におけるダイヤフラムの半割りの斜視図である。図５
は、本発明の定圧レギュレータの他の実施態様を示す縦
断面図である。
縦断面図である。図２は、本発明の定圧レギュレータに
おいて一次圧が低下した状態を示す縦断面図である。図
３は、図１における本体の平面図である。図４は、図１
におけるダイヤフラムの半割りの斜視図である。図５
は、本発明の定圧レギュレータの他の実施態様を示す縦
断面図である。
【００１４】図において、１はＰＴＦＥ製の本体であ
り、内部に第１の弁室７を有し、側面には第１の弁室７
と連通している入口流路８と、気室９と連通する通気孔
１０及び１１とが設けられている。第１の弁室７の上部
にはダイヤフラム４の下部に位置する環状接合部１８が
接合される接合部５が設けられ、また、底面中央には円
柱状のプラグ６が突出して設けられている。尚、通気孔
１０及び１１は、吸気用、排気用として使用されるもの
であるが、一個でも用は足りるものであり特に数量は限
定されるものではない。本体１の平面形状を参考までに
図３に示した。
り、内部に第１の弁室７を有し、側面には第１の弁室７
と連通している入口流路８と、気室９と連通する通気孔
１０及び１１とが設けられている。第１の弁室７の上部
にはダイヤフラム４の下部に位置する環状接合部１８が
接合される接合部５が設けられ、また、底面中央には円
柱状のプラグ６が突出して設けられている。尚、通気孔
１０及び１１は、吸気用、排気用として使用されるもの
であるが、一個でも用は足りるものであり特に数量は限
定されるものではない。本体１の平面形状を参考までに
図３に示した。
【００１５】２はＰＴＦＥ製の蓋体であり、下端面周縁
部にダイヤフラム４の環状突部１５が嵌合される環状溝
１９と、該溝１９内側に位置しダイヤフラム４の上下動
を許容する横断面形状が円形の第２の弁室２０と、側面
には第２の弁室２０に連通する出口流路２１が設けられ
ている。
部にダイヤフラム４の環状突部１５が嵌合される環状溝
１９と、該溝１９内側に位置しダイヤフラム４の上下動
を許容する横断面形状が円形の第２の弁室２０と、側面
には第２の弁室２０に連通する出口流路２１が設けられ
ている。
【００１６】３は第２の弁室２０の内径と略同じ内径を
有するポリプロピレン製の気室形成用リングであり、上
面にはダイヤフラム４の環状突部１５を裏打ちするゴム
弾性体よりなるシールリング２２が嵌挿される環状溝２
３と下面には気室９を密封する同シールリング２４が嵌
挿される環状溝２５が設けられており、本体１と蓋体２
の間に挟持されている。
有するポリプロピレン製の気室形成用リングであり、上
面にはダイヤフラム４の環状突部１５を裏打ちするゴム
弾性体よりなるシールリング２２が嵌挿される環状溝２
３と下面には気室９を密封する同シールリング２４が嵌
挿される環状溝２５が設けられており、本体１と蓋体２
の間に挟持されている。
【００１７】ダイヤフラム４はＰＴＦＥ製であり、中央
に前記プラグ６の外径よりも小さい内径を有する円筒部
１３と、円筒部１３の上部に設けられた鍔部１４と、鍔
部１４の径方向に延長して設けられかつその周縁部に環
状突部１５を有する第１の膜部１６と、円筒部１３の下
端面に径方向に延長して設けられた第２の膜部１７と、
第２の膜部１７に連続して設けられ本体１の接合部５に
Ｏリングを介して螺合される環状接合部１８が設けられ
ている。円筒部１３の下端部は前記第１の弁室７の中央
部に設けられたプラグ６の上面との間に流体制御部１２
を形成している。環状接合部１８の本体１の接合部５へ
の接合方法は、螺合に限定されず他の接合方法を用いて
もかまわない。ダイヤフラム４の環状突部１５は蓋体２
の環状溝１９に嵌合されるとともに、シールリング２２
に裏打ちされることにより環状溝１９に押圧される。
尚、ダイヤフラム４の上面の受圧面積は、下面の受圧面
積すなわち第２の膜部１７の受圧面積より大きく設けな
ければならい。
に前記プラグ６の外径よりも小さい内径を有する円筒部
１３と、円筒部１３の上部に設けられた鍔部１４と、鍔
部１４の径方向に延長して設けられかつその周縁部に環
状突部１５を有する第１の膜部１６と、円筒部１３の下
端面に径方向に延長して設けられた第２の膜部１７と、
第２の膜部１７に連続して設けられ本体１の接合部５に
Ｏリングを介して螺合される環状接合部１８が設けられ
ている。円筒部１３の下端部は前記第１の弁室７の中央
部に設けられたプラグ６の上面との間に流体制御部１２
を形成している。環状接合部１８の本体１の接合部５へ
の接合方法は、螺合に限定されず他の接合方法を用いて
もかまわない。ダイヤフラム４の環状突部１５は蓋体２
の環状溝１９に嵌合されるとともに、シールリング２２
に裏打ちされることにより環状溝１９に押圧される。
尚、ダイヤフラム４の上面の受圧面積は、下面の受圧面
積すなわち第２の膜部１７の受圧面積より大きく設けな
ければならい。
【００１８】気室９はダイヤフラム４と気室形成用リン
グ３で囲まれて形成される。気室９の内部には前記通気
孔１０から、気体用レギュレータ等を用いて圧力調整さ
れた圧縮空気または不活性ガス等が導入され、また、通
気孔１１からはそれらが微量に排出されながら一定圧力
を保つよう調整される。また、空気またはガスの圧力を
変更すれば、定圧レギュレータの１次側流体圧力はそれ
に対応した値に保たれるため、空気またはガスの圧力を
調整することで、レギュレータの２次側圧力を望む圧力
に調整できる。
グ３で囲まれて形成される。気室９の内部には前記通気
孔１０から、気体用レギュレータ等を用いて圧力調整さ
れた圧縮空気または不活性ガス等が導入され、また、通
気孔１１からはそれらが微量に排出されながら一定圧力
を保つよう調整される。また、空気またはガスの圧力を
変更すれば、定圧レギュレータの１次側流体圧力はそれ
に対応した値に保たれるため、空気またはガスの圧力を
調整することで、レギュレータの２次側圧力を望む圧力
に調整できる。
【００１９】２６は補強用のポリプロピレン製のベース
プレートであり、蓋体２、気室形成用リング３、及び本
体１と共に、ボルト、ナット（図示せず）で挟持固定さ
れている。例えば定圧レギュレータがＰＴＦＥやポリエ
チレン等のように強度が低くクリープをおこしやすい材
質で作られている場合は、ボルト、ナットで挟持した際
の変形や、経時的なボルト、ナットの緩みを防ぐため、
ベースプレート２６で補強して変形やボルト、ナットの
緩みを防止した方が良い。このベースプレート２６は定
圧レギュレータの材質が十分強靭なもので形成されてい
る場合は必ずしも必要ではない。
プレートであり、蓋体２、気室形成用リング３、及び本
体１と共に、ボルト、ナット（図示せず）で挟持固定さ
れている。例えば定圧レギュレータがＰＴＦＥやポリエ
チレン等のように強度が低くクリープをおこしやすい材
質で作られている場合は、ボルト、ナットで挟持した際
の変形や、経時的なボルト、ナットの緩みを防ぐため、
ベースプレート２６で補強して変形やボルト、ナットの
緩みを防止した方が良い。このベースプレート２６は定
圧レギュレータの材質が十分強靭なもので形成されてい
る場合は必ずしも必要ではない。
【００２０】上記の構成からなる本実施態様の定圧レギ
ュレータの作動は次のとおりである。
ュレータの作動は次のとおりである。
【００２１】図１の状態においては、第２の膜部１７は
第１の弁室７内部の圧力すなわち定圧レギュレータ上流
側（１次側）圧力による上向きの力と、気室９内部の圧
力による下向きの力を受けている。一方、ダイヤフラム
４の上面は第２の弁室２０内部の圧力すなわちレギュレ
ータ下流側（２次側）圧力による下向きの力を受け、ダ
イヤフラム４の上面に対応した第１の膜部１６と鍔部１
４とが気室９内部の圧力による上向きの力を受けてお
り、これら４つの力の釣り合いによってダイヤフラム４
と一体に設けられた円筒部１３の位置が決定されてい
る。
第１の弁室７内部の圧力すなわち定圧レギュレータ上流
側（１次側）圧力による上向きの力と、気室９内部の圧
力による下向きの力を受けている。一方、ダイヤフラム
４の上面は第２の弁室２０内部の圧力すなわちレギュレ
ータ下流側（２次側）圧力による下向きの力を受け、ダ
イヤフラム４の上面に対応した第１の膜部１６と鍔部１
４とが気室９内部の圧力による上向きの力を受けてお
り、これら４つの力の釣り合いによってダイヤフラム４
と一体に設けられた円筒部１３の位置が決定されてい
る。
【００２２】図１の状態において１次側の圧力が低下し
た場合、一時的に２次側の圧力及び流量も減少する。そ
のため、第２の弁室２０の圧力が減少し、ダイヤフラム
４の上面が受ける力も減少するが、第１の膜部１６及び
鍔部１４が受ける気室９の内部圧力は不変であるため、
第１の膜部１６及び鍔部１４が受ける気室９の内部圧力
の方が大きくなり、円筒部１３を上方へ引き上げようと
する。また、第１の弁室７の圧力も減少し、第２の膜部
１７が流体から受ける力は減少するが、気室９の圧力は
不変であるため、第２の膜部１７は円筒部１３を引き下
げようとする。この時、第１の膜部１６及び鍔部１４の
面積は、第２の膜部１７の面積より十分大きいため、結
果として円筒部１３を上方へ引き上げることとなる（図
２の状態）。これによって、流体制御部１２の開口面積
は増加し、２次側の流体圧力は瞬時に元の圧力まで増加
し、再び気室９内部の圧力と流体圧による力の釣り合い
が保たれる。通常、本発明の定圧レギュレータの下流側
には、図示しない固定絞り或いはバルブが取り付けられ
ている。固定絞り或いはバルブの下流側を大気開放とし
ておけば、固定絞り或いはバルブ前後の差圧は常に一定
に保たれることになり、固定絞り或いはバルブの流量係
数に見合った流量が常に保たれることとなる。
た場合、一時的に２次側の圧力及び流量も減少する。そ
のため、第２の弁室２０の圧力が減少し、ダイヤフラム
４の上面が受ける力も減少するが、第１の膜部１６及び
鍔部１４が受ける気室９の内部圧力は不変であるため、
第１の膜部１６及び鍔部１４が受ける気室９の内部圧力
の方が大きくなり、円筒部１３を上方へ引き上げようと
する。また、第１の弁室７の圧力も減少し、第２の膜部
１７が流体から受ける力は減少するが、気室９の圧力は
不変であるため、第２の膜部１７は円筒部１３を引き下
げようとする。この時、第１の膜部１６及び鍔部１４の
面積は、第２の膜部１７の面積より十分大きいため、結
果として円筒部１３を上方へ引き上げることとなる（図
２の状態）。これによって、流体制御部１２の開口面積
は増加し、２次側の流体圧力は瞬時に元の圧力まで増加
し、再び気室９内部の圧力と流体圧による力の釣り合い
が保たれる。通常、本発明の定圧レギュレータの下流側
には、図示しない固定絞り或いはバルブが取り付けられ
ている。固定絞り或いはバルブの下流側を大気開放とし
ておけば、固定絞り或いはバルブ前後の差圧は常に一定
に保たれることになり、固定絞り或いはバルブの流量係
数に見合った流量が常に保たれることとなる。
【００２３】一方、図２の状態において１次側の圧力が
増加した場合、一時的に２次側の圧力及び流量も増加す
る。したがって、第２の弁室２０の圧力は増加し、円筒
部１３を押し下げようとする。また、第１の弁室７の圧
力も増加するため第２の膜部１７は円筒部１３を押し上
げようとする。同様に、ダイヤフラム４の上面の面積は
第２の膜部１７の面積より十分大きい為、円筒部１３は
押し下げられる。これによって、流体制御部１２の開口
面積は減少し（図１の状態）、２次側の流体圧力は瞬時
に元の圧力まで減少し、再び気室９内部の圧力と流体圧
力による力の釣り合いが保たれ、元の流量も保たれる。
増加した場合、一時的に２次側の圧力及び流量も増加す
る。したがって、第２の弁室２０の圧力は増加し、円筒
部１３を押し下げようとする。また、第１の弁室７の圧
力も増加するため第２の膜部１７は円筒部１３を押し上
げようとする。同様に、ダイヤフラム４の上面の面積は
第２の膜部１７の面積より十分大きい為、円筒部１３は
押し下げられる。これによって、流体制御部１２の開口
面積は減少し（図１の状態）、２次側の流体圧力は瞬時
に元の圧力まで減少し、再び気室９内部の圧力と流体圧
力による力の釣り合いが保たれ、元の流量も保たれる。
【００２４】以上のように１次圧が増減しても、瞬時に
ダイヤフラム４の円筒部１３の位置が変化して、常に２
次側の圧力が一定に保たれ、したがって設定した流量を
安定して保持することが出来る。
ダイヤフラム４の円筒部１３の位置が変化して、常に２
次側の圧力が一定に保たれ、したがって設定した流量を
安定して保持することが出来る。
【００２５】尚、気室９内部の圧力を変更すれば、２次
側圧力はそれに対応した値に保たれるため、下流側に設
置された固定絞り或いはバルブに変更がなければ、設定
流量を変更することができる。
側圧力はそれに対応した値に保たれるため、下流側に設
置された固定絞り或いはバルブに変更がなければ、設定
流量を変更することができる。
【００２６】また、前記第２の弁室２０に達した流体は
その圧力の作用によりダイヤフラム４の環状突部１５及
び環状溝１９とのシール面を通過して定圧レギュレータ
外部へと流出しようとするが、環状突部１５が気室形成
用リングの上面に配置された環状溝２３に嵌挿されるシ
ールリング２２によって蓋体２の環状溝１９に押圧され
ているので流体の定圧レギュレータ外部への流出は阻止
される。
その圧力の作用によりダイヤフラム４の環状突部１５及
び環状溝１９とのシール面を通過して定圧レギュレータ
外部へと流出しようとするが、環状突部１５が気室形成
用リングの上面に配置された環状溝２３に嵌挿されるシ
ールリング２２によって蓋体２の環状溝１９に押圧され
ているので流体の定圧レギュレータ外部への流出は阻止
される。
【００２７】しかしながら、流体の圧力や温度が長期間
にわたって変動することにより、ダイヤフラム４の環状
突部１５や蓋体２の環状溝１９がクリープや歪みを発生
したり、また、流体温度の頻繁な変化が起こると本体
１、蓋体２、気室形成用リング３、ベースプレート２６
を挟持しているボルトに緩みが発生したりし、ダイヤフ
ラム４の環状突部１５を蓋体２の環状溝１９に押圧する
力が減少しようとする。
にわたって変動することにより、ダイヤフラム４の環状
突部１５や蓋体２の環状溝１９がクリープや歪みを発生
したり、また、流体温度の頻繁な変化が起こると本体
１、蓋体２、気室形成用リング３、ベースプレート２６
を挟持しているボルトに緩みが発生したりし、ダイヤフ
ラム４の環状突部１５を蓋体２の環状溝１９に押圧する
力が減少しようとする。
【００２８】本発明の定圧レギュレータでは、環状突部
１５はシールリング２２の弾性作用によって蓋体２の環
状溝１９に押圧されているため、環状突部１５を環状溝
１９に押圧する力が低下せず、流体の定圧レギュレータ
外部への流出は阻止される。
１５はシールリング２２の弾性作用によって蓋体２の環
状溝１９に押圧されているため、環状突部１５を環状溝
１９に押圧する力が低下せず、流体の定圧レギュレータ
外部への流出は阻止される。
【００２９】さらにまた、シールリング２２が流体の温
度の影響で劣化しても、流体の温度が伝わりにくい位置
である気室形成用リング３下部の環状溝２５に嵌挿され
るシールリング２４の弾性作用によって、ダイヤフラム
４の環状突部１５は蓋体２の環状溝１９に押圧されてい
るため、流体の定圧レギュレータ外部への流出は阻止さ
れる。
度の影響で劣化しても、流体の温度が伝わりにくい位置
である気室形成用リング３下部の環状溝２５に嵌挿され
るシールリング２４の弾性作用によって、ダイヤフラム
４の環状突部１５は蓋体２の環状溝１９に押圧されてい
るため、流体の定圧レギュレータ外部への流出は阻止さ
れる。
【００３０】図５は本発明の他の実施態様を示した縦断
面図である。
面図である。
【００３１】図において、本体１、ダイヤフラム４、シ
ールリング２２、２４、及びベースプレート２６につい
ては前記第１の実施態様と同一であるため同じ番号が付
してある。
ールリング２２、２４、及びベースプレート２６につい
ては前記第１の実施態様と同一であるため同じ番号が付
してある。
【００３２】以下、図１と異なる点についてのみ説明す
る。
る。
【００３３】３０は蓋体であり、下部内面に気室形成用
リング３１とシールリング２２及び２４を内包する段差
部３２と、段差部３２の段差面に設けられダイヤフラム
４の環状突部１５が嵌合される環状溝３３と、環状溝３
３の内側に位置しダイヤフラム４の上下動を許容する横
断面円形状の第２の弁室３４と、側面に第２の弁室３４
とを連通する出口流路３５が設けられている。
リング３１とシールリング２２及び２４を内包する段差
部３２と、段差部３２の段差面に設けられダイヤフラム
４の環状突部１５が嵌合される環状溝３３と、環状溝３
３の内側に位置しダイヤフラム４の上下動を許容する横
断面円形状の第２の弁室３４と、側面に第２の弁室３４
とを連通する出口流路３５が設けられている。
【００３４】３１は本体１と蓋体３０に挟持されている
気室形成用リングであり、第２の弁室３４と略同じ内径
を有し、上面外周側にシールリング２２が嵌挿される環
状切欠部３６と、下面外周側にシールリング２４が嵌挿
される環状切欠部３７が設けられている。環状切欠部３
６は、シールリング２２を段差部３２の内周面と環状突
部１５に押圧するよう設計されている。さらに、環状切
欠部３７は、シールリング２４を段差部３２内周面と本
体１上端面に押圧するよう設計されており、シールリン
グ２２、２４は、気室９のシールとともにダイヤフラム
４の環状突部１５の裏打ちとして使用される。
気室形成用リングであり、第２の弁室３４と略同じ内径
を有し、上面外周側にシールリング２２が嵌挿される環
状切欠部３６と、下面外周側にシールリング２４が嵌挿
される環状切欠部３７が設けられている。環状切欠部３
６は、シールリング２２を段差部３２の内周面と環状突
部１５に押圧するよう設計されている。さらに、環状切
欠部３７は、シールリング２４を段差部３２内周面と本
体１上端面に押圧するよう設計されており、シールリン
グ２２、２４は、気室９のシールとともにダイヤフラム
４の環状突部１５の裏打ちとして使用される。
【００３５】上記の構成からなる第２の実施態様の定圧
レギュレータの作動は第１の実施態様と同一であるので
省略するが、前記第２の弁室３４の流体が蓋体３０の環
状溝３３とダイヤフラム４の環状突部１５とのシール面
から流出しても、シールリング２２が蓋体３０の段差部
３２内周面とダイヤフラム４の環状突部１５を押圧する
ように配置されているため、外部への流出は防がれる。
レギュレータの作動は第１の実施態様と同一であるので
省略するが、前記第２の弁室３４の流体が蓋体３０の環
状溝３３とダイヤフラム４の環状突部１５とのシール面
から流出しても、シールリング２２が蓋体３０の段差部
３２内周面とダイヤフラム４の環状突部１５を押圧する
ように配置されているため、外部への流出は防がれる。
【００３６】
【発明の効果】本発明の定圧レギュレータは以上説明し
たような構造をしており、これを使用することで以下の
優れた効果が得られる。
たような構造をしており、これを使用することで以下の
優れた効果が得られる。
【００３７】（１）シールリングにより弁室のシール部
分の裏打ちを行うとともに、温度の伝わりにくい位置で
さらに裏打ちを行っているため、長期にわたって確実な
シール性能を保持する。
分の裏打ちを行うとともに、温度の伝わりにくい位置で
さらに裏打ちを行っているため、長期にわたって確実な
シール性能を保持する。
【００３８】（２）第一弁室のプラグが本体と一体成形
にて設けられているため、従来品に比較して第一弁室か
らの外部への流体漏れの心配が全くなくなった。
にて設けられているため、従来品に比較して第一弁室か
らの外部への流体漏れの心配が全くなくなった。
【００３９】（３）コンパクトな構造でありかつ、安定
した流体圧力制御が得られる。
した流体圧力制御が得られる。
【００４０】（４）接液する部材は全てＰＴＦＥ等の耐
薬品性に優れた材質を用いることができるため、その場
合は不純物の溶出や薬液の汚染が極めて少ない。
薬品性に優れた材質を用いることができるため、その場
合は不純物の溶出や薬液の汚染が極めて少ない。
【図１】本発明の定圧レギュレータの実施態様の縦断面
図である。
図である。
【図２】図１において一次側圧力が上昇した状態を示す
縦断面図である。
縦断面図である。
【図３】本体の平面図である。
【図４】ダイヤフラムの半割りの斜視図である。
【図５】本発明の定圧レギュレータの他の実施態様の縦
断面図である。
断面図である。
【図６】従来の定圧レギュレータの縦断面図である。
１…本体
２…蓋体
３…気室形成用リング
４…ダイヤフラム
５…接合部
６…プラグ
７…第１弁室
８…入口流路
９…気室
１０…通気孔
１１…通気孔
１２…流体制御部
１３…円筒部
１４…鍔部
１５…環状突部
１６…第１膜部
１７…第２膜部
１８…環状接合部
１９…環状溝
２０…第２弁室
２１…出口流路
２２…シールリング
２３…環状溝
２４…シールリング
２５…環状溝
２６…ベースプレート
３０…蓋体
３１…気室形成用リング
３２…段差部
３３…環状溝
３４…第２弁室
３５…出口流路
３６…環状切欠部
３７…環状切欠部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3H056 AA07 BB22 BB36 BB37 CA08
CB02 CD06 DD04 EE04 EE06
GG02 GG04 GG14
5H316 AA02 BB07 BB16 DD18 DD20
EE02 EE10 EE12 JJ11 KK04
KK10
Claims (5)
- 【請求項１】 本体（１）と、蓋体（２，３０）と、本
体（１）と蓋体（２，３０）との間に挟持された気室形
成用リング（３，３１）と、上部と下部がそれぞれ蓋体
（２，３０）と本体（１）とに接合されたダイヤフラム
（４）とを具備し、本体（１）には、上部にダイヤフラ
ム（４）の下部が接合される接合部（５）と、底面中央
より突出する円柱状のプラグ（６）を有する第１の弁室
（７）と、第１の弁室（７）に連通する入口流路（８）
と、ダイヤフラム（４）と本体（１）との間に形成され
た気室（９）に連通する通気孔（１０）とが設けられ、
ダイヤフラム（４）には、中央部に前記プラグ（６）と
で流体制御部（１２）を形成しプラグ（６）の外径より
小さい内径を有する円筒部（１３）と、円筒部（１３）
の上部に設けられた鍔部（１４）と、鍔部（１４）の径
方向に延長して設けられかつその周縁に環状突部（１
５）を有する第１の膜部（１６）と、円筒部（１３）の
下端面に径方向に延長して設けられた第２の膜部（１
７）と、第２の膜部（１７）に連続して設けられ本体
（１）の接合部（５）に接合される環状接合部（１８）
とが設けられ、蓋体（２，３０）には、下端面周縁部に
ダイヤフラム（４）の環状突部（１５）が嵌合される環
状溝（１９，３３）と、環状溝（１９，３３）の内側に
位置しダイヤフラム（４）の上下動を許容する第２の弁
室（２０，３４）と、第２の弁室（２０，３４）に連通
する出口流路（２１，３５）とが設けられ、また前記気
室形成用リング（３，３１）は第２の弁室（２０，３
４）の内径とほぼ同じ内径を有し前記気室（９）を密封
するよう本体（１）と蓋体（２，３０）との間に挟持さ
れ、気室形成リング（３，３１）の上面にはダイヤフラ
ム（４）の環状突部（１５）を裏打ちするシールリング
（２２）が嵌挿される第１の凹所（２３，３６）が設け
られ、気室形成リング（３，３１）の下面には気室
（９）を密封するシールリング（２４）が嵌挿される第
２の凹所（２５，３７）が設けられていることを特徴と
する定圧レギュレータ。 - 【請求項２】 シールリング（２２）が嵌挿される前記
第１の凹所が気室形成用リング（３）の上面に形成され
た環状溝（２３）であり、シールリング（２４）が嵌挿
される前記第２の凹所が気室形成リング（３）の下面に
形成された環状溝（２５）である請求項１に記載の定圧
レギュレータ。 - 【請求項３】 蓋体（３０）の本体（１）との接合部に
は気室形成リング（３１）が内包される段差部（３２）
が設けられ、シールリング（２２）が嵌挿される前記第
１の凹所が気室形成用リング（３１）の外側周面と段差
部（３２）との間に形成された環状切欠欠部（３６）で
あり、シールリング（２４）が嵌挿される前記第２の凹
所が気室形成用リング（３１）の外周面と段差部（３
２）との間に形成された環状切欠部（３７）である請求
項１に記載の定圧レギュレータ。 - 【請求項４】 ダイヤフラム４の材質がポリテトラフル
オロエチレンである請求項１記載の定圧レギュレータ。 - 【請求項５】 通気孔１０が少なくとも二個設けられて
いる請求項１に記載の定圧レギュレータ。
Priority Applications (7)
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|---|---|---|---|
| JP2001218456A JP4471541B2 (ja) | 2001-07-18 | 2001-07-18 | 定圧レギュレータ |
| US10/380,856 US6959725B2 (en) | 2001-07-18 | 2002-07-16 | Constant pressure regulator |
| EP02746106A EP1408389A4 (en) | 2001-07-18 | 2002-07-16 | CONSTANT PRESSURE REGULATOR |
| TW091115865A TW521132B (en) | 2001-07-18 | 2002-07-16 | Constant pressure regulator |
| KR1020037003851A KR100883613B1 (ko) | 2001-07-18 | 2002-07-16 | 정압 레귤레이터 |
| PCT/JP2002/007230 WO2003009076A1 (fr) | 2001-07-18 | 2002-07-16 | Regulateur de pression constante |
| CNB028023978A CN1224870C (zh) | 2001-07-18 | 2002-07-16 | 恒压调节器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001218456A JP4471541B2 (ja) | 2001-07-18 | 2001-07-18 | 定圧レギュレータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003029848A true JP2003029848A (ja) | 2003-01-31 |
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Family
ID=19052632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001218456A Expired - Fee Related JP4471541B2 (ja) | 2001-07-18 | 2001-07-18 | 定圧レギュレータ |
Country Status (7)
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| EP (1) | EP1408389A4 (ja) |
| JP (1) | JP4471541B2 (ja) |
| KR (1) | KR100883613B1 (ja) |
| CN (1) | CN1224870C (ja) |
| TW (1) | TW521132B (ja) |
| WO (1) | WO2003009076A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003097747A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 背圧弁 |
| JP4824782B2 (ja) * | 2006-03-15 | 2011-11-30 | ノルグレン・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | ロッカ型ダイヤフラム弁 |
| JP2013080488A (ja) * | 2006-01-06 | 2013-05-02 | Soc Bic | 圧力調整バルブ |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1906436A (zh) * | 2004-01-29 | 2007-01-31 | 旭有机材工业株式会社 | 阀 |
| DE102004018115B4 (de) * | 2004-04-14 | 2011-09-15 | Siemens Ag | Baugruppe mit zwei Teilkomponenten sowie Dichtungsmodul |
| JP2007058337A (ja) * | 2005-08-22 | 2007-03-08 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 流体制御装置 |
| US8016260B2 (en) * | 2007-07-19 | 2011-09-13 | Formulatrix, Inc. | Metering assembly and method of dispensing fluid |
| GB0921970D0 (en) * | 2009-12-16 | 2010-02-03 | Norgren Ltd C A | Pressure regulator |
| EP2336077A1 (en) | 2009-12-18 | 2011-06-22 | Anheuser-Busch InBev S.A. | Beverage dispensing apparatus comprising an integrated pressure reducing channel |
| EP2339421A1 (en) * | 2009-12-18 | 2011-06-29 | Anheuser-Busch InBev S.A. | Pressure regulating valve for pressure driven beverage dispensing apparatuses |
| IT1400344B1 (it) * | 2010-05-07 | 2013-05-24 | Drechsel | Regolatore di pressione per impianti di irrigazione |
| US9312550B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-04-12 | Intelligent Energy Limited | Fluidic components suitable for fuel cell systems including pressure regulators and valves |
| CN105736781A (zh) * | 2016-04-01 | 2016-07-06 | 上海澳升清洁科技有限公司 | 一种减压节流阀及使用方法 |
| DE102016009402A1 (de) | 2016-08-02 | 2018-02-08 | Wabco Europe Bvba | Membranventilanordnung |
| DE102016013009A1 (de) * | 2016-11-02 | 2018-05-03 | Mann + Hummel Gmbh | Einheit zum Regeln oder Steuern eines Fluiddrucks |
| FR3068103B1 (fr) * | 2017-06-27 | 2020-02-14 | Valeo Systemes De Controle Moteur | Vanne de regulation de debit d'un gaz destinee a etre assemblee a un receptacle et ensemble comprenant une telle vanne |
| FR3068433A1 (fr) * | 2017-06-29 | 2019-01-04 | Valeo Systemes De Controle Moteur | Ensemble comportant un receptacle et une vanne de regulation de debit d'un gaz destines a etre assembles |
| DE102019003379A1 (de) * | 2019-05-14 | 2020-11-19 | AVENTlCS GmbH | Membran-Sitzventil |
| JP7240515B2 (ja) * | 2019-09-11 | 2023-03-15 | 愛三工業株式会社 | バルブ装置 |
| CN112081972B (zh) * | 2020-08-17 | 2022-06-10 | 费尔顿技术(上海)有限公司 | 用于狭窄空间的节流分气片及其节流分气片组件 |
| CN113007407A (zh) * | 2021-03-23 | 2021-06-22 | 嘉兴志嘉智能电器有限公司 | 一种能够自动关闭流路的稳压阀及流路压力调节方法 |
| CN112902433A (zh) * | 2021-03-24 | 2021-06-04 | 畅和智能家居(嘉兴)有限公司 | 一种即热式水加热装置 |
| CN114015545B (zh) * | 2021-11-04 | 2024-04-19 | 浙江康泽生物技术有限公司 | 一种表达载体用可防污染的恒压型培养装置 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US973609A (en) * | 1910-04-25 | 1910-10-25 | John A Abrams | Pressure-regulating valve for gas-burners. |
| JPS61173319A (ja) * | 1985-01-26 | 1986-08-05 | Shoketsu Kinzoku Kogyo Co Ltd | 流体用レギユレ−タ |
| JPS6470806A (en) * | 1987-09-11 | 1989-03-16 | Konan Electric Co | Pilot type pressure reducing valve |
| IL88703A (en) * | 1988-12-16 | 1992-02-16 | Plasson Maagan Michael Ind Ltd | Fluid flow control device |
| JPH04126324A (ja) * | 1990-09-17 | 1992-04-27 | Seiko Epson Corp | 流体制御装置及びその製造方法 |
| JP2922055B2 (ja) * | 1992-06-18 | 1999-07-19 | 旭有機材工業株式会社 | ダイヤフラムバルブ |
| JP2922056B2 (ja) * | 1992-06-18 | 1999-07-19 | 旭有機材工業株式会社 | ダイヤフラムバルブ |
| JP2671183B2 (ja) * | 1993-04-07 | 1997-10-29 | アドバンス電気工業株式会社 | 流体コントロールバルブ |
| US5676343A (en) * | 1996-06-20 | 1997-10-14 | Johnson Service Company | High pressure water regulating valve |
| JP2000352468A (ja) * | 1999-06-14 | 2000-12-19 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 自動弁 |
| JP3724985B2 (ja) | 1999-06-21 | 2005-12-07 | 旭有機材工業株式会社 | 定流量弁 |
| JP3734394B2 (ja) * | 1999-11-18 | 2006-01-11 | 旭有機材工業株式会社 | 定圧レギュレータ |
| JP4383618B2 (ja) * | 2000-01-24 | 2009-12-16 | 旭有機材工業株式会社 | 自動弁 |
-
2001
- 2001-07-18 JP JP2001218456A patent/JP4471541B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003097747A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 背圧弁 |
| JP2013080488A (ja) * | 2006-01-06 | 2013-05-02 | Soc Bic | 圧力調整バルブ |
| JP4824782B2 (ja) * | 2006-03-15 | 2011-11-30 | ノルグレン・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | ロッカ型ダイヤフラム弁 |
Also Published As
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