JP2003097747A - 背圧弁 - Google Patents
背圧弁Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 コンパクトで安定した流体圧力制御が得られ
る背圧弁を提供する。 【解決手段】 背圧弁は本体１と、蓋体２と、本体と蓋
体の間の気室形成用リング３と、蓋体と本体の間に取付
けられたダイヤフラム４とを具備し、ダイヤフラム４に
は本体の底部から突出するプラグ７の外径より小さい内
径の円筒部１７と、円筒部の下部に設けられた鍔部１８
と、鍔部の径方向に延設され周縁に環状突部５を有する
第一膜部１９と、円筒部の上端面の径方向に延設された
第二膜部２０と、第二膜部に連設され蓋体の接合部に接
合される環状接合部２１とが設けられ、ダイヤフラムの
環状突部５が本体の周縁凹所２５に嵌挿されたシールリ
ング２４によって裏打ちされている。
る背圧弁を提供する。 【解決手段】 背圧弁は本体１と、蓋体２と、本体と蓋
体の間の気室形成用リング３と、蓋体と本体の間に取付
けられたダイヤフラム４とを具備し、ダイヤフラム４に
は本体の底部から突出するプラグ７の外径より小さい内
径の円筒部１７と、円筒部の下部に設けられた鍔部１８
と、鍔部の径方向に延設され周縁に環状突部５を有する
第一膜部１９と、円筒部の上端面の径方向に延設された
第二膜部２０と、第二膜部に連設され蓋体の接合部に接
合される環状接合部２１とが設けられ、ダイヤフラムの
環状突部５が本体の周縁凹所２５に嵌挿されたシールリ
ング２４によって裏打ちされている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、流体流量が変動し
ても上流側の流体圧力を一定に保つ背圧弁に関するもの
であり、さらに詳しくは、主として超純水ラインや各種
化学薬液ラインにおいて好適に用いられるコンパクトで
安定した流体圧力制御が得られる背圧弁に関するもので
ある。
ても上流側の流体圧力を一定に保つ背圧弁に関するもの
であり、さらに詳しくは、主として超純水ラインや各種
化学薬液ラインにおいて好適に用いられるコンパクトで
安定した流体圧力制御が得られる背圧弁に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来のダイヤフラムを使用した背圧弁と
しては図５に示すような背圧弁が知られている。その構
造を図５にもとづいて説明すると、内部に気室５１と、
該気室５１と外部とを連通する給気孔５２を有する第一
蓋体５３と、上部に第一弁室５４と該第一弁室５４に連
通した入口流路５５と下部に第二弁室５６と該第二弁室
５６に連通した出口流路５７と第一弁室５４と第二弁室
５６を連通し内部に弁座５８が設けられた連通流路５９
とを有する本体６０と、中央に前記弁座５８との間で流
体制御部６１を構成する先端がすり鉢状に縮径した円柱
部６２と該円柱部６２上部に設けられた鍔部６３と該鍔
部６３上端部を径方向に延長して設けられた膜部６４と
該膜部６４の外周部に設けられ本体６０と第一蓋体５３
により狭持される環状突部６５とを有するダイヤフラム
６６と、本体６０を第一蓋体５３との間で狭持するよう
設けられた第二蓋体６７とによって構成されている。前
記気室５１内部には、一定の圧力に保たれた圧縮空気が
給気孔５２を通じて供給されており、ダイヤフラム６６
を下方へ押し下げるように構成されている。
しては図５に示すような背圧弁が知られている。その構
造を図５にもとづいて説明すると、内部に気室５１と、
該気室５１と外部とを連通する給気孔５２を有する第一
蓋体５３と、上部に第一弁室５４と該第一弁室５４に連
通した入口流路５５と下部に第二弁室５６と該第二弁室
５６に連通した出口流路５７と第一弁室５４と第二弁室
５６を連通し内部に弁座５８が設けられた連通流路５９
とを有する本体６０と、中央に前記弁座５８との間で流
体制御部６１を構成する先端がすり鉢状に縮径した円柱
部６２と該円柱部６２上部に設けられた鍔部６３と該鍔
部６３上端部を径方向に延長して設けられた膜部６４と
該膜部６４の外周部に設けられ本体６０と第一蓋体５３
により狭持される環状突部６５とを有するダイヤフラム
６６と、本体６０を第一蓋体５３との間で狭持するよう
設けられた第二蓋体６７とによって構成されている。前
記気室５１内部には、一定の圧力に保たれた圧縮空気が
給気孔５２を通じて供給されており、ダイヤフラム６６
を下方へ押し下げるように構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな背圧弁では、ダイヤフラム６６が上端部の鍔部６３
及び膜部６４のみで円柱部６２を支承しているため円柱
部６２が傾き、このような状態で上流側の流体圧が低く
なると、流体制御部６１の開口面積の調整が難しくなり
ひいては圧力調整精度の低下やハンチングの原因となっ
ていた。
うな背圧弁では、ダイヤフラム６６が上端部の鍔部６３
及び膜部６４のみで円柱部６２を支承しているため円柱
部６２が傾き、このような状態で上流側の流体圧が低く
なると、流体制御部６１の開口面積の調整が難しくなり
ひいては圧力調整精度の低下やハンチングの原因となっ
ていた。
【０００４】本発明は以上のような従来技術の問題点に
鑑みてなされたもので、コンパクトで安定した流体圧力
制御が得られる背圧弁を提供することを目的とする。
鑑みてなされたもので、コンパクトで安定した流体圧力
制御が得られる背圧弁を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の構成をその実施
態様を示す図１を参照して説明すると、本発明の背圧弁
は、本体１、蓋体２、本体１と蓋体２の間に挟持された
気室形成用リング３、及び上部と下部がそれぞれ蓋体２
と本体１とに係合されたダイヤフラム４を備え、本体１
には、上端面周縁部にダイヤフラム４の環状突部５が嵌
合される環状溝６と、該溝６の内側に位置しダイヤフラ
ム４の上下動を許容し底面中央より突出するプラグ７を
有する第一弁室８と、第一弁室８に連通する入口流路９
とが設けられ、蓋体２には、第二弁室１０と、第二弁室
１０と連通した出口流路１１と、下部にダイヤフラム４
の上部が接合される接合部１２と、ダイヤフラム４と本
体１とにより形成された気室１３に連通する通気孔１
４，１５とが設けられ、ダイヤフラム４には、中央に本
体１のプラグ７との間に流体制御部１６を形成するプラ
グ７の外径よりも小さい内径を有する円筒部１７と、円
筒部１７の下部に設けられた鍔部１８と、鍔部１８の径
方向に延長して設けられ、かつその周縁部に環状突部５
を有する第一膜部１９と、円筒部１７の上端面に径方向
に延長して設けられた第二膜部２０と、第二膜部２０に
連続して設けられ蓋体２の接合部１２に接合される環状
接合部２１とが設けられ、またダイヤフラム４の下面の
受圧面積が上面の受圧面積よりも大きく形成され、さら
に前記気室形成リング３の上面には気室１３を密封する
シールリング２２が嵌挿される第一の凹所２３が設けら
れ、気室形成用リング３の下面には、ダイヤフラムの環
状突部５を裏打ちするシールリング２４が嵌挿される第
二の凹所２５が設けられていることを特徴としている。
態様を示す図１を参照して説明すると、本発明の背圧弁
は、本体１、蓋体２、本体１と蓋体２の間に挟持された
気室形成用リング３、及び上部と下部がそれぞれ蓋体２
と本体１とに係合されたダイヤフラム４を備え、本体１
には、上端面周縁部にダイヤフラム４の環状突部５が嵌
合される環状溝６と、該溝６の内側に位置しダイヤフラ
ム４の上下動を許容し底面中央より突出するプラグ７を
有する第一弁室８と、第一弁室８に連通する入口流路９
とが設けられ、蓋体２には、第二弁室１０と、第二弁室
１０と連通した出口流路１１と、下部にダイヤフラム４
の上部が接合される接合部１２と、ダイヤフラム４と本
体１とにより形成された気室１３に連通する通気孔１
４，１５とが設けられ、ダイヤフラム４には、中央に本
体１のプラグ７との間に流体制御部１６を形成するプラ
グ７の外径よりも小さい内径を有する円筒部１７と、円
筒部１７の下部に設けられた鍔部１８と、鍔部１８の径
方向に延長して設けられ、かつその周縁部に環状突部５
を有する第一膜部１９と、円筒部１７の上端面に径方向
に延長して設けられた第二膜部２０と、第二膜部２０に
連続して設けられ蓋体２の接合部１２に接合される環状
接合部２１とが設けられ、またダイヤフラム４の下面の
受圧面積が上面の受圧面積よりも大きく形成され、さら
に前記気室形成リング３の上面には気室１３を密封する
シールリング２２が嵌挿される第一の凹所２３が設けら
れ、気室形成用リング３の下面には、ダイヤフラムの環
状突部５を裏打ちするシールリング２４が嵌挿される第
二の凹所２５が設けられていることを特徴としている。
【０００６】本発明の好ましい実施態様によれば、前記
第一の凹所は気室形成用リング３の上面に形成された環
状溝２３であり、第二の凹所は気室形成リング３の下面
に形成された環状溝２５である。
第一の凹所は気室形成用リング３の上面に形成された環
状溝２３であり、第二の凹所は気室形成リング３の下面
に形成された環状溝２５である。
【０００７】また本発明の他の実施態様によれば、図３
に示されるように、本体３０の蓋体２との接合部には気
室形成リング３１が内包される段差部３２が設けられ、
シールリング２２が嵌挿される前記第一の凹所が気室形
成リング３１の外側周面と段差部３２との間に形成され
た環状切欠部３６であり、シールリング２４が嵌挿され
る前記第二の凹所が気室形成用リング３１の外周面と段
差部３２との間に形成された環状切欠部３７となってい
る。
に示されるように、本体３０の蓋体２との接合部には気
室形成リング３１が内包される段差部３２が設けられ、
シールリング２２が嵌挿される前記第一の凹所が気室形
成リング３１の外側周面と段差部３２との間に形成され
た環状切欠部３６であり、シールリング２４が嵌挿され
る前記第二の凹所が気室形成用リング３１の外周面と段
差部３２との間に形成された環状切欠部３７となってい
る。
【０００８】さらに、本発明の好ましい実施態様によれ
ば、ダイヤフラム４の材質はＰＴＦＥである。
ば、ダイヤフラム４の材質はＰＴＦＥである。
【０００９】また、好ましい実施態様では通気孔１４は
少なくとも２個設けられている。
少なくとも２個設けられている。
【００１０】尚、本体１、蓋体２の材質はＰＴＦＥやＰ
ＦＡ等のフッ素樹脂が好適に使用されるが、ポリ塩化ビ
ニル、ポリプロピレンなどのその他のプラスチック或い
は金属でも良く特に限定されない。また、気室形成用リ
ング３は強度、耐熱性の観点からポリプロピレンが好適
に使用されるが、同様に、その他のプラスチックや金属
でも良く特に限定されない。さらに、ダイヤフラム４の
材質はＰＴＦＥ等のフッ素樹脂が好適に使用されるが、
ゴム及び金属でも良く特に限定されない。
ＦＡ等のフッ素樹脂が好適に使用されるが、ポリ塩化ビ
ニル、ポリプロピレンなどのその他のプラスチック或い
は金属でも良く特に限定されない。また、気室形成用リ
ング３は強度、耐熱性の観点からポリプロピレンが好適
に使用されるが、同様に、その他のプラスチックや金属
でも良く特に限定されない。さらに、ダイヤフラム４の
材質はＰＴＦＥ等のフッ素樹脂が好適に使用されるが、
ゴム及び金属でも良く特に限定されない。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施態様につい
て、図面を参照して説明するが、本発明が本実施態様に
限定されないことは言うまでもない。
て、図面を参照して説明するが、本発明が本実施態様に
限定されないことは言うまでもない。
【００１２】図１は、本発明の背圧弁の第一の実施態様
を示す縦断面図である。図２は、本発明の背圧弁におい
て上流側圧力が低下した場合の状態を示す縦断面図であ
る。図３は、本発明の背圧弁の第二の実施態様を示す縦
断面図である。
を示す縦断面図である。図２は、本発明の背圧弁におい
て上流側圧力が低下した場合の状態を示す縦断面図であ
る。図３は、本発明の背圧弁の第二の実施態様を示す縦
断面図である。
【００１３】図において１はＰＴＦＥ製の本体であり、
上端面周縁部にはダイヤフラム４の環状突部５が嵌合さ
れる環状溝６とが設けられている。８は該溝６の内側に
位置し、気室形成リング３との組合せによりダイヤフラ
ム４の上下動を許容する空間を形成している第一弁室で
あり、該弁室８の底面中央にはプラグ７が突出して設け
られ、また側面には第一弁室８に連通する入口流路９が
設けられている。
上端面周縁部にはダイヤフラム４の環状突部５が嵌合さ
れる環状溝６とが設けられている。８は該溝６の内側に
位置し、気室形成リング３との組合せによりダイヤフラ
ム４の上下動を許容する空間を形成している第一弁室で
あり、該弁室８の底面中央にはプラグ７が突出して設け
られ、また側面には第一弁室８に連通する入口流路９が
設けられている。
【００１４】２はＰＴＦＥ製の蓋体であり、中央部に第
二弁室１０と、下部に第二弁室１０の径より大きく設計
されたダイヤフラム４の上部に位置する環状接合部２１
が螺合される接合部１２が設けられ、また側面に第二弁
室１０と連通した出口流路１１と、気室１３に連通する
通気孔１４，１５がそれぞれ設けられている。尚、通気
孔１４及び１５は、吸気用、排気用として使用されるも
のであり、必ずしも二個設ける必要はなく一個でも用は
足りるものである。
二弁室１０と、下部に第二弁室１０の径より大きく設計
されたダイヤフラム４の上部に位置する環状接合部２１
が螺合される接合部１２が設けられ、また側面に第二弁
室１０と連通した出口流路１１と、気室１３に連通する
通気孔１４，１５がそれぞれ設けられている。尚、通気
孔１４及び１５は、吸気用、排気用として使用されるも
のであり、必ずしも二個設ける必要はなく一個でも用は
足りるものである。
【００１５】気室形成用リング３は第一弁室８の内径と
略同じ内径を有するポリプロピレン製のリングであり、
本体１と蓋体２の間に挟持されている。該リング３の上
面には蓋体２と前記ダイヤフラム４との間に形成される
気室１３を密封するゴム弾性体よりなるシールリング２
２が嵌挿される環状溝形状の第一の凹所２３と、下面に
はダイヤフラム４の環状突部５を裏打ちするシールリン
グ２４が嵌挿される第一の凹所と同形状の第二の凹所２
５とが設けられている。
略同じ内径を有するポリプロピレン製のリングであり、
本体１と蓋体２の間に挟持されている。該リング３の上
面には蓋体２と前記ダイヤフラム４との間に形成される
気室１３を密封するゴム弾性体よりなるシールリング２
２が嵌挿される環状溝形状の第一の凹所２３と、下面に
はダイヤフラム４の環状突部５を裏打ちするシールリン
グ２４が嵌挿される第一の凹所と同形状の第二の凹所２
５とが設けられている。
【００１６】ダイヤフラム４はＰＴＦＥ製であり、中央
に前記本体１のプラグ７の外径よりも小さい内径を有す
る円筒部１７と、円筒部１７の下部に設けられた鍔部１
８と、鍔部１８の周側面下方部から径方向に延長して設
けられかつその周縁部に環状突部５を有する第一膜部１
９と、円筒部１７の上端面に径方向に延長して設けられ
た第二膜部２０と、第二膜部２０に連続して設けられ蓋
体２の接合部１２にＯリングを介して螺合される環状接
合部２１とが設けられている。円筒部１７の下端部は前
記第一弁室８の中央部に設けられたプラグ７の上面との
間に流体制御部１６を形成している。環状接合部２１の
蓋体２の接合部１２への接合方法は、螺合に限定されず
他の接合方法を用いてもかまわない。ダイヤフラム４の
環状突部５は本体１の環状溝６に嵌合されるとともに、
気室形成用リング３に嵌挿されているシールリング２４
に裏打ちされることにより第二の凹所２５に押圧され
る。尚、ダイヤフラム４の下面の受圧面積すなわち第一
膜部１９と鍔部４の受圧面積は、上面の受圧面積すなわ
ち第二膜部２０の受圧面積より大きく設けなければなら
ない。
に前記本体１のプラグ７の外径よりも小さい内径を有す
る円筒部１７と、円筒部１７の下部に設けられた鍔部１
８と、鍔部１８の周側面下方部から径方向に延長して設
けられかつその周縁部に環状突部５を有する第一膜部１
９と、円筒部１７の上端面に径方向に延長して設けられ
た第二膜部２０と、第二膜部２０に連続して設けられ蓋
体２の接合部１２にＯリングを介して螺合される環状接
合部２１とが設けられている。円筒部１７の下端部は前
記第一弁室８の中央部に設けられたプラグ７の上面との
間に流体制御部１６を形成している。環状接合部２１の
蓋体２の接合部１２への接合方法は、螺合に限定されず
他の接合方法を用いてもかまわない。ダイヤフラム４の
環状突部５は本体１の環状溝６に嵌合されるとともに、
気室形成用リング３に嵌挿されているシールリング２４
に裏打ちされることにより第二の凹所２５に押圧され
る。尚、ダイヤフラム４の下面の受圧面積すなわち第一
膜部１９と鍔部４の受圧面積は、上面の受圧面積すなわ
ち第二膜部２０の受圧面積より大きく設けなければなら
ない。
【００１７】１３はダイヤフラム４と気室形成用リング
３とで囲まれて形成される気室である。気室１３の内部
には前記蓋体２の通気孔１４から、気体用レギュレータ
等を用いて圧力調整された圧縮空気または不活性ガス等
が導入され、また、通気孔１５からはそれらが微量に排
出されながら一定圧力を保つよう調整される。また、空
気またはガスの圧力を変更すれば、背圧弁の上流側流体
圧力はそれに対応した値に保たれるため、空気またはガ
スの圧力を調整することで、背圧弁の上流側圧力を設定
値に調整できる。
３とで囲まれて形成される気室である。気室１３の内部
には前記蓋体２の通気孔１４から、気体用レギュレータ
等を用いて圧力調整された圧縮空気または不活性ガス等
が導入され、また、通気孔１５からはそれらが微量に排
出されながら一定圧力を保つよう調整される。また、空
気またはガスの圧力を変更すれば、背圧弁の上流側流体
圧力はそれに対応した値に保たれるため、空気またはガ
スの圧力を調整することで、背圧弁の上流側圧力を設定
値に調整できる。
【００１８】蓋体２、気室形成リング３、及び本体１の
三者は、ボルト、ナット（図示せず）で挟持固定されて
いる。
三者は、ボルト、ナット（図示せず）で挟持固定されて
いる。
【００１９】上記の構成からなる本実施態様の背圧弁の
作動は次のとおりである。
作動は次のとおりである。
【００２０】図１の状態においては、ダイヤフラム４の
下面は第一弁室８内部の圧力すなわち弁上流側圧力によ
る上向きの力を受け、またダイヤフラム４の下面に対応
した第一膜部１９及び鍔部１８の上面が気室１３内部の
圧力による下向きの力を受けており、これら２つの力の
釣り合いによってダイヤフラム４と一体に設けられた円
筒部１７の位置が決定されている。
下面は第一弁室８内部の圧力すなわち弁上流側圧力によ
る上向きの力を受け、またダイヤフラム４の下面に対応
した第一膜部１９及び鍔部１８の上面が気室１３内部の
圧力による下向きの力を受けており、これら２つの力の
釣り合いによってダイヤフラム４と一体に設けられた円
筒部１７の位置が決定されている。
【００２１】今、図１の状態において上流側の圧力が低
下した場合、第一弁室８内部の圧力が減少し、ダイヤフ
ラム４の下面すなわち第一膜部１９及び鍔部１８の下面
が受ける圧力も減少する。一方、第一膜部１９及び鍔部
１８の上面が受ける気室１３の内部圧力は不変であるた
め、第一膜部１９及び鍔部１８の上面が受ける力の方が
大きくなり、円筒部１７も下方へ押し下げられる（図２
の状態）。従って、流体制御部１６の開口面積は減少
し、上流側の流体圧力は瞬時に元の圧力まで上昇し、再
び気室１３内部の圧力と上流側の流体圧が略等しく保た
れるようになる。
下した場合、第一弁室８内部の圧力が減少し、ダイヤフ
ラム４の下面すなわち第一膜部１９及び鍔部１８の下面
が受ける圧力も減少する。一方、第一膜部１９及び鍔部
１８の上面が受ける気室１３の内部圧力は不変であるた
め、第一膜部１９及び鍔部１８の上面が受ける力の方が
大きくなり、円筒部１７も下方へ押し下げられる（図２
の状態）。従って、流体制御部１６の開口面積は減少
し、上流側の流体圧力は瞬時に元の圧力まで上昇し、再
び気室１３内部の圧力と上流側の流体圧が略等しく保た
れるようになる。
【００２２】一方、図２の状態において上流側の圧力が
上昇した場合、第一弁室８内部の圧力は上昇し、ダイヤ
フラム４の下面が受ける力も上昇する。このとき、第一
膜部１９及び鍔部１８が受ける気室１３の内部圧力は不
変であるため、ダイヤフラム４の下面が受ける力の方が
大きくなり、前記とは反対に円筒部１７が上方へ押し上
げられる（図１の状態）。これによって、流体制御部１
６の開口面積は増加し、上流側の流体圧力は元の圧力ま
で減少し、再び気室１３内部の圧力と略等しく保たれる
ようになる。
上昇した場合、第一弁室８内部の圧力は上昇し、ダイヤ
フラム４の下面が受ける力も上昇する。このとき、第一
膜部１９及び鍔部１８が受ける気室１３の内部圧力は不
変であるため、ダイヤフラム４の下面が受ける力の方が
大きくなり、前記とは反対に円筒部１７が上方へ押し上
げられる（図１の状態）。これによって、流体制御部１
６の開口面積は増加し、上流側の流体圧力は元の圧力ま
で減少し、再び気室１３内部の圧力と略等しく保たれる
ようになる。
【００２３】以上のように上流側の圧力が増減しても、
瞬時にダイヤフラム４の円筒部１７の位置が変化して、
常に上流側の圧力が一定に保持することができる。
瞬時にダイヤフラム４の円筒部１７の位置が変化して、
常に上流側の圧力が一定に保持することができる。
【００２４】尚、気室１３内部の圧力を変更すれば、上
流側圧力はそれに対応した値に保たれる。つまり、気室
１３内部の圧力を変更することにより上流側の圧力を任
意に調整することができる。
流側圧力はそれに対応した値に保たれる。つまり、気室
１３内部の圧力を変更することにより上流側の圧力を任
意に調整することができる。
【００２５】また、流体制御部１６を形成する円筒部１
７の上下両端部が、第一膜部１９及び鍔部１８と第二膜
部２０とで二点により支承されているため、円筒部１７
の傾きを防止でき、開口面積が小さくなったときでもハ
ンチングや上流側圧力の制御性能の低下を防止できる。
７の上下両端部が、第一膜部１９及び鍔部１８と第二膜
部２０とで二点により支承されているため、円筒部１７
の傾きを防止でき、開口面積が小さくなったときでもハ
ンチングや上流側圧力の制御性能の低下を防止できる。
【００２６】図３は本発明の他の実施態様を示した縦断
面図である。
面図である。
【００２７】図において、蓋体２、ダイヤフラム４、及
びシールリング２２，２４については前記第一の実施態
様と同一であるため同じ番号が付してある。
びシールリング２２，２４については前記第一の実施態
様と同一であるため同じ番号が付してある。
【００２８】以下、図１と異なる点についてのみ説明す
る。
る。
【００２９】３０は本体であり、上部内面に気室形成用
リング３１とシールリング２２及び２４を内包する段差
部３２と、段差部３２の段差面に設けられダイヤフラム
４の環状突部５が嵌合される環状溝３３と、環状溝３３
の内側に位置しダイヤフラム４の上下動を許容する横断
面円形状の第一の弁室３４と、側面に第一の弁室３４と
を連通する入口流路３５が設けられている。
リング３１とシールリング２２及び２４を内包する段差
部３２と、段差部３２の段差面に設けられダイヤフラム
４の環状突部５が嵌合される環状溝３３と、環状溝３３
の内側に位置しダイヤフラム４の上下動を許容する横断
面円形状の第一の弁室３４と、側面に第一の弁室３４と
を連通する入口流路３５が設けられている。
【００３０】３１は本体３０と蓋体２に挟持されている
気室形成用リングであり、第一の弁室３４と略同じ内径
を有し、上面外周側にシールリング２２が嵌挿される環
状切欠部３６と、下面外周側にシールリング２４が嵌挿
される環状切欠部３７が設けられている。環状切欠部３
６は、シールリング２２を段差部３２内周面と蓋体２下
端面とに押圧するよう設計されている。さらに、環状切
欠部３７は、シールリング２４を段差部３２の内周面と
環状突部５の上面とに押圧するよう設計されており、シ
ールリング２２，２４は、気室９のシールとともにダイ
ヤフラム４の環状突部５の裏打ちとして使用される。
気室形成用リングであり、第一の弁室３４と略同じ内径
を有し、上面外周側にシールリング２２が嵌挿される環
状切欠部３６と、下面外周側にシールリング２４が嵌挿
される環状切欠部３７が設けられている。環状切欠部３
６は、シールリング２２を段差部３２内周面と蓋体２下
端面とに押圧するよう設計されている。さらに、環状切
欠部３７は、シールリング２４を段差部３２の内周面と
環状突部５の上面とに押圧するよう設計されており、シ
ールリング２２，２４は、気室９のシールとともにダイ
ヤフラム４の環状突部５の裏打ちとして使用される。
【００３１】弁の作動については前記第一の実施態様と
同一であるので説明は省略する。
同一であるので説明は省略する。
【００３２】図４は本発明の背圧弁が使用された純水や
ＣＭＰスラリー等の配管ラインを示したものである。メ
インラインは循環するようになっており、分岐ラインは
それぞれ装置等に接続されている。また、稼動している
装置に接続された分岐バルブは開けられており、停止し
ている装置に接続された分岐バルブは閉じられている。
ＣＭＰスラリー等の配管ラインを示したものである。メ
インラインは循環するようになっており、分岐ラインは
それぞれ装置等に接続されている。また、稼動している
装置に接続された分岐バルブは開けられており、停止し
ている装置に接続された分岐バルブは閉じられている。
【００３３】ここで、装置の稼動状況が変化し、例えば
全ての装置が稼動すると、分岐バルブは全て開けられ、
メインラインからの流体の抜き取り量は増加する。した
がって、メインラインの圧力は低下し、さらに、分岐ラ
インの圧力も低下するため、分岐ラインの流量すなわち
装置へ送られる流量は減少する。
全ての装置が稼動すると、分岐バルブは全て開けられ、
メインラインからの流体の抜き取り量は増加する。した
がって、メインラインの圧力は低下し、さらに、分岐ラ
インの圧力も低下するため、分岐ラインの流量すなわち
装置へ送られる流量は減少する。
【００３４】しかしながら、メインラインに配置された
本発明の背圧弁の働きにより、背圧弁上流側の圧力は略
一定に保たれるため、分岐ラインの流量も略一定に保た
れ、装置へ送られる流量も略一定に保たれる。従って安
定した操業を行うことができる。
本発明の背圧弁の働きにより、背圧弁上流側の圧力は略
一定に保たれるため、分岐ラインの流量も略一定に保た
れ、装置へ送られる流量も略一定に保たれる。従って安
定した操業を行うことができる。
【００３５】
【発明の効果】本発明の背圧弁は以上説明したような構
造をしており、これを使用することで以下の優れた効果
が得られる。
造をしており、これを使用することで以下の優れた効果
が得られる。
【００３６】（１）流体制御部の開口面積を調整する円
筒部を２点で支承しているため、円筒部の傾きが抑えら
れ、開口面積が小さいときでも精度良く流体圧力の調整
ができる。
筒部を２点で支承しているため、円筒部の傾きが抑えら
れ、開口面積が小さいときでも精度良く流体圧力の調整
ができる。
【００３７】（２）コンパクトな構造でありかつ、安定
した流体圧力制御が得られる。
した流体圧力制御が得られる。
【００３８】（３）接液する部分の部材は全てＰＴＦＥ
等の耐薬品性に優れた材質を用いることができるため、
その場合は各種化学薬液ラインに好適に使用することが
できる。
等の耐薬品性に優れた材質を用いることができるため、
その場合は各種化学薬液ラインに好適に使用することが
できる。
【図１】本発明の背圧弁の実施態様の縦断面図である。
【図２】図１において上流側圧力が上昇した状態を示す
縦断面図である。
縦断面図である。
【図３】本発明の背圧弁の他の実施態様を示す縦断面図
である。
である。
【図４】本発明の背圧弁が使用された配管のライン図で
ある。
ある。
【図５】従来の背圧弁の縦断面図である。
１…本体
２…蓋体
３…気室形成用リング
４…ダイヤフラム
５…環状突部
６…環状溝
７…プラグ
８…第一弁室
９…入口流路
１０…第二弁室
１１…出口流路
１２…接合部
１３…気室
１４…通気孔
１５…通気孔
１６…流体制御部
１７…円筒部
１８…鍔部
１９…第一膜部
２０…第二膜部
２１…環状接合部
２２…シールリング
２３…環状溝
２４…シールリング
２５…環状溝
３０…本体
３１…気室形成用リング
３２…段差部
３３…環状溝
３４…第一弁室
３５…入口流路
３６…環状切欠部
３７…環状切欠部
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3H059 AA03 BB06 BB22 CD12 CE05
DD06 DD14 FF02 FF03
5H316 AA02 BB07 CC01 DD11 EE02
EE10 EE18 JJ09 KK01
Claims (5)
- 【請求項１】 本体、蓋体、本体と蓋体の間に挟持され
た気室形成用リング、及び内部に上部及び下部がそれぞ
れ蓋体と本体に係合されたダイヤフラムを具備し、本体
には、上端面周縁部にダイヤフラムの環状突部が嵌合さ
れる環状溝と、該環状溝の内側に位置しダイヤフラムの
上下動を許容し底面中央より突出するプラグを有する第
一弁室と、第一弁室に連通する入口流路とが設けられ、
蓋体には、第二弁室と、第二弁室と連通した出口流路
と、下部にダイヤフラムの上部が接合される接合部と、
ダイヤフラムと本体とにより形成された気室に連通する
通気孔とが設けられ、ダイヤフラムには、中央に前記本
体のプラグとの間に流体制御部を形成するプラグの外径
よりも小さい内径を有する円筒部と、円筒部の下部に設
けられた鍔部と、鍔部の径方向に延長して設けられ、か
つその周縁部に環状突部を有する第一膜部と、円筒部の
上端面に径方向に延長して設けられた第二膜部と、第二
膜部に連続して設けられ前記蓋体の接合部に接合される
環状接合部とが設けられ、またダイヤフラムの下面の受
圧面積が上面の受圧面積よりも大きく形成され、さら
に、前記気室形成リングの上面には気室を密封するシー
ルリングが嵌挿される第一の凹所が設けられ、気室形成
用リングの下面には、ダイヤフラムの環状突部を裏打ち
するシールリングが嵌挿される第二の凹所が設けられて
いることを特徴とする背圧弁。 - 【請求項２】 シールリングが嵌挿される第一の凹所が
気室形成用リングの上面に形成された環状溝であり、シ
ールリングが嵌挿される第二の凹所が気室形成リングの
下面に形成された環状溝である請求項１に記載の背圧
弁。 - 【請求項３】 本体の蓋体との接合部には気室形成リン
グが内包される段差部が設けられ、シールリングが嵌挿
される前記第一の凹所が気室形成リングの外側周面と段
差部との間に形成された環状切欠部であり、シールリン
グが嵌挿される前記第二の凹所が気室形成用リングの外
周面と段差部との間に形成された環状切欠部である請求
項１に記載の背圧弁。 - 【請求項４】 ダイヤフラムの材質がポリテトラフルオ
ロエチレンである請求項１記載の背圧弁。 - 【請求項５】 通気孔が少なくとも二個設けられている
請求項１に記載の背圧弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001294284A JP4776120B2 (ja) | 2001-09-26 | 2001-09-26 | 背圧弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001294284A JP4776120B2 (ja) | 2001-09-26 | 2001-09-26 | 背圧弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003097747A true JP2003097747A (ja) | 2003-04-03 |
| JP4776120B2 JP4776120B2 (ja) | 2011-09-21 |
Family
ID=19115920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001294284A Expired - Fee Related JP4776120B2 (ja) | 2001-09-26 | 2001-09-26 | 背圧弁 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4776120B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008077019A1 (en) * | 2006-12-18 | 2008-06-26 | Insight Process Solutions, Llc | Tube configured pressure regulating valve |
| CN103335140A (zh) * | 2013-07-19 | 2013-10-02 | 成都皓瀚完井岩电科技有限公司 | 一种周向回压器 |
| CN108361235A (zh) * | 2018-04-24 | 2018-08-03 | 山河智能装备股份有限公司 | 一种紧凑型液控背压阀及其控制方法 |
| CN112081972A (zh) * | 2020-08-17 | 2020-12-15 | 费尔顿技术(上海)有限公司 | 用于狭窄空间的节流分气片及其节流分气片组件 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06295209A (ja) * | 1993-04-07 | 1994-10-21 | Advance Denki Kogyo Kk | 流体コントロールバルブ |
| JP2000193106A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-07-14 | Advance Denki Kogyo Kk | 流量コントロ―ルバルブ |
| JP2001099344A (ja) * | 1999-09-29 | 2001-04-10 | Advance Denki Kogyo Kk | 背圧制御弁 |
| JP2001141083A (ja) * | 1999-11-18 | 2001-05-25 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 定圧レギュレータ |
| JP2001208237A (ja) * | 2000-01-24 | 2001-08-03 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 自動弁 |
| JP2003029848A (ja) * | 2001-07-18 | 2003-01-31 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 定圧レギュレータ |
-
2001
- 2001-09-26 JP JP2001294284A patent/JP4776120B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06295209A (ja) * | 1993-04-07 | 1994-10-21 | Advance Denki Kogyo Kk | 流体コントロールバルブ |
| JP2000193106A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-07-14 | Advance Denki Kogyo Kk | 流量コントロ―ルバルブ |
| JP2001099344A (ja) * | 1999-09-29 | 2001-04-10 | Advance Denki Kogyo Kk | 背圧制御弁 |
| JP2001141083A (ja) * | 1999-11-18 | 2001-05-25 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 定圧レギュレータ |
| JP2001208237A (ja) * | 2000-01-24 | 2001-08-03 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 自動弁 |
| JP2003029848A (ja) * | 2001-07-18 | 2003-01-31 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 定圧レギュレータ |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008077019A1 (en) * | 2006-12-18 | 2008-06-26 | Insight Process Solutions, Llc | Tube configured pressure regulating valve |
| CN103335140A (zh) * | 2013-07-19 | 2013-10-02 | 成都皓瀚完井岩电科技有限公司 | 一种周向回压器 |
| CN108361235A (zh) * | 2018-04-24 | 2018-08-03 | 山河智能装备股份有限公司 | 一种紧凑型液控背压阀及其控制方法 |
| CN108361235B (zh) * | 2018-04-24 | 2023-09-08 | 山河智能装备股份有限公司 | 一种紧凑型液控背压阀及其控制方法 |
| CN112081972A (zh) * | 2020-08-17 | 2020-12-15 | 费尔顿技术(上海)有限公司 | 用于狭窄空间的节流分气片及其节流分气片组件 |
| CN112081972B (zh) * | 2020-08-17 | 2022-06-10 | 费尔顿技术(上海)有限公司 | 用于狭窄空间的节流分气片及其节流分气片组件 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4776120B2 (ja) | 2011-09-21 |
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