JPH10196824A - サックバックバルブ - Google Patents
サックバックバルブInfo
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- JPH10196824A JPH10196824A JP9002415A JP241597A JPH10196824A JP H10196824 A JPH10196824 A JP H10196824A JP 9002415 A JP9002415 A JP 9002415A JP 241597 A JP241597 A JP 241597A JP H10196824 A JPH10196824 A JP H10196824A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- diaphragm valve
- fluid
- piston
- suck
- Prior art date
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- Granted
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K23/00—Valves for preventing drip from nozzles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】サックバックバルブを構成する可撓性部材の耐
久性を向上させるとともに、応答速度を一定とし、しか
も、流量設定位置が変化することを防止することにあ
る。 【解決手段】一端部に第１ポート３４が形成され他端部
に第２ポート３６が形成された流体通路３８と圧力流体
を導入するエアー供給ポート８４とを有する弁ボデイ
と、前記弁ボデイの内部に変位自在に設けられ、前記エ
アー供給ポート８４から導入される圧力流体の作用下に
変位する変位機構３２と、前記変位機構３２に連結さ
れ、該変位機構３２と一体的に変位する第１ダイヤフラ
ム弁４６と、前記流体通路３８に臨設され、前記第１ダ
イヤフラム弁４６が着座または離間する着座部５８とを
備える。
久性を向上させるとともに、応答速度を一定とし、しか
も、流量設定位置が変化することを防止することにあ
る。 【解決手段】一端部に第１ポート３４が形成され他端部
に第２ポート３６が形成された流体通路３８と圧力流体
を導入するエアー供給ポート８４とを有する弁ボデイ
と、前記弁ボデイの内部に変位自在に設けられ、前記エ
アー供給ポート８４から導入される圧力流体の作用下に
変位する変位機構３２と、前記変位機構３２に連結さ
れ、該変位機構３２と一体的に変位する第１ダイヤフラ
ム弁４６と、前記流体通路３８に臨設され、前記第１ダ
イヤフラム弁４６が着座または離間する着座部５８とを
備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ダイヤフラム弁の
開閉作用下に流体通路を流通する所定量の流体を吸い込
むことにより、例えば、流体の供給口の液だれを防止す
ることが可能なサックバックバルブに関する。
開閉作用下に流体通路を流通する所定量の流体を吸い込
むことにより、例えば、流体の供給口の液だれを防止す
ることが可能なサックバックバルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、例えば、半導体ウェハ等の製
造工程においてサックバックバルブ（suck back valve
）が使用されている。このサックバックバルブは、半
導体ウェハに対するコーティング液の供給を停止した
際、供給口から微量のコーティング液が半導体ウェハに
向かって滴下する、所謂、液だれを防止する機能を有す
る。
造工程においてサックバックバルブ（suck back valve
）が使用されている。このサックバックバルブは、半
導体ウェハに対するコーティング液の供給を停止した
際、供給口から微量のコーティング液が半導体ウェハに
向かって滴下する、所謂、液だれを防止する機能を有す
る。
【０００３】ここで、従来技術に係るサックバックバル
ブを図５に示す（例えば、実公平８−１０３９９号公報
参照）。
ブを図５に示す（例えば、実公平８−１０３９９号公報
参照）。
【０００４】このサックバックバルブ１は、流体導入ポ
ート２と流体導出ポート３とを連通させる流体通路４が
形成された弁本体５と、前記弁本体５の上部に連結され
るボンネット６とを有する。前記流体通路４の中央部に
は、厚肉部および薄肉部から構成されたダイヤフラム弁
７が設けられ、前記ダイヤフラム弁７の厚肉部および薄
肉部の全面が流体通路に臨むように形成されている。前
記ボンネット６には、図示しない圧力流体供給源に接続
され、切換弁の切換作用下に圧力流体が供給される圧力
流体供給ポート８が形成される。
ート２と流体導出ポート３とを連通させる流体通路４が
形成された弁本体５と、前記弁本体５の上部に連結され
るボンネット６とを有する。前記流体通路４の中央部に
は、厚肉部および薄肉部から構成されたダイヤフラム弁
７が設けられ、前記ダイヤフラム弁７の厚肉部および薄
肉部の全面が流体通路に臨むように形成されている。前
記ボンネット６には、図示しない圧力流体供給源に接続
され、切換弁の切換作用下に圧力流体が供給される圧力
流体供給ポート８が形成される。
【０００５】前記ダイヤフラム弁７にはピストン９が嵌
合され、前記ピストン９には、弁本体５の内壁面を摺動
するとともにシール機能を営むｖパッキン１０が装着さ
れている。また、弁本体５内には、ピストン９を上方に
向かって常時押圧するスプリング１１が設けられてい
る。なお、参照数字１２は、ピストン９に当接して該ピ
ストン９の変位量を調整することにより、ダイヤフラム
弁７によって吸引される流体の流量を調整するニードル
を示す。
合され、前記ピストン９には、弁本体５の内壁面を摺動
するとともにシール機能を営むｖパッキン１０が装着さ
れている。また、弁本体５内には、ピストン９を上方に
向かって常時押圧するスプリング１１が設けられてい
る。なお、参照数字１２は、ピストン９に当接して該ピ
ストン９の変位量を調整することにより、ダイヤフラム
弁７によって吸引される流体の流量を調整するニードル
を示す。
【０００６】このサックバックバルブ１の概略動作を説
明すると、流体導入ポート２から流体導出ポート３に向
かって流体が供給されている通常の状態では、圧力流体
供給ポート８から供給された圧力流体の作用下にピスト
ン９およびダイヤフラム弁７が下方向に沿って一体的に
変位し、ピストン９に連結されたダイヤフラム弁７が、
図５中、二点鎖線で示すように流体通路４中に突出して
いる。
明すると、流体導入ポート２から流体導出ポート３に向
かって流体が供給されている通常の状態では、圧力流体
供給ポート８から供給された圧力流体の作用下にピスト
ン９およびダイヤフラム弁７が下方向に沿って一体的に
変位し、ピストン９に連結されたダイヤフラム弁７が、
図５中、二点鎖線で示すように流体通路４中に突出して
いる。
【０００７】そこで、流体通路４中の流体の流通を停止
した場合、圧力流体供給ポート８からの圧力流体の供給
を停止させることにより、スプリング１１の弾発力の作
用下にピストン９およびダイヤフラム弁７が一体的に上
昇し、前記ダイヤフラム弁７の負圧作用下に流体通路４
中に残存する所定量の流体が吸引され、流体の供給口に
おける液だれが防止される。
した場合、圧力流体供給ポート８からの圧力流体の供給
を停止させることにより、スプリング１１の弾発力の作
用下にピストン９およびダイヤフラム弁７が一体的に上
昇し、前記ダイヤフラム弁７の負圧作用下に流体通路４
中に残存する所定量の流体が吸引され、流体の供給口に
おける液だれが防止される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
従来技術に係るサックバックバルブ１では、ダイヤフラ
ム弁７の厚肉部および薄肉部の全面が流体の受圧面とな
ることから、長期間の使用によって前記ダイヤフラム弁
７が変形し、あるいは亀裂等が発生することにより作動
不良を起こすおそれがある。この結果、ダイヤフラム弁
７の耐久性が劣化するという不都合がある。
従来技術に係るサックバックバルブ１では、ダイヤフラ
ム弁７の厚肉部および薄肉部の全面が流体の受圧面とな
ることから、長期間の使用によって前記ダイヤフラム弁
７が変形し、あるいは亀裂等が発生することにより作動
不良を起こすおそれがある。この結果、ダイヤフラム弁
７の耐久性が劣化するという不都合がある。
【０００９】また、従来技術に係るサックバックバルブ
１では、ピストン９が変位する際、弁本体５の内壁面を
摺動変位するｖパッキン１０の摺動抵抗によって、流体
の供給状態から停止状態または流体の停止状態から供給
状態へと状態が切り換わるときの応答速度にばらつきが
生じるという不都合がある。
１では、ピストン９が変位する際、弁本体５の内壁面を
摺動変位するｖパッキン１０の摺動抵抗によって、流体
の供給状態から停止状態または流体の停止状態から供給
状態へと状態が切り換わるときの応答速度にばらつきが
生じるという不都合がある。
【００１０】さらに、ボンネット６のねじ穴に螺入され
たニードル１２が緩み、ピストン９の変位を規制する流
量設定位置が経時変化するという不都合がある。
たニードル１２が緩み、ピストン９の変位を規制する流
量設定位置が経時変化するという不都合がある。
【００１１】本発明は、前記の不都合を克服するために
なされたものであり、サックバックバルブを構成する可
撓性部材（ダイヤフラム弁）の耐久性を向上させるとと
もに、応答速度を一定とし、しかも、流量設定位置が変
化することを防止することが可能なサックバックバルブ
を提供することを目的とする。
なされたものであり、サックバックバルブを構成する可
撓性部材（ダイヤフラム弁）の耐久性を向上させるとと
もに、応答速度を一定とし、しかも、流量設定位置が変
化することを防止することが可能なサックバックバルブ
を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、一端部に第１ポートが形成され他端部
に第２ポートが形成された流体通路と圧力流体を導入す
る圧力流体導入ポートとを有する弁ボデイと、前記弁ボ
デイの内部に変位自在に設けられ、前記圧力流体導入ポ
ートから導入される圧力流体の作用下に変位する変位機
構と、前記変位機構に連結され、該変位機構と一体的に
変位する可撓性部材と、前記弁ボデイの流体通路に臨設
され、前記可撓性部材が着座または離間する着座部と、
を備え、前記変位機構の変位作用下に可撓性部材が着座
部から離間して所定の間隙が形成されることにより、前
記間隙内に負圧作用によって流体通路内の所定量の流体
が吸引されることを特徴とする。
めに、本発明は、一端部に第１ポートが形成され他端部
に第２ポートが形成された流体通路と圧力流体を導入す
る圧力流体導入ポートとを有する弁ボデイと、前記弁ボ
デイの内部に変位自在に設けられ、前記圧力流体導入ポ
ートから導入される圧力流体の作用下に変位する変位機
構と、前記変位機構に連結され、該変位機構と一体的に
変位する可撓性部材と、前記弁ボデイの流体通路に臨設
され、前記可撓性部材が着座または離間する着座部と、
を備え、前記変位機構の変位作用下に可撓性部材が着座
部から離間して所定の間隙が形成されることにより、前
記間隙内に負圧作用によって流体通路内の所定量の流体
が吸引されることを特徴とする。
【００１３】本発明によれば、弁ボデイの流体通路に臨
設して可撓性部材が着座または離間する着座部を設ける
ことにより、流体通路に臨む可撓性部材の底面のみが前
記流体通路を流通する流体の受圧面となる。この結果、
流体の受圧面を減少させることにより、可撓性部材の耐
久性を向上させることができる。
設して可撓性部材が着座または離間する着座部を設ける
ことにより、流体通路に臨む可撓性部材の底面のみが前
記流体通路を流通する流体の受圧面となる。この結果、
流体の受圧面を減少させることにより、可撓性部材の耐
久性を向上させることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明に係るサックバックバルブ
について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照し
ながら以下詳細に説明する。
について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照し
ながら以下詳細に説明する。
【００１５】図１〜図３において、参照数字２０は、本
発明の実施の形態に係るサックバックバルブを示す。
発明の実施の形態に係るサックバックバルブを示す。
【００１６】このサックバックバルブ２０は、所定間隔
離間して一組のチューブ２２ａ、２２ｂが着脱自在に接
続される継手部２４と、前記継手部２４を囲繞して一体
的に設けられた弁本体２６と、ねじ部材を介して前記弁
本体２６の上部に気密に連結されるカバー部材２８と、
前記弁本体２６の内壁面に沿って摺動変位するピストン
３０を有する変位機構３２とを含む。なお、前記継手部
２４、弁本体２６およびカバー部材２８は、弁ボデイと
して機能するものである。
離間して一組のチューブ２２ａ、２２ｂが着脱自在に接
続される継手部２４と、前記継手部２４を囲繞して一体
的に設けられた弁本体２６と、ねじ部材を介して前記弁
本体２６の上部に気密に連結されるカバー部材２８と、
前記弁本体２６の内壁面に沿って摺動変位するピストン
３０を有する変位機構３２とを含む。なお、前記継手部
２４、弁本体２６およびカバー部材２８は、弁ボデイと
して機能するものである。
【００１７】継手部２４は、一端部に第１ポート３４が
他端部に第２ポート３６が形成されるとともに、前記第
１ポート３４と第２ポート３６とを連通させる流体通路
３８が設けられた円筒状の継手ボデイ４０と、前記第１
ポート３４および第２ポート３６にそれぞれ係合し、且
つチューブ２２ａ（２２ｂ）の開口部に挿入される接続
部材４２と、前記継手ボデイ４０の端部に刻設されたね
じ溝に螺入することによりチューブ２２ａ（２２ｂ）が
接続される部位の気密性を保持するロックナット４４と
を有する。
他端部に第２ポート３６が形成されるとともに、前記第
１ポート３４と第２ポート３６とを連通させる流体通路
３８が設けられた円筒状の継手ボデイ４０と、前記第１
ポート３４および第２ポート３６にそれぞれ係合し、且
つチューブ２２ａ（２２ｂ）の開口部に挿入される接続
部材４２と、前記継手ボデイ４０の端部に刻設されたね
じ溝に螺入することによりチューブ２２ａ（２２ｂ）が
接続される部位の気密性を保持するロックナット４４と
を有する。
【００１８】継手部２４と弁本体２６との間には、第１
ダイヤフラム弁（可撓性部材）４６が設けられ、前記第
１ダイヤフラム弁４６は、継手部２４と弁本体２６との
連結部位に形成された凹部４８によって挟持される。
ダイヤフラム弁（可撓性部材）４６が設けられ、前記第
１ダイヤフラム弁４６は、継手部２４と弁本体２６との
連結部位に形成された凹部４８によって挟持される。
【００１９】前記第１ダイヤフラム弁４６は、円形状の
中心部に形成された厚肉部５０と、前記厚肉部５０の外
周に形成された薄肉部５２と、前記厚肉部５０の上部に
突出し爪部５４を介してピストン３０に連結される突起
部５６とから構成される。前記厚肉部５０は下部側に向
かって縮径するテーパ状に形成される。
中心部に形成された厚肉部５０と、前記厚肉部５０の外
周に形成された薄肉部５２と、前記厚肉部５０の上部に
突出し爪部５４を介してピストン３０に連結される突起
部５６とから構成される。前記厚肉部５０は下部側に向
かって縮径するテーパ状に形成される。
【００２０】継手部２４の中央部には、前記第１ダイヤ
フラム弁４６の厚肉部５０が着座する着座部５８が形成
され、前記着座部５８は、流体通路３８に連通し且つ前
記厚肉部５０の形状に対応する孔部からなり、流体通路
３８側に向かって徐々に縮径するテーパ状に形成され
る。前記第１ダイヤフラム弁４６の薄肉部５２の上面部
には、例えば、ゴム材料から形成されたリング状の弾性
部材６０が係合する。
フラム弁４６の厚肉部５０が着座する着座部５８が形成
され、前記着座部５８は、流体通路３８に連通し且つ前
記厚肉部５０の形状に対応する孔部からなり、流体通路
３８側に向かって徐々に縮径するテーパ状に形成され
る。前記第１ダイヤフラム弁４６の薄肉部５２の上面部
には、例えば、ゴム材料から形成されたリング状の弾性
部材６０が係合する。
【００２１】弁本体２６の内部には変位機構３２が設け
られ、前記変位機構３２は、凹部６２を介してカバー部
材２８と弁本体２６との間に挟持された第２ダイヤフラ
ム弁６４と、前記第２ダイヤフラム弁６４の変位作用下
に弁本体２６の内壁面に沿って上下方向に摺動変位する
ピストン３０と、前記第２ダイヤフラム弁６４とピスト
ン３０との間に介装されるリング状のダンパ部材６６
と、前記ピストン３０のフランジに係着され、弾発力の
作用下に、常時、ピストン３０を上方向に押圧するばね
部材６８とを有する。
られ、前記変位機構３２は、凹部６２を介してカバー部
材２８と弁本体２６との間に挟持された第２ダイヤフラ
ム弁６４と、前記第２ダイヤフラム弁６４の変位作用下
に弁本体２６の内壁面に沿って上下方向に摺動変位する
ピストン３０と、前記第２ダイヤフラム弁６４とピスト
ン３０との間に介装されるリング状のダンパ部材６６
と、前記ピストン３０のフランジに係着され、弾発力の
作用下に、常時、ピストン３０を上方向に押圧するばね
部材６８とを有する。
【００２２】第２ダイヤフラム弁６４は、中心部に形成
された厚肉部７０と、前記厚肉部７０の外周部に形成さ
れた薄肉部７２とから構成され、薄肉部７２の底面に形
成された環状凹部内に前記ダンパ部材６６が装着され
る。前記ピストン３０の下端部には、ラッパ状に拡径す
る保持部材７４が固定され、前記保持部材７４は、弾性
部材６０の上面に係合して第１ダイヤフラム弁４６の薄
肉部５２に対し弾性部材６０を保持する機能を営む。
された厚肉部７０と、前記厚肉部７０の外周部に形成さ
れた薄肉部７２とから構成され、薄肉部７２の底面に形
成された環状凹部内に前記ダンパ部材６６が装着され
る。前記ピストン３０の下端部には、ラッパ状に拡径す
る保持部材７４が固定され、前記保持部材７４は、弾性
部材６０の上面に係合して第１ダイヤフラム弁４６の薄
肉部５２に対し弾性部材６０を保持する機能を営む。
【００２３】また、弁本体２６の内部には、断面逆Ｕ字
状に屈曲する屈曲部７６と第１ダイヤフラム弁４６とに
よって第１室７８が形成され、この第１室７８は、通路
を介して排気ポート８０と連通するように形成されてい
る。この場合、第１ダイヤフラム弁４６が変位すること
により、排気ポート８０を通じて大気中に第１室７８内
の空気が排気される。
状に屈曲する屈曲部７６と第１ダイヤフラム弁４６とに
よって第１室７８が形成され、この第１室７８は、通路
を介して排気ポート８０と連通するように形成されてい
る。この場合、第１ダイヤフラム弁４６が変位すること
により、排気ポート８０を通じて大気中に第１室７８内
の空気が排気される。
【００２４】弁本体２６とカバー部材２８との間には、
前記第２ダイヤフラム弁６４とカバー部材２８とによっ
て閉塞された第２室８２が設けられ、前記第２室８２は
エアー供給ポート（圧力流体導入ポート）８４に連通す
るように形成される。
前記第２ダイヤフラム弁６４とカバー部材２８とによっ
て閉塞された第２室８２が設けられ、前記第２室８２は
エアー供給ポート（圧力流体導入ポート）８４に連通す
るように形成される。
【００２５】カバー部材２８の中心部にはねじ穴が形成
され、前記ねじ穴には、外周面にねじ部８６が刻設さ
れ、一端部に摘み８８が設けられたニードル９０が螺入
される。前記ニードル９０は、ロックナット９２によっ
て所定のねじ込み位置に係止されるとともに、ねじ込み
量を増減変更してニードル９０の他端部と第２ダイヤフ
ラム弁６４とが当接する位置を調整することにより、後
述するように第１ダイヤフラム弁４６によって吸引され
る流量を調整することができる。
され、前記ねじ穴には、外周面にねじ部８６が刻設さ
れ、一端部に摘み８８が設けられたニードル９０が螺入
される。前記ニードル９０は、ロックナット９２によっ
て所定のねじ込み位置に係止されるとともに、ねじ込み
量を増減変更してニードル９０の他端部と第２ダイヤフ
ラム弁６４とが当接する位置を調整することにより、後
述するように第１ダイヤフラム弁４６によって吸引され
る流量を調整することができる。
【００２６】前記ニードル９０のねじ部８６には、該ニ
ードル９０の軸線と略直交する方向に樹脂製材料の係止
部材９４が嵌入され、前記係止部材９４の端部は、ねじ
部８６に露呈するように形成される。なお、ねじ部８６
に露呈する係止部材９４の端部は、図４Ａに示されるよ
うに予めねじ山が刻設されておらず、カバー部材２８の
ねじ穴に沿ってニードル９０をねじ込むことにより係止
部材９４の端部にねじ溝が形成される（図４Ｂ参照）。
この結果、カバー部材２８のねじ穴に螺入されたニード
ル９０は、ロックナット９２と係止部材９４との共働に
よる係止作用によって緩み止めがなされ、ピストン３０
の変位を規制する流量設定位置が経時変化することを回
避することができる。
ードル９０の軸線と略直交する方向に樹脂製材料の係止
部材９４が嵌入され、前記係止部材９４の端部は、ねじ
部８６に露呈するように形成される。なお、ねじ部８６
に露呈する係止部材９４の端部は、図４Ａに示されるよ
うに予めねじ山が刻設されておらず、カバー部材２８の
ねじ穴に沿ってニードル９０をねじ込むことにより係止
部材９４の端部にねじ溝が形成される（図４Ｂ参照）。
この結果、カバー部材２８のねじ穴に螺入されたニード
ル９０は、ロックナット９２と係止部材９４との共働に
よる係止作用によって緩み止めがなされ、ピストン３０
の変位を規制する流量設定位置が経時変化することを回
避することができる。
【００２７】本実施の形態に係るサックバックバルブ２
０は、基本的には以上のように構成されるものであり、
次にその動作並びに作用効果について説明する。
０は、基本的には以上のように構成されるものであり、
次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００２８】まず、サックバックバルブ２０の第１ポー
ト３４に連通するチューブ２２ａには、コーティング液
９６が貯留されたコーティング液供給源９８と、前記コ
ーティング液９６の供給量を制御するオン／オフ弁１０
０とを接続し、一方、第２ポート３６に連通するチュー
ブ２２ｂには、半導体ウェハ１０２に向かってコーティ
ング液９６を滴下する管体１０４が設けられたコーティ
ング液滴下装置１０６を接続する。また、カバー部材２
８のエアー供給ポート８４には、圧縮空気供給源１０８
を接続しておく。
ト３４に連通するチューブ２２ａには、コーティング液
９６が貯留されたコーティング液供給源９８と、前記コ
ーティング液９６の供給量を制御するオン／オフ弁１０
０とを接続し、一方、第２ポート３６に連通するチュー
ブ２２ｂには、半導体ウェハ１０２に向かってコーティ
ング液９６を滴下する管体１０４が設けられたコーティ
ング液滴下装置１０６を接続する。また、カバー部材２
８のエアー供給ポート８４には、圧縮空気供給源１０８
を接続しておく。
【００２９】このような準備作業を経た後、圧縮空気供
給源１０８を付勢し、エアー供給ポート８４を介して第
２室８２内に圧縮空気を導入する（図２の矢印参照）。
第２室８２に導入された圧縮空気の押圧力がばね部材６
８の弾発力に打ち勝つことにより、第２ダイヤフラム弁
６４、ダンパ部材６６およびピストン３０が一体的に下
方側に変位し、第２ダイヤフラム弁６４がニードル９０
の一端部から離間する。前記第２ダイヤフラム弁６４が
下方側に変位することにより、ピストン３０および第１
ダイヤフラム弁４６の厚肉部５０が一体的に下方側に変
位する。この結果、図２に示されるように、第１ダイヤ
フラム弁４６の厚肉部５０が着座部５８に着座した状態
となり、前記厚肉部５０と着座部５８との間にコーティ
ング液９６が浸入することが阻止される。
給源１０８を付勢し、エアー供給ポート８４を介して第
２室８２内に圧縮空気を導入する（図２の矢印参照）。
第２室８２に導入された圧縮空気の押圧力がばね部材６
８の弾発力に打ち勝つことにより、第２ダイヤフラム弁
６４、ダンパ部材６６およびピストン３０が一体的に下
方側に変位し、第２ダイヤフラム弁６４がニードル９０
の一端部から離間する。前記第２ダイヤフラム弁６４が
下方側に変位することにより、ピストン３０および第１
ダイヤフラム弁４６の厚肉部５０が一体的に下方側に変
位する。この結果、図２に示されるように、第１ダイヤ
フラム弁４６の厚肉部５０が着座部５８に着座した状態
となり、前記厚肉部５０と着座部５８との間にコーティ
ング液９６が浸入することが阻止される。
【００３０】第１ダイヤフラム弁４６が着座部５８に着
座した状態において、コーティング液供給源９８および
オン／オフ弁１００を付勢して流体通路３８に沿ってコ
ーティング液９６を流通させ、コーティング液滴下装置
１０６を介して前記コーティング液９６を半導体ウェハ
１０２に滴下する。この結果、半導体ウェハ１０２に
は、所望の膜厚を有するコーティング被膜（図示せず）
が形成される。
座した状態において、コーティング液供給源９８および
オン／オフ弁１００を付勢して流体通路３８に沿ってコ
ーティング液９６を流通させ、コーティング液滴下装置
１０６を介して前記コーティング液９６を半導体ウェハ
１０２に滴下する。この結果、半導体ウェハ１０２に
は、所望の膜厚を有するコーティング被膜（図示せず）
が形成される。
【００３１】コーティング液滴下装置１０６を介して所
定量のコーティング液９６が半導体ウェハ１０２に塗布
された後、オン／オフ弁１００を滅勢してコーティング
液９６の流通を停止させる。従って、コーティング液滴
下装置１０６の管体１０４から半導体ウェハ１０２に対
するコーティング液９６の滴下状態が停止される。この
場合、コーティング液滴下装置１０６の管体１０４内に
は、半導体ウェハ１０２に滴下される直前のコーティン
グ液９６が残存しているため、液だれが生ずるおそれが
ある。
定量のコーティング液９６が半導体ウェハ１０２に塗布
された後、オン／オフ弁１００を滅勢してコーティング
液９６の流通を停止させる。従って、コーティング液滴
下装置１０６の管体１０４から半導体ウェハ１０２に対
するコーティング液９６の滴下状態が停止される。この
場合、コーティング液滴下装置１０６の管体１０４内に
は、半導体ウェハ１０２に滴下される直前のコーティン
グ液９６が残存しているため、液だれが生ずるおそれが
ある。
【００３２】そこで、図示しない切換弁の作用下にエア
ー供給ポート８４に対する圧縮空気の供給を停止するこ
とにより、ばね部材６８の弾発力の作用下にピストン３
０、ダンパ部材６６および第２ダイヤフラム弁６４が一
体的に上昇する。従って、ピストン３０の下端部に連結
された第１ダイヤフラム弁４６の厚肉部５０が上方に変
位し、前記厚肉部５０が着座部５８から離間することに
より間隙が形成される。その際、前記第１ダイヤフラム
弁４６が変位することにより負圧作用が発生し、流体通
路３８内の所定量のコーティング液９６が厚肉部５０と
着座部５８との間に形成された間隙内に矢印方向に沿っ
て吸引される（図３参照）。この結果、コーティング液
滴下装置１０６の管体１０４内に残存する所定量のコー
ティング液９６がサックバックバルブ２０側（矢印方
向）に向かって戻されることにより、半導体ウェハ１０
２に対する液だれを防止することができる。
ー供給ポート８４に対する圧縮空気の供給を停止するこ
とにより、ばね部材６８の弾発力の作用下にピストン３
０、ダンパ部材６６および第２ダイヤフラム弁６４が一
体的に上昇する。従って、ピストン３０の下端部に連結
された第１ダイヤフラム弁４６の厚肉部５０が上方に変
位し、前記厚肉部５０が着座部５８から離間することに
より間隙が形成される。その際、前記第１ダイヤフラム
弁４６が変位することにより負圧作用が発生し、流体通
路３８内の所定量のコーティング液９６が厚肉部５０と
着座部５８との間に形成された間隙内に矢印方向に沿っ
て吸引される（図３参照）。この結果、コーティング液
滴下装置１０６の管体１０４内に残存する所定量のコー
ティング液９６がサックバックバルブ２０側（矢印方
向）に向かって戻されることにより、半導体ウェハ１０
２に対する液だれを防止することができる。
【００３３】なお、再び、オン／オフ弁１００を付勢す
るとともに、エアー供給ポート８４から圧力流体を導入
することにより第１ダイヤフラム弁４６が下降して図２
に示す状態となり、半導体ウェハ１０２に対するコーテ
ィング液９６の滴下が開始される。前記第１ダイヤフラ
ム弁４６が下降して着座部５８に着座する際、弾性部材
６０の弾性作用によって第１ダイヤフラム弁４６が下方
側に押圧されることにより、厚肉部５０と着座部５８と
の間の間隙に浸入したコーティング液９６を流体通路３
８側に押し出すことができる。この結果、着座部５８に
対する第１ダイヤフラム弁４６の着座または離間を円滑
且つ迅速に行うことができる。
るとともに、エアー供給ポート８４から圧力流体を導入
することにより第１ダイヤフラム弁４６が下降して図２
に示す状態となり、半導体ウェハ１０２に対するコーテ
ィング液９６の滴下が開始される。前記第１ダイヤフラ
ム弁４６が下降して着座部５８に着座する際、弾性部材
６０の弾性作用によって第１ダイヤフラム弁４６が下方
側に押圧されることにより、厚肉部５０と着座部５８と
の間の間隙に浸入したコーティング液９６を流体通路３
８側に押し出すことができる。この結果、着座部５８に
対する第１ダイヤフラム弁４６の着座または離間を円滑
且つ迅速に行うことができる。
【００３４】本実施の形態では、コーティング液９６が
流体通路３８に沿って流通する際、第１ダイヤフラム弁
４６の厚肉部５０が着座部５８に着座した状態にあり、
流体通路３８には、厚肉部５０の底面のみが露呈するよ
うに構成されている（図２参照）。
流体通路３８に沿って流通する際、第１ダイヤフラム弁
４６の厚肉部５０が着座部５８に着座した状態にあり、
流体通路３８には、厚肉部５０の底面のみが露呈するよ
うに構成されている（図２参照）。
【００３５】従って、ダイヤフラム弁７の厚肉部および
薄肉部の全面が流体の受圧面となる従来技術と比較し
て、本実施の形態では、第１ダイヤフラム弁４６の厚肉
部５０の底面のみが受圧面となって受圧面積を減少させ
ることができ、長期間の使用によって前記第１ダイヤフ
ラム弁４６が変形し、あるいは亀裂等が発生することを
阻止することができる。この結果、第１ダイヤフラム弁
４６の耐久性を向上させることができる。
薄肉部の全面が流体の受圧面となる従来技術と比較し
て、本実施の形態では、第１ダイヤフラム弁４６の厚肉
部５０の底面のみが受圧面となって受圧面積を減少させ
ることができ、長期間の使用によって前記第１ダイヤフ
ラム弁４６が変形し、あるいは亀裂等が発生することを
阻止することができる。この結果、第１ダイヤフラム弁
４６の耐久性を向上させることができる。
【００３６】また、本実施の形態では、エアー供給ポー
ト８４から導入される圧縮空気の作用下に変位する第２
ダイヤフラム弁６４を設け、前記第２ダイヤフラム弁６
４の変位作用下にピストン３０を上昇または下降させる
構成を採用している。従って、本実施の形態では、従来
技術のように摺動抵抗を有するｖパッキン１０を設ける
必要がないため、コーティング液９６の供給状態と停止
状態とが相互に切り換わるときの応答速度にばらつきが
生じることを回避することができる。
ト８４から導入される圧縮空気の作用下に変位する第２
ダイヤフラム弁６４を設け、前記第２ダイヤフラム弁６
４の変位作用下にピストン３０を上昇または下降させる
構成を採用している。従って、本実施の形態では、従来
技術のように摺動抵抗を有するｖパッキン１０を設ける
必要がないため、コーティング液９６の供給状態と停止
状態とが相互に切り換わるときの応答速度にばらつきが
生じることを回避することができる。
【００３７】さらに、本実施の形態では、カバー部材２
８のねじ穴に沿って螺入することによりねじ溝が刻設さ
れる係止部材９４をニードル９０に設け、ロックナット
９２と係止部材９４との共働による係止作用下にニード
ル９０の緩み止めがなされる。この結果、ニードル９０
のねじ込み位置を確実に係止することにより、ピストン
３０の変位を規制する流量設定位置が経時変化すること
を回避することができる。
８のねじ穴に沿って螺入することによりねじ溝が刻設さ
れる係止部材９４をニードル９０に設け、ロックナット
９２と係止部材９４との共働による係止作用下にニード
ル９０の緩み止めがなされる。この結果、ニードル９０
のねじ込み位置を確実に係止することにより、ピストン
３０の変位を規制する流量設定位置が経時変化すること
を回避することができる。
【００３８】さらにまた、本実施の形態では、第２ダイ
ヤフラム弁６４とピストン３０との間にダンパ部材６６
を設けることにより、該ピストン３０に付与される衝撃
を緩和し第１ダイヤフラム弁４６に衝撃が伝達されるこ
とを阻止する。この結果、第１ダイヤフラム弁４６の寿
命を飛躍的に向上させることができる。
ヤフラム弁６４とピストン３０との間にダンパ部材６６
を設けることにより、該ピストン３０に付与される衝撃
を緩和し第１ダイヤフラム弁４６に衝撃が伝達されるこ
とを阻止する。この結果、第１ダイヤフラム弁４６の寿
命を飛躍的に向上させることができる。
【００３９】
【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。
る。
【００４０】すなわち、本発明では、可撓性部材が着座
する着座部を弁ボデイの内部に設けることにより、従来
技術と比較して流体通路の流体の受圧面積を減少させる
ことができ、長期間の使用によって前記可撓性部材が変
形すること、あるいは亀裂等が発生することを阻止する
ことができる。この結果、可撓性部材のの耐久性を向上
させることができる。
する着座部を弁ボデイの内部に設けることにより、従来
技術と比較して流体通路の流体の受圧面積を減少させる
ことができ、長期間の使用によって前記可撓性部材が変
形すること、あるいは亀裂等が発生することを阻止する
ことができる。この結果、可撓性部材のの耐久性を向上
させることができる。
【００４１】また、本発明では、圧力流体導入ポートか
ら導入される圧力流体の作用下に変位する第２ダイヤフ
ラム弁を設け、前記第２ダイヤフラム弁の変位作用下に
ピストンを上昇または下降させる構成を採用している。
従って、本発明では、従来技術のように摺動抵抗を有す
る部材（ｖパッキン）を設ける必要がないため、応答速
度にばらつきが生じることを回避することができる。
ら導入される圧力流体の作用下に変位する第２ダイヤフ
ラム弁を設け、前記第２ダイヤフラム弁の変位作用下に
ピストンを上昇または下降させる構成を採用している。
従って、本発明では、従来技術のように摺動抵抗を有す
る部材（ｖパッキン）を設ける必要がないため、応答速
度にばらつきが生じることを回避することができる。
【００４２】さらに、本発明では、弁ボデイのねじ穴に
沿って螺入することによりねじ溝が刻設される係止部材
をニードルに設けることにより、ニードルの緩み止めが
なされる。この結果、前記ニードルのねじ込み位置を確
実に係止することにより、ピストンの変位を規制する流
量設定位置が経時変化することを回避することができ
る。
沿って螺入することによりねじ溝が刻設される係止部材
をニードルに設けることにより、ニードルの緩み止めが
なされる。この結果、前記ニードルのねじ込み位置を確
実に係止することにより、ピストンの変位を規制する流
量設定位置が経時変化することを回避することができ
る。
【００４３】さらにまた、本発明では、第１ダイヤフラ
ム弁の上面に係合する弾性部材を設け、前記弾性部材の
弾性作用によって第１ダイヤフラム弁を下方側に押圧す
ることにより、厚肉部と着座部との間の間隙に吸入され
た流体を流体通路側に円滑に押し出すことができる。
ム弁の上面に係合する弾性部材を設け、前記弾性部材の
弾性作用によって第１ダイヤフラム弁を下方側に押圧す
ることにより、厚肉部と着座部との間の間隙に吸入され
た流体を流体通路側に円滑に押し出すことができる。
【００４４】またさらに、本発明では、第２ダイヤフラ
ム弁とピストンとの間にダンパ部材を設けることによ
り、該ピストンに付与される負荷を吸収し第１ダイヤフ
ラム弁に前記負荷が伝達されることを阻止する。この結
果、第１ダイヤフラム弁の寿命を飛躍的に向上させるこ
とができる。
ム弁とピストンとの間にダンパ部材を設けることによ
り、該ピストンに付与される負荷を吸収し第１ダイヤフ
ラム弁に前記負荷が伝達されることを阻止する。この結
果、第１ダイヤフラム弁の寿命を飛躍的に向上させるこ
とができる。
【図１】本発明の実施の形態に係るサックバックバルブ
の斜視図である。
の斜視図である。
【図２】図１に示すＩＩ−ＩＩ線に沿った縦断面図であ
る。
る。
【図３】図２に示す状態から第１ダイヤフラム弁が変位
した状態を示す動作説明図である。
した状態を示す動作説明図である。
【図４】ニードルに設けられた係止部材の説明図であ
り、図４Ａは、ニードルをねじ溝に沿って螺入する前の
状態を示し、図４Ｂは、前記ニードルを螺入することに
より、係止部材にねじ溝が刻設された状態を示す。
り、図４Ａは、ニードルをねじ溝に沿って螺入する前の
状態を示し、図４Ｂは、前記ニードルを螺入することに
より、係止部材にねじ溝が刻設された状態を示す。
【図５】従来技術に係るサックバックバルブの縦断面図
である。
である。
２０…サックバックバルブ ２２ａ、２２ｂ…チ
ューブ ２４…継手部 ２６…弁本体 ２８…カバー部材 ３０…ピストン ３２…変位機構 ３４、３６…ポート ３８…流体通路 ４０…継手ボデイ ４６、６４…ダイヤフラム弁 ４８、６２…凹部 ５０、７０…厚肉部 ５２、７２…薄肉部 ５８…着座部 ６０…弾性部材 ６６…ダンパ部材 ６８…ばね部材 ７８、８２…室 ８０…排気ポート ８４…エアー供給ポート ８６…ねじ部 ９０…ニードル ９２…ロックナット ９４…係止部材
ューブ ２４…継手部 ２６…弁本体 ２８…カバー部材 ３０…ピストン ３２…変位機構 ３４、３６…ポート ３８…流体通路 ４０…継手ボデイ ４６、６４…ダイヤフラム弁 ４８、６２…凹部 ５０、７０…厚肉部 ５２、７２…薄肉部 ５８…着座部 ６０…弾性部材 ６６…ダンパ部材 ６８…ばね部材 ７８、８２…室 ８０…排気ポート ８４…エアー供給ポート ８６…ねじ部 ９０…ニードル ９２…ロックナット ９４…係止部材
Claims (6)
- 【請求項１】一端部に第１ポートが形成され他端部に第
２ポートが形成された流体通路と圧力流体を導入する圧
力流体導入ポートとを有する弁ボデイと、 前記弁ボデイの内部に変位自在に設けられ、前記圧力流
体導入ポートから導入される圧力流体の作用下に変位す
る変位機構と、 前記変位機構に連結され、該変位機構と一体的に変位す
る可撓性部材と、 前記弁ボデイの流体通路に臨設され、前記可撓性部材が
着座または離間する着座部と、 を備え、前記変位機構の変位作用下に可撓性部材が着座
部から離間して所定の間隙が形成されることにより、前
記間隙内に負圧作用によって流体通路内の所定量の流体
が吸引されることを特徴とするサックバックバルブ。 - 【請求項２】請求項１記載のサックバックバルブにおい
て、可撓性部材は、厚肉部と薄肉部とを有する第１ダイ
ヤフラム弁からなり、前記第１ダイヤフラム弁の厚肉部
が着座部に着座した際、流体通路に臨む厚肉部の底面の
みが前記流体通路を流通する流体の受圧面となることを
特徴とするサックバックバルブ。 - 【請求項３】請求項１または２記載のサックバックバル
ブにおいて、変位機構は、圧力流体導入ポートから導入
される圧力流体の作用下に変位する第２ダイヤフラム弁
と、弁本体内に変位自在に設けられ前記第２ダイヤフラ
ム弁と一体的に変位するピストンと、前記ピストンを所
定方向に付勢するばね部材とを有することを特徴とする
サックバックバルブ。 - 【請求項４】請求項１乃至３のいずれか１項に記載のサ
ックバックバルブにおいて、弁ボデイの上面部には、可
撓性部材の変位量を規制することにより前記可撓性部材
によって吸引される流体の流量を調整するニードルが付
設され、前記ニードルには、弁ボデイのねじ穴に沿って
ねじ込むことにより新たにねじ溝が形成される係止部材
が設けられることを特徴とするサックバックバルブ。 - 【請求項５】請求項１乃至４のいずれか１項に記載のサ
ックバックバルブにおいて、弁ボデイの内部に変位自在
に設けられたピストンと該ピストンの一端部に連結され
た第１ダイヤフラム弁との間には、弾性部材が介装され
ることを特徴とするサックバックバルブ。 - 【請求項６】請求項３記載のサックバックバルブにおい
て、第２ダイヤフラム弁とピストンとの間には、前記第
２ダイヤフラム弁に付与される負荷を緩衝するダンパ部
材が設けられることを特徴とするサックバックバルブ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00241597A JP3789582B2 (ja) | 1997-01-09 | 1997-01-09 | サックバックバルブ |
| US08/992,905 US5979792A (en) | 1997-01-09 | 1997-12-18 | Suck back valve having diaphragm with thick walled section |
| EP97122768A EP0853206B1 (en) | 1997-01-09 | 1997-12-23 | Suck back valve |
| DE69702589T DE69702589T2 (de) | 1997-01-09 | 1997-12-23 | Rücksaugventil |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00241597A JP3789582B2 (ja) | 1997-01-09 | 1997-01-09 | サックバックバルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10196824A true JPH10196824A (ja) | 1998-07-31 |
| JP3789582B2 JP3789582B2 (ja) | 2006-06-28 |
Family
ID=11528627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00241597A Expired - Fee Related JP3789582B2 (ja) | 1997-01-09 | 1997-01-09 | サックバックバルブ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5979792A (ja) |
| EP (1) | EP0853206B1 (ja) |
| JP (1) | JP3789582B2 (ja) |
| DE (1) | DE69702589T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1320299C (zh) * | 2003-07-07 | 2007-06-06 | Smc株式会社 | 回吸阀 |
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|---|---|---|---|---|
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| JP2006010037A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Smc Corp | サックバックバルブ |
| JP2006010038A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Smc Corp | サックバックバルブ |
| JP7202597B2 (ja) * | 2018-07-31 | 2023-01-12 | 株式会社フジキン | アクチュエータおよびこれを用いたバルブ装置 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3895748A (en) * | 1974-04-03 | 1975-07-22 | George R Klingenberg | No drip suck back units for glue or other liquids either separately installed with or incorporated into no drip suck back liquid applying and control apparatus |
| US4394945A (en) * | 1981-08-06 | 1983-07-26 | Loctite Corporation | Valve having suck-back feature |
| JPS59177929A (ja) * | 1983-03-28 | 1984-10-08 | Canon Inc | サツクバツクポンプ |
| FR2626501B1 (fr) * | 1988-01-29 | 1992-01-03 | Graco France Sa | Procede d'alimentation de moyens d'extrusion ou de pulverisation de produit pateux, dispositif d'alimentation et installation comportant le dispositif |
| JPH0262031A (ja) * | 1988-08-27 | 1990-03-01 | Nec Corp | サックバック弁 |
| JPH0810399Y2 (ja) * | 1989-07-13 | 1996-03-29 | 株式会社コガネイ | サックバックバルブ |
| JP2803859B2 (ja) * | 1989-09-29 | 1998-09-24 | 株式会社日立製作所 | 流動体供給装置およびその制御方法 |
| DE4236371C2 (de) * | 1992-10-28 | 1995-08-17 | Erno Raumfahrttechnik Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Einspritzen |
| JPH0810399A (ja) * | 1994-07-04 | 1996-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 球発射装置 |
-
1997
- 1997-01-09 JP JP00241597A patent/JP3789582B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1997-12-18 US US08/992,905 patent/US5979792A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-12-23 DE DE69702589T patent/DE69702589T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-12-23 EP EP97122768A patent/EP0853206B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1320299C (zh) * | 2003-07-07 | 2007-06-06 | Smc株式会社 | 回吸阀 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5979792A (en) | 1999-11-09 |
| EP0853206B1 (en) | 2000-07-19 |
| DE69702589D1 (de) | 2000-08-24 |
| EP0853206A1 (en) | 1998-07-15 |
| DE69702589T2 (de) | 2001-04-19 |
| JP3789582B2 (ja) | 2006-06-28 |
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