JPH10252919A - サックバックバルブ - Google Patents
サックバックバルブInfo
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- JPH10252919A JPH10252919A JP9065077A JP6507797A JPH10252919A JP H10252919 A JPH10252919 A JP H10252919A JP 9065077 A JP9065077 A JP 9065077A JP 6507797 A JP6507797 A JP 6507797A JP H10252919 A JPH10252919 A JP H10252919A
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- Japan
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- valve
- suck
- diaphragm
- passage
- fluid
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
- B05B1/28—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means with integral means for shielding the discharged liquid or other fluent material, e.g. to limit area of spray; with integral means for catching drips or collecting surplus liquid or other fluent material
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K23/00—Valves for preventing drip from nozzles
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】配管接続作業を不要とするとともに設置スペー
スの縮小化を図り、ダイヤフラムの応答精度を向上さ
せ、しかもコストダウンを図ることにある。 【解決手段】パイロット圧によって変位する第３ダイヤ
フラムの負圧作用によって流体通路３８内のコーティン
グ液を吸引するサックバック機構２８と、前記サックバ
ック機構２８に供給される同一のパイロット圧の作用下
に、流体通路３８を開閉するオン／オフ弁２６と、前記
サックバック機構２８とオン／オフ弁２６とのそれぞれ
に供給するパイロット圧を切り換える切換手段１１５が
設けられる。
スの縮小化を図り、ダイヤフラムの応答精度を向上さ
せ、しかもコストダウンを図ることにある。 【解決手段】パイロット圧によって変位する第３ダイヤ
フラムの負圧作用によって流体通路３８内のコーティン
グ液を吸引するサックバック機構２８と、前記サックバ
ック機構２８に供給される同一のパイロット圧の作用下
に、流体通路３８を開閉するオン／オフ弁２６と、前記
サックバック機構２８とオン／オフ弁２６とのそれぞれ
に供給するパイロット圧を切り換える切換手段１１５が
設けられる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ダイヤフラムの変
位作用下に流体通路を流通する所定量の圧力流体を吸引
することにより、例えば、前記圧力流体の供給口の液だ
れを防止することが可能なサックバックバルブに関す
る。
位作用下に流体通路を流通する所定量の圧力流体を吸引
することにより、例えば、前記圧力流体の供給口の液だ
れを防止することが可能なサックバックバルブに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来から、例えば、半導体ウェハ等の製
造工程においてサックバックバルブ（suck back valve
）が使用されている。このサックバックバルブは、半
導体ウェハに対するコーティング液の供給を停止した
際、供給口から微量のコーティング液が半導体ウェハに
向かって滴下する、いわゆる液だれを防止する機能を有
する。
造工程においてサックバックバルブ（suck back valve
）が使用されている。このサックバックバルブは、半
導体ウェハに対するコーティング液の供給を停止した
際、供給口から微量のコーティング液が半導体ウェハに
向かって滴下する、いわゆる液だれを防止する機能を有
する。
【０００３】ここで、従来技術に係るサックバックバル
ブを図６に示す（例えば、実公平８−１０３９９号公報
参照）。
ブを図６に示す（例えば、実公平８−１０３９９号公報
参照）。
【０００４】このサックバックバルブ１は、流体導入ポ
ート２と流体導出ポート３とを連通させる流体通路４が
形成された弁本体５と、前記弁本体５の上部に連結され
るボンネット６とを有する。前記流体通路４の中央部に
は、厚肉部および薄肉部から構成されたダイヤフラム７
が設けられている。前記ボンネット６には、図示しない
圧力流体供給源に接続され、切換弁（図示せず）の切換
作用下に前記ダイヤフラム作動用の圧縮空気を供給する
圧力流体供給ポート８が形成される。
ート２と流体導出ポート３とを連通させる流体通路４が
形成された弁本体５と、前記弁本体５の上部に連結され
るボンネット６とを有する。前記流体通路４の中央部に
は、厚肉部および薄肉部から構成されたダイヤフラム７
が設けられている。前記ボンネット６には、図示しない
圧力流体供給源に接続され、切換弁（図示せず）の切換
作用下に前記ダイヤフラム作動用の圧縮空気を供給する
圧力流体供給ポート８が形成される。
【０００５】前記ダイヤフラム７にはピストン９が嵌合
され、前記ピストン９には、弁本体５の内壁面を摺動す
るとともにシール機能を営むｖパッキン１０が装着され
ている。また、弁本体５内には、ピストン９を上方に向
かって常時押圧するスプリング１１が設けられている。
なお、参照数字１２は、ピストン９に当接して該ピスト
ン９の変位量を調整することにより、ダイヤフラム７に
よって吸引されるコーティング液の流量を調整するねじ
部材を示す。
され、前記ピストン９には、弁本体５の内壁面を摺動す
るとともにシール機能を営むｖパッキン１０が装着され
ている。また、弁本体５内には、ピストン９を上方に向
かって常時押圧するスプリング１１が設けられている。
なお、参照数字１２は、ピストン９に当接して該ピスト
ン９の変位量を調整することにより、ダイヤフラム７に
よって吸引されるコーティング液の流量を調整するねじ
部材を示す。
【０００６】前記流体導入ポート２には、コーティング
液が貯留された図示しないコーティング供給源がチュー
ブ等の管路を介して接続され、さらに、前記コーティン
グ液供給源と前記流体導入ポート２との間には、サック
バックバルブ１と別体で構成されたオン／オフ弁（図示
せず）が接続されている。このオン／オフ弁は、その付
勢・滅勢作用下に該サックバックバルブ１に対するコー
ティング液の供給状態と供給停止状態とを切り換える機
能を営む。
液が貯留された図示しないコーティング供給源がチュー
ブ等の管路を介して接続され、さらに、前記コーティン
グ液供給源と前記流体導入ポート２との間には、サック
バックバルブ１と別体で構成されたオン／オフ弁（図示
せず）が接続されている。このオン／オフ弁は、その付
勢・滅勢作用下に該サックバックバルブ１に対するコー
ティング液の供給状態と供給停止状態とを切り換える機
能を営む。
【０００７】このサックバックバルブ１の概略動作を説
明すると、流体導入ポート２から流体導出ポート３に向
かってコーティング液が供給されている通常の状態で
は、圧力流体供給ポート８から供給された圧縮空気の作
用下にピストン９およびダイヤフラム７が下方向に向か
って一体的に変位し、ピストン９に連結されたダイヤフ
ラム７が、図６中、二点鎖線で示すように流体通路４内
に突出している。
明すると、流体導入ポート２から流体導出ポート３に向
かってコーティング液が供給されている通常の状態で
は、圧力流体供給ポート８から供給された圧縮空気の作
用下にピストン９およびダイヤフラム７が下方向に向か
って一体的に変位し、ピストン９に連結されたダイヤフ
ラム７が、図６中、二点鎖線で示すように流体通路４内
に突出している。
【０００８】そこで、図示しないオン／オフ弁の切換作
用下に流体通路４内のコーティング液の流通を停止した
場合、圧力流体供給ポート８からの圧縮空気の供給を停
止させることにより、スプリング１１の弾発力の作用下
にピストン９およびダイヤフラム７が一体的に上昇し、
前記ダイヤフラム７の負圧作用下に流体通路４内に残存
する所定量のコーティング液が吸引され、図示しない供
給口における液だれが防止される。
用下に流体通路４内のコーティング液の流通を停止した
場合、圧力流体供給ポート８からの圧縮空気の供給を停
止させることにより、スプリング１１の弾発力の作用下
にピストン９およびダイヤフラム７が一体的に上昇し、
前記ダイヤフラム７の負圧作用下に流体通路４内に残存
する所定量のコーティング液が吸引され、図示しない供
給口における液だれが防止される。
【０００９】ところで、前記の従来技術に係るサックバ
ックバルブ１では、圧力流体供給ポート８に供給される
圧縮空気の流量を高精度に調整するために、チューブ等
の管体を通じて図示しない流体制御装置が圧力流体供給
ポート８に接続される。この流体制御装置は、サックバ
ックバルブ１と別体で形成され、該サックバックバルブ
１の圧力流体供給ポート８に対して供給される圧縮空気
の圧力変動を防止するとともに、前記圧力流体供給ポー
ト８に供給される圧縮空気の流量を制御する機能を営
む。
ックバルブ１では、圧力流体供給ポート８に供給される
圧縮空気の流量を高精度に調整するために、チューブ等
の管体を通じて図示しない流体制御装置が圧力流体供給
ポート８に接続される。この流体制御装置は、サックバ
ックバルブ１と別体で形成され、該サックバックバルブ
１の圧力流体供給ポート８に対して供給される圧縮空気
の圧力変動を防止するとともに、前記圧力流体供給ポー
ト８に供給される圧縮空気の流量を制御する機能を営
む。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
従来技術に係るサックバックバルブを用いた場合、該サ
ックバックバルブと流体制御装置との間、並びに該サッ
クバックバルブとオン／オフ弁との間の配管接続作業が
必要となって煩雑であるとともに、サックバックバルブ
以外に流体圧制御装置とオン／オフ弁とをそれぞれ付設
するための占有スペースが必要となり、設置スペースが
増大するという不都合がある。
従来技術に係るサックバックバルブを用いた場合、該サ
ックバックバルブと流体制御装置との間、並びに該サッ
クバックバルブとオン／オフ弁との間の配管接続作業が
必要となって煩雑であるとともに、サックバックバルブ
以外に流体圧制御装置とオン／オフ弁とをそれぞれ付設
するための占有スペースが必要となり、設置スペースが
増大するという不都合がある。
【００１１】また、サックバックバルブと流体圧制御装
置との間に接続される配管によって流路抵抗が増大し、
ダイヤフラムの応答精度が劣化するという不都合があ
る。
置との間に接続される配管によって流路抵抗が増大し、
ダイヤフラムの応答精度が劣化するという不都合があ
る。
【００１２】さらに、オン／オフ弁のオン状態とオフ状
態とを切り換えるための駆動装置が必要となり、前記オ
ン／オフ弁と駆動装置との配管接続作業が煩雑であると
ともに、コストが高騰するという不都合がある。
態とを切り換えるための駆動装置が必要となり、前記オ
ン／オフ弁と駆動装置との配管接続作業が煩雑であると
ともに、コストが高騰するという不都合がある。
【００１３】本発明は、前記の種々の不都合を悉く克服
するためになされたものであり、配管接続作業を不要と
するとともに設置スペースの縮小化を図り、ダイヤフラ
ムの応答精度を向上させ、しかもコストダウンを図るこ
とが可能なサックバックバルブを提供することを目的と
する。
するためになされたものであり、配管接続作業を不要と
するとともに設置スペースの縮小化を図り、ダイヤフラ
ムの応答精度を向上させ、しかもコストダウンを図るこ
とが可能なサックバックバルブを提供することを目的と
する。
【００１４】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、流体通路を有し、一端部に第１ポート
が形成され他端部に第２ポートが形成された継手部と、
パイロット圧によって変位する可撓性部材の負圧作用に
よって前記流体通路内の圧力流体を吸引するサックバッ
ク機構と、前記サックバック機構に供給される同一のパ
イロット圧の作用下に、前記流体通路を開閉するオン／
オフ弁と、給排気作用下に前記可撓性部材に供給される
パイロット圧を加減する給気弁並びに排気弁を有し、前
記給気弁並びに排気弁にそれぞれ電気信号を導出するこ
とにより該給気弁並びに排気弁を付勢・滅勢する制御部
と、を備え、前記制御部には、サックバック機構とオン
／オフ弁とのそれぞれに供給するパイロット圧を切り換
える切換手段が設けられることを特徴とする。
めに、本発明は、流体通路を有し、一端部に第１ポート
が形成され他端部に第２ポートが形成された継手部と、
パイロット圧によって変位する可撓性部材の負圧作用に
よって前記流体通路内の圧力流体を吸引するサックバッ
ク機構と、前記サックバック機構に供給される同一のパ
イロット圧の作用下に、前記流体通路を開閉するオン／
オフ弁と、給排気作用下に前記可撓性部材に供給される
パイロット圧を加減する給気弁並びに排気弁を有し、前
記給気弁並びに排気弁にそれぞれ電気信号を導出するこ
とにより該給気弁並びに排気弁を付勢・滅勢する制御部
と、を備え、前記制御部には、サックバック機構とオン
／オフ弁とのそれぞれに供給するパイロット圧を切り換
える切換手段が設けられることを特徴とする。
【００１５】本発明によれば、負圧作用下に圧力流体を
吸引する可撓性部材を有するサックバック機構と流体通
路を開閉するオン／オフ弁とに対し、制御部に設けられ
た切換手段を介して同一のパイロット圧を切り換えて供
給している。このため、前記オン／オフ弁を駆動させる
駆動装置が不要となり、コストダウンを図ることができ
る。
吸引する可撓性部材を有するサックバック機構と流体通
路を開閉するオン／オフ弁とに対し、制御部に設けられ
た切換手段を介して同一のパイロット圧を切り換えて供
給している。このため、前記オン／オフ弁を駆動させる
駆動装置が不要となり、コストダウンを図ることができ
る。
【００１６】また、サックバック機構またはオン／オフ
弁に供給されるパイロット圧を、給気弁並びに排気弁を
有する制御部によって電気的に制御することにより、精
度良く制御することができる。
弁に供給されるパイロット圧を、給気弁並びに排気弁を
有する制御部によって電気的に制御することにより、精
度良く制御することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明に係るサックバックバルブ
について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照し
ながら以下詳細に説明する。
について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照し
ながら以下詳細に説明する。
【００１８】図１において参照数字２０は、本発明の実
施の形態に係るサックバックバルブを示す。このサック
バックバルブ２０は、一組のチューブ２２ａ、２２ｂが
着脱自在に所定間隔離間して接続される継手部２４と、
前記継手部２４の上部に設けられ内部にオン／オフ弁２
６およびサックバック機構２８（図２参照）を有する弁
駆動部３０と、前記オン／オフ弁２６およびサックバッ
ク機構２８にそれぞれ供給される圧力流体を切り換え制
御するとともに、前記オン／オフ弁２６およびサックバ
ック機構２８に供給される圧力流体の圧力（パイロット
圧）を制御する制御部３２とから構成される。なお、前
記継手部２４、弁駆動部３０および制御部３２は、図１
に示されるように一体的に組み付けられる。
施の形態に係るサックバックバルブを示す。このサック
バックバルブ２０は、一組のチューブ２２ａ、２２ｂが
着脱自在に所定間隔離間して接続される継手部２４と、
前記継手部２４の上部に設けられ内部にオン／オフ弁２
６およびサックバック機構２８（図２参照）を有する弁
駆動部３０と、前記オン／オフ弁２６およびサックバッ
ク機構２８にそれぞれ供給される圧力流体を切り換え制
御するとともに、前記オン／オフ弁２６およびサックバ
ック機構２８に供給される圧力流体の圧力（パイロット
圧）を制御する制御部３２とから構成される。なお、前
記継手部２４、弁駆動部３０および制御部３２は、図１
に示されるように一体的に組み付けられる。
【００１９】図２に示されるように、継手部２４には、
一端部に第１ポート３４が、他端部に第２ポート３６が
形成されるとともに、前記第１ポート３４と第２ポート
３６とを連通させる流体通路３８が設けられた継手ボデ
イ４０と、前記第１ポート３４および第２ポート３６に
それぞれ係合し、且つチューブ２２ａ、２２ｂの開口部
に挿入されるインナ部材４２と、前記継手ボデイ４０の
端部に刻設されたねじ溝に螺入することによりチューブ
２２ａ、２２ｂの接続部位の液密性を保持するロックナ
ット４４とを有する。
一端部に第１ポート３４が、他端部に第２ポート３６が
形成されるとともに、前記第１ポート３４と第２ポート
３６とを連通させる流体通路３８が設けられた継手ボデ
イ４０と、前記第１ポート３４および第２ポート３６に
それぞれ係合し、且つチューブ２２ａ、２２ｂの開口部
に挿入されるインナ部材４２と、前記継手ボデイ４０の
端部に刻設されたねじ溝に螺入することによりチューブ
２２ａ、２２ｂの接続部位の液密性を保持するロックナ
ット４４とを有する。
【００２０】第１ポート３４に近接する継手部２４の上
部にはオン／オフ弁２６が配設され、前記オン／オフ弁
２６は、継手ボデイ４０と一体的に連結された第１弁ボ
デイ４６と、前記第１弁ボデイ４６の内部に形成された
シリンダ室４８に沿って矢印Ｘ1 またはＸ2 方向に変位
するピストン５０と、前記シリンダ室４８を気密に閉塞
するカバー部材５２とを有する。なお、前記カバー部材
５２は、サックバック機構２８まで延在している。前記
ピストン５０とカバー部材５２との間には、一組のばね
部材５４ａ、５４ｂが介装され、前記ばね部材５４ａ、
５４ｂの弾発力によって該ピストン５０が、常時、下方
側（矢印Ｘ2 方向）に向かって付勢された状態にある。
部にはオン／オフ弁２６が配設され、前記オン／オフ弁
２６は、継手ボデイ４０と一体的に連結された第１弁ボ
デイ４６と、前記第１弁ボデイ４６の内部に形成された
シリンダ室４８に沿って矢印Ｘ1 またはＸ2 方向に変位
するピストン５０と、前記シリンダ室４８を気密に閉塞
するカバー部材５２とを有する。なお、前記カバー部材
５２は、サックバック機構２８まで延在している。前記
ピストン５０とカバー部材５２との間には、一組のばね
部材５４ａ、５４ｂが介装され、前記ばね部材５４ａ、
５４ｂの弾発力によって該ピストン５０が、常時、下方
側（矢印Ｘ2 方向）に向かって付勢された状態にある。
【００２１】前記ピストン５０の下端部には、第１ダイ
ヤフラム５６によって閉塞された第１ダイヤフラム室５
８が形成され、前記第１ダイヤフラム５６は、ピストン
５０の下端部に連結されて該ピストン５０と一体的に変
位するように設けられる。この場合、前記第１ダイヤフ
ラム５６は、継手ボデイ４０に形成された着座部５９か
ら離間し、または前記着座部５９に着座することにより
流体通路３８を開閉する機能を営む。従って、オン／オ
フ弁２６の開閉作用下に、流体通路３８を流通する圧力
流体（例えば、コーティング液）の供給状態またはその
供給停止状態が切り換えられる。
ヤフラム５６によって閉塞された第１ダイヤフラム室５
８が形成され、前記第１ダイヤフラム５６は、ピストン
５０の下端部に連結されて該ピストン５０と一体的に変
位するように設けられる。この場合、前記第１ダイヤフ
ラム５６は、継手ボデイ４０に形成された着座部５９か
ら離間し、または前記着座部５９に着座することにより
流体通路３８を開閉する機能を営む。従って、オン／オ
フ弁２６の開閉作用下に、流体通路３８を流通する圧力
流体（例えば、コーティング液）の供給状態またはその
供給停止状態が切り換えられる。
【００２２】また、第１ダイヤフラム５６の上面部に
は、該第１ダイヤフラム５６の薄肉部を保護するリング
状の緩衝部材６０が設けられ、前記緩衝部材６０はピス
トン５０の下端部に連結された断面Ｌ字状の保持部材６
２によって保持される。
は、該第１ダイヤフラム５６の薄肉部を保護するリング
状の緩衝部材６０が設けられ、前記緩衝部材６０はピス
トン５０の下端部に連結された断面Ｌ字状の保持部材６
２によって保持される。
【００２３】前記第１弁ボデイ４６には、後述する切換
手段とオン／オフ弁２６のシリンダ室４８とを連通させ
る第１パイロット通路６４が形成される。この場合、切
換手段の切換作用下に前記第１パイロット通路６４を介
してシリンダ室４８内に圧力流体（パイロット圧）を供
給することにより、ばね部材５４ａ、５４ｂの弾発力に
抗してピストン５０が上昇する。従って、第１ダイヤフ
ラム５６が着座部５９から所定間隔離間することにより
流体通路３８が開成し、第１ポート３４から第２ポート
３６側に向かってコーティング液が流通する。
手段とオン／オフ弁２６のシリンダ室４８とを連通させ
る第１パイロット通路６４が形成される。この場合、切
換手段の切換作用下に前記第１パイロット通路６４を介
してシリンダ室４８内に圧力流体（パイロット圧）を供
給することにより、ばね部材５４ａ、５４ｂの弾発力に
抗してピストン５０が上昇する。従って、第１ダイヤフ
ラム５６が着座部５９から所定間隔離間することにより
流体通路３８が開成し、第１ポート３４から第２ポート
３６側に向かってコーティング液が流通する。
【００２４】また、第１弁ボデイ４６には、第１ダイヤ
フラム室５８を大気に連通させる通路６６が形成され、
前記通路６６を介して第１ダイヤフラム室５８内のエア
ーを給排気することにより第１ダイヤフラム５６を円滑
に作動させることができる。なお、参照数字６８は、そ
れぞれシリンダ室４８の気密性を保持するためのシール
部材を示し、参照数字７０は、ピストン５０に当接して
緩衝機能を営む緩衝部材を示す。
フラム室５８を大気に連通させる通路６６が形成され、
前記通路６６を介して第１ダイヤフラム室５８内のエア
ーを給排気することにより第１ダイヤフラム５６を円滑
に作動させることができる。なお、参照数字６８は、そ
れぞれシリンダ室４８の気密性を保持するためのシール
部材を示し、参照数字７０は、ピストン５０に当接して
緩衝機能を営む緩衝部材を示す。
【００２５】第２ポート３６に近接する継手部２４の上
部にはサックバック機構２８が設けられ、前記サックバ
ック機構２８は、継手ボデイ４０および第１弁ボデイ４
６と一体的に連結された第２弁ボデイ７２と、前記第２
弁ボデイ７２の内部に形成された室７４に沿って矢印Ｘ
1 またはＸ2 方向に変位するステム７６とを有する。前
記室７４内には、ステム７６のフランジに係着されその
弾発力によって該ステム７６を、常時、上方側（矢印Ｘ
1 方向）に向かって付勢するばね部材７８が配設されて
いる。
部にはサックバック機構２８が設けられ、前記サックバ
ック機構２８は、継手ボデイ４０および第１弁ボデイ４
６と一体的に連結された第２弁ボデイ７２と、前記第２
弁ボデイ７２の内部に形成された室７４に沿って矢印Ｘ
1 またはＸ2 方向に変位するステム７６とを有する。前
記室７４内には、ステム７６のフランジに係着されその
弾発力によって該ステム７６を、常時、上方側（矢印Ｘ
1 方向）に向かって付勢するばね部材７８が配設されて
いる。
【００２６】前記ステム７６の上部には該ステム７６の
上面部に係合する第２ダイヤフラム８０が張設され、前
記第２ダイヤフラム８０の上方にはパイロット圧が供給
されることにより該第２ダイヤフラム８０を作動させる
第２ダイヤフラム室（パイロット室）８２が形成され
る。この場合、第２ダイヤフラム８０の薄肉部とステム
７６との間には、例えば、ゴム材料等によって形成され
た緩衝部材８４が介装される。
上面部に係合する第２ダイヤフラム８０が張設され、前
記第２ダイヤフラム８０の上方にはパイロット圧が供給
されることにより該第２ダイヤフラム８０を作動させる
第２ダイヤフラム室（パイロット室）８２が形成され
る。この場合、第２ダイヤフラム８０の薄肉部とステム
７６との間には、例えば、ゴム材料等によって形成され
た緩衝部材８４が介装される。
【００２７】一方、ステム７６の下端部には第３ダイヤ
フラム８６によって閉塞される第３ダイヤフラム室８８
が形成され、前記第３ダイヤフラム８６は、ステム７６
に連結されて該ステム７６と一体的に変位するように設
けられる。
フラム８６によって閉塞される第３ダイヤフラム室８８
が形成され、前記第３ダイヤフラム８６は、ステム７６
に連結されて該ステム７６と一体的に変位するように設
けられる。
【００２８】前記第３ダイヤフラム８６の上面部には、
該第３ダイヤフラム８６の薄肉部を保護するリング状の
緩衝部材９０が設けられ、前記緩衝部材９０はステム７
６の下端部に連結された断面Ｌ字状の保持部材９２によ
って保持される。なお、ステム７６の矢印Ｘ1 方向に対
する変位量は、前記保持部材９２が第２弁ボデイ７２の
環状段部９４に当接することにより規制され、一方、該
ステム７６の矢印Ｘ2方向に対する変位量は、ステム７
６のフランジが第２弁ボデイ７２のボス９６に当接する
ことにより規制される。
該第３ダイヤフラム８６の薄肉部を保護するリング状の
緩衝部材９０が設けられ、前記緩衝部材９０はステム７
６の下端部に連結された断面Ｌ字状の保持部材９２によ
って保持される。なお、ステム７６の矢印Ｘ1 方向に対
する変位量は、前記保持部材９２が第２弁ボデイ７２の
環状段部９４に当接することにより規制され、一方、該
ステム７６の矢印Ｘ2方向に対する変位量は、ステム７
６のフランジが第２弁ボデイ７２のボス９６に当接する
ことにより規制される。
【００２９】前記第２弁ボデイ７２には、第３ダイヤフ
ラム室８８を大気に連通させる通路９８が形成され、一
方、カバー部材５２には、前記第２ダイヤフラム室８２
にパイロット圧を供給する第２パイロット通路１００が
形成されている。
ラム室８８を大気に連通させる通路９８が形成され、一
方、カバー部材５２には、前記第２ダイヤフラム室８２
にパイロット圧を供給する第２パイロット通路１００が
形成されている。
【００３０】制御部３２は、弁駆動部３０を構成する第
１弁ボデイ４６および第２弁ボデイ７２と一体的に組み
付けられたボンネット１０２を有し、前記ボンネット１
０２には、圧力流体供給ポート１１９ａおよび圧力流体
排出ポート１１９ｂが形成されている。
１弁ボデイ４６および第２弁ボデイ７２と一体的に組み
付けられたボンネット１０２を有し、前記ボンネット１
０２には、圧力流体供給ポート１１９ａおよび圧力流体
排出ポート１１９ｂが形成されている。
【００３１】前記ボンネット１０２の内部には、前記オ
ン／オフ弁２６のシリンダ室４８並びに第２ダイヤフラ
ム室８２にそれぞれ供給されるパイロット圧を制御し給
気弁として機能する第１電磁弁１０４と、前記第１電磁
弁１０４に供給された圧力流体を外部に排出することに
より排気弁として機能する第２電磁弁１０６と、前記第
１電磁弁１０４に供給されるパイロット圧を検出してそ
の検出信号をメインコントロールユニット１０８に導出
する圧力センサ１１０が配設されている。
ン／オフ弁２６のシリンダ室４８並びに第２ダイヤフラ
ム室８２にそれぞれ供給されるパイロット圧を制御し給
気弁として機能する第１電磁弁１０４と、前記第１電磁
弁１０４に供給された圧力流体を外部に排出することに
より排気弁として機能する第２電磁弁１０６と、前記第
１電磁弁１０４に供給されるパイロット圧を検出してそ
の検出信号をメインコントロールユニット１０８に導出
する圧力センサ１１０が配設されている。
【００３２】前記第１電磁弁１０４および第２電磁弁１
０６は、それぞれノーマルクローズタイプからなり、メ
インコントロールユニット１０８からそれぞれ第１電磁
弁１０４、第２電磁弁１０６の電磁コイル１１２に対し
て電流信号を導出することにより、図示しない弁体が矢
印Ｘ1 方向に吸引されてオン状態となる。
０６は、それぞれノーマルクローズタイプからなり、メ
インコントロールユニット１０８からそれぞれ第１電磁
弁１０４、第２電磁弁１０６の電磁コイル１１２に対し
て電流信号を導出することにより、図示しない弁体が矢
印Ｘ1 方向に吸引されてオン状態となる。
【００３３】さらに、前記ボンネット１０２の内部に
は、第１電磁弁１０４から導出された圧力流体を、オン
／オフ弁２６のシリンダ室４８と第２ダイヤフラム室８
２とに切り換えて供給する切換手段１１５が設けられ
る。この切換手段１１５は、実質的に、３ポート電磁弁
からなり、電磁コイル１１２に対してメインコントロー
ルユニット１０８から電気信号を導出することにより、
オフ状態とオン状態とが切り換えられる。
は、第１電磁弁１０４から導出された圧力流体を、オン
／オフ弁２６のシリンダ室４８と第２ダイヤフラム室８
２とに切り換えて供給する切換手段１１５が設けられ
る。この切換手段１１５は、実質的に、３ポート電磁弁
からなり、電磁コイル１１２に対してメインコントロー
ルユニット１０８から電気信号を導出することにより、
オフ状態とオン状態とが切り換えられる。
【００３４】すなわち、切換手段１１５がオフ状態の時
には、第１電磁弁１０４から導出されたパイロット圧が
第１パイロット通路６４を介してオン／オフ弁２６のシ
リンダ室４８に供給され、一方、前記切換手段１１５が
オン状態の時には、第１電磁弁１０４から導出されたパ
イロット圧が第２パイロット通路１００を介して第２ダ
イヤフラム室８２に供給される。
には、第１電磁弁１０４から導出されたパイロット圧が
第１パイロット通路６４を介してオン／オフ弁２６のシ
リンダ室４８に供給され、一方、前記切換手段１１５が
オン状態の時には、第１電磁弁１０４から導出されたパ
イロット圧が第２パイロット通路１００を介して第２ダ
イヤフラム室８２に供給される。
【００３５】前記圧力センサ１１０によって検出された
圧力値等はＬＥＤ表示器１１６に表示されるとともに、
必要に応じて、コネクタ１１８を介して図示しないキー
入力装置により設定した設定圧力値が前記ＬＥＤ表示器
１１６に表示される。
圧力値等はＬＥＤ表示器１１６に表示されるとともに、
必要に応じて、コネクタ１１８を介して図示しないキー
入力装置により設定した設定圧力値が前記ＬＥＤ表示器
１１６に表示される。
【００３６】なお、前記メインコントロールユニット１
０８には、制御・判断・処理・演算・記憶の各手段とし
て機能する図示しないＭＰＵ（マイクロプロセッサユニ
ット）が設けられ、該ＭＰＵから導出される制御信号に
よって第１電磁弁１０４および／または第２電磁弁１０
６を付勢・滅勢することにより、オン／オフ弁２６のシ
リンダ室４８とサックバック機構２８の第２ダイヤフラ
ム室８２にそれぞれ供給されるパイロット圧（流量）が
制御される（図５参照）。
０８には、制御・判断・処理・演算・記憶の各手段とし
て機能する図示しないＭＰＵ（マイクロプロセッサユニ
ット）が設けられ、該ＭＰＵから導出される制御信号に
よって第１電磁弁１０４および／または第２電磁弁１０
６を付勢・滅勢することにより、オン／オフ弁２６のシ
リンダ室４８とサックバック機構２８の第２ダイヤフラ
ム室８２にそれぞれ供給されるパイロット圧（流量）が
制御される（図５参照）。
【００３７】また、前記ボンネット１０２の内部には、
圧力流体供給ポート１１９ａと第１電磁弁１０４とを連
通させる第１通路１２０と、第１電磁弁１０４と第２電
磁弁１０６とを連通させる第２通路１２２と、前記第２
通路１２２から分岐し圧力センサ１１０にパイロット圧
を導入する第３通路１２４とが形成されている。
圧力流体供給ポート１１９ａと第１電磁弁１０４とを連
通させる第１通路１２０と、第１電磁弁１０４と第２電
磁弁１０６とを連通させる第２通路１２２と、前記第２
通路１２２から分岐し圧力センサ１１０にパイロット圧
を導入する第３通路１２４とが形成されている。
【００３８】さらに、ボンネット１０２の内部には、前
記第２通路１２２から分岐し前記第１電磁弁１０４と切
換手段１１５とを連通させる第４通路１２５と、前記切
換手段１１５に接続されオン／オフ弁２６のシリンダ室
４８にパイロット圧を供給する第１パイロット通路６４
と、前記切換手段１１５に接続され第２ダイヤフラム室
８２にパイロット圧を供給する第２パイロット通路１０
０と、第２電磁弁１０６と圧力流体排出ポート１１９ｂ
とを連通させる第５通路１２６とが設けられている。
記第２通路１２２から分岐し前記第１電磁弁１０４と切
換手段１１５とを連通させる第４通路１２５と、前記切
換手段１１５に接続されオン／オフ弁２６のシリンダ室
４８にパイロット圧を供給する第１パイロット通路６４
と、前記切換手段１１５に接続され第２ダイヤフラム室
８２にパイロット圧を供給する第２パイロット通路１０
０と、第２電磁弁１０６と圧力流体排出ポート１１９ｂ
とを連通させる第５通路１２６とが設けられている。
【００３９】この場合、メインコントロールユニット１
０８から第１電磁弁１０４の電磁コイル１１２に電流信
号が供給されたときに図示しない弁体が変位して該第１
電磁弁１０４がオン状態となり、第１通路１２０、第２
通路１２２および第４通路１２５が相互に連通する。従
って、圧力流体供給ポート１１９ａから供給された圧力
流体（パイロット圧）は、第１通路１２０、第２通路１
２２および第４通路１２５を介して切換手段１１５に供
給される。
０８から第１電磁弁１０４の電磁コイル１１２に電流信
号が供給されたときに図示しない弁体が変位して該第１
電磁弁１０４がオン状態となり、第１通路１２０、第２
通路１２２および第４通路１２５が相互に連通する。従
って、圧力流体供給ポート１１９ａから供給された圧力
流体（パイロット圧）は、第１通路１２０、第２通路１
２２および第４通路１２５を介して切換手段１１５に供
給される。
【００４０】一方、メインコントロールユニット１０８
から第２電磁弁１０６の電磁コイル１１２に電流信号が
供給されたときに図示しない弁体が変位して第２電磁弁
１０６がオン状態となり、第２通路１２２と第５通路１
２６とが連通する。従って、第２ダイヤフラム室８２内
の圧力流体（パイロット圧）は、第５通路１２６並びに
圧力流体排出ポート１１９ｂを通じて大気中に排出され
る。
から第２電磁弁１０６の電磁コイル１１２に電流信号が
供給されたときに図示しない弁体が変位して第２電磁弁
１０６がオン状態となり、第２通路１２２と第５通路１
２６とが連通する。従って、第２ダイヤフラム室８２内
の圧力流体（パイロット圧）は、第５通路１２６並びに
圧力流体排出ポート１１９ｂを通じて大気中に排出され
る。
【００４１】本実施の形態に係るサックバックバルブ２
０は、基本的には以上のように構成されるものであり、
次にその動作並びに作用効果について図３に示す回路構
成図に沿って説明する。
０は、基本的には以上のように構成されるものであり、
次にその動作並びに作用効果について図３に示す回路構
成図に沿って説明する。
【００４２】まず、サックバックバルブ２０の第１ポー
ト３４に連通するチューブ２２ａには、コーティング液
が貯留されたコーティング液供給源１３０を接続し、一
方、第２ポート３６に連通するチューブ２２ｂには、図
示しない半導体ウェハに向かってコーティング液を滴下
するノズル（図示せず）が設けられたコーティング液滴
下装置１３２を接続する。また、圧力流体供給ポート１
１９ａには、圧力流体供給源１３４を接続しておく。
ト３４に連通するチューブ２２ａには、コーティング液
が貯留されたコーティング液供給源１３０を接続し、一
方、第２ポート３６に連通するチューブ２２ｂには、図
示しない半導体ウェハに向かってコーティング液を滴下
するノズル（図示せず）が設けられたコーティング液滴
下装置１３２を接続する。また、圧力流体供給ポート１
１９ａには、圧力流体供給源１３４を接続しておく。
【００４３】このような準備作業を経た後、圧力流体供
給源１３４を付勢し、圧力流体供給ポート１１９ａに対
し圧力流体を導入するとともに、図示しない入力手段を
介してメインコントロールユニット１０８に入力信号を
導入する。メインコントロールユニット１０８は、前記
入力信号に基づいて第１電磁弁１０４にのみ付勢信号を
導出し、前記第１電磁弁１０４をオン状態とする。その
際、第２電磁弁１０６および切換手段１１５は、それぞ
れ滅勢されてオフ状態にある。
給源１３４を付勢し、圧力流体供給ポート１１９ａに対
し圧力流体を導入するとともに、図示しない入力手段を
介してメインコントロールユニット１０８に入力信号を
導入する。メインコントロールユニット１０８は、前記
入力信号に基づいて第１電磁弁１０４にのみ付勢信号を
導出し、前記第１電磁弁１０４をオン状態とする。その
際、第２電磁弁１０６および切換手段１１５は、それぞ
れ滅勢されてオフ状態にある。
【００４４】圧力流体供給ポート１１９ａから導入され
た圧力流体（パイロット圧）は、相互に連通する第１通
路１２０、第２通路１２２、第４通路１２５および第２
パイロット通路１００を経由して第２ダイヤフラム室８
２に供給される。前記第２ダイヤフラム室８２に供給さ
れたパイロット圧の作用下に第２ダイヤフラム８０が撓
曲または変形してステム７６を矢印Ｘ2 方向に押圧す
る。この結果、ステム７６の下端部に連結された第３ダ
イヤフラム８６が変位して図２に示す状態となる。
た圧力流体（パイロット圧）は、相互に連通する第１通
路１２０、第２通路１２２、第４通路１２５および第２
パイロット通路１００を経由して第２ダイヤフラム室８
２に供給される。前記第２ダイヤフラム室８２に供給さ
れたパイロット圧の作用下に第２ダイヤフラム８０が撓
曲または変形してステム７６を矢印Ｘ2 方向に押圧す
る。この結果、ステム７６の下端部に連結された第３ダ
イヤフラム８６が変位して図２に示す状態となる。
【００４５】なお、前記第２ダイヤフラム室８２に供給
されたパイロット圧は、第３通路１２４を介して圧力セ
ンサ１１０に導入され、前記圧力センサ１１０から出力
される検出信号がメインコントロールユニット１０８に
導入されてフィードバック制御が行われる。また、前記
第２ダイヤフラム室８２に供給されたパイロット圧は、
図示しないＭＰＵから導出される制御信号によって第１
電磁弁１０４および／または第２電磁弁１０６を付勢・
滅勢することにより、圧力流体（パイロット圧）の流量
が制御される（図５ａ参照）このように第２ダイヤフラ
ム室８２に供給されたパイロット圧の作用下に第２ダイ
ヤフラム８０が矢印Ｘ2 方向に押圧された状態におい
て、メインコントロールユニット１０８は、切換手段１
１５に付勢信号を導出し、前記切換手段１１５をオン状
態とする。この結果、前記切換手段１１５の切換作用下
にパイロット圧の供給は、第２ダイヤフラム室８２から
オン／オフ弁２６のシリンダ室４８へと切り換えられ
る。
されたパイロット圧は、第３通路１２４を介して圧力セ
ンサ１１０に導入され、前記圧力センサ１１０から出力
される検出信号がメインコントロールユニット１０８に
導入されてフィードバック制御が行われる。また、前記
第２ダイヤフラム室８２に供給されたパイロット圧は、
図示しないＭＰＵから導出される制御信号によって第１
電磁弁１０４および／または第２電磁弁１０６を付勢・
滅勢することにより、圧力流体（パイロット圧）の流量
が制御される（図５ａ参照）このように第２ダイヤフラ
ム室８２に供給されたパイロット圧の作用下に第２ダイ
ヤフラム８０が矢印Ｘ2 方向に押圧された状態におい
て、メインコントロールユニット１０８は、切換手段１
１５に付勢信号を導出し、前記切換手段１１５をオン状
態とする。この結果、前記切換手段１１５の切換作用下
にパイロット圧の供給は、第２ダイヤフラム室８２から
オン／オフ弁２６のシリンダ室４８へと切り換えられ
る。
【００４６】すなわち、圧力流体供給ポート１１９ａか
ら導入された圧力流体（パイロット圧）は、相互に連通
する第１通路１２０、第２通路１２２、第４通路１２５
および第１パイロット通路６４を経由してオン／オフ弁
２６のシリンダ室４８に供給される。なお、オン／オフ
弁２６のシリンダ室４８に供給されるパイロット圧は、
図示しないＭＰＵから導出される制御信号によって第１
電磁弁１０４および／または第２電磁弁１０６を付勢・
滅勢することにより、圧力流体（パイロット圧）の流量
が制御される（図５ｂ参照）前記シリンダ室４８に導入
された圧力流体（パイロット圧）は、ばね部材５４ａ、
５４ｂの弾発力に抗してピストン５０を矢印Ｘ1 方向に
変位させる。従って、ピストン５０に連結された第１ダ
イヤフラム５６が着座部５９から離間してオン／オフ弁
２６がオン状態となる。その際、コーティング液供給源
１３０から供給されたコーティング液は、流体通路３８
に沿って流通し、コーティング液滴下装置１３２を介し
てコーティング液が半導体ウェハに滴下される。この結
果、半導体ウェハには、所望の膜厚を有するコーティン
グ被膜（図示せず）が形成される。
ら導入された圧力流体（パイロット圧）は、相互に連通
する第１通路１２０、第２通路１２２、第４通路１２５
および第１パイロット通路６４を経由してオン／オフ弁
２６のシリンダ室４８に供給される。なお、オン／オフ
弁２６のシリンダ室４８に供給されるパイロット圧は、
図示しないＭＰＵから導出される制御信号によって第１
電磁弁１０４および／または第２電磁弁１０６を付勢・
滅勢することにより、圧力流体（パイロット圧）の流量
が制御される（図５ｂ参照）前記シリンダ室４８に導入
された圧力流体（パイロット圧）は、ばね部材５４ａ、
５４ｂの弾発力に抗してピストン５０を矢印Ｘ1 方向に
変位させる。従って、ピストン５０に連結された第１ダ
イヤフラム５６が着座部５９から離間してオン／オフ弁
２６がオン状態となる。その際、コーティング液供給源
１３０から供給されたコーティング液は、流体通路３８
に沿って流通し、コーティング液滴下装置１３２を介し
てコーティング液が半導体ウェハに滴下される。この結
果、半導体ウェハには、所望の膜厚を有するコーティン
グ被膜（図示せず）が形成される。
【００４７】なお、切換手段１１５をオフ状態からオン
状態に切り換えた場合、第２パイロット通路１００が閉
塞された状態にあることから、第２ダイヤフラム室８２
に供給された圧力流体（パイロット圧）は外部に排出さ
れることがなく所定の圧力値（Ｐｋｇｆ／ｃｍ2 ）に保
持されている（図５ａ参照）。
状態に切り換えた場合、第２パイロット通路１００が閉
塞された状態にあることから、第２ダイヤフラム室８２
に供給された圧力流体（パイロット圧）は外部に排出さ
れることがなく所定の圧力値（Ｐｋｇｆ／ｃｍ2 ）に保
持されている（図５ａ参照）。
【００４８】コーティング液滴下装置１３２を介して所
定量のコーティング液が図示しない半導体ウェハに塗布
された後、メインコントロールユニット１０８の図示し
ないＭＰＵから導出される制御信号によって第１電磁弁
１０４および／または第２電磁弁１０６を付勢・滅勢す
ることにより、オン／オフ弁２６のシリンダ室４８に供
給されるパイロット圧を減少させ、オン／オフ弁２６を
オフ状態とする。
定量のコーティング液が図示しない半導体ウェハに塗布
された後、メインコントロールユニット１０８の図示し
ないＭＰＵから導出される制御信号によって第１電磁弁
１０４および／または第２電磁弁１０６を付勢・滅勢す
ることにより、オン／オフ弁２６のシリンダ室４８に供
給されるパイロット圧を減少させ、オン／オフ弁２６を
オフ状態とする。
【００４９】すなわち、オン／オフ弁２６のシリンダ室
４８に供給されるパイロット圧が減少して零となること
により、ばね部材５４ａ、５４ｂの弾発力の作用下にピ
ストン５０が矢印Ｘ2 方向に変位し、第１ダイヤフラム
５６が着座部５９に着座する。
４８に供給されるパイロット圧が減少して零となること
により、ばね部材５４ａ、５４ｂの弾発力の作用下にピ
ストン５０が矢印Ｘ2 方向に変位し、第１ダイヤフラム
５６が着座部５９に着座する。
【００５０】従って、オン／オフ弁２６がオフ状態とな
って流体通路３８が遮断されることにより半導体ウェハ
に対するコーティング液の供給が停止し、コーティング
液滴下装置１３２のノズル（図示せず）から半導体ウェ
ハに対するコーティング液の滴下状態が停止する。この
場合、コーティング液滴下装置１３２のノズル内には、
半導体ウェハに滴下される直前のコーティング液が残存
しているため、液だれが生ずるおそれがある。
って流体通路３８が遮断されることにより半導体ウェハ
に対するコーティング液の供給が停止し、コーティング
液滴下装置１３２のノズル（図示せず）から半導体ウェ
ハに対するコーティング液の滴下状態が停止する。この
場合、コーティング液滴下装置１３２のノズル内には、
半導体ウェハに滴下される直前のコーティング液が残存
しているため、液だれが生ずるおそれがある。
【００５１】そこで、前記メインコントロールユニット
１０８は、第１電磁弁１０４に滅勢信号を導出して該第
１電磁弁１０４をオフ状態にすると同時に第２電磁弁１
０６に付勢信号を導出して該第２電磁弁１０６をオン状
態とする。また、同時に、前記メインコントロールユニ
ット１０８は、切換手段１１５に滅勢信号を導出して該
切換手段１１５をオフ状態とする。
１０８は、第１電磁弁１０４に滅勢信号を導出して該第
１電磁弁１０４をオフ状態にすると同時に第２電磁弁１
０６に付勢信号を導出して該第２電磁弁１０６をオン状
態とする。また、同時に、前記メインコントロールユニ
ット１０８は、切換手段１１５に滅勢信号を導出して該
切換手段１１５をオフ状態とする。
【００５２】従って、切換手段１１５がオン状態からオ
フ状態に切り換わることにより第４通路１２５と第２パ
イロット通路１００とが連通した状態となり、第２ダイ
ヤフラム室８２内に保持された圧力流体（パイロット
圧）は、相互に連通する第２パイロット通路１００、第
４通路１２５、第２通路１２２および第５通路１２６を
経由して圧力流体排出ポート１１９ｂから大気中に排出
される。その際、第２ダイヤフラム８０は、ばね部材７
８の弾発力の作用下に矢印Ｘ1 方向に上昇し、図４に示
された状態に至る。
フ状態に切り換わることにより第４通路１２５と第２パ
イロット通路１００とが連通した状態となり、第２ダイ
ヤフラム室８２内に保持された圧力流体（パイロット
圧）は、相互に連通する第２パイロット通路１００、第
４通路１２５、第２通路１２２および第５通路１２６を
経由して圧力流体排出ポート１１９ｂから大気中に排出
される。その際、第２ダイヤフラム８０は、ばね部材７
８の弾発力の作用下に矢印Ｘ1 方向に上昇し、図４に示
された状態に至る。
【００５３】すなわち、第２ダイヤフラム８０が上昇
し、ステム７６を介して第３ダイヤフラム８６が矢印Ｘ
1 方向に向かって一体的に変位することにより負圧作用
が発生する。その際、流体通路３８内の所定量のコーテ
ィング液が図４中の矢印方向に沿って吸引される。この
結果、コーティング液滴下装置１３２のノズル内に残存
する所定量のコーティング液がサックバックバルブ２０
側に向かって戻されることにより、半導体ウェハに対す
る液だれを防止することができる。
し、ステム７６を介して第３ダイヤフラム８６が矢印Ｘ
1 方向に向かって一体的に変位することにより負圧作用
が発生する。その際、流体通路３８内の所定量のコーテ
ィング液が図４中の矢印方向に沿って吸引される。この
結果、コーティング液滴下装置１３２のノズル内に残存
する所定量のコーティング液がサックバックバルブ２０
側に向かって戻されることにより、半導体ウェハに対す
る液だれを防止することができる。
【００５４】なお、再び、切換手段１１５に付勢信号を
導出してオン／オフ弁２６をオン状態とすると同時に、
メインコントロールユニット１０８から第１電磁弁１０
４に付勢信号を導出してオン状態にし、第２電磁弁１０
６に滅勢信号を導出してオフ状態とすることにより図１
に示す状態に至り、半導体ウェハに対するコーティング
液の滴下が開始される。
導出してオン／オフ弁２６をオン状態とすると同時に、
メインコントロールユニット１０８から第１電磁弁１０
４に付勢信号を導出してオン状態にし、第２電磁弁１０
６に滅勢信号を導出してオフ状態とすることにより図１
に示す状態に至り、半導体ウェハに対するコーティング
液の滴下が開始される。
【００５５】本実施の形態では、継手部２４、オン／オ
フ弁２６、サックバック機構２８および制御部３２をそ
れぞれ一体的に組み付けることにより、前述した従来技
術と異なり、サックバックバルブ２０と流体制御装置と
の間、並びに該サックバックバルブ２０とオン／オフ弁
２６との間の配管接続作業を不要とし、流体制御装置並
びにオン／オフ弁２６を付設するための占有スペースを
設ける必要がないことから、設置スペースの有効利用を
図ることができる。
フ弁２６、サックバック機構２８および制御部３２をそ
れぞれ一体的に組み付けることにより、前述した従来技
術と異なり、サックバックバルブ２０と流体制御装置と
の間、並びに該サックバックバルブ２０とオン／オフ弁
２６との間の配管接続作業を不要とし、流体制御装置並
びにオン／オフ弁２６を付設するための占有スペースを
設ける必要がないことから、設置スペースの有効利用を
図ることができる。
【００５６】また、本実施の形態では、オン／オフ弁２
６および制御部３２等がサックバック機構２８と一体的
に形成されているため、従来技術においてそれぞれ別体
で構成されたものを一体的に結合した場合と比較して、
小型化を達成することができる。
６および制御部３２等がサックバック機構２８と一体的
に形成されているため、従来技術においてそれぞれ別体
で構成されたものを一体的に結合した場合と比較して、
小型化を達成することができる。
【００５７】さらに、本実施の形態では、サックバック
バルブ２０と流体制御装置との間に配管を設ける必要が
ないため、流路抵抗が増大することを回避することがで
きる。しかも、メインコントロールユニット１０８によ
って電気的に制御される第１電磁弁１０４および第２電
磁弁１０６によってパイロット圧を精度良く加減するこ
とができる。この結果、パイロット圧によって作動する
第２ダイヤフラム８０の応答精度を高めることが可能と
なり、流体通路３８内に残存するコーティング液を迅速
に吸引することができる。
バルブ２０と流体制御装置との間に配管を設ける必要が
ないため、流路抵抗が増大することを回避することがで
きる。しかも、メインコントロールユニット１０８によ
って電気的に制御される第１電磁弁１０４および第２電
磁弁１０６によってパイロット圧を精度良く加減するこ
とができる。この結果、パイロット圧によって作動する
第２ダイヤフラム８０の応答精度を高めることが可能と
なり、流体通路３８内に残存するコーティング液を迅速
に吸引することができる。
【００５８】さらにまた、サックバック機構２８とオン
／オフ弁２６にそれぞれ供給される圧力流体（パイロッ
ト圧）を共通化し、切換手段１１５を介して切換制御す
ることにより、従来技術と異なり、オン／オフ弁２６を
駆動させる駆動装置が不要となる。この結果、装置全体
のより一層の小型化を達成することができるとともに、
コストダウンを図ることができる。
／オフ弁２６にそれぞれ供給される圧力流体（パイロッ
ト圧）を共通化し、切換手段１１５を介して切換制御す
ることにより、従来技術と異なり、オン／オフ弁２６を
駆動させる駆動装置が不要となる。この結果、装置全体
のより一層の小型化を達成することができるとともに、
コストダウンを図ることができる。
【００５９】
【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。
る。
【００６０】すなわち、従来技術と異なり、サックバッ
クバルブと流体制御装置との間、並びに該サックバック
バルブとオン／オフ弁との間の配管接続作業が不要とな
り、またサックバックバルブ以外に流体制御装置、オン
／オフ弁を駆動させる駆動装置等を付設するための占有
スペースが不要となることから、設置スペースの有効利
用を図ることができる。
クバルブと流体制御装置との間、並びに該サックバック
バルブとオン／オフ弁との間の配管接続作業が不要とな
り、またサックバックバルブ以外に流体制御装置、オン
／オフ弁を駆動させる駆動装置等を付設するための占有
スペースが不要となることから、設置スペースの有効利
用を図ることができる。
【００６１】また、サックバックバルブと流体制御装置
との間、並びに該サックバックバルブとオン／オフ弁と
の間に配管を設ける必要がないため、流路抵抗が増大す
ることを回避することができる。しかも、制御部によっ
てパイロット圧を精度良く加減することができるため、
パイロット圧によって作動する可撓性部材の応答精度を
高めることが可能となり、流体通路内に残存する圧力流
体を迅速に吸引することができる。
との間、並びに該サックバックバルブとオン／オフ弁と
の間に配管を設ける必要がないため、流路抵抗が増大す
ることを回避することができる。しかも、制御部によっ
てパイロット圧を精度良く加減することができるため、
パイロット圧によって作動する可撓性部材の応答精度を
高めることが可能となり、流体通路内に残存する圧力流
体を迅速に吸引することができる。
【００６２】さらに、サックバック機構とオン／オフ弁
にそれぞれ供給される圧力流体（パイロット圧）を共通
化し、切換手段を介して切換制御することにより、従来
技術と異なり、オン／オフ弁を駆動させる駆動装置が不
要となる。この結果、装置全体の小型化を達成すること
ができるとともに、コストダウンを図ることができる。
にそれぞれ供給される圧力流体（パイロット圧）を共通
化し、切換手段を介して切換制御することにより、従来
技術と異なり、オン／オフ弁を駆動させる駆動装置が不
要となる。この結果、装置全体の小型化を達成すること
ができるとともに、コストダウンを図ることができる。
【図１】本発明の実施の形態に係るサックバックバルブ
の斜視図である。
の斜視図である。
【図２】図１に示すサックバックバルブの縦断面図であ
る。
る。
【図３】図１に示すサックバックバルブの回路構成図で
ある。
ある。
【図４】図１に示すサックバックバルブの動作説明図で
ある。
ある。
【図５】図１に示すサックバックバルブの動作を説明す
るタイムチャートである。
るタイムチャートである。
【図６】従来技術に係るサックバックバルブの縦断面図
である。
である。
２０…サックバックバルブ ２４…継手部 ２６…オン／オフ弁 ２８…サックバ
ック機構 ３０…弁駆動部 ３２…制御部 ３４、３６…ポート ３８…流体通路 ５０…ピストン ５２…カバー部
材 ５６、８０、８６…ダイヤフラム ５８、８２、８
８…ダイヤフラム室 ６４、１００…パイロット通路 １０４、１０６
…電磁弁 １０８…メインコントロールユニット １１０…圧力セ
ンサ １１５…切換手段 １１９ａ…圧力
流体供給ポート １１９ｂ…圧力流体排出ポート １２０、１２２、１２４、１２５、１２６…通路
ック機構 ３０…弁駆動部 ３２…制御部 ３４、３６…ポート ３８…流体通路 ５０…ピストン ５２…カバー部
材 ５６、８０、８６…ダイヤフラム ５８、８２、８
８…ダイヤフラム室 ６４、１００…パイロット通路 １０４、１０６
…電磁弁 １０８…メインコントロールユニット １１０…圧力セ
ンサ １１５…切換手段 １１９ａ…圧力
流体供給ポート １１９ｂ…圧力流体排出ポート １２０、１２２、１２４、１２５、１２６…通路
Claims (7)
- 【請求項１】流体通路を有し、一端部に第１ポートが形
成され他端部に第２ポートが形成された継手部と、 パイロット圧によって変位する可撓性部材の負圧作用に
よって前記流体通路内の圧力流体を吸引するサックバッ
ク機構と、 前記サックバック機構に供給される同一のパイロット圧
の作用下に、前記流体通路を開閉するオン／オフ弁と、 給排気作用下に前記可撓性部材に供給されるパイロット
圧を加減する給気弁並びに排気弁を有し、前記給気弁並
びに排気弁にそれぞれ電気信号を導出することにより該
給気弁並びに排気弁を付勢・滅勢する制御部と、 を備え、前記制御部には、サックバック機構とオン／オ
フ弁とのそれぞれに供給するパイロット圧を切り換える
切換手段が設けられることを特徴とするサックバックバ
ルブ。 - 【請求項２】請求項１記載のサックバックバルブにおい
て、継手部、サックバック機構、オン／オフ弁および制
御部は、それぞれ一体的に組み付けられて設けられるこ
とを特徴とするサックバックバルブ。 - 【請求項３】請求項１または２記載のサックバックバル
ブにおいて、給気弁並びに排気弁は、それぞれ第１電磁
弁並びに第２電磁弁からなることを特徴とするサックバ
ックバルブ。 - 【請求項４】請求項１乃至３のいずれか１項に記載のサ
ックバックバルブにおいて、可撓性部材は、ダイヤフラ
ムからなることを特徴とするサックバックバルブ。 - 【請求項５】請求項１乃至４のいずれか１項に記載のサ
ックバックバルブにおいて、切換手段は、３ポート電磁
弁からなることを特徴とするサックバックバルブ。 - 【請求項６】請求項１乃至５のいずれか１項に記載のサ
ックバックバルブにおいて、サックバック機構は、圧力
流体供給ポートから供給されるパイロット圧の作用下に
変位するダイヤフラムと、弁ボデイ内に変位自在に設け
られ前記ダイヤフラムと一体的に変位するステムと、前
記ステムの一端部に連結され該ステムとともに変位する
ことにより負圧作用を営む他のダイヤフラムと、前記ス
テムを所定方向に付勢するばね部材とを有することを特
徴とするサックバックバルブ。 - 【請求項７】請求項１乃至６のいずれか１項に記載のサ
ックバックバルブにおいて、制御部には、給気弁、排気
弁、および切換手段を電気的に制御するメインコントロ
ールユニットが設けられることを特徴とするサックバッ
クバルブ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06507797A JP4035667B2 (ja) | 1997-03-18 | 1997-03-18 | サックバックバルブ |
| DE69808354T DE69808354T2 (de) | 1997-03-18 | 1998-03-07 | Rücksaugventil |
| EP98104103A EP0866254B1 (en) | 1997-03-18 | 1998-03-07 | Suck back valve |
| US09/037,862 US5931384A (en) | 1997-03-18 | 1998-03-10 | Suck back valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06507797A JP4035667B2 (ja) | 1997-03-18 | 1997-03-18 | サックバックバルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10252919A true JPH10252919A (ja) | 1998-09-22 |
| JP4035667B2 JP4035667B2 (ja) | 2008-01-23 |
Family
ID=13276539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06507797A Expired - Fee Related JP4035667B2 (ja) | 1997-03-18 | 1997-03-18 | サックバックバルブ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5931384A (ja) |
| EP (1) | EP0866254B1 (ja) |
| JP (1) | JP4035667B2 (ja) |
| DE (1) | DE69808354T2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008016038A (ja) * | 1999-01-20 | 2008-01-24 | Entegris Inc | 流体を分配するための停止／吸引弁を調節する制御システム |
| US7445163B2 (en) | 2004-06-29 | 2008-11-04 | Smc Kabushiki Kaisha | Suck back valve |
| US7637440B2 (en) | 2004-06-29 | 2009-12-29 | Smc Kabushiki Kaisha | Suck back valve |
| WO2023286739A1 (ja) * | 2021-07-12 | 2023-01-19 | 旭有機材株式会社 | サックバックバルブ |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3825342B2 (ja) * | 2002-03-06 | 2006-09-27 | Ｓｍｃ株式会社 | サックバックバルブ |
| JP4035728B2 (ja) * | 2003-07-07 | 2008-01-23 | Ｓｍｃ株式会社 | サックバックバルブ |
| JP6180267B2 (ja) * | 2013-09-30 | 2017-08-16 | Ckd株式会社 | 流体駆動式遮断弁 |
| DE102017122006A1 (de) * | 2017-09-22 | 2019-03-28 | Gemü Gebr. Müller Apparatebau Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft | Anordnung mit einer Ventileinheit, einer Rücksaugeinheit und einem Ventilkörper |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3895748A (en) * | 1974-04-03 | 1975-07-22 | George R Klingenberg | No drip suck back units for glue or other liquids either separately installed with or incorporated into no drip suck back liquid applying and control apparatus |
| NO800594L (no) * | 1979-03-20 | 1980-09-22 | Curt Arnold Bjoerklund | Ventil. |
| US4394945A (en) * | 1981-08-06 | 1983-07-26 | Loctite Corporation | Valve having suck-back feature |
| JPS59177929A (ja) * | 1983-03-28 | 1984-10-08 | Canon Inc | サツクバツクポンプ |
| JPH0810399Y2 (ja) * | 1989-07-13 | 1996-03-29 | 株式会社コガネイ | サックバックバルブ |
| JP2803859B2 (ja) * | 1989-09-29 | 1998-09-24 | 株式会社日立製作所 | 流動体供給装置およびその制御方法 |
| DE4236371C2 (de) * | 1992-10-28 | 1995-08-17 | Erno Raumfahrttechnik Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Einspritzen |
-
1997
- 1997-03-18 JP JP06507797A patent/JP4035667B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-03-07 EP EP98104103A patent/EP0866254B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-03-07 DE DE69808354T patent/DE69808354T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-03-10 US US09/037,862 patent/US5931384A/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008016038A (ja) * | 1999-01-20 | 2008-01-24 | Entegris Inc | 流体を分配するための停止／吸引弁を調節する制御システム |
| US7445163B2 (en) | 2004-06-29 | 2008-11-04 | Smc Kabushiki Kaisha | Suck back valve |
| US7637440B2 (en) | 2004-06-29 | 2009-12-29 | Smc Kabushiki Kaisha | Suck back valve |
| WO2023286739A1 (ja) * | 2021-07-12 | 2023-01-19 | 旭有機材株式会社 | サックバックバルブ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69808354T2 (de) | 2003-06-18 |
| DE69808354D1 (de) | 2002-11-07 |
| EP0866254A2 (en) | 1998-09-23 |
| EP0866254B1 (en) | 2002-10-02 |
| US5931384A (en) | 1999-08-03 |
| JP4035667B2 (ja) | 2008-01-23 |
| EP0866254A3 (en) | 1999-12-29 |
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