JPH11202946A - 負圧調整用流体圧レギュレータ - Google Patents
負圧調整用流体圧レギュレータInfo
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- JPH11202946A JPH11202946A JP514298A JP514298A JPH11202946A JP H11202946 A JPH11202946 A JP H11202946A JP 514298 A JP514298 A JP 514298A JP 514298 A JP514298 A JP 514298A JP H11202946 A JPH11202946 A JP H11202946A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】所定の圧力の負圧を流体圧機器に供給すること
が可能な負圧調整用流体圧レギュレータを提供する。 【解決手段】排気用電磁弁７２ｂを付勢して第２のダイ
ヤフラム室５０と吸引ポート４４とを連通させると、第
２のダイヤフラム室５０内の空気が吸引源１０２に吸引
され、ダイヤフラム５６が矢印Ａ方向に変位する。この
ため、排気弁体６４が変位して負圧供給ポート１８と吸
引ポート４４とが連通し、空気圧機器１００から空気が
吸引ポート４４に吸引されて空気圧機器１００に負圧が
供給される。負圧供給ポート１８内が所定の圧力となる
と、排気用電磁弁７２ｂを付勢して第２のダイヤフラム
室５０と吸引ポート４４とを遮断させる。このため、ダ
イヤフラム５６が矢印Ｂ方向に変位して排気弁体６４が
排気口６２を閉塞し、負圧供給ポート１８内の圧力の低
下が停止する。従って、空気圧機器１００に供給される
空気の圧力は所定の値に維持される。
が可能な負圧調整用流体圧レギュレータを提供する。 【解決手段】排気用電磁弁７２ｂを付勢して第２のダイ
ヤフラム室５０と吸引ポート４４とを連通させると、第
２のダイヤフラム室５０内の空気が吸引源１０２に吸引
され、ダイヤフラム５６が矢印Ａ方向に変位する。この
ため、排気弁体６４が変位して負圧供給ポート１８と吸
引ポート４４とが連通し、空気圧機器１００から空気が
吸引ポート４４に吸引されて空気圧機器１００に負圧が
供給される。負圧供給ポート１８内が所定の圧力となる
と、排気用電磁弁７２ｂを付勢して第２のダイヤフラム
室５０と吸引ポート４４とを遮断させる。このため、ダ
イヤフラム５６が矢印Ｂ方向に変位して排気弁体６４が
排気口６２を閉塞し、負圧供給ポート１８内の圧力の低
下が停止する。従って、空気圧機器１００に供給される
空気の圧力は所定の値に維持される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、制御信号に応じて
負圧を調整することが可能な負圧調整用流体圧レギュレ
ータに関する。
負圧を調整することが可能な負圧調整用流体圧レギュレ
ータに関する。
【０００２】
【従来の技術】流体圧機器に一定圧力を供給するための
空気圧レギュレータの従来技術が、例えば、特公平７−
５０４１８号公報に開示されている。この空気圧レギュ
レータは、圧縮空気源から供給されメインバルブから出
力される出力圧力を調整する際、その出力圧力を検出
し、検出した出力圧力と設定圧力とを比較し、その比較
結果に応じて電磁弁を制御することでダイヤフラム室に
対し空気圧パルスを供給してダイヤフラムに連結された
吸気弁体を変位させ、メインバルブから出力される出力
圧力を設定圧力に調整している。
空気圧レギュレータの従来技術が、例えば、特公平７−
５０４１８号公報に開示されている。この空気圧レギュ
レータは、圧縮空気源から供給されメインバルブから出
力される出力圧力を調整する際、その出力圧力を検出
し、検出した出力圧力と設定圧力とを比較し、その比較
結果に応じて電磁弁を制御することでダイヤフラム室に
対し空気圧パルスを供給してダイヤフラムに連結された
吸気弁体を変位させ、メインバルブから出力される出力
圧力を設定圧力に調整している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の空気圧レギュレータは、大気圧より圧力の大き
い、すなわち正圧の圧力を調整するものであり、大気圧
より小さい負圧の圧力を調整できる構成とはなっていな
い。
従来の空気圧レギュレータは、大気圧より圧力の大き
い、すなわち正圧の圧力を調整するものであり、大気圧
より小さい負圧の圧力を調整できる構成とはなっていな
い。
【０００４】本発明は前記の課題を解決すべくなされた
ものであって、所定の負圧の圧力を流体圧機器に供給す
ることが可能な負圧調整用流体圧レギュレータを提供す
ることを目的とする。
ものであって、所定の負圧の圧力を流体圧機器に供給す
ることが可能な負圧調整用流体圧レギュレータを提供す
ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、制御信号に応じて負圧を調整する負圧
調整用流体圧レギュレータであって、流体圧を供給する
流体圧供給ポートと、吸引源が接続される吸引ポート
と、流体圧機器が接続され、該流体圧機器に前記制御信
号に応じて調整された負圧を供給する負圧供給ポート
と、前記入力信号によって駆動され、前記流体圧供給ポ
ートと前記吸引ポートのいずれか一方を前記負圧供給ポ
ートに連通する弁体と、を備えることを特徴とする。
めに、本発明は、制御信号に応じて負圧を調整する負圧
調整用流体圧レギュレータであって、流体圧を供給する
流体圧供給ポートと、吸引源が接続される吸引ポート
と、流体圧機器が接続され、該流体圧機器に前記制御信
号に応じて調整された負圧を供給する負圧供給ポート
と、前記入力信号によって駆動され、前記流体圧供給ポ
ートと前記吸引ポートのいずれか一方を前記負圧供給ポ
ートに連通する弁体と、を備えることを特徴とする。
【０００６】本発明によれば、流体圧機器に対して制御
信号に応じた負圧を供給することができる。
信号に応じた負圧を供給することができる。
【０００７】この場合、弁体がダイヤフラムに連結さ
れ、該ダイヤフラムが変位するダイヤフラム室には制御
信号に対応して付勢される電磁弁が接続され、前記ダイ
ヤフラム室には前記電磁弁を介して流体圧供給ポートお
よび吸引ポートが接続されると、電気的に負圧調整用流
体圧レギュレータを制御することができ、好適である。
れ、該ダイヤフラムが変位するダイヤフラム室には制御
信号に対応して付勢される電磁弁が接続され、前記ダイ
ヤフラム室には前記電磁弁を介して流体圧供給ポートお
よび吸引ポートが接続されると、電気的に負圧調整用流
体圧レギュレータを制御することができ、好適である。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明に係る負圧調整用流体圧レ
ギュレータについて、好適な実施の形態を挙げ、添付の
図面を参照しながら以下詳細に説明する。
ギュレータについて、好適な実施の形態を挙げ、添付の
図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【０００９】図１において、参照符号１０は、本実施の
形態に係る負圧調整用流体圧レギュレータを示す。この
負圧調整用流体圧レギュレータ１０は、空気圧機器１０
０の圧力制御を行うためのメインバルブ１２と、メイン
バルブ１２の上部に固着されたボンネット１４とを有す
る。メインバルブ１２は流体圧供給ポート１６と負圧供
給ポート１８とが画成された本体部２０を備え、本体部
２０の内部には流体圧供給ポート１６と負圧供給ポート
１８とを結ぶ通路２２および給気口２４が画成される。
通路２２内に給気口２４を開閉する給気弁体２６が配設
され、給気弁体２６は前記本体部２０の下部に固着され
たバルブガイド２８の凹部３０に摺動自在に挿入され
る。給気弁体２６の凹部３２にはコイルスプリング３４
の一端部が着座し、コイルスプリング３４の他端部はバ
ルブガイド２８の凹部３０を構成する底部に着座する。
このため、給気弁体２６は給気口２４を閉塞する方向
（矢印Ａ方向）に常時付勢されている。
形態に係る負圧調整用流体圧レギュレータを示す。この
負圧調整用流体圧レギュレータ１０は、空気圧機器１０
０の圧力制御を行うためのメインバルブ１２と、メイン
バルブ１２の上部に固着されたボンネット１４とを有す
る。メインバルブ１２は流体圧供給ポート１６と負圧供
給ポート１８とが画成された本体部２０を備え、本体部
２０の内部には流体圧供給ポート１６と負圧供給ポート
１８とを結ぶ通路２２および給気口２４が画成される。
通路２２内に給気口２４を開閉する給気弁体２６が配設
され、給気弁体２６は前記本体部２０の下部に固着され
たバルブガイド２８の凹部３０に摺動自在に挿入され
る。給気弁体２６の凹部３２にはコイルスプリング３４
の一端部が着座し、コイルスプリング３４の他端部はバ
ルブガイド２８の凹部３０を構成する底部に着座する。
このため、給気弁体２６は給気口２４を閉塞する方向
（矢印Ａ方向）に常時付勢されている。
【００１０】本体部２０の上部には第１のダイヤフラム
支持部材３６が固着され、第１のダイヤフラム支持部材
３６の下部に形成された突部３８は本体部２０に画成さ
れた凹部４０に嵌入する。凹部４０には通路４２を介し
て吸引ポート４４が連通し、吸引ポート４４は本体部２
０の外部に開口する。前記ダイヤフラム支持部材３６に
は第１のダイヤフラム室４６が画成される。また、第１
のダイヤフラム支持部材３６の上部には第２のダイヤフ
ラム支持部材４８が固着され、第２のダイヤフラム支持
部材４８には第２のダイヤフラム室５０が画成される。
第１のダイヤフラム室４６と第２のダイヤフラム室５０
とを併せてダイヤフラム室５２という。
支持部材３６が固着され、第１のダイヤフラム支持部材
３６の下部に形成された突部３８は本体部２０に画成さ
れた凹部４０に嵌入する。凹部４０には通路４２を介し
て吸引ポート４４が連通し、吸引ポート４４は本体部２
０の外部に開口する。前記ダイヤフラム支持部材３６に
は第１のダイヤフラム室４６が画成される。また、第１
のダイヤフラム支持部材３６の上部には第２のダイヤフ
ラム支持部材４８が固着され、第２のダイヤフラム支持
部材４８には第２のダイヤフラム室５０が画成される。
第１のダイヤフラム室４６と第２のダイヤフラム室５０
とを併せてダイヤフラム室５２という。
【００１１】第１のダイヤフラム室４６は通路５４を介
して前記負圧供給ポート１８に連通する。ダイヤフラム
５６の縁部は第１のダイヤフラム支持部材３６と第２の
ダイヤフラム支持部材４８とにより挟持され、ダイヤフ
ラム５６の略中央は円盤状の支持部材５８ａ、５８ｂに
よって挟持される。一方の支持部材５８ａにはコイルス
プリング５９の一端部が着座し、コイルスプリング５９
の他端部は第２のダイヤフラム室５０の壁部に着座す
る。このため、支持部材５８ａ、５８ｂは常時矢印Ｂ方
向に付勢されている。
して前記負圧供給ポート１８に連通する。ダイヤフラム
５６の縁部は第１のダイヤフラム支持部材３６と第２の
ダイヤフラム支持部材４８とにより挟持され、ダイヤフ
ラム５６の略中央は円盤状の支持部材５８ａ、５８ｂに
よって挟持される。一方の支持部材５８ａにはコイルス
プリング５９の一端部が着座し、コイルスプリング５９
の他端部は第２のダイヤフラム室５０の壁部に着座す
る。このため、支持部材５８ａ、５８ｂは常時矢印Ｂ方
向に付勢されている。
【００１２】支持部材５８ａ、５８ｂの中央には棒状の
ステム６０が垂直方向に延在して固着される。ステム６
０の下端部は前記給気弁体２６に当接自在である。ステ
ム６０には給気口２４に連通する排気口６２を開閉する
排気弁体６４が摺動自在に設けられ、排気弁体６４はス
テム６０に形成されたフランジ部６６に係合する。排気
弁体６４は、コイルスプリング６８によって排気口６２
を閉塞する方向（矢印Ｂ方向）に常時付勢されている。
ステム６０が垂直方向に延在して固着される。ステム６
０の下端部は前記給気弁体２６に当接自在である。ステ
ム６０には給気口２４に連通する排気口６２を開閉する
排気弁体６４が摺動自在に設けられ、排気弁体６４はス
テム６０に形成されたフランジ部６６に係合する。排気
弁体６４は、コイルスプリング６８によって排気口６２
を閉塞する方向（矢印Ｂ方向）に常時付勢されている。
【００１３】第２のダイヤフラム支持部材４８の上部に
は板状部材７０を介して給気用電磁弁７２ａと排気用電
磁弁７２ｂとが設けられる。給気用電磁弁７２ａは流体
圧供給ポート１６に連通する通路７４と第２のダイヤフ
ラム室５０に連通する通路７６とを連通または遮断する
ことが可能であり、給気用電磁弁７２ａに接続された制
御回路７８から給気用電磁弁７２ａの電磁コイルに電流
が供給されたときに弁体８０ａが開放されて前記通路７
４と７６とが連通する。一方、排気用電磁弁７２ｂは第
２のダイヤフラム室５０に連通する通路８２と凹部４０
に連通する通路８４とを連通または遮断することが可能
であり、制御回路７８から排気用電磁弁７２ｂの電磁コ
イルに電流が供給されたときに弁体８０ｂが開放されて
前記通路８２と８４とが連通する。
は板状部材７０を介して給気用電磁弁７２ａと排気用電
磁弁７２ｂとが設けられる。給気用電磁弁７２ａは流体
圧供給ポート１６に連通する通路７４と第２のダイヤフ
ラム室５０に連通する通路７６とを連通または遮断する
ことが可能であり、給気用電磁弁７２ａに接続された制
御回路７８から給気用電磁弁７２ａの電磁コイルに電流
が供給されたときに弁体８０ａが開放されて前記通路７
４と７６とが連通する。一方、排気用電磁弁７２ｂは第
２のダイヤフラム室５０に連通する通路８２と凹部４０
に連通する通路８４とを連通または遮断することが可能
であり、制御回路７８から排気用電磁弁７２ｂの電磁コ
イルに電流が供給されたときに弁体８０ｂが開放されて
前記通路８２と８４とが連通する。
【００１４】板状部材７０の上部には圧力センサ８６が
固着され、圧力センサ８６のセンサ部８８は負圧供給ポ
ート１８に連通する通路９０内に臨む。従って、圧力セ
ンサ８６は負圧供給ポート１８内の圧力に対応した電気
信号を発生する。この電気信号は制御回路７８に入力さ
れる。制御回路７８は前記ボンネット１４の上部に固着
されたコネクタ９２に接続される。なお、制御回路７８
には表示器９４が接続される。
固着され、圧力センサ８６のセンサ部８８は負圧供給ポ
ート１８に連通する通路９０内に臨む。従って、圧力セ
ンサ８６は負圧供給ポート１８内の圧力に対応した電気
信号を発生する。この電気信号は制御回路７８に入力さ
れる。制御回路７８は前記ボンネット１４の上部に固着
されたコネクタ９２に接続される。なお、制御回路７８
には表示器９４が接続される。
【００１５】本実施の形態に係る負圧調整用流体圧レギ
ュレータ１０は、基本的には以上のように構成されるも
のであり、次にその動作について説明する。
ュレータ１０は、基本的には以上のように構成されるも
のであり、次にその動作について説明する。
【００１６】先ず、負圧調整用流体圧レギュレータ１０
の流体圧供給ポート１６は大気開放され、従って、流体
圧供給ポート１６内に大気圧が供給されることになる。
一方、負圧供給ポート１８には負圧を利用する空気圧機
器１００が接続され、吸引ポート４４には真空ポンプ等
の吸引源１０２が接続される。また、コネクタ９２には
図示しないコントローラが接続される。
の流体圧供給ポート１６は大気開放され、従って、流体
圧供給ポート１６内に大気圧が供給されることになる。
一方、負圧供給ポート１８には負圧を利用する空気圧機
器１００が接続され、吸引ポート４４には真空ポンプ等
の吸引源１０２が接続される。また、コネクタ９２には
図示しないコントローラが接続される。
【００１７】以上のような準備段階を経て、空気圧機器
１００に負圧を供給する制御信号がコントローラからコ
ネクタ９２を介して制御回路７８に入力されると、図２
に示すように、制御回路７８は排気用電磁弁７２ｂを付
勢して弁体８０ｂを変位させ、通路８２と８４とを連通
させる。このため、第２のダイヤフラム室５０の内部の
空気が通路８２、８４、凹部４０および通路４２を介し
て吸引ポート４４から吸引源１０２に吸引される。この
ように第２のダイヤフラム室５０内の空気が吸引される
と、第２のダイヤフラム室５０内の圧力が低下して支持
部材５８ａ、５８ｂがダイヤフラム５６と一体的に矢印
Ａ方向に変位し、排気弁体６４がコイルスプリング６８
の弾発力に抗して排気口６２を構成する弁座から離間す
る。従って、空気圧機器１００から空気が負圧供給ポー
ト１８、排気口６２、凹部４０、通路４２および吸引ポ
ート４４を介して吸引源１０２に吸引され、空気圧機器
１００に負圧が供給される。
１００に負圧を供給する制御信号がコントローラからコ
ネクタ９２を介して制御回路７８に入力されると、図２
に示すように、制御回路７８は排気用電磁弁７２ｂを付
勢して弁体８０ｂを変位させ、通路８２と８４とを連通
させる。このため、第２のダイヤフラム室５０の内部の
空気が通路８２、８４、凹部４０および通路４２を介し
て吸引ポート４４から吸引源１０２に吸引される。この
ように第２のダイヤフラム室５０内の空気が吸引される
と、第２のダイヤフラム室５０内の圧力が低下して支持
部材５８ａ、５８ｂがダイヤフラム５６と一体的に矢印
Ａ方向に変位し、排気弁体６４がコイルスプリング６８
の弾発力に抗して排気口６２を構成する弁座から離間す
る。従って、空気圧機器１００から空気が負圧供給ポー
ト１８、排気口６２、凹部４０、通路４２および吸引ポ
ート４４を介して吸引源１０２に吸引され、空気圧機器
１００に負圧が供給される。
【００１８】このようにして負圧供給ポート１８内の圧
力が低下すると、この圧力は通路５４並びに通路９０を
介して圧力センサ８６に伝達され、該圧力センサ８６に
よって電気信号に変換されて制御回路７８にフィードバ
ックされる。負圧供給ポート１８内の圧力が所定の圧力
となると、制御回路７８は排気用電磁弁７２ｂを制御し
て弁体８０ｂによって通路８２と８４とを遮断する。こ
のため、第２のダイヤフラム室５０内の圧力が所定値以
下に低下することがない。このとき、負圧供給ポート１
８内の圧力が低下することに起因して通路５４を介して
第１のダイヤフラム室４６内の圧力も低下し、支持部材
５８ａ、５８ｂがダイヤフラム５６とともに矢印Ｂ方向
に変位する。この結果、排気弁体６４が矢印Ｂ方向に変
位して排気口６２を閉塞する。そして、負圧供給ポート
１８内の圧力の低下が停止し、空気圧機器１００に供給
される負圧の圧力は所定の値に維持される。
力が低下すると、この圧力は通路５４並びに通路９０を
介して圧力センサ８６に伝達され、該圧力センサ８６に
よって電気信号に変換されて制御回路７８にフィードバ
ックされる。負圧供給ポート１８内の圧力が所定の圧力
となると、制御回路７８は排気用電磁弁７２ｂを制御し
て弁体８０ｂによって通路８２と８４とを遮断する。こ
のため、第２のダイヤフラム室５０内の圧力が所定値以
下に低下することがない。このとき、負圧供給ポート１
８内の圧力が低下することに起因して通路５４を介して
第１のダイヤフラム室４６内の圧力も低下し、支持部材
５８ａ、５８ｂがダイヤフラム５６とともに矢印Ｂ方向
に変位する。この結果、排気弁体６４が矢印Ｂ方向に変
位して排気口６２を閉塞する。そして、負圧供給ポート
１８内の圧力の低下が停止し、空気圧機器１００に供給
される負圧の圧力は所定の値に維持される。
【００１９】一方、空気圧機器１００に供給される負圧
の圧力を上昇させる場合、図３に示すように、制御回路
７８は給気用電磁弁７２ａを付勢して弁体８０ａを変位
させ、通路７４と７６とを連通させる。このため、第２
のダイヤフラム室５０には流体圧供給ポート１６から通
路７４、７６を介して大気圧が導入されて第２のダイヤ
フラム室５０内の圧力が第１のダイヤフラム室４６内の
圧力より高くなり、支持部材５８ａ、５８ｂがダイヤフ
ラム５６とともに矢印Ｂ方向に変位する。すると、ステ
ム６０が給気弁体２６を押圧することにより該給気弁体
２６が矢印Ｂ方向に変位して通路２２と給気口２４とが
連通し、流体圧供給ポート１６から大気圧の空気が空気
圧機器１００に導入される。従って、空気圧機器１００
に供給される負圧の圧力が上昇する。
の圧力を上昇させる場合、図３に示すように、制御回路
７８は給気用電磁弁７２ａを付勢して弁体８０ａを変位
させ、通路７４と７６とを連通させる。このため、第２
のダイヤフラム室５０には流体圧供給ポート１６から通
路７４、７６を介して大気圧が導入されて第２のダイヤ
フラム室５０内の圧力が第１のダイヤフラム室４６内の
圧力より高くなり、支持部材５８ａ、５８ｂがダイヤフ
ラム５６とともに矢印Ｂ方向に変位する。すると、ステ
ム６０が給気弁体２６を押圧することにより該給気弁体
２６が矢印Ｂ方向に変位して通路２２と給気口２４とが
連通し、流体圧供給ポート１６から大気圧の空気が空気
圧機器１００に導入される。従って、空気圧機器１００
に供給される負圧の圧力が上昇する。
【００２０】負圧供給ポート１８内の圧力が所定の圧力
となると、制御回路７８は給気用電磁弁７２ａを制御し
て弁体８０ａによって通路７４と７６とを遮断する。こ
のため、第２のダイヤフラム室５０内の圧力が所定値以
上に上昇することがない。このとき、負圧供給ポート１
８内の圧力が上昇することに起因して第１のダイヤフラ
ム室４６内の圧力も上昇し、支持部材５８ａ、５８ｂが
ダイヤフラム５６とともに矢印Ａ方向に変位する。従っ
て、給気弁体２６が矢印Ａ方向に変位して給気口２４を
閉塞する。そして、負圧供給ポート１８内の圧力の上昇
が停止し、空気圧機器１００に供給される負圧の圧力は
所定の値に維持される。
となると、制御回路７８は給気用電磁弁７２ａを制御し
て弁体８０ａによって通路７４と７６とを遮断する。こ
のため、第２のダイヤフラム室５０内の圧力が所定値以
上に上昇することがない。このとき、負圧供給ポート１
８内の圧力が上昇することに起因して第１のダイヤフラ
ム室４６内の圧力も上昇し、支持部材５８ａ、５８ｂが
ダイヤフラム５６とともに矢印Ａ方向に変位する。従っ
て、給気弁体２６が矢印Ａ方向に変位して給気口２４を
閉塞する。そして、負圧供給ポート１８内の圧力の上昇
が停止し、空気圧機器１００に供給される負圧の圧力は
所定の値に維持される。
【００２１】本実施の形態に係る負圧調整用流体圧レギ
ュレータ１０では、空気を空気圧機器１００に供給して
いるが、空気に代えて、不活性ガス等の気体を流体圧機
器に供給するようにしてもよい。
ュレータ１０では、空気を空気圧機器１００に供給して
いるが、空気に代えて、不活性ガス等の気体を流体圧機
器に供給するようにしてもよい。
【００２２】
【発明の効果】本発明に係る負圧調整用流体圧レギュレ
ータによれば、以下のような効果ならびに利点が得られ
る。
ータによれば、以下のような効果ならびに利点が得られ
る。
【００２３】流体圧が導入される流体圧給気ポートと吸
引源が接続される吸引ポートのいずれか一方を負圧供給
ポートに連通させることにより、負圧供給ポートに接続
された流体圧機器に制御信号に応じた負圧を供給するこ
とが可能となる。
引源が接続される吸引ポートのいずれか一方を負圧供給
ポートに連通させることにより、負圧供給ポートに接続
された流体圧機器に制御信号に応じた負圧を供給するこ
とが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る負圧調整用流体圧レ
ギュレータを示す縦断面図である。
ギュレータを示す縦断面図である。
【図２】図１の負圧調整用流体圧レギュレータの使用方
法を示し、吸引ポートと負圧供給ポートとが連通してい
る状態の縦断面図である。
法を示し、吸引ポートと負圧供給ポートとが連通してい
る状態の縦断面図である。
【図３】図１の負圧調整用流体圧レギュレータの使用方
法を示し、流体圧供給ポートと負圧供給ポートとが連通
している状態の縦断面図である。
法を示し、流体圧供給ポートと負圧供給ポートとが連通
している状態の縦断面図である。
１０…負圧調整用流体圧レギュレータ １６…流体圧供
給ポート １８…負圧供給ポート ２４…給気口 ２６…給気弁体 ４４…吸引ポー
ト ４６、５０、５２…ダイヤフラム室 ５６…ダイヤフ
ラム ６２…排気口 ６４…排気弁体 ７２ａ、７２ｂ…電磁弁 １００…空気圧
機器 １０２…吸引源
給ポート １８…負圧供給ポート ２４…給気口 ２６…給気弁体 ４４…吸引ポー
ト ４６、５０、５２…ダイヤフラム室 ５６…ダイヤフ
ラム ６２…排気口 ６４…排気弁体 ７２ａ、７２ｂ…電磁弁 １００…空気圧
機器 １０２…吸引源
Claims (2)
- 【請求項１】制御信号に応じて負圧を調整する負圧調整
用流体圧レギュレータであって、 流体圧を供給する流体圧供給ポートと、 吸引源が接続される吸引ポートと、 流体圧機器が接続され、該流体圧機器に前記制御信号に
応じて調整された負圧を供給する負圧供給ポートと、 前記入力信号によって駆動され、前記流体圧供給ポート
と前記吸引ポートのいずれか一方を前記負圧供給ポート
に連通する弁体と、 を備えることを特徴とする負圧調整用流体圧レギュレー
タ。 - 【請求項２】請求項１記載の負圧調整用流体圧レギュレ
ータにおいて、 前記弁体はダイヤフラムに連結され、該ダイヤフラムが
変位するダイヤフラム室には前記制御信号に対応して付
勢される電磁弁が接続され、前記ダイヤフラム室には前
記電磁弁を介して前記流体圧供給ポートおよび前記吸引
ポートが接続されることを特徴とする負圧調整用流体圧
レギュレータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00514298A JP4423620B2 (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | 負圧調整用流体圧レギュレータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00514298A JP4423620B2 (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | 負圧調整用流体圧レギュレータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11202946A true JPH11202946A (ja) | 1999-07-30 |
| JP4423620B2 JP4423620B2 (ja) | 2010-03-03 |
Family
ID=11603064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00514298A Expired - Fee Related JP4423620B2 (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | 負圧調整用流体圧レギュレータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4423620B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002062939A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-02-28 | Ckd Corp | 電空式負圧制御弁 |
| JP2002277292A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-25 | Ckd Corp | 流量センサユニット |
-
1998
- 1998-01-13 JP JP00514298A patent/JP4423620B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002062939A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-02-28 | Ckd Corp | 電空式負圧制御弁 |
| JP2002277292A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-25 | Ckd Corp | 流量センサユニット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4423620B2 (ja) | 2010-03-03 |
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