JP2002243059A - 流体圧力調整装置 - Google Patents
流体圧力調整装置Info
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- JP2002243059A JP2002243059A JP2001042388A JP2001042388A JP2002243059A JP 2002243059 A JP2002243059 A JP 2002243059A JP 2001042388 A JP2001042388 A JP 2001042388A JP 2001042388 A JP2001042388 A JP 2001042388A JP 2002243059 A JP2002243059 A JP 2002243059A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】二次側負荷に影響されることがなく、安定した
圧力値からなる圧力流体を二次側から導出することにあ
る。 【解決手段】第3通路84から分岐してパイロット室5
8に連通するフィードバック通路88を介して導入され
るパイロット圧を検出し、その検出信号を制御回路92
に導出する圧力センサ96が設けられ、前記制御回路9
2は、入力信号と圧力センサ96から導出される検出信
号との偏差に基づいてフィードバック制御がなされる。
圧力値からなる圧力流体を二次側から導出することにあ
る。 【解決手段】第3通路84から分岐してパイロット室5
8に連通するフィードバック通路88を介して導入され
るパイロット圧を検出し、その検出信号を制御回路92
に導出する圧力センサ96が設けられ、前記制御回路9
2は、入力信号と圧力センサ96から導出される検出信
号との偏差に基づいてフィードバック制御がなされる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、流体圧力によって
作動する、例えば、シリンダ等の流体圧機器に対し、調
圧された圧力流体を供給することが可能な流体圧力調整
装置に関する。
作動する、例えば、シリンダ等の流体圧機器に対し、調
圧された圧力流体を供給することが可能な流体圧力調整
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、流体圧供給源から流体圧機器に
所望の設定圧力で圧力流体を供給する場合、前記流体圧
供給源と流体圧機器との間に流体圧力調整装置が介装さ
れる。この流体圧力調整装置は、流体圧供給源から供給
された一次側の圧力流体を、二次側に接続される流体圧
機器に対応するように所望の圧力に減圧して二次側に供
給するものである。
所望の設定圧力で圧力流体を供給する場合、前記流体圧
供給源と流体圧機器との間に流体圧力調整装置が介装さ
れる。この流体圧力調整装置は、流体圧供給源から供給
された一次側の圧力流体を、二次側に接続される流体圧
機器に対応するように所望の圧力に減圧して二次側に供
給するものである。
【0003】この種の従来技術に係る流体圧力調整装置
として、例えば、特許第2589424号公報に圧力制
御弁が開示されている。この圧力制御弁1は、図3に示
されるように、圧力流体供給源2から供給された一次側
の圧力流体を調圧する主バルブ3が設けられ、前記主バ
ルブ3は、給気用電磁弁4aおよび排気用電磁弁4bに
よって供給されるパイロット圧によってその弁開度が制
御される。前記給気用電磁弁4aおよび排気用電磁弁4
bは、制御回路5からそれぞれ出力される制御信号によ
ってオン/オフ制御される。
として、例えば、特許第2589424号公報に圧力制
御弁が開示されている。この圧力制御弁1は、図3に示
されるように、圧力流体供給源2から供給された一次側
の圧力流体を調圧する主バルブ3が設けられ、前記主バ
ルブ3は、給気用電磁弁4aおよび排気用電磁弁4bに
よって供給されるパイロット圧によってその弁開度が制
御される。前記給気用電磁弁4aおよび排気用電磁弁4
bは、制御回路5からそれぞれ出力される制御信号によ
ってオン/オフ制御される。
【0004】前記主バルブ3によって調圧された二次側
の圧力流体は、流体圧機器に供給されるとともに、通路
6を介して圧力センサ7に導入される。従って、二次側
の圧力流体の圧力は圧力センサ7によって検出され、そ
の検出信号が制御回路5に入力されてフィードバック制
御がなされる。
の圧力流体は、流体圧機器に供給されるとともに、通路
6を介して圧力センサ7に導入される。従って、二次側
の圧力流体の圧力は圧力センサ7によって検出され、そ
の検出信号が制御回路5に入力されてフィードバック制
御がなされる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
従来技術に係る圧力制御弁では、二次側に接続される流
体圧機器の負荷(二次側負荷)の状況によってフィード
バックの位相遅れが発生し、このフィードバックの位相
遅れに起因して種々の問題が生ずる。
従来技術に係る圧力制御弁では、二次側に接続される流
体圧機器の負荷(二次側負荷)の状況によってフィード
バックの位相遅れが発生し、このフィードバックの位相
遅れに起因して種々の問題が生ずる。
【0006】例えば、二次側に大容量からなるタンクを
接続した場合、図4に示されるように、設定圧力に対し
て出力圧力が急激に増大した後に減少する、いわゆるオ
ーバシュート現象が発生する。また、二次側に流体圧機
器を何ら接続することがなく大気開放にして使用された
場合には、図5に示されるように、設定圧力に対して微
小に圧力変動する、いわゆるハンチング現象が発生す
る。
接続した場合、図4に示されるように、設定圧力に対し
て出力圧力が急激に増大した後に減少する、いわゆるオ
ーバシュート現象が発生する。また、二次側に流体圧機
器を何ら接続することがなく大気開放にして使用された
場合には、図5に示されるように、設定圧力に対して微
小に圧力変動する、いわゆるハンチング現象が発生す
る。
【0007】本発明は、前記の問題に鑑みてなされたも
のであり、二次側負荷に影響されることがなく、安定し
た圧力値からなる圧力流体を二次側から導出することが
可能な流体圧力調整装置を提供することを目的とする。
のであり、二次側負荷に影響されることがなく、安定し
た圧力値からなる圧力流体を二次側から導出することが
可能な流体圧力調整装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、流体圧力によって作動する流体圧機器
に対し、減圧調整された所定の流体圧力を供給する流体
圧力調整装置であって、圧力流体供給源に接続される供
給ポートと、流体圧機器に接続される調圧ポートとを有
するハウジングと、前記ハウジング内に設けられたパイ
ロット室に対し、入力信号に対応して制御されたパイロ
ット圧を供給する制御機構と、前記制御機構によって制
御されたパイロット圧の作用下に、前記ハウジングの内
部に軸線方向に沿って変位自在に設けられ、着座部に着
座することにより、前記供給ポートと前記調圧ポートと
の連通を遮断する弁体と、前記パイロット室に連通する
フィードバック通路を介して導入されるパイロット圧を
検出して前記制御機構に検出信号を導出する圧力センサ
と、を備え、前記制御機構は、入力信号と圧力センサか
ら導出される検出信号との偏差に基づいてフィードバッ
ク制御することを特徴とする。
めに、本発明は、流体圧力によって作動する流体圧機器
に対し、減圧調整された所定の流体圧力を供給する流体
圧力調整装置であって、圧力流体供給源に接続される供
給ポートと、流体圧機器に接続される調圧ポートとを有
するハウジングと、前記ハウジング内に設けられたパイ
ロット室に対し、入力信号に対応して制御されたパイロ
ット圧を供給する制御機構と、前記制御機構によって制
御されたパイロット圧の作用下に、前記ハウジングの内
部に軸線方向に沿って変位自在に設けられ、着座部に着
座することにより、前記供給ポートと前記調圧ポートと
の連通を遮断する弁体と、前記パイロット室に連通する
フィードバック通路を介して導入されるパイロット圧を
検出して前記制御機構に検出信号を導出する圧力センサ
と、を備え、前記制御機構は、入力信号と圧力センサか
ら導出される検出信号との偏差に基づいてフィードバッ
ク制御することを特徴とする。
【0009】本発明によれば、パイロット室に連通する
フィードバック通路によって導入されるパイロット圧を
圧力センサによって検出し、前記圧力センサからの検出
信号を制御機構に導入してフィードバック制御を行う。
フィードバック通路によって導入されるパイロット圧を
圧力センサによって検出し、前記圧力センサからの検出
信号を制御機構に導入してフィードバック制御を行う。
【0010】従って、制御対象であるパイロット室の容
積が小さいために位相遅れがなくなり、制御機構に導入
される入力信号に対してパイロット室のパイロット圧を
安定して保持することができる。
積が小さいために位相遅れがなくなり、制御機構に導入
される入力信号に対してパイロット室のパイロット圧を
安定して保持することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明に係る流体圧力調整装置に
ついて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しな
がら以下詳細に説明する。
ついて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しな
がら以下詳細に説明する。
【0012】図1において、参照数字10は、本発明の
実施の形態に係る流体圧力調整装置を示す。
実施の形態に係る流体圧力調整装置を示す。
【0013】この流体圧力調整装置10は、基本的に
は、略直方体状を呈するボデイ部12と、前記ボデイ部
12の上部に一体的に連結されるカバー部材14とから
構成される。なお、前記ボデイ部12およびカバー部材
14は、ハウジングとして機能するものである。
は、略直方体状を呈するボデイ部12と、前記ボデイ部
12の上部に一体的に連結されるカバー部材14とから
構成される。なお、前記ボデイ部12およびカバー部材
14は、ハウジングとして機能するものである。
【0014】ボデイ部12には、圧力流体供給源22に
接続される供給ポート24と流体圧機器(二次側負荷)
26側に接続される調圧ポート28とが所定間隔離間し
て同軸状に形成されている。前記供給ポート24と調圧
ポート28との間には、該供給ポート24と調圧ポート
28とを連通させる連通路30が形成される。
接続される供給ポート24と流体圧機器(二次側負荷)
26側に接続される調圧ポート28とが所定間隔離間し
て同軸状に形成されている。前記供給ポート24と調圧
ポート28との間には、該供給ポート24と調圧ポート
28とを連通させる連通路30が形成される。
【0015】前記ボデイ部12の下部側には、前記連通
路30に連通する凹部32が形成され、前記凹部32に
は後述する供給用弁体34aが上下方向に沿って摺動自
在に設けられる。前記凹部32の内壁面には、環状溝を
介して供給用弁体34aに摺接するシール部材36aが
装着されている。
路30に連通する凹部32が形成され、前記凹部32に
は後述する供給用弁体34aが上下方向に沿って摺動自
在に設けられる。前記凹部32の内壁面には、環状溝を
介して供給用弁体34aに摺接するシール部材36aが
装着されている。
【0016】ボデイ部12の略中央部には排気ポート3
8を介して大気に連通する室40が形成され、前記室4
0には、上下方向に沿って延在する長尺なロッド部材4
4が配設される。前記ロッド部材44の一端部は、供給
用弁体34aの上部に当接するように設けられている。
前記供給用弁体34aの上部側の外周面には、ゴム等の
弾性材料によって形成され、着座部46aに着座してシ
ールするシール部材48aが装着されている。
8を介して大気に連通する室40が形成され、前記室4
0には、上下方向に沿って延在する長尺なロッド部材4
4が配設される。前記ロッド部材44の一端部は、供給
用弁体34aの上部に当接するように設けられている。
前記供給用弁体34aの上部側の外周面には、ゴム等の
弾性材料によって形成され、着座部46aに着座してシ
ールするシール部材48aが装着されている。
【0017】この場合、前記供給用弁体34aは、第1
ばね部材52aのばね力の作用下に着座部46aに着座
して供給ポート24と調圧ポート28との連通が遮断さ
れた弁閉状態となるように、常時、付勢されている。一
方、第1ばね部材52aのばね力に抗してロッド部材4
4が供給用弁体34aを下方側に向かって押圧すること
によりシール部材48aが着座部46aから離間し、供
給ポート24と調圧ポート28とが連通路30を介して
連通する弁開状態となる。
ばね部材52aのばね力の作用下に着座部46aに着座
して供給ポート24と調圧ポート28との連通が遮断さ
れた弁閉状態となるように、常時、付勢されている。一
方、第1ばね部材52aのばね力に抗してロッド部材4
4が供給用弁体34aを下方側に向かって押圧すること
によりシール部材48aが着座部46aから離間し、供
給ポート24と調圧ポート28とが連通路30を介して
連通する弁開状態となる。
【0018】また、ロッド部材44の中間部には、前記
供給用弁体34aと線対称に配置された排気用弁体34
bが設けられる。なお、前記排気用弁体34bは、供給
用弁体34aと略同一構成要素によって構成され、同一
の参照数字に符号bを付してその詳細な説明を省略す
る。
供給用弁体34aと線対称に配置された排気用弁体34
bが設けられる。なお、前記排気用弁体34bは、供給
用弁体34aと略同一構成要素によって構成され、同一
の参照数字に符号bを付してその詳細な説明を省略す
る。
【0019】この排気用弁体34bは、第2ばね部材5
2bのばね力に抗してロッド部材44が上昇し、該ロッ
ド部材44の外周面に装着されたリング体53に係止さ
れて一体的に上昇することにより、シール部材48bが
着座部46bから離間して弁開状態となる。従って、排
気用弁体34bが弁開状態となることにより、調圧ポー
ト28側の圧力流体が排気ポート38を介して外部に排
気される。
2bのばね力に抗してロッド部材44が上昇し、該ロッ
ド部材44の外周面に装着されたリング体53に係止さ
れて一体的に上昇することにより、シール部材48bが
着座部46bから離間して弁開状態となる。従って、排
気用弁体34bが弁開状態となることにより、調圧ポー
ト28側の圧力流体が排気ポート38を介して外部に排
気される。
【0020】ボデイ部12の上部側には、外周縁部が挟
持されたダイヤフラム54が介装され、前記ダイヤフラ
ム54の上部側には、該ダイヤフラム54と凹部56と
によってパイロット室58が形成されている。前記ダイ
ヤフラム54には、上面側と下面側との間で該ダイヤフ
ラム54を挟持する一組のディスク部材60a、60b
が設けられ、前記上側のディスク部材60aの中心部に
ロッド部材44の他端部が固定されている。
持されたダイヤフラム54が介装され、前記ダイヤフラ
ム54の上部側には、該ダイヤフラム54と凹部56と
によってパイロット室58が形成されている。前記ダイ
ヤフラム54には、上面側と下面側との間で該ダイヤフ
ラム54を挟持する一組のディスク部材60a、60b
が設けられ、前記上側のディスク部材60aの中心部に
ロッド部材44の他端部が固定されている。
【0021】従って、パイロット室58に供給される圧
力流体の作用下に、ダイヤフラム54、一組のディスク
部材60a、60bおよびロッド部材44が上下方向に
沿って一体的に変位するように設けられている。
力流体の作用下に、ダイヤフラム54、一組のディスク
部材60a、60bおよびロッド部材44が上下方向に
沿って一体的に変位するように設けられている。
【0022】カバー部材14の内部には、ノーマルクロ
ーズタイプの二方弁からなる給気用電磁弁76と排気用
電磁弁78とが所定間隔離間して配設されている。給気
用電磁弁76には、供給ポート24に連通する第1通路
80を介して圧力流体供給源22から圧力流体が供給さ
れる。また、給気用電磁弁76と排気用電磁弁78との
間には第2通路82が設けられ、前記第2通路82から
分岐する第3通路84によってパイロット室58に連通
接続されている。さらに、排気用電磁弁78には大気に
連通する排気通路86が接続され、前記排気通路86を
介して外部に排気可能に設けられている。
ーズタイプの二方弁からなる給気用電磁弁76と排気用
電磁弁78とが所定間隔離間して配設されている。給気
用電磁弁76には、供給ポート24に連通する第1通路
80を介して圧力流体供給源22から圧力流体が供給さ
れる。また、給気用電磁弁76と排気用電磁弁78との
間には第2通路82が設けられ、前記第2通路82から
分岐する第3通路84によってパイロット室58に連通
接続されている。さらに、排気用電磁弁78には大気に
連通する排気通路86が接続され、前記排気通路86を
介して外部に排気可能に設けられている。
【0023】この場合、前記給気用電磁弁76は、パイ
ロット室58に供給されるパイロット圧を制御する給気
弁として機能し、前記排気用電磁弁78は、給気用電磁
弁76に供給された圧力流体を外部に排気する排気弁と
して機能するものであり、図示しない電磁コイルに対し
て制御回路92から電流信号(パルス信号)が導出され
ることにより、それぞれ適宜にオン/オフ制御される。
なお、前記制御回路92には、設定圧力および二次側圧
力等をデジタル表示する圧力表示部94が接続されてい
る。
ロット室58に供給されるパイロット圧を制御する給気
弁として機能し、前記排気用電磁弁78は、給気用電磁
弁76に供給された圧力流体を外部に排気する排気弁と
して機能するものであり、図示しない電磁コイルに対し
て制御回路92から電流信号(パルス信号)が導出され
ることにより、それぞれ適宜にオン/オフ制御される。
なお、前記制御回路92には、設定圧力および二次側圧
力等をデジタル表示する圧力表示部94が接続されてい
る。
【0024】さらに、カバー部材14の内部には、第3
通路84から分岐するフィードバック通路88を介して
パイロット室58に供給される圧力流体の圧力を検知す
る圧力センサ96が配設され、前記圧力センサ96の検
出信号は、図示しない電気回路基板およびコネクタ等を
備える制御回路92に導出される。前記制御回路92で
は、予め設定された流体圧力と検出信号に対応する流体
圧力とを比較し、その偏差が零となるようにフィードバ
ック制御がなされる。
通路84から分岐するフィードバック通路88を介して
パイロット室58に供給される圧力流体の圧力を検知す
る圧力センサ96が配設され、前記圧力センサ96の検
出信号は、図示しない電気回路基板およびコネクタ等を
備える制御回路92に導出される。前記制御回路92で
は、予め設定された流体圧力と検出信号に対応する流体
圧力とを比較し、その偏差が零となるようにフィードバ
ック制御がなされる。
【0025】この場合、図示しないコネクタを介して制
御回路92から出力される制御信号によってそれぞれ給
気用電磁弁76および排気用電磁弁78を付勢・滅勢す
ることにより、第3通路84を介してパイロット室58
に供給されるパイロット圧が制御される。
御回路92から出力される制御信号によってそれぞれ給
気用電磁弁76および排気用電磁弁78を付勢・滅勢す
ることにより、第3通路84を介してパイロット室58
に供給されるパイロット圧が制御される。
【0026】また、調圧ポート28の近傍には、調圧さ
れた二次側の圧力流体をダイヤフラム54の下部側に設
けられた室97に供給する第4通路98が形成されてい
る。なお、前記室97は、ロッド部材44の外周面を囲
繞するシールリング99によって気密に保持されてい
る。
れた二次側の圧力流体をダイヤフラム54の下部側に設
けられた室97に供給する第4通路98が形成されてい
る。なお、前記室97は、ロッド部材44の外周面を囲
繞するシールリング99によって気密に保持されてい
る。
【0027】本発明の実施の形態に係る流体圧力調整装
置10は、基本的には以上のように構成されるものであ
り、次にその動作並びに作用効果について説明する。
置10は、基本的には以上のように構成されるものであ
り、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【0028】なお、流体圧力調整装置10は、電源がオ
ンされた状態にあるとともに、図1に示されるように、
供給用弁体34aが着座部46aに着座して弁閉状態と
なっている状態を初期位置とする。
ンされた状態にあるとともに、図1に示されるように、
供給用弁体34aが着座部46aに着座して弁閉状態と
なっている状態を初期位置とする。
【0029】初期位置において、圧力流体供給源22の
付勢作用下に圧力流体を供給ポート24に供給する。前
記供給ポート24に供給された圧力流体は、第1通路8
0を介して給気用電磁弁76および排気用電磁弁78に
それぞれ導入され、制御回路92から出力される制御信
号(オン/オフ信号)によって給気用電磁弁76および
/または排気用電磁弁78をそれぞれオン/オフ制御す
ることにより、所定の圧力にパイロット圧が制御され
る。
付勢作用下に圧力流体を供給ポート24に供給する。前
記供給ポート24に供給された圧力流体は、第1通路8
0を介して給気用電磁弁76および排気用電磁弁78に
それぞれ導入され、制御回路92から出力される制御信
号(オン/オフ信号)によって給気用電磁弁76および
/または排気用電磁弁78をそれぞれオン/オフ制御す
ることにより、所定の圧力にパイロット圧が制御され
る。
【0030】前記給気用電磁弁76および/または排気
用電磁弁78によって制御されたパイロット圧は、第3
通路84を介してダイヤフラム54の上部側に設けられ
たパイロット室58に供給される。前記パイロット圧の
作用下に、ダイヤフラム54、一組のディスク部材60
a、60bおよびロッド部材44が一体的に下降する。
ロッド部材44が下降することにより、供給用弁体34
aは、第1ばね部材52aのばね力に抗して下方側に向
かって変位し、シール部材48aが着座部46aから離
間することにより弁開状態となる。
用電磁弁78によって制御されたパイロット圧は、第3
通路84を介してダイヤフラム54の上部側に設けられ
たパイロット室58に供給される。前記パイロット圧の
作用下に、ダイヤフラム54、一組のディスク部材60
a、60bおよびロッド部材44が一体的に下降する。
ロッド部材44が下降することにより、供給用弁体34
aは、第1ばね部材52aのばね力に抗して下方側に向
かって変位し、シール部材48aが着座部46aから離
間することにより弁開状態となる。
【0031】従って、供給ポート24に供給された圧力
流体は、供給用弁体34aのシール部材48aと着座部
46aとのクリアランスを介して所定の圧力流体に減圧
された後、調圧ポート28から二次側負荷として機能す
る流体圧機器26に対して設定圧力値に調圧された二次
側の圧力流体が供給される。
流体は、供給用弁体34aのシール部材48aと着座部
46aとのクリアランスを介して所定の圧力流体に減圧
された後、調圧ポート28から二次側負荷として機能す
る流体圧機器26に対して設定圧力値に調圧された二次
側の圧力流体が供給される。
【0032】パイロット室58に供給されるパイロット
圧は、第3通路84から分岐するフィードバック通路8
8を介して圧力センサ96に導入され、制御回路92は
圧力センサ96から出力される検出信号に基づいてフィ
ードバック制御がなされる。
圧は、第3通路84から分岐するフィードバック通路8
8を介して圧力センサ96に導入され、制御回路92は
圧力センサ96から出力される検出信号に基づいてフィ
ードバック制御がなされる。
【0033】このように、パイロット室58に供給され
る圧力流体の圧力によってダイヤフラム54と一体的に
ロッド部材44を上下方向に沿って変位させることによ
り、供給用弁体34aの開閉作用によって減圧効果が営
まれる。
る圧力流体の圧力によってダイヤフラム54と一体的に
ロッド部材44を上下方向に沿って変位させることによ
り、供給用弁体34aの開閉作用によって減圧効果が営
まれる。
【0034】すなわち、パイロット室58に導入された
パイロット圧の作用下に、ダイヤフラム54および一組
のディスク部材60a、60bには一体的に下方側に向
かって押圧する力が付与され、このダイヤフラム54お
よび一組のディスク部材60a、60bを下方側に向か
って押圧する力と第1ばね部材52aのばね力とが平衡
することにより、供給用弁体34aが着座部46aに着
座して弁閉状態となり、予め設定された所望の流体圧力
が調圧ポート28を介して流体圧機器26側に供給され
る。
パイロット圧の作用下に、ダイヤフラム54および一組
のディスク部材60a、60bには一体的に下方側に向
かって押圧する力が付与され、このダイヤフラム54お
よび一組のディスク部材60a、60bを下方側に向か
って押圧する力と第1ばね部材52aのばね力とが平衡
することにより、供給用弁体34aが着座部46aに着
座して弁閉状態となり、予め設定された所望の流体圧力
が調圧ポート28を介して流体圧機器26側に供給され
る。
【0035】本実施の形態では、パイロット室58に対
してパイロット圧を供給する第3通路84から分岐する
フィードバック通路88によって前記パイロット圧を圧
力センサ96によって検出し、その検出信号を制御回路
92に導入してフィードバック制御を行うことにより、
制御対象であるパイロット室58の容積が小さいために
位相遅れがなくなり、制御回路92に導入される入力信
号に対してパイロット室58のパイロット圧を安定して
保持することができる。
してパイロット圧を供給する第3通路84から分岐する
フィードバック通路88によって前記パイロット圧を圧
力センサ96によって検出し、その検出信号を制御回路
92に導入してフィードバック制御を行うことにより、
制御対象であるパイロット室58の容積が小さいために
位相遅れがなくなり、制御回路92に導入される入力信
号に対してパイロット室58のパイロット圧を安定して
保持することができる。
【0036】従って、本実施の形態では、二次側の負荷
条件(二次側負荷)が、例えば、大容量のタンク、また
は大気開放等のように変化した場合であっても、調圧ポ
ート28から出力される二次側圧力は、第4通路98を
介してダイヤフラム54の下部側に設けられた室97に
供給されて該ダイヤフラム54に作用するだけであり、
図2に示されるように、入力信号に対して安定した出力
圧力が得られる。
条件(二次側負荷)が、例えば、大容量のタンク、また
は大気開放等のように変化した場合であっても、調圧ポ
ート28から出力される二次側圧力は、第4通路98を
介してダイヤフラム54の下部側に設けられた室97に
供給されて該ダイヤフラム54に作用するだけであり、
図2に示されるように、入力信号に対して安定した出力
圧力が得られる。
【0037】この結果、本実施の形態では、二次側負荷
の影響がフィードバック制御に直接的に影響することが
ないため、オーバシュート現象およびハンチング現象等
が発生することを未然に防止して、調圧ポート28から
導出される二次側圧力の圧力値の安定性を向上させるこ
とができる。
の影響がフィードバック制御に直接的に影響することが
ないため、オーバシュート現象およびハンチング現象等
が発生することを未然に防止して、調圧ポート28から
導出される二次側圧力の圧力値の安定性を向上させるこ
とができる。
【0038】
【発明の効果】本発明に係る流体圧力調整装置によれ
ば、以下の効果が得られる。
ば、以下の効果が得られる。
【0039】すなわち、制御対象であるパイロット室の
容積が小さいために位相遅れがなくなり、制御機構に導
入される入力信号に対してパイロット室のパイロット圧
を安定して保持することができる。従って、二次側負荷
に影響されることがなく、安定した圧力値からなる圧力
流体を二次側に接続された流体圧機器に導出することが
できる。
容積が小さいために位相遅れがなくなり、制御機構に導
入される入力信号に対してパイロット室のパイロット圧
を安定して保持することができる。従って、二次側負荷
に影響されることがなく、安定した圧力値からなる圧力
流体を二次側に接続された流体圧機器に導出することが
できる。
【図1】本発明の実施の形態に係る流体圧力調整装置の
軸線方向に沿った概略構成縦断面図である。
軸線方向に沿った概略構成縦断面図である。
【図2】図1の流体圧力調整装置において、設定圧力と
出力圧力との関係を示す動作説明図である。
出力圧力との関係を示す動作説明図である。
【図3】従来技術に係る圧力制御弁の概略構成回路図で
ある。
ある。
【図4】図3の圧力制御弁において、オーバーシュート
現象が発生した状態を示す説明図である。
現象が発生した状態を示す説明図である。
【図5】図3の圧力制御弁において、ハンチング現象が
発生した状態を示す説明図である。
発生した状態を示す説明図である。
10…流体圧力調整装置 12…ボデイ部 14…カバー部材 22…圧力流体供給
源 24…供給ポート 28…調圧ポート 34a…供給用弁体 34b…排気用弁体 38…排気ポート 44…ロッド部材 46a、46b…着座部 52a、52b…ば
ね部材 54…ダイヤフラム 58…パイロット室 60a、60b…ディスク部材 76…給気用電磁弁 78…排気用電磁弁 80、82、84、
98…通路 88…フィードバック通路 96…圧力センサ
源 24…供給ポート 28…調圧ポート 34a…供給用弁体 34b…排気用弁体 38…排気ポート 44…ロッド部材 46a、46b…着座部 52a、52b…ば
ね部材 54…ダイヤフラム 58…パイロット室 60a、60b…ディスク部材 76…給気用電磁弁 78…排気用電磁弁 80、82、84、
98…通路 88…フィードバック通路 96…圧力センサ
Claims (1)
- 【請求項1】流体圧力によって作動する流体圧機器に対
し、減圧調整された所定の流体圧力を供給する流体圧力
調整装置であって、 圧力流体供給源に接続される供給ポートと、流体圧機器
に接続される調圧ポートとを有するハウジングと、 前記ハウジング内に設けられたパイロット室に対し、入
力信号に対応して制御されたパイロット圧を供給する制
御機構と、 前記制御機構によって制御されたパイロット圧の作用下
に、前記ハウジングの内部に軸線方向に沿って変位自在
に設けられ、着座部に着座することにより、前記供給ポ
ートと前記調圧ポートとの連通を遮断する弁体と、 前記パイロット室に連通するフィードバック通路を介し
て導入されるパイロット圧を検出して前記制御機構に検
出信号を導出する圧力センサと、 を備え、前記制御機構は、入力信号と圧力センサから導
出される検出信号との偏差に基づいてフィードバック制
御することを特徴とする流体圧力調整装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001042388A JP2002243059A (ja) | 2001-02-19 | 2001-02-19 | 流体圧力調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001042388A JP2002243059A (ja) | 2001-02-19 | 2001-02-19 | 流体圧力調整装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002243059A true JP2002243059A (ja) | 2002-08-28 |
Family
ID=18904688
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001042388A Pending JP2002243059A (ja) | 2001-02-19 | 2001-02-19 | 流体圧力調整装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002243059A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190032273A (ko) * | 2016-03-30 | 2019-03-27 | 메트소 플로우 컨트롤 오와이 | 유체 밸브 어셈블리, 프로세스 밸브 포지셔너 및 프로세스 밸브의 제어에서의 유체 밸브 어셈블리의 사용 |
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JP2000136882A (ja) * | 1999-12-06 | 2000-05-16 | Ckd Corp | 真空用圧力制御弁 |
-
2001
- 2001-02-19 JP JP2001042388A patent/JP2002243059A/ja active Pending
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