JPH10318423A - サックバックバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】振動に起因する液だれを防止することにある。 【解決手段】サックバックバルブ２０は、第１ダイヤフ
ラム５６が着座部５９に着座して流体通路３８を閉塞す
る際、前記第１ダイヤフラム５６の運動エネルギを吸収
する第１緩衝機構３０と、第２変位部材１０２がストッ
パ８１に当接する際、該第２変位部材１０２の運動エネ
ルギを吸収する第２緩衝機構３２とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ダイヤフラムの変
位作用下に流体通路を流通する所定量の流体を吸引する
ことにより、例えば、前記流体の供給口の液だれを防止
することが可能なサックバックバルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、例えば、半導体ウェハ等の製
造工程においてサックバックバルブ（suck back valve
）が使用されている。このサックバックバルブは、半
導体ウェハに対するコーティング液の供給を停止した
際、供給口から微量のコーティング液が半導体ウェハに
向かって滴下する、いわゆる液だれを防止する機能を有
する。

【０００３】ここで、従来技術に係るサックバックバル
ブ（例えば、実公平８−１０３９９号公報参照）を図５
に示す。

【０００４】このサックバックバルブ１は、流体導入ポ
ート２と流体導出ポート３とを連通させる流体通路４が
形成された弁本体５と、前記弁本体５の上部に連結され
るボンネット６とを有する。前記流体通路４の中央部に
は、厚肉部および薄肉部から構成されたダイヤフラム７
が設けられている。前記ボンネット６には、図示しない
圧力流体供給源に接続され、切換弁（図示せず）の切換
作用下に前記ダイヤフラム作動用の圧縮空気を供給する
圧力流体供給ポート８が形成される。

【０００５】前記ダイヤフラム７にはピストン９が嵌合
され、前記ピストン９には、弁本体５の内壁面を摺動す
るとともにシール機能を営むｖパッキン１０が装着され
ている。また、弁本体５内には、ピストン９を上方に向
かって常時押圧するスプリング１１が設けられている。

【０００６】なお、参照数字１２は、ねじ込み量の増減
作用下にダイヤフラム７によって吸引されるコーティン
グ液の流量を調整するとともに、ピストン９に当接して
該ピストン９の変位量を規制するストッパを示す。

【０００７】前記流体導入ポート２には、コーティング
液が貯留された図示しないコーティング液供給源がチュ
ーブ等の管路を介して接続され、さらに、前記コーティ
ング液供給源と前記流体導入ポート２との間には、サッ
クバックバルブ１と別体で構成されたオン／オフ弁（図
示せず）が接続されている。このオン／オフ弁は、その
付勢・滅勢作用下に該サックバックバルブ１に対するコ
ーティング液の供給状態と供給停止状態とを切り換える
機能を営む。

【０００８】このサックバックバルブ１の概略動作を説
明すると、流体導入ポート２から流体導出ポート３に向
かってコーティング液が供給されている通常の状態で
は、圧力流体供給ポート８から供給された圧縮空気の作
用下にピストン９およびダイヤフラム７が下方向に向か
って一体的に変位し、ピストン９に連結されたダイヤフ
ラム７が、図６中の二点鎖線で示すように流体通路４内
に突出している。

【０００９】そこで、図示しないオン／オフ弁の切換作
用下に流体通路４内のコーティング液の流通を停止した
場合、圧力流体供給ポート８からの圧縮空気の供給を停
止させることにより、スプリング１１の弾発力の作用下
にピストン９およびダイヤフラム７が一体的に上昇し、
前記ダイヤフラム７の負圧作用下に流体通路４内に残存
する所定量のコーティング液が吸引され、図示しない供
給口における液だれが防止される。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
従来技術に係るサックバックバルブでは、ばね部材の弾
発力の作用下に上昇するピストンがストッパに当接する
ことによりその上限位置が規制されるが、その際、前記
ピストンの運動エネルギによって振動が発生する。前記
振動は、流体通路を伝搬して図示しない供給口に残存す
るコーティング液に作用し、前記コーティング液が半導
体ウェハに向かって滴下するという不都合がある。

【００１１】同様に、オン／オフ弁の弁体が変位して着
座部に着座する際にも振動が発生し、前記振動が流体通
路を伝搬して図示しない供給口に残存するコーティング
液に作用し、前記コーティング液が半導体ウェハに向か
って滴下するという不都合がある。

【００１２】また、従来技術に係るサックバックバルブ
では、該サックバックバルブとオン／オフ弁との間の配
管接続作業が必要となって煩雑であるとともに、サック
バックバルブ以外にオン／オフ弁を付設するための占有
スペースが必要となり、設置スペースが増大するという
不都合がある。

【００１３】さらに、サックバックバルブとオン／オフ
弁との間に接続される配管によって流路抵抗が増大し、
ダイヤフラムの応答精度が劣化するという不都合があ
る。

【００１４】本発明は、前記の種々の不都合を悉く克服
するためになされたものであり、配管接続作業を不要と
するとともに設置スペースの省力化を図り、ダイヤフラ
ムの応答精度を向上させ、しかも振動に起因する液だれ
を防止することが可能なサックバックバルブを提供する
ことを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、流体通路を有し、一端部に第１ポート
が形成され他端部に第２ポートが形成された継手部と、
パイロット圧によって変位する第１可撓性部材の負圧作
用によって前記流体通路内の流体を吸引するサックバッ
ク機構と、パイロット圧によって変位する第２可撓性部
材を介して前記流体通路を開閉するオン／オフ弁と、前
記第１可撓性部材の変位量を規制するストッパと、前記
第１可撓性部材がストッパに当接する際、該第１可撓性
部材の運動エネルギを吸収する緩衝機構と、を備えるこ
とを特徴とする。

【００１６】また、本発明は、流体通路を有し、一端部
に第１ポ ートが形成され他端部に第２ポートが形成さ
れた継手部と、パイロット圧によって変位する第１可撓
性部材の負圧作用によって前記流体通路内の流体を吸引
するサックバック機構と、パイロット圧によって変位す
る第２可撓性部材を介して前記流体通路を開閉するオン
／オフ弁と、前記第２可撓性部材が着座部に着座して前
記流体通路を閉塞する際、該第２可撓性部材の運動エネ
ルギを吸収する緩衝機構と、を備えることを特徴とす
る。

【００１７】さらに、本発明は、流体通路を有し、一端
部に第１ポートが形成され他端部に第２ポートが形成さ
れた継手部と、パイロット圧によって変位する第１可撓
性部材の負圧作用によって前記流体通路内の流体を吸引
するサックバック機構と、パイロット圧によって変位す
る第２可撓性部材を介して前記流体通路を開閉するオン
／オフ弁と、前記第１可撓性部材の変位量を規制するス
トッパと、前記第１可撓性部材がストッパに当接する
際、該第１可撓性部材の運動エネルギを吸収する第１緩
衝機構と、前記第２可撓性部材が着座部に着座して前記
流体通路を閉塞する際、該第２可撓性部材の運動エネル
ギを吸収する第２緩衝機構と、を備えることを特徴とす
る。

【００１８】本発明によれば、緩衝機構を設けることに
より、第１可撓性部材がストッパに当接する際、該第１
可撓性部材の運動エネルギが吸収される。この結果、第
１可撓性部材がストッパに当接する際に発生する振動が
抑制される。

【００１９】また、本発明によれば、緩衝機構を設ける
ことにより、第２可撓性部材が着座部に着座して前記流
体通路を閉塞する際、該第２可撓性部材の運動エネルギ
が吸収される。この結果、第２可撓性部材が着座部に着
座する際に発生する振動が抑制される。

【００２０】

【発明の実施の形態】本発明に係るサックバックバルブ
について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照し
ながら以下詳細に説明する。

【００２１】図１において参照数字２０は、本発明の実
施の形態に係るサックバックバルブを示す。このサック
バックバルブ２０は、一組のチューブ２２ａ、２２ｂが
それぞれ着脱自在に接続される継手部２４と、前記継手
部２４の上部に並設されるオン／オフ弁２６およびサッ
クバック機構２８と、前記オン／オフ弁２６およびサッ
クバック機構２８にそれぞれ付設され、該オン／オフ弁
２６およびサックバック機構２８の運動エネルギを吸収
する第１緩衝機構３０および第２緩衝機構３２とを有す
る。

【００２２】なお、前記継手部２４、オン／オフ弁２６
およびサックバック機構２８は、それぞれ一体的に組み
付けて構成される。

【００２３】継手部２４には、一端部に第１ポート３
４、他端部に第２ポート３６が形成されるとともに、前
記第１ポート３４と第２ポート３６とを連通させる流体
通路３８が設けられた継手ボデイ４０と、前記第１ポー
ト３４および第２ポート３６にそれぞれ係合し、且つチ
ューブ２２ａ、２２ｂの開口部に挿入されるインナ部材
４２と、前記継手ボデイ４０の端部に刻設されたねじ溝
に螺入することによりチューブ２２ａ、２２ｂの接続部
位の液密性を保持するロックナット４４とを有する。

【００２４】第１ポート３４に近接する継手部２４の上
部にはオン／オフ弁２６が配設され、前記オン／オフ弁
２６は、継手ボデイ４０と一体的に連結された第１弁ボ
デイ４６と、前記第１弁ボデイ４６の内部に形成された
シリンダ室４８に沿って矢印Ｘ₁ またはＸ₂ 方向に変位
するピストン５０とを有する。

【００２５】この場合、前記ピストン５０は、後述する
ばね部材５４の弾発力によって、常時、下方側（矢印Ｘ
₂ 方向）に向かって付勢された状態にある。

【００２６】前記ピストン５０の下端部には、第１ダイ
ヤフラム５６（第２可撓性部材）によって閉塞された第
１ダイヤフラム室５８が形成され、前記第１ダイヤフラ
ム５６は、ピストン５０の下端部に連結されて該ピスト
ン５０と一体的に変位するように設けられる。この場
合、前記第１ダイヤフラム５６は、継手ボデイ４０に形
成された着座部５９から離間し、または前記着座部５９
に着座することにより流体通路３８を開閉する機能を営
む。従って、オン／オフ弁２６の開閉作用下に、流体通
路３８を流通する流体（例えば、コーティング液）の供
給状態またはその供給停止状態が切り換えられる。

【００２７】また、第１ダイヤフラム５６の上面部に
は、例えば、ゴム材料等によって形成され、該第１ダイ
ヤフラム５６の薄肉部を保護するリング状の保護部材６
０が設けられ、前記保護部材６０はピストン５０の下端
部に連結された断面Ｌ字状の保持部材６２によって保持
される。

【００２８】前記第１弁ボデイ４６には、前記シリンダ
室４８に連通する第１パイロットポート６４ａが形成さ
れる。この場合、図示しない圧力流体供給源の駆動作用
下に前記第１パイロットポート６４ａを介してシリンダ
室４８内に圧力流体（パイロット圧）を供給することに
より、ばね部材５４の弾発力に抗してピストン５０が上
昇する。従って、第１ダイヤフラム５６が着座部５９か
ら所定間隔離間することにより流体通路３８が開成し、
第１ポート３４から第２ポート３６側に向かってコーテ
ィング液が流通する。

【００２９】また、第１弁ボデイ４６には、第１ダイヤ
フラム室５８を大気に連通させる通路６６が形成され、
前記通路６６を介して第１ダイヤフラム室５８内のエア
ーを給排気することにより第１ダイヤフラム５６を円滑
に作動させることができる。なお、参照数字６８は、ピ
ストン５０の外周面に嵌着され、シリンダ室４８の気密
性を保持するためのシール部材を示す。

【００３０】オン／オフ弁２６の上方には、第１緩衝機
構３０が設けられ、前記第１緩衝機構３０は、前記第１
弁ボデイ４６と液密に連結された第１ボンネット６９を
含む。前記第１ボンネット６９の内部には、例えば、シ
リコーン油等の非圧縮性流体７１が充填された室７３が
形成され、前記室７３内には、ピストン５０を常時下方
側（矢印Ｘ₂ 方向）に向かって押圧するばね部材５４が
配設される。

【００３１】第１緩衝機構３０は、前記ばね部材５４の
弾発力の作用下に室７３に沿って変位自在に設けられ、
その一端部がピストン５０に当接し且つ該ピストン５０
と一体的に変位する断面Ｔ字状の第１変位部材７５と、
第１弁ボデイ４６の内壁面に係止され、中央部に形成さ
れた孔部によって前記第１変位部材７５を案内するリン
グ状のガイド部材７７とを有する。

【００３２】なお、第１ボンネット６９の内部に形成さ
れた室７３は、前記第１変位部材７５によって上部側室
７３ａおよび下部側室７３ｂに分割され、また、前記ガ
イド部材７７の外周面並びに内周面には、室７３内の液
密性を保持するシール部材７９が嵌着されている。

【００３３】前記第１ボンネット６９の上方の中央部に
は、前記第１変位部材７５の変位量を規制するストッパ
８１と、前記ストッパ８１を固定するロックナット８３
とが設けられ、前記ストッパ８１の頭部には、軸線方向
に沿って延在する貫通孔を閉塞するキャップ部材８３ａ
が設けられる。また、前記ストッパ８１に近接する第１
ボンネット６９の上方には、下部側室７３ｂから上部側
室７３ａに向かって流通する非圧縮性流体７１の流量を
制御する流量制御手段８５が付設されている。

【００３４】この流量制御手段８５は、第１ボンネット
６９と一体的に形成され、該第１ボンネット６９から突
出して形成された円筒状のボデイ８７と、前記ボデイ８
７の孔部内に装着された弁本体部８９と、前記弁本体部
８９の軸線方向に沿って同軸状に形成された異径の第１
孔部９１および第２孔部９３と、前記第１孔部９１に螺
入されその一端部が第２孔部９３に臨むねじ部材９５
と、前記ねじ部材９５を所定の位置で係止するナット部
材９７と、前記弁本体部８９の外周面に装着されるチェ
ック弁９９とを有する。

【００３５】前記弁本体部８９の第１孔部９１と第２孔
部９３との境界部分には、軸線と直交する方向に延在し
且つ第２孔部９３に連通する第３孔部１０１が形成され
る。前記第３孔部１０１は、第１通路１０３を介して上
部側室７３ａに連通するように形成され、また、第２孔
部９３は、第２通路１０５を介して下部側室７３ｂに連
通するように形成される。

【００３６】従って、第１ボンネット６９の上部側室７
３ａおよび下部側室７３ｂにそれぞれ充填された非圧縮
性流体７１は、第１通路１０３、第２通路１０５、第２
孔部９３および第３孔部１０１を介して、前記上部側室
７３ａと下部側室７３ｂとの間で相互に流通するように
設けられている。

【００３７】また、第１孔部９１に螺入されたねじ部材
９５は、そのねじ込み量の増減作用下に弁本体部８９の
軸線方向に沿って進退自在に設けられ、前記ねじ部材９
５の先端部と第２孔部９３との離間間隔を調整すること
により、前記第２孔部９３を流通する非圧縮性流体７１
の流量が絞られる。

【００３８】弁本体部８９の外周部に装着されたチェッ
ク弁９９には、図２に示されるように、可撓性を有する
環状の舌片１０７が形成される。この場合、非圧縮性流
体７１の作用下に前記舌片１０７が外側に撓んで第１ボ
ンネット６９の内壁面に接触することにより、弁本体部
８９とボデイ８７の内壁面との間に形成された通路１０
９が閉塞され、一方、前記舌片１０７が内側に撓むこと
により前記通路１０９を介して非圧縮性流体７１を自在
に流通させることができる。

【００３９】第２ポート３６に近接する継手部２４の上
部にはサックバック機構２８が設けられ、前記サックバ
ック機構２８は、継手ボデイ４０と一体的に連結された
第２弁ボデイ７２と、前記第２弁ボデイ７２の内部に形
成された室７４に沿って矢印Ｘ₁ またはＸ₂ 方向に変位
するステム７６とを有する。前記室７４内には、ステム
７６のフランジに係着されその弾発力によって該ステム
７６を、常時、上方側（矢印Ｘ₁ 方向）に向かって付勢
するばね部材７８が配設されている。

【００４０】前記ステム７６の上部には該ステム７６の
上面部に係合する第２ダイヤフラム８０が張設され、前
記第２ダイヤフラム８０の上方には第２パイロットポー
ト６４ｂに連通する第２ダイヤフラム室（パイロット
室）８２が形成される。この場合、第２ダイヤフラム８
０の薄肉部とステム７６との間には、例えば、ゴム材料
等によって形成されたリング状の保護部材８４が介装さ
れる。

【００４１】一方、ステム７６の下端部には第３ダイヤ
フラム８６（第１可撓性部材）によって閉塞される第３
ダイヤフラム室８８が形成され、前記第３ダイヤフラム
８６は、ステム７６に連結されて該ステム７６と一体的
に変位するように設けられる。

【００４２】前記第３ダイヤフラム８６の上面部には、
該第３ダイヤフラム８６の薄肉部を保護するリング状の
保護部材９０が設けられ、前記保護部材９０はステム７
６の下端部に連結された断面Ｌ字状の保持部材９２によ
って保持される。

【００４３】また、継手ボデイ４０には、第３ダイヤフ
ラム８６の底面の形状に対応する着座部９４が流体通路
３８に臨むように形成される。なお、前記第２弁ボデイ
７２には、第３ダイヤフラム室８８を大気に連通させる
通路９８が形成される。

【００４４】前記第２弁ボデイ７２の上方には、第２緩
衝機構３２が設けられ、前記第２緩衝機構３２は、前記
第２弁ボデイ７２と液密に連結された第２ボンネット１
００を含む。

【００４５】なお、第２緩衝機構３２は、第２変位部材
１０２の一端部が第２ダイヤフラム８０を貫通してステ
ム７６にねじ締結されている点、並びにチェック弁９９
の舌片１０７が逆向き（チェック方向が反対）に装着さ
れている点で第１緩衝機構３０と構成的に異なっている
が、その他の構成は、第１緩衝機構３０と同一である。

【００４６】本実施の形態に係るサックバックバルブ２
０は、基本的には以上のように構成されるものであり、
次にその動作並びに作用効果について説明する。

【００４７】まず、サックバックバルブ２０の第１ポー
ト３４に連通するチューブ２２ａにコーティング液が貯
留されたコーティング液供給源（図示せず）を接続し、
一方、第２ポート３６に連通するチューブ２２ｂに図示
しない半導体ウェハに向かってコーティング液を滴下す
るノズル（図示せず）が設けられたコーティング液滴下
装置（図示せず）を接続する。また、第１パイロットポ
ート６４ａ並びに第２パイロットポート６４ｂに図示し
ない圧力流体供給源をそれぞれ接続しておく。さらに、
流量制御手段８５のねじ部材９５のねじ込み量を増減さ
せて所定の絞り量に調整しておく。

【００４８】このような準備作業を経た後、図示しない
圧力流体供給源を付勢し、切換弁（図示せず）の切換作
用下に第１パイロットポート６４ａ並びに第２パイロッ
トポート６４ｂに対し圧力流体（圧縮空気）を供給す
る。

【００４９】第２パイロットポート６４ｂから導入され
た圧力流体は、第２ダイヤフラム室８２に供給され、前
記第２ダイヤフラム室８２に供給されたパイロット圧の
作用下に第２ダイヤフラム８０が撓曲してステム７６を
矢印Ｘ₂ 方向に押圧する。この結果、ステム７６の下端
部に連結された第３ダイヤフラム８６がばね部材７８の
弾発力に抗して矢印Ｘ₂ 方向に変位し、前記第３ダイヤ
フラム８６が着座部９４に着座した状態となる（図１参
照）。

【００５０】この場合、第２変位部材１０２が矢印Ｘ₂
方向に向かってステム７６と一体的に変位することによ
り、下部側室７３ｂに充填された非圧縮性流体７１が流
量制御手段８５を介して上部側室７３ａに向かって流通
する。その際、非圧縮性流体７１の作用下にチェック弁
９９の舌片１０７が内側に撓むことにより通路１０９が
開成し、前記非圧縮性流体７１は、前記通路１０９を流
通して上部側室７３ａに至る。この結果、非圧縮性流体
７１は、ねじ部材９５の先端部と第２孔部９３との離間
間隔によって、その流量が絞られることはない。

【００５１】一方、第１パイロットポート６４ａから導
入された圧力流体（圧縮空気）は、オン／オフ弁２６の
シリンダ室４８に供給され、前記シリンダ室４８に供給
されたパイロット圧は、ばね部材５４の弾発力に抗して
ピストン５０および第１変位部材７５を矢印Ｘ₁ 方向に
変位させる。

【００５２】従って、ピストン５０に連結された第１ダ
イヤフラム５６が着座部５９から離間してオン／オフ弁
２６がオン状態となる。その際、コーティング液供給源
から供給されたコーティング液は、流体通路３８に沿っ
て流通し、図示しないコーティング液滴下装置を介して
コーティング液が半導体ウェハに滴下される。この結
果、半導体ウェハには、所望の膜厚を有するコーティン
グ被膜（図示せず）が形成される。

【００５３】この場合、第１変位部材７５がばね部材５
４の弾発力に抗してピストン５０と一体的に変位するこ
とにより、上部側室７３ａに充填された非圧縮性流体７
１が流量制御手段８５を介して下部側室７３ｂに向かっ
て流通するが、その際、非圧縮性流体７１の作用下にチ
ェック弁９９の舌片１０７が内側に撓むことにより通路
１０９が開成する。従って、前記非圧縮性流体７１は、
前記通路１０９を流通して下部側室７３ｂに至り、ねじ
部材９５の先端部と第２孔部９３との離間間隔によっ
て、その流量が絞られることはない。

【００５４】図示しないコーティング液滴下装置を介し
て所定量のコーティング液が図示しない半導体ウェハに
塗布された後、オン／オフ弁２６のシリンダ室４８に供
給されるパイロット圧を減少させ、オン／オフ弁２６を
オフ状態とする。

【００５５】すなわち、オン／オフ弁２６のシリンダ室
４８に供給されるパイロット圧が減少することにより、
ばね部材５４の弾発力の作用下にピストン５０が矢印Ｘ
₂ 方向に変位し、第１ダイヤフラム５６が着座部５９に
着座する（図２参照）。

【００５６】ばね部材５４の弾発力の作用下に、第１変
位部材７５がピストン５０と一体的に矢印Ｘ₂ 方向に向
かって変位する際、第１ボンネット６９の下部側室７３
ｂに充填された非圧縮性流体７１は、流量制御手段８５
を通過するときに発揮されるチェック機能を介して所定
の流量に絞られた後、上部側室７３ａに供給される。

【００５７】すなわち、下部側室７３ｂに充填された非
圧縮性流体７１が流量制御手段８５を通過する際、チェ
ック弁９９の舌片１０７が第１ボンネット６９の内壁面
に接触して通路１０９が閉塞されるため、非圧縮性流体
７１は第２孔部９３に導入される。この結果、ねじ部材
９５の先端部と第２孔部９３との離間間隔によって非圧
縮性流体７１が所定の流量に絞られた後、第３孔部１０
１および第１通路１０３を経由して上部側室７３ａに供
給される。

【００５８】このように、非圧縮性流体７１の緩衝作用
下に第１変位部材７５およびピストン５０が矢印Ｘ₂ 方
向に向かって一体的に変位するため、前記ピストン５０
が着座部５９に着座する際に発生する運動エネルギを前
記非圧縮性流体７１によって吸収することができる。従
って、前記ピストン５０が着座部５９に着座する際に発
生する振動を抑制することができる。

【００５９】オン／オフ弁２６がオフ状態となって流体
通路３８が遮断されることにより半導体ウェハに対する
コーティング液の供給が停止し、コーティング液滴下装
置のノズル（図示せず）から半導体ウェハに対するコー
ティング液の滴下状態が停止される。この場合、コーテ
ィング液滴下装置のノズル内には、半導体ウェハに滴下
される直前のコーティング液が残存しているため、液だ
れが生ずるおそれがある。

【００６０】そこで、第２パイロットポート６４ｂから
供給されるパイロット圧を減少させることにより、ばね
部材７８の弾発力の作用下に第２ダイヤフラム８０が矢
印Ｘ ₁ 方向に向かって変位する。

【００６１】この場合、ステム７６を介して第３ダイヤ
フラム８６が矢印Ｘ₁ 方向に向かって一体的に変位し、
前記第３ダイヤフラム８６が着座部９４から離間するこ
とにより負圧作用が発生し、流体通路３８内の所定量の
コーティング液が図３中の矢印方向に沿って間隙内に吸
引される。この結果、コーティング液滴下装置のノズル
内に残存する所定量のコーティング液がサックバックバ
ルブ２０側に向かって戻されることにより、半導体ウェ
ハに対する液だれを防止することができる。

【００６２】ばね部材７８の弾発力の作用下に、第２変
位部材１０２がステム７６と一体的に矢印Ｘ₁ 方向に向
かって変位する際、第２ボンネット１００の上部側室７
３ａに充填された非圧縮性流体７１が流量制御手段８５
を通過するときにチェック機能が発揮され、所定の流量
に絞られて下部側室７３ｂに供給される。

【００６３】すなわち、上部側室７３ａに充填された非
圧縮性流体７１が流量制御手段８５を通過する際、チェ
ック弁９９の舌片１０７が第２ボンネット１００の内壁
面に接触してその流通が阻止されるため、非圧縮性流体
７１は、第２孔部９３に導入される。この結果、ねじ部
材９５の先端部と第２孔部９３との離間間隔によって非
圧縮性流体７１が所定の流量に絞られた後、第２通路１
０５を経由して下部側室７３ｂに供給される。

【００６４】このように、非圧縮性流体７１の緩衝作用
下に第２変位部材１０２およびステム７６が矢印Ｘ₁ 方
向に向かって一体的に変位するため、前記第２変位部材
１０２がストッパ８１に当接して変位終端位置に到達し
たときに発生する運動エネルギを前記非圧縮性流体７１
によって吸収することができる。従って、前記第２変位
部材１０２がストッパ８１に当接する際に発生する振動
を抑制することができる。

【００６５】なお、図示しない切換弁の切換作用下に、
再び、第１パイロットポート６４ａおよび第２パイロッ
トポート６４ｂから圧力流体を供給し、オン／オフ弁２
６がオン状態となり且つ第３ダイヤフラム８６を着座部
９４に着座させることにより、半導体ウェハに対するコ
ーティング液の滴下が開始される。

【００６６】本実施の形態では、第１緩衝機構３０およ
び第２緩衝機構３２が有する非圧縮性流体７１の流量制
御機能によって、ピストン５０が着座部５９に着座する
際に発生する振動、並びに第２変位部材１０２がストッ
パ８１に当接する際に発生する振動をそれぞれ抑制する
ことができる。この結果、前記振動に起因する液だれを
阻止することができる。

【００６７】また、本実施の形態では、継手部２４、オ
ン／オフ弁２６およびサックバック機構２８をそれぞれ
一体的に組み付けることにより、従来技術と異なりサッ
クバックバルブ２０とオン／オフ弁２６との間の配管接
続作業が不要となり、オン／オフ弁２６を付設するため
の占有スペースも不要となるために、設置スペースの有
効利用を図ることができる。

【００６８】さらに、本実施の形態では、オン／オフ弁
２６がサックバック機構２８と一体的に形成されている
ため、従来技術においてそれぞれ別体で構成されたもの
を一体的に結合した場合と比較して、装置全体の小型化
を達成することができる。

【００６９】さらにまた、パイロット圧によって作動す
る第２ダイヤフラム８０の応答精度を高めることが可能
となり、流体通路３８内に残存するコーティング液を迅
速に吸引することができる。

【００７０】次に、本発明の他の実施の形態に係るサッ
クバックバルブ１１０を図４に示す。このサックバック
バルブ１１０は、サックバック機構２８側に第２緩衝機
構３２が設けられていない点で図１に示す実施の形態と
異なるが、その他の構成、並びに作用効果は、それぞれ
同一であるので詳細な説明を省略する。

【００７１】

【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。

【００７２】すなわち、第１可撓性部材がストッパに当
接する際、該第１可撓性部材の運動エネルギを吸収する
ことにより、前記第１可撓性部材がストッパに当接する
際に発生する振動が抑制される。この結果、前記振動に
起因する液だれを防止することができる。

【００７３】また、第２可撓性部材が着座部に着座して
前記流体通路を閉塞する際、該第２可撓性部材の運動エ
ネルギを吸収することにより、前記第２可撓性部材が着
座部に着座する際に発生する振動が抑制される。この結
果、前記振動に起因する液だれを防止することができ
る。

【００７４】さらに、サックバックバルブとオン／オフ
弁との間に配管を設ける必要がないため、サックバック
バルブとオン／オフ弁との間の配管接続作業が不要とな
り、しかも、流路抵抗が増大することを回避することが
できる。従って、パイロット圧によって作動する可撓性
部材の応答精度を高めることが可能となり、流体通路内
に残存する圧力流体を迅速に吸引することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るサックバックバルブ
の縦断面図である。

【図２】図１に示すサックバックバルブの部分拡大断面
図である。

【図３】図１に示すサックバックバルブの部分拡大断面
図である。

【図４】本発明の他の実施の形態に係るサックバックバ
ルブの縦断面図である。

【図５】従来技術に係るサックバックバルブの縦断面図
である。

【符号の説明】

２０、１１０…サックバックバルブ ２４…継手部 ２６…オン／オフ弁 ２８…サック
バック機構 ３０、３２…緩衝機構 ３４、３６…
ポート ３８…流体通路 ４８…シリン
ダ室 ５０…ピストン ５４、７８…
ばね部材 ５６、８０、８６…ダイヤフラム ５８、８２、
８８…ダイヤフラム室 ５９、９４…着座部 ６４ａ、６４
ｂ…パイロットポート ６９、１００…ボンネット ７１…非圧縮
性流体 ７３、７３ａ、７３ｂ、７４…室 ７５、１０２
…変位部材 ７７…ガイド部材 ８１…ストッ
パ ８５…流量制御手段 ９９…チェッ
ク弁

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】流体通路を有し、一端部に第１ポートが形
   成され他端部に第２ポートが形成された継手部と、 パイロット圧によって変位する第１可撓性部材の負圧作
   用によって前記流体通路内の流体を吸引するサックバッ
   ク機構と、 パイロット圧によって変位する第２可撓性部材を介して
   前記流体通路を開閉するオン／オフ弁と、 前記第１可撓性部材の変位量を規制するストッパと、 前記第１可撓性部材がストッパに当接する際、該第１可
   撓性部材の運動エネルギを吸収する緩衝機構と、 を備えることを特徴とするサックバックバルブ。
2. 【請求項２】流体通路を有し、一端部に第１ポートが形
   成され他端部に第２ポートが形成された継手部と、 パイロット圧によって変位する第１可撓性部材の負圧作
   用によって前記流体通路内の流体を吸引するサックバッ
   ク機構と、 パイロット圧によって変位する第２可撓性部材を介して
   前記流体通路を開閉するオン／オフ弁と、 前記第２可撓性部材が着座部に着座して前記流体通路を
   閉塞する際、該第２可撓性部材の運動エネルギを吸収す
   る緩衝機構と、 を備えることを特徴とするサックバックバルブ。
3. 【請求項３】流体通路を有し、一端部に第１ポートが形
   成され他端部に第２ポートが形成された継手部と、 パイロット圧によって変位する第１可撓性部材の負圧作
   用によって前記流体通路内の流体を吸引するサックバッ
   ク機構と、 パイロット圧によって変位する第２可撓性部材を介して
   前記流体通路を開閉するオン／オフ弁と、 前記第１可撓性部材の変位量を規制するストッパと、 前記第１可撓性部材がストッパに当接する際、該第１可
   撓性部材の運動エネルギを吸収する第１緩衝機構と、 前記第２可撓性部材が着座部に着座して前記流体通路を
   閉塞する際、該第２可撓性部材の運動エネルギを吸収す
   る第２緩衝機構と、 を備えることを特徴とするサックバックバルブ。
4. 【請求項４】請求項１乃至３のいずれか１項に記載のサ
   ックバックバルブにおいて、緩衝機構は、室内に充填さ
   れた非圧縮性流体を有し、変位部材の変位作用下に通路
   を流通する非圧縮性流体の流量を制御する流量制御手段
   が設けられることを特徴とするサックバックバルブ。
5. 【請求項５】請求項１乃至４のいずれか１項に記載のサ
   ックバックバルブにおいて、継手部、サックバック機構
   およびオン／オフ弁は、それぞれ一体的に組み付けられ
   て設けられることを特徴とするサックバックバルブ。
6. 【請求項６】請求項１乃至５のいずれか１項に記載のサ
   ックバックバルブにおいて、可撓性部材は、ダイヤフラ
   ムからなることを特徴とするサックバックバルブ。
7. 【請求項７】請求項１乃至６のいずれか１項に記載のサ
   ックバックバルブにおいて、サックバック機構は、パイ
   ロットポートから供給されるパイロット圧の作用下に変
   位するダイヤフラムと、弁ボデイ内に変位自在に設けら
   れ前記ダイヤフラムと一体的に変位するステムと、前記
   ステムの一端部に連結され該ステムとともに変位するこ
   とにより負圧作用を営む他のダイヤフラムと、前記ステ
   ムを所定方向に付勢するばね部材とを有することを特徴
   とするサックバックバルブ。