JP2001141083A - 定圧レギュレータ - Google Patents
定圧レギュレータInfo
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- pressure
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D16/00—Control of fluid pressure
- G05D16/04—Control of fluid pressure without auxiliary power
- G05D16/06—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule
- G05D16/063—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule the sensing element being a membrane
- G05D16/0644—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule the sensing element being a membrane the membrane acting directly on the obturator
- G05D16/0652—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule the sensing element being a membrane the membrane acting directly on the obturator using several membranes without spring
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 腐食性の高いまた発塵を嫌う薬液ラインに使
用できる高精度の定圧レギュレータを提供する。 【解決手段】 第１弁室９と流体流入口７を有する本体
１と、第２弁室１０と流体流出口８を有する蓋体２と、
第１弁室の上部周縁に固定された第１ダイヤフラム３
と、本体と蓋とによって挟持された第２ダイヤフラム４
と、第１及び第２のダイヤフラムの中央に設けた環状接
合部１５，１６に接合され軸方向に移動自在のスリーブ
５と、第１弁室の底部に固定されスリーブ下端部との間
に流体制御部２０を形成するプラグ６とからなり、本体
の内周面と第１及び第２のダイヤフラムとに包囲された
気室１１を有し、気室に連通するエア供給口１２が設け
られ、第２ダイヤフラム４の受圧面積が第１ダイヤフラ
ム３の受圧面積より大となっている。
用できる高精度の定圧レギュレータを提供する。 【解決手段】 第１弁室９と流体流入口７を有する本体
１と、第２弁室１０と流体流出口８を有する蓋体２と、
第１弁室の上部周縁に固定された第１ダイヤフラム３
と、本体と蓋とによって挟持された第２ダイヤフラム４
と、第１及び第２のダイヤフラムの中央に設けた環状接
合部１５，１６に接合され軸方向に移動自在のスリーブ
５と、第１弁室の底部に固定されスリーブ下端部との間
に流体制御部２０を形成するプラグ６とからなり、本体
の内周面と第１及び第２のダイヤフラムとに包囲された
気室１１を有し、気室に連通するエア供給口１２が設け
られ、第２ダイヤフラム４の受圧面積が第１ダイヤフラ
ム３の受圧面積より大となっている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一次側（上流側）
の流体圧力が変動しても二次側（下流側）の流体圧力を
一定に保つ定圧レギュレータに関するものであり、さら
に詳しくは主として超純水ラインや各種化学薬液ライン
で好適に用いられるコンパクトで安定した圧力制御が得
られ、且つ発塵が少ない定圧レギュレータに関するもの
である。
の流体圧力が変動しても二次側（下流側）の流体圧力を
一定に保つ定圧レギュレータに関するものであり、さら
に詳しくは主として超純水ラインや各種化学薬液ライン
で好適に用いられるコンパクトで安定した圧力制御が得
られ、且つ発塵が少ない定圧レギュレータに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来の定圧レギュレータは図５に示すよ
うなものが一般的であった。図において３０は本体であ
り下部には第一弁室３５が設けられており、側面に第一
弁室３５と連通した流体流入口３７及び後記第二弁室３
６と連通した流出口３８が設けられている。本体３０の
上部はダイヤフラム３２と共に第二弁室３６を形成して
いる。３１は蓋体でありダイヤフラム３２とで気室３９
を形成しており、上部に気室３９と連通したエア口４２
を有している。尚、気室３９には常に一定のエア圧が加
えられている。ダイヤフラム３２の中央にはロッド３３
が接合されており、該ロッド３３の先端には本体３０の
流路４１の径より大径なるプラグ３４が接合されてい
る。
うなものが一般的であった。図において３０は本体であ
り下部には第一弁室３５が設けられており、側面に第一
弁室３５と連通した流体流入口３７及び後記第二弁室３
６と連通した流出口３８が設けられている。本体３０の
上部はダイヤフラム３２と共に第二弁室３６を形成して
いる。３１は蓋体でありダイヤフラム３２とで気室３９
を形成しており、上部に気室３９と連通したエア口４２
を有している。尚、気室３９には常に一定のエア圧が加
えられている。ダイヤフラム３２の中央にはロッド３３
が接合されており、該ロッド３３の先端には本体３０の
流路４１の径より大径なるプラグ３４が接合されてい
る。
【０００３】このような定圧レギュレータにおいて第二
弁室３６の流体圧力はダイヤフラム３２に加わる力の釣
り合いにより、気室３９に与えられた圧力とほぼ同じに
保たれている。一次側の流体圧力が増大した場合、二次
側の圧力も増大し、気室３９の圧力より流体圧の方が大
きくなるためダイヤフラム３２は上方へ押し上げられ
る。このときダイヤフラム３２と接合されたロッド３３
及びプラグ３４もこれにともなって上方へ移動し、プラ
グ３４と本体との間で形成された制御部４０の開口面積
が小さくなり、制御部４０を通過する流体の圧力損失が
大きくなり、第二弁室３６では再び気室内の圧力とほぼ
同じ圧力にまで二次圧が低下する。一方、一次側の圧力
が低下した場合では、流体圧より気室内の圧力の方が大
きくなるので、ダイヤフラム３２は下方へ押し下げら
れ、前記の場合とは逆に制御部４０の開口面積が大きく
なって、流体の圧力損失が小さくなり、第二弁室内の流
体圧は再び気室内の圧力とほぼ同じ圧力にまで上昇す
る。以上のようにして従来の定圧レギュレータでは一次
圧が変動しても二次圧が一定に保たれる。
弁室３６の流体圧力はダイヤフラム３２に加わる力の釣
り合いにより、気室３９に与えられた圧力とほぼ同じに
保たれている。一次側の流体圧力が増大した場合、二次
側の圧力も増大し、気室３９の圧力より流体圧の方が大
きくなるためダイヤフラム３２は上方へ押し上げられ
る。このときダイヤフラム３２と接合されたロッド３３
及びプラグ３４もこれにともなって上方へ移動し、プラ
グ３４と本体との間で形成された制御部４０の開口面積
が小さくなり、制御部４０を通過する流体の圧力損失が
大きくなり、第二弁室３６では再び気室内の圧力とほぼ
同じ圧力にまで二次圧が低下する。一方、一次側の圧力
が低下した場合では、流体圧より気室内の圧力の方が大
きくなるので、ダイヤフラム３２は下方へ押し下げら
れ、前記の場合とは逆に制御部４０の開口面積が大きく
なって、流体の圧力損失が小さくなり、第二弁室内の流
体圧は再び気室内の圧力とほぼ同じ圧力にまで上昇す
る。以上のようにして従来の定圧レギュレータでは一次
圧が変動しても二次圧が一定に保たれる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の定圧レギュレータでは、流路内をロッドが貫通する
構造となっているため、一次側の流体圧力の変動が頻繁
に起こる場合や、圧力変動が大きな場合では、ロッドが
傾いて圧力制御が不安定になったり、ロッドと本体が接
触して摩耗や発塵が起こるという問題があった。また、
微少流量に対応するためには、流路の径を小さくする必
要があるが、このような構造では流路の径を小さくすれ
ば、ロッドの径も細くしなければならず、ロッドの強度
不足、加工・組立が困難であるといった問題もあった。
来の定圧レギュレータでは、流路内をロッドが貫通する
構造となっているため、一次側の流体圧力の変動が頻繁
に起こる場合や、圧力変動が大きな場合では、ロッドが
傾いて圧力制御が不安定になったり、ロッドと本体が接
触して摩耗や発塵が起こるという問題があった。また、
微少流量に対応するためには、流路の径を小さくする必
要があるが、このような構造では流路の径を小さくすれ
ば、ロッドの径も細くしなければならず、ロッドの強度
不足、加工・組立が困難であるといった問題もあった。
【０００５】本発明は上記従来の定圧レギュレータの問
題点に鑑みなされたもので、腐食性の高い薬液ラインや
発塵を嫌う薬液ラインにおいても使用可能なコンパクト
で高精度な定圧レギュレータを提供することを目的とす
る。
題点に鑑みなされたもので、腐食性の高い薬液ラインや
発塵を嫌う薬液ラインにおいても使用可能なコンパクト
で高精度な定圧レギュレータを提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の構成は内部に第
一の弁室、第一の弁室の上部に設けられた段差部及び第
一の弁室と連通する流体流入口を有する円筒状の本体
と、第二の弁室とそれに連通する流体流出口とを有し本
体上部に接合される蓋体と、周縁部に設けられた環状突
部が第一の弁室の上部周縁に設けられた接合部と接合さ
れた第一のダイヤフラムと、周縁部に設けられた環状突
部が本体と蓋体とによって挟持された第二のダイヤフラ
ムと、第一及び第二のダイヤフラムの中央に設けられた
両環状接合部に接合され軸方向に移動自在となっている
スリーブと、第一の弁室の底部に固定され該スリーブの
下端部との間に流体制御部を形成しているプラグとから
なり、また本体の段差部の内周面と第一及び第二のダイ
ヤフラムとに包囲された気室を有し、第二のダイヤフラ
ムの受圧面積が第一のダイヤフラムの受圧面積より大き
く構成され、前記気室に連通するエア供給口が本体に設
けられていることを特徴とする。
一の弁室、第一の弁室の上部に設けられた段差部及び第
一の弁室と連通する流体流入口を有する円筒状の本体
と、第二の弁室とそれに連通する流体流出口とを有し本
体上部に接合される蓋体と、周縁部に設けられた環状突
部が第一の弁室の上部周縁に設けられた接合部と接合さ
れた第一のダイヤフラムと、周縁部に設けられた環状突
部が本体と蓋体とによって挟持された第二のダイヤフラ
ムと、第一及び第二のダイヤフラムの中央に設けられた
両環状接合部に接合され軸方向に移動自在となっている
スリーブと、第一の弁室の底部に固定され該スリーブの
下端部との間に流体制御部を形成しているプラグとから
なり、また本体の段差部の内周面と第一及び第二のダイ
ヤフラムとに包囲された気室を有し、第二のダイヤフラ
ムの受圧面積が第一のダイヤフラムの受圧面積より大き
く構成され、前記気室に連通するエア供給口が本体に設
けられていることを特徴とする。
【０００７】また、前記第二の弁室とそれに連通した流
体流出口との間にオリフィス部を設けたことを特徴とす
る。
体流出口との間にオリフィス部を設けたことを特徴とす
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施態様について
図面を参照して説明するが、本発明が本実施態様に限定
されないことは言うまでもない。
図面を参照して説明するが、本発明が本実施態様に限定
されないことは言うまでもない。
【０００９】図１は本発明の定圧レギュレータの縦断面
図である。図２は本発明の定圧レギュレータにおいて一
次圧が上昇した状態を示す縦断面図である。
図である。図２は本発明の定圧レギュレータにおいて一
次圧が上昇した状態を示す縦断面図である。
【００１０】図において、１は円筒状の本体であり、側
面には本体１の内部に設けられた第一の弁室９と連通し
ている流体流入口７と後記気室１１と連通しているエア
供給口１２とが設けられており、第一の弁室９の上部周
縁には後記第一のダイヤフラム３の環状突部１７が接合
される接合部（環状切欠部）１３を有している。更に第
一の弁室９の上部には後記第一及び第二のダイヤフラム
とともに後記気室１１を形成する段差部２１が設けられ
ている。尚、該段差部２１は本体１と必ずしも一体で形
成する必要はなく、円環状の別部品で形成しても構わな
い。
面には本体１の内部に設けられた第一の弁室９と連通し
ている流体流入口７と後記気室１１と連通しているエア
供給口１２とが設けられており、第一の弁室９の上部周
縁には後記第一のダイヤフラム３の環状突部１７が接合
される接合部（環状切欠部）１３を有している。更に第
一の弁室９の上部には後記第一及び第二のダイヤフラム
とともに後記気室１１を形成する段差部２１が設けられ
ている。尚、該段差部２１は本体１と必ずしも一体で形
成する必要はなく、円環状の別部品で形成しても構わな
い。
【００１１】２は蓋体であり、内部に第二の弁室１０を
有し外周側面には該第二の弁室１０と連通した流出口８
を有し、本体１の上端部とボルト等（図示せず）で接合
されている。下端部の第二の弁室１０の周縁部には後記
第二のダイヤフラム４の環状突部１８が嵌合される環状
溝部１４が設けられている。
有し外周側面には該第二の弁室１０と連通した流出口８
を有し、本体１の上端部とボルト等（図示せず）で接合
されている。下端部の第二の弁室１０の周縁部には後記
第二のダイヤフラム４の環状突部１８が嵌合される環状
溝部１４が設けられている。
【００１２】３はドーナツ状に形成されたＰＴＦＥ（ポ
リテトラフルオロエチレン）製の第一のダイヤフラムで
あり、中央部には環状接合部１５が設けられており、ま
た、外周縁部には断面矩形状の環状突部１７が設けられ
ている。第一のダイヤフラム３の環状接合部１５の内周
面には後記スリーブ５が螺着され、一方、環状突部１７
は本体１の内部に設けられた接合部１３に接合されてい
る。
リテトラフルオロエチレン）製の第一のダイヤフラムで
あり、中央部には環状接合部１５が設けられており、ま
た、外周縁部には断面矩形状の環状突部１７が設けられ
ている。第一のダイヤフラム３の環状接合部１５の内周
面には後記スリーブ５が螺着され、一方、環状突部１７
は本体１の内部に設けられた接合部１３に接合されてい
る。
【００１３】４は同じくＰＴＦＥ製の第二のダイヤフラ
ムであり、前記第一のダイヤフラム３と同様に中央部に
は環状接合部１６、外周縁部には断面矩形状の環状突部
１８が設けられている。環状突部１８は蓋体２の環状溝
部１４に嵌合され且つ、蓋体２を本体１の上端面に接合
させることにより、本体１と蓋体２とによって挟持され
ている。尚、第二のダイヤフラム４の受圧面積は前記第
一ダイヤフラム３よりも十分に大きくなるように設計さ
れている。
ムであり、前記第一のダイヤフラム３と同様に中央部に
は環状接合部１６、外周縁部には断面矩形状の環状突部
１８が設けられている。環状突部１８は蓋体２の環状溝
部１４に嵌合され且つ、蓋体２を本体１の上端面に接合
させることにより、本体１と蓋体２とによって挟持され
ている。尚、第二のダイヤフラム４の受圧面積は前記第
一ダイヤフラム３よりも十分に大きくなるように設計さ
れている。
【００１４】５は円筒状のスリーブであり、外周面には
螺合部１９が設けられており、該螺合部１９が前記第一
及び第二のダイヤフラム３，４の環状接合部１５，１６
と螺着されることによって、両ダイヤフラムを一体化
し、且つ軸方向に移動可能に保持されている。また、ス
リーブ５の内部は流体流路となっている。
螺合部１９が設けられており、該螺合部１９が前記第一
及び第二のダイヤフラム３，４の環状接合部１５，１６
と螺着されることによって、両ダイヤフラムを一体化
し、且つ軸方向に移動可能に保持されている。また、ス
リーブ５の内部は流体流路となっている。
【００１５】６はプラグであり、第一の弁室９の底部に
螺着等により固定されている。プラグ６の先端は、スリ
ーブ５の下端面との間で流体制御部２０を形成してお
り、スリーブ５の上下動にともなって流体制御部２０の
開口面積が変化し、第二の弁室１０内部の圧力すなわ
ち、二次圧を一定に保つよう設計されている。
螺着等により固定されている。プラグ６の先端は、スリ
ーブ５の下端面との間で流体制御部２０を形成してお
り、スリーブ５の上下動にともなって流体制御部２０の
開口面積が変化し、第二の弁室１０内部の圧力すなわ
ち、二次圧を一定に保つよう設計されている。
【００１６】１１は本体１の段差部２１及び第一、第二
のダイヤフラム３，４の三者で囲まれて形成された気室
である。気室１１の内部には前記エア供給口１２から圧
縮空気または不活性ガス等が導入され、常に一定の圧力
に保たれている。
のダイヤフラム３，４の三者で囲まれて形成された気室
である。気室１１の内部には前記エア供給口１２から圧
縮空気または不活性ガス等が導入され、常に一定の圧力
に保たれている。
【００１７】以上の説明からわかるごとく、スリーブ５
で一体化された第一、第二のダイヤフラム３，４は本体
１に設けられた段差部２１と蓋体２に設けられた第二の
弁室１０とに囲まれた空間に配置され、又、それにより
気室１１が形成された構造になっている。
で一体化された第一、第二のダイヤフラム３，４は本体
１に設けられた段差部２１と蓋体２に設けられた第二の
弁室１０とに囲まれた空間に配置され、又、それにより
気室１１が形成された構造になっている。
【００１８】尚、本体等の材質はＰＴＦＥ，ＰＦＡ等の
フッ素樹脂が好適に使用されるが、ポリ塩化ビニル、ポ
リプロピレン等のその他のプラスチック或いは金属でも
良く特に限定されない。また第一及び第二のダイヤフラ
ムの材質はＰＴＦＥ等のフッ素樹脂が好適に使用される
が、ゴム及び金属でも良く特に限定されない。
フッ素樹脂が好適に使用されるが、ポリ塩化ビニル、ポ
リプロピレン等のその他のプラスチック或いは金属でも
良く特に限定されない。また第一及び第二のダイヤフラ
ムの材質はＰＴＦＥ等のフッ素樹脂が好適に使用される
が、ゴム及び金属でも良く特に限定されない。
【００１９】次に本実施態様の定圧レギュレータの作動
について説明する。
について説明する。
【００２０】図１の状態において、第一のダイヤフラム
３は第一の弁室９内部の圧力すなわち一次圧による上向
きの力と、気室１１内部の圧力による下向きの力を受け
ている。一方、第二のダイヤフラム４は第二の弁室１０
内部の圧力すなわち二次圧による下向きの力と、気室１
１内部の圧力による上向きの力を受けており、これら４
つの力の釣り合いによって第一及び第二のダイヤフラム
３，４と接合されているスリーブ５の位置が決定されて
いる。スリーブ５はプラグ６との間に流体制御部２０を
形成しており、その面積によって二次側の流体圧力を制
御している。
３は第一の弁室９内部の圧力すなわち一次圧による上向
きの力と、気室１１内部の圧力による下向きの力を受け
ている。一方、第二のダイヤフラム４は第二の弁室１０
内部の圧力すなわち二次圧による下向きの力と、気室１
１内部の圧力による上向きの力を受けており、これら４
つの力の釣り合いによって第一及び第二のダイヤフラム
３，４と接合されているスリーブ５の位置が決定されて
いる。スリーブ５はプラグ６との間に流体制御部２０を
形成しており、その面積によって二次側の流体圧力を制
御している。
【００２１】この状態において一次側の圧力が上昇した
場合、一時的に二次側の圧力及び流量も増大する。この
とき流体圧により第一のダイヤフラム３には上向きの
力、第二のダイヤフラム４には下向きの力が働くが、第
二のダイヤフラム４の受圧面積は第一のダイヤフラム３
に比べ十分に大きく設計されているため、下向きの力の
方が大きくなり、結果としてスリーブ５を下方へ押し下
げることとなる（図２の状態）。これによって、流体制
御部２０の開口面積は減少し、二次側の流体圧力は瞬時
に元の圧力まで低下し、再び気室１１の内圧と流体圧に
よる力の釣り合いが保たれる。通常、本発明の定圧レギ
ュレータの下流側には、図示しない固定絞り或いはバル
ブが取り付けられている。固定絞り或いはバルブの下流
側を大気開放としておけば、固定絞り或いはバルブ前後
の差圧は常に一定に保たれることになり、固定絞り或い
はバルブの流量係数に見合った流量が常に保たれること
となる。
場合、一時的に二次側の圧力及び流量も増大する。この
とき流体圧により第一のダイヤフラム３には上向きの
力、第二のダイヤフラム４には下向きの力が働くが、第
二のダイヤフラム４の受圧面積は第一のダイヤフラム３
に比べ十分に大きく設計されているため、下向きの力の
方が大きくなり、結果としてスリーブ５を下方へ押し下
げることとなる（図２の状態）。これによって、流体制
御部２０の開口面積は減少し、二次側の流体圧力は瞬時
に元の圧力まで低下し、再び気室１１の内圧と流体圧に
よる力の釣り合いが保たれる。通常、本発明の定圧レギ
ュレータの下流側には、図示しない固定絞り或いはバル
ブが取り付けられている。固定絞り或いはバルブの下流
側を大気開放としておけば、固定絞り或いはバルブ前後
の差圧は常に一定に保たれることになり、固定絞り或い
はバルブの流量係数に見合った流量が常に保たれること
となる。
【００２２】一方、図２の状態において一次側の圧力が
低下した場合、一時的に二次側の圧力及び流量も低下す
る。このとき第一及び第二のダイヤフラム３，４には気
室１１の内圧によってそれぞれ下向き及び上向きの力が
働くが、この場合でも受圧面積は第二のダイヤフラム４
の方が大きいため、上向きの力の方が優勢となって、ス
リーブ５の位置を上方へ押し上げることとなる。これに
よって、流体制御部２０の開口面積は増大し（図１の状
態）、二次側の流体圧力は瞬時に元の圧力まで上昇し、
再び気室１１の内圧と流体圧による力の釣り合いが保た
れ、元の流量も保たれる。
低下した場合、一時的に二次側の圧力及び流量も低下す
る。このとき第一及び第二のダイヤフラム３，４には気
室１１の内圧によってそれぞれ下向き及び上向きの力が
働くが、この場合でも受圧面積は第二のダイヤフラム４
の方が大きいため、上向きの力の方が優勢となって、ス
リーブ５の位置を上方へ押し上げることとなる。これに
よって、流体制御部２０の開口面積は増大し（図１の状
態）、二次側の流体圧力は瞬時に元の圧力まで上昇し、
再び気室１１の内圧と流体圧による力の釣り合いが保た
れ、元の流量も保たれる。
【００２３】以上のように一次圧が増減しても、瞬時に
スリーブ５の位置が変化して、常に二次側の圧力が一定
に保たれ、従って設定した流量を得ることができる。
スリーブ５の位置が変化して、常に二次側の圧力が一定
に保たれ、従って設定した流量を得ることができる。
【００２４】尚、気室１１の内圧を変更すれば、二次圧
はそれに対応した値に保たれるため、下流側に設置され
た固定絞り或いはバルブに変更がなければ、設定流量を
変更することができる。
はそれに対応した値に保たれるため、下流側に設置され
た固定絞り或いはバルブに変更がなければ、設定流量を
変更することができる。
【００２５】次に本発明における定圧レギュレータの特
性について説明する。
性について説明する。
【００２６】図６は本発明の定圧レギュレータの下流側
に固定絞り（オリフィス径２mm）を設置し、レギュレー
タの一次側圧力を変化させたとき、二次側圧力がどのよ
うに変化するかを測定した結果を示している。図におい
て実線及び破線は気室内の圧力をそれぞれ０．０４MPa
及び０．０８MPa とした場合を示している。どちらの場
合も一次圧が上昇しても、二次圧は気室内の圧力とほぼ
同じ圧力で一定となっている。
に固定絞り（オリフィス径２mm）を設置し、レギュレー
タの一次側圧力を変化させたとき、二次側圧力がどのよ
うに変化するかを測定した結果を示している。図におい
て実線及び破線は気室内の圧力をそれぞれ０．０４MPa
及び０．０８MPa とした場合を示している。どちらの場
合も一次圧が上昇しても、二次圧は気室内の圧力とほぼ
同じ圧力で一定となっている。
【００２７】図３は本発明の第二の実施態様を示した縦
断面図である。前記第一の実施態様と異なる点は第一及
び第二のダイヤフラムとスリーブと本体とを全て一体で
形成している点である。ここで、気室を形成している本
体の段差部２１は本体とは別部品としている。弁の作動
については前記と同一であるので説明は省略する。
断面図である。前記第一の実施態様と異なる点は第一及
び第二のダイヤフラムとスリーブと本体とを全て一体で
形成している点である。ここで、気室を形成している本
体の段差部２１は本体とは別部品としている。弁の作動
については前記と同一であるので説明は省略する。
【００２８】図４は本発明の第三の実施態様を示した縦
断面図である。前記第一の実施態様と異なる点は第二の
弁室１０とそれに連通した流体流出口８との間にオリフ
ィス部２２を設けている点である。オリフィス部２２の
下流側を大気開放としておけば、一次側の圧力が変動し
てもオリフィス部前後の差圧は常に一定に保たれるた
め、オリフィス部２２を通過する流量は一定となり、定
流量弁として使用することができる。弁の作動について
は前記と同一であるので説明は省略する。
断面図である。前記第一の実施態様と異なる点は第二の
弁室１０とそれに連通した流体流出口８との間にオリフ
ィス部２２を設けている点である。オリフィス部２２の
下流側を大気開放としておけば、一次側の圧力が変動し
てもオリフィス部前後の差圧は常に一定に保たれるた
め、オリフィス部２２を通過する流量は一定となり、定
流量弁として使用することができる。弁の作動について
は前記と同一であるので説明は省略する。
【００２９】
【発明の効果】本発明の定圧レギュレータは以上説明し
たような構造をしており、これを使用することによって
以下の優れた効果が得られる。
たような構造をしており、これを使用することによって
以下の優れた効果が得られる。
【００３０】（１）従来品のようなロッド部がないの
で、動作中のロッドの傾きによる制御不良がなく、安定
した圧力制御が得られる。
で、動作中のロッドの傾きによる制御不良がなく、安定
した圧力制御が得られる。
【００３１】（２）接液する部材は全てＰＴＦＥ等の耐
薬品性に優れた材質を用いることができるため、その場
合は不純物の溶出や薬液の汚染が極めて少ない。
薬品性に優れた材質を用いることができるため、その場
合は不純物の溶出や薬液の汚染が極めて少ない。
【００３２】（３）ロッド部がないので、摩耗・発塵が
なく、コンパクトな製品でも、十分な部品強度が得られ
ため、微少流量にも対応でき、且つ加工・組立も容易で
ある。
なく、コンパクトな製品でも、十分な部品強度が得られ
ため、微少流量にも対応でき、且つ加工・組立も容易で
ある。
【図１】本発明の定圧レギュレータの縦断面図である。
【図２】図１において一次圧が上昇した状態を示す縦断
面図である。
面図である。
【図３】第一及び第二のダイヤフラムとスリーブと本体
とを全て一体で形成した第二の実施態様を示す縦断面図
である。
とを全て一体で形成した第二の実施態様を示す縦断面図
である。
【図４】第二の弁室とそれに連通した流体流出口との間
にオリフィス部を設けた第三の実施態様を示す縦断面図
である。
にオリフィス部を設けた第三の実施態様を示す縦断面図
である。
【図５】従来の定圧レギュレータの縦断面図である。
【図６】本発明の定圧レギュレータの特性を示すグラフ
である。
である。
１…本体 ２…蓋体 ３…第一ダイヤフラム ４…第二ダイヤフラム ５…スリーブ ６…プラグ ７…流体流入口 ８…流体流出口 ９…第一弁室 １０…第二弁室 １１…気室 １２…エア供給口 １３…接合部 １４…環状溝部 １５…環状接合部 １６…環状接合部 １７…環状突部 １８…環状突部 １９…螺合部 ２０…流体制御部 ２１…段差部 ２２…オリフィス部
Claims (4)
- 【請求項１】 内部に第一の弁室、第一の弁室の上部に
設けられた段差部及び第一の弁室と連通する流体流入口
を有する円筒状の本体と、第二の弁室とそれに連通する
流体流出口とを有し本体上部に接合される蓋体と、周縁
部に設けられた環状突部が第一の弁室の上部周縁に設け
られた接合部と接合された第一のダイヤフラムと、周縁
部に設けられた環状突部が本体と蓋体とによって挟持さ
れた第二のダイヤフラムと、第一及び第二のダイヤフラ
ムの中央に設けられた両環状接合部に接合され軸方向に
移動自在となっているスリーブと、第一の弁室の底部に
固定され該スリーブの下端部との間に流体制御部を形成
しているプラグとからなり、また本体の段差部の内周面
と第一及び第二のダイヤフラムとに包囲された気室を有
し、第二のダイヤフラムの受圧面積が第一のダイヤフラ
ムの受圧面積より大きく構成され、前記気室に連通する
エア供給口が本体に設けられていることを特徴とする定
圧レギュレータ。 - 【請求項２】 第一及び第二のダイヤフラム、スリーブ
及び本体が一体で形成されていることを特徴とする請求
項１記載の定圧レギュレータ。 - 【請求項３】 ダイヤフラムの材質がポリテトラフルオ
ロエチレンであることを特徴とする請求項１又は２に記
載の定圧レギュレータ。 - 【請求項４】 第二の弁室とそれに連通した流体流出口
との間にオリフィス部を設けていることを特徴とする請
求項１，２，３のうちの１項に記載の定圧レギュレー
タ。
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| JP32851299A JP3734394B2 (ja) | 1999-11-18 | 1999-11-18 | 定圧レギュレータ |
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| PCT/JP2000/007971 WO2001036851A1 (fr) | 1999-11-18 | 2000-11-10 | Regulateur de pression constante |
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|---|---|---|---|---|
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| JP2003097747A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 背圧弁 |
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| KR100854604B1 (ko) * | 2001-07-16 | 2008-08-27 | 데이진 가부시키가이샤 | 폴리에스테르 제조용 촉매 및 상기 촉매를 이용하는폴리에스테르 제조 방법 |
| CN105736781A (zh) * | 2016-04-01 | 2016-07-06 | 上海澳升清洁科技有限公司 | 一种减压节流阀及使用方法 |
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|---|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
| JPS6470806A (en) * | 1987-09-11 | 1989-03-16 | Konan Electric Co | Pilot type pressure reducing valve |
| JPH0359362U (ja) * | 1989-10-11 | 1991-06-11 | ||
| JPH0720726Y2 (ja) * | 1990-03-29 | 1995-05-15 | エヌテーシー工業株式会社 | 筒状弁式の減圧・逃し弁 |
| JPH04126324A (ja) * | 1990-09-17 | 1992-04-27 | Seiko Epson Corp | 流体制御装置及びその製造方法 |
| DE4030982A1 (de) * | 1990-10-01 | 1992-04-02 | Bosch Gmbh Robert | Elektro-pneumatisches mehrwegeventil |
| DE4402119C2 (de) * | 1994-01-25 | 1998-07-23 | Karlsruhe Forschzent | Verfahren zur Herstellung von Mikromembranpumpen |
-
1999
- 1999-11-18 JP JP32851299A patent/JP3734394B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-09-04 TW TW089118040A patent/TW464739B/zh not_active IP Right Cessation
- 2000-11-10 WO PCT/JP2000/007971 patent/WO2001036851A1/ja active Application Filing
- 2000-11-10 KR KR10-2001-7006599A patent/KR100430169B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100854604B1 (ko) * | 2001-07-16 | 2008-08-27 | 데이진 가부시키가이샤 | 폴리에스테르 제조용 촉매 및 상기 촉매를 이용하는폴리에스테르 제조 방법 |
| WO2003009076A1 (fr) * | 2001-07-18 | 2003-01-30 | Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. | Regulateur de pression constante |
| US6959725B2 (en) | 2001-07-18 | 2005-11-01 | Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. | Constant pressure regulator |
| KR100883613B1 (ko) * | 2001-07-18 | 2009-02-13 | 아사히 유키자이 고교 가부시키가이샤 | 정압 레귤레이터 |
| JP2003097747A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 背圧弁 |
| JP2004245366A (ja) * | 2003-02-14 | 2004-09-02 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 真空レギュレータ |
| JP2004321248A (ja) * | 2003-04-21 | 2004-11-18 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 真空レギュレータ |
| CN105736781A (zh) * | 2016-04-01 | 2016-07-06 | 上海澳升清洁科技有限公司 | 一种减压节流阀及使用方法 |
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| KR20010093116A (ko) | 2001-10-27 |
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