JP2671183B2 - 流体コントロールバルブ - Google Patents
流体コントロールバルブInfo
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- JP2671183B2 JP2671183B2 JP5106056A JP10605693A JP2671183B2 JP 2671183 B2 JP2671183 B2 JP 2671183B2 JP 5106056 A JP5106056 A JP 5106056A JP 10605693 A JP10605693 A JP 10605693A JP 2671183 B2 JP2671183 B2 JP 2671183B2
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- Japan
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- chamber
- rod portion
- valve body
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Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、流体(液体あるいは
気体)の流量及び圧力の一次側(流入側)変動にかかわ
らず、2次側(流出側)を一定にコントロールするコン
トロールバルブに関する。
気体)の流量及び圧力の一次側(流入側)変動にかかわ
らず、2次側(流出側)を一定にコントロールするコン
トロールバルブに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、1次圧力(流入側圧力)が変動す
る流体の2次流量及び2次圧力をコントロールするに際
しては、流路の一部に流量発信器あるいは圧力発信器を
設けるとともに、流量制御バルブにはバルブの開閉を行
う電動モータあるいはエアーモータを設けて、前記流量
発信器あるいは圧力発信器で感知した流量または圧力値
に関する信号を電動モータ等に送り、その信号により電
動モータまたはエアーモータをコントロールしバルブの
開閉を行っていた。
る流体の2次流量及び2次圧力をコントロールするに際
しては、流路の一部に流量発信器あるいは圧力発信器を
設けるとともに、流量制御バルブにはバルブの開閉を行
う電動モータあるいはエアーモータを設けて、前記流量
発信器あるいは圧力発信器で感知した流量または圧力値
に関する信号を電動モータ等に送り、その信号により電
動モータまたはエアーモータをコントロールしバルブの
開閉を行っていた。
【0003】しかし、前記の方法にあっては1次圧力の
早い変化に対し、あるいは脈動のような変化に対しては
バルブの開閉が追従せず、流量あるいは2次圧を所望の
値にコントロールできなかった。また、発信器及びモー
タを使用するため装置が複雑、かつ大掛かりとなり、し
かも保守も容易ではない等の問題もあった。
早い変化に対し、あるいは脈動のような変化に対しては
バルブの開閉が追従せず、流量あるいは2次圧を所望の
値にコントロールできなかった。また、発信器及びモー
タを使用するため装置が複雑、かつ大掛かりとなり、し
かも保守も容易ではない等の問題もあった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明は前
記の点に鑑み、1次圧力の早い変化あるいは脈動変化に
対しても瞬時に反応して2次側流量及び2次圧力を一定
に保つことができ、しかも電動モータおよび発信器等の
ような複雑かつ故障し易い装置を必要とせず簡単な構造
からなって、保守が容易で耐久性にも優れるコントロー
ルバルブを提供しようとするものである。
記の点に鑑み、1次圧力の早い変化あるいは脈動変化に
対しても瞬時に反応して2次側流量及び2次圧力を一定
に保つことができ、しかも電動モータおよび発信器等の
ような複雑かつ故障し易い装置を必要とせず簡単な構造
からなって、保守が容易で耐久性にも優れるコントロー
ルバルブを提供しようとするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明は、弁体とバル
ブ本体とよりなって、前記弁体は、筒形状の一端が拡大
して他端より大径にされると共に両端間の側面外周に突
出した流量制御部を有するロッド部と、前記ロッド部の
大径側端部に該端部外周へ鍔状に突出して設けられた第
1ダイヤフラムと、前記第1ダイヤフラムより小径から
なってロッド部の小径側端部に該端部外周へ鍔状に突出
して設けられた第2ダイヤフラムとからなり、前記バル
ブ本体は、前記第1および第2ダイヤフラムの外周縁を
固定してロッド部を軸方向にスライド可能に弁体を収容
する弁室と、前記弁室の外側にあって第1および第2ダ
イヤフラムにより弁室と仕切られた第1加圧室および第
2加圧室と、前記ロッド部外周と弁室内壁面との間に形
成されて第1および第2ダイヤフラム内面間を連通させ
ると共に前記ロッド部が大径端部側へスライドするに従
い前記流量制御部と弁室内壁面間が狭くなる流量制御通
路部を有する被制御流体通路と、前記ロッド部の小径端
部側で被制御流体通路に連通しバルブ本体外面で開口す
る被制御流体流入口と、前記ロッド部の大径端部側で被
制御流体通路に連通しバルブ本体外面で開口する被制御
流体流出口と、前記第1加圧室に通じバルブ本体外面で
開口する第1加圧気体流入路と、前記第2加圧室に通じ
バルブ本体外面で開口する第2加圧気体流入路とからな
ることを特徴とする流体コントロールバルブに係る。
ブ本体とよりなって、前記弁体は、筒形状の一端が拡大
して他端より大径にされると共に両端間の側面外周に突
出した流量制御部を有するロッド部と、前記ロッド部の
大径側端部に該端部外周へ鍔状に突出して設けられた第
1ダイヤフラムと、前記第1ダイヤフラムより小径から
なってロッド部の小径側端部に該端部外周へ鍔状に突出
して設けられた第2ダイヤフラムとからなり、前記バル
ブ本体は、前記第1および第2ダイヤフラムの外周縁を
固定してロッド部を軸方向にスライド可能に弁体を収容
する弁室と、前記弁室の外側にあって第1および第2ダ
イヤフラムにより弁室と仕切られた第1加圧室および第
2加圧室と、前記ロッド部外周と弁室内壁面との間に形
成されて第1および第2ダイヤフラム内面間を連通させ
ると共に前記ロッド部が大径端部側へスライドするに従
い前記流量制御部と弁室内壁面間が狭くなる流量制御通
路部を有する被制御流体通路と、前記ロッド部の小径端
部側で被制御流体通路に連通しバルブ本体外面で開口す
る被制御流体流入口と、前記ロッド部の大径端部側で被
制御流体通路に連通しバルブ本体外面で開口する被制御
流体流出口と、前記第1加圧室に通じバルブ本体外面で
開口する第1加圧気体流入路と、前記第2加圧室に通じ
バルブ本体外面で開口する第2加圧気体流入路とからな
ることを特徴とする流体コントロールバルブに係る。
【0006】
【作用】第1ダイヤフラム外側の第1加圧室と第2ダイ
ヤフラム外側の第2加圧室には所定圧力の加圧気体が流
入して第1,第2ダイヤフラムを外側から内向きに押
す。一方、1次側となる被制御流体流入口からコントロ
ールバルブ内に入った被制御流体は、第1,第2ダイヤ
フラム内面間を連通する被制御流体通路に至り、その被
制御流体通路を第2ダイヤフラム内面側から第1ダイヤ
フラム内面側へ向けて流れる。その際、被制御流体はロ
ッド部の流量制御通路部を通り、その後ロッド部の大径
側端部(第1ダイヤフラム)を内側から外向きに押し
て、2次側となる被制御流体流出口からバルブ本体外へ
流出する。なお、前記被制御流体はロッド部小径側端部
の第2ダイヤフラムの内面を外方、すなわち第1ダイヤ
フラムとは反対方向へ押すが、前記第1ダイヤフラムが
第2ダイヤフラムより大きいため、その面積差に応じた
押力が第1ダイヤフラムの内面に外向きに加わることに
なり、ロッド部が第1加圧室側へスライドして2次側の
流出を可能とする。そして、前記ロッド部は第1,第2
加圧室による内向きの圧力と、被制御流体による第1,
第2ダイヤフラムを外向きに押す圧力とに応じた釣り合
い位置になって、流量制御通路部の隙間を所定の値に
し、2次流量および圧力を一定にする。
ヤフラム外側の第2加圧室には所定圧力の加圧気体が流
入して第1,第2ダイヤフラムを外側から内向きに押
す。一方、1次側となる被制御流体流入口からコントロ
ールバルブ内に入った被制御流体は、第1,第2ダイヤ
フラム内面間を連通する被制御流体通路に至り、その被
制御流体通路を第2ダイヤフラム内面側から第1ダイヤ
フラム内面側へ向けて流れる。その際、被制御流体はロ
ッド部の流量制御通路部を通り、その後ロッド部の大径
側端部(第1ダイヤフラム)を内側から外向きに押し
て、2次側となる被制御流体流出口からバルブ本体外へ
流出する。なお、前記被制御流体はロッド部小径側端部
の第2ダイヤフラムの内面を外方、すなわち第1ダイヤ
フラムとは反対方向へ押すが、前記第1ダイヤフラムが
第2ダイヤフラムより大きいため、その面積差に応じた
押力が第1ダイヤフラムの内面に外向きに加わることに
なり、ロッド部が第1加圧室側へスライドして2次側の
流出を可能とする。そして、前記ロッド部は第1,第2
加圧室による内向きの圧力と、被制御流体による第1,
第2ダイヤフラムを外向きに押す圧力とに応じた釣り合
い位置になって、流量制御通路部の隙間を所定の値に
し、2次流量および圧力を一定にする。
【0007】また、前記被制御流体流入口からの流量
(1次流量)及び圧力が大になると、一旦、被制御流体
流出口からの流出流量及び圧力(2次流出量及び2次圧
力)が増大する。しかし、コントロールバルブ内では、
ロッド部の大径側端部(第1ダイヤフラム)に内側から
外側へ向けて加わる圧力が増大するため、ロッド部の大
径側端部(第1ダイヤフラム)に内側から加わる圧力
が、大径側端部(第1ダイヤフラム)外側にある第1加
圧室の圧力に打ち勝って、ロッド部が大径側端部方向
(第1加圧室方向)に押される。そして第1ダイヤフラ
ム及び第2ダイヤフラムが変形してロッド部が大径側端
部方向(第1加圧室方向)へスライドし、そのロッド部
のスライドにより、流量制御通路部が狭くなって被制御
流体通路を流れる流量が減少する。その結果、2次側の
被制御流体流出口から流出する流量が減少して2次圧力
が低下するため、例え、1次側の流量及び圧力が増大し
ても2次側ではその変動が抑えられることになる。
(1次流量)及び圧力が大になると、一旦、被制御流体
流出口からの流出流量及び圧力(2次流出量及び2次圧
力)が増大する。しかし、コントロールバルブ内では、
ロッド部の大径側端部(第1ダイヤフラム)に内側から
外側へ向けて加わる圧力が増大するため、ロッド部の大
径側端部(第1ダイヤフラム)に内側から加わる圧力
が、大径側端部(第1ダイヤフラム)外側にある第1加
圧室の圧力に打ち勝って、ロッド部が大径側端部方向
(第1加圧室方向)に押される。そして第1ダイヤフラ
ム及び第2ダイヤフラムが変形してロッド部が大径側端
部方向(第1加圧室方向)へスライドし、そのロッド部
のスライドにより、流量制御通路部が狭くなって被制御
流体通路を流れる流量が減少する。その結果、2次側の
被制御流体流出口から流出する流量が減少して2次圧力
が低下するため、例え、1次側の流量及び圧力が増大し
ても2次側ではその変動が抑えられることになる。
【0008】逆に1次側の流量が減少して圧力が低下す
ると、被制御流体通路を流れる流体の流量減少及び圧力
低下を生じて、ロッド部の大径側端部(第1ダイヤフラ
ム)に内側から加わる圧力が大径側端部(第1ダイヤフ
ラム)外側の第1加圧室内の圧力よりも小さくなる。そ
の結果、ロッド部が小径側端部方向(第2加圧室方向)
へスライドして、流量制御通路部を広げ、被制御流体通
路を流れる流量を増大させる。それにより、2次側の被
制御流体流出口からの流出量が増大し、2次圧力が増大
するため、例え、1次側の流量及び圧力が低下しても2
次側ではその変動が抑えられることになる。しかも、前
記ロッド部両端の第1,第2ダイヤフラムが、その外側
に存在する第1加圧室と第2加圧室に流入する加圧気体
によって内方へ所定圧力で押され、しかも、第1ダイヤ
フラム及び第2ダイヤフラムの変形によりロッド部がス
ライド可能とされているため、ロッド部の位置が安定す
るのみならず、1次側流体に流量変化及び圧力変化を生
じた際には、ロッド部が容易かつ迅速にスライドして2
次側流量および圧力を瞬時に元の値にする。
ると、被制御流体通路を流れる流体の流量減少及び圧力
低下を生じて、ロッド部の大径側端部(第1ダイヤフラ
ム)に内側から加わる圧力が大径側端部(第1ダイヤフ
ラム)外側の第1加圧室内の圧力よりも小さくなる。そ
の結果、ロッド部が小径側端部方向(第2加圧室方向)
へスライドして、流量制御通路部を広げ、被制御流体通
路を流れる流量を増大させる。それにより、2次側の被
制御流体流出口からの流出量が増大し、2次圧力が増大
するため、例え、1次側の流量及び圧力が低下しても2
次側ではその変動が抑えられることになる。しかも、前
記ロッド部両端の第1,第2ダイヤフラムが、その外側
に存在する第1加圧室と第2加圧室に流入する加圧気体
によって内方へ所定圧力で押され、しかも、第1ダイヤ
フラム及び第2ダイヤフラムの変形によりロッド部がス
ライド可能とされているため、ロッド部の位置が安定す
るのみならず、1次側流体に流量変化及び圧力変化を生
じた際には、ロッド部が容易かつ迅速にスライドして2
次側流量および圧力を瞬時に元の値にする。
【0009】
【実施例】以下添付の図面に従ってこの発明を詳細に説
明する。図1はこの発明の一実施例に係るコントロール
バルブの縦断面図、図2はその実施例に用いる弁体の斜
視図、図3はその実施例の作動を説明する部分拡大断面
図、図4は他の実施例を示す要部拡大断面図である。
明する。図1はこの発明の一実施例に係るコントロール
バルブの縦断面図、図2はその実施例に用いる弁体の斜
視図、図3はその実施例の作動を説明する部分拡大断面
図、図4は他の実施例を示す要部拡大断面図である。
【0010】図1ないし図3に示す実施例のコントロー
ルバルブ10は、弁体11と、その弁体11が収容され
るバルブ本体31とからなる。弁体11は、図1及び図
2に示されるように、ロッド部12と第1ダイヤフラム
22A及び第2ダイヤフラム22Bとからなる。ロッド
部12は、上端13側が下端14側よりも大径となった
縦断面形状がほぼ「T」字形からなる柱状のもので、上
下2つの半体15,16が螺合により一体に組み合わさ
れてなる。ロッド部12の下端14側には、流量制御部
17(図2及び図3に示す)が環状突出形状に形成され
ている。
ルバルブ10は、弁体11と、その弁体11が収容され
るバルブ本体31とからなる。弁体11は、図1及び図
2に示されるように、ロッド部12と第1ダイヤフラム
22A及び第2ダイヤフラム22Bとからなる。ロッド
部12は、上端13側が下端14側よりも大径となった
縦断面形状がほぼ「T」字形からなる柱状のもので、上
下2つの半体15,16が螺合により一体に組み合わさ
れてなる。ロッド部12の下端14側には、流量制御部
17(図2及び図3に示す)が環状突出形状に形成され
ている。
【0011】第1ダイヤフラム22Aは前記ロッド部1
2の上端部に、また第2ダイヤフラム22Bはロッド部
12の下端部に、それぞれロッド部12と一体に形成さ
れている。この第1,第2ダイヤフラム22A,22B
はロッド部12の上端部と下端部の外周にそれぞれ鍔状
に突出して、その外周縁23A,23Bが厚肉となって
いる。前記第1,第2ダイヤフラム22A,22B及び
ロッド部12は、各種のゴムあるいは樹脂から構成され
るが、なかでも耐薬品性、耐腐蝕性の高いフッ素ゴムあ
るいはフッ素樹脂からなるものが好ましい。
2の上端部に、また第2ダイヤフラム22Bはロッド部
12の下端部に、それぞれロッド部12と一体に形成さ
れている。この第1,第2ダイヤフラム22A,22B
はロッド部12の上端部と下端部の外周にそれぞれ鍔状
に突出して、その外周縁23A,23Bが厚肉となって
いる。前記第1,第2ダイヤフラム22A,22B及び
ロッド部12は、各種のゴムあるいは樹脂から構成され
るが、なかでも耐薬品性、耐腐蝕性の高いフッ素ゴムあ
るいはフッ素樹脂からなるものが好ましい。
【0012】バルブ本体31は、第1ブロック32と第
2ブロック42間に第3ブロック52を挟んだ3層構造
の円筒状からなり、フッ素樹脂等耐腐蝕性及び耐薬品性
の高い樹脂から構成される。第1ブロック32及び第2
ブロック42内には、第1加圧気体流入路33,第2加
圧気体流入路43と第1加圧室34,第2加圧室44が
形成されている。第1,第2加圧気体流入路33,43
は一端がバルブ本体31外面で開口し、他端が第1,第
2加圧室34,44にそれぞれ通じている。一方、第
1,第2加圧室34は,44は、第3ブロック52との
合わせ面40,30で開口している。前記第1加圧室3
4は、第1ダイヤフラム22Aの外周縁23Aを除いた
部分とほぼ等しい径からなり、一方、前記第2加圧室4
4は、第2ダイヤフラム22Bの外周縁23Bを除いた
部分とほぼ等しい径からなる。また第2ブロック42に
おける第3ブロック52との合わせ面には、弁室53外
周に凹溝55Bが形成されている。
2ブロック42間に第3ブロック52を挟んだ3層構造
の円筒状からなり、フッ素樹脂等耐腐蝕性及び耐薬品性
の高い樹脂から構成される。第1ブロック32及び第2
ブロック42内には、第1加圧気体流入路33,第2加
圧気体流入路43と第1加圧室34,第2加圧室44が
形成されている。第1,第2加圧気体流入路33,43
は一端がバルブ本体31外面で開口し、他端が第1,第
2加圧室34,44にそれぞれ通じている。一方、第
1,第2加圧室34は,44は、第3ブロック52との
合わせ面40,30で開口している。前記第1加圧室3
4は、第1ダイヤフラム22Aの外周縁23Aを除いた
部分とほぼ等しい径からなり、一方、前記第2加圧室4
4は、第2ダイヤフラム22Bの外周縁23Bを除いた
部分とほぼ等しい径からなる。また第2ブロック42に
おける第3ブロック52との合わせ面には、弁室53外
周に凹溝55Bが形成されている。
【0013】第3ブロック52は、バルブ本体31の中
間部を構成するもので、中央には内部を貫通する弁室5
3が形成されている。弁室53は、中間部が細くなって
ほぼ「エ」字形の縦断面形状をした貫通穴からなるもの
で、ロッド部12の外径より大となっている。弁室53
両端の内径は、第1加圧室34の内径とほぼ等しくさ
れ、また第1ブロック32との合わせ面には弁室53外
周に凹溝55Aが形成されている。そして、前記弁室5
3の一端側(第2加圧室側)に通じる被制御流体流入口
59と、弁室53の他端側(第1加圧室側)に通じる被
制御流体流出口60が形成されている。
間部を構成するもので、中央には内部を貫通する弁室5
3が形成されている。弁室53は、中間部が細くなって
ほぼ「エ」字形の縦断面形状をした貫通穴からなるもの
で、ロッド部12の外径より大となっている。弁室53
両端の内径は、第1加圧室34の内径とほぼ等しくさ
れ、また第1ブロック32との合わせ面には弁室53外
周に凹溝55Aが形成されている。そして、前記弁室5
3の一端側(第2加圧室側)に通じる被制御流体流入口
59と、弁室53の他端側(第1加圧室側)に通じる被
制御流体流出口60が形成されている。
【0014】前記凹溝55A,55Bにそれぞれ第1,
第2ダイヤフラム22A,22Bの外周縁23A,23
Bが嵌着されて弁体11が弁室53内に収容され、その
後各ブロック32,42,52が組み合わされて一体に
される。バルブ本体31内に収容された弁体11のロッ
ド部12外周面と、弁室53内壁面間には、第1,第2
ダイヤフラム22A,22B内面間を連通する被制御流
体通路56が形成される。その被制御流体通路56にお
いて、前記弁体ロッド部12の流量制御部17と弁室内
壁面54(図3に示す)間が流量制御通路部58にな
る。また、被制御流体通路56は、ロッド部12の小径
側端部において被制御流体流入口59に通じ、他方ロッ
ド部12の大径側端部において被制御流体流出口60に
通じている。
第2ダイヤフラム22A,22Bの外周縁23A,23
Bが嵌着されて弁体11が弁室53内に収容され、その
後各ブロック32,42,52が組み合わされて一体に
される。バルブ本体31内に収容された弁体11のロッ
ド部12外周面と、弁室53内壁面間には、第1,第2
ダイヤフラム22A,22B内面間を連通する被制御流
体通路56が形成される。その被制御流体通路56にお
いて、前記弁体ロッド部12の流量制御部17と弁室内
壁面54(図3に示す)間が流量制御通路部58にな
る。また、被制御流体通路56は、ロッド部12の小径
側端部において被制御流体流入口59に通じ、他方ロッ
ド部12の大径側端部において被制御流体流出口60に
通じている。
【0015】このようにしてなるコントロールバルブ1
0は、流量及び圧力を制御したい気体あるいは液体から
なる被制御流体の供給源に、パイプを介して被制御流体
流入口59が接続され、その被制御流体流入口59から
内部に被制御流体が送り込まれる。また、第1,第2加
圧気体流入路33,43からは、一定圧力に加圧された
気体、たとえば圧縮空気が吹き込まれる。この加圧気体
の圧力は、被制御流体の所望の2次側流量及び圧力等に
より定められる。
0は、流量及び圧力を制御したい気体あるいは液体から
なる被制御流体の供給源に、パイプを介して被制御流体
流入口59が接続され、その被制御流体流入口59から
内部に被制御流体が送り込まれる。また、第1,第2加
圧気体流入路33,43からは、一定圧力に加圧された
気体、たとえば圧縮空気が吹き込まれる。この加圧気体
の圧力は、被制御流体の所望の2次側流量及び圧力等に
より定められる。
【0016】前記コントロールバルブ10内に吹き込ま
れた加圧気体は、第1,第2加圧室34,44内に到
り、第1,第2ダイヤフラム22A,22Bを外側から
内向きに押す。一方、被制御流体流入口59から吹き込
まれた被制御流体は、第1,第2ダイヤフラム22A,
22B内面間を連通する被制御流体通路56に至り、該
の被制御流体通路56の流体制御通路部58を通って、
被制御流体通路56をロッド部12小径側(第2ダイヤ
フラム22Bの内面側)からロッド部12の大径側(第
1ダイヤフラム22Aの内面側)へ向けて流れ、ロッド
部12の大径側端部で被制御流体通路56と通じる被制
御流体流出口60からコントロールバルブ10外へ流出
する。このとき、被制御流体が第1,第2ダイヤフラム
22A,22Bの内面を外方へ押す力と、前記第1,第
2加圧室34,44の圧力が第1,第2ダイヤフラム2
2A,22Bを外側から内向きに押す力との釣り合いに
よって前記ロッド部12が所定位置となる。それによ
り、流体制御通路部58の隙間が所定の値になって、被
制御流体通路56をロッド部12の大径側(第1ダイヤ
フラム22A内面側)へ流れる被制御流体の流量が制御
され、被制御流体流出口60からの二次側流量、圧力が
あらかじめ設定された値となる。
れた加圧気体は、第1,第2加圧室34,44内に到
り、第1,第2ダイヤフラム22A,22Bを外側から
内向きに押す。一方、被制御流体流入口59から吹き込
まれた被制御流体は、第1,第2ダイヤフラム22A,
22B内面間を連通する被制御流体通路56に至り、該
の被制御流体通路56の流体制御通路部58を通って、
被制御流体通路56をロッド部12小径側(第2ダイヤ
フラム22Bの内面側)からロッド部12の大径側(第
1ダイヤフラム22Aの内面側)へ向けて流れ、ロッド
部12の大径側端部で被制御流体通路56と通じる被制
御流体流出口60からコントロールバルブ10外へ流出
する。このとき、被制御流体が第1,第2ダイヤフラム
22A,22Bの内面を外方へ押す力と、前記第1,第
2加圧室34,44の圧力が第1,第2ダイヤフラム2
2A,22Bを外側から内向きに押す力との釣り合いに
よって前記ロッド部12が所定位置となる。それによ
り、流体制御通路部58の隙間が所定の値になって、被
制御流体通路56をロッド部12の大径側(第1ダイヤ
フラム22A内面側)へ流れる被制御流体の流量が制御
され、被制御流体流出口60からの二次側流量、圧力が
あらかじめ設定された値となる。
【0017】そして、被制御流体の1次側流量あるいは
圧力が変動した場合には次のように作動する。まず1次
流量あるいは1次圧力が増大した場合について説明す
る。その場合には、初めに被制御流体流出口60から流
出する2次流量および2次圧力が増大する。
圧力が変動した場合には次のように作動する。まず1次
流量あるいは1次圧力が増大した場合について説明す
る。その場合には、初めに被制御流体流出口60から流
出する2次流量および2次圧力が増大する。
【0018】しかし、それと同時にロッド部12の大径
側端部の第1ダイヤフラム22A内面に加わる外向きの
圧力も増大するため、その外向きの内圧がロッド部の大
径側端部外側にある第1加圧室34の圧力に打ち勝って
ロッド部12が大径側端部方向に押される。そして図3
の鎖線で示すように第1,第2ダイヤフラム22A,2
2Bが変形してロッド部12が大径側端部方向(第1加
圧室34側)へスライドし、それにより流量制御通路部
58が狭くなって被制御流体通路56を流れる流量が減
少する。その結果、2次側の被制御流体流出口60から
流出する2次流量が減少して2次圧力が低下し、2次側
の流量及び圧力変動が抑えられる。
側端部の第1ダイヤフラム22A内面に加わる外向きの
圧力も増大するため、その外向きの内圧がロッド部の大
径側端部外側にある第1加圧室34の圧力に打ち勝って
ロッド部12が大径側端部方向に押される。そして図3
の鎖線で示すように第1,第2ダイヤフラム22A,2
2Bが変形してロッド部12が大径側端部方向(第1加
圧室34側)へスライドし、それにより流量制御通路部
58が狭くなって被制御流体通路56を流れる流量が減
少する。その結果、2次側の被制御流体流出口60から
流出する2次流量が減少して2次圧力が低下し、2次側
の流量及び圧力変動が抑えられる。
【0019】一方、1次側流量及び圧力が減少した場合
には、被制御流体流出口60から流出する流量及び2次
圧力が一旦減少する。しかし、それと同時に前記ロッド
部12の大径側端部の第1ダイヤフラム22A内面に外
向きに加わる圧力が低下して第1加圧室34の圧力より
も低下するため、ロッド部12が小径側端部方向に押さ
れてスライドする。それにより流量制御通路部58が広
くなって被制御流体通路56を流れる流量が増大する。
その結果、2次側の被制御流体流出口60から流出する
流量が増大して2次圧力が増大し、2次側の流量及び圧
力変動が抑えられる。
には、被制御流体流出口60から流出する流量及び2次
圧力が一旦減少する。しかし、それと同時に前記ロッド
部12の大径側端部の第1ダイヤフラム22A内面に外
向きに加わる圧力が低下して第1加圧室34の圧力より
も低下するため、ロッド部12が小径側端部方向に押さ
れてスライドする。それにより流量制御通路部58が広
くなって被制御流体通路56を流れる流量が増大する。
その結果、2次側の被制御流体流出口60から流出する
流量が増大して2次圧力が増大し、2次側の流量及び圧
力変動が抑えられる。
【0020】しかも、前記1次側流量及び圧力の増減に
際し、ロッド部12の両端が第1,第2加圧室34,4
4内の加圧気体で内向きに押されているため、第2加圧
室44が開放状態で大気圧と等しくされる場合に比べ、
ロッド部12が速やかに釣り合い位置に落ち着くことが
でき、効率良く被制御流体の2次側をコントロールでき
る。さらにロッド部12はその両端に設けられている第
1,第2ダイヤフラム22A,22Bによってスライド
が容易となっているため、1次側流量および圧力の変化
に際して速やかに釣り合い位置までスライドし、瞬時に
2次側流量および圧力をコントロールできる。
際し、ロッド部12の両端が第1,第2加圧室34,4
4内の加圧気体で内向きに押されているため、第2加圧
室44が開放状態で大気圧と等しくされる場合に比べ、
ロッド部12が速やかに釣り合い位置に落ち着くことが
でき、効率良く被制御流体の2次側をコントロールでき
る。さらにロッド部12はその両端に設けられている第
1,第2ダイヤフラム22A,22Bによってスライド
が容易となっているため、1次側流量および圧力の変化
に際して速やかに釣り合い位置までスライドし、瞬時に
2次側流量および圧力をコントロールできる。
【0021】図4に、他の実施例の要部を示す。この実
施例は、弁体89両外側の第1,第2加圧室92,93
を、弁体89のロッド部90の両端間に貫通させた連通
孔91で連結し、それによって1個の第1加圧気体流入
路94から第1,第2加圧室92,93に加圧気体が流
入するようにしたもので,他の部分は前記図1ないし図
3に示した実施例のコントロールバルブ10と同様であ
る。この例においては、構造がより簡単になる効果があ
る。
施例は、弁体89両外側の第1,第2加圧室92,93
を、弁体89のロッド部90の両端間に貫通させた連通
孔91で連結し、それによって1個の第1加圧気体流入
路94から第1,第2加圧室92,93に加圧気体が流
入するようにしたもので,他の部分は前記図1ないし図
3に示した実施例のコントロールバルブ10と同様であ
る。この例においては、構造がより簡単になる効果があ
る。
【0022】なお、前記各実施例において、ロッド部の
小径端部側に位置する第2加圧室44,93にスプリン
グ(図示せず)を配置して、弁体11,89をロッド部
の大径端部側へ付勢するようにしてもよい。そのスプリ
ングにより、微小圧の変動に対してもより確実にコント
ロールできるようになる。その場合でも、第2加圧室4
4,93は第2ダイヤフラムにより被制御流体が通る部
分とは隔離されているため、第2加圧室44,93内の
スプリングが被制御流体と接触することがなく、腐蝕等
の恐れもない。
小径端部側に位置する第2加圧室44,93にスプリン
グ(図示せず)を配置して、弁体11,89をロッド部
の大径端部側へ付勢するようにしてもよい。そのスプリ
ングにより、微小圧の変動に対してもより確実にコント
ロールできるようになる。その場合でも、第2加圧室4
4,93は第2ダイヤフラムにより被制御流体が通る部
分とは隔離されているため、第2加圧室44,93内の
スプリングが被制御流体と接触することがなく、腐蝕等
の恐れもない。
【0023】
【発明の効果】以上図示し説明したように、この発明の
流体コントロールバルブによれば、きわめて簡単な構造
で流体の2次側流量及び2次側圧力をコントロールする
ことができ、耐久性及び保守性に優れる。しかも、耐腐
蝕性あるいは耐薬品性の高い材質からコントロールバル
ブを構成することもできるため、極めて有用である。さ
らに、コントロールバルブに作動用の加圧気体を供給す
るだけで作動し、また供給する加圧気体の圧力をコント
ロールすることにより、2次側の流量及び圧力を容易に
コントロールできる。そのため、コントロールバルブと
パイプで連結されてコントロールバルブから離れた位置
にある加圧気体供給源の位置で、あるいはコントロール
バルブと加圧気体供給源間の所望位置で加圧気体の圧力
をコントロールするだけで2次側の流量及び圧力をコン
トロールでき、遠隔操作も極めて容易である。
流体コントロールバルブによれば、きわめて簡単な構造
で流体の2次側流量及び2次側圧力をコントロールする
ことができ、耐久性及び保守性に優れる。しかも、耐腐
蝕性あるいは耐薬品性の高い材質からコントロールバル
ブを構成することもできるため、極めて有用である。さ
らに、コントロールバルブに作動用の加圧気体を供給す
るだけで作動し、また供給する加圧気体の圧力をコント
ロールすることにより、2次側の流量及び圧力を容易に
コントロールできる。そのため、コントロールバルブと
パイプで連結されてコントロールバルブから離れた位置
にある加圧気体供給源の位置で、あるいはコントロール
バルブと加圧気体供給源間の所望位置で加圧気体の圧力
をコントロールするだけで2次側の流量及び圧力をコン
トロールでき、遠隔操作も極めて容易である。
【図1】この発明の一実施例に係るコントロールバルブ
の縦断面図である。
の縦断面図である。
【図2】その実施例に用いる弁体の斜視図である。
【図3】その実施例の作動を説明する部分拡大断面図で
ある。
ある。
【図4】他の実施例を示す要部拡大断面図である。
11 弁体 12 ロッド部 17 流量制御部 22A,22B 第1,第2ダイヤフラム 31 バルブ本体 33,43 第1,第2加圧気体流入路 34,44 第1,第2加圧室 53 弁室 56 被制御流体通路 58 流量制御通路部 59 被制御流体流入口 60 被制御流体流出口 91 連通孔
Claims (2)
- 【請求項1】 弁体とバルブ本体とよりなって、 前記弁体は、筒形状の一端が拡大して他端より大径にさ
れると共に両端間の側面外周に突出した流量制御部を有
するロッド部と、前記ロッド部の大径側端部に該端部外
周へ鍔状に突出して設けられた第1ダイヤフラムと、前
記第1ダイヤフラムより小径からなってロッド部の小径
側端部に該端部外周へ鍔状に突出して設けられた第2ダ
イヤフラムとからなり、 前記バルブ本体は、前記第1および第2ダイヤフラムの
外周縁を固定してロッド部を軸方向にスライド可能に弁
体を収容する弁室と、前記弁室の外側にあって第1およ
び第2ダイヤフラムにより弁室と仕切られた第1加圧室
および第2加圧室と、前記ロッド部外周と弁室内壁面と
の間に形成されて第1および第2ダイヤフラム内面間を
連通させると共に前記ロッド部が大径端部側へスライド
するに従い前記流量制御部と弁室内壁面間が狭くなる流
量制御通路部を有する被制御流体通路と、前記ロッド部
の小径端部側で被制御流体通路に連通しバルブ本体外面
で開口する被制御流体流入口と、前記ロッド部の大径端
部側で被制御流体通路に連通しバルブ本体外面で開口す
る被制御流体流出口と、前記第1加圧室に通じバルブ本
体外面で開口する第1加圧気体流入路と、前記第2加圧
室に通じバルブ本体外面で開口する第2加圧気体流入路
とからなることを特徴とする流体コントロールバルブ。 - 【請求項2】 請求項1における第2加圧気体流入路に
代えて第1加圧室と第2加圧室とを通じる連通孔をロッ
ド部の両端間に貫通形成したことを特徴とする流体コン
トロールバルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5106056A JP2671183B2 (ja) | 1993-04-07 | 1993-04-07 | 流体コントロールバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5106056A JP2671183B2 (ja) | 1993-04-07 | 1993-04-07 | 流体コントロールバルブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06295209A JPH06295209A (ja) | 1994-10-21 |
JP2671183B2 true JP2671183B2 (ja) | 1997-10-29 |
Family
ID=14423966
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5106056A Expired - Lifetime JP2671183B2 (ja) | 1993-04-07 | 1993-04-07 | 流体コントロールバルブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2671183B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007024071A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Advance Denki Kogyo Kk | 圧力制御弁 |
JP2007024070A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Advance Denki Kogyo Kk | 圧力制御弁 |
US7644725B2 (en) | 2005-12-16 | 2010-01-12 | Advance Electric Japan Kabushiki Kaisha | Mixing valve and mixing device |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3276936B2 (ja) * | 1998-12-25 | 2002-04-22 | アドバンス電気工業株式会社 | 流量コントロールバルブ |
AU746468B2 (en) * | 1999-04-09 | 2002-05-02 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Device for decomposing organic halogen compound and fluid heating device |
JP4471541B2 (ja) * | 2001-07-18 | 2010-06-02 | 旭有機材工業株式会社 | 定圧レギュレータ |
JP4590139B2 (ja) * | 2001-09-10 | 2010-12-01 | アドバンス電気工業株式会社 | 流体コントロール弁 |
JP4776120B2 (ja) * | 2001-09-26 | 2011-09-21 | 旭有機材工業株式会社 | 背圧弁 |
JP3828049B2 (ja) * | 2002-06-14 | 2006-09-27 | Smc株式会社 | 流量制御装置 |
TW571182B (en) | 2001-12-04 | 2004-01-11 | Smc Kk | Flow rate control apparatus |
JP3995543B2 (ja) | 2002-07-03 | 2007-10-24 | 旭有機材工業株式会社 | 流体制御弁 |
JP2004301181A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Tonii Seiki Seisakusho:Kk | ガス圧調整器におけるガス洩れ防止機構 |
US8002853B2 (en) * | 2003-07-29 | 2011-08-23 | Societe Bic | Hydrogen-generating fuel cell cartridges |
JP4694341B2 (ja) * | 2005-10-13 | 2011-06-08 | シーケーディ株式会社 | 流体制御弁 |
CN101379332B (zh) * | 2006-02-24 | 2010-12-15 | 精工电子有限公司 | 压力调整阀和使用它的燃料电池系统及氢产生设备 |
JP5004553B2 (ja) * | 2006-11-08 | 2012-08-22 | 旭有機材工業株式会社 | 定流量弁 |
US11473682B2 (en) | 2018-11-30 | 2022-10-18 | Asahi Yukizai Corporation | Diaphragm valve |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61173319A (ja) * | 1985-01-26 | 1986-08-05 | Shoketsu Kinzoku Kogyo Co Ltd | 流体用レギユレ−タ |
-
1993
- 1993-04-07 JP JP5106056A patent/JP2671183B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007024071A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Advance Denki Kogyo Kk | 圧力制御弁 |
JP2007024070A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Advance Denki Kogyo Kk | 圧力制御弁 |
JP4625730B2 (ja) * | 2005-07-12 | 2011-02-02 | アドバンス電気工業株式会社 | 圧力制御弁 |
US7644725B2 (en) | 2005-12-16 | 2010-01-12 | Advance Electric Japan Kabushiki Kaisha | Mixing valve and mixing device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06295209A (ja) | 1994-10-21 |
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