JP3276936B2 - 流量コントロールバルブ - Google Patents
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- diaphragm
- chamber
- flow control
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
- F16K7/17—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being actuated by fluid pressure
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/03—Control of flow with auxiliary non-electric power
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、流体（液体ある
いは気体）の流量を一定に制御する流量コントロールバ
ルブに関する。
いは気体）の流量を一定に制御する流量コントロールバ
ルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】本発明者らは、先に、日本特許第２６７
１１８３号として、ダイヤフラムを利用して流入側（一
次側）の圧力変動に対応して流出側（二次側）の流量を
一定に保つことができる流量コントロールバルブを提案
した。
１１８３号として、ダイヤフラムを利用して流入側（一
次側）の圧力変動に対応して流出側（二次側）の流量を
一定に保つことができる流量コントロールバルブを提案
した。
【０００３】この先行発明に係る流量コントロールバル
ブは、図１０および図１１に符号１００として示したよ
うに、一側に被制御流体の流入部１１１を有し弁座１１
３を介して他側に被制御流体の流出部１１２が形成され
たチャンバ１３０を有するボディ本体１１０と、前記弁
座１１３を開閉する弁部１２１と前記流入部側に配され
た第一ダイヤフラム部１２２と前記流出部側に配された
第二ダイヤフラム部１２３を有する弁機構体１２０とか
らなり、前記第一ダイヤフラム部１２２および第二ダイ
ヤフラム部１２３によって、前記ボディ本体１１０のチ
ャンバ１３０を第一加圧室１３１、弁室１３５および第
二加圧室１４０に区分して、前記第一加圧室１３１およ
び第二加圧室１４０に設けられた第一加圧手段１５１及
び第二加圧手段１５２によって前記第一ダイヤフラム部
１２２および第二ダイヤフラム部１２３に対して常時弁
室方向（内向き）に一定圧力を加えるようにしてなるも
のである。図示の例では、前記第一加圧手段１５１はバ
ネ体で、前記第二加圧手段１５２は加圧気体である。図
の符号１４１は加圧気体のための給気ポート、１４２は
同じく排気ポートである。
ブは、図１０および図１１に符号１００として示したよ
うに、一側に被制御流体の流入部１１１を有し弁座１１
３を介して他側に被制御流体の流出部１１２が形成され
たチャンバ１３０を有するボディ本体１１０と、前記弁
座１１３を開閉する弁部１２１と前記流入部側に配され
た第一ダイヤフラム部１２２と前記流出部側に配された
第二ダイヤフラム部１２３を有する弁機構体１２０とか
らなり、前記第一ダイヤフラム部１２２および第二ダイ
ヤフラム部１２３によって、前記ボディ本体１１０のチ
ャンバ１３０を第一加圧室１３１、弁室１３５および第
二加圧室１４０に区分して、前記第一加圧室１３１およ
び第二加圧室１４０に設けられた第一加圧手段１５１及
び第二加圧手段１５２によって前記第一ダイヤフラム部
１２２および第二ダイヤフラム部１２３に対して常時弁
室方向（内向き）に一定圧力を加えるようにしてなるも
のである。図示の例では、前記第一加圧手段１５１はバ
ネ体で、前記第二加圧手段１５２は加圧気体である。図
の符号１４１は加圧気体のための給気ポート、１４２は
同じく排気ポートである。
【０００４】上記先行技術に係る流量コントロールバル
ブ１００によれば、流入部１１１側（一次側）の圧力変
動は、常時内向きの一定圧力を加えられた第一ダイヤフ
ラム部１２２および第二ダイヤフラム部１２３に対する
背圧（外向きの圧力）変動として現れ、前記加圧手段１
５１，１５２による一定の内向きの設定圧力と一次側の
外向きの変動圧力とが釣合いを保とうとして、弁機構体
１２０を移動させる。弁機構体１２０の移動によってそ
の弁部１２１が移動し、該弁部１２１と弁座１１３間の
開口量が変化して、被制御流体の流量が制御される。
ブ１００によれば、流入部１１１側（一次側）の圧力変
動は、常時内向きの一定圧力を加えられた第一ダイヤフ
ラム部１２２および第二ダイヤフラム部１２３に対する
背圧（外向きの圧力）変動として現れ、前記加圧手段１
５１，１５２による一定の内向きの設定圧力と一次側の
外向きの変動圧力とが釣合いを保とうとして、弁機構体
１２０を移動させる。弁機構体１２０の移動によってそ
の弁部１２１が移動し、該弁部１２１と弁座１１３間の
開口量が変化して、被制御流体の流量が制御される。
【０００５】この先行技術にあっては、二つのダイヤフ
ラム部１２２，１２３を一体に有する弁機構体１２０を
用いることによって、従来の機械的あるいは電気的手段
では追従することができなかった瞬間的な圧力変化ある
いは脈動のような変化に対し、瞬時に対応することがで
きるという大きな有利性を備える。また、機構的にも簡
単かつ単純で、設備および維持上の利点が大きい。
ラム部１２２，１２３を一体に有する弁機構体１２０を
用いることによって、従来の機械的あるいは電気的手段
では追従することができなかった瞬間的な圧力変化ある
いは脈動のような変化に対し、瞬時に対応することがで
きるという大きな有利性を備える。また、機構的にも簡
単かつ単純で、設備および維持上の利点が大きい。
【０００６】しかしながら、この先行技術においては、
前記弁機構体１２０が第一ダイヤフラム部１２２側と第
二ダイヤフラム部１２３側とが一体に結合されているこ
とにより、次のような問題が新たに生ずることがわかっ
た。すなわち、流出側（二次側）につまりや閉状態など
の負荷の増大が生じ流出部１１２側の第二ダイヤフラム
部１２３に大きな背圧が加わった場合には、弁機構体１
２０に多大な負荷がかかるということである。弁機構体
１２０に大きな負荷がかかると、まず、第一ダイヤフラ
ム部１２２と第二ダイヤフラム部１２３の固着部（通常
は螺着部）に劣化や損傷を生ずるするおそれがある。同
時に、流出部１１２側の背圧により弁機構体１２０の弁
部１２１が移動して弁座１１３を閉じる場合には、第一
加圧手段１５１から第一ダイヤフラム部１２２側を介し
てかかる設定圧力のほかに第二ダイヤフラム部１２３側
にかかる外向きの背圧が加わるので、当該弁機構体１２
０の弁部１２１とボディ本体１１０の弁座１１３との間
に大きな摩擦力が働き、それらの破損や塵（パーティク
ル）の発生を招くおそれがある。
前記弁機構体１２０が第一ダイヤフラム部１２２側と第
二ダイヤフラム部１２３側とが一体に結合されているこ
とにより、次のような問題が新たに生ずることがわかっ
た。すなわち、流出側（二次側）につまりや閉状態など
の負荷の増大が生じ流出部１１２側の第二ダイヤフラム
部１２３に大きな背圧が加わった場合には、弁機構体１
２０に多大な負荷がかかるということである。弁機構体
１２０に大きな負荷がかかると、まず、第一ダイヤフラ
ム部１２２と第二ダイヤフラム部１２３の固着部（通常
は螺着部）に劣化や損傷を生ずるするおそれがある。同
時に、流出部１１２側の背圧により弁機構体１２０の弁
部１２１が移動して弁座１１３を閉じる場合には、第一
加圧手段１５１から第一ダイヤフラム部１２２側を介し
てかかる設定圧力のほかに第二ダイヤフラム部１２３側
にかかる外向きの背圧が加わるので、当該弁機構体１２
０の弁部１２１とボディ本体１１０の弁座１１３との間
に大きな摩擦力が働き、それらの破損や塵（パーティク
ル）の発生を招くおそれがある。
【０００７】これらの問題は流量コントロールバルブの
故障の因となりその機能ならびに耐久性を低下させるの
みならず、流量制御の信頼性を損ねることにもなりかね
ない。また、この種のバルブは超純水や薬液等に用いら
れることが多く、微細な塵の発生はそのような用途への
この種バルブの適用を拒絶する。
故障の因となりその機能ならびに耐久性を低下させるの
みならず、流量制御の信頼性を損ねることにもなりかね
ない。また、この種のバルブは超純水や薬液等に用いら
れることが多く、微細な塵の発生はそのような用途への
この種バルブの適用を拒絶する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、このよう
な問題に対処するために提案されたものであって、流出
側（二次側）の負荷の増大に伴って発生するバルブの劣
化、損傷あるいは塵の発生等の不具合を一挙に解消する
ことができる新規な流量コントロールバルブの構造を提
供することを目的とする。また、この発明は、さらに進
んで、二次側を閉状態とすることができ、これによって
新たな使用態様を可能にする流量コントロールバルブの
構造を提供することを目的とする。もちろん、この発明
は、機械的あるいは電気的な複雑かつ高価な機構を用い
ることなく、ダイヤフラム機構を採用することによっ
て、瞬間的な負荷変動あるいは脈動のような変化に対し
ても、瞬時に対応することができ、機構的にも簡単かつ
単純で、設備および維持上においても優れた流量コント
ロールバルブを提供することを目的とする。
な問題に対処するために提案されたものであって、流出
側（二次側）の負荷の増大に伴って発生するバルブの劣
化、損傷あるいは塵の発生等の不具合を一挙に解消する
ことができる新規な流量コントロールバルブの構造を提
供することを目的とする。また、この発明は、さらに進
んで、二次側を閉状態とすることができ、これによって
新たな使用態様を可能にする流量コントロールバルブの
構造を提供することを目的とする。もちろん、この発明
は、機械的あるいは電気的な複雑かつ高価な機構を用い
ることなく、ダイヤフラム機構を採用することによっ
て、瞬間的な負荷変動あるいは脈動のような変化に対し
ても、瞬時に対応することができ、機構的にも簡単かつ
単純で、設備および維持上においても優れた流量コント
ロールバルブを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】すなわち、請求項１の発
明は、一側に被制御流体の流入部（１２）を有し弁座
（１６）を介して他側に被制御流体の流出部（１５）が
形成されたチャンバ（２０）を有するボディ本体（１
１）と、前記弁座を開閉する弁部（４１）と前記流入部
側に配された第一ダイヤフラム部（５０）と前記流出部
側に配された第二ダイヤフラム部（６０）とを有する弁
機構体（４０）とからなり、前記各ダイヤフラム部は、
それらの外周部が前記ボディ本体に固定されて前記チャ
ンバ内に取り付けられていて、該チャンバを第一ダイヤ
フラム部外側の第一加圧室（２１）、前記第一ダイヤフ
ラム部及び第二ダイヤフラム部に囲まれ前記流入部及び
弁座ならびに流出部を有する弁室（２５）、及び第二ダ
イヤフラム部外側の第二加圧室（３０）に区分してお
り、前記第一加圧室及び第二加圧室に設けられた第一加
圧手段（Ｍ１）及び第二加圧手段（Ｍ２）によって前記
第一ダイヤフラム部及び第二ダイヤフラム部を常時弁室
方向に一定圧力を加えるようにしてなる流量コントロー
ルバルブ（１０）において、前記弁機構体（４０）の第
一ダイヤフラム部（５０）に弁部（４１）を有する第一
部材（５１）を一体に設けるとともに、前記第二ダイヤ
フラム部（６０）には前記第一部材と分離自在に遊嵌結
合された第二部材（６１）を一体に設けたことを特徴と
する流量コントロールバルブに係る。
明は、一側に被制御流体の流入部（１２）を有し弁座
（１６）を介して他側に被制御流体の流出部（１５）が
形成されたチャンバ（２０）を有するボディ本体（１
１）と、前記弁座を開閉する弁部（４１）と前記流入部
側に配された第一ダイヤフラム部（５０）と前記流出部
側に配された第二ダイヤフラム部（６０）とを有する弁
機構体（４０）とからなり、前記各ダイヤフラム部は、
それらの外周部が前記ボディ本体に固定されて前記チャ
ンバ内に取り付けられていて、該チャンバを第一ダイヤ
フラム部外側の第一加圧室（２１）、前記第一ダイヤフ
ラム部及び第二ダイヤフラム部に囲まれ前記流入部及び
弁座ならびに流出部を有する弁室（２５）、及び第二ダ
イヤフラム部外側の第二加圧室（３０）に区分してお
り、前記第一加圧室及び第二加圧室に設けられた第一加
圧手段（Ｍ１）及び第二加圧手段（Ｍ２）によって前記
第一ダイヤフラム部及び第二ダイヤフラム部を常時弁室
方向に一定圧力を加えるようにしてなる流量コントロー
ルバルブ（１０）において、前記弁機構体（４０）の第
一ダイヤフラム部（５０）に弁部（４１）を有する第一
部材（５１）を一体に設けるとともに、前記第二ダイヤ
フラム部（６０）には前記第一部材と分離自在に遊嵌結
合された第二部材（６１）を一体に設けたことを特徴と
する流量コントロールバルブに係る。
【００１０】また、請求項２の発明は、請求項１におい
て、前記弁機構体の第一部材と第二部材の結合部が円台
錐形状の凸部（５２）と凹部（６２）によって形成され
ている流量コントロールバルブに係る。
て、前記弁機構体の第一部材と第二部材の結合部が円台
錐形状の凸部（５２）と凹部（６２）によって形成され
ている流量コントロールバルブに係る。
【００１１】請求項３の発明は、請求項１または２にお
いて、前記第一加圧室の加圧手段がバネ（Ｓ１）よりな
る流量コントロールバルブに係る。
いて、前記第一加圧室の加圧手段がバネ（Ｓ１）よりな
る流量コントロールバルブに係る。
【００１２】さらに、請求項４の発明は、請求項１ない
し３のいずれかにおいて、前記第二加圧室の加圧手段が
加圧気体（Ａ１）よりなる流量コントロールバルブに係
る。
し３のいずれかにおいて、前記第二加圧室の加圧手段が
加圧気体（Ａ１）よりなる流量コントロールバルブに係
る。
【００１３】請求項５の発明は、請求項４において、前
記第二加圧室の加圧気体の給気ポート（３１）に逆止弁
（３５）が設けられている流量コントロールバルブに係
る。
記第二加圧室の加圧気体の給気ポート（３１）に逆止弁
（３５）が設けられている流量コントロールバルブに係
る。
【００１４】請求項６の発明は、請求項４または５にお
いて、前記第二加圧室の加圧気体の給気回路（３６）に
絞り機構（３７）が配置されている流量コントロールバ
ルブに係る。
いて、前記第二加圧室の加圧気体の給気回路（３６）に
絞り機構（３７）が配置されている流量コントロールバ
ルブに係る。
【００１５】請求項７の発明は、請求項４ないし６のい
ずれかにおいて、前記第二加圧室の排気回路（３８）に
絞り機構（３９）が配置されている流量コントロールバ
ルブに係る。
ずれかにおいて、前記第二加圧室の排気回路（３８）に
絞り機構（３９）が配置されている流量コントロールバ
ルブに係る。
【００１６】請求項８の発明は、請求項１ないし７のい
ずれかにおいて、前記第二ダイヤフラム部にサックバッ
ク機構（７０）が設けられている流量コントロールバル
ブに係る。
ずれかにおいて、前記第二ダイヤフラム部にサックバッ
ク機構（７０）が設けられている流量コントロールバル
ブに係る。
【００１７】請求項９の発明は、請求項８おいて、前記
サックバック機構が第二ダイヤフラム部を弁室方向と反
対方向に付勢するバネ（Ｓ２）よりなる流量コントロー
ルバルブに係る。
サックバック機構が第二ダイヤフラム部を弁室方向と反
対方向に付勢するバネ（Ｓ２）よりなる流量コントロー
ルバルブに係る。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下添付の図面に従ってこの発明
を詳細に説明する。図１はこの発明の一実施例に係る流
量コントロールバルブの縦断面図、図２はその流量制御
状態を示す縦断面図、図３は同じくその弁座閉状態を示
す縦断面図、図４は第二加圧室の加圧気体の給気ポート
部分を拡大して示す部分断面図、図５はこの発明の加圧
手段の設定エアー圧力および被制御流体の圧力・流量変
化を参考例と比較して示すグラフ図、図６はこの発明の
流量コントロールバルブを複数同時に使用する状態を表
す概略配置図、図７は参考例の流量コントロールバルブ
を複数同時に使用する状態を表す概略配置図、図８はこ
の発明の他の実施例に係る流量コントロールバルブの弁
座閉状態を示す縦断面図、図９は図８の実施例における
加圧手段の設定圧力と被制御流体の流量の関係を示すグ
ラフ図である。
を詳細に説明する。図１はこの発明の一実施例に係る流
量コントロールバルブの縦断面図、図２はその流量制御
状態を示す縦断面図、図３は同じくその弁座閉状態を示
す縦断面図、図４は第二加圧室の加圧気体の給気ポート
部分を拡大して示す部分断面図、図５はこの発明の加圧
手段の設定エアー圧力および被制御流体の圧力・流量変
化を参考例と比較して示すグラフ図、図６はこの発明の
流量コントロールバルブを複数同時に使用する状態を表
す概略配置図、図７は参考例の流量コントロールバルブ
を複数同時に使用する状態を表す概略配置図、図８はこ
の発明の他の実施例に係る流量コントロールバルブの弁
座閉状態を示す縦断面図、図９は図８の実施例における
加圧手段の設定圧力と被制御流体の流量の関係を示すグ
ラフ図である。
【００１９】図１に示す流量コントロールバルブ１０
は、この発明の一実施例に係るもので、ボディ本体１１
と、該ボディ本体１１に形成されたチャンバ２０に装置
される弁機構体４０とからなる。
は、この発明の一実施例に係るもので、ボディ本体１１
と、該ボディ本体１１に形成されたチャンバ２０に装置
される弁機構体４０とからなる。
【００２０】ボディ本体１１は、フッ素樹脂等の耐蝕性
及び耐薬品性の高い樹脂から形成されてなり、一側に被
制御流体のための流入部１２を有し、弁座１６を介して
他側に被制御流体のための流出部１５が形成されたチャ
ンバ２０を有している。本実施例のボディ本体１１は、
図示のように、第１ブロック１１ａ，第２ブロック１１
ｂ，第３ブロック１１ｃに分割され、これらを一体に組
み付けて構成されている。なお、前記流出部１５には適
宜の口径を有するオリフィス（図示せず）が取り付けら
れることもある。また、前記流入部１２には流入用配管
（図示せず）、流出部１５には流出用配管Ｐ（図２及び
図３参照）がそれぞれ接続される。
及び耐薬品性の高い樹脂から形成されてなり、一側に被
制御流体のための流入部１２を有し、弁座１６を介して
他側に被制御流体のための流出部１５が形成されたチャ
ンバ２０を有している。本実施例のボディ本体１１は、
図示のように、第１ブロック１１ａ，第２ブロック１１
ｂ，第３ブロック１１ｃに分割され、これらを一体に組
み付けて構成されている。なお、前記流出部１５には適
宜の口径を有するオリフィス（図示せず）が取り付けら
れることもある。また、前記流入部１２には流入用配管
（図示せず）、流出部１５には流出用配管Ｐ（図２及び
図３参照）がそれぞれ接続される。
【００２１】弁機構体４０は、ボディ本体１１と同様
に、フッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹脂から
形成され、弁部４１と、第一ダイヤフラム部５０と、第
二ダイヤフラム部６０とを有する。
に、フッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹脂から
形成され、弁部４１と、第一ダイヤフラム部５０と、第
二ダイヤフラム部６０とを有する。
【００２２】弁機構体４０の各部について説明する。前
記弁部４１は前記弁座１６を開閉するとともに、弁座１
６に接近離間して両者間に形成される開口を制御する流
通制御部を構成するものである。本実施例では、当該弁
部４１の表面はテーパ面４２にて形成され、流通制御部
を線状に制御するように構成されている。
記弁部４１は前記弁座１６を開閉するとともに、弁座１
６に接近離間して両者間に形成される開口を制御する流
通制御部を構成するものである。本実施例では、当該弁
部４１の表面はテーパ面４２にて形成され、流通制御部
を線状に制御するように構成されている。
【００２３】第一ダイヤフラム部５０は、前記弁部４１
と一体に形成されており、ダイヤフラム面である薄肉の
可動部５０ａと、その外周側の外周部５０ｂを有する。
第二ダイヤフラム部６０は、ダイヤフラム面である薄肉
の可動部６０ａと、その外周側の外周部６０ｂを有す
る。なお、各ダイヤフラム部５０，６０の薄肉可動部５
０ａ，６０ａの面積（ダイヤフラム有効面積）は、制御
性が良好となるよう、つまり、瞬間的な負荷変動あるい
は脈動のような変化に対しても、瞬時に対応することが
できるよう、それぞれ所定値に設定される。
と一体に形成されており、ダイヤフラム面である薄肉の
可動部５０ａと、その外周側の外周部５０ｂを有する。
第二ダイヤフラム部６０は、ダイヤフラム面である薄肉
の可動部６０ａと、その外周側の外周部６０ｂを有す
る。なお、各ダイヤフラム部５０，６０の薄肉可動部５
０ａ，６０ａの面積（ダイヤフラム有効面積）は、制御
性が良好となるよう、つまり、瞬間的な負荷変動あるい
は脈動のような変化に対しても、瞬時に対応することが
できるよう、それぞれ所定値に設定される。
【００２４】この発明構造においては、前記弁機構体４
０の第一ダイヤフラム部５０には弁部４１を有する第一
部材５１が一体に設けられるとともに、前記第二ダイヤ
フラム部６０には前記第一部材５１と分離自在に遊嵌結
合された第二部材６１が一体に設けられている。図示し
た実施例では、請求項２に記載の発明のように、前記第
一部材５１と第二部材６１の遊嵌結合部は、第一部材５
１に形成された円台錘形状の凸部５２と第二部材６１に
形成された円台錘形状の凹部６２によって構成されてい
る。この例とは逆に第一部材５１に円台錘形状の凹部
を、第二部材６１に円台錘形状の凸部が形成されてもよ
い。このように構成することによって、第一部材５１と
第二部材６１の結合時における位置決めが確実に行える
利点がある。なお、第一部材５１及び第二部材６１は、
それぞれ、第一ダイヤフラム部５０及び第二ダイヤフラ
ム部６０と一体に形成してもよく、あるいは独立して形
成して螺着等によって一体に結合してもよい。図示の符
号８０は後述する第一加圧手段であるバネＳ１のための
バネ受け部であって、第一ダイヤフラム部５０に螺着や
遊嵌等、適宜手段により係着されている。バネを用いな
い場合にはこのバネ受け部８０は不要である。
０の第一ダイヤフラム部５０には弁部４１を有する第一
部材５１が一体に設けられるとともに、前記第二ダイヤ
フラム部６０には前記第一部材５１と分離自在に遊嵌結
合された第二部材６１が一体に設けられている。図示し
た実施例では、請求項２に記載の発明のように、前記第
一部材５１と第二部材６１の遊嵌結合部は、第一部材５
１に形成された円台錘形状の凸部５２と第二部材６１に
形成された円台錘形状の凹部６２によって構成されてい
る。この例とは逆に第一部材５１に円台錘形状の凹部
を、第二部材６１に円台錘形状の凸部が形成されてもよ
い。このように構成することによって、第一部材５１と
第二部材６１の結合時における位置決めが確実に行える
利点がある。なお、第一部材５１及び第二部材６１は、
それぞれ、第一ダイヤフラム部５０及び第二ダイヤフラ
ム部６０と一体に形成してもよく、あるいは独立して形
成して螺着等によって一体に結合してもよい。図示の符
号８０は後述する第一加圧手段であるバネＳ１のための
バネ受け部であって、第一ダイヤフラム部５０に螺着や
遊嵌等、適宜手段により係着されている。バネを用いな
い場合にはこのバネ受け部８０は不要である。
【００２５】前記各ダイヤフラム部５０，６０は、それ
らの外周部５０ｂ，６０ｂがボディ本体１１に固定され
て、前記チャンバ２０内に取り付けられる。実施例で
は、図のように、第一ダイヤフラム部５０の外周部５０
ｂがボディ本体１１を構成する第１ブロック１１ａと第
２ブロック１１ｂ間に、第二ダイヤフラム部６０の外周
部６０ｂが第２ブロック１１ｂと第３ブロック１１ｃ間
に、それぞれ挟着されて固定されている。図示の符号８
１はボディ本体１１と第一ダイヤフラム部５０間をシー
ルするためのシール部材、８２はボディ本体１１と第二
ダイヤフラム部６０間をシールするためのシール部材で
ある。そして、これらの第一ダイヤフラム部５０及び第
二ダイヤフラム部６０の取付によって、前記チャンバ２
０は、順に第一加圧室２１，弁室２５，第二加圧室３０
に区分される。
らの外周部５０ｂ，６０ｂがボディ本体１１に固定され
て、前記チャンバ２０内に取り付けられる。実施例で
は、図のように、第一ダイヤフラム部５０の外周部５０
ｂがボディ本体１１を構成する第１ブロック１１ａと第
２ブロック１１ｂ間に、第二ダイヤフラム部６０の外周
部６０ｂが第２ブロック１１ｂと第３ブロック１１ｃ間
に、それぞれ挟着されて固定されている。図示の符号８
１はボディ本体１１と第一ダイヤフラム部５０間をシー
ルするためのシール部材、８２はボディ本体１１と第二
ダイヤフラム部６０間をシールするためのシール部材で
ある。そして、これらの第一ダイヤフラム部５０及び第
二ダイヤフラム部６０の取付によって、前記チャンバ２
０は、順に第一加圧室２１，弁室２５，第二加圧室３０
に区分される。
【００２６】次に前記チャンバ２０の各室について、さ
らに説明する。第一加圧室２１は、第一ダイヤフラム部
５０の外側（図では下側）に位置し、第一ダイヤフラム
部５０に対して常時弁室方向（内向き、図では上向き）
に一定圧力（第一設定圧力）を加える第一加圧手段Ｍ１
を備える。実施例における前記第一加圧手段Ｍ１は、請
求項３に記載の発明のように、バネＳ１よりなり、所定
バネ定数のバネＳ１は第一加圧室２１の底部と第一ダイ
ヤフラム部５０に形成されたバネ受け部８０との間に装
着される。このように加圧手段Ｍ１をバネＳ１とすれ
ば、構造が簡単となり、コスト的に有利である。もちろ
ん、前記加圧手段Ｍ１はバネＳ１に限定されることはな
く、加圧気体を採用したり、あるいは、バネと加圧気体
の両方を採用したり、さらにはソレノイド（電磁石）等
を採用してもよい。なお、バネ単独で使用する場合に
は、図示しないが、バネ押え部材を螺着して荷重調節自
在なバネ装置とすることが望ましい。また、該荷重調節
自在なバネ装置にサーボモータ等を接続してバネ定数を
自動制御できるように構成してもよい。図示の符号２２
は第一加圧室２１内の空気の出入りを行う呼吸路を表
す。
らに説明する。第一加圧室２１は、第一ダイヤフラム部
５０の外側（図では下側）に位置し、第一ダイヤフラム
部５０に対して常時弁室方向（内向き、図では上向き）
に一定圧力（第一設定圧力）を加える第一加圧手段Ｍ１
を備える。実施例における前記第一加圧手段Ｍ１は、請
求項３に記載の発明のように、バネＳ１よりなり、所定
バネ定数のバネＳ１は第一加圧室２１の底部と第一ダイ
ヤフラム部５０に形成されたバネ受け部８０との間に装
着される。このように加圧手段Ｍ１をバネＳ１とすれ
ば、構造が簡単となり、コスト的に有利である。もちろ
ん、前記加圧手段Ｍ１はバネＳ１に限定されることはな
く、加圧気体を採用したり、あるいは、バネと加圧気体
の両方を採用したり、さらにはソレノイド（電磁石）等
を採用してもよい。なお、バネ単独で使用する場合に
は、図示しないが、バネ押え部材を螺着して荷重調節自
在なバネ装置とすることが望ましい。また、該荷重調節
自在なバネ装置にサーボモータ等を接続してバネ定数を
自動制御できるように構成してもよい。図示の符号２２
は第一加圧室２１内の空気の出入りを行う呼吸路を表
す。
【００２７】弁室２５は、第一ダイヤフラム部５０及び
第二ダイヤフラム部６０に囲まれ、前記流入部１２、及
び前記弁機構体４０の弁部４１に対応する弁座１６、並
びに前記流出部１５を有している。この実施例の弁座１
６はボディ本体１１の第２ブロック１１ｂの角部がこの
機能を果している。この弁室２５において、弁機構体４
０の弁部４１の移動によって、弁部４１と弁座１６との
間の開口量が変化して流入部１２側から流出部１５側へ
流通する被制御流体の流量が制御される。
第二ダイヤフラム部６０に囲まれ、前記流入部１２、及
び前記弁機構体４０の弁部４１に対応する弁座１６、並
びに前記流出部１５を有している。この実施例の弁座１
６はボディ本体１１の第２ブロック１１ｂの角部がこの
機能を果している。この弁室２５において、弁機構体４
０の弁部４１の移動によって、弁部４１と弁座１６との
間の開口量が変化して流入部１２側から流出部１５側へ
流通する被制御流体の流量が制御される。
【００２８】第二加圧室３０は、第二ダイヤフラム部６
０の外側（図では上側）に位置し、第二ダイヤフラム部
６０に対して常時弁室方向（内向き、図では下向き）に
一定圧力（第二設定圧力）を加える第二加圧手段Ｍ２を
備える。図示の実施例では、請求項４に記載した発明の
ように、第二加圧手段Ｍ２を加圧気体Ａ１より構成して
いる。第二加圧手段Ｍ２を加圧気体Ａ１とする場合に
は、その設定圧力の調整が容易であるとともに、大きな
設定圧力が要求される場合に有効であるという利点を有
する。図示の第二加圧室３０に関し、符号３１は加圧気
体のための給気ポート、３２はその排気ポートである。
気体の加圧装置は図示が省略されている。なお、第二加
圧手段Ｍ２として、前記した荷重調節自在なバネ装置や
ソレノイド等を採用してもよい。
０の外側（図では上側）に位置し、第二ダイヤフラム部
６０に対して常時弁室方向（内向き、図では下向き）に
一定圧力（第二設定圧力）を加える第二加圧手段Ｍ２を
備える。図示の実施例では、請求項４に記載した発明の
ように、第二加圧手段Ｍ２を加圧気体Ａ１より構成して
いる。第二加圧手段Ｍ２を加圧気体Ａ１とする場合に
は、その設定圧力の調整が容易であるとともに、大きな
設定圧力が要求される場合に有効であるという利点を有
する。図示の第二加圧室３０に関し、符号３１は加圧気
体のための給気ポート、３２はその排気ポートである。
気体の加圧装置は図示が省略されている。なお、第二加
圧手段Ｍ２として、前記した荷重調節自在なバネ装置や
ソレノイド等を採用してもよい。
【００２９】次に、上記した発明に係る流量コントロー
ルバルブ１０の作用について、図２及び図３を参照しつ
つ説明する。この発明の流量コントロールバルブ１０に
よれば、前記第一加圧室２１および第二加圧室３０の加
圧手段Ｍ１，Ｍ２によって、弁機構体４０に対して、そ
の第一ダイヤフラム部５０および第二ダイヤフラム部６
０を介して、常時弁室方向、つまり内向きの第一設定圧
力および第二設定圧力が加えられている。通常の制御状
態（通水状態）では、図２に示したように、前記第一設
定圧力および第二設定圧力は被制御流体が所定流量のと
き釣合いを保つように構成されていて、弁機構体４０の
弁部４１と弁室２５の弁座１６との間の開口量は一定間
隔に保たれている。これによって、流入部１２側（一次
側）から弁室２５内に流入した被制御流体は所定の流量
だけ流出部１５側（二次側）へ流出される。
ルバルブ１０の作用について、図２及び図３を参照しつ
つ説明する。この発明の流量コントロールバルブ１０に
よれば、前記第一加圧室２１および第二加圧室３０の加
圧手段Ｍ１，Ｍ２によって、弁機構体４０に対して、そ
の第一ダイヤフラム部５０および第二ダイヤフラム部６
０を介して、常時弁室方向、つまり内向きの第一設定圧
力および第二設定圧力が加えられている。通常の制御状
態（通水状態）では、図２に示したように、前記第一設
定圧力および第二設定圧力は被制御流体が所定流量のと
き釣合いを保つように構成されていて、弁機構体４０の
弁部４１と弁室２５の弁座１６との間の開口量は一定間
隔に保たれている。これによって、流入部１２側（一次
側）から弁室２５内に流入した被制御流体は所定の流量
だけ流出部１５側（二次側）へ流出される。
【００３０】流入部１２側（一次側）において被制御流
体に何らかの変化があると、その変化は一次側の圧力変
動として現れ、前記第二設定圧力が加えられている弁機
構体４０の第二ダイヤフラム部６０に対する背圧（外向
きの圧力）変動として現れる。この一次側の外向きの変
動圧力と前記各加圧手段Ｍ１，Ｍ２による内向きの設定
圧力とが釣合いを保とうとして、弁機構体４０を変動さ
せる。弁機構体４０の変動に伴ってその弁部４１が位置
移動を生じ、弁部４１と弁座１６間の開口量が変化し
て、被制御流体の流量が制御される。この通常の制御状
態では内向きの設定圧力と外向きの背圧とが釣り合いを
保っているので、前記弁機構体４０の第一部材５１と第
二部材６１とは一体の結合状態で作動する。
体に何らかの変化があると、その変化は一次側の圧力変
動として現れ、前記第二設定圧力が加えられている弁機
構体４０の第二ダイヤフラム部６０に対する背圧（外向
きの圧力）変動として現れる。この一次側の外向きの変
動圧力と前記各加圧手段Ｍ１，Ｍ２による内向きの設定
圧力とが釣合いを保とうとして、弁機構体４０を変動さ
せる。弁機構体４０の変動に伴ってその弁部４１が位置
移動を生じ、弁部４１と弁座１６間の開口量が変化し
て、被制御流体の流量が制御される。この通常の制御状
態では内向きの設定圧力と外向きの背圧とが釣り合いを
保っているので、前記弁機構体４０の第一部材５１と第
二部材６１とは一体の結合状態で作動する。
【００３１】これに対して、流出部１５側の圧力が高く
なった場合、例えばその一例として図３に示すような流
出側の配管Ｐのバルブを閉じた場合には、背圧すなわち
弁機構体４０の各ダイヤフラム部５０，６０（特には第
二ダイヤフラム部６０）に作用する外向きの圧力は、図
２の通常制御状態に比して高くなる。その結果、第二ダ
イヤフラム部６０は外向き（図の上向き）に移動し、そ
れに伴って弁部４１および第一ダイヤフラム部５０は第
二ダイヤフラム部６０側に移動し、弁座１６が弁部４１
により閉じられる。このとき、弁部４１および第一ダイ
ヤフラム部５０を弁室方向に移動させる力は前記第一加
圧手段Ｍ１による圧力のみである。
なった場合、例えばその一例として図３に示すような流
出側の配管Ｐのバルブを閉じた場合には、背圧すなわち
弁機構体４０の各ダイヤフラム部５０，６０（特には第
二ダイヤフラム部６０）に作用する外向きの圧力は、図
２の通常制御状態に比して高くなる。その結果、第二ダ
イヤフラム部６０は外向き（図の上向き）に移動し、そ
れに伴って弁部４１および第一ダイヤフラム部５０は第
二ダイヤフラム部６０側に移動し、弁座１６が弁部４１
により閉じられる。このとき、弁部４１および第一ダイ
ヤフラム部５０を弁室方向に移動させる力は前記第一加
圧手段Ｍ１による圧力のみである。
【００３２】そして、前記弁座１６が閉じた後、さらに
背圧が第二ダイヤフラム部６０に作用すると、図３に示
したように、前記弁機構体４０の第一ダイヤフラム部５
０側の第一部材５１と第二ダイヤフラム部６０側の第二
部材６１は分離する。このことは、第二ダイヤフラム部
６０に大きな背圧がかかっても、弁機構体４０全体には
その負荷がかからないことを意味する。すなわち、第一
部材５１と第二部材６１とが遊離することによって、弁
機構体４０は第一ダイヤフラム部５０側と第二ダイヤフ
ラム部６０側に分離し、第一ダイヤフラム部５０の弁部
４１は第一加圧手段Ｍ１による圧力のみによって弁座１
６を閉じる一方、第二ダイヤフラム部６０のダイヤフラ
ム面６０ａはそれ以上の背圧を吸収するのである。
背圧が第二ダイヤフラム部６０に作用すると、図３に示
したように、前記弁機構体４０の第一ダイヤフラム部５
０側の第一部材５１と第二ダイヤフラム部６０側の第二
部材６１は分離する。このことは、第二ダイヤフラム部
６０に大きな背圧がかかっても、弁機構体４０全体には
その負荷がかからないことを意味する。すなわち、第一
部材５１と第二部材６１とが遊離することによって、弁
機構体４０は第一ダイヤフラム部５０側と第二ダイヤフ
ラム部６０側に分離し、第一ダイヤフラム部５０の弁部
４１は第一加圧手段Ｍ１による圧力のみによって弁座１
６を閉じる一方、第二ダイヤフラム部６０のダイヤフラ
ム面６０ａはそれ以上の背圧を吸収するのである。
【００３３】このように、この発明構造にあっては、従
来のこの種バルブの問題点であった、弁機構体４０全体
に多大な負荷がかかって弁機構体４０の固着部が劣化、
損傷したり、あるいは弁機構体４０の弁部４１やボディ
本体１１の弁座１６が破損したり、塵が発生することを
ことごとく防止することができるのである。
来のこの種バルブの問題点であった、弁機構体４０全体
に多大な負荷がかかって弁機構体４０の固着部が劣化、
損傷したり、あるいは弁機構体４０の弁部４１やボディ
本体１１の弁座１６が破損したり、塵が発生することを
ことごとく防止することができるのである。
【００３４】さらに進んで、この発明構造にあっては、
上に述べた図２の例のように、二次側を閉状態とするこ
とが問題なくできるので、流量を制御しつつその開閉の
切り替えも可能になるという、この種流量コントロール
バルブにおける全く新たな使用態様が可能となる。この
使用態様は、例えば積算流量計の信号によって二次側配
管を閉じるという、従来のこの種バルブでは全く不可能
であったことを可能にする。さらにまた、同様に、第二
加圧室の第二加圧手段Ｍ２の作用を停止することによっ
ても、二次側を閉状態とするができるようになった。
上に述べた図２の例のように、二次側を閉状態とするこ
とが問題なくできるので、流量を制御しつつその開閉の
切り替えも可能になるという、この種流量コントロール
バルブにおける全く新たな使用態様が可能となる。この
使用態様は、例えば積算流量計の信号によって二次側配
管を閉じるという、従来のこの種バルブでは全く不可能
であったことを可能にする。さらにまた、同様に、第二
加圧室の第二加圧手段Ｍ２の作用を停止することによっ
ても、二次側を閉状態とするができるようになった。
【００３５】次に、この発明のバリエーションについ
て、さらに説明する。図１ないし図３に図示した実施例
では、請求項５の発明として規定し、図４の拡大図に示
したように、前記第二加圧室３０の加圧気体Ａ１の給気
ポート３１にゴム等の弾性（可撓性）を有する弁体３５
ａを備えた逆止弁３５が設けられている。このような逆
止弁３５を設置することにより、万一第二ダイヤフラム
部６０が破れた場合でも、被制御流体の給気ポート３１
への逆流を逆止弁３５により阻止することができ、逆流
によって発生する給気側の電磁弁等の制御機器若しくは
圧力調整機器等の故障、破損を防止することができる。
なお、図４の（４Ａ）は通常の制御状態を表し、加圧気
体の圧力により前記逆止弁３５の弁体３５ａは気体流路
３６ｂを開放している。他方、図４の（４Ｂ）は第二ダ
イヤフラム部６０が破れて第二加圧室３０側へ被制御流
体が漏れた状態を表し、該被制御流体の圧力により前記
逆止弁３５の弁体３５ａは弾性変形して気体流路３６ｂ
を塞いでいる。
て、さらに説明する。図１ないし図３に図示した実施例
では、請求項５の発明として規定し、図４の拡大図に示
したように、前記第二加圧室３０の加圧気体Ａ１の給気
ポート３１にゴム等の弾性（可撓性）を有する弁体３５
ａを備えた逆止弁３５が設けられている。このような逆
止弁３５を設置することにより、万一第二ダイヤフラム
部６０が破れた場合でも、被制御流体の給気ポート３１
への逆流を逆止弁３５により阻止することができ、逆流
によって発生する給気側の電磁弁等の制御機器若しくは
圧力調整機器等の故障、破損を防止することができる。
なお、図４の（４Ａ）は通常の制御状態を表し、加圧気
体の圧力により前記逆止弁３５の弁体３５ａは気体流路
３６ｂを開放している。他方、図４の（４Ｂ）は第二ダ
イヤフラム部６０が破れて第二加圧室３０側へ被制御流
体が漏れた状態を表し、該被制御流体の圧力により前記
逆止弁３５の弁体３５ａは弾性変形して気体流路３６ｂ
を塞いでいる。
【００３６】また、この実施例では、請求項６の発明と
して規定したように、前記第二加圧室３０の加圧気体Ａ
１の給気回路３６（前記給気ポート３１を含む。）の所
定位置に絞り弁等の絞り機構３７が配置されている。こ
の絞り機構３７により、図５の（５Ａ）の実線で示した
ように、第二加圧手段Ｍ２の第二設定エアー圧力を徐々
に（緩やかに）変化させることができ、図の点線に示さ
れるように被制御流体の圧力および流量も急激ではなく
徐々に変化させることができる。これによって、水激現
象（ウォーターハンマー）を防ぐことができる。なお、
図５の（５Ｂ）は、参考例として前記第二加圧室の加圧
気体の給気回路に絞り機構がない場合における第二加圧
手段の設定エアー圧力および被制御流体の圧力・流量変
化を示すもので、図から明らかなように、この場合に
は、第二設定エアー圧力が急激に変化し、これに伴い被
制御流体の流量も急激に変化し、ウォーターハンマーが
生ずるおそれがある。
して規定したように、前記第二加圧室３０の加圧気体Ａ
１の給気回路３６（前記給気ポート３１を含む。）の所
定位置に絞り弁等の絞り機構３７が配置されている。こ
の絞り機構３７により、図５の（５Ａ）の実線で示した
ように、第二加圧手段Ｍ２の第二設定エアー圧力を徐々
に（緩やかに）変化させることができ、図の点線に示さ
れるように被制御流体の圧力および流量も急激ではなく
徐々に変化させることができる。これによって、水激現
象（ウォーターハンマー）を防ぐことができる。なお、
図５の（５Ｂ）は、参考例として前記第二加圧室の加圧
気体の給気回路に絞り機構がない場合における第二加圧
手段の設定エアー圧力および被制御流体の圧力・流量変
化を示すもので、図から明らかなように、この場合に
は、第二設定エアー圧力が急激に変化し、これに伴い被
制御流体の流量も急激に変化し、ウォーターハンマーが
生ずるおそれがある。
【００３７】さらに、この実施例では、請求項７の発明
として規定したように、前記第二加圧室３０の加圧気体
Ａ１の排気回路３８（前記排気ポート３２を含む。）の
所定位置にも絞り機構３９が配置されている。この絞り
機構３９により、前記加圧気体Ａ１の排気量を前記絞り
機構３９により制御することができ、図６に示すよう
に、例えば、一の供給部から複数の配給部へ分けて被制
御流体を配給する等、当該流量コントロールバルブ１０
を複数同時に使用する場合、特には各バルブ１０Ａ，１
０Ｂ，１０Ｃの加圧気体Ａ１の第二設定エアー圧力を同
圧力として使用する際、仮に各バルブ１０Ａ，１０Ｂ，
１０Ｃ間に個体差があったとしても、前記絞り機構３９
を調整することにより、前記給気ポート３１への給気圧
力を調整しなくても、各々のバルブに合わせて目的の被
制御流体の流量及び圧力を得ることができる。従って、
単一の圧力調整機器Ｃ（通常、各バルブ１０Ａ，１０
Ｂ，１０Ｃの給気回路３６に設置される。）を用いた場
合にも、各バルブ１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃにおける被制
御流体の流量及び圧力のバラツキを解消することができ
る。また、前記絞り機構３９の調節によって、被制御流
体の流量を設定することも可能となる利点がある。
として規定したように、前記第二加圧室３０の加圧気体
Ａ１の排気回路３８（前記排気ポート３２を含む。）の
所定位置にも絞り機構３９が配置されている。この絞り
機構３９により、前記加圧気体Ａ１の排気量を前記絞り
機構３９により制御することができ、図６に示すよう
に、例えば、一の供給部から複数の配給部へ分けて被制
御流体を配給する等、当該流量コントロールバルブ１０
を複数同時に使用する場合、特には各バルブ１０Ａ，１
０Ｂ，１０Ｃの加圧気体Ａ１の第二設定エアー圧力を同
圧力として使用する際、仮に各バルブ１０Ａ，１０Ｂ，
１０Ｃ間に個体差があったとしても、前記絞り機構３９
を調整することにより、前記給気ポート３１への給気圧
力を調整しなくても、各々のバルブに合わせて目的の被
制御流体の流量及び圧力を得ることができる。従って、
単一の圧力調整機器Ｃ（通常、各バルブ１０Ａ，１０
Ｂ，１０Ｃの給気回路３６に設置される。）を用いた場
合にも、各バルブ１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃにおける被制
御流体の流量及び圧力のバラツキを解消することができ
る。また、前記絞り機構３９の調節によって、被制御流
体の流量を設定することも可能となる利点がある。
【００３８】なお、図７に参考例として示す前記第二加
圧室の加圧気体の排気回路３８Ｄに絞り機構を設けない
流量コントロールバルブを複数同時に使用する場合に
は、各バルブ１０Ｄ，１０Ｅ，１０Ｆ間の個体差に起因
して各バルブ１０Ｄ，１０Ｅ，１０Ｆ間に生じる被制御
流体の流量及び圧力のバラツキを解消するため、各バル
ブ１０Ｄ，１０Ｅ，１０Ｆについてそれぞれ圧力調整機
器Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３および計測器（図示せず）を設置す
る必要がある。図７中の符号３１Ｄは加圧気体の給気ポ
ート、３２Ｄは加圧気体の排気ポート、３６Ｄは加圧気
体の給気回路、３７Ｄは前記給気回路に配置された絞り
機構である。
圧室の加圧気体の排気回路３８Ｄに絞り機構を設けない
流量コントロールバルブを複数同時に使用する場合に
は、各バルブ１０Ｄ，１０Ｅ，１０Ｆ間の個体差に起因
して各バルブ１０Ｄ，１０Ｅ，１０Ｆ間に生じる被制御
流体の流量及び圧力のバラツキを解消するため、各バル
ブ１０Ｄ，１０Ｅ，１０Ｆについてそれぞれ圧力調整機
器Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３および計測器（図示せず）を設置す
る必要がある。図７中の符号３１Ｄは加圧気体の給気ポ
ート、３２Ｄは加圧気体の排気ポート、３６Ｄは加圧気
体の給気回路、３７Ｄは前記給気回路に配置された絞り
機構である。
【００３９】図８には、この発明の他の実施例に係る流
量コントロールバルブ１０Ｙが示されている。なお、以
下の説明および図８において先に説明した実施例の流量
コントロールバルブ１０の部材と同一部材については同
一符号を付して、説明を省略する。この例の流量コント
ロールバルブ１０Ｙは、請求項８の発明として規定した
ように、前記第二ダイヤフラム部６０にサックバック機
構７０を設けたものである。図示の例では、さらに請求
項９の発明として規定したように、前記サックバック機
構７０は第二ダイヤフラム部６０を弁室方向と反対方
向、つまり前記第二加圧手段Ｍ２とは反対の外向きに付
勢する所定バネ定数のバネＳ２より構成されている。該
バネＳ２は第二ダイヤフラム部６０に取り付けられたバ
ネ受け部７１を介して第二ダイヤフラム部６０を弁室方
向と反対方向に付勢している。サックバック機構７０は
このバネＳ２に限定されず、他の駆動装置等を採用して
もよい。
量コントロールバルブ１０Ｙが示されている。なお、以
下の説明および図８において先に説明した実施例の流量
コントロールバルブ１０の部材と同一部材については同
一符号を付して、説明を省略する。この例の流量コント
ロールバルブ１０Ｙは、請求項８の発明として規定した
ように、前記第二ダイヤフラム部６０にサックバック機
構７０を設けたものである。図示の例では、さらに請求
項９の発明として規定したように、前記サックバック機
構７０は第二ダイヤフラム部６０を弁室方向と反対方
向、つまり前記第二加圧手段Ｍ２とは反対の外向きに付
勢する所定バネ定数のバネＳ２より構成されている。該
バネＳ２は第二ダイヤフラム部６０に取り付けられたバ
ネ受け部７１を介して第二ダイヤフラム部６０を弁室方
向と反対方向に付勢している。サックバック機構７０は
このバネＳ２に限定されず、他の駆動装置等を採用して
もよい。
【００４０】上のサックバック機構７０を設けた場合に
は、流量コントロールバルブ１０Ｙの第二加圧手段Ｍ２
の設定圧力を所定値以下に下げて弁座１６の開閉を行う
ときに、該サックバック機構７０が働いて、弁座１６が
閉じた後弁室２５の流出部１５側の容積が大きくなり、
バルブ１０Ｙ内の圧力が下がり、バルブ１０Ｙの流出部
１５と接続される流出用配管Ｐ内の液体をバルブ１０Ｙ
内へ引き戻し、いわゆる液だれを防ぐことができる。な
お、図９にはこの例における第二加圧手段Ｍ２の設定圧
力と被制御流体の流量の関係が示され、図から理解され
るように、前記第二加圧手段Ｍ２の設定圧力をａ値以下
に下げると被制御流体の流量の値は０になる。なお、図
９中の符号ｂはサックバック予定量を示す。
は、流量コントロールバルブ１０Ｙの第二加圧手段Ｍ２
の設定圧力を所定値以下に下げて弁座１６の開閉を行う
ときに、該サックバック機構７０が働いて、弁座１６が
閉じた後弁室２５の流出部１５側の容積が大きくなり、
バルブ１０Ｙ内の圧力が下がり、バルブ１０Ｙの流出部
１５と接続される流出用配管Ｐ内の液体をバルブ１０Ｙ
内へ引き戻し、いわゆる液だれを防ぐことができる。な
お、図９にはこの例における第二加圧手段Ｍ２の設定圧
力と被制御流体の流量の関係が示され、図から理解され
るように、前記第二加圧手段Ｍ２の設定圧力をａ値以下
に下げると被制御流体の流量の値は０になる。なお、図
９中の符号ｂはサックバック予定量を示す。
【００４１】
【発明の効果】以上図示し説明したように、この発明の
流量コントロールバルブにあっては、流出側（二次側）
の負荷の増大に伴って発生するバルブの劣化、損傷ある
いは塵の発生等の不具合を一挙に解消することができ、
その機能ならびに耐久性を向上させ、流量制御の信頼性
を高めることができる。特に、被制御流体が超純水や薬
液等である場合には、高い適用性を有する。
流量コントロールバルブにあっては、流出側（二次側）
の負荷の増大に伴って発生するバルブの劣化、損傷ある
いは塵の発生等の不具合を一挙に解消することができ、
その機能ならびに耐久性を向上させ、流量制御の信頼性
を高めることができる。特に、被制御流体が超純水や薬
液等である場合には、高い適用性を有する。
【００４２】また、さらに進んで、この発明に係る流量
コントロールバルブにあっては、従来のこの種バルブに
は不可能とされていた二次側を閉状態とすることが可能
となり、これによって前述したような新たな使用態様が
作出され、この種コントロールバルブの利便性が大幅に
向上する。
コントロールバルブにあっては、従来のこの種バルブに
は不可能とされていた二次側を閉状態とすることが可能
となり、これによって前述したような新たな使用態様が
作出され、この種コントロールバルブの利便性が大幅に
向上する。
【００４３】加えて、この発明構造によれば、ダイヤフ
ラム機構を採用することによって、瞬間的な負荷変動あ
るいは脈動のような変化に対しても、瞬時に対応するこ
とができ、さらに、機械的あるいは電気的な複雑かつ高
価な機構を用いるものではないので、機構的にも簡単か
つ単純で、設備および維持上においても大きな有利性を
備える。
ラム機構を採用することによって、瞬間的な負荷変動あ
るいは脈動のような変化に対しても、瞬時に対応するこ
とができ、さらに、機械的あるいは電気的な複雑かつ高
価な機構を用いるものではないので、機構的にも簡単か
つ単純で、設備および維持上においても大きな有利性を
備える。
【図１】この発明の一実施例に係る流量コントロールバ
ルブの縦断面図である。
ルブの縦断面図である。
【図２】図１の流量制御状態を示す縦断面図である。
【図３】同じく図１の弁座閉状態を示す縦断面図であ
る。
る。
【図４】第二加圧室の加圧気体の給気ポート部分を拡大
して示す部分断面図である。
して示す部分断面図である。
【図５】この発明の加圧手段の設定エアー圧力および被
制御流体の圧力・流量変化を参考例と比較して示すグラ
フ図である。
制御流体の圧力・流量変化を参考例と比較して示すグラ
フ図である。
【図６】この発明の流量コントロールバルブを複数同時
に使用する状態を表す概略配置図である。
に使用する状態を表す概略配置図である。
【図７】参考例の流量コントロールバルブを複数同時に
使用する状態を表す概略配置図である。
使用する状態を表す概略配置図である。
【図８】この発明の他の実施例に係る流量コントロール
バルブの弁座閉状態を示す縦断面図である。
バルブの弁座閉状態を示す縦断面図である。
【図９】図８における加圧手段の設定圧力と被制御流体
の流量の関係を示すグラフ図である。
の流量の関係を示すグラフ図である。
【図１０】先行発明に係る流量コントロールバルブの制
御状態を示す縦断面図である。
御状態を示す縦断面図である。
【図１１】図１０の流量コントロールバルブの弁座閉状
態を示す縦断面図である。
態を示す縦断面図である。
１０ 流量コントロールバルブ １１ ボディ本体 １２ 流入部 １５ 流出部 １６ 弁座 ２０ チャンバ ２１ 第一加圧室 ２５ 弁室 ３０ 第二加圧室 ３１ 給気ポート ３５ 逆止弁 ３６ 給気回路 ３７ 絞り機構 ３８ 排気回路 ３９ 絞り機構 ４０ 弁機構体 ４１ 弁部 ５０ 第一ダイヤフラム部 ５１ 第一部材 ５２ 第一部材の凸部 ６０ 第二ダイヤフラム部 ６１ 第二部材 ６２ 第二部材の凹部 ７０ サックバック機構 Ｍ１ 第一加圧手段 Ｍ２ 第二加圧手段 Ｓ１ 第一加圧手段のバネ Ａ１ 第二加圧手段の加圧気体 Ｓ２ サックバック機構のバネ
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−295209（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−55482（ＪＰ，Ａ) 米国特許5746245（ＵＳ，Ａ) 米国特許2160849（ＵＳ，Ａ) 米国特許1743127（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16K 31/12 - 31/42 G05D 7/00 - 7/06 G05D 16/00 - 16/20
Claims (9)
- 【請求項１】 一側に被制御流体の流入部（１２）を有
し弁座（１６）を介して他側に被制御流体の流出部（１
５）が形成されたチャンバ（２０）を有するボディ本体
（１１）と、前記弁座を開閉する弁部（４１）と前記流
入部側に配された第一ダイヤフラム部（５０）と前記流
出部側に配された第二ダイヤフラム部（６０）とを有す
る弁機構体（４０）とからなり、 前記各ダイヤフラム部は、それらの外周部が前記ボディ
本体に固定されて前記チャンバ内に取り付けられてい
て、該チャンバを第一ダイヤフラム部外側の第一加圧室
（２１）、前記第一ダイヤフラム部及び第二ダイヤフラ
ム部に囲まれ前記流入部及び弁座ならびに流出部を有す
る弁室（２５）、及び第二ダイヤフラム部外側の第二加
圧室（３０）に区分しており、前記第一加圧室及び第二
加圧室に設けられた第一加圧手段（Ｍ１）及び第二加圧
手段（Ｍ２）によって前記第一ダイヤフラム部及び第二
ダイヤフラム部を常時弁室方向に一定圧力を加えるよう
にしてなる流量コントロールバルブ（１０）において、 前記弁機構体（４０）の第一ダイヤフラム部（５０）に
弁部（４１）を有する第一部材（５１）を一体に設ける
とともに、前記第二ダイヤフラム部（６０）には前記第
一部材と分離自在に遊嵌結合された第二部材（６１）を
一体に設けたことを特徴とする流量コントロールバル
ブ。 - 【請求項２】 請求項１において、前記弁機構体の第一
部材と第二部材の結合部が円台錐形状の凸部（５２）と
凹部（６２）によって形成されている流量コントロール
バルブ。 - 【請求項３】 請求項１または２において、前記第一加
圧室の加圧手段がバネ（Ｓ１）よりなる流量コントロー
ルバルブ。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかにおいて、
前記第二加圧室の加圧手段が加圧気体（Ａ１）よりなる
流量コントロールバルブ。 - 【請求項５】 請求項４において、前記第二加圧室の加
圧気体の給気ポート（３１）に逆止弁（３５）が設けら
れている流量コントロールバルブ。 - 【請求項６】 請求項４または５において、前記第二加
圧室の加圧気体の給気回路（３６）に絞り機構（３７）
が配置されている流量コントロールバルブ。 - 【請求項７】 請求項４ないし６のいずれかにおいて、
前記第二加圧室の排気回路（３８）に絞り機構（３９）
が配置されている流量コントロールバルブ。 - 【請求項８】 請求項１ないし７のいずれかにおいて、
前記第二ダイヤフラム部にサックバック機構（７０）が
設けられている流量コントロールバルブ。 - 【請求項９】 請求項８おいて、前記サックバック機構
が第二ダイヤフラム部を弁室方向と反対方向に付勢する
バネ（Ｓ２）よりなる流量コントロールバルブ。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37048698A JP3276936B2 (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | 流量コントロールバルブ |
| DK99113061T DK1014244T3 (da) | 1998-12-25 | 1999-07-06 | Strømningsreguleringsventil |
| AT99113061T ATE280969T1 (de) | 1998-12-25 | 1999-07-06 | Durchfluss-regelventil |
| DE69921434T DE69921434T2 (de) | 1998-12-25 | 1999-07-06 | Durchfluss-Regelventil |
| EP19990113061 EP1014244B1 (en) | 1998-12-25 | 1999-07-06 | Flow control valve |
| US09/341,121 US6199582B1 (en) | 1998-12-25 | 1999-07-08 | Flow control valve |
| TW088120411A TW432261B (en) | 1998-12-25 | 1999-11-23 | Flow control valve |
| KR1019990058477A KR100580809B1 (ko) | 1998-12-25 | 1999-12-17 | 유량제어밸브 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37048698A JP3276936B2 (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | 流量コントロールバルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000193106A JP2000193106A (ja) | 2000-07-14 |
| JP3276936B2 true JP3276936B2 (ja) | 2002-04-22 |
Family
ID=18497038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37048698A Expired - Lifetime JP3276936B2 (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | 流量コントロールバルブ |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6199582B1 (ja) |
| EP (1) | EP1014244B1 (ja) |
| JP (1) | JP3276936B2 (ja) |
| KR (1) | KR100580809B1 (ja) |
| AT (1) | ATE280969T1 (ja) |
| DE (1) | DE69921434T2 (ja) |
| DK (1) | DK1014244T3 (ja) |
| TW (1) | TW432261B (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7644725B2 (en) | 2005-12-16 | 2010-01-12 | Advance Electric Japan Kabushiki Kaisha | Mixing valve and mixing device |
| JP2010043714A (ja) * | 2008-08-18 | 2010-02-25 | Surpass Kogyo Kk | サックバックバルブ |
| US8402281B2 (en) | 1996-06-20 | 2013-03-19 | Protegrity Corporation | Data security system for a database |
Families Citing this family (37)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3276936B2 (ja) * | 1998-12-25 | 2002-04-22 | アドバンス電気工業株式会社 | 流量コントロールバルブ |
| JP3467438B2 (ja) | 1999-09-29 | 2003-11-17 | アドバンス電気工業株式会社 | 背圧制御弁 |
| JP2002130524A (ja) * | 2000-10-17 | 2002-05-09 | Advance Denki Kogyo Kk | 流量コントロールバルブの弁機構体 |
| JP4763936B2 (ja) * | 2001-09-07 | 2011-08-31 | アドバンス電気工業株式会社 | バルブにおけるガスパージ方法及び構造 |
| JP4776120B2 (ja) * | 2001-09-26 | 2011-09-21 | 旭有機材工業株式会社 | 背圧弁 |
| JP4022438B2 (ja) * | 2001-12-20 | 2007-12-19 | アドバンス電気工業株式会社 | 定流量弁及び定流量混合方法 |
| JP4142883B2 (ja) * | 2002-03-20 | 2008-09-03 | シーケーディ株式会社 | 薬液弁 |
| JP4263426B2 (ja) * | 2002-05-15 | 2009-05-13 | 株式会社鷺宮製作所 | 電動弁 |
| JP3995543B2 (ja) | 2002-07-03 | 2007-10-24 | 旭有機材工業株式会社 | 流体制御弁 |
| DE20310832U1 (de) * | 2003-07-14 | 2004-11-18 | Nordson Corporation, Westlake | Druckregler |
| JP4049084B2 (ja) * | 2003-11-07 | 2008-02-20 | セイコーエプソン株式会社 | 流体制御弁および液滴吐出装置 |
| JP2007530885A (ja) * | 2004-03-25 | 2007-11-01 | スワゲロック カンパニー | バルブおよび圧力調整器付勢アセンブリ |
| JP2007102754A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-04-19 | Advance Denki Kogyo Kk | 流量制御装置 |
| JP4694341B2 (ja) * | 2005-10-13 | 2011-06-08 | シーケーディ株式会社 | 流体制御弁 |
| JP4668119B2 (ja) * | 2006-05-08 | 2011-04-13 | シーケーディ株式会社 | 流量制御装置 |
| JP5301805B2 (ja) * | 2007-10-17 | 2013-09-25 | サーパス工業株式会社 | サックバックバルブシステム及びその閉弁動作制御方法 |
| JP5113774B2 (ja) * | 2009-01-23 | 2013-01-09 | Ｃｋｄ株式会社 | 流体制御弁 |
| JP3168588U (ja) * | 2011-04-08 | 2011-06-16 | アドバンス電気工業株式会社 | 流体供給量調節装置 |
| JP5889649B2 (ja) * | 2012-01-26 | 2016-03-22 | サーパス工業株式会社 | 流量調整装置 |
| CN102720881B (zh) * | 2012-06-19 | 2013-12-04 | 宁波星箭航天机械有限公司 | 气控膜片式高压大流量减压阀出口压力控制系统 |
| US9146007B2 (en) | 2012-11-27 | 2015-09-29 | Lam Research Ag | Apparatus for liquid treatment of work pieces and flow control system for use in same |
| JP6254815B2 (ja) * | 2013-10-11 | 2017-12-27 | アドバンス電気工業株式会社 | 流量制御弁及びこれを用いた流量制御装置 |
| RU2556922C2 (ru) * | 2013-11-22 | 2015-07-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Проектно-производственное предприятие Дизельавтоматика" | Гидроциклон |
| WO2016040514A1 (en) | 2014-09-09 | 2016-03-17 | Proteus Industries Inc. | Systems and methods for coolant drawback |
| US10490429B2 (en) * | 2014-11-26 | 2019-11-26 | Applied Materials, Inc. | Substrate carrier using a proportional thermal fluid delivery system |
| JP6576217B2 (ja) * | 2015-11-10 | 2019-09-18 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 処理液供給装置および処理液供給装置の制御方法 |
| JP6695735B2 (ja) * | 2016-05-10 | 2020-05-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置、その制御方法及び記憶媒体 |
| US11655909B2 (en) | 2017-11-21 | 2023-05-23 | Haldex Brake Products Ab | Valve and a valve assembly |
| GB2568546B (en) | 2017-11-21 | 2022-10-05 | Haldex Brake Prod Ab | A valve and valve component |
| CN108902099B (zh) * | 2018-06-25 | 2021-11-12 | 厦门木图生态科技有限公司 | 园林用喷射装置 |
| US11473682B2 (en) | 2018-11-30 | 2022-10-18 | Asahi Yukizai Corporation | Diaphragm valve |
| US11313482B2 (en) | 2019-11-14 | 2022-04-26 | Entegris, Inc. | Welded check valve |
| CN110939756A (zh) * | 2019-12-11 | 2020-03-31 | 绵阳富临精工机械股份有限公司 | 流体控制阀 |
| JP7607309B2 (ja) | 2020-11-04 | 2024-12-27 | アドバンス電気工業株式会社 | 定圧弁 |
| JP2023162518A (ja) | 2022-04-27 | 2023-11-09 | アドバンス電気工業株式会社 | 定圧弁 |
| CN117816465A (zh) * | 2022-05-16 | 2024-04-05 | 深圳米青科技有限公司 | 一种点胶装置及点胶方法 |
| JP7781730B2 (ja) * | 2022-11-09 | 2025-12-08 | Ckd株式会社 | 流体制御機器 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1743127A (en) | 1929-04-11 | 1930-01-14 | Sonner Burner Co | Automatic control mechanism for fuel gases |
| US2160849A (en) | 1937-04-12 | 1939-06-06 | Arthur J Fausek | Multistage pressure regulator |
| US5746245A (en) | 1996-01-04 | 1998-05-05 | Siemens Measurements Limited | Meters |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA550466A (en) * | 1957-12-17 | A. St. Clair Theodore | Liquid ammonia flow system and valve | |
| US2220496A (en) * | 1939-06-30 | 1940-11-05 | Leo A Ringelstetter | Flowmeter |
| JPS6155482A (ja) * | 1984-08-27 | 1986-03-19 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 差圧駆動型三方弁 |
| JP2671183B2 (ja) * | 1993-04-07 | 1997-10-29 | アドバンス電気工業株式会社 | 流体コントロールバルブ |
| JP3276936B2 (ja) * | 1998-12-25 | 2002-04-22 | アドバンス電気工業株式会社 | 流量コントロールバルブ |
-
1998
- 1998-12-25 JP JP37048698A patent/JP3276936B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-07-06 EP EP19990113061 patent/EP1014244B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-07-06 AT AT99113061T patent/ATE280969T1/de not_active IP Right Cessation
- 1999-07-06 DE DE69921434T patent/DE69921434T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-07-06 DK DK99113061T patent/DK1014244T3/da active
- 1999-07-08 US US09/341,121 patent/US6199582B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-11-23 TW TW088120411A patent/TW432261B/zh not_active IP Right Cessation
- 1999-12-17 KR KR1019990058477A patent/KR100580809B1/ko not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1743127A (en) | 1929-04-11 | 1930-01-14 | Sonner Burner Co | Automatic control mechanism for fuel gases |
| US2160849A (en) | 1937-04-12 | 1939-06-06 | Arthur J Fausek | Multistage pressure regulator |
| US5746245A (en) | 1996-01-04 | 1998-05-05 | Siemens Measurements Limited | Meters |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8402281B2 (en) | 1996-06-20 | 2013-03-19 | Protegrity Corporation | Data security system for a database |
| US7644725B2 (en) | 2005-12-16 | 2010-01-12 | Advance Electric Japan Kabushiki Kaisha | Mixing valve and mixing device |
| JP2010043714A (ja) * | 2008-08-18 | 2010-02-25 | Surpass Kogyo Kk | サックバックバルブ |
| US8251345B2 (en) | 2008-08-18 | 2012-08-28 | Surpass Industry Co., Ltd. | Suck-back valve |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DK1014244T3 (da) | 2005-01-17 |
| KR20000048199A (ko) | 2000-07-25 |
| ATE280969T1 (de) | 2004-11-15 |
| EP1014244B1 (en) | 2004-10-27 |
| DE69921434D1 (de) | 2004-12-02 |
| EP1014244A1 (en) | 2000-06-28 |
| TW432261B (en) | 2001-05-01 |
| JP2000193106A (ja) | 2000-07-14 |
| KR100580809B1 (ko) | 2006-05-16 |
| US6199582B1 (en) | 2001-03-13 |
| DE69921434T2 (de) | 2006-03-02 |
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| Date | Code | Title | Description |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020129 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110208 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110208 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140208 Year of fee payment: 12 |
|
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|
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