KR20040028614A - 정압 레귤레이터 - Google Patents

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KR20040028614A
KR20040028614A KR10-2003-7003851A KR20037003851A KR20040028614A KR 20040028614 A KR20040028614 A KR 20040028614A KR 20037003851 A KR20037003851 A KR 20037003851A KR 20040028614 A KR20040028614 A KR 20040028614A
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요시노겐로
하나다도시히로
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아사히 유키자이 고교 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명의 정압 레귤레이터에서는 본체와 덮개 사이에 본체로 공기실을 형성하는 격벽이 끼워져 있으며, 공기실의 주위에는 본체와 덮개에 의해 끼워진 공기실형성 링이 설치되고, 공기실형성 링의 윗 면과 아랫면에는 격벽의 고리모양 돌출부를 지지하는 시일링이 끼워져 들어가는 제 1 오목부와 공기실을 밀봉하는 시일링이 끼워져 들어가는 제 2 오목부가 각각 설치되어 있다. 격벽은 본체에 형성된 플러그로 유체 제어부를 형성하는 중앙 원통부를 가지고, 격벽과 덮개 사이에는 제 2 밸브실이 형성되며, 본체에는 제 1 밸브실과 입구 유로가, 또한 제 2 밸브실에는 출구 유로가 형성되어 있다.

Description

정압 레귤레이터{CONSTANT PRESSURE REGULATOR}
본 발명자들은 앞서 정압 레귤레이터 내부에서 부품의 접촉에 의한 먼지 발생이나, 미소유량에서의 압력제어 성능의 악화 등을 해결한 정압 레귤레이터에 대하여 이미 출원한 바 있으며, 그 내용은 일본 특허공개 공보 제2001-141083호에 개시되어 있다.
그 구조는 도 6에 나타낸 바와 같이, 제 1 밸브실(40)과 입구 유로(流路)(41)를 가지는 본체(42)와, 제 2 밸브실(43)과 출구 유로(44)를 가지는 덮개(45)와, 제 1 밸브실(40)의 상부 둘레에 고정된 제 1 격벽(46)과, 본체(42)와 덮개(45) 사이에 끼워져 고정된 제 2 격벽(47)과, 제 1 격벽(46)의 중앙부에 결합되고 제 2 격벽(47)의 고리모양 결합부(50)에 연결된 축방향으로 자유롭게 이동가능한 슬리브(sleeve)(49)와, 제 1 밸브실(40)의 바닥에 고정되어 슬리브(49)의 하단부와의 사이에 유체 제어부(51)를 형성하는 플러그(plug)(52)로 이루어지며, 본체(42)의 내주면과 제 1 및 제 2 격벽(46, 47)으로 둘러싸인 공기실(空氣室)(53)을 가지고, 공기실(53)과 통해있는 공기 공급구(54)가 설치되며, 제 2 격벽(47)의 수압(受壓) 면적을 제 1 격벽 (46)의 수압면적보다 크게 한 구조로 이루어져 있다.
하지만 상기 정압 레귤레이터에서는, 제 2 격벽(47)의 재질이 부식성 유체 라인에 유용하게 사용되는 폴리테트라플루오로에틸렌(이하, PTFE라고 함)과 같은 크리프(creep)를 일으키기 쉬운 것이면, 제 2 격벽(47)의 고리모양 돌출부(55)가 크리프를 일으켜 시간이 지남에 따라 제 2 밸브실(43)의 시일성능이 저하하게 된다. 또한, 고무 탄성체를 사용하면, 유체열에 의해 고무가 열화하고, 역시 시일성능이 저하하게 된다. 또한, 플러그(52)가 본체(42)에 나사결합되는 구조이기 때문에, 제 1 밸브실(40)에 장기간의 압력 변동이나 온도의 변화가 일어나면, 일그러짐이나 크리프에 의해 접합부의 시일 성능이 저하하게 된다.
본 발명은 1차측(상류측) 유체(流體) 압력이 변동하더라도 2차측(하류측) 유체압력을 일정하게 유지시키는 정압(定壓) 레귤레이터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 주로 초순수 라인이나 각종 화학약액 라인에서 유용하게 사용되며, 크기가 작고, 안정된 유체압력 제어가 가능한 정압 레귤레이터에 관한 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 정압 레귤레이터의 일실시예의 세로 단면도이다.
도 2는 도 1에서 1차측 압력이 저하한 상태를 나타내는 세로 단면도이다.
도 3은 본체의 평면도이다.
도 4는 반으로 자른 격벽의 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 정압 레귤레이터의 다른 실시예의 세로 단면도이다.
도 6은 종래의 정압 레귤레이터의 세로 단면도이다.
본 발명은 이와 같은 종래 기술의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 오랜 기간에 걸쳐 밸브실의 시일성능을 유지하고, 부식성이 높은 약액라인에서도 사용이 가능하며, 크기가 작고, 안정된 유체압력 제어가 가능한 정압 레귤레이터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 본체와, 덮개와, 본체와 덮개 사이에 끼워져 고정되어 있는 공기실형성용 링(ring) 및 상부와 하부가 각각 덮개와 본체에 결합된 격벽을 구비하고; 본체에는 상부에 격벽의 하부가 결합되는 결합부와, 바닥면 중앙부로부터 돌출하는 원기둥형상의 플러그를 가지는 제 1 밸브실과, 제 1 밸브실과 통해있는 입구 유로 및 격벽과 본체 사이에 형성된 공기실과 통해있는 통기(通氣) 구멍이 설치되며; 격벽에는 중앙부에 상기 플러그로 유체제어부를 형성하고 플러그의 바깥지름보다 작은 안지름을 가지는 원통부와, 원통부의 상부에 설치된 플랜지(flange)부와, 플랜지부의 지름 방향으로 연장하여 설치되며 그 둘레에 고리모양 돌출부를 가지는 제 1 막(膜)부와, 원통부의 하단면에 지름 방향으로 연장하여 설치된 제 2 막부 및 제 2 막부에 연속하여 설치되어 본체의 결합부에 결합되는 고리모양 결합부가 설치되며; 덮개에는 하단면 둘레부에 격벽의 고리모양 돌출부가 끼워맞춰지는 고리모양 홈과, 고리모양 홈보다 안쪽에 위치하고 격벽이 상하로 움직이는 것을 허용하는 제 2 밸브실 및 제 2 밸브실과 통해있는 출구 유로가 설치되며; 또한 상기 공기실형성용 링은 제 2 밸브실의 안지름과 거의 같은 안지름을 가지고 상기 공기실을 밀봉하도록 본체와 덮개 사이에 끼워져 고정되며, 공기실형성용 링의 윗면에는 격벽의 고리모양 돌출부를 지지하는 시일링이 끼워지는 제 1 오목부가 설치되고, 공기실형성용 링의 아랫면에는 공기실을 밀봉하는 다른 시일링이 끼워지는 제 2 오목부가 설치되어 있는 정압 레귤레이터가 제공된다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 상기 제 1 오목부는 공기실형성용 링의 윗면에 형성된 고리모양 홈이며, 제 2 오목부는 공기실형성용 링의 아랫면에 형성된 고리모양 홈이다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 덮개와 본체의 접합부에는 공기실형성용 링을 둘러싸는 단차(段差)부가 설치되며, 하나의 시일링이 끼워지는 제 1 오목부는 공기실형성용 링의 바깥쪽 둘레면과 단차부 사이에 형성된 고리모양의 절결부이며, 다른 하나의 시일링이 끼워지는 제 2 오목부도 공기실형성용 링의 바깥 둘레면과 단차부 사이에 형성된 고리모양의 절결부로 되어 있다.
더욱이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 격벽의 재질은 PTFE이다.
또한, 바람직한 실시예에서는 통기 구멍이 적어도 두 개 설치되어 있다.
한편, 본체와 덮개의 재질은 PTFE나 PFA 등의 불소 수지가 사용되는 것이 바람직한데, 폴리염화비닐, 폴리프로필렌 등의 그 밖의 플라스틱 혹은 금속이어도 좋으며, 특히 한정되지는 않는다. 또한, 공기실형성용 링이나 본체를 보강하는 기판은 강도, 내열성의 관점에서 폴리프로필렌이 사용되는 것이 바람직한데, 마찬가지로 그 밖의 플라스틱이나 금속이어도 좋고 특히 한정되지 않는다. 그리고, 격벽의 재질은 PTFE 등의 불소수지가 적절히 사용되는 것이 바람직하지만, 고무 및 금속이어도 좋고 특히 한정되지 않는다.
본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 정압 레귤레이터를 나타내는 세로 단면도이다. 도 2는 본 발명에 따른 정압 레귤레이터에서 1차측 압력이 저하한 상태를 나타내는 세로 단면도이다. 도 3은 도 1에서의 본체의 평면도이다. 도 4는 도 1에서의 격벽을 반으로 자른 것의 사시도이다. 도 5는 본 발명에 따른 정압 레귤레이터의 다른 실시예의 세로 단면도이다.
도면에 있어서, 인용 부호 1은 PTFE제의 본체이며, 내부에 제 1 밸브실(7)을 가지고, 측면에는 제 1 밸브실(7)과 통해있는 입구 유로(8)와, 공기실(9)과 통해있는 통기 구멍(10 및 11)이 설치되어 있다. 제 1 밸브실(7)의 상부에는 격벽(4)의 하부에 위치하는 고리모양 결합부(18)가 결합되는 결합부(5)가 설치되며, 또한 바닥면 중앙에는 원기둥 형상의 플러그(6)가 돌출하여 설치되어 있다. 한편, 통기 구멍(10 및 11)은 흡기(吸氣)용, 배기용으로 사용되는 것인데, 한 개여도 충분하며, 특히 수량은 한정되지 않는다. 본체(1)의 평면형상은 도 3에 나타나 있다.
인용 부호 2는 PTFE제의 덮개이며, 하단면 둘레부에 격벽(4)의 고리모양 돌출부(15)가 끼워맞춰지는 고리모양 홈(19)과, 이 홈(10)보다 안쪽에 위치하고 격벽(4)이 상하로 움직이는 것을 허용하는 가로단면이 원형인 제 2 밸브실(20)과, 제 2 밸브실(20)과 통해있는 측면의 출구 유로(21)가 설치되어 있다.
인용 부호 3은 제 2 밸브실(20)의 안지름과 대략 같은 안지름을 가지는 폴리프로필렌제의 공기실형성용 링이며, 윗면에는 격벽(4)의 고리모양 돌출부(15)를 지지하는 고무 탄성체로 이루어진 시일링(22)이 끼워지는 고리모양 홈(23)이, 아랫면에는 공기실(9)을 밀봉하는 다른 시일링(24)이 끼워지는 고리모양 홈(25)이 설치되어 있으며, 본체(1)와 덮개(2) 사이에 끼워져 고정되어 있다.
격벽(4)은 PTFE제이며, 중앙에 상기 플러그(6)의 바깥지름보다 작은 안지름을 가지는 원통부(13)와, 원통부(13)의 상부에 설치된 플랜지부(14)와, 플랜지부(14)의 지름 방향으로 연장하여 설치되며 그 둘레부에 고리모양 돌출부(15)를 가지는 제 1 막부(16)와, 원통부(13)의 하단면에 지름 방향으로 연장하여 설치된 제 2 막부(17)와, 제 2 막부(17)에 연속하여 설치되며 본체(1)의 결합부(5)에 O-링을 거쳐 나사결합되는 고리모양 결합부(18)가 설치되어 있다. 원통부(13)의 하단부는 상기 제 1 밸브실(7)의 중앙부에 설치된 플러그(6) 윗면과의 사이에 유체 제어부(12)를 형성하고 있다. 고리모양 결합부(18)를 본체(1)의 결합부(5)에 결합하는 방법은, 나사결합에 한정되는 것이 아니며 다른 결합 방법을 사용해도 상관없다. 격벽(4)의 고리모양 돌출부(15)는 덮개(2)의 고리모양 홈(19)에 끼워맞추어짐과 동시에, 시일링(22)에 의해 지지됨으로써 고리모양 홈(19)쪽으로 눌린다. 한편, 격벽(4) 윗면의 수압 면적은, 아랫면의 수압면적, 즉 제 2 막부(17)의 수압 면적보다 커야 한다.
공기실(9)은 격벽(4)과 공기실형성용 링(3)으로 둘러싸여 형성된다. 공기실(9)의 내부에는 상기 통기 구멍(10)으로부터, 기체용 레귤레이터 등을 사용하여 압력 조정된 압축 공기 또는 불활성 가스 등이 도입되며, 또한 통기 구멍(11)에서는 이것들이 조금씩 배출되면서 일정 압력을 유지하도록 조정된다. 또한, 공기 또는 가스의 압력을 변경하면, 정압 레귤레이터의 1차측 유체압력은 그것에 대응한값으로 유지되기 때문에, 공기 또는 가스의 압력을 조정함으로써 레귤레이터의 2차측 압력을 원하는 압력으로 조정할 수 있다.
인용 부호 26은 보강용 폴리프로필렌제 기판이며, 덮개(2), 공기실형성용 링(3) 및 본체(1)와 함께, 볼트나 너트(도시하지 않음)로 끼워져 고정되어 있다. 예를 들어, 정압 레귤레이터가 PTFE나 폴리에틸렌 등과 같이 강도가 낮고 크리프를 일으키기 쉬운 재질로 만들어져 있는 경우에는, 볼트나 너트로 끼울 때의 본체의 변형이나 시간이 지남에 따라 볼트나 너트가 느슨해지는 것을 방지하기 위해, 기판(26)으로 보강하여 변형 또는 볼트나 너트가 느슨해지는 것을 방지하는 것이 좋다. 이 기판(26)은 정압 레귤레이터의 재질이 충분히 강인한 것으로 형성되어 있는 경우에는 꼭 필요하지는 않다.
상기 구성으로 이루어진 본 실시예의 정압 레귤레이터의 작동은 다음과 같다.
도 1의 상태에서는, 제 2 막부(17)는 제 1 밸브실(7) 내부의 압력 즉 정압 레귤레이터 상류측(1차측) 압력에 의한 윗쪽을 향한 힘과, 공기실(9) 내부의 압력에 의한 아랫쪽을 향한 힘을 받고 있다. 한편, 격벽(4)의 윗면은 제 2 밸브실(20) 내부의 압력 즉 레귤레이터 하류측(2차측) 압력에 의한 아랫쪽을 향한 힘을 받고, 격벽(4)의 윗면에 대응하는 제 1 막부(16)와 플랜지부(14)는 공기실(9) 내부의 압력에 의한 윗쪽을 향한 힘을 받고 있으며, 이 네 가지 힘의 균형에 의해 격벽(4)과 일체로 설치된 원통부(13)의 위치가 결정되어 있다.
도 1의 상태에서 1차측 압력이 저하하는 경우, 일시적으로 2차측 압력 및 유량도 감소한다. 이 때문에 제 2 밸브실(20)의 압력이 감소하고 격벽(4)의 윗면이 받는 힘도 줄어드는데, 제 1 막부(16) 및 플랜지부(14)가 받는 공기실(9)의 내부 압력은 변하기 않기 때문에, 제 1 막부(16) 및 플랜지부(14)가 받는 공기실(9) 내부 압력이 상대적으로 커지게 되어 원통부(13)를 윗쪽으로 끌어올리려고 한다. 또한, 제 1 밸브실(7)의 압력이 감소하고 제 2 막부(17)가 유체로부터 받는 힘도 감소하지만, 공기실(9) 압력은 변하지 않기 때문에, 제 2 막부(17)는 원통부(13)를 끌어내리려고 한다. 이 때, 제 1 막부(16) 및 플랜지부(14)의 면적이 제 2 막부(17)의 면적보다 충분히 크기 때문에, 결과적으로 원통부(13)를 윗쪽으로 끌어올리게 된다(도 2의 상태). 이에 의해, 유체 제어부(12)의 개구(開口) 면적은 증가하고, 2차측 유체압력은 순식간에 원래의 압력까지 증가하여, 다시 공기실(9) 내부의 압력과 유체압력에 의한 힘의 균형이 유지된다. 보통 본 발명의 정압 레귤레이터의 하류측에는, 도시하지 않은 고정 스로틀 또는 밸브가 설치되어 있다. 고정 스로틀 혹은 밸브의 하류측을 대기에 대하여 개방상태로 두면, 고정 스로틀 혹은 밸브 전후의 차압(差壓)은 항상 일정하게 유지되게 되어, 고정 스로틀 혹은 밸브의 유량계수에 맞는 유량이 항상 유지되게 된다.
한편, 도 2의 상태에서 1차측 압력이 증가하는 경우, 일시적으로 2차측 압력 및 유량도 증가한다. 따라서, 제 2 밸브실(20)의 압력은 증가하고, 원통부(13)를 밀어내리려고 한다. 또한, 제 1 밸브실(7)의 압력도 증가하기 때문에 제 2 막부(17)는 원통부(13)를 밀어올리려고 한다. 마찬가지로, 격벽(4) 윗면의 면적이 제 2 막부(17)의 면적보다 충분히 넓기 때문에, 원통부(13)는 밀려내려간다. 이에의해, 유체 제어부(12)의 개구 면적은 감소하고(도 1의 상태), 2차측 유체 압력은 순식간에 원래의 압력까지 감소하며, 다시 공기실(9) 내부의 압력과 유체 압력에 의한 힘의 균형이 지켜지고, 원래의 유량도 유지된다.
이상과 같이 1차측 압력이 증가하여도, 순간적으로 격벽(4)의 원통부(13)의 위치가 변하여, 항상 2차측 압력이 일정하게 유지되고, 따라서 설정한 유량을 안정되게 유지할 수 있다.
한편, 공기실(9) 내부의 압력을 변경하면, 2차측 압력은 그것에 대응한 값으로 유지되기 때문에, 하류측에 설치된 고정 스로틀 혹은 밸브에 변경이 없다면, 설정유량을 변경할 수 있다.
또한, 상기 제 2 밸브실(20)에 도달한 유체는, 그 압력의 작용에 의해 격벽(4)의 고리모양 돌출부(15) 및 고리모양 홈(19)과의 시일면을 통과하여 정압 레귤레이터의 외부로 흘러나가려고 하는데, 고리모양 돌출부(15)가 공기실형성용 링의 윗면에 배치된 고리모양 홈(23)에 끼워맞춰진 시일링(22)에 의해 덮개(2)의 고리모양 홈(19)에 눌려져있기 때문에, 유체가 정압 레귤레이터 외부로 흘러나가는 것이 저지된다.
하지만, 유체의 압력이나 온도가 장기간에 걸쳐 변동함으로써 격벽(4)의 고리모양 돌출부(15)나 덮개(2)의 고리모양 홈(19)이 크리프나 일그러짐을 발생시키거나, 또는 유체 온도가 빈번하게 변하여 본체(1), 덮개(2), 공기실형성용 링(3) 및 기판(26)을 사이에 끼우고 있는 볼트를 느슨하게 하거나 하면, 격벽(4)의 고리모양 돌출부(15)를 덮개(2)의 고리모양 홈(19)쪽으로 누르는 힘이 감소하기 쉽다.
본 발명에 따른 정압 레귤레이터에서는, 고리모양 돌출부(15)가 시일링(22)의 탄성 작용에 의하여 덮개(2)의 고리모양 홈(19)쪽으로 눌려 있기 때문에, 고리모양 돌출부(15)를 고리모양 홈(19)쪽으로 누르는 힘이 저하하지 않고, 유체가 정압 레귤레이터 외부로 흘러나가는 것이 저지된다.
더욱이, 시일링(22)이 유체 온도의 영향으로 열화하여도, 유체의 온도가 전달되기 어려운 위치인 공기실형성용 링(3) 하부의 고리모양 홈(25)에 끼워맞춰진 시일링(24)의 탄성 작용에 의하여, 격벽(4)의 고리모양 돌출부(15)는 덮개(2)의 고리모양 홈(19)쪽으로 눌려 있기 때문에, 유체가 정압 레귤레이터의 외부로 흘러나가는 것이 저지된다.
도 5는 본 발명은 다른 실시예를 나타낸 세로 단면도이다.
도면에서, 본체(1), 격벽(4), 시일링(22, 24) 및 기판(26)은 상기 제 1 실시예에서와 같기 때문에, 같은 인용 부호로 나타내었다.
이하, 도 1과 다른 점에 대해서만 설명한다.
인용 부호 30은덮개이며, 하부 내면에 공기실형성용 링(31)과 시일링(22 및 24)을 둘러싸는 단차부(32)와, 단차부(32)의 단차면에 설치되고 격벽(4)의 고리모양 돌출부(15)가 끼워맞추어지는 고리모양 홈(33)과, 고리모양 홈(33)보다 안쪽에 위치하고 격벽(4)이 상하로 움직이는 것을 허용하는 가로단면이 원형인 제 2 밸브실(34)과, 제 2 밸브실(34)과 통해있는 측면의 출구 유로(35)가 설치되어 있다.
인용 부호31은 본체(1)와 덮개(30)에 끼워져 고정되어 있는 공기실형성용 링이며, 제 2 밸브실(34)과 대략 같은 안지름을 가지고, 윗면의 바깥 둘레측에 제 1시일링(22)이 끼워맞추어지는 제 1 고리모양 절결부(36)와, 아랫면의 바깥 둘레측에 제 2 시일링(24)이 끼워맞추어지는 제 2 고리모양 절결부(37)가 설치되어 있다. 제 1 고리모양 절결부(36)는 제 1 시일링(22)을 단차부(32)의 내주면과 고리모양 돌출부(15)로 누르도록 설계되어 있다. 또한, 제 2 고리모양 절결부(37)는 제 2 시일링(24)을 단차부(32) 내주면과 본체(1)의 상단면으로 누르도록 설계되어 있으며, 시일링(22, 24)은 공기실(9)을 밀봉함과 동시에 격벽(4)의 고리모양 돌출부(15)를 지지하게 된다.
상기 구성으로 이루어진 제 2 실시예의 정압 레귤레이터의 작동은 제 1 실시예와 같기 때문에 생략하며, 다만, 상기 제 2 밸브실(34)의 유체가 덮개(30)의 고리모양 홈(33)과 격벽(4)의 고리모양 돌출부(15)와의 시일면으로부터 유출되어도, 시일링(22)이 덮개(30)의 단차부(32) 내주면과 격벽(4)의 고리모양 돌출부(15)를 누르도록 배치되어 있기 때문에, 외부로의 유출은 저지된다는 점만 적시한다.
본 발명의 정압 레귤레이터는 이상에서 설명한 바와 같은 구조를 가지고 있으며, 이것을 사용함으로써 아래와 같은 뛰어난 효과를 얻을 수 있다.
(1) 시일링에 의해 밸브실의 시일부분이 지지되며, 더욱이, 온도가 전달되기 어려운 위치에서 지지되기 때문에, 장기간에 걸쳐 확실한 시일성능을 확보할 수 있다.
(2) 제 1 밸브실의 플러그가 본체와 일체로 성형되기 때문에, 종래의 정압 레귤레이터와 비교할 때, 제 1 밸브실로부터 외부로 유체가 누출될 염려가 전혀 없다.
(3) 크기가 작으면서, 안정된 유체 압력 제어가 가능하다.
(4) 유체와 접하는 부재는 모두 PTFE 등의 내약품성이 뛰어난 재질을 사용할 수 있기 때문에, 불순물의 용출이나 약액의 오염이 극히 적다.

Claims (5)

  1. 본체와, 덮개와, 본체와 덮개 사이에 끼워져 고정되어 있는 공기실형성용 링 및 상부와 하부가 각각 덮개와 본체에 결합된 격벽을 구비하고,
    상기 본체에는 상부에 격벽의 하부가 결합되는 결합부와, 바닥면 중앙부로부터 돌출하는 원기둥형상의 플러그를 가지는 제 1 밸브실과, 제 1 밸브실과 통해있는 입구 유로 및 격벽과 본체 사이에 형성된 공기실과 통해있는 통기(通氣) 구멍이 설치되며,
    상기 격벽에는 중앙부에 상기 플러그로 유체제어부를 형성하고 플러그의 바깥지름보다 작은 안지름을 가지는 원통부와, 원통부의 상부에 설치된 플랜지(flange)부와, 플랜지부의 지름 방향으로 연장하여 설치되며 그 둘레에 고리모양 돌출부를 가지는 제 1 막(膜)부와, 원통부의 하단면에 지름 방향으로 연장하여 설치된 제 2 막부 및 제 2 막부에 연속하여 설치되어 본체의 결합부에 결합되는 고리모양 결합부가 설치되며,
    상기 덮개에는 하단면 둘레부에 격벽의 고리모양 돌출부가 끼워맞춰지는 고리모양 홈과, 고리모양 홈보다 안쪽에 위치하고 격벽이 상하로 움직이는 것을 허용하는 제 2 밸브실 및 제 2 밸브실과 통해있는 출구 유로가 설치되며, 또한
    상기 공기실형성용 링은 제 2 밸브실의 안지름과 거의 같은 안지름을 가지고 상기 공기실을 밀봉하도록 본체와 덮개 사이에 끼워져 고정되며, 공기실형성용 링의 윗면에는 격벽의 고리모양 돌출부를 지지하는 제 1 시일링이 끼워지는 제 1 오목부가 설치되고, 공기실형성용 링의 아랫면에는 공기실을 밀봉하는 제 2 시일링이 끼워지는 제 2 오목부가 설치되어 있는 정압 레귤레이터.
  2. 제 1 항에 있어서,
    제 1 시일링이 끼워지는 상기 제 1 오목부는 공기실형성용 링의 윗면에 형성된 고리모양의 홈이며, 제 2 시일링이 끼워지는 상기 제 2 오목부는 공기실형성용 링의 아랫면에 형성된 고리모양의 홈인 정압 레귤레이터.
  3. 제 1 항에 있어서,
    덮개와 본체의 접합부에는 공기실형성용 링을 둘러싸는 단차(段差)부가 설치되며, 제 1 시일링이 끼워지는 상기 제 1 오목부는 공기실형성용 링의 바깥쪽 둘레면과 단차부 사이에 형성된 고리모양의 절결부이고, 제 2 시일링이 끼워지는 상기 제 2 오목부는 공기실형성용 링의 바깥 둘레면과 단차부 사이에 형성된 고리모양의 절결부인 정압 레귤레이터.
  4. 제 1 항에 있어서,
    격벽의 재질이 폴리테트라플루오로에틸렌인 정압 레귤레이터.
  5. 제 1 항에 있어서,
    통기 구멍이 적어도 두 개 설치되어 있는 정압 레귤레이터.
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