JPH0442913Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案は、半導体製造装置に於いて、半導体製
造用ガス若しくは液体の流れを制御する空気作動
式ブロツクバルブに関するものである。

「従来技術」 半導体デバイスの製造に際しては、可燃性及び
超毒性ガス流体（以下、ガスと略称する。）が被
膜形成用材料として複数種使用されるが、このガ
スの半導体側への導入または排気には、従来、第
５図のバルブ系統図で示すように、単品のエアバ
ルブ１，１……、２，２……を、ガスの通路とな
る複数のパイプ３，３……と複数の継手４，４…
…により組み込み配管し、ガス導入口５，５を連
結した構成のものが使用され、エアバルブ１，１
……、２，２……によりガス通路を選択的に制御
しながら行なつている。

「発明が解決しようとする問題点」 しかしながら、従来のような構成のものでは継
手４，４……の使用箇所が多くなり、その分だけ
接続箇所が増えるのでガスを半導体側に繰り返し
導入していると、接続箇所からガス漏れの生じる
ことがあり、１箇所のリーク量は少なくても継手
を多数使用しているので、そのトータル量は無視
し得ない量となつたり、また、接続箇所を通して
外部から継手４，４部内に空気や水蒸気等が混入
しガスの純度が低下してくる等の問題があり、こ
れらが得られる半導体製品の特性に悪影響を与え
る欠点があつた。そればかりか、コンパクトな配
管が出来ず、そのため、ガスの切替が瞬時に行な
えずにガスの選択性が低下する不都合も生じてい
る。

本考案者等は、この点に着目して、上記問題点
を解消したブロツク化した半導体装置用複合エア
バルブを開発し、先に実用新案登録出願（実願昭
59−88868号）したが、このものは、その複雑な
形状の為限られた場所にしか取り付けられないと
か、配管接続口が多方向に向いている為配管施工
が非常に困難であるとか、液体の流れ方向がバル
ブを見ただけでは判断しにくい等の難点があつ
た。

本考案は、上記半導体装置用複合エアバルブの
利点を保持しつつ、その欠点を解消した空気作動
式ブロツクバルブを提供することを目的とする。

「問題点を解決するための手段」 上記の目的を達成するため、本考案の半導体装
置用空気作動式ブロツクバルブは、多面ブロツク
で形成されたバルブボデイと、該多面ブロツクの
一面に形成されたバルブ固定面（バルブ底面）
と、該バルブ固定面に対し垂直方向にＶ字状で且
つその角度が略90°となるように配置されたガス
の導入及び排出用エアバルブとで構成したエア駆
動部と、前記エアバルブにそれぞれ接続されたガ
ス導入部及びガス排気部とを備え、前記ガス導入
部とガス排気部とを、前記バルブ固定面に対し、
平行または平行及び垂直の方向に設け、前記ガス
導入部と前記ガス導入用エアバルブ及び前記ガス
排出部と前記ガス排出用エアバルブとを鋭角に交
わるように斜設すると共に、前記エア駆動部から
のエア圧力により選択的にガスの流れ方向および
種類を制御するようになつている。

本考案に使用するガス導入用エアバルブとガス
排出用エアバルブとしては、一般にエア駆動式自
動バルブと呼ばれているものが好適に使用され
る。このエアバルブは、ガス導入用とガス排出用
とで、或いはガス導入用若しくはガス排出用同士
でＶ字状に形成される。Ｖ字の角度は、90°付近
であるのが、ブロツクバルブの構成上特に好まし
い。

ガス導入部若しくはガス排気部は、それぞれガ
ス導入用エアバルブ及びガス排出用エアバルブに
接続される。本考案に於いては、エアバルブがＶ
字状に接続されるので、ガス導入部及びガス排気
部は、バルブ固定面に対して平行若しくは垂直の
方向に施すことが可能となる。

「実施例」 以下に、本考案の望ましい実施例を図面を参照
しながら説明する。

第１図は、本考案の正面図、第２図は、本考案
の１部切欠側面図である。

バルブボデイ１１は多面状に形成された柱状の
ブロツクから成つており、その中心部には長手方
向にガス供給通路１２が穿設されている。バルブ
ボデイ１１は第２図でみて断面が不等辺五角形状
となつており、このバルブボデイ１１の低面１１
ａは、バルブ固定面に形成されており、斜辺１１
ｂにはガス供給通路１２に向けてガス導入用エア
バルブ１３が配設され、また、バルブボデイ１１
の他方の斜辺１１ｃにはガス供給通路１２に向け
てガス排出用エアバルブ１４が配設されている。
ガス導入用エアバルブ１３とガス排出用エアバル
ブ１４は通路１５を介してそれぞれ直交する関係
で接続されている。また、ガス導入用エアバルブ
１３は通路１６によりガス供給通路１２に連通さ
れている。そして、ガス導入用エアバルブ１３と
ガス排出用エアバルブ１４が一組のエア駆動部を
構成しており、これらがガス供給通路に沿つて複
数組並列して配設されている。

ガス導入用エアバルブ１３側の室２５にはバル
ブボデイ１１に形成された通路３０を介してガス
導入部３１が接続されており、また、ガス排出用
エアバルブ１４側の室２５には通路３２を介して
ガス排気部３３が接続されている。そして、ガス
導入部３１とガス排気部３３はバルブ固定面１１
ａに対して平行に配設されている。このガス導入
部３１とガス排気部３３も一組としてガス導入用
エアバルブ１３とガス排出用エアバルブ１４のよ
うにバルブボデイ１１の長手方向に複数組並列し
て配設されている。それぞれのガス導入部３１に
は組ごとに種類の異なるガスが圧送されるように
なつている。

バルブボデイ１１内に形成されたガス供給通路
１２の一端にはキヤリアガス導入部３４が、ま
た、他端には排出部３５がそれぞれ接続されてお
り、キヤリアガス導入部３４からは常時キヤリア
ガス例えば水素ガスがガス供給通路１２を通して
排出部３５側に送られるようになつている。

「作用」 つぎに、上記のように構成された本考案の作用
を説明する。

いま、ガスをガス導入部３１からガス供給通路
１２内へ流そうとする場合、ガス導入用エアバル
ブ１３側にはエアの導入が制御され、ガス導入用
エアバルブ１３側のベローズ２４の作用によりデ
イスク２７が引かれて、通路１６が開放される。
この状態でガス導入部３１側の通路３０とガス供
給通路１２とが連通する。一方、ガス排出用エア
バルブ１４側にはエアがエア導入部２９を通して
送られ、ピストン（図示せず）を押圧してスプリ
ング（図示せず）の弾発力によりステム（図示せ
ず）がベローズ２４を伸張させながらガス供給通
路１２方向に移動し、デイスク２７が通路１５を
閉塞する。ガス排気部３３側の通路３２は通路１
５との連通を遮断されるので、ガスは、ガス導入
部３１からガス排気部３３を通つてガス導入用エ
アバルブ１３側の室２５から通路１５までは入つ
てもそこで流路が閉ざされることとなる。この状
態でガス導入部３１からガスを流せば、ガスはガ
ス供給通路１２を通つて排出部３５へと流れる。
種類の異なるガスを並列した別のガス導入部３１
から流す場合にも、それと対応する別のガス導入
用エアバルブ１３とガス排出用エアバルブ１４は
上記と同様の動作をすることとなる。

ガスのガス供給通路１２への流れを遮断しガス
をガス排気部３３に排出するには、エアをガス導
入用エアバルブ１３側にだけ流してガス導入用エ
アバルブ１３側のステム１８をガス供給通路１２
方向に移動させてデイスク２７により通路１６を
閉塞させ、ガス排出用エアバルブ１４側にはエア
を制御してベローズ２４の作用によりデイスク２
７を引いて通路１５を開放すれば、通路３０、通
路１５、通路３２は室２５を介して連通し、ガス
はガス導入部３１からガス排気部３３へと流れる
こととなる。

第３図及び第４図は、本考案の他の実施例を示
すものでバルブ固定面に対しＶ字状に配置された
エアバルブ１３，１３′と、該エアバルブに接続
されバルブ固定面に対し平行若しくは垂直に配設
されたガス導入部３１及び排気部３３とから構成
されている。

このブロツクバルブの使用に当つては、ガスを
ガス導入部３１から通路３０に導入し、エアバル
ブ１３′の作用によりデイスク２７を引けば、ガ
スは通路３２を通つて排出部３３へ流れる。デイ
スク２７の代りにデイスク２７′を引けば、ガス
は通路３２を通つて排出部３３へ流れる。

また２種類のガスを排出部３３，３３′からそ
れぞれ導入し、エアバルブ１３′，１３″の作用に
より、所望のガスを選択して導入部３１から排出
させることも出来る。

「考案の効果」 以上説明したように、本考案の半導体装置用ブ
ロツクバルブは、バルブ固定面により配管系収納
部の床面、上面、側面に容易に配置固定できると
共に、エアバルブがバルブ固定面に対しＶ字状に
配置されているので、ガス導入部とガス排気部と
はバルブ固定面に対し平行若しくは垂直の方向に
施すことが可能となり、その為ガス導入部と排気
部へ接続するパイプの寸法取りや加工が簡単にな
るので、装置内に於いて充分に整理された配管系
統の組み立てが可能となり、しかもガス溜りが非
常に少なくなるのでガスを瞬時に切り替えること
ができる等多くの利点を併有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の半導体装置用ブロツクの正
面図、第２図は、第１図の一部切欠側面図、第３
図は、本考案の他の実施例を示す正面図、第４図
は、第３図の一部切欠斜視図、第５図は、従来の
複合エアバルブのバルブ系統図である。 １１……バルブボデイ、１１ａ……バルブ固定
面、１２……ガス供給通路、１３……ガス導入用
エアバルブ、１４……ガス排出用エアバルブ、１
５，１６，３０，３２……通路、２５……室、２
９……エア導入部、３１……ガス導入部、３３…
…ガス排気部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 多面ブロツクで形成されたバルブボデイと、該
   多面ブロツクの一面に形成されたバルブ固定面
   （バルブ底面）と、該バルブ固定面に対し垂直方
   向にＶ字状で且つその角度が略90°となるように
   配置されたガスの導入及び排出用エアバルブとで
   構成したエア駆動部と、前記エアバルブにそれぞ
   れ接続されたガス導入部及びガス排気部とを備
   え、前記ガス導入部とガス排気部とを、前記バル
   ブ固定面に対し、平行または平行及び垂直の方向
   に設け、前記ガス導入部と前記ガス導入用エアバ
   ルブ及び前記ガス排出部と前記ガス排出用エアバ
   ルブとを鋭角に交わるように斜設すると共に、前
   記エア駆動部からのエア圧力により選択的にガス
   の流れ方向及び種類を制御することを特徴とする
   半導体装置用空気作動式ブロツクバルブ。