WO2018180373A1 - 変換継手、その変換継手を有する集積型流体供給装置および流体用パーツの取付け方法 - Google Patents

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fluid
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涼介 岩沢
英宏 堂屋
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株式会社フジキン
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    • Y10T137/87885—Sectional block structure

Definitions

  • the present invention relates to a conversion joint, an integrated fluid supply apparatus having the conversion joint, and a method for attaching a fluid part.
  • an integrated fluid supply device (hereinafter also referred to as an integrated fluid supply device) is used in a supply line for supplying various gases (see Patent Document 1).
  • a fluid supply part such as a manual valve, a pressure transducer, a regulator, a filter, a mass flow controller, and an air operation valve is used for one gas supply line.
  • the width of the fluid parts in the alignment direction can be increased by forming the fluid outlets at the lower side and arranging the base block with the flow path connecting the fluid parts below the fluid parts. Compactly integrated.
  • fluid parts corresponding to 1.5 inch base block are Since it is made to order, there is a problem that it is expensive and has a long delivery time. In some cases, production of 1.5 inch fluid parts is discontinued, and only 1.125 inch fluid parts are often produced.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and includes a conversion joint that enables use of a fluid part having a different size from the fluid part corresponding to the base block, and an integrated fluid supply apparatus having the conversion joint.
  • the purpose is to provide.
  • the conversion joint of the present invention is a conversion joint having a flow path connected to the first flow path and the second flow path formed in the base block, and the conversion joint is on one base block.
  • the first base part disposed on the two base blocks and the first base part spaced apart from the first base part in a first direction away from the base block, and installed at the place where the conversion joint of the base block is installed.
  • a second base part on which a first fluid part having a different size from the fluid part to be installed is located, and the first base part and the second base are located between the first base part and the second base part.
  • An intermediate portion that connects the first and second base portions, the intermediate portion, and the first base portion, and is connected to one end of the first flow passage of the base block, and the second A base part, the intermediate part and A first end on the second base portion side of the one end side flow path, the second end flow path passing through the first base portion and connected to the other end of the second flow path of the base block.
  • the second opening on the second base portion side of the opening and the other end side flow path is set to be connectable to a fluid inlet of the first fluid part and a fluid outlet of the first fluid part. ing.
  • one set of opposite side faces out of two sets of opposite side faces is directed from the fluid inlet to the fluid outlet of the first fluid part.
  • the second base portion is formed in a substantially rectangular shape having a second outer shape different from the first outer shape, and the intermediate portion is disposed along a second direction of the direction.
  • the first width in the third direction perpendicular to the first direction and the second direction is larger than the first inner diameter of the one end side flow path and the second inner diameter of the other end side flow path, and two It is smaller than either of the distances between the opposite side surfaces of the first outer shape.
  • the intermediate portion is smaller than either of the distances between the opposing side surfaces of the second outer shape having two sets of the first width.
  • the first base portion is provided with four screw penetrating portions in a rectangular shape
  • the second base portion has four
  • the screw threaded portion is provided at a rectangular position
  • the intermediate portion is smaller than any of the distances between the adjacent screw penetration portions having four first widths, and four It is smaller than any distance between the adjacent screw screw portions.
  • the first opening has a substantially uniform inner diameter
  • the third opening is larger in diameter than the first inner diameter of the one end side flow path
  • the second opening and the other end side flow path The second inner diameter of the other end side channel between the fourth openings on the one base side is a substantially uniform inner diameter
  • the fourth opening is larger in diameter than the second inner diameter of the other end side channel.
  • An integrated fluid supply apparatus includes a conversion joint having any one of the configurations (1) to (6), and the one having at least the first flow path and the second flow path.
  • the fluid part mounting method of the present invention is a fluid part mounting method using a conversion joint having a first flow path formed in a base block and a flow path connected to the second flow path.
  • the conversion joint is separated from the first base portion in a first direction away from the first base portion disposed on the base block, and the conversion joint of the base block is installed.
  • the first opening of the first fluid part and the second opening on the second base part side of the flow path on the other end can be connected to the fluid inlet of the first fluid part and the fluid outlet of the first fluid part.
  • the flow path of the fluid part is made to communicate with the first flow path and the second flow path formed in the base block using the conversion joint set to the above.
  • the present invention it is possible to provide a conversion joint that makes it possible to use a fluid part having a different size from the fluid part corresponding to the base block, and an integrated fluid supply apparatus having the conversion joint.
  • FIG. 1 It is a perspective view explaining the integrated fluid supply apparatus used as the object for which the conversion coupling of embodiment which concerns on this invention is used. It is a side view explaining the case where it replaces with the 1st part for fluids which is different in size from the part for fluids planned to be installed so that the 1st base block shown in Drawing 1 and the 2nd base block may be bridged. It is a perspective view of the conversion coupling of the embodiment concerning the present invention. It is the side view which looked at the conversion coupling of embodiment which concerns on this invention from the arrow C1 direction of FIG. It is the side view which looked at the conversion coupling of embodiment which concerns on this invention from the arrow C2 direction of FIG.
  • FIG. 1 is a perspective view for explaining an integrated fluid supply apparatus 1 for which a conversion joint 40 according to an embodiment of the present invention is used, and an integrated fluid supply apparatus using a base block A of about 1.5 inches. 1 is shown.
  • the Z-axis direction is referred to as a first direction Z
  • the X-axis direction is referred to as a second direction X
  • the Y-axis direction is referred to as a third direction Y. Is the same.
  • the integrated fluid supply device 1 is installed so as to bridge a plurality of base blocks A arranged in the second direction X, which is the arrangement direction of the base blocks A, and the adjacent base blocks A.
  • Each of the base blocks A is fixed at a predetermined position on a base plate (not shown).
  • the fluid part B is generally selected from manual valves, pressure transducers, regulators, filters, mass flow controllers, air operation valves, etc., and what order is arranged in what order is a specification required for the gas supply line. It is decided by.
  • parts having other functions may be used for the fluid part B in addition to the manual valve, pressure transducer, regulator, filter, mass flow controller, and air operation valve.
  • FIG. 1 shows only a portion corresponding to one type of gas supply line, and the integrated fluid supply apparatus 1 is similarly arranged in the third direction Y according to the number of necessary gas types. Gas supply lines are integrated.
  • FIG. 2 is different in size from the fluid part B1 (for example, an air operation valve for 1.5 inches) that is to be installed so as to bridge between the first base block A1 and the second base block A2 shown in FIG. It is a side view explaining the case where it replaces with the part 30 for some 1st fluids (for example, air operation valve for 1.125 inches).
  • the fluid part B1 for example, an air operation valve for 1.5 inches
  • first base block A1 and the second flow path 20 formed in the first base block A1 and the second flow path 20 formed in the second base block A2 can be seen.
  • the second base block A2 is depicted as a cross-sectional view.
  • first fluid part 30 is also depicted as a cross-sectional view of a part of the periphery of the fluid inlet 31 and the fluid outlet 32 so that the fluid inlet 31 and the fluid outlet 32 can be seen.
  • the first fluid part 30 for 1.125 inches is more general than the fluid part B1 for 1.5 inches that is to be installed to bridge between the first base block A1 and the second base block A2.
  • the first base block A1 and the second base block A2 are fixed at predetermined positions on the base plate, as described above.
  • the size is different from the 1.5-inch fluid part B1 scheduled to be installed to bridge between the first base block A1 and the second base block A2. Even the first fluid part 30 for 1.125 inches can be installed so as not to cause the fluid leakage as described above.
  • FIG. 3 is a perspective view of the conversion joint 40 of the present embodiment.
  • the lower side of FIG. 3 is the side on which the first base block A1 and the second base block A2 are positioned, and the upper side is the first fluid part 30. On the side.
  • FIG. 4 is a side view of the conversion joint 40 as viewed from the direction of the arrow C1 in FIG. 3
  • FIG. 5 is a side view of the conversion joint 40 as viewed from the direction of the arrow C2
  • FIG. It is the top view which looked at from the arrow C3 direction of FIG.
  • FIG. 7 is a side view showing the first fluid part 30 connected to the first base block A1 and the second base block A2 using the conversion joint 40.
  • the first channel 10 of the first base block A1, the second channel 20 of the second base block A2, and the channel of the conversion joint 40 (one end of the first channel 10 of the first base block A1).
  • One end side flow path 44 connected to (one end side opening 11) and the other end side flow path 45 connected to the other end (the other end side opening 21) of the second flow path 20 of the second base block A2) As can be seen, the first base block A1, the second base block A2, and the conversion joint 40 are depicted as cross-sectional views.
  • FIG. 7 as in FIG. 2, a part of the periphery of the fluid inlet 31 and the fluid outlet 32 is also provided for the first fluid part 30 so that the fluid inlet 31 and the fluid outlet 32 can be seen. It is drawn as a cross-sectional view.
  • the conversion joint 40 includes a base block A (first base block A ⁇ b> 1) having the first flow path 10 and a second flow path 20 shown in FIGS. 1 and 2.
  • a first base portion 41 disposed on two base blocks A of A (second base block A2), and the first base portion 41 in a first direction Z away from the first base block A1 and the second base block A2.
  • a second base portion 42 that is spaced apart from the first base portion 41 and the second base portion 42 and an intermediate portion 43 that connects the first base portion 41 and the second base portion 42 are provided.
  • the second base portion 42 is a fluid part B1 installed at a place where the conversion joint 40 of the two base blocks A (the first base block A1 and the second base block A2) is installed. This is a portion where the first fluid part 30 having a different size is installed.
  • the conversion coupling 40 penetrates the 2nd base part 42, the intermediate part 43, and the 1st base part 41, and is one end (one end side opening) of the 1st flow path 10 of 1st base block A1. Part 11) and the other end (the other end) of the second flow path 20 of the second base block A2 through the one end side flow path 44, the second base part 42, the intermediate part 43, and the first base part 41.
  • the other end side flow path 45 connected to the side opening 21).
  • the first opening 44a on the second base portion 42 side of the one end side channel 44 and the second opening 45a on the second base portion 42 side of the other end side channel 45 are the first opening portion 44a and the second opening portion 44a.
  • the first fluid is formed so that the separation distance between the openings 45a is the same as the separation distance between the fluid inlet 31 of the first fluid part 30 and the fluid outlet 32 of the first fluid part 30.
  • the fluid inlet 31 of the part 30 for use and the fluid outlet 32 of the part 30 for the first fluid are set to be connectable.
  • a first ring-shaped groove 44b for accommodating a seal member is formed on the outer periphery of the first opening 44a.
  • the groove 44b is also the same as the inlet-side ring groove 31a (see FIG. 7) that accommodates the seal member formed on the outer periphery of the fluid inlet 31 of the first fluid part 30.
  • the seal member used for the first fluid part 30 can be used as it is.
  • a second ring-shaped groove 45b for accommodating the seal member is formed on the outer periphery of the second opening 45a. This is the same as the outlet-side ring-shaped groove 32a (see FIG. 7) that accommodates the seal member formed on the outer periphery of the fluid outlet 32 of the one-fluid part 30.
  • the seal member used for the first fluid part 30 can be used as it is.
  • the first inner diameter d ⁇ b> 1 of the one end side flow path 44 is set to an inner diameter substantially close to the opening diameter of the fluid inlet 31 of the first fluid part 30, and the first opening 44 a and the first base of the one end side flow path 44.
  • the first inner diameter d1 of the one end side flow path 44 between the third openings 44c on the side of the section 41 is a substantially uniform inner diameter.
  • the 3rd opening part 44c is diameter-expanded rather than the 1st internal diameter d1 of the one end side flow path 44 so that it may have an internal diameter comparable as the one end side opening part 11 of the 1st flow path 10 of 1st base block A1.
  • the connection between the third opening 44c and the one end side opening 11 is made so as not to have a different diameter connection.
  • a third ring-shaped groove 44d for accommodating the seal member is formed on the outer periphery of the third opening 44c.
  • the third ring-shaped groove 44d is also formed in the first base block A1. It is the same as the one end side ring-shaped groove 11a which accommodates the sealing member formed in the outer periphery of the one end side opening part 11 of this.
  • the seal member used for the first base block A1 can be used as it is.
  • the third opening 44c is preferably larger than the first inner diameter d1 of the one end side channel 44 with the first inner diameter d1 of the one end side channel 44 being a substantially uniform inner diameter.
  • the second inner diameter d2 of the other end side flow channel 45 is set to an inner diameter substantially close to the opening diameter of the fluid outlet 32 of the first fluid part 30, and the second opening 45a and the other end side flow channel 45
  • the second inner diameter d2 of the other end side channel 45 between the fourth openings 45c on the first base portion 41 side is a substantially uniform inner diameter.
  • the fourth opening 45c is larger than the second inner diameter d2 of the other end side channel 45 so as to have the same inner diameter as the other end side opening 21 of the second channel 20 of the second base block A2.
  • the connection is made between the fourth opening 45c and the other end side opening 21 so as not to have a different diameter connection.
  • a fourth ring-shaped groove 45d for accommodating the seal member is formed on the outer periphery of the fourth opening 45c.
  • the fourth ring-shaped groove 45d is also formed in the second base block A2. This is the same as the other end side ring-shaped groove 21 a that accommodates the seal member formed on the outer periphery of the other end side opening 21.
  • the seal member used for the second base block A2 can be used as it is.
  • the second inner diameter d2 of the other end side channel 45 is tapered toward the fourth opening 45c side so as not to be connected with different diameters. Therefore, as in the present embodiment, the second inner diameter d2 of the other end side channel 45 is set to a substantially uniform inner diameter, and the fourth opening 45c is larger than the second inner diameter d2 of the other end side channel 45. Is preferred.
  • the separation distance between the third opening 44c and the fourth opening 45c is the one end opening 11 of the first base block A1.
  • the other end side opening 21 of the second base block A2 is formed so as to be the same distance, and is set to be connectable to the one end side opening 11 and the other end side opening 21.
  • the first base part 41 is fixed to the first base block A1 and the second base block A2, and the first fluid part 30 is fixed to the second base part 42.
  • the structure and the like for fixing will be described.
  • the first base portion 41 is formed in a substantially rectangular first outer shape.
  • the lengths of the four side surfaces 41a, 41b, 41c and 41d are all D1. It is formed in a certain substantially square first shape.
  • the length D1 is set so that the width in the third direction Y of the first base block A1 and the second base block A2 shown in FIGS. 1 and 2 is about 39.0 [mm]. It is about 39.0 [mm].
  • the first base portion 41 has two opposing side surfaces (opposing side surfaces 41b and 41d and opposing side surfaces 41a and 41c) having one opposing side surface (facing side surfaces 41b and 41d) as shown in FIG.
  • the blocks A1 and the second base block A2 are arranged along a second direction X that is an arrangement direction of the blocks A1 and the second base block A2.
  • the second direction X is also a direction from the fluid inlet to the fluid outlet of the fluid part B1 disposed on the first base block A1 and the second base block A2. Therefore, in other words, the first base portion 41 has one facing side surface (facing side surfaces 41b and 41d) of two facing side surfaces (facing side surfaces 41b and 41d and facing side surfaces 41a and 41c).
  • the first outer shape of the substantially rectangular shape arranged along the second direction X in the direction from the fluid inlet to the fluid outlet of the fluid part B1 arranged on the first base block A1 and the second base block A2. Is formed.
  • the first base block A1 and the second base block A2 are bridged.
  • the conversion joint 40 is arranged in this way, the first base portion 41 protrudes in the third direction Y side from the first base block A1 and the second base block A2.
  • the length D1 of the side surfaces 41a and 41c is adjusted to the width of the first base block A1 and the second base block A2 in the third direction Y as in the present embodiment, such a protrusion is used. Can be avoided, and interference with another gas supply line disposed adjacent to the adjacent gas supply line can be avoided. In order to avoid interference with the adjacent 1.5 inch fluid part B (see FIG. 1), the lengths D1 of the side surfaces 41b and 41d are also the third base block A1 and the third base block A2. It is adapted to the width in the direction Y.
  • the side surfaces 41a and 41c facing the second direction X which is the arrangement direction of the first base block A1 and the second base block A2, and the side surfaces 41b and 41d facing the third direction Y orthogonal to the second direction X.
  • the length D1 of each of the first base block A1 and the second base block A2 is equal to or less than the width in the third direction Y of the first base block A1 and the second base block A2, for example, the first base block A1 and the second base block A2 of 1.5 inches.
  • the length D1 is preferably about 39 [mm] or less.
  • the first base portion 41 is provided with four screw penetrating portions 41ba, 41bb, 41da and 41db on the side surfaces 41b and 41d facing each other in a rectangular shape.
  • the first base portion is located at a position corresponding to the screw threaded portion formed in the first base block A1.
  • Screw penetration parts 41ba and 41da are formed as notches opened in the side surfaces 41b and 41d of 41.
  • the side surfaces of the first base portion 41 are located at positions corresponding to the screwed portions formed on the second base block A2 on the second base block A2 side of the side surfaces 41b and 41d facing each other. Screw through portions 41bb and 41db are formed as notches opened to 41b and 41d.
  • the second base portion 42 has a second outer shape different from the first outer shape of the first base portion 41, more specifically, from the first outer shape of the first base portion 41. Has a small outer shape.
  • the second base portion 42 has a second outer shape that is large enough to form screw screw portions 42ba, 42bb, 42da, and 42db for fixing the first fluid part 30.
  • the second base portion 42 has a second outer shape that is smaller than the first outer shape of the first base portion 41, as shown in FIG.
  • the second base portion 42 overlaps a part of the portion (R-shaped portion) where the screw of the screw penetration portions 41ba, 41bb, 41da, and 41db is located. Therefore, from the upper side, it is difficult to perform the work of fixing the first base portion 41 to the first base block A1 and the second base block A2 with screws.
  • the distance between the screw penetration parts 41ba and 41bb and between the screw penetration parts 41da and 41db is about 26.0 [mm] when the center of the part where the screw is located (R-shaped part) is used as a reference.
  • the distance between the screw penetration parts 41ba and 41da and between the screw penetration parts 41bb and 41db is about 30.0 [mm].
  • the screw penetration portions 41ba, 41bb, 41da, and 41db are not formed as through holes, but are formed as notches, so that the screw is formed on the back side from the side surfaces 41b, 41d of the first base portion 41. It can be inserted to slide.
  • the screw penetration portions 41ba, 41bb, 41da, and 41db are formed as notches, it is possible to use a screw having a length that is as long as the thickness H1 of the first base portion 41 (see FIGS. 4 and 5).
  • the screw tightening allowance can be increased, and it can be firmly fixed.
  • the thickness H1 of the first base portion 41 is 6.0 [mm].
  • the thickness H1 of the first base portion 41 is 4.0 [mm] so that sufficient strength can be obtained. ]
  • the thickness H1 of the one base portion 41 is preferably 10.0 [mm] or less, more preferably 9.0 [mm] or less, and still more preferably 8.0 [mm] or less.
  • the second base portion 42 is also formed in a substantially rectangular second outer shape like the first base portion 41.
  • the lengths of the four side surfaces 42a, 42b, 42c, and 42d are all formed in a substantially square second outer shape of D2, and specifically, the size of the bottom surface of the first fluid part 30 is formed.
  • the length D2 is set to about 28.5 [mm] so as to match the above.
  • the second base portion 42 is chamfered with four corners as an R shape is shown, but the corners need not necessarily be chamfered. Further, even when chamfering is performed, the chamfering may be performed by cutting off straight corners instead of the R-shaped chamfering.
  • the first base portion 41 is not chamfered at four corners, but may be chamfered like the second base portion 42.
  • the second base portion 42 has one opposing side surface (facing side surfaces 42b and 42d) among the two opposing side surfaces (facing side surfaces 42b and 42d and opposing side surfaces 42a and 42c), as shown in FIG.
  • the block A1 and the second base block A2 are provided so as to be positioned along a second direction X that is an arrangement direction of the blocks A1 and the second base block A2.
  • the second base portion 42 has four screw threaded portions 42ba, 42bb, 42da provided at positions corresponding to the screw through holes through which the screws of the first fluid part 30 are passed.
  • 42db is provided at a rectangular position.
  • the distance between the screw screw portions 42ba and 42bb and between the screw screw portions 42da and 42db is about 20.
  • the distance between the screw screw portions 42ba and 42da and the distance between the screw screw portions 42bb and 42db is about 21.8 [mm].
  • the thickness H2 (see FIGS. 4 and 5) of the second base portion 42 is 6.0 [mm], which is the same as the thickness H1 of the first base portion 41.
  • the thickness H2 of the second base portion 42 is preferably 4.0 [mm] or more, more preferably 5.0 [mm] or more, so that sufficient strength can be obtained.
  • the thickness H2 of the second base portion 42 is 10.0 [mm] because the height in the first direction Z increases if the thickness H2 becomes too thick. Or less, more preferably 9.0 [mm] or less, and still more preferably 8.0 [mm] or less.
  • the second width of the intermediate portion 43 in the second direction X is changed from the width W1 of the second base portion 42 to the width W2 of the first base portion 41. It tapers out.
  • the intermediate portion 43 has a height F in the first direction Z of 8.0 [mm], but if this height is low, the one end side flow path 44 and the other end will be described later. Since the side flow path 45 is formed to be greatly inclined, it becomes difficult to form the flow path.
  • this height F is preferably 6.0 [mm] or more and 10.0 [mm] or less, and more preferably 7.0 [mm] or more and 9.0 [mm] or less.
  • the fluid inflow port 31 and the fluid outflow port of the part 30 for 1st fluid are made so that the 2nd width of the 2nd direction X may spread toward the 1st base part 41 from the 2nd base part 42 in this way.
  • the one end side flow path 44 and the other end side flow path 45 connecting the fourth opening 45c can be formed.
  • the first width W ⁇ b> 3 in the third direction Y orthogonal to the first direction Z and the second direction X of the intermediate portion 43 forms the one end side channel 44 and the other end side channel 45. Therefore, the first inner diameter d1 (see FIG. 7) of the one end side flow path 44 and the second inner diameter d2 of the other end side flow path 45 are made larger.
  • the width W3 is about 14.0 [mm].
  • the first width W3 is the distance between the opposing side surfaces (the opposing side surfaces 41b and 41d and the opposing side surfaces 41a and 41c) of the first outer shape of the two first base portions 41 shown in FIG. 6 (see length D1). And the distance between the opposing side surfaces (facing side surfaces 42b and 42d and opposing side surfaces 42a and 42c) of the second outer shape of the two second base portions 42 (see length D2).
  • the shape of the conversion joint 40 is smaller than that of the intermediate portion 43.
  • the first width W3 is smaller than any of the distances between the four adjacent screw penetration portions 41ba, 41bb, 41da, and 41db of the first base portion 41, and the second base portion. 42 is smaller than any of the distances between the four adjacent screw screw portions 42ba, 42bb, 42da, and 42db.
  • the four screwed portions 42ba, 42bb, 42da, and 42db of the second base portion 42 are formed so as to be within the thickness H2 of the second base portion 42, the four of the second base portion 42 There is no need to worry about certain screw threaded portions 42ba, 42bb, 42da, and 42db, and the first width W3 is a width that can form the four screw penetration portions 41ba, 41bb, 41da, and 41db of the first base portion 41. It only has to be.
  • the base block A having the first flow path 10 (first base block A1) and the base block A having the second flow path 20 (second base block A2) are straddled.
  • the case where the fluid part B1 is arranged has been described.
  • both the first flow path 10 and the second flow path 20 are formed in one base block A, and the fluid part B1 may be disposed on the one base block A.
  • the first fluid part 30 having a size different from that of the fluid part B1 is arranged on the base block A, the first fluid part 30 is moved to the first flow path as described in the above embodiment. 10 and the second flow path 20 cannot be connected, but using the conversion joint 40 can solve such a problem.

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Abstract

ベースブロックに対応した流体用パーツと異なるサイズの流体用パーツを使用できるようにする変換継手を提供するために、本発明の変換継手は、ベースブロック上に配置される第１ベース部と、ベースブロックから離れる第１方向に第１ベース部から離間し、ベースブロック上に設置される流体用パーツと異なるサイズの第１流体用パーツが設置される第２ベース部と、第１ベース部及び第２ベース部を繋ぐ中間部と、第２ベース部、中間部及び第１ベース部を貫通し、ベースブロックの第１流路の一端に接続される一端側流路と、第２ベース部、中間部及び第１ベース部を貫通し、ベースブロックの第２流路の他端に接続される他端側流路と、を備え、一端側流路の第２ベース部側の第１開口部と他端側流路の第２ベース部側の第２開口部が、第１流体用パーツの流体流入口と第１流体用パーツの流体流出口に接続可能に設定されている。

Description

変換継手、その変換継手を有する集積型流体供給装置および流体用パーツの取付け方法
　本発明は変換継手、その変換継手を有する集積型流体供給装置および流体用パーツの取付け方法に関する。
　従来、半導体製造装置では、各種のガスを供給する供給ラインに集積化流体供給装置（以下、集積型流体供給装置ともいう）が用いられている（特許文献１参照）。
　具体的には、１つのガス供給ラインには、手動バルブ、圧力トランスデューサー、レギュレータ、フィルター、マスフローコントローラ及びエアオペレーションバルブ等の流体用パーツが使用されるが、その流体用パーツの流体流入口及び流体流出口を下側に位置するように形成すると共に、流体用パーツ間を接続する流路を形成したベースブロックを流体用パーツの下側に配置することで流体用パーツの並び方向の幅をコンパクトに集積化している。
特開２００２－１３０４７９号公報
　そして、集積型流体供給装置では、外形サイズがほぼ１．５インチのベースブロック及びそのベースブロックに対応した流体用パーツが使用されていた時期があったが、更なる集積化の要求によって、現在では、ほぼ１．１２５インチの外形サイズであるベースブロックが用いられるのが主流になっており、各流体用パーツもその１．１２５インチの外形サイズのベースブロックに対応したものになっている。
　ところが、最近になって、過去に使用していた１．５インチのベースブロックの集積型流体供給装置を復活させて、小ロットの半導体ウエハの生産を行うユーザや中古市場にある１．５インチのベースブロックの集積型流体供給装置を購入して半導体ウエハの生産を行うユーザ等が現れてきている。
　そして、これらのユーザから流体用パーツの交換に伴い、１．５インチのベースブロックに対応した流体用パーツの引き合いがあるが、現状では、１．５インチのベースブロックに対応した流体用パーツは受注生産となってしまうため、高価かつ長納期であるという問題がある。場合によっては、１．５インチの流体用パーツが生産中止となり、１．１２５インチの流体用パーツのみを生産していることも少なくない。
　本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、ベースブロックに対応した流体用パーツと異なるサイズの流体用パーツを使用できるようにする変換継手及びその変換継手を有する集積型流体供給装置を提供すること目的とする。
　本発明は、上記目的を達成するために、以下の構成によって把握される。
（１）本発明の変換継手は、ベースブロックに形成された第１流路と第２流路に接続される流路を有する変換継手であって、前記変換継手は、１つの前記ベースブロック上又は２つの前記ベースブロック上に配置される第１ベース部と、前記ベースブロックから離れる第１方向に前記第１ベース部から離間し、前記ベースブロックの前記変換継手が設置される場所に設置される流体用パーツと異なるサイズの第１流体用パーツが設置される第２ベース部と、前記第１ベース部及び前記第２ベース部の間に位置し、前記第１ベース部及び前記第２ベース部を繋ぐ中間部と、前記第２ベース部、前記中間部及び前記第１ベース部を貫通し、前記ベースブロックの前記第１流路の一端に接続される一端側流路と、前記第２ベース部、前記中間部及び前記第１ベース部を貫通し、前記ベースブロックの前記第２流路の他端に接続される他端側流路と、を備え、前記一端側流路の前記第２ベース部側の第１開口部と前記他端側流路の前記第２ベース部側の第２開口部が、前記第１流体用パーツの流体流入口と前記第１流体用パーツの流体流出口に接続可能に設定されている。
（２）上記（１）の構成において、前記第１ベース部は、２組ある向かい合う側面のうちの１組の向かい合う側面が前記第１流体用パーツの前記流体流入口から前記流体流出口に向かう方向の第２方向に沿って配置されるほぼ矩形状の第１外形に形成され、前記第２ベース部は、前記第１外形と異なる第２外形を有するほぼ矩形状に形成され、前記中間部は、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向の第１幅が前記一端側流路の第１内径及び前記他端側流路の第２内径よりも大きく、かつ、２つある前記第１外形の向かい合う側面間の距離のどちらの距離よりも小さい。
（３）上記（２）の構成において、前記中間部は、前記第１幅が２組ある前記第２外形の向かい合う側面間の距離のどちらの距離よりも小さい。
（４）上記（２）又は（３）の構成において、前記第１ベース部には、４つのネジ貫通部が矩形状を成す位置に設けられており、前記第２ベース部には、４つのネジ螺合部が矩形状を成す位置に設けられており、前記中間部は、前記第１幅が４つある隣接する前記ネジ貫通部間の距離のいずれの距離よりも小さく、かつ、４つある隣接する前記ネジ螺合部間の距離のいずれの距離よりも小さい。
（５）上記（４）の構成において、前記第２ベース部を正面にして、前記第１ベース部と前記第２ベース部が重なる方向に見たときに、前記ネジ貫通部のネジが位置する部分の少なくとも一部に前記第２ベース部が重なっており、前記ネジ貫通部は、前記第１ベース部の側面に開放された切欠きとして前記第１ベース部に形成されている。
（６）上記（１）から（５）のいずれか１つの構成において、前記第１開口部と前記一端側流路の前記第１ベース部側の第３開口部の間の前記一端側流路の第１内径がほぼ均一な内径であり、前記第３開口部が前記一端側流路の第１内径よりも拡径されており、前記第２開口部と前記他端側流路の前記第１ベース部側の第４開口部の間の前記他端側流路の第２内径がほぼ均一な内径であり、前記第４開口部が前記他端側流路の第２内径よりも拡径されている。
（７）本発明の集積型流体供給装置は、上記（１）から（６）のいずれか１つの構成を有する変換継手と、少なくとも前記第１流路及び前記第２流路を有する１つの前記ベースブロック又は少なくとも前記第１流路を有する前記ベースブロック及び少なくとも前記第２流路を有する前記ベースブロックの２つの前記ベースブロックと、前記第１流体用パーツと、を少なくとも備えている。
（８）本発明の流体用パーツの取付け方法は、ベースブロックに形成された第１流路と第２流路に接続される流路を有する変換継手を用いる流体用パーツの取付け方法であって、前記変換継手は、前記ベースブロック上に配置される第１ベース部と、前記ベースブロックから離れる第１方向に前記第１ベース部から離間し、前記ベースブロックの前記変換継手が設置される場所に設置される流体用パーツと異なるサイズの第１流体用パーツが設置される第２ベース部と、前記第１ベース部及び前記第２ベース部の間に位置し、前記第１ベース部及び前記第２ベース部を繋ぐ中間部と、前記第２ベース部、前記中間部及び前記第１ベース部を貫通し、前記ベースブロックの前記第１流路の一端に接続される一端側流路と、前記第２ベース部、前記中間部及び前記第１ベース部を貫通し、前記ベースブロックの前記第２流路の他端に接続される他端側流路と、を備え、前記一端側流路の前記第２ベース部側の第１開口部と前記他端側流路の前記第２ベース部側の第２開口部が、前記第１流体用パーツの流体流入口と前記第１流体用パーツの流体流出口に接続可能に設定されている変換継手を用いて前記ベースブロックに形成された前記第１流路と前記第２流路に流体用パーツの流路を連通させる。
　本発明によれば、ベースブロックに対応した流体用パーツと異なるサイズの流体用パーツを使用できるようにする変換継手及びその変換継手を有する集積型流体供給装置を提供することができる。
本発明に係る実施形態の変換継手が用いられる対象となる集積型流体供給装置を説明する斜視図である。 図１に示す第１ベースブロック及び第２ベースブロック間を橋渡しするように設置される予定の流体用パーツと異なるサイズである第１流体用パーツに換えた場合を説明する側面図である。 本発明に係る実施形態の変換継手の斜視図である。 本発明に係る実施形態の変換継手を図３の矢印Ｃ１方向から見た側面図である。 本発明に係る実施形態の変換継手を図３の矢印Ｃ２方向から見た側面図である。 本発明に係る実施形態の変換継手を図３の矢印Ｃ３方向から見た平面図である。 本発明に係る実施形態の変換継手を用いて第１ベースブロック及び第２ベースブロックに第１流体用パーツを接続したところを示す側面図である。
　以下、本発明を実施するための形態(以下、「実施形態」という)を、添付図面に基づいて詳細に説明する。
　なお、実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。
　図１は本発明に係る実施形態の変換継手４０が用いられる対象となる集積型流体供給装置１を説明する斜視図であり、約１．５インチのベースブロックＡを用いた集積型流体供給装置１を示している。
　なお、以下の説明では、図１に示すＸＹＺ軸において、Ｚ軸方向を第１方向Ｚ、Ｘ軸方向を第２方向Ｘ、Ｙ軸方向を第３方向Ｙと呼ぶことにし、その他の図においても同様である。
　図１に示すように、集積型流体供給装置１は、ベースブロックＡの並び方向となる第２方向Ｘに並べられた複数のベースブロックＡと、隣接するベースブロックＡ間を橋渡しするように設置された流体用パーツＢと、を備えており、各ベースブロックＡは、図示しないベースプレート上の決められた位置に固定されている。
　流体用パーツＢは、一般に、手動バルブ、圧力トランスデューサー、レギュレータ、フィルター、マスフローコントローラ及びエアオペレーションバルブ等から選ばれ、どのような順序でどのパーツが並べられるかは、ガス供給ラインに求められる仕様によって決められる。
　したがって、仕様によっては、流体用パーツＢに手動バルブ、圧力トランスデューサー、レギュレータ、フィルター、マスフローコントローラ及びエアオペレーションバルブ以外に別の機能を有するパーツが用いられている場合がある。
　なお、図１は、１種のガス供給ラインに対応する部分だけを図示しており、集積型流体供給装置１は、必要なガス種の数に応じて、第３方向Ｙに並ぶように同様のガス供給ラインが集積されている。
　図２は、図１に示す第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２間を橋渡しするように設置される予定の流体用パーツＢ１（例えば１．５インチ用のエアオペレーションバルブ）と異なるサイズである第１流体用パーツ３０（例えば１．１２５インチ用のエアオペレーションバルブ）に換えた場合を説明する側面図である。
　なお、図２では、第１ベースブロックＡ１内に形成されている第１流路１０及び第２ベースブロックＡ２内に形成されている第２流路２０がわかるように、第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２を断面図として描いている。
　また、第１流体用パーツ３０についても、流体流入口３１及び流体流出口３２がわかるように、流体流入口３１及び流体流出口３２の周辺の一部を断面図として描いている。
　第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２間を橋渡しするように設置される予定の１．５インチ用の流体用パーツＢ１よりも１．１２５インチ用の第１流体用パーツ３０は、全体的に小型化しており、先に述べたように、第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２は、ベースプレート上の決められた位置に固定されている。
　このため、図２に示すように、第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２間を橋渡しするように第１流体用パーツ３０を設置しても、第１ベースブロックＡ１の第１流路１０の一端側開口部１１の位置と第１流体用パーツ３０の流体流入口３１の位置が合わないだけでなく、一端側開口部１１と流体流入口３１のシール構造を含むサイズ自体も合わないので、流体がリークしないように接続することができない。
　同様に、第２ベースブロックＡ２の第２流路２０の他端側開口部２１の位置と第１流体用パーツ３０の流体流出口３２の位置が合わないだけでなく、他端側開口部２１と流体流出口３２のシール構造を含むサイズ自体も合わないので、流体がリークしないように接続することができない。
　そこで、以下で説明する変換継手４０を用いることで、第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２間を橋渡しするように設置される予定の１．５インチ用の流体用パーツＢ１と異なるサイズである１．１２５インチ用の第１流体用パーツ３０であっても、上述のような流体のリークが起きないように設置することを可能とした。
　図３は本実施形態の変換継手４０の斜視図であり、図３の下側が第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２が位置する側であり、上側が第１流体用パーツ３０が位置する側である。
　また、図４は変換継手４０を図３の矢印Ｃ１方向から見た側面図であり、図５は変換継手４０を図３の矢印Ｃ２方向から見た側面図であり、図６は変換継手４０を図３の矢印Ｃ３方向から見た平面図である。
　さらに、図７は変換継手４０を用いて第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２に第１流体用パーツ３０を接続したところを示す側面図である。
　なお、図７では、第１ベースブロックＡ１の第１流路１０、第２ベースブロックＡ２の第２流路２０及び変換継手４０の流路（第１ベースブロックＡ１の第１流路１０の一端（一端側開口部１１）に接続される一端側流路４４及び第２ベースブロックＡ２の第２流路２０の他端（他端側開口部２１）に接続される他端側流路４５）がわかるように、第１ベースブロックＡ１、第２ベースブロックＡ２及び変換継手４０を断面図として描いている。
　また、図７では、図２と同様に、第１流体用パーツ３０についても、流体流入口３１及び流体流出口３２がわかるように、流体流入口３１及び流体流出口３２の周辺の一部を断面図として描いている。
　図３から図７に示すように、変換継手４０は、図１及び図２で示した第１流路１０を有するベースブロックＡ（第１ベースブロックＡ１）及び第２流路２０を有するベースブロックＡ（第２ベースブロックＡ２）の２つのベースブロックＡ上に配置される第１ベース部４１と、第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２から離れる第１方向Ｚに第１ベース部４１から離間した第２ベース部４２と、第１ベース部４１及び第２ベース部４２の間に位置し、第１ベース部４１及び第２ベース部４２を繋ぐ中間部４３と、を備えている。
　なお、第２ベース部４２は、後ほど説明するように、２つのベースブロックＡ（第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２）の変換継手４０が設置される場所に設置される流体用パーツＢ１と異なるサイズの第１流体用パーツ３０が設置される部分である。
　また、図７に示すように、変換継手４０は、第２ベース部４２、中間部４３及び第１ベース部４１を貫通し、第１ベースブロックＡ１の第１流路１０の一端（一端側開口部１１）に接続される一端側流路４４と、第２ベース部４２、中間部４３及び第１ベース部４１を貫通し、第２ベースブロックＡ２の第２流路２０の他端（他端側開口部２１）に接続される他端側流路４５と、を備えている。
　そして、一端側流路４４の第２ベース部４２側の第１開口部４４ａと他端側流路４５の第２ベース部４２側の第２開口部４５ａは、第１開口部４４ａと第２開口部４５ａの間の離間距離が、第１流体用パーツ３０の流体流入口３１と第１流体用パーツ３０の流体流出口３２の間の離間距離と同じになるように形成され、第１流体用パーツ３０の流体流入口３１と第１流体用パーツ３０の流体流出口３２に接続可能に設定されている。
　また、第１開口部４４ａの外周には、図６及び図７に示すように、シール部材（例えば、メタルパッキン）を収容する第１リング状溝４４ｂが形成されているが、この第１リング状溝４４ｂも第１流体用パーツ３０の流体流入口３１の外周に形成されているシール部材を収容する入口側リング状溝３１ａ（図７参照）と同じものになっている。
　このため第１流体用パーツ３０に用いられるシール部材がそのまま使用できるようになっている。
　同様に、第２開口部４５ａの外周には、図６及び図７に示すように、シール部材を収容する第２リング状溝４５ｂが形成されているが、この第２リング状溝４５ｂも第１流体用パーツ３０の流体流出口３２の外周に形成されているシール部材を収容する出口側リング状溝３２ａ（図７参照）と同じものになっている。
　このため第１流体用パーツ３０に用いられるシール部材がそのまま使用できるようになっている。
　一方、一端側流路４４の第１内径ｄ１は、第１流体用パーツ３０の流体流入口３１の開口径にほぼ近い内径とされ、第１開口部４４ａと一端側流路４４の第１ベース部４１側の第３開口部４４ｃの間の一端側流路４４の第１内径ｄ１は、ほぼ均一な内径になっている。
　そして、第３開口部４４ｃは、第１ベースブロックＡ１の第１流路１０の一端側開口部１１と同程度の内径を有するように一端側流路４４の第１内径ｄ１よりも拡径されており、第３開口部４４ｃと一端側開口部１１の接続が異径接続にならないようにされている。
　また、第３開口部４４ｃの外周には、図７に示すように、シール部材を収容する第３リング状溝４４ｄが形成されているが、この第３リング状溝４４ｄも第１ベースブロックＡ１の一端側開口部１１の外周に形成されているシール部材を収容する一端側リング状溝１１ａと同じものになっている。
　このため第１ベースブロックＡ１に用いられるシール部材がそのまま使用できるようになっている。
　ところで、一端側流路４４の第１内径ｄ１を第３開口部４４ｃ側に向かってテーパー状に広げることでも異径接続にならないようにできるものの、そのようにすると加工費が高くなるため、本実施形態のように、一端側流路４４の第１内径ｄ１をほぼ均一な内径として、第３開口部４４ｃが一端側流路４４の第１内径ｄ１よりも拡径することが好ましい。
　同様に、他端側流路４５の第２内径ｄ２は、第１流体用パーツ３０の流体流出口３２の開口径にほぼ近い内径とされ、第２開口部４５ａと他端側流路４５の第１ベース部４１側の第４開口部４５ｃの間の他端側流路４５の第２内径ｄ２は、ほぼ均一な内径になっている。
　そして、第４開口部４５ｃは、第２ベースブロックＡ２の第２流路２０の他端側開口部２１と同程度の内径を有するように他端側流路４５の第２内径ｄ２よりも拡径されており、第４開口部４５ｃと他端側開口部２１の接続が異径接続にならないようにされている。
　また、第４開口部４５ｃの外周には、図７に示すように、シール部材を収容する第４リング状溝４５ｄが形成されているが、この第４リング状溝４５ｄも第２ベースブロックＡ２の他端側開口部２１の外周に形成されているシール部材を収容する他端側リング状溝２１ａと同じものになっている。
　このため第２ベースブロックＡ２に用いられるシール部材がそのまま使用できるようになっている。
　この場合も、他端側流路４５の第２内径ｄ２を第４開口部４５ｃ側に向かってテーパー状に広げることで異径接続にならないようにできるものの、そのようにすると加工費が高くなるため、本実施形態のように、他端側流路４５の第２内径ｄ２をほぼ均一な内径として、第４開口部４５ｃが他端側流路４５の第２内径ｄ２よりも拡径することが好ましい。
　なお、第１開口部４４ａ及び第２開口部４５ａで説明したのと同様に、第３開口部４４ｃと第４開口部４５ｃの間の離間距離は、第１ベースブロックＡ１の一端側開口部１１と第２ベースブロックＡ２の他端側開口部２１の間の離間距離と同じになるように形成され、一端側開口部１１と他端側開口部２１に接続可能に設定されている。
　ところで、変換継手４０を用いるにあたっては、第１ベース部４１が第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２に固定され、第１流体用パーツ３０が第２ベース部４２に固定されることになり、以下、この固定のための構造等について説明する。
　図６に示すように、第１ベース部４１は、ほぼ矩形状の第１外形に形成されており、本実施形態では、４つの側面４１ａ、４１ｂ、４１ｃ及び４１ｄの長さがいずれもＤ１であるほぼ正四角形の第１外形に形成されている。
　具体的には、図１及び図２に示した第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２の第３方向Ｙの幅が約３９.０［ｍｍ］であるのに合わせて、長さＤ１を約３９．０［ｍｍ］としている。
　そして、第１ベース部４１は、２つある向かい合う側面（向かい合う側面４１ｂ、４１ｄ及び向かい合う側面４１ａ、４１ｃ）のうちの一方の向かい合う側面（向かい合う側面４１ｂ、４１ｄ）が、図１に示す第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２の並び方向となる第２方向Ｘに沿って配置される。
　この第２方向Ｘは、第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２上に配置される流体用パーツＢ１の流体流入口から流体流出口に向かう方向でもある。
　したがって、別の表現をすれば、第１ベース部４１は、２つある向かい合う側面（向かい合う側面４１ｂ、４１ｄ及び向かい合う側面４１ａ、４１ｃ）のうちの一方の向かい合う側面（向かい合う側面４１ｂ、４１ｄ）が、第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２上に配置される流体用パーツＢ１の流体流入口から流体流出口に向かう方向の第２方向Ｘに沿って配置されるほぼ矩形状の第１外形に形成されている。
　この場合、側面４１ａ及び４１ｃの長さＤ１が第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２の第３方向Ｙの幅よりも長い場合、第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２間を橋渡しするように変換継手４０を配置すると、第１ベース部４１が第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２よりも第３方向Ｙ側に出っ張ることになる。
　しかし、本実施形態のように、側面４１ａ及び４１ｃの長さＤ１が第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２の第３方向Ｙの幅に合わせたものになっていれば、そのような出っ張りの発生がないようにでき、隣接して配置される別のガス供給ラインと干渉することが回避できる。
　また、隣接する１．５インチ用の流体用パーツＢ（図１参照）との干渉を避けるために、側面４１ｂ及び４１ｄの長さＤ１も第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２の第３方向Ｙの幅に合わせたものになっている。
　なお、このことから、第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２の並び方向となる第２方向Ｘに向かい合う側面４１ａ、４１ｃ及び第２方向Ｘに直交する第３方向Ｙに向かい合う側面４１ｂ、４１ｄの長さＤ１は、いずれも第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２の第３方向Ｙの幅以下、例えば、１．５インチの第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２である場合、長さＤ１は約３９［ｍｍ］以下であることが好ましい。
　そして、図６に示すように、第１ベース部４１には、向かい合う側面４１ｂ、４１ｄに４つのネジ貫通部４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ及び４１ｄｂが矩形状を成す位置に設けられている。
　具体的には、第１ベース部４１の向かい合う側面４１ｂ、４１ｄの第１ベースブロックＡ１側には、第１ベースブロックＡ１に形成されているネジ螺合部に対応する位置に、第１ベース部４１の側面４１ｂ、４１ｄに開放された切欠きとしてネジ貫通部４１ｂａ、４１ｄａが形成されている。
　また、第１ベース部４１の向かい合う側面４１ｂ、４１ｄの第２ベースブロックＡ２側には、第２ベースブロックＡ２に形成されているネジ螺合部に対応する位置に、第１ベース部４１の側面４１ｂ、４１ｄに開放された切欠きとしてネジ貫通部４１ｂｂ、４１ｄｂが形成されている。
　ここで、図６を見るとわかるように、第２ベース部４２は、第１ベース部４１の第１外形と異なる第２外形、より具体的には、第１ベース部４１の第１外形よりも小さい外形になっている。
　このようにすると、第１ベース部４１の４つのネジ貫通部４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ及び４１ｄｂにアクセスしやすい。
　一方で、第２ベース部４２は、第１流体用パーツ３０を固定するためのネジ螺合部４２ｂａ、４２ｂｂ、４２ｄａ及び４２ｄｂが形成できる程度に大きい第２外形を有している。
　このため、第２ベース部４２が第１ベース部４１の第１外形よりも小さい第２外形になっているものの、図６に示すように、第２ベース部４２を正面にして、第１ベース部４１と第２ベース部４２が重なる方向に見たときに、ネジ貫通部４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ及び４１ｄｂのネジが位置する部分（Ｒ形状部）の一部に第２ベース部４２が重なっているため、上側からではネジで第１ベース部４１を第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２に固定する作業が行い難い状態になっている。
　なお、ネジが位置する部分（Ｒ形状部）の中心を基準としたときに、ネジ貫通部４１ｂａと４１ｂｂの間及びネジ貫通部４１ｄａと４１ｄｂの間の距離は約２６．０［ｍｍ］であり、ネジ貫通部４１ｂａと４１ｄａの間及びネジ貫通部４１ｂｂと４１ｄｂの間の距離は約３０．０［ｍｍ］になっている。
　そこで、本実施形態では、ネジ貫通部４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ及び４１ｄｂを貫通孔として形成するのではなく、切欠きとして形成することで、ネジを第１ベース部４１の側面４１ｂ、４１ｄから奥側にスライドさせるように挿入できる構造としている。
　このようにしておけば、第１ベース部４１の側面４１ｂ、４１ｄから奥側にネジをスライドさせて、指で軽く回せるところまでネジを回して、ネジの上面と第２ベース部４２との間の隙間の距離を大きくしてから、最後に六角レンチ等で増締めを行うようにして固定作業ができるため、作業性を向上させることができる。
　また、ネジ貫通部４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ及び４１ｄｂを切欠きとして形成すると、第１ベース部４１の厚みＨ１（図４及び図５参照）分だけ、長さが長いネジを使用することができるため、ネジの締め代を大きくすることができ、しっかりとした固定ができる。
　なお、本実施形態では、第１ベース部４１の厚みＨ１を６．０［ｍｍ］としているが、第１ベース部４１の厚みＨ１は、十分な強度が得られるように、４.０［ｍｍ］以上であることが好ましく、５.０［ｍｍ］以上であることがより好ましく、６.０［ｍｍ］以上であることが更に好ましい。
　一方で、厚みＨ１が厚くなりすぎると、ネジ貫通部４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ及び４１ｄｂを切欠きとして形成するときの手間が増えることや第１方向Ｚの高さが高くなることを考えると、第１ベース部４１の厚みＨ１は、１０．０［ｍｍ］以下であることが好ましく、９．０［ｍｍ］以下であることがより好ましく、８．０［ｍｍ］以下であることが更に好ましい。
　次に、第２ベース部４２について見ると、図６に示すように、第２ベース部４２も、第１ベース部４１と同様に、ほぼ矩形状の第２外形に形成されており、本実施形態では、４つの側面４２ａ、４２ｂ、４２ｃ及び４２ｄの長さがいずれもＤ２であるほぼ正四角形の第２外形に形成されており、具体的には、第１流体用パーツ３０の底面のサイズに合わせるように、長さＤ２を約２８．５［ｍｍ］としている。
　なお、本実施形態では、第２ベース部４２は、４角をＲ形状として面取りを行っている例を示しているが、必ずしも、４角に面取りを施さなくてもよい。
　また、面取りを行う場合であっても、Ｒ形状の面取りではなく、直線状の角を切り落としたような面取りであってもよい。
　この点は、第１ベース部４１においても同じである。
　つまり、本実施形態では、第１ベース部４１は４角に面取りを施していないが、第２ベース部４２のように面取りを実施してもよい。
　そして、第２ベース部４２は、２つある向かい合う側面（向かい合う側面４２ｂ、４２ｄ及び向かい合う側面４２ａ、４２ｃ）のうちの一方の向かい合う側面（向かい合う側面４２ｂ、４２ｄ）が、図１に示す第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２の並び方向となる第２方向Ｘに沿って位置するように設けられている。
　また、図６に示すように、第２ベース部４２には、第１流体用パーツ３０のネジを通すネジ貫通孔に対応する位置に設けられた４つのネジ螺合部４２ｂａ、４２ｂｂ、４２ｄａ及び４２ｄｂが矩形状を成す位置に設けられている。
　具体的には、ネジ螺合部４２ｂａ、４２ｂｂ、４２ｄａ及び４２ｄｂの中心を基準としたときに、ネジ螺合部４２ｂａと４２ｂｂの間及びネジ螺合部４２ｄａと４２ｄｂの間の距離は約２０．０［ｍｍ］であり、ネジ螺合部４２ｂａと４２ｄａの間及びネジ螺合部４２ｂｂと４２ｄｂの間の距離は約２１．８［ｍｍ］になっている。
　また、本実施形態では、第２ベース部４２の厚みＨ２（図４及び図５参照）を第１ベース部４１の厚みＨ１と同じ６．０［ｍｍ］としているが、第１ベース部４１と同様に、第２ベース部４２の厚みＨ２は、十分な強度が得られるように、４.０［ｍｍ］以上であることが好ましく、５.０［ｍｍ］以上であることがより好ましく、６.０［ｍｍ］以上であることが更に好ましく、厚みＨ２が厚くなりすぎると、第１方向Ｚの高さが高くなることから、第２ベース部４２の厚みＨ２は、１０．０［ｍｍ］以下であることが好ましく、９．０［ｍｍ］以下であることがより好ましく、８．０［ｍｍ］以下であることが更に好ましい。
　次に中間部４３について見て見ると、図４に示すように、中間部４３の第２方向Ｘの第２幅は、第２ベース部４２の幅Ｗ１から第１ベース部４１の幅Ｗ２に向かってテーパー状に広がっている。
　なお、本実施形態では、中間部４３は、第１方向Ｚの高さＦが８．０［ｍｍ］になっているが、この高さが低い場合、後述する一端側流路４４及び他端側流路４５を大きく斜めに傾けて形成することになるため、流路を形成するのが難しくなっていく。
　一方で、この高さＦが高い場合、第１方向Ｚの高さが高くなる。
　このため、この高さＦは、６.０［ｍｍ］以上１０.０［ｍｍ］以下が好ましく、７.０［ｍｍ］以上９.０［ｍｍ］以下がより好ましい。
　そして、このように第２方向Ｘの第２幅が第２ベース部４２から第１ベース部４１に向かって広がるようにすることで、第１流体用パーツ３０の流体流入口３１及び流体流出口３２に対応した第１開口部４４ａ及び第２開口部４５ａと、第１ベースブロックＡ１の一端側開口部１１及び第２ベースブロックＡ２の他端側開口部２１に対応した第３開口部４４ｃ及び第４開口部４５ｃと、の間を繋ぐ一端側流路４４及び他端側流路４５を形成することができるようになる。
　一方、図５に示すように、中間部４３の第１方向Ｚ及び第２方向Ｘに直交する第３方向Ｙの第１幅Ｗ３は、一端側流路４４及び他端側流路４５を形成するために、一端側流路４４の第１内径ｄ１（図７参照）及び他端側流路４５の第２内径ｄ２よりも大きくされており、具体的には、本実施形態では、第１幅Ｗ３は約１４．０［ｍｍ］になっている。
　そして、第１幅Ｗ３は、図６に示した２つある第１ベース部４１の第１外形の向かい合う側面（向かい合う側面４１ｂ、４１ｄ及び向かい合う側面４１ａ、４１ｃ）間の距離（長さＤ１参照）のどちらの距離よりも小さいと共に、２つある第２ベース部４２の第２外形の向かい合う側面（向かい合う側面４２ｂ、４２ｄ及び向かい合う側面４２ａ、４２ｃ）間の距離（長さＤ２参照）のどちらの距離よりも小さく、変換継手４０としての形状が中間部４３のところで括れた形状になっている。
　より具体的には、第１幅Ｗ３は、第１ベース部４１の４つある隣接するネジ貫通部４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ及び４１ｄｂ間の距離のいずれの距離よりも小さく、かつ、第２ベース部４２の４つある隣接するネジ螺合部４２ｂａ、４２ｂｂ、４２ｄａ及び４２ｄｂ間の距離のいずれの距離よりも小さくなっている。
　こうすることで、第１ベース部４１の４つあるネジ貫通部４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ及び４１ｄｂ及び第２ベース部４２の４つあるネジ螺合部４２ｂａ、４２ｂｂ、４２ｄａ及び４２ｄｂを確実に形成することができるようになる。
　ただし、第２ベース部４２の４つあるネジ螺合部４２ｂａ、４２ｂｂ、４２ｄａ及び４２ｄｂを第２ベース部４２の厚みＨ２内に収まるように形成する場合には、第２ベース部４２の４つあるネジ螺合部４２ｂａ、４２ｂｂ、４２ｄａ及び４２ｄｂを気にする必要はなく、第１幅Ｗ３は第１ベース部４１の４つあるネジ貫通部４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ及び４１ｄｂが形成できる程度の幅になっていればよい。
　以上、本発明を実施形態に基づき説明したが、本発明は実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の変更が可能であることも言うまでもない。
　上記実施形態では、第１流路１０を有するベースブロックＡ（第１ベースブロックＡ１）及び第２流路２０を有するベースブロックＡ（第２ベースブロックＡ２）の２つのベースブロックＡを跨ぐように流体用パーツＢ１が配置される場合について説明してきた。
　しかしながら、１つのベースブロックＡに第１流路１０と第２流路２０の両方の流路が形成されており、その１つのベースブロックＡ上に流体用パーツＢ１が配置される場合もある。
　この場合にも、ベースブロックＡ上に流体用パーツＢ１と異なるサイズの第１流体用パーツ３０を配置すると、上記実施形態で説明したのと同様に、第１流体用パーツ３０を第１流路１０及び第２流路２０に接続できない問題があるが、変換継手４０を用いることで、そのような問題を解決することができる。
　このように、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を行ったものも本発明の技術的範囲に含まれるものであり、そのことは、当業者にとって特許請求の範囲の記載から明らかである。
１　集積型流体供給装置
１０　第１流路
１１　一端側開口部
１１ａ　一端側リング状溝
２０　第２流路
２１　他端側開口部
２１ａ　他端側リング状溝
３０　第１流体用パーツ
３１　流体流入口
３１ａ　入口側リング状溝
３２　流体流出口
３２ａ　出口側リング状溝
４０　変換継手
４１　第１ベース部
４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ　側面
４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ、４１ｄｂ　ネジ貫通部
４２　第２ベース部
４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ　側面
４２ｂａ、４２ｂｂ、４２ｄａ、４２ｄｂ　ネジ螺合部
４３　中間部
４４　一端側流路
４４ａ　第１開口部
４４ｂ　第１リング状溝
４４ｃ　第３開口部
４４ｄ　第３リング状溝
４５　他端側流路
４５ａ　第２開口部
４５ｂ　第２リング状溝
４５ｃ　第４開口部
４５ｄ　第４リング状溝
Ａ　ベースブロック
Ａ１　第１ベースブロック
Ａ２　第２ベースブロック
Ｂ、Ｂ１　流体用パーツ
Ｄ１　長さ
Ｄ２　長さ
ｄ１　第１内径
ｄ２　第２内径
Ｆ　高さ
Ｈ１、Ｈ２　厚み
Ｗ１、Ｗ２　幅
Ｗ３　第１幅
Ｘ　第２方向
Ｙ　第３方向
Ｚ　第１方向

Claims (8)

  1. 　ベースブロックに形成された第１流路と第２流路に接続される流路を有する変換継手であって、
    　前記変換継手は、
    　前記ベースブロック上に配置される第１ベース部と、
    　前記ベースブロックから離れる第１方向に前記第１ベース部から離間し、前記ベースブロックの前記変換継手が設置される場所に設置される流体用パーツと異なるサイズの第１流体用パーツが設置される第２ベース部と、
    　前記第１ベース部及び前記第２ベース部の間に位置し、前記第１ベース部及び前記第２ベース部を繋ぐ中間部と、
    　前記第２ベース部、前記中間部及び前記第１ベース部を貫通し、前記ベースブロックの前記第１流路の一端に接続される一端側流路と、
    　前記第２ベース部、前記中間部及び前記第１ベース部を貫通し、前記ベースブロックの前記第２流路の他端に接続される他端側流路と、を備え、
    　前記一端側流路の前記第２ベース部側の第１開口部と前記他端側流路の前記第２ベース部側の第２開口部が、前記第１流体用パーツの流体流入口と前記第１流体用パーツの流体流出口に接続可能に設定されていることを特徴とする変換継手。
  2. 　前記第１ベース部は、２組ある向かい合う側面のうちの１組の向かい合う側面が前記第１流体用パーツの前記流体流入口から前記流体流出口に向かう方向の第２方向に沿って配置されるほぼ矩形状の第１外形に形成され、
    　前記第２ベース部は、前記第１外形と異なる第２外形を有するほぼ矩形状に形成され、
    　前記中間部は、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向の第１幅が前記一端側流路の第１内径及び前記他端側流路の第２内径よりも大きく、かつ、２つある前記第１外形の向かい合う側面間の距離のどちらの距離よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の変換継手。
  3. 　前記中間部は、前記第１幅が２組ある前記第２外形の向かい合う側面間の距離のどちらの距離よりも小さいことを特徴とする請求項２に記載の変換継手。
  4. 　前記第１ベース部には、４つのネジ貫通部が矩形状を成す位置に設けられており、
    　前記第２ベース部には、４つのネジ螺合部が矩形状を成す位置に設けられており、
    　前記中間部は、前記第１幅が４つある隣接する前記ネジ貫通部間の距離のいずれの距離よりも小さく、かつ、４つある隣接する前記ネジ螺合部間の距離のいずれの距離よりも小さいことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の変換継手。
  5. 　前記第２ベース部を正面にして、前記第１ベース部と前記第２ベース部が重なる方向に見たときに、前記ネジ貫通部のネジが位置する部分の少なくとも一部に前記第２ベース部が重なっており、
    　前記ネジ貫通部は、前記第１ベース部の側面に開放された切欠きとして前記第１ベース部に形成されていることを特徴とする請求項４に記載の変換継手。
  6. 　前記第１開口部と前記一端側流路の前記第１ベース部側の第３開口部の間の前記一端側流路の第１内径がほぼ均一な内径であり、
    　前記第３開口部が前記一端側流路の第１内径よりも拡径されており、
    　前記第２開口部と前記他端側流路の前記第１ベース部側の第４開口部の間の前記他端側流路の第２内径がほぼ均一な内径であり、
    　前記第４開口部が前記他端側流路の第２内径よりも拡径されていることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の変換継手。
  7. 　請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の変換継手と、
    　前記ベースブロックと、
    　前記第１流体用パーツと、を少なくとも備えていることを特徴とする集積型流体供給装置。
  8. 　ベースブロックに形成された第１流路と第２流路に接続される流路を有する変換継手を用いる流体用パーツの取付け方法であって、
    前記変換継手は、
    　前記ベースブロック上に配置される第１ベース部と、
    　前記ベースブロックから離れる第１方向に前記第１ベース部から離間し、前記ベースブロックの前記変換継手が設置される場所に設置される流体用パーツと異なるサイズの第１流体用パーツが設置される第２ベース部と、
    　前記第１ベース部及び前記第２ベース部の間に位置し、前記第１ベース部及び前記第２ベース部を繋ぐ中間部と、
    　前記第２ベース部、前記中間部及び前記第１ベース部を貫通し、前記ベースブロックの前記第１流路の一端に接続される一端側流路と、
    　前記第２ベース部、前記中間部及び前記第１ベース部を貫通し、前記ベースブロックの前記第２流路の他端に接続される他端側流路と、を備え、
    　前記一端側流路の前記第２ベース部側の第１開口部と前記他端側流路の前記第２ベース部側の第２開口部が、前記第１流体用パーツの流体流入口と前記第１流体用パーツの流体流出口に接続可能に設定されている変換継手を用いて前記ベースブロックに形成された前記第１流路と前記第２流路に流体用パーツの流路を連通させることを特徴とする流体用パーツの取付け方法。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190116372A (ko) * 2017-03-15 2019-10-14 가부시키가이샤 후지킨 조인트 및 유체 제어 장치
JP7553468B2 (ja) * 2019-04-15 2024-09-18 ラム リサーチ コーポレーション ガス送給用のモジュール式構成要素システム

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10227368A (ja) * 1997-02-14 1998-08-25 Tadahiro Omi 流体制御装置
JP2001153299A (ja) * 1999-11-29 2001-06-08 Air Water Inc 集積型ガス供給ユニット用モジュールブロック
JP2002048299A (ja) * 2000-08-01 2002-02-15 Benkan Corp 集積化ガス制御装置
JP2002130479A (ja) * 2000-10-23 2002-05-09 Tokyo Electron Ltd 集積化流体供給装置及びこれに用いるシール材及びこれを用いた半導体製造装置
JP2002372181A (ja) * 2001-03-06 2002-12-26 Asml Us Inc モジュール式流体配管装置
JP2015021524A (ja) * 2013-07-17 2015-02-02 株式会社フジキン 流体制御装置用継手部材および流体制御装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7073825B2 (en) * 2002-04-10 2006-07-11 Smc Corporation One-operation piping-installation fluid pressure apparatus
CN203927189U (zh) * 2014-06-25 2014-11-05 福建金源泉科技发展有限公司 流体转换接头
JP6518501B2 (ja) * 2015-04-28 2019-05-22 株式会社フジキン 流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置
DE102015009902A1 (de) * 2015-07-29 2017-02-02 Hydac Accessories Gmbh Verteilvorrichtung

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10227368A (ja) * 1997-02-14 1998-08-25 Tadahiro Omi 流体制御装置
JP2001153299A (ja) * 1999-11-29 2001-06-08 Air Water Inc 集積型ガス供給ユニット用モジュールブロック
JP2002048299A (ja) * 2000-08-01 2002-02-15 Benkan Corp 集積化ガス制御装置
JP2002130479A (ja) * 2000-10-23 2002-05-09 Tokyo Electron Ltd 集積化流体供給装置及びこれに用いるシール材及びこれを用いた半導体製造装置
JP2002372181A (ja) * 2001-03-06 2002-12-26 Asml Us Inc モジュール式流体配管装置
JP2015021524A (ja) * 2013-07-17 2015-02-02 株式会社フジキン 流体制御装置用継手部材および流体制御装置

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