KR102308335B1 - 유체 제어 디바이스 및 유체 제어 디바이스를 위한 커넥터 - Google Patents

유체 제어 디바이스 및 유체 제어 디바이스를 위한 커넥터 Download PDF

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에스아이더블유 엔지니어링 피티이. 엘티디.
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Abstract

본 발명은 유체 제어 디바이스(fluid control device) 및 그를 위한 커넥터(connector)에 관한 것이다. 커넥터는 특정 형상의 커넥터를 형성하기 위해, 제1 유닛(unit)과 제2 유닛을 포함한다. 이에 따라, 커넥터와 인접한 커넥터는 간단하게 분해될 수 있도록, 서로 적층될 수 있다. 또한, 본 발명은 커넥터를 포함하는 유체 제어 디바이스를 제공한다.

Description

유체 제어 디바이스 및 유체 제어 디바이스를 위한 커넥터
본 발명은 유체 제어 디바이스(fluid control device) 및 그 커넥터(connector)에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 간단하게 분해 및 조립될 수 있고 높은 밀봉(sealing) 성능을 갖는 유연성(flexibility)을 갖는 유체 제어 디바이스에 관한 것이다.
유체 제어 디바이스들은 일반적으로 반도체 산업에 적용되며, 확산(diffusion), 에칭(etching), 스퍼터링(sputtering) 등을 포함하는 반도체 제조 공정들에 가스들을 공급하는 것을 목적으로 한다. 현재, 유체 제어 디바이스는 주로 감압 밸브(pressure reducing valve), 압력 게이지(pressure gauge), 질량 유량 제어기(mass flow controller), 가스 필터(gas filter), 수동-조작 밸브(hand-operated valve), 제1 차단 밸브(shut-off valve), 제2 차단 밸브 등과 같은 복수의 장치들(apparatuses)을 포함하고, 유체가 원활하게(smoothly) 흐르도록 하는 채널을 형성하기 위해 유체 제어 장치들을 연결하기 위한 다양한 커넥터들을 포함한다.
유체 제어 디바이스들이 반도체 산업에 널리 적용되더라도, 여전히 극복해야 할 결함들이 있다. 예를 들어, 유체 제어 디바이스에 다양한 장치들이 포함되어 있으므로, 유체 제어 디바이스의 조립 및 분해의 어려움이 해결되어야 하는 문제이다. 현재 제안되고 있는 솔루션들은 용이한 조립의 효과를 달성하기 위해, 유체 제어 디바이스에 사용되는 엘리먼트들(elements)의 개수를 감소시키는 것을 포함한다.
예를 들어, 미국 특허 제US 2015/0075660 A1호는 조립 문제를 해결하기 위한 방법을 제공하는 유체 제어 장치를 개시하고 있다. 장치는 일렬로 배열되는 복수의 유체 제어 디바이스들을 갖는 상부 스테이지(stage)와 상부 스테이지 상에서 유체 제어 디바이스들을 연결하는 복수의 패시지 블록들(passage blocks)을 갖는 하부 스테이지를 포함한다. 인접한 패시지 블록들은 역 U-자형의(inverted U-shaped) 파이프들(pipes)을 통해 서로 연결된다. 이에 따라, 장치는 병렬의 복수의 라인들(lines)의 패시지 블록들과 단일 라인의 패시지 블록들로 쉽게 구성될 수 있다. 또한, 장치는 감소된 개수의 구성 요소들을 갖고, 라인들의 개수를 증가시키거나 감소시키는 것과 같은 간단한 변경을 가능하게 한다.
또한, 유체 제어 디바이스를 통해 흐르는 유체들 중 일부는 부식성일 수 있으므로, 유체 제어 디바이스의 엘리먼트들의 부식 저항성이 개선되어야 하며, 유체 제어 디바이스의 세정의 어려움도 고려되어야 한다. 더욱이, 유체가 유체 제어 디바이스 내에서 흐를 때, 누출의 문제가 빈번하게 발생할 수 있으며, 특히 흐르는 가스가 인체에 위험하거나 유해할 때, 유체 누출 문제를 주의해서 피해야 한다.
이를 고려하여, 산업계의 요구 사항들을 충족시키기 위해, 상기 결함들을 극복할 수 있는 새로운 유체 제어 디바이스를 개발하는 것이 시급하다.
본 발명의 주요 목적은, 기존의 유체 제어 디바이스가 분해 또는 조립되기 쉽지 않다는 문제를 해결하기 위한 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 가스 채널(gas channel)이 그 내부에 입자가 남기 쉽고, 유체 제어 디바이스를 위한 기존의 커넥터에서 세정하기 쉽지 않다는 결함들을 극복하기 위한 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 유체 제어 디바이스 내에서의 흐름 프로세스(process) 동안 가스 누출의 위험들을 감소시키기 위한 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위해, 본 발명의 일 실시예는, 적어도 두 개의 유체 흐름 관통 홀들(fluid flowing through holes)을 포함하는 유체 제어 디바이스를 위한 커넥터를 제공한다. 커넥터는, 상부면, 상부면에 대향하는(opposite) 하부면, 상부면 내에 형성되는 제1 유체 흐름 관통 홀, 상부면 내에 형성되는 제2 유체 흐름 관통 홀, 및 제1 유체 흐름 관통 홀을 제2 유체 흐름 관통 홀과 연통시키는 제1 채널(channel)을 포함하는 제1 유닛(unit) - 제1 채널은, 제1 유닛을 통해 연장되도록 형성됨 -; 및 제1 유닛의 아래에 배치되고, 제1 유닛의 하부면의 일 부분으로부터 돌출되는 마운팅 블록(mounting block) 및 하부면의 다른 부분과 마운팅 블록에 인접한 제1 함몰부(depression portion)를 포함하는 제2 유닛을 포함한다.
상기 목적들을 달성하기 위해, 본 발명의 일 실시예는, 적어도 세 개의 유체 흐름 관통 홀들을 포함하는 유체 제어 디바이스를 위한 커넥터를 제공한다. 커넥터는, 상부면, 상부면에 대향하는 하부면, 상부면 내에 형성되는 제1 유체 흐름 관통 홀, 상부면 내에 형성되는 제2 유체 흐름 관통 홀, 및 상부면 내에 형성되는 제4 유체 흐름 관통 홀을 포함하고, 제1 유체 흐름 관통 홀을 제4 유체 흐름 관통 홀과 연통시키기 위해, 제1 유체 흐름 관통 홀과 제4 유체 흐름 관통 홀 사이에 배치되는 제1 채널을 포함하는 제1 유닛; 제1 유닛의 일 측단부(side end)로부터 외측으로 돌출되는 연장(extension) 유닛 - 연장 유닛은, 제3 유체 흐름 관통 홀을 포함하고, 제2 채널이, 제1 유체 흐름 관통 홀을 제3 유체 흐름 관통 홀과 연통시키기 위해, 제3 유체 흐름 관통 홀과 제2 유체 흐름 관통 홀 사이에 배치됨 -; 및 제1 유닛의 아래에 배치되고, 제1 유닛의 하부면의 일 부분으로부터 돌출되는 마운팅 블록 및 하부면의 다른 부분과 마운팅 블록에 인접한 제1 함몰부를 포함하는 제2 유닛을 포함한다.
본 발명의 다른 실시예는 적어도 네 개의 유체 흐름 관통 홀들을 포함하는 커넥터를 제공한다. 커넥터는, 상부면, 상부면에 대향하는 하부면, 상부면 내에 형성되는 제1 유체 흐름 관통 홀, 상부면 내에 형성되는 제2 유체 흐름 관통 홀, 상부면 내에 형성되는 제4 유체 흐름 관통 홀, 상부면 내에 형성되는 제5유체 흐름 관통 홀, 상부면 내에 형성되는 제6 유체 흐름 관통 홀을 포함하는 제1 유닛 - 제1 채널은, 제1 유체 흐름 관통 홀을 제5 유체 흐름 관통 홀과 연통시키기 위해, 제1 유체 흐름 관통 홀과 제5 유체 흐름 관통 홀 사이에 배치되고, 제2 채널은, 제2 유체 흐름 관통 홀을 제6 유체 흐름 관통 홀과 연통시키기 위해, 제2 유체 흐름 관통 홀과 제6 유체 흐름 관통 홀 사이에 배치됨 -; 제1 유닛의 일 측단부로부터 외측으로 돌출되는 연장 유닛 - 제3 채널은, 제3 유체 흐름 관통 홀을 제4 유체 흐름 관통 홀과 연통시키기 위해, 제3 유체 흐름 관통 홀과 제4 유체 흐름 관통 홀 사이에 배치됨 -; 및 제1 유닛의 아래에 배치되고, 제1 유닛의 하부면의 일 부분으로부터 돌출되는 마운팅 블록 및 하부면의 다른 부분과 마운팅 블록에 인접한 제1 함몰부를 포함하는 제2 유닛을 포함한다.
본 발명의 다른 실시예는, 적어도 여섯 개의 유체 흐름 관통 홀들을 포함하는 커넥터를 제공한다. 커넥터는, 상부면, 상부면에 대향하는 하부면, 상부면 내에 형성되는 제1 유체 흐름 관통 홀, 상부면 내에 형성되는 제2 유체 흐름 관통 홀, 상부면 내에 형성되는 제4 유체 흐름 관통 홀, 상부면 내에 형성되는 제5 유체 흐름 관통 홀, 및 상부면 내에 형성되는 제6 유체 흐름 관통 홀을 포함하는 제1 유닛 - 제1 채널은, 제1유체 흐름 관통 홀을 제5 유체 흐름 관통 홀과 연통시키기 위해, 제1 유체 흐름 관통 홀과 제5 유체 흐름 관통 홀 사이에 배치되고, 제2 채널은, 제2 유체 흐름 관통 홀을 제6 유체 흐름 관통 홀과 연통시키기 위해, 제2 유체 흐름 관통 홀과 제6 유체흐름 관통 홀 사이에 배치됨 -; 제1 유닛의 일 측단부로부터 외측으로 돌출되는 연장 유닛 - 연장 유닛은, 제3 유체 흐름 관통 홀을 포함하고, 제3 채널은, 제3 유체 흐름 관통 홀을 제4 유체 흐름 관통 홀과 연통시키기 위해, 제3 유체 흐름 관통 홀과 제4 유체 흐름 관통 홀 사이에 배치됨 -; 및 제1 유닛의 아래에 배치되고, 제1 유닛의 하부면의 일 부분으로부터 돌출되는 마운팅 블록 및 하부면의 다른 부분과 마운팅 블록에 인접한 제1 함몰부를 포함하는 제2 유닛을 포함한다.
또한, 본 발명은 유체 제어 디바이스를 위한 커넥터 모듈을 제공한다. 커넥터 모듈은, 축 방향(axial direction)으로 배열되는 복수의 연결 블록들(connecting blocks)을 포함한다. 연결 블록들의 각각은, 적어도 하나의 유체 입구, 적어도 하나의 유체 출구, 및 유체 입구를 유체 출구와 연통시키고 수평 방향(horizontal direction)으로 연장되는 적어도 하나의 연결 채널을 포함하는 상반부(upper half portion), 및 함몰부 및 축 방향을 따라 함몰부로부터 연장되고 돌출되는 텅부(tongue portion)가 마련되는 하반부(lower half portion)를 포함하고, 연결 채널은 텅부의 상부면의 위에 있다. 인접한 연결 블록들은, 서로 연결되도록, 텅부를 통해 함몰부 내에 수용된다.
본 발명은, 유체 제어 디바이스를 위한 커넥터 모듈을 더 제공한다. 커넥터 모듈은, 축 방향으로 배열되는 복수의 연결 블록들을 포함한다. 연결 블록들의 각각은 적어도 하나의 유체 입구, 적어도 하나의 유체 출구, 및 유체 입구를 유체 출구와 연통시키고, 연결 블록의 하단면(bottom surface)로부터 높이(height)만큼 분리되도록, 수평 방향으로 연장되는 적어도 하나의 연결 채널을 포함하고, 여기서 돌출되는 제1 텅부가 연결 블록의 일 단부에 형성되고, 함몰부가 연결 블록의 다른 단부에 형성된다. 인접한 연결 블록들은, 함몰부 내에 제1 텅부를 수용함으로써, 서로 연결된다.
본 발명은 유체 제어 디바이스를 더 제공하며, 유체 제어 디바이스는,
베이스(base);
베이스 상에 배치되는 커넥터 모듈 - 커넥터 모듈은 제 1 커넥터 및 제2 커넥터를 포함하고,
제1 커넥터는,
제1 상부면, 제1 상부면에 대향하는 제1 하부면, 제1 상부면 내에 형성되는 제1 유체 흐름 관통 홀, 제1 상부면 내에 형성되는 제2 유체 흐름 관통 홀, 및 제1 유체 흐름 관통 홀을 제2 유체 흐름 관통 홀과 연통시키는 제1 채널을 포함하는 제1 유닛 - 제1 채널은, 제1 유닛을 통해 연장됨 -; 및
제1 유닛의 아래에 배치되고, 제1 유닛의 제1 하부면의 일 부분으로부터 돌출되는 제1 마운팅 블록 및 그 하부면의 다른 부분과 제1 마운팅 블록에 인접한 제1 함몰부를 포함하는 제2 유닛
을 포함하고,
제2 커넥터는,
제2 상부면, 제2 상부면에 대향하는 제2 하부면, 제2 상부면 내에 형성되는 제3 유체 흐름 관통 홀, 제2 상부면 내에 형성되는 제4 유체 흐름 관통 홀, 및 제3 유체 흐름 관통 홀을 제4 유체 흐름 관통 홀과 연통시키는 제2 채널을 포함하는 제3 유닛 - 제2 채널은 제3 유닛을 통해 연장됨 -; 및
제3 유닛의 아래에 배치되고, 제3 유닛의 제2 하부면의 일 부분으로부터 돌출되는 제2 마운팅 블록, 제2 하부면의 다른 부분과 제2 마운팅 블록에 인접한 제2 함몰부, 및 제2 함몰부로부터 멀어지는 텅부를 포함하는 제4 유닛 - 제1 커넥터는, 제2 유닛의 제1 함몰부 내에 제4 유닛의 텅부를 수용함으로써, 제2 커넥터에 맞닿음 -
을 포함함 -; 및
커넥터 모듈을 통해 베이스에 고정되고, 제1 커넥터와 제2 커넥터를 가로질러 걸쳐지는(bridged) 유체 제어 엘리먼트
를 포함한다.
본 발명은 유체 제어 디바이스를 더 제공하며, 유체 제어 디바이스는,
축 방향으로 연장되는 베이스;
베이스의 위에 배치되고, 출구와 입구가 마련되는 유체 제어 엘리먼트;
유체 제어 엘리먼트와 베이스 사이에 배치되는 커넥터 모듈을 포함하고,
커넥터 모듈은,
축 방향으로 배열되는 복수의 연결 블록들
- 복수의 연결 블록들의 각각은,
연결 블록의 상부면 내에 형성되는 유체 입구와 유체 출구, 및 유체 입구를 유체 출구와 연통시키는 U-자형의 연결 채널을 포함하는 유체 채널;
연결 블록의 일 단부로부터 돌출되도록 형성되고, 제1 고정 홀이 마련되는 상부 텅부 - 제1 고정 홀은, 상부 텅부의 하부면을 통해 연장됨 -; 및
연결 블록의 다른 단부로부터 돌출되도록 형성되고, 제2 고정 홀이 마련되는 하부 텅부 - 제2 고정 홀은, 하부 텅부의 상부면을 통해 연장됨 -
를 포함함 -; 및
연결 블록의 상부 텅부의 제1 고정 홀과 인접한 연결 블록의 하부 텅부의 제2 고정 홀을 관통하는 패스너(fastener)
를 포함하고,
유체 제어 엘리먼트는, 두 개의 인접한 연결 블록들을 가로질러 걸쳐지고, 유체 제어 엘리먼트의 출구는 연결 블록들 중 하나의 유체 입구에 연결되고, 유체 제어 엘리먼트의 입구는 연결 블록들 중 다른 하나의 유체 출구에 연결된다.
본 발명은 유체 제어 디바이스를 더 제공하며, 유체 제어 디바이스는,
축 방향으로 연장되는 베이스;
베이스의 위에 배치되고, 출구와 입구가 마련되는 유체 제어 엘리먼트;
유체 제어 엘리먼트와 베이스 사이에 배치되는 커넥터 모듈을 포함하고,
커넥터 모듈은,
축 방향으로 배열되는 복수의 연결 블록들
- 복수의 연결 블록들의 각각은,
연결 블록의 상부면 내에 형성되는 유체 입구와 유체 출구, 및 유체 입구를 유체 출구와 연통시키는 U-자형의 연결 채널을 포함하는 유체 채널;
연결 블록의 일 단부로부터 돌출되도록 형성되고, 제1 고정 홀이 마련되는 상부 텅부 - 제1 고정 홀은 상부 텅부의 하부면을 통해 연장됨 -; 및
연결 블록의 다른 단부로부터 돌출되도록 형성되고, 제2 고정 홀과 제3 고정 홀이 마련되는 하부 텅부 - 제2 고정 홀은 하부 텅부의 상부면을 통해 연장되고, 제3 고정 홀은 하부 텅부의 하부면을 통해 연장됨 -
를 포함함 -;
연결 블록의 상부 텅부의 제1 고정 홀과 인접한 연결 블록의 하부 텅부의 제2 고정 홀을 관통하는 상부 패스너; 및
연결 블록의 하부 텅부의 제3 고정 홀과 베이스를 관통하는 하부 패스너
를 포함하고,
상기 유체 제어 엘리먼트는, 두 개의 인접한 연결 블록들을 가로질러 걸쳐지고,
유체 제어 엘리먼트의 출구는, 연결 블록들 중 하나의 유체 입구에 연결되고, 유체 제어 엘리먼트의 입구는, 연결 블록들 중 다른 하나의 유체 출구에 연결된다.
따라서, 본 발명은, 기존의 기술과 비교하여, 다음과 같은 효과들을 달성할 수 있다.
(1) 본 발명의 유체 제어 디바이스는, 특정 형상의 커넥터를 통해 연결된다. 커넥터는 간단하게 분해 또는 조립될 수 있도록, 인접한 커넥터 상에 간단히 적층될 수 있고, 기존의 유체 제어 디바이스가 분해 또는 조립되기 쉽지 않다는 문제가 해결된다. 상기 커넥터에 기반하여, 유체 제어 디바이스의 실시예가 모듈화될 수 있다. 상이한 커넥터들의 조합을 통해, 다양한 유체 제어 엘리먼트들과의 유연한 조합이 구현될 수 있다.
(2) 본 발명의 커넥터 설계는, 유체 제어 엘리먼트로부터 커넥터를 통해 인접한 유체 제어 엘리먼트로 통과할 때, 서로 연결되는 복수의 이차 채널들로 구성되는 유체 채널이 아니라, 단일 커넥터의 유체 채널을 통해, 유체가 흐르도록 한다. 다시 말해, 인접한 커넥터들의 조립은, 유체 채널의 결합을 포함하지 않으며, 이로써 유체 채널의 인터페이스를 감소시키고 유체 누출의 가능성을 감소시키고, 우수한 밀봉 성능을 갖는다.
(3) 본 발명의 유체 흐름 관통 홀들 및/또는 이 유체 흐름 관통 홀들 사이의 채널들의 각각은, 거울면(mirror)을 갖고, 이에 따라 유체가 그것을 통해 흐를 때 입자가 남는 문제가 효과적으로 해결될 수 있다.
도 1a는 본 발명에 따른 2-포트(port) 커넥터에 대한 제1 실시예의 3차원 도면이다.
도 1b는 본 발명에 따른 2-포트 커넥터에 대한 제1 실시예의 좌측면도이다.
도 1c는 본 발명에 따른 2-포트 커넥터에 대한 제1 실시예의 저면도이다.
도 1d는 본 발명에 따른 2-포트 커넥터에 대한 제1 실시예의 평면도이다.
도 1e는 도 1d의 A-A 단면도이다.
도 1f는 도 1d의 B-B 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 2-포트 커넥터에 대한 제2 실시예의 3차원 도면이다.
도 3a는 본 발명에 따른 2-포트 커넥터에 대한 제3 실시예의 3차원 도면이다.
도 3b는 본 발명에 따른 2-포트 커넥터에 대한 제3 실시예의 좌측면도이다.
도 3c는 본 발명에 따른 2-포트 커넥터에 대한 제3 실시예의 저면도이다.
도 3d는 본 발명에 따른 2-포트 커넥터에 대한 제3 실시예의 평면도이다.
도 3e는 도 3d의 C-C 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 2-포트 커넥터에 대한 제4 실시예의 3차원 도면이다.
도 5a는 본 발명에 따른 3-포트 커넥터에 대한 제1 실시예의 3차원 도면이다.
도 5b는 본 발명에 따른 3-포트 커넥터에 대한 제1 실시예의 다른 관점에서의 3차원 도면이다.
도 5c는 본 발명에 따른 3-포트 커넥터에 대한 제1 실시예의 좌측면도이다.
도 5d는 본 발명에 따른 3-포트 커넥터에 대한 제1 실시예의 저면도이다.
도 5e는 본 발명에 따른 3-포트 커넥터에 대한 제1 실시예의 평면도이다.
도 5f는 도 5e의 D-D 단면도이다.
도 5g는 도 5e의 E-E 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 3-포트 커넥터에 대한 제2 실시예의 3차원 도면이다.
도 7a는 본 발명에 따른 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터에 대한 제1 실시예의 3차원 도면이다.
도 7b는 도 7a의 F-F 단면도이다.
도 7c는 도 7a의 G-G 단면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터에 대한 제2 실시예의 3차원 도면이다.
도 9a는 본 발명에 따른 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터에 대한 제3 실시예의 3차원 도면이다.
도 9b는 본 발명에 따른 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터에 대한 제3 실시예의 좌측면도이다.
도 9c는 본 발명에 따른 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터에 대한 제3 실시예의 저면도이다.
도 9d는 본 발명에 따른 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터에 대한 제3 실시예의 평면도이다.
도 9e는 도 9d의 H-H 단면도이다.
도 9f는 도 9d의 I-I 단면도이다.
도 10a는 본 발명에 따른 연결 피스(connecting piece)에 대한 제1 실시예의 3차원 도면이다.
도 10b는 도 10a의 J-J 단면도이다.
도 10c는 도 10a의 K-K 단면도이다.
도 11a는 본 발명에 따른 연결 피스에 대한 제2 실시예의 3차원 도면이다.
도 11b는 도 11a의 L-L 단면도이다.
도 12a는 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 제어 디바이스의 3차원 도면이다.
도 12b는 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 제어 디바이스의 다른 관점에서의 3차원 도면이다.
도 12c는 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 제어 디바이스의 분해도이다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유체 제어 디바이스의 개략도이다.
본 발명의 상세한 기술적 내용들이 도면과 함께 기술될 것이다.
본 발명에 따른 유체 제어 디바이스는 단일 라인으로 배열되는 복수의 유체 제어 엘리먼트들 및 복수의 유체 제어 엘리먼트들에 대응하는 복수의 커넥터들을 포함하고, 각 유체 제어 엘리먼트는 대응하는 커넥터에 연결되며, 이에 따라 유체가 연결된 유체 제어 엘리먼트와 커넥터 사이에서 흐른다.
본 발명에 따른 유체 제어 디바이스에 포함되는 복수의 유체 제어 엘리먼트들은 특별히 제한되지 않으며, 필요에 따라 임의로 선택될 수 있다. 특정 실시예에서, 각 유체 제어 엘리먼트는 감압 밸브, 압력 게이지, 질량 유량 제어기, 필터, 수동-조작 밸브, 2-포트 차단 밸브, 3-포트 차단 밸브, 고순도 압력(high-cleanness pressure) 조절기 밸브(regulator valve), 압력 센서(pressure sensor), 및 이들의 조합들로 구성되는 그룹으로부터 선택된다. 보다 구체적으로, 그룹은 수동-조작 밸브, 2-포트 차단 밸브, 3-포트 차단 밸브, 고순도 압력 조절기 밸브, 압력 센서, 필터, 2-포트 차단 밸브, 질량 유량 제어기, 3-포트 차단 밸브, 및 2-포트 차단 밸브로 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 유체 제어 디바이스를 위한 커넥터들은, 2-포트 커넥터, 3-포트 커넥터, 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터, 및 그의 가스 채널 포트들(gas channel ports)의 개수에 따른 연결 피스로 분류된다. 이러한 커넥터들이 후술될 것이다. 또한, 이러한 커넥터들의 각각은 복수의 유닛들(units)을 포함하고, 각 유닛은 상부면, 하부면, 제1 측면, 제2 측면, 제3 측면, 제4 측면 등을 포함한다. 설명의 편의를 위해, 동일한 배향들의 표면들은 동일한 명칭 및 구별을 위해 상이한 참조 번호들로 설명될 것이다.
2-포트 커넥터들
본 발명에 따른 2-포트 커넥터는 두 개의 유체 흐름 관통 홀들을 갖는 커넥터를 나타내고, 하나는 유체 입구이고, 다른 하나는 유체 출구이다.
도 1a 내지 도 1f는 본 발명에 따른 제1 실시예의 2-포트 커넥터(1a)를 도시한다. 도 1a 및 도 1b를 참조하면, 2-포트 커넥터(1a)에는, 제1 유닛(11)과 제2 유닛(12)이 마련된다. 제1 유닛(11)은 제2 유닛(12) 상에 배치된다.
제1 유닛(11)은 제1 마운팅 블록(11a)과 제1 텅부(11c)를 포함하고, 제1 유닛(11)에는, 상부면(111), 상부면(111)에 대향하는 하부면(112), 및 상부면(111)과 하부면(112)에 개별적으로 연결되는 제1 측면(113), 제2 측면(114), 제3 측면(115) 및 제4 측면(116)이 더 마련된다. 제1 측면(113)은 제3 측면(115)에 대응하여 배치되는 한편, 제2 측면(114)은 제 4 측면(116)에 대응하여 배치된다. 제2 유닛(12)은 제2 마운팅 블록(12a)과 제2 함몰부(12b)를 포함한다. 제2 마운팅 블록(12a)은 제1 유닛의 하부면(112)의 일 부분으로부터 돌출된다. 제2 마운팅 블록(12a)의 존재로 인해, 제1 유닛(11)의 하부면(112)의 다른 부분은, 도 1e에 도시된 바와 같이 하부면(112)의 다른 부분과 제2 마운팅 블록(12a) 사이에 인접한 제2 함몰부(12b) 내로 내측으로 함몰된다. 제2 유닛(12)에는, 하부면(122), 및 하부면(122)에 개별적으로 연결되는 제1 측면(123), 제2 측면(124), 제3 측면(125) 및 제4 측면(126)이 마련된다. 제1 측면(123)은 제3 측면(125)에 대응하여 배치되고, 제2 측면(124)은 제4 측면(126)에 대응하여 배치된다.
제1 유닛(11)과 제2 유닛(12)은 동일한 폭(W)을 갖는다. 제1 유닛(11)의 길이(L1)는 제2 유닛(12)의 길이(L2) 보다 크다. 제1 유닛(11)과 제2 유닛(12)은 일체로 형성되는 구조이다. 제1 유닛(11)의 제3 측면(115)은 제2 유닛(12)의 제3 측면(125)과 동일 평면에 형성되어(flush), 일체로 형성되는 표면을 형성한다. 이와 유사하게, 제1 유닛(11)의 제2 측면(114)과 제2 유닛(12)의 제2 측면(124)은 일체로 형성되는 표면으로 형성되고, 제1 유닛(11)의 제4 측면(116)과 제2 유닛(12)의 제4 측면(126)은 일체로 형성되는 표면으로 형성된다.
계속해서 도 1c, 도 1d, 도 1f를 참조하면, 제1 유닛은 제1 위치 결정 핀 홀(locating pin hole)(1111a), 제2 위치 결정 핀 홀(1111b), 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a), 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b), 제1 스레디드 홀(threaded hole)(1113a), 제2 스레디드 홀(1113b), 제3 스레디드 홀(1113c), 제4 스레디드 홀(1113d), 제1 하부 스레디드 홀(1121a), 제2 하부 스레디드 홀(1121b), 제1 볼트 홀(bolt hole)(1114a), 및 제2 볼트 홀(1114b)을 포함한다. 제1 위치 결정 핀 홀(1111a)과 제2 위치 결정 핀 홀(1111b)은 제1 측면(113)에 가까운 상부면(111)의 일 측부(side)에 배치되고, 둘 다 상부면(111)과 하부면(112)을 통해 연장되는 관통 홀들이다.
제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)과 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)은 제1 측면(113)과 제3 측면(115)에 가까운 상부면(111)의 측부들에 개별적으로 배치되고, 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)은 제1 위치 결정 핀 홀(1111a)과 제2 위치 결정 핀 홀(1111b) 사이에 배치되고, 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)은 제3 스레디드 홀(1113c)과 제4 스레디드 홀(1113d) 사이에 배치된다. 도 1e를 참조하면, 제1 채널(1115a)은, 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)을 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)과 연통시키기 위해, 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)과 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b) 사이에 배치된다. 본 실시예에서, 제1 채널(1115a)은 제2 마운팅 블록(12a)에 가까운 제1 유닛(11)의 일 단부로부터 제2 함몰부(12b)에 가까운 제1 유닛(11)의 일 단부로 연장되며, 제3 측면(115)에 가까운 제1 유닛(11)의 일 단부로부터 재1 측면(113)에 가까운 제1 유닛(11)의 일 단부로 연장되는 것으로 간주될 수도 있다. 유체가 제1 채널(1115a)을 통해 흐를 때 제1 채널(1115a) 내에 잔류하는 것을 피하기 위해, 제1 채널(1115a)은 거울면을 갖도록 하는 처리의 대상이 된다. 예를 들어, 상기 처리는, 먼저 제1 측면(113) 내에 제1 채널(1115a)과 연통하는 오프닝(opening)을 형성하는 단계, 및 제1 채널(1115a)이 거울면을 갖도록 제1 채널(1115a)에 대해 버니싱 처리(burnishing treatment)를 수행한 다음, 용접(welding)에 의해 오프닝을 밀봉하는 단계를 포함할 수 있다.
제1 스레디드 홀(1113a), 제2 스레디드 홀(1113b), 제3 스레디드 홀(1113c), 제4 스레디드 홀(1113d), 제1 하부 스레디드 홀(1121a), 및 제2 하부 스레디드 홀(1121b)은 모두 비-관통 홀들인, 스레드된(threaded) 블라인드 홀들(blind holes)이다. 제1 스레디드 홀(1113a)과 제2 스레디드 홀(1113b)은 제1 측면(113)에 가까운 상부면(111)의 일 측부에 배치된다. 제1 스레디드 홀(1113a)은 제1 위치 결정 핀 홀(1111a)에 인접하고, 제2 스레디드 홀(1113b)은 제2 위치 결정 핀 홀(1111b)에 인접한다. 제3 스레디드 홀(1113c)과 제4 스레디드 홀(1113d)은 제3 측면(115)에 가까운 상부면(111)의 일 측부에 배치되고, 제3 스레디드 홀(1113c)은 제2 측면(114)에 가까운 한편, 제4 스레디드 홀(1113d)은 제4 측면(116)에 가깝다. 제1 하부 스레디드 홀(1121a)과 제2 하부 스레디드 홀(1121b)은 하부면(112) 내에 형성되고, 제1 볼트 홀(1114a)과 제2 볼트 홀(1114b)에 가깝다.
도 1e를 참조하면, 본 발명에 따른 일 실시예에서, 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)은 확대부(enlarged portion)(11121), 단차면(step surface)(11122), 및 채널부(11123)를 포함한다. 확대부(11121)의 내경은 채널부(11123)의 내경 보다 크다. 단차면(11122)은 확대부(11121)와 채널부(11123) 사이에 연결되고, 버니싱된 거울면이며, 이에 따라 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)이 다른 유체 제어 엘리먼트와 연통할 때, 밀봉 효과가 달성될 수 있다. 다른 실시예들에서, 유체 흐름 관통 홀들은 상기와 동일한 구조일 수 있으며, 이하에서 반복하여 설명되지 않을 것이다.
제1 볼트 홀(1114a)과 제2 볼트 홀(1114b)은 제2 측면(114)과 제4 측면(116)에 가까운 상부면(111)의 측부들에 개별적으로 배치된다. 보다 구체적으로, 제1 볼트 홀(1114a)은 제1 스레디드 홀(1113a)과 제3 스레디드 홀(1113c) 사이에 인접하여 배치되고, 제2 볼트 홀(1114b)은 제2 스레디드 홀(1113b)과 제4 스레디드 홀(1113d) 사이에 인접하여 배치된다. 제1 볼트 홀(1114a)과 제2 볼트 홀(1114b)은 둘 다 상부면(111)과 하부면(112)을 통해 연장되는 관통 홀들이며, 돌출부(projection portion)가 둘 다에 개별적으로 마련되며, 이에 따라 도 1f에 도시된 바와 같이, 제1 볼트 홀(1114a)과 제2 볼트 홀(1114b)은 상이한 직경들(R1, R2)을 갖고, 상부면(111)에 가까운 직경이 R1이고, 하부면(112)에 가까운 직경이 R2이며, R1이 R2 보다 크다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 제2 실시예의 2-포트 커넥터(1b)는, 제3 스레디드 홀(1113c)과 제4 스레디드 홀(1113d) 사이의 거리가 제1 실시예의 2-포트 커넥터(1a)의 제3 스레디드 홀(1113c)과 제4 스레디드 홀(1113d) 사이의 거리 보다 짧다는 것을 것을 제외하고는, 다른 배치들 및 구조들에서 상술된 바와 같은 제1 실시예의 2-포트 커넥터(1a)와 동일하다.
도 3a 내지 도 3e는 본 발명에 따른 제3 실시예의 2-포트 커넥터(1c)를 도시한다. 2-포트 커넥터(1c)는 제1 유닛(11)과 제2 유닛(12)을 포함한다. 제1 유닛(11)은 제1 마운팅 블록(11a), 제1 함몰부(11b), 및 제1 텅부(11c)를 포함한다. 제1 유닛(11)은 상부면(111), 상부면(111)에 대향하는 하부면(112), 및 상부면(111)과 하부면(112)에 각각 연결되는 제1 측면(113), 제2 측면(114), 제3 측면(115) 및 제4 측면(116)을 더 포함한다. 제1 측면(113)은 제3 측면(115)에 대응하여 배치되고, 제2 측면(114)은 제4 측면(116)에 대응하여 배치된다. 제2 유닛(12)은 제2 마운팅 블록(12a), 제2 함몰부(12b), 및 제2 텅부(12c)를 포함한다. 제2 마운팅 블록(12a)은 제1 유닛(11)의 하부면(112)의 일 부분으로부터 돌출되고, 제2 마운팅 블록(12a)의 존재로 인해, 제1 유닛(11)의 하부면(112)의 다른 부분은, 도 3e에 도시된 바와 같이 하부면(112)의 다른 부분과 제2 마운팅 블록(12a) 사이에 인접한 제2 함몰부(12b) 내로 내측으로 함몰된다. 제2 텅부(12c)는 제2 함몰부(12b)로부터 멀리 있는 측부를 향하여 제2 마운팅 블록(12a)으로부터 연장되고, 제1 유닛(11)으로부터 돌출된다. 제2 유닛(12)에는, 상부면(121), 상부면(121)에 대향하는 하부면(123), 및 상부면(121)과 하부면(122)에 개별적으로 연결되는 제1 측면(123), 제2 측면(124), 제3 측면(125) 및 제4 측면(126)이 마련된다. 제1 측면(123)은 제3 측면(125)에 대응하여 배치되고, 제2 측면(124)은 제4 측면(126)에 대응하여 배치된다.
본 실시예에서, 제1 유닛(11)과 제2 유닛(12)은 일체로 형성되는 구조이다. 구체적으로, 제1 유닛(11)과 제2 유닛(12)은 동일한 폭(W)을 갖는다. 제1 유닛(11)의 제2 측면(114)은 제2 유닛(12)의 제2 측면(124)과 동일 평면에 형성되어, Z-자형의 평면을 형성하고, 제1 유닛(11)의 제4 측면(116)은 제2 유닛(12)의 제4 측면(126)과 동일 평면에 형성되어, Z-자형의 평면을 형성한다.
도 3c 및 도 3d를 참조하면, 제1 유닛(11)은 제1 위치 결정 핀 홀(1111a), 제2 위치 결정 핀 홀(1111b), 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a), 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b), 제1 스레디드 홀(1113a), 제2 스레디드 홀(1113b), 제3 스레디드 홀(1113c), 제4 스레디드 홀(1113d), 제1 하부 스레디드 홀(1121a), 제2 하부 스레디드 홀(1121b), 제1 볼트 홀(1114a), 및 제2 볼트 홀(1114b)을 더 포함한다.
제1 위치 결정 핀 홀(1111a)과 제2 위치 결정 핀 홀(1111b)은 둘 다 상부면(111)과 하부면(112)을 통해 연장되는 관통 홀들이다. 제1 위치 결정 핀 홀(1111a)은 제1 스레디드 홀(1113a)과 제1 측면(113) 사이에 위치되고, 제2 위치 결정 핀 홀(1111b)은 제2 스레디드 홀(1113b)과 제1 측면(113) 사이에 위치된다. 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)과 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)은 제1 측면(113)과 제3 측면(115)에 가까운 상부면(111)의 측부들에 개별적으로 배치된다. 제1 채널(1115a)은, 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)을 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)와 연통시키기 위해, 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)과 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b) 사이에 배치된다. 도 3e를 참조하면, 본 실시예에서, 제1 채널(1115a)은 제2 마운팅 블록(12a)에 가까운 제1 유닛(11)의 일 단부로부터 제2 함몰부(12b)에 가까운 제1 유닛(11)의 일 단부로 연장된다. 유체가 제1 채널(1115a)을 통해 흐를 때 제1 채널(1115a) 내에 잔류하는 것을 피하기 위해, 제1 채널(1115a)은 상술된 바와 같이, 거울면을 갖도록 하는 처리의 대상이 될 수 있다.
제1 스레디드 홀(1113a), 제2 스레디드 홀(1113b), 제3 스레디드 홀(1113c), 제4 스레디드 홀(1113d), 제1 하부 스레디드 홀(1121a), 및 제2 스레디드 홀(1121b)은 모두 스레드된 블라인드 홀들이다. 제1 스레디드 홀(1113a)과 제2 스레디드 홀(1113b)은 제1 측면(113)에 가까운 제1 유닛(11)의 상부면(111)의 일 측부에 배치된다. 제3 스레디드 홀(1113c)은 제2 측면(114)에 가까운 상부면(111)의 일 측부에 배치되고, 제4 스레디드 홀(1113d)은 제4 측면(116)에 가깝다. 본 실시예에서, 제1 스레디드 홀(1113a), 제2 스레디드 홀(1113b), 및 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)은 이등변 삼각형(isosceles triangle)의 꼭지점들(vertexes)로서 적절하게 배열된다. 제1 하부 스레디드 홀(1121a)과 제2 하부 스레디드 홀(1121b)은 하부면(112) 내에 형성되고, 제1 볼트 홀(1114a)과 제2 볼트 홀(1114b)에 가깝다.
제1 볼트 홀(1114a)과 제2 볼트 홀(1114b)은 둘 다 상부면(111)과 하부면(112)을 통해 연장되는 관통 홀들이며, 돌출부가 관통 홀들의 각각에 배치되고, 이에 따라 관통 홀들, 즉 제1 볼트 홀(1114a)과 제2 볼트 홀(1114b)은 상이한 직경들(R1, R2)을 갖고, 여기서 상부면(111)에 가까운 직경이 R1인 한편, 하부면(112)에 가까운 직경이 R2이고, R1이 R2 보다 크다(볼트 홀들의 구조에 대해서는, 도 1f 참조). 본 실시예에서, 제1 볼트 홀(1114a)은 제1 스레디드 홀(1113a)과 제3 스레디드 홀(1113c) 사이에 배치되고, 제2 볼트 홀(1114b)은 제2 스레디드 홀(1113b)과 제4 스레디드 홀(1113d) 사이에 배치된다.
제2 유닛(12)은 제1 위치 결정 핀 홀(1211a), 제2 위치 결정 핀 홀(1211b), 제1 관통 홀(1216a), 제2 관통 홀(1216b), 제5 스레디드 홀(1213e), 및 제6 스레디드 홀(1213f)을 더 포함한다.
제1 위치 결정 핀 홀(1211a)과 제2 위치 결정 핀 홀(1211b)은 제1 유닛(11)에 가까운 제2 유닛(12)의 상부면(121)의 일 측부에 배치되고, 둘 다 상부면(121)과 하부면(122)을 통해 연장되는 관통 홀들이다. 제5 스레디드 홀(1213e)과 제6 스레디드 홀(1213f)은 제1 유닛(11)의 그 측부로부터 멀리 있는 제2 유닛(12)의 상부면(121)의 일 측부에 배치된다. 본 실시예에서, 제5 스레디드 홀(1213e)과 제6 스레디드 홀(1213f)은 상부면(121)과 하부면(122)을 통해 연장되는 관통 홀들이다. 제1 관통 홀(1216a)과 제2 관통 홀(1216b)은 제1 위치 결정 핀 홀(1211a)과 제5 스레디드 홀(1213e) 사이 및 제2 위치 결정 핀 홀(1211b)과 제6 스레디드 홀(1213f) 사이에 개별적으로 배치된다.
본 발명에 따른 제4 실시예의 2-포트 커넥터(1d)는 도 4에 도시된 바와 같다. 2-포트 커넥터(1d)와 2-포트 커넥터(1c)는, 2-포트 커넥터(1d)에는, 제1 위치 결정 핀 홀(1111a), 제2 위치 결정 핀 홀(1111b), 제1 하부 스레디드 홀(1121a), 및 제2 하부 스레디드 홀(1121b)이 없고, 제1 스레디드 홀(1113a)과 제2 스레디드 홀(1113b)이 서로 비교적 가깝고 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)의 주위에 대칭적으로 배치된다는 점에서, 상이하다. 또한, 제1 스레디드 홀(1113a), 제2 스레디드 홀(1113b), 및 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)은 가상의 직선으로 배열된다. 다른 배치들 및 구조들은 제3 실시예의 2-포트 커넥터(1c)와 동일하다.
3-포트 커넥터들
본 발명에 따른 3-포트 커넥터는 유체 입구들 또는 유체 출구들로 사용될 수 있는 세 개의 흐름 관통 홀들을 갖는 커넥터이다. 예를 들어, 실제 사용에서, 하나의 유체 입구와 두 개의 유체 출구들, 또는 두 개의 유체 입구들과 하나의 유체 출구가 있을 수 있고, 또는 두 개의 흐름 관통 홀들만이 유체 입구와 유체 출구로 사용된다.
도 5a 내지 도 5g는 본 발명에 따른 제1 실시예의 3-포트 커넥터(2a)를 도시한다. 3-포트 커넥터(2a)는 제1 유닛(11), 제2 유닛(12), 및 연장 유닛(13)을 포함한다. 제1 유닛(11)은 제1 마운팅 블록(11a), 제1 함몰부(11b), 및 제1 텅부(11c)를 포함한다. 제1 유닛(11)은 상부면(111), 상부면(111)에 대향하는 하부면(112), 및 상부면(111)과 하부면(112)에 개별적으로 연결되는 제1 측면(113), 제2 측면(114), 제3 측면(115) 및 제4 측면(116)을 포함한다. 제1 측면(113)은 제3 측면(115)에 대응하여 배치되고, 제2 측면(114)은 제4 측면(116)에 대응하여 배치된다.
제2 유닛(12)은 제2 마운팅 블록(12a), 제2 함몰부(12b), 및 제2 텅부(12c)를 포함한다. 제2 마운팅 블록(12a)은 제1 유닛(11)의 하부면(112)의 일 부분으로부터 돌출되고, 제2 마운팅 블록(12a)의 존재로 인해, 제1 유닛(11)의 하부면(112)의 다른 부분은, 도 5b에 도시된 바와 같이 하부면(112)의 다른 부분과 제2 마운팅 블록(12a) 사이에 인접한 제2 함몰부(12b) 내로 내측으로 함몰된다. 제2 텅부(12c)는 제1 유닛(11)으로부터 돌출되도록, 제2 함몰부(12b)로부터 멀리 있는 측부를 향하여 제2 마운팅 블록(12a)으로부터 연장된다. 또한, 제2 유닛(12)은 상부면(121), 상부면(121)에 대향하는 하부면(122), 및 상부면(121)과 하부면(122)에 개별적으로 연결되는 제1 측면(123), 제2 측면(124), 제3 측면(125) 및 제4 측면(126)을 포함한다. 제1 측면(123)은 제3 측면(125)에 대응하여 배치되고, 제2 측면(124)은 제4 측면(126)에 대응하여 배치된다.
연장 유닛(13)은 제2 측면들(114, 124)들에 가까운 제1 유닛(11)과 제2 유닛(12)의 일 단부들로부터 외측으로 돌출된다. 연장 유닛(13)은 상부면(131), 상부면(131)에 대향하는 하부면(132), 및 상부면(131)과 하부면(132)에 개별적으로 연결되는 제1 측면(133), 제2 측면(134) 및 제3 측면(135)을 포함한다. 제1 측면(133)은 제3 측면(135)에 대응하여 배치된다. 연장 유닛(13)은, 도 5a에 도시된 바와 같이 제2 텅부(12c)에 평행하게 연장되고 돌출되는 리테이닝 벽(retaining wall)(137)을 더 포함한다. 제1 아크(arc)-형 오목부(recess portion)(21)는 연장 유닛(13)의 제1 측면(133)과 제1 유닛(11)의 제2 측면(114) 사이에 형성된다. 제2 아크-형 오목부(22)는 연장 유닛(13)의 제3 측면(135)과 제2 유닛(12)의 제2 측면(124) 사이에 형성되고, 제3 아크-형 오목부(23)는 리테이닝 벽(137)과 제3 측면(115) 사이에 형성된다.
본 실시예에서, 제1 유닛(11), 제2 유닛(12), 및 연장 유닛(13)은 일체로 형성되는 구조이다. 즉, 제1 유닛(11)과 제2 유닛(12)은 동일한 폭(W)을 갖는다.
제1 유닛(11)은 제1 위치 결정 핀 홀(1111a), 제2 위치 결정 핀 홀(1111b), 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a), 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b), 제1 스레디드 홀(1113a), 제2 스레디드 홀(1113b), 제3 스레디드 홀(1113c), 제4 스레디드 홀(1113d), 제1 하부 스레디드 홀(1121a), 제2 하부 스레디드 홀(1121b), 제1 볼트 홀(1114a), 및 제2 볼트 홀(1114b)을 더 포함한다. 연장 유닛(13)은 제3 유체 흐름 관통 홀(1312), 제5 스레디드 홀(1313a), 및 제6 스레디드 홀(1313b)을 더 포함한다.
또한, 제1 위치 결정 핀 홀(1111a)과 제2 위치 결정 핀 홀(1111b)은 둘 다 제1 측면(113)에 가까운 상부면(111)의 일 측부에 배치되고, 둘 다 상부면(111)과 하부면(112)을 통해 연장되는 관통 홀들이다.
제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)과 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)은 제1 측면(113)과 제3 측면(115)에 가까운 상부면(111)의 측부들에 개별적으로 배치되고, 제3 유체 흐름 관통 홀(1312)은 제2 측면(134)에 가까운 상부면(131)의 일 측부에 배치된다. 제1 채널(1115a)은, 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)을 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)과 연통시키기 위해, 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)과 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b) 사이에 배치되고, 제2 채널(1115b)은 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)을 제3 유체 흐름 관통 홀(1312)과 연통시키기 위해, 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)과 제3 유체 흐름 관통 홀(1312) 사이에 배치된다. 제1 채널(1115a)과 제2 채널(1115b)은 서로 연결되어 연통하며, 서로에 대해 직교하는 방향들로 연장된다. 다시 말해, 유체 흐름 관통 홀(1112a)은 제1 채널(1115a)과 제2 채널(1115b)을 통해, 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b) 및 제3 유체 흐름 관통 홀(1312)과 연통한다. 본 실시예에서, 유체가 이 채널들을 통해 흐를 때 이 채널들 내에 잔류하는 것을 피하기 위해, 이 채널들은 둘 다 거울면을 갖도록 처리된다.
제1 스레디드 홀(1113a), 제2 스레디드 홀(1113b), 제3 스레디드 홀(1113c), 제4 스레디드 홀(1113d), 제5 스레디드 홀(1313a), 제6 스레디드 홀(1313b), 제1 하부 스레디드 홀(1121a), 및 제2 하부 스레디드 홀(1121b)은 모두 스레드된 블라인드 홀들이다. 보다 상세하게는, 제1 스레디드 홀(1113a)과 제2 스레디드 홀(1113b)은 제1 측면(113)에 가까운 제1 유닛(11)의 상부면(111)의 일 측부에 배치되고, 제1 위치 결정 핀 홀(1111a)과 제2 위치 결정 핀 홀(1111b)은 제1 측면(113)에 가까운 상부면(111)의 그 측부에 배치된다. 제3 스레디드 홀(1113c)은 제2 측면(114)에 가까운 상부면(111)의 일 측부에 배치되고, 제4 스레디드 홀(1113d)은 제4 측면(116)에 가까운 상부면(111)의 일 측부에 배치된다. 제5 스레디드 홀(1313a)과 제6 스레디드 홀(1313b)은 제2측면(134)에 가까운 연장 유닛(13)의 상부면(131)의 일 측부에 배치되고, 제3 유체 흐름 관통 홀(1312)은 제5 스레디드 홀(1313a)과 제6 유체 흐름관통 홀(1313b) 사이에 배치된다. 제1 하부 스레디드 홀(1121a)과 제2 하부 스레디드 홀(1121b)은 하부면(112) 내에 형성되고, 제1 볼트 홀(1114a)과 제2 볼트 홀(1114b)에 가깝다.
제1 볼트 홀(1114a)과 제2 볼트 홀(1114b)은 둘 다 상부면(111)과 하부면(112)을 통해 연장되는 관통 홀들이다. 상술된 바와 같은 볼트 홀들의 구조와 유사하게(도 1f 참조), 돌출부는 관통 홀들의 각각에 배치되고, 이에 따라 관통 홀들, 즉 제1 볼트 홀(1114a)과 제2 볼트 홀(1114b)이 상이한 직경들(R1, R2)을 갖고, 여기서 상부면(111)에 가까운 직경이 R1인 한편, 하부면(112)에 가까운 직경이 R2이고, R1이 R2 보다 크다. 본 실시예에서, 제1 볼트 홀(1114a)은 제1 스레디드 홀(1113a)과 제3 스레디드 홀(1113c) 사이에 배치되고, 제2 볼트 홀(1114b)은 제2 스레디드 홀(1113b)과 제4 스레디드 홀(1113d) 사이에 배치된다.
제2 유닛(12)은 제3 위치 결정 핀 홀(1211c), 제4 위치 결정 핀 홀(1211d), 제1 관통 홀(1216a), 제2 관통 홀(1216b), 제7 스레디드 홀(1213g), 및 제8 스레디드 홀(1213h)을 더 포함한다.
제3 위치 결정 핀 홀(1211c)과 제4 위치 결정 핀 홀(1211d)은 제1 유닛(11)에 가까운 제2 유닛(12)의 상부면(121)의 일 측부에 배치되고, 둘 다 상부면(121)과 하부면(122)을 통해 연장되는 관통 홀들이다. 제7 스레디드 홀(1213g)과 제8 스레디드 홀(1213h)은 제1 유닛(11)으로부터 멀리 있는 제2 유닛(12)의 상부면(121)의 일 측부에 배치된다. 본 실시예에서, 제7 스레디드 홀(1213g)과 제8 스레디드 홀(1213h)은 둘 다 상부면(121)과 하부면(122)을 통해 연장되는 관통 홀들이다. 제1 관통 홀(1216a)과 제2 관통 홀(1216b)은 제3 위치 결정 핀 홀(1211c)과 제7 스레디드 홀(1213g)에 가깝고, 제4 위치 결정 핀 홀(1211d)과 제8 스레디드 홀(1213h)에 가깝게 각각 배치된다.
본 발명에 따른 제2 실시예의 3-포트 커넥터(2b)는 도 6에 도시된 바와 같다. 3-포트 커넥터(2b)는 제1 유닛(11)의 상부면(111)을 제외하고, 다른 배치들 및 구조들에서 상술된 바와 같은 제1 실시예와 동일하다. 3-포트 커넥터(2b)에서, 제1 유닛(11)의 상부면(111)은 제1 위치 결정 핀 홀(1111a)과 제2 위치 결정 핀 홀(1111b)을 포함하지 않고, 제1 스레디드 홀(1113a)과 제2 스레디드 홀(1113b)의 위치들은, 두 스레디드 홀들과 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)이 가상의 직선으로 배열되도록, 변경된다.
네 개의 포트들 및 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터들
본 발명에 따른 네 개의 포트들 또는 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터는 특정 방향들 없이, 유체 입구들 또는 유체 출구들로서 네 개 또는 네 개 이상의 유체 흐름 관통 홀들을 갖는 커넥터이다.
도 7a 내지 도 7c는 본 발명에 따른 제1 실시예의 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터(3a)를 도시한다. 제1 유닛(11)이 제4 유체 흐름 관통 홀(1112c)을 더 포함하는 것을 제외하고, 다른 구조들은 상술된 바와 같은 3-포트 커넥터(2a)와 동일하므로, 유체 흐름 관통 홀들의 구조만이 후술될 것이나, 다른 구조들은 이하에서 반복하여 설명되지 않을 수 있다.
네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터(3a)의 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)과 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)은 제1 측면(113)과 제3 측면(115)에 가까운 상부면(111)의 측부들에 개별적으로 배치되고, 제4 유체 흐름 관통 홀(1112c)은 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)과 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b) 사이에 배치되고, 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)에 가깝다. 본 실시예에서, 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a), 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b), 및 제4 유체 흐름 관통 홀(1112c)은 상부면(111) 상에 가상의 직선으로 배열된다. 제3 유체 흐름 관통 홀(1312)은 제2 측면(134)에 가까운 연장 유닛(13)의 상부면(131)의 일 측부에 배치되고, 제3 유체 흐름 관통 홀(1312)은 제5 스레디드 홀(1313a)과 제6 스레디드 홀(1313b) 사이에 배치된다.
제1 채널(1115a)은, 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)을 제4 유체 흐름 관통 홀(1112c)과 연통시키기 위해, 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)과 제4 유체 흐름 관통 홀(1112c) 사이에 배치된다. 또한, 제2 채널(1115b)은, 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)을 제3 유체 흐름 관통 홀(1312)과 연통시키기 위해, 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)과 제3 유체 흐름 관통 홀(1312) 사이에 배치된다. 본 실시예에서, 3-포트 커넥터의 채널 설계와 달리, 제1 채널(1115a)이 제2 채널(1115b)과 연통하지 않고, 이에 따라 네 개의 포트들의 구조가 형성된다. 또한, 제1 채널(1115a)과 제2 채널(1115b)는 서로에 대해 직교하는 방향들로 연장된다. 본 실시예에서, 유체가 이 채널들을 통해 흐를 때 이 채널들 내에 잔류하는 것을 피하기 위해, 이 채널들은 둘 다 거울면을 갖도록 처리된다.
본 발명에 따른 제2 실시예의 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터(3b)는 도 8에 도시된 바와 같다. 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터(3b)에서, 제1 유닛(11)의 상부면(111)이 제1 실시예의 상부면(111)과 다르다는 점을 제외하고, 다른 배치들과 구조들은 모두 동일하다. 제2 실시예에서, 제1 유닛(11)의 상부면(111) 상에 제1 위치 결정 핀홀(1111a)과 제2 위치 결정 핀 홀(1111b)은 없으며, 제1 스레디드 홀(1113a)과 제2 스레디드 홀(1113b)의 위치들은, 두 스레디드 홀들과 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)이 가상의 직선으로 배열되도록, 변경된다.
본 발명에 따른 제3 실시예의 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터(3c)는 도 9a 내지 도 9f에 도시된 바와 같다. 제1 유닛(11), 제2 유닛(12), 및 연장 유닛(13)이 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터(3c)에 포함된다. 제1 유닛(11)은 상부면(111), 상부면(111)에 대향하는 하부면(112), 및 상부면(111)과 하부면(112)에 개별적으로 연결되는 제1 측면(113), 제2 측면(114), 제3 측면(115) 및 제4 측면(116)을 포함한다. 제1 측면(113)은 제3 측면(115)에 대응하여 배치되고, 제2 측면(114)은 제4 측면(116)에 대응하여 배치된다. 본 실시예에서, 제2 유닛(12)은 제2 마운팅 블록(12a)과 제2 함몰부(12b)를 포함한다. 제2 마운팅 블록(12a)은 제1 유닛(11)의 하부면(112)의 일 부분으로부터 돌출되고, 제2 마운팅 블록(12a)의 존재로 인해, 제1 유닛(11)의 하부면(112)의 다른 부분은, 도 9a에 도시된 바와 같이 하부면(112)의 다른 부분과 제2 마운팅 블록(12a) 사이에 인접한 제2 함몰부(12b) 내로 내측으로 함몰된다. 제2 유닛(12)에는, 하부면(122), 및 하부면(122)에 개별적으로 연결되는 제1 측면(123), 제2 측면(124), 제3 측면(125) 및 제4 측면(126)이 마련된다. 제1 측면(123)은 제3 측면(125)에 대응하여 배치되고, 제2 측면(124)은 제4 측면(126)에 대응하여 배치된다.
연장 유닛(13)은 제2 측면들(114, 124)에 가까운 제1 유닛(11)과 제2 유닛(12)의 일 측단부들로부터 외측으로 돌출된다. 본 실시예에서, 측단부들은 제2 마운팅 블록(12a)의 돌출 단부와 다르다. 연장 유닛(13)은 상부면(131), 상부면(131)에 대향하는 하부면(132), 및 상부면(131)과 하부면(132)에 개별적으로 연결되는 제1 측면(133), 제2 측면(134) 및 제3 측면(135)을 포함한다. 제1 측면(133)은 제3 측면(135)에 대응하여 배치된다. 제1 아크-형 오목부(21)는 연장 유닛(13)의 제1 측면(133)과 제1 유닛(11)의 제2 측면(114) 사이에 형성된다. 제2 아크-형 오목부(22)는 연장 유닛(13)의 제3 측면(135)과 제1 유닛(11)의 제2 측면(114) 사이에 형성되고, 제3 아크-형 오목부(23)는 제3 측면(135)과 제2 유닛(12)의 제2 측면(124) 사이에 형성된다.
본 실시예에서, 제1 유닛(11), 제2 유닛(12), 및 연장 유닛(13)은 일체로 형성되는 구조이다. 본 실시예에서, 제2 유닛(12)의 면적은 제1 유닛(11)의 면적 보다 작고, 이에 따라 제1 유닛(11)의 제3 측면(115)이 제2 유닛(12)의 제3 측면(125)과 동일 평면에 형성되어, 평평한 표면을 형성한다.
제1 유닛(11)은 제1 위치 결정 핀 홀(1111a), 제2 위치 결정 핀 홀(1111b), 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a), 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b), 제4 유체 흐름 관통 홀(1112c), 제5 유체 흐름 관통 홀(1112d), 제5 유체 흐름 관통 홀(1112e), 제1 스레디드 홀(1113a), 제2 스레디드 홀(1113b), 제3 스레디드 홀(1113c), 제4 스레디드 홀(1113d), 제7 스레디드 홀(1113e), 제8 스레디드 홀(1113f), 제9 스레디드 홀(1113g), 제10 스레디드 홀(1113h), 제1 하부 스레디드 홀(1121a), 제2 하부 스레디드 홀(1121b), 제1 볼트 홀(1114a), 및 제2 볼트 홀(1114b)을 더 포함한다. 연장 유닛(13)은 제3 유체 흐름 관통 홀(1312), 제5 스레디드 홀(1313a), 및 제6 스레디드 홀(1313b)을 더 포함한다. 제1 위치 결정 핀 홀(1111a)과 제2 위치 결정 핀 홀(1111b)은 둘 다 제1 측면(113)에 가까운 상부면(111)의 일 측부에 배치되고, 둘 다 상부면(111)과 하부면(112)을 통해 연장되는 관통 홀들이다.
제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)과 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)은 제1 측면(113)과 제3 측면(115)에 가까운 상부면(111)의 측부들에 개별적으로 배치된다. 제3 유체 흐름 관통 홀(1312)은 제2 측면(134)에 가까운 연장 유닛(13)의 상부면(131)의 일 측부에 배치된다. 제4 유체 흐름 관통 홀(1112c)은 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)과 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b) 사이에 배치된다. 제5 유체 흐름 관통 홀(1112d)은 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)과 제4 유체 흐름 관통 홀(1112c) 사이에 배치된다. 제6 유체 흐름 관통 홀(1112e)은 제4 유체 흐름 관통 홀(1112c)과 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b) 사이에 배치된다. 따라서, 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a), 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b), 제4 유체 흐름 관통 홀(1112c), 제5 유체 흐름 관통 홀(1112d), 및 제6 유체 흐름 관통 홀(1112e)은 가상의 직선으로 배열된다.
제1 채널(1115a)은, 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)을 제5 유체 흐름 관통 홀(1112d)과 연통시키기 위해, 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)과 제5 유체 흐름 관통 홀(1112d) 사이에 배치되고, 제2 채널(1115b)은, 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)을 제6 유체 흐름 관통 홀(1112e)과 연통시키기 위해, 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)과 제6 유체 흐름 관통 홀(1112e) 사이에 배치된다. 또한, 제3 채널(1115c)은, 제3 유체 흐름 관통 홀(1312)을 제4 유체 흐름 관통 홀(1112c)과 연통시키기 위해, 제3 유체 흐름 관통 홀(1312)과 제4 유체 흐름 관통 홀(1112c) 사이에 배치된다. 본 실시예에서, 제1 채널(1115a), 제2 채널(1115b), 및 제3 채널(1115c)은 서로 연통하지 않으며, 이에 따라 여섯 개의 포트들의 구조가 형성된다. 또한, 제1 채널(1115a)과 제2 채널(1115b)은 서로 평행한 방향들로 연장되고, 제1 채널(1115a)과 제3 채널(1115c)은 서로 직교하는 방향들로 연장된다. 게다가, 본 실시예에서, 유체가 이 채널들을 통해 흐를 때 이 채널들 내에 잔류하는 것을 피하기 위해, 이 채널들을 모두 거울면을 갖도록 처리된다.
제1 스레디드 홀(1113a), 제2 스레디드 홀(1113b), 제3 스레디드 홀(1113c), 제4 스레디드 홀(1113d), 제5 스레디드 홀(1313a), 제6 스레디드 홀(1313b), 제7 스레디드 홀(1113e), 제8 스레디드 홀(1113f), 제9 스레디드 홀(1113g), 제10 스레디드 홀(1113h), 제1 하부 스레디드 홀(1121a), 및 제2 하부 스레디드 홀(1121b)은 모두 스레드된 블라인드 홀들이다.
제1 스레디드 홀(1113a)과 제2 스레디드 홀(1113b)은 제1 측면(113)에 가까운 상부면(111)의 일 측부에 배치되고, 제1 위치 결정 핀 홀(1111a)과 제2 위치 결정 핀 홀(1111b)은 제1 스레디드 홀(1113a) 및 제2 스레디드 홀(1113b)과 제1 측면(113)에 가까운 상부면(111)의 그 측부 사이에 각각 배치된다.
제3 스레디드 홀(1113c)과 제9 스레디드 홀(1113g)은 둘 다 제2 측면(114)에 가까운 상부면(111)의 일 측부에 배치되고, 제5 스레디드 홀(1313a)과 제6 스레디드 홀(1313b)은 제2 측면(134) 옆의 연장 유닛(13)의 상부면(131) 내에 배치된다. 보다 구체적으로, 제3 스레디드 홀(1113c)은 제1 아크-형 오목부(21)에 가깝게 배치되고, 제9 스레디드 홀(1113g)은 제2 아크-형 오목부(22)에 가깝게 배치된다. 더욱이, 제3 유체 흐름 관통 홀(1312)은 제5 스레디드 홀(1313a)과 제6 스레디드 홀(1313b) 사이에 배치된다.
제7 스레디드 홀(1113e)과 제8 스레디드 홀(1113f)은 제3 측면(115)에 가까운 제1 유닛(11)의 일 측부에 배치되고, 이에 따라 제2 유체 흐름 관통 홀(1112b)은 제7 스레디드 홀(1113e)과 제8 스레디드 홀(1113f) 사이에 배치된다.
제4 스레디드 홀(1113d)과 제10 스레디드 홀(1113h)은 제4 측면(116)에 가깝고, 제2 스레디드 홀(1113b)과 제8 스레디드 홀(1113f) 사이에 배치된다. 제4 스레디드 홀(1113d)은 제2 스레디드 홀(1113b)에 가깝게 배치되고, 제10 스레디드 홀(1113h)은 제8 스레디드 홀(1113f)에 가깝게 배치된다. 제1 하부 스레디드 홀(1121a)과 제2 하부 스레디드 홀(1121b)은 하부면(112) 상에 배치되고, 제1 볼트 홀(1114a)과 제2 볼트 홀(1114b)에 가깝다.
제1 볼트 홀(1114a)과 제2 볼트 홀(1114b)은 둘 다 상부면(111)과 하부면(112)을 통해 연장되는 관통 홀들이고, 돌출부는 관통 홀들의 각각에 배치되고, 이에 따라 관통 홀들, 즉 제1 볼트 홀(1114a)과 제2 볼트 홀(1114b)은 상이한 직경들(R1, R2)을 갖고, 여기서 상부면(111)에 가까운 직경이 R1인 한편, 하부면(112)에 가까운 직경이 R2이고, R1이 R2 보다 크다(도 1f 참조). 본 실시예에서, 제1 볼트 홀(1114a)은 제1 스레디드 홀(1113a)과 제3 스레디드 홀(1113c) 사이에 배치되고, 제2 볼트 홀(1114b)은 제2 스레디드 홀(1113b)과 제4 스레디드 홀(1113d) 사이에 배치된다.
연결 피스들
연결 피스는 상술된 바와 같은 2-포트 커넥터, 3-포트 커넥터, 및 네 개 이상의 포트들을 포함하는 커넥터를 파이프(pipe)와 연결하기 위해 사용되며, 본 실시예에서, 연결 피스의 두 가지 실시예들이 예들로서 설명될 것이다.
도 10a 내지 도 10c를 참조하면, 본 발명에 따른 제1 실시예의 연결 피스(4a)가 도시되어 있다. 연결 피스(4a)는 제1유닛과 제2 유닛을 갖는다.
제1 유닛은 상부면(111), 상부면(111)에 대향하는 하부면(도시되지 않음), 및 상부면(111)과 하부면에 개별적으로 연결되는 제1 측면(113), 제2 측면(114), 제3 측면(115) 및 제4 측면(도시되지 않음)을 포함한다. 제1 측면(113)은 제3 측면(115)에 대응하여 배치되고, 제2 측면(114)은 제4 측면(도시되지 않음)에 대응하여 배치된다.
제1 유닛의 상부면(111)은 제1 관통 홀(1116a), 제2 관통 홀(1116b), 및 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)을 포함한다. 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)은 제1 관통 홀(1116a)과 제2 관통 홀(1116b) 사이에 배치된다.
본 실시예에서, 제1 관통 홀(1116a)과 제2 관통 홀(1116b)은 상부면(111)과 하부면(도시되지 않음)을 통해 각각 연장되고, 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)은 제2 측면(114) 상에 위치되는 개방 단부(open end)(1141)를 포함한다.
제2 유닛은 중공의(hollow) 관형 구조(tubular structure)를 갖는 엘리먼트이고, 내측면(127)과 외측면(128)을 포함하며, 제2 유닛의 일 단부(end)는 제1 유체 흐름 관통 홀(1112a)의 개방 단부(1141)와 연통한다.
본 발명에 따른 제2 실시예의 연결 피스(4b)는 도 11a 및 도 11b에 도시된 바와 같다. 연결 피스(4b)는 제1 유닛만을 포함한다. 그리고, 제1 유닛은 상부면(111)과 상부면(111)에 대향하는 하부면(112)을 포함한다. 제1 유닛의 상부면(111)은 제1 관통 홀(1116a), 제2 관통 홀(1116b), 및 제1 관통 홀(1116a)과 제2 관통 홀(1116b) 사이에 배치되는 홈(groove)(1117)을 포함한다.
본 실시예에서, 제1 관통 홀(1116a)과 제2 관통 홀(1116b)은 둘 다 상부면(111)과 하부면(112)을 통해 연장되는 관통 홀들이고, 홈(1117)은, 홈(1117)이 상이한 직경들을 갖도록 하는 돌출부(projection)를 포함하고, 상부면(111)에 가까운 직경은 하부면(112)에 가까운 직경 보다 크다.
유체 제어 디바이스들
본 발명에 따르면, 유체 제어 디바이스는 주로 베이스, 복수의 연결 블록들, 및 복수의 유체 제어 엘리먼트들을 포함한다. 복수의 연결 블록들은 상술된 바와 같은 2-포트 커넥터, 3-포트 커넥터, 및 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터로부터 선택되는 적어도 두 개고, 이에 따라 서로 인접해 있다. 다음으로, 본 발명에 따른 유체 제어 디바이스를 형성하기 위해 이러한 커넥터들이 장치들과 결합되는 방법이 특정 실시예들을 통해 설명될 것이다. 상술된 바와 같은 2-포트 커넥터, 3-포트 커넥터, 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터, 및 연결 피스의 조합들은 특정 순서가 없으며, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 실제 요구 사항들에 따라 그들로부터 어떤 적절한 조합을 선택할 수 있다.
예를 들어, 이러한 커넥터들을 통해 본 발명에 따른 유체 제어 디바이스에 필터를 조립하기 위해, 필터는 동일한 또는 상이한 실시예들의 두 개의 2-포트 커넥터들에 연결된다. 대안적으로, 필터는 2-포트 커넥터와 3-포트 커넥터에 연결된다. 다른 실시예에서, 이러한 커넥터들을 통해 본 발명에 따른 유체 제어 디바이스에 2-포트 차단 밸브를 조합하기 위해, 두 개의 커넥터들 중 하나는 2-포트 커넥터로 선택되고, 다른 하나는 2-포트 커넥터, 3-포트 커넥터, 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터, 또는 연결 피스이다. 또 다른 실시예에서, 이러한 커넥터들을 통해 본 발명에 따른 유체 제어 디바이스에 3-포트 차단 밸브를 조립하기 위해, 두 개의 커넥터들 중 하나는 3-포트 커넥터로 선택되고, 다른 하나는 2-포트 커넥터, 3-포트 커넥터, 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터 또는 연결 피스일 수 있다. 또는, 일 실시예에서, 제4 실시예의 2-포트 커넥터(1d)가 복수의 커넥터들의 일 단부에 사용하기에 적합하며, 즉 제4 실시예의 2-포트 커넥터(1d)의 일 측부가 다른 커넥터에 연결되고, 다른 측부에는 커넥터가 없다.
도 12a 내지 도 12c를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 제어 디바이스가 도시되며, 베이스(20), 복수의 연결 블록들, 및 복수의 연결 제어 엘리먼트들을 포함한다. 복수의 연결 블록들은 2-포트 커넥터(1d), 2-포트 커넥터(1c), 및 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터(3a)를 포함한다. 복수의 유체 제어 엘리먼트들은 가스 입구 엘리먼트(103), 수동-조작 밸브(104), 및 제1 2-포트 차단 밸브(105a)를 포함한다. 복수의 연결 블록들은 베이스(20) 상에 배치되고, 서로 적층되고 횡 방향으로(transversely) 조립되며, 복수의 유체 제어 엘리먼트들은 연결 블록들 상에 배치된다. 또한, 유체 제어 디바이스는, 유체 제어 엘리먼트들과 연결 블록들 사이에 배치되고, 복수의 유체 관통 홀들(31), 복수의 위치 결정 홀들(32), 및 유체 관통 홀들(31)에 배치되는 가스켓들(gaskets)(33)이 마련되는 복수의 밀봉 플레이트들(sealing plates)(30)을 더 포함한다.
베이스(20)는 금속(metal)으로 이루어지고, 복수의 위치 결정 홈들(201)을 포함한다. 복수의 연결 블록들의 조립은 도 3, 도 4, 및 도 12c를 참조하여 2-포트 커넥터(1c)와 2-포트 커넥터(1d)를 가지고 설명될 것이다. 2-포트 커넥터(1c)의 제2 유닛(12)의 제2 텅부(12c)는 2-포트 커넥터(1d)의 제2 유닛(12)의 제2 함몰부(12b) 내에 배치되고, 이에 따라 2-포트 커넥터(1d)의 제2 유닛(12)의 제3 측면(125)은 2-포트 커넥터(1c)의 제2 유닛(12)의 제1 측면(123)에 맞닿는다. 2-포트 커넥터(1d)의 제1 위치 결정 핀 홀(1211a), 제2 위치 결정 핀 홀(1211b), 제1 관통 홀(1216a), 제2 관통 홀(1216b), 제5 스레디드 홀(1213e), 및 제6 스레디드 홀(1213f)은 2-포트 커넥터(1c)의 제1 위치 결정 핀 홀(1111a), 제2 위치 결정 핀 홀(1111b), 제1 하부 스레디드 홀(1121a), 제2 하부 스레디드 홀(1121b), 제1 볼트 홀(1114a), 및 제2 볼트 홀(1114b)에 대해 각각 정렬된다.
두 개의 제1 패스너들(40a)은 제1 위치 결정 핀 홀(1211a)과 제1 위치 결정 핀 홀(1111a), 및 제2 위치 결정 핀 홀(1211b)과 제2 위치 결정 핀 홀(1111b)을 통해 각각 연장되고, 이에 따라 2-포트 커넥터(1d)와 2-포트 커넥터(1c)가 서로에 대해 위치된다. 베이스(20)의 위치 결정 홈(201)으로부터, 두 개의 제2 패스너들(40b)은 제1 관통 홀(1216a)과 제1 하부 스레디드 홀(1121a), 및 제2 관통 홀(1216b)과 제2 하부 스레디드 홀(1121b)을 각각 관통하고, 이에 따라 2-포트 커넥터(1d)와 2-포트 커넥터(1c)가 베이스(20)에 고정된다. 두 개의 제3 패스터들(40c)들은 제1 볼트 홀(1114a)과 제5 스레디드 홀(1213e), 및 제2 볼트 홀(1114b)과 제6 스레디드 홀(1213f)을 통해 각각 연장되고, 이에 따라 2-포트 커넥터(1d)와 2-포트 커넥터(1c)가 서로에 대해 잠긴다(locked). 네 개의 제4 패스터들(40d)은 2-포트 커넥터(1c)의 제3 스레디드 홀(1113c)과 제4 스레디드 홀(1113d), 및 2-포트 커넥터(1d)의 제3 스레디드 홀(1113c)과 제4 스레디드 홀(1113d) 내에 잠기기 위해, 밀봉 플레이트들(30)의 수동-조작 밸브(104)와 위치 결정 홀들(32)의 관통 홀들을 통해 진행한다. 본 실시예에서, 제1 패스너들(40a)은 플러그 핀들(plug pins)이고, 제2 패스너들(40b), 제3 패스너들(40c), 및 제4 패스너들(40d)은 볼트들(bolts)이다. 또한, 복수의 제5 패스너들(40e)은 2-포트 커넥터(1d)의 제1 스레디드 홀(1113a)과 제2 스레디드 홀(1113b) 내에 잠기기 위해, 가스 입구 엘리먼트(103)의 관통 홀을 통해 진행한다.
도 13을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 제어 디바이스의 개략도이다.
유체 제어 디바이스는 베이스(20), 커넥터 모듈(1), 및 유체 제어 엘리먼트 모듈(100)을 포함한다. 유체 제어 엘리먼트 모듈(100)은 복수의 유체 제어 엘리먼트들을 포함한다. 본 실시예에서, 가스가 유입되는 방향으로부터 가스가 배출되는 방향을 향하여 유체 제어 디바이스에 배치되는 유체 제어 엘리먼트들은 다음과 같이 연속적이다: 가스 입구 엘리먼트(103), 수동-조작 밸브(104), 제1 2-포트 차단 밸브(105a), 제1 3-포트 차단 밸브(106a), 고순도 압력 조절기 밸브(107), 압력 센서(108), 필터(109), 제2 2-포트 차단 밸브(105b), 질량 유량 제어기(110), 제2 3-포트 차단 밸브(106b), 및 제3 2-포트 차단 밸브(105c).
도 13을 참조하면, 커넥터 모듈(1)은 축 방향으로 배열되는 복수의 연결 블록들을 포함한다. 연결 블록들의 각각은 상반부(U)와 하반부(L)를 포함한다. 상반부(U)는 적어도 하나의 유체 입구, 적어도 하나의 유체 출구, 및 유체 입구를 유체 출구와 연통시키고 수평 방향으로 연장되는 적어도 하나의 연결 채널(C)을 포함한다. 하반부(L)는 함몰부와 함몰부로부터 축 방향으로 연장되고 돌출되는 텅부를 포함한다. 본 실시예에서, 연결 채널(C)은 텅부의 상부면(P) 위에 있고, 연결 채널(C)은 연결 블록의 하단면으로부터 높이만큼 분리된다. 인접한 연결 블록들은 함몰부 내에 텅부를 수용함으로써, 서로 연결된다. 상반부(U)는 종 방향으로(longitudinally) 관통되는 상부 고정 홀(fixing hole)을 포함하고, 하반부(L)는 종 방향으로 텅부를 관통하고, 상부 고정 홀에 대응하는 하부 고정 홀을 포함한다. 인접한 연결 블록들은, 적어도 하나의 패스너가 상부 고정 홀과 하부 고정 홀을 관통함으로써, 서로에 고정된다. 예를 들어, 도 12c에서, 제3 패스너들(40c)이 제1 볼트 홀(1114a)과 제5 스레디드 홀(1213e)을 통해 각각 진행한다. 본 실시예에서, 유체 입구, 유체 출구, 및 연결 채널(C)은 단일 연결 블록을 통해 연장되는 U-자형의 채널을 형성한다.
대안적으로, 커넥터 모듈(1)은 축 방향으로 배열되는 복수의 연결 블록들을 포함한다. 복수의 연결 블록들의 각각은 적어도 하나의 유체 입구, 적어도 하나의 유체 출구, 및 유체 입력을 유체 출구와 연통시키고, 연결 블록의 하단면으로부터 높이만큼 분리되도록 수평 방향으로 연장되는 적어도 하나의 연결 채널을 포함한다. 구체적으로, 돌출되는 제1 텅부는 연결 블록의 일 단부에 형성되고, 함몰부는 연결 블록의 다른 단부에 형성된다. 인접한 연결 블록들은 함몰부 내에 제1 텅부를 수용함으로써, 서로 연결된다. 본 실시예에서, 텅부의 돌출 방향은 축 방향과 평행하다. 제1 텅부는 종 방향으로 관통하는 제1 고정 홀을 포함한다. 돌출되는 제2 텅부가 연결 블록의 다른 단부에 더 형성되고, 제2 텅부는 종 방향으로 관통하는 제2 고정 홀을 포함한다. 인접한 연결 블록들은, 패스너가 제1 고정 홀과 제2 고정 홀을 관통함으로써, 서로에 고정된다. 본 실시예에서, 유체 입구, 유체 출구, 및 연결 채널(C)은 단일 연결 블록을 통해 연장되는 U-자형의 채널을 형성한다. 유체 제어 엘리먼트는 베이스(20)와 커넥터 모듈(1)의 위에 배치되고, 출구(O)와 입구(I)를 갖는다. 출구(O)와 입구(I)는 연결 블록의 유체 입구와 인접한 연결 블록의 유체 출구에 연결된다.
고정 홀들, 패스너들, 유체 입구, 유체 출구, 함몰부, 및 텅부들의 이러한 구조적 특징들은 도 1a 내지 도 9f에 도시된 바와 같다.
커넥터 모듈(1)은, 유체 제어 엘리먼트가 베이스(20)에 고정되도록 하며, 복수의 커넥터들을 포함한다. 가스가 유입되는 방향으로부터 가스가 배출되는 방향을 향하여 도 13에 사용되는 커넥터들은 다음과 같이 연속적이다: 2-포트 커넥터(1d), 2-포트 커넥터(1c), 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터(3a), 2-포트 커넥터(1d), 2=포트 커넥터(1d), 2-포트 커넥터(1d), 2-포트 커넥터(1d), 2-포트 커넥터(1a), 2-포트 커넥터(1a), 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터(3a), 및 네 개 이상의 포트들을 갖는 커넥터(3a). 본 발명에서, 이러한 커넥터들은 간단한 조립 및 분해의 목적을 달성하기 위해, 그들의 제1 유닛들과 인접한 커넥터들의 제2 유닛들을 통해 서로 적층된다. 이에 더하여, 가스가 이러한 커넥터들과 유체 제어 엘리먼트 사이에서 흐를 수 있고, 이로써 가스 누출의 위험들이 감소된다.
본 발명이 상기에서 상세하게 설명되었으나, 상기는 본 발명의 바람직한 실시예들에 대한 설명들일 뿐이며, 본 발명의 실시 범위를 제한하는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 적용 범위 내에서 이루어지는 등가의 변경 및 수정 등은 모두 본 발명의 특허 범위 내에 포함된다.

Claims (21)

  1. 유체 제어 디바이스(fluid control device)를 위한 커넥터(connector)에 있어서,
    제1 마운팅 블록(mounting block) 및 상기 제1 마운팅 블록에 인접하여 배치되고 상기 제1 마운팅 블록에 일체로 연결되는 제1 텅부(tongue portion)를 포함하는 제1 유닛(unit) - 상기 제1 유닛에는, 상부면, 상기 상부면에 대향하는(opposite) 하부면, 상기 상부면 내에 형성되는 제1 유체 흐름 관통 홀(fluid flowing through hole), 상기 상부면 내에 형성되는 제2 유체 흐름 관통 홀, 및 상기 제1 유체 흐름 관통 홀을 상기 제2 유체 흐름 관통 홀과 연통시키고, 상기 제1 유닛을 관통하는 제1 채널(channel)이 마련됨 -; 및
    상기 제1 유닛의 아래에 배치되고, 상기 제1 마운팅 블록의 하부면으로부터 돌출되는 제2 마운팅 블록, 상기 제1 텅부의 하부면을 향하여 함몰되는 제1 함몰부(depression portion), 및 상기 제1 함몰부로부터 멀어지는 방향을 향하여 상기 제2 마운팅 블록으로부터 연장되는 제2 텅부를 포함하는 제2 유닛
    을 포함하고,
    상기 제1 유닛의 상기 제1 텅부는,
    상기 상부면에 형성되고 상기 제1 텅부를 관통하는 복수의 제1 위치 결정 핀(locating pin) 홀들(holes),
    상기 상부면에 형성되고 상기 제1 텅부를 관통하지 않는 복수의 제1 스레디드(threaded) 홀들,
    상기 하부면에 형성되고 상기 제1 텅부를 관통하지 않는 복수의 하부(lower) 스레디드 홀들, 및
    상기 상부면에 형성되고 상기 제1 텅부를 관통하는 복수의 볼트(bolt) 홀들
    을 포함하고,
    상기 제2 유닛의 상기 제2 텅부는,
    상기 제2 텅부를 관통하는 복수의 제2 위치 결정 핀 홀들,
    상기 제2 텅부를 관통하는 복수의 제2 스레디드 홀들, 및
    상기 제2 텅부를 관통하는 복수의 관통 홀들
    을 포함하는, 커넥터.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 채널에는,
    거울면(mirror surface)이 마련되는,
    커넥터.
  3. 삭제
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 커넥터는,
    상기 제1 유닛의 일 측단부(side end)로부터 외측으로 돌출되는 연장(extension) 유닛을 포함하고,
    상기 연장 유닛은,
    제3 유체 흐름 관통 홀, 및 상기 제2 유체 흐름 관통 홀을 상기 제3 유체 흐름 관통 홀과 연통시키기 위해, 상기 제3 유체 흐름 관통 홀과 상기 제2 유체 흐름 관통 홀 사이에 배치되는 제2 채널을 포함하는,
    커넥터.
  5. 유체 제어 디바이스를 위한 커넥터에 있어서,
    제1 마운팅 블록 및 상기 제1 마운팅 블록에 인접하여 배치되고 상기 제1 마운팅 블록에 일체로 연결되는 제1 텅부를 포함하는 제1 유닛 - 상기 제1 유닛에는, 상부면, 상기 상부면에 대향하는 하부면, 상기 상부면 내에 형성되는 제1 유체 흐름 관통 홀, 상기 상부면 내에 형성되는 제2 유체 흐름 관통 홀, 및 상기 상부면 내에 형성되는 제4 유체 흐름 관통 홀, 및 상기 제1 유체 흐름 관통 홀을 상기 제4 유체 흐름 관통 홀과 연통시키기 위해, 상기 제1 유체 흐름 관통 홀과 상기 제4 유체 흐름 관통 홀 사이에 배치되는 제1 채널이 마련됨 -;
    상기 제1 유닛의 일 측단부로부터 외측으로 돌출되는 연장 유닛 - 상기 연장 유닛은, 제3 유체 흐름 관통 홀을 포함하고, 제2 채널이, 상기 제2 유체 흐름 관통 홀을 상기 제3 유체 흐름 관통 홀과 연통시키기 위해, 상기 제3 유체 흐름 관통 홀과 상기 제2 유체 흐름 관통 홀 사이에 배치됨 -; 및
    상기 제1 유닛의 아래에 배치되고, 상기 제1 마운팅 블록의 하부면으로부터 돌출되는 제2 마운팅 블록, 상기 제1 텅부의 하부면을 향하여 함몰되는 제1 함몰부, 및 상기 제1 함몰부로부터 멀어지는 방향을 향하여 상기 제2 마운팅 블록으로부터 연장되는 제2 텅부를 포함하는 제2 유닛
    을 포함하고,
    상기 제1 유닛의 상기 제1 텅부는,
    상기 상부면에 형성되고 상기 제1 텅부를 관통하는 복수의 제1 위치 결정 핀 홀들,
    상기 상부면에 형성되고 상기 제1 텅부를 관통하지 않는 복수의 제1 스레디드 홀들,
    상기 하부면에 형성되고 상기 제1 텅부를 관통하지 않는 복수의 하부 스레디드 홀들, 및
    상기 상부면에 형성되고 상기 제1 텅부를 관통하는 복수의 볼트 홀들
    을 포함하고,
    상기 제2 유닛의 상기 제2 텅부는,
    상기 제2 텅부를 관통하는 복수의 제2 위치 결정 핀 홀들,
    상기 제2 텅부를 관통하는 복수의 제2 스레디드 홀들, 및
    상기 제2 텅부를 관통하는 복수의 관통 홀들
    을 포함하는 커넥터.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 제1 채널과 상기 제2 채널은, 서로 독립적인,
    커넥터.
  7. 삭제
  8. 유체 제어 디바이스를 위한 커넥터에 있어서,
    제1 마운팅 블록 및 상기 제1 마운팅 블록에 인접하여 배치되고 상기 제1 마운팅 블록에 일체로 연결되는 제1 텅부를 포함하는 제1 유닛 - 상기 제1 유닛에는, 상부면, 상기 상부면에 대향하는 하부면, 상기 상부면 내에 형성되는 제1 유체 흐름 관통 홀, 상기 상부면 내에 형성되는 제2 유체 흐름 관통 홀, 상기 상부면 내에 형성되는 제4 유체 흐름 관통 홀, 상기 상부면 내에 형성되는 제5 유체 흐름 관통 홀, 및 상기 상부면 내에 형성되는 제6 유체 흐름 관통 홀이 마련되고, 제1 채널은, 상기 제1 유체 흐름 관통 홀을 상기 제5 유체 흐름 관통 홀과 연통시키기 위해, 상기 제1 유체 흐름 관통 홀과 제5 유체 흐름 관통 홀 사이에 배치되고, 제2 채널은, 상기 제2 유체 흐름 관통 홀을 상기 제6 유체 흐름 관통 홀과 연통시키기 위해, 상기 제2 유체 흐름 관통 홀과 상기 제6 유체 흐름 관통 홀 사이에 배치됨 -;
    상기 제1 유닛의 일 측단부로부터 외측으로 돌출되는 연장 유닛 - 상기 연장 유닛은 제3 유체 흐름 관통 홀을 포함하고, 제3 채널은, 상기 제3 유체 흐름 관통 홀을 상기 제4 유체 흐름 관통 홀과 연통시키기 위해, 상기 제3 유체 흐름 관통 홀과 제4 유체 흐름 관통 홀 사이에 배치됨 -; 및
    상기 제1 유닛의 아래에 배치되고, 상기 제1 마운팅 블록의 하부면으로부터 돌출되는 제2 마운팅 블록, 상기 제1 텅부의 하부면을 향하여 함몰되는 제1 함몰부, 및 상기 제1 함몰부로부터 멀어지는 방향으로 상기 제2 마운팅 블록으로부터 연장되는 제2 텅부를 포함하는 제2 유닛
    을 포함하고,
    상기 제1 유닛의 상기 제1 텅부는,
    상기 상부면에 형성되고 상기 제1 텅부를 관통하는 복수의 제1 위치 결정 핀 홀들,
    상기 상부면에 형성되고 상기 제1 텅부를 관통하지 않는 복수의 제1 스레디드 홀들,
    상기 하부면에 형성되고 상기 제1 텅부를 관통하지 않는 복수의 하부 스레디드 홀들, 및
    상기 상부면에 형성되고 상기 제1 텅부를 관통하는 복수의 볼트 홀들
    을 포함하고,
    상기 제2 유닛의 상기 제2 텅부는,
    상기 제2 텅부를 관통하는 복수의 제2 위치 결정 핀 홀들,
    상기 제2 텅부를 관통하는 복수의 제2 스레디드 홀들, 및
    상기 제2 텅부를 관통하는 복수의 관통 홀들
    을 포함하는, 커넥터.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 제1 채널, 상기 제2 채널, 및 상기 제3 채널은, 서로 독립적인,
    커넥터.
  10. 삭제
  11. 유체 제어 디바이스를 위한 커넥터 모듈(connector module)에 있어서,
    상기 커넥터 모듈은,
    축 방향(axial direction)으로 배열되는 복수의 연결 블록들(connecting blocks)을 포함하고,
    상기 복수의 연결 블록들의 각각은,
    상반부(upper half portion)와 하반부(lower half portion)를 포함하고,
    상기 상반부는,
    적어도 하나의 유체 입구(inlet), 적어도 하나의 유체 출구(outlet), 및 상기 유체 입구를 상기 유체 출구와 연통시키고 수평 방향(horizontal direction)으로 연장되는 적어도 하나의 연결 채널을 포함하고,
    상기 하반부는,
    함몰부 및 상기 축 방향을 따라 상기 함몰부로부터 연장되고 돌출되는 텅부(tongue portion)를 포함하고,
    상기 연결 채널은,
    상기 텅부의 상부면의 위에 있고,
    상기 상반부는,
    복수의 상부 고정 홀들을 포함하고,
    상기 복수의 상부 고정 홀들은,
    상기 상반부를 관통하는 복수의 제1 위치 결정 핀 홀들,
    상기 상반부를 관통하지 않고, 상기 상반부의 상부면에 형성되는 복수의 제1 스레디드 홀들,
    상기 상반부를 관통하지 않고, 상기 상반부의 하부면에 형성되는 복수의 하부 스레디드 홀들, 및
    상기 상반부를 종 방향으로(longitudinally) 관통하는 복수의 볼트 홀들
    을 포함하고,
    상기 하반부는,
    복수의 하부 고정 홀들을 포함하고,
    상기 복수의 하부 고정 홀들은,
    상기 텅부를 관통하고 상기 복수의 상기 제1 위치 결정 핀 홀들에 개별적으로 대응하는 복수의 제2 위치 결정 핀 홀들,
    상기 텅부를 종 방향으로 관통하고 상기 복수의 하부 스레디드 홀들에 개별적으로 대응하는 복수의 관통 홀들, 및
    상기 텅부를 종 방향으로 관통하고 상기 복수의 볼트 홀들에 개별적으로 대응하는 복수의 제2 스레디드 홀들
    을 포함하고,
    두 개의 인접한 연결 블록들이,
    상기 복수의 상부 고정 홀들의 각각과 상기 복수의 하부 고정 홀들의 각각을 개별적으로 관통하는 복수의 패스너들(fasteners)을 통해 서로에 고정되고,
    두 개의 인접한 연결 블록들이,
    상기 함몰부 내에 수용되는 상기 텅부를 통해 서로에 고정되는,
    커넥터 모듈.
  12. 삭제
  13. 제11 항에 있어서,
    상기 유체 입구, 상기 유체 출구, 및 상기 연결 채널은,
    상기 복수의 연결 블록들 중 하나를 통해 연장되는 U-자형의 채널을 형성하는,
    커넥터 모듈.
  14. 유체 제어 디바이스를 위한 커넥터 모듈에 있어서,
    상기 커넥터 모듈은,
    축 방향으로 배열되는 복수의 연결 블록들을 포함하고,
    상기 복수의 연결 블록들의 각각은,
    적어도 하나의 유체 입구, 적어도 하나의 유체 출구, 및 상기 유체 입구를 상기 유체 출구와 연통시키고 수평 방향으로 연장되는 적어도 하나의 연결 채널을 포함하고,
    상기 연결 채널은,
    상기 복수의 연결 블록들 중 하나의 하단면(bottom surface)로부터 높이(height)만큼 분리되고,
    제1 텅부가,
    상기 연결 블록의 일 단부로부터 돌출되도록 형성되고,
    함몰부가,
    상기 연결 블록의 다른 단부에 형성되고,
    두 개의 인접한 연결 블록들이,
    상기 함몰부 내에 상기 제1 텅부를 수용함으로써, 서로에 연결되고,
    제2 텅부가,
    상기 연결 블록의 다른 단부로부터 돌출되도록 형성되고,
    상기 제1 텅부는,
    복수의 제1 고정 홀들을 포함하고,
    상기 복수의 제1 고정 홀들은,
    상기 제1 텅부를 관통하는 복수의 제1 위치 결정 핀 홀들,
    상기 제1 텅부를 관통하지않고, 상기 제1 텅부의 상부면에 형성되는 복수의 제1 스레디드 홀들,
    상기 제1 텅부를 관통하지 않고, 상기 제1 텅부의 하부면에 형성되는 복수의 하부 스레디드 홀들, 및
    상기 제1 텅부를 종 방향으로 관통하는 복수의 볼트 홀들
    을 포함하고,
    상기 제2 텅부는,
    복수의 제2 고정 홀들을 포함하고,
    상기 복수의 제2 고정 홀들은,
    상기 제2 텅부를 관통하고 상기 복수의 제1 위치 결정 핀 홀들에 개별적으로 대응하는 복수의 제2 위치 결정 핀 홀들,
    상기 제2 텅부를 종 방향으로 관통하고 상기 복수의 하부 스레디드 홀들에 개별적으로 대응하는 복수의 관통 홀들, 및
    상기 제2 텅부를 종 방향으로 관통하고 상기 복수의 볼트 홀들에 개별적으로 대응하는 복수의 제2 스레디드 홀들
    을 포함하고,
    두 개의 인접한 연결 블록들이,
    상기 복수의 제1 고정 홀들의 각각과 상기 복수의 제2 고정 홀들의 각각을 개별적으로 관통하는 복수의 패스너들을 통해 서로에 고정되는,
    커넥터 모듈.
  15. 삭제
  16. 제14 항에 있어서,
    상기 유체 입구, 상기 유체 출구, 및 상기 연결 채널은,
    상기 복수의 연결 블록들 중 하나를 통해 연장되는 U-자형의 채널을 형성하는,
    커넥터 모듈.
  17. 유체 제어 디바이스에 있어서,
    베이스(base);
    상기 베이스 상에 배치되는 커넥터 모듈 - 상기 커넥터 모듈은 제 1 커넥터 및 제 2 커넥터를 포함하고,
    상기 제1 커넥터는,
    제1 마운팅 블록 및 상기 제1 마운팅 블록에 인접하여 배치되고 상기 제1 마운팅 블록에 일체로 연결되는 제1 텅부를 포함하는 제1 유닛 - 상기 제1 유닛에는, 제1 상부면, 상기 제1 상부면에 대향하는 제1 하부면, 상기 제1 상부면 내에 형성되는 제1 유체 흐름 관통 홀, 상기 제1 상부면 내에 형성되는 제2 유체 흐름 관통 홀, 및 상기 제1 유체 흐름 관통 홀을 상기 제2유체 흐름 관통 홀과 연통시키고, 상기 제1 유닛을 관통하는 제1 채널이 마련됨 -; 및
    상기 제1 유닛의 아래에 배치되고, 상기 제1 마운팅 블록의 하부면으로부터 돌출되는 제2 마운팅 블록 및 상기 제1 텅부의 하부면을 향하여 함몰되는 제1 함몰부를 포함하는 제2 유닛
    을 포함하고,
    상기 제2 커넥터는,
    제3 마운팅 블록 및 상기 제3 마운팅 블록에 인접하여 배치되고 상기 제2 마운팅 블록에 일체로 연결되는 제2 텅부를 포함하는 제3 유닛 - 상기 제3 유닛에는, 제2 상부면, 상기 제2 상부면에 대향하는 제2 하부면, 상기 제2 상부면 내에 형성되는 제3 유체 흐름 관통 홀, 상기 제2 상부면 내에 형성되는 제4 유체 흐름 관통 홀, 및 상기 제3 유체 흐름 관통 홀을 상기 제4 유체 흐름 관통 홀과 연통시키고, 상기 제3 유닛을 관통하는 제2 채널이 마련됨 -; 및
    상기 제3 유닛의 아래에 배치되고, 상기 제3 마운팅 블록의 하부면으로부터 돌출되는 제3 마운팅 블록, 상기 제2 텅부의 하부면을 향하여 함몰되는 제2 함몰부, 및 상기 제2 함몰부로부터 멀어지는 방향을 향하여 상기 제3 마운팅 블록으로부터 연장되는 제3 텅부를 포함하는 제4 유닛 - 상기 제1 커넥터는, 상기 제2 유닛의 상기 제1 함몰부 내에 상기 제4 유닛의 상기 제3 텅부를 수용함으로써, 상기 제2 커넥터에 맞닿음 -
    을 포함함 -; 및
    상기 커넥터 모듈을 통해 상기 베이스에 고정되고, 상기 제1 커넥터와 상기 제2 커넥터를 가로질러 걸쳐지는(bridged) 유체 제어 엘리먼트(element)
    를 포함하고,
    상기 제1 유닛의 상기 제1 텅부는,
    복수의 상부 고정 홀들을 포함하고,
    상기 복수의 상부 고정 홀들은,
    상기 제1 텅부를 관통하는 복수의 제1 위치 결정 핀 홀들,
    상기 제1 텅부를 관통하지 않고, 상기 제1 텅부의 상부면에 형성되는 복수의 제1 스레디드 홀들,
    상기 제1 텅부를 관통하지 않고, 상기 제1 텅부의 하부면에 형성되는 복수의 하부 스레디드 홀들, 및
    상기 제1 텅부를 종 방향으로 관통하는 복수의 볼트 홀들
    을 포함하고,
    상기 제4 유닛의 상기 제3 텅부는,
    복수의 하부 고정 홀들을 포함하고,
    상기 복수의 하부 고정 홀들은,
    상기 제3 텅부를 관통하고 상기 복수의 제1 위치 결정 핀 홀들에 개별적으로 대응하는 복수의 제2 위치 결정 핀 홀들,
    상기 제3 텅부를 종 방향으로 관통하고 상기 복수의 하부 스레디드 홀들에 개별적으로 대응하는 복수의 관통 홀들, 및
    상기 제3 텅부를 종 방향으로 관통하고 상기 복수의 볼트 홀들에 개별적으로 대응하는 복수의 제2 스레디드 홀들
    을 포함하고,
    상기 제1 커넥터와 상기 제2 커넥터는,
    상기 제1 유닛의 상기 복수의 상부 고정 홀들의 각각과 상기 제4유닛의 상기 복수의 하부 고정 홀들의 각각을 개별적으로 관통하는 복수의 패스너들을 통해 서로에 고정되는, 유체 제어 디바이스.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 유체 제어 엘리먼트는,
    감압 밸브(pressure reducing valve), 압력 게이지(pressure gauge), 질량 유량 제어기(mass flow controller), 필터(filter), 수동-조작 밸브(hand-operated valve), 2-포트(port) 차단 밸브(shut-off valve), 3-포트 차단 밸브, 고순도 압력(high-cleanness pressure) 조절기 밸브(regulator valve), 압력 센서(pressure sensor), 및 이들의 조합들로부터 선택되는,
    유체 제어 디바이스.
  19. 제17 항에 있어서,
    상기 제1 커넥터와 상기 제2 커넥터는,
    상기 제1 유닛의 상기 상부 고정 홀과 상기 제4 유닛의 상기 하부 고정 홀을 관통하는 적어도 하나의 패스너(fastener)를 통해 서로에 고정되는,
    유체 제어 디바이스.
  20. 유체 제어 디바이스에 있어서,
    축 방향으로 연장되는 베이스;
    상기 베이스의 위에 배치되고, 출구와 입구가 마련되는 유체 제어 엘리먼트;
    상기 유체 제어 엘리먼트와 상기 베이스 사이에 배치되는 커넥터 모듈을 포함하고,
    상기 커넥터 모듈은,
    상기 축 방향으로 배열되는 복수의 연결 블록들
    - 상기 복수의 연결 블록들의 각각은,
    상기 연결 블록의 상부면 내에 형성되는 유체 입구와 유체 출구, 및 상기 유체 입구를 상기 유체 출구와 연통시키는 U-자형의 연결 채널을 포함하는 유체 채널;
    상기 연결 블록의 일 단부로부터 돌출되도록 형성되고, 복수의 제1 고정 홀들이 마련되는 상부 텅부(tongue portion) - 상기 복수의 제1 고정 홀들은, 상기 상부 텅부를 관통하는 복수의 제1 위치 결정 핀 홀들, 상기 상부 텅부의 하부면을 관통하지 않고 상기 상부 텅부의 하부면에 형성되는 복수의 하부 스레디드 홀들, 및 상기 상부 텅부를 종 방향으로 관통하는 복수의 볼트 홀들을 포함함 -; 및
    상기 연결 블록의 다른 단부로부터 돌출되도록 형성되고, 복수의 제2 고정 홀들이 마련되는 하부 텅부 - 상기 복수의 제2 고정 홀들은, 상기 하부 텅부를 관통하고 상기 복수의 제1 위치 결정 핀 홀들에 개별적으로 대응하는 복수의 제2 위치 결정 핀 홀들, 상기 하부 텅부를 종 방향으로 관통하고 상기 복수의 하부 스레디드 홀들에 개별적으로 대응하는 복수의 관통 홀들, 및 상기 하부 텅부를 종 방향으로 관통하고 상기 복수의 볼트 홀들에 개별적으로 대응하는 복수의 제2 스레디드 홀들을 포함함 -
    를 포함함 -; 및
    상기 연결 블록의 상기 상부 텅부의 상기 복수의 제1 고정 홀들의 각각과 인접한 연결 블록들의 상기 하부 텅부의 상기 복수의 제2 고정 홀들의 각각을 개별적으로 관통하는 복수의 패스너들
    을 포함하고,
    상기 유체 제어 엘리먼트는,
    두 개의 인접한 연결 블록들을 가로질러 걸쳐지고,
    상기 유체 제어 엘리먼트의 상기 출구는,
    상기 연결 블록들 중 하나의 상기 유체 입구에 연결되고,
    상기 유체 제어 엘리먼트의 상기 입구는,
    상기 연결 블록들 중 다른 하나의 상기 유체 출구에 연결되는,
    유체 제어 디바이스.
  21. 유체 제어 디바이스에 있어서,
    축 방향으로 연장되고, 복수의 위치 결정 홈들(locating grooves)을 포함하는 베이스;
    상기 베이스의 위에 배치되고, 출구와 입구가 마련되는 유체 제어 엘리먼트;
    상기 유체 제어 엘리먼트와 상기 베이스 사이에 배치되는 커넥터 모듈을 포함하고,
    상기 커넥터 모듈은,
    상기 축 방향으로 배열되는 복수의 연결 블록들
    - 상기 복수의 연결 블록들의 각각은,
    상기 연결 블록의 상부면 내에 형성되는 유체 입구와 유체 출구, 및 상기 유체 입구를 상기 유체 출구와 연통시키는 U-자형의 연결 채널을 포함하는 유체 채널;
    상기 연결 블록의 일 단부로부터 돌출되도록 형성되고, 복수의 제1 고정 홀들이 마련되는 상부 텅부 - 상기 복수의 제1 고정 홀들은, 상기 상부 텅부를 관통하는 복수의 제1 위치 결정 핀 홀들, 상기 상부 텅부의 하부면을 관통하지 않고, 상기 상부 텅부의 하부면에 형성되는 복수의 하부 스레디드 홀들, 및 상기 상부 텅부를 종 방향으로 관통하는 복수의 볼트 홀들을 포함함 -;
    상기 연결 블록의 다른 단부로부터 돌출되도록 형성되고, 복수의 제 2 고정 홀들과 복수의 제3 고정 홀들이 마련되는 하부 텅부 - 상기 복수의 제3 고정 홀들은, 상기 하부 텅부의 하부면에 형성되고, 상기 복수의 하부 스레디드 홀들에 개별적으로 대응하고, 상기 복수의 제2 고정 홀들은, 상기 하부 텅부를 관통하고 상기 복수의 제1 위치 결정 핀 홀들에 개별적으로 대응하는 복수의 제2 위치 결정 핀 홀들, 상기 하부 텅부를 종 방향으로 관통하고 상기 복수의 볼트 홀들에 개별적으로 대응하는 복수의 제2 스레디드 홀들을 포함함 -
    를 포함함 -;
    상기 연결 블록의 상기 상부 텅부의 상기 복수의 제1 고정 홀들의 각각과 인접한 연결 블록들의 상기 하부 텅부의 상기 복수의 제2 고정 홀들의 각각을 개별적으로 관통하는 복수의 상부 패스너들; 및
    상기 연결 블록의 상기 하부 텅부의 상기 복수의 제3 고정 홀들의 각각과 상기 베이스의 상기 복수의 위치 결정 홈들의 각각을 개별적으로 관통하는 복수의 하부 패스너들
    을 포함하고,
    상기 유체 제어 엘리먼트는,
    두 개의 인접한 연결 블록들을 가로질러 걸쳐지고,
    상기 유체 제어 엘리먼트의 상기 출구는,
    상기 연결 블록들 중 하나의 상기 유체 입구에 연결되고,
    상기 유체 제어 엘리먼트의 상기 입구는,
    상기 연결 블록들 중 다른 하나의 상기 유체 출구에 연결되는,
    유체 제어 디바이스.
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