JP6012247B2 - 流体制御装置 - Google Patents
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Description
第2の発明による流体制御装置は、複数配置される流体制御機器からなる上段層と、上段層の複数の流体制御機器を接続するための複数の通路ブロックを有する下段層とからなり、上段層の流体制御機器として、流量制御器本体の入口側および出口側に張出部が設けられた流量を制御するための流量制御器を有しており、上段層と下段層で構成される列が並列状に複数配置される流体制御装置において、下段層の通路ブロックとして、複数の列にわたって配置された少なくとも1つの複列用通路ブロックと、複列用通路ブロックが支持している少なくとも2つの上段部材を1列分だけ支持する単列用通路ブロックとを有しており、複列用通路ブロックは、上段層の全ての列のうちの一部の少なくとも2つの列にわたって、流量制御器の入口側または出口側の張出部および少なくとも1つの開閉弁を支持しており、複列用通路ブロック内には、直列状に並ぶ流体制御機器の通路同士を連通するための縦方向通路と、隣り合う列の流体制御機器の通路同士を連通するための横方向通路とが設けられており、縦方向通路は、流量制御器の張出部と前記少なくとも1つの開閉弁とを連通するための通路を有し、横方向通路は、前記少なくとも1つの開閉弁に通じかつ上面に開口した通路を有しており、単列用通路ブロックは、前記少なくとも1つの開閉弁に通じかつ上面に開口した通路を有しており、複列用通路ブロックの横方向通路の前記上面に開口した通路と単列用通路ブロックの前記上面に開口した通路とが逆U字状配管によって接続されていることを特徴とするものである。
Claims (3)
- 複数配置される流体制御機器からなる上段層と、上段層の複数の流体制御機器を接続するための複数の通路ブロックを有する下段層とからなり、上段層の流体制御機器として、流量制御器本体の入口側および出口側に張出部が設けられた流量を制御するための流量制御器を有しており、上段層と下段層で構成される列が並列状に複数配置される流体制御装置において、
下段層の通路ブロックとして、複数の列にわたって配置されかつ並列方向に隣り合う少なくとも2つの複列用通路ブロックを有しており、複列用通路ブロックは、上段層の全ての列のうちの一部の少なくとも2つの列にわたって、流量制御器の入口側または出口側の張出部および少なくとも1つの開閉弁を支持しており、
複列用通路ブロック内には、直列状に並ぶ流体制御機器の通路同士を連通するための縦方向通路と、隣り合う列の流体制御機器の通路同士を連通するための横方向通路とが設けられており、縦方向通路は、流量制御器の張出部と前記少なくとも1つの開閉弁とを連通するための通路を有し、横方向通路は、前記少なくとも1つの開閉弁に通じかつ上面に開口した通路を有しており、隣り合う複列用通路ブロックの横方向通路の前記上面に開口した通路同士が逆U字状配管によって接続されていることを特徴とする流体制御装置。 - 複数配置される流体制御機器からなる上段層と、上段層の複数の流体制御機器を接続するための複数の通路ブロックを有する下段層とからなり、上段層の流体制御機器として、流量制御器本体の入口側および出口側に張出部が設けられた流量を制御するための流量制御器を有しており、上段層と下段層で構成される列が並列状に複数配置される流体制御装置において、
下段層の通路ブロックとして、複数の列にわたって配置された少なくとも1つの複列用通路ブロックと、複列用通路ブロックが支持している少なくとも2つの上段部材を1列分だけ支持する単列用通路ブロックとを有しており、複列用通路ブロックは、上段層の全ての列のうちの一部の少なくとも2つの列にわたって、流量制御器の入口側または出口側の張出部および少なくとも1つの開閉弁を支持しており、
複列用通路ブロック内には、直列状に並ぶ流体制御機器の通路同士を連通するための縦方向通路と、隣り合う列の流体制御機器の通路同士を連通するための横方向通路とが設けられており、縦方向通路は、流量制御器の張出部と前記少なくとも1つの開閉弁とを連通するための通路を有し、横方向通路は、前記少なくとも1つの開閉弁に通じかつ上面に開口した通路を有しており、
単列用通路ブロックは、前記少なくとも1つの開閉弁に通じかつ上面に開口した通路を有しており、
複列用通路ブロックの横方向通路の前記上面に開口した通路と単列用通路ブロックの前記上面に開口した通路とが逆U字状配管によって接続されていることを特徴とする流体制御装置。 - 複列用通路ブロックとして、流量制御器の入口側張出部およびこれに直列状に配置された2つの入口側開閉弁を支持している第1の複列用通路ブロックと、流量制御器の出口側張出部およびこれに直列状に配置された1つの出口側開閉弁を支持している第2の複列用通路ブロックとの2種類が使用されていることを特徴とする請求項1または2に記載の流体制御装置。
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