JP6992183B2 - 流体制御装置及び流体制御装置用の継手 - Google Patents

Description

本発明は、流体制御装置及びその継手に関し、特に、分解と組立がしやすく、柔軟にモジュール化でき、シール性能に優れている流体制御装置に関する。

流体制御装置は、半導体産業においてよく使用される装置の一種であり、半導体製造プロセスにおいて、拡散、エッチング、スパッタリング等の工程に必要なガスを供給するために用いられる。従来の流体制御装置は主に、減圧弁、圧力計、マスフローコントローラー、ガスフィルター、手動弁、第１遮断弁、第２遮断弁等の様々な機器を有し、これらの流体制御機器を接続する各種の継手を含み、これによって、流体が円滑に流れるための通路を構成する。

流体制御装置は半導体産業に幅広く利用されているものの、いつくかの改善すべき欠点がある。例えば、流体制御装置は様々な機器を含むため、その取外しと組立がよりしやすいような改善が求められる。この課題に対する解決手段としては、流体制御装置に使用される構成要素の数を減らすことが挙げられ、これによって組み立てやすくなるという効果が得られる。

例えば、特許文献１の流体制御装置において、組み立てやすくするための改善案が開示されている。当該装置は、複数の流体制御機器が１列に直列状に配置される上段層と、上段層における複数の流体制御機器の通路ブロックを接続する下段層とを含み、これらの隣り合う通路ブロック同士は逆Ｕ字状の配管を介して接続され、複数列用の通路ブロックと単一列用の通路ブロックの併用ができるだけでなく、行列数の増減も可能である。

また、流体制御装置を流れる流体は一部腐食性を有するため、流体制御装置の構成要素の耐腐食性を改善する必要があるだけでなく、洗浄とメインテナンスがしやすいように工夫する必要もある。なお、流体が流体制御装置に流動する時は、常に漏洩の問題が生じ、とりわけ流動するガスが危険な物質、または人体に悪影響を及ぼす物質を含む場合は、流体漏洩の問題を防ぐための措置が必要である。

上記の状況により、業界のニーズを満たすために、上記の欠点を改善できる新規な流体制御装置を開発する必要がある。

米国特許公開第ＵＳ２０１５０７５６６０号

本発明の第１の目的は、従来の流体制御装置における、分解と組立がしにくいという課題を解決することである。

本発明の第２の目的は、従来の流体制御装置用の継手における、ガスチャンネルに粒子が残留しやすく洗浄しにくいという欠点を改善することである。

本発明の第３の目的は、流体制御装置に流動するガスが漏洩するというリスクを低減することである。

上記の目的を達成するための本発明の１つの実施例において、少なくとも２つの流体通過孔を含む流体制御装置用の継手を提供する。当該継手は、第１ユニットであって、上面、当該上面に対向する下面、当該上面に設けられる第１流体通過孔、当該上面に設けられる第２流体通過孔、及び当該第１流体通過孔と当該第２流体通過孔とを連通するように当該第１ユニット内に貫設される第１チャンネルを有する第１ユニットと、当該第１ユニットの当該下面の一部より張り出す位置決めブロック、及び当該下面のもう一部と当該位置決めブロックとに隣り合う第１陥没部を有し、当該第１ユニットの下方に設けられる第２ユニットと、を含む。

上記の目的を達成するための本発明の別の実施例において、少なくとも３つの流体通過孔を含む流体制御装置用の継手を提供する。当該継手は、上面、当該上面に対向する下面、当該上面に設けられる第１流体通過孔、当該上面に設けられる第２流体通過孔、及び当該上面に設けられる第４流体通過孔を有し、当該第１流体通過孔と当該第４流体通過孔との間に、当該第１流体通過孔と当該第４流体通過孔とを連通する第１チャンネルが設けられる第１ユニットと、第３流体通過孔を有し、且つ、当該第３流体通過孔と当該第２流体通過孔との間に、当該第２流体通過孔と当該第３流体通過孔とを連通する第２チャンネルが設けられ、当該第１ユニットの側端より外側に向かって張り出す延出ユニットと、当該第１ユニットの当該下面の一部より張り出す位置決めブロック、及び当該下面のもう一部と当該位置決めブロックとに隣り合う第１陥没部を有し、当該第１ユニットの下方に設けられる第２ユニットと、を含む。

本発明のまた別の実施例において、少なくとも４つの流体通過孔を含む継手を提供する。当該継手は、上面、当該上面に対向する下面、当該上面に設けられる第１流体通過孔、当該上面に設けられる第２流体通過孔、当該上面に設けられる第４流体通過孔、当該上面に設けられる第５流体通過孔、及び当該上面に設けられる第６流体通過孔を有する第１ユニットであって、当該第１流体通過孔と当該第５流体通過孔との間に、当該第１流体通過孔と当該第５流体通過孔とを連通する第１チャンネルが設けられ、当該第２流体通過孔と当該第６流体通過孔との間に、当該第２流体通過孔と当該第６流体通過孔とを連通する第２チャンネルが設けられる第１ユニットと、第３流体通過孔を有し、且つ、当該第３流体通過孔と当該第４流体通過孔との間に、当該第３流体通過孔と当該第４流体通過孔とを連通する第３チャンネルが設けられ、当該第１ユニットの側端より外側に向かって張り出す延出ユニットと、当該第１ユニットの当該下面の一部より張り出す位置決めブロック、及び当該下面のもう一部と当該位置決めブロックとに隣り合う第１陥没部を有し、当該第１ユニットの下方に設けられる第２ユニットと、を含む。

本発明のさらに別の実施例において、少なくとも６つの流体通過孔を含む継手を提供する。当該継手は、上面、当該上面に対向する下面、当該上面に設けられる第１流体通過孔、当該上面に設けられる第２流体通過孔、当該上面に設けられる第４流体通過孔、当該上面に設けられる第５流体通過孔、及び当該上面に設けられる第６流体通過孔を有する第１ユニットであって、当該第１流体通過孔と当該第５流体通過孔との間に、当該第１流体通過孔と当該第５流体通過孔とを連通する第１チャンネルが設けられ、当該第２流体通過孔と当該第６流体通過孔との間に、当該第２流体通過孔と当該第６流体通過孔とを連通する第２チャンネルが設けられる第１ユニットと、第３流体通過孔を有し、且つ、当該第３流体通過孔と当該第４流体通過孔との間に、当該第３流体通過孔と当該第４流体通過孔とを連通する第３チャンネルが設けられ、当該第１ユニットの側端より外側に向かって張り出す延出ユニットと、当該第１ユニットの当該下面の一部より張り出す位置決めブロック、及び当該下面のもう一部と当該位置決めブロックとに隣り合う第１陥没部を有し、当該第１ユニットの下方に設けられる第２ユニットと、を含む。

本発明はさらに、流体制御装置用の継手モジュールを提供する。当該流体制御装置用の継手モジュールは、軸方向に配列される複数の接続ブロックを含み、当該複数の接続ブロックのそれぞれは上半部及び下半部を有し、当該上半部は、少なくとも１つの流体入口、少なくとも１つの流体出口、及び当該流体入口と当該流体出口との間に連通し且つ水平方向に延在する少なくとも１つの接続チャンネルを備え、当該下半部は、陥没部、及び当該陥没部から離れて当該軸方向に延在するように張り出す舌部を備え、当該接続チャンネルは当該舌部の上面よりも上方に設けられ、隣り合う当該接続ブロックは、当該舌部によって当該陥没部内に収容されて互いに接続する。

本発明はさらに、流体制御装置用の継手モジュールを提供する。当該流体制御装置用の継手モジュールは、軸方向に配列される複数の接続ブロックを含み、当該複数の接続ブロックのそれぞれは、少なくとも１つの流体入口、少なくとも１つの流体出口、及び当該流体入口と当該流体出口との間に連通し、且つ、水平方向に延在することにより当該接続ブロックの底面に対して所定の高さで離れる少なくとも１つの接続チャンネルを有し、当該接続ブロックは一端に第１舌部が張り出すように形成され、他端に陥没部が形成され、隣り合う当該接続ブロックは当該第１舌部によって当該陥没部内に収容されて互いに接続する。

本発明はさらに、流体制御装置を提供する。
当該流体制御装置は、基台と、
当該基台に設けられる継手モジュールと、
当該継手モジュールによって当該基台に締め付けられる流体制御部品と、を含む流体制御装置であって、
当該継手モジュールは、第１継手と第２継手を有し、
当該第１継手は、
第１ユニットであって、第１上面、当該第１上面に対向する第１下面、当該第１上面に設けられる第１流体通過孔、当該第１上面に設けられる第２流体通過孔、及び当該第１流体通過孔と当該第２流体通過孔とを連通するように当該第１ユニット内に貫設される第１チャンネルを備える第１ユニットと、
当該第１ユニットの当該第１下面の一部より張り出す第１位置決めブロック、及び当該第１下面のもう一部と当該第１位置決めブロックとに隣り合う第１陥没部を備え、当該第１ユニットの下方に設けられる第２ユニットと、を有し、
当該第２継手は、
第３ユニットであって、第２上面、当該第２上面に対向する第２下面、当該第２上面に設けられる第３流体通過孔、当該第２上面に設けられる第４流体通過孔、及び当該第３流体通過孔と当該第４流体通過孔とを連通するように当該第３ユニット内に貫設される第２チャンネルを備える第３ユニットと、
当該第３ユニットの当該第２下面の一部より張り出す第２位置決めブロック、当該第２下面のもう一部と当該第２位置決めブロックとに隣り合う第２陥没部、及び当該第２陥没部から離れるように延在する舌部を備え、当該第３ユニットの下方に設けられる第４ユニットと、を有し、
当該第１継手は、当該第２ユニットの当該第１陥没部によって当該第４ユニットの当該舌部に収容されて当該第２継手と隣り合って当接し、
当該流体制御部品は、当該第１継手と当該第２継手とにまたがって接続される。

本発明はさらに、流体制御装置を提供する。
当該流体制御装置は、軸方向に延在する基台と、
出口及び入口を有し、当該基台の上方に設けられる流体制御部品と、
当該流体制御部品と当該基台との間に設けられる継手モジュールと、を含み、
当該継手モジュールは、
当該軸方向に配列される複数の接続ブロックであって、それぞれが、
当該接続ブロックの上面に設けられる流体入口と流体出口、及び当該流体入口と当該流体出口とを連通するＵ字形の接続チャンネルを備える流体チャンネル、
その底面を貫通する第１固定孔を備え、当該接続ブロックの一端に張り出すように形成される上方舌部、及び
その上面を貫通する第２固定孔を備え、当該接続ブロックの他端に張り出すように形成される下方舌部を有する複数の接続ブロックと、
当該接続ブロックの当該上方舌部の当該第１固定孔及び隣り合う当該接続ブロックの当該下方舌部の当該第２固定孔に穿設される固定部品と、を有し、
当該流体制御部品は、２つの隣り合う当該接続ブロックにまたがって接続され、且つ、当該流体制御部品の当該出口は一方の接続ブロックの当該流体入口に接続され、当該流体制御部品の当該入口は他方の接続ブロックの当該流体出口に接続される。

本発明はさらに、流体制御装置を提供する。
当該流体制御装置は、軸方向に延在する基台と、
出口及び入口を有し、当該基台の上方に設けられる流体制御部品と、
当該流体制御部品と当該基台との間に設けられる継手モジュールと、を含み、
当該継手モジュールは、
当該軸方向に配列される複数の接続ブロックであって、それぞれが、
当該接続ブロックの上面に設けられる流体入口と流体出口、及び当該流体入口と当該流体出口とを連通するＵ字形の接続チャンネルを備える流体チャンネル、
その底面を貫通する第１固定孔を備え、当該接続ブロックの一端に張り出すように形成される上方舌部、及び
その上面を貫通する第２固定孔及びその底面を貫通する第３固定孔を備え、当該接続ブロックの他端に張り出すように形成される下方舌部を有する複数の接続ブロックと、
当該接続ブロックの当該上方舌部の当該第１固定孔及び隣り合う当該接続ブロックの当該下方舌部の当該第２固定孔に穿設される上方固定部品と、
当該接続ブロックの当該下方舌部の当該第３固定孔及び当該基台に穿設される下方固定部品と、を有し、
当該流体制御部品は、２つの隣り合う当該接続ブロックにまたがって接続され、且つ、当該流体制御部品の当該出口は一方の接続ブロックの当該流体入口に接続され、当該流体制御部品の当該入口は他方の接続ブロックの当該流体出口に接続される。

これにより、本発明は、従来の技術に比べて以下の有益な効果がある。
（１）本発明の流体制御装置は、特定の形状を有する継手によって接続されるものであり、当該継手が隣り合う継手に対して重ね合わせやすいため、取外し又は組立がしやすいという利点があり、これによって従来の流体制御装置における分解又は組立がしにくいという課題を解決する。しかも上記の継手により、当該流体制御装置はモジュール化がしやすいという利点を有し、様々な継手を組み合わせることで、多くの流体制御部品との柔軟な複合が可能になる。

（２）本発明の継手は、流体が流体制御部品より当該継手を介して隣り合う流体制御部品に流れる時、当該流体は複数のチャンネルが互いに接続して構成された流体チャンネルではなく、単一の継手における流体チャンネルを流れるように設計されるため、すなわち、隣り合う継手を組み立てるために、流体チャンネルの接続を必要としないように設計されるため、流体チャンネル接続用の面が減り、流体が漏洩するリスクが低減され、優れたシール性能を有する。

（３）本発明において、流体通過孔及び／又はこれらの流体通過孔間のチャンネルは円滑面を有しており、流体の通過により粒子が残留するという課題を効果的に解決できる。

本発明の２ポート継手の第１形態の斜視図である。 本発明の２ポート継手の第１形態の左側面図である。 本発明の２ポート継手の第１形態の底面図である。 本発明の２ポート継手の第１形態の上面図である。 図１ＤのＡ－Ａ断面図である。 図１ＤのＢ－Ｂ断面図である。 本発明の２ポート継手の第２形態の斜視図である。 本発明の２ポート継手の第３形態の斜視図である。 本発明の２ポート継手の第３形態の左側面図である。 本発明の２ポート継手の第３形態の底面図である。 本発明の２ポート継手の第３形態の上面図である。 図３ＤのＣ－Ｃ断面図である。 本発明の２ポート継手の第４形態の斜視図である。 本発明の３ポート継手の第１形態の斜視図である。 本発明の３ポート継手の第１形態の別の角度から見た斜視図である。 本発明の３ポート継手の第１形態の左側面図である。 本発明の３ポート継手の第１形態の底面図である。 本発明の３ポート継手の第１形態の上面図である。 図５ＥのＤ－Ｄ断面図である。 図５ＥのＥ－Ｅ断面図である。 本発明の３ポート継手の第２形態の斜視図である。 本発明の４ポート以上の継手の第１形態の斜視図である。 図７ＡのＦ－Ｆ断面図である。 図７ＡのＧ－Ｇ断面図である。 本発明の４ポート以上の継手の第２形態の斜視図である。 本発明の４ポート以上の継手の第３形態の斜視図である。 本発明の４ポート以上の継手の第３形態の左側面図である。 本発明の４ポート以上の継手の第３形態の底面図である。 本発明の４ポート以上の継手の第３形態の上面図である。 図９ＤのＨ－Ｈ断面図である。 図９ＤのＩ－Ｉ断面図である。 本発明に係る接続部品の第１形態の斜視図である。 図１０ＡのＪ－Ｊ断面図である。 図１０ＡのＫ－Ｋ断面図である。 本発明に係る接続部品の第２形態の斜視図である。 図１１ＡのＬ－Ｌ断面図である。 本発明の１つの実施例の流体制御装置の斜視図である。 本発明の１つの実施例の流体制御装置の別の角度から見た斜視図である。 本発明の１つの実施例の流体制御装置の分解図である。 本発明の別の実施例の流体制御装置の概略図である。

次に、本発明の詳細及び技術内容を、図面を参照して説明する。
本発明の流体制御装置は、１列に配された複数の流体制御部品と、これらの流体制御部品に対応する複数の継手とを含む。各流体制御部品とその継手が接続することによって、互いに連通している当該流体制御部品と継手との間に流体が流動する。

本発明の流体制御装置に含まれる流体制御部品は特に限定されるものではなく、適宜なものを選択して使用できる。具体的に１つの実施例において、当該流体制御部品は、減圧弁、圧力計、マスフローコントローラー、フィルター、手動弁、２ポート遮断弁、３ポート遮断弁、高清浄度圧力調整弁、圧力センサー、及びこれらの組み合わせからなる群から選択される。より具体的には、手動弁、２ポート遮断弁、３ポート遮断弁、高清浄度圧力調整弁、圧力センサー、フィルター、２ポート遮断弁、マスフローコントローラー、３ポート遮断弁、２ポート遮断弁を含んでもよい。

本発明の流体制御装置用の継手は、そのガス通路における流通口の数によって、２ポート継手、３ポート継手、４ポート以上の継手、接続部品と分類できる。次に、これらの継手について説明する。また、これらの継手は複数のユニットを含む。当該ユニットが上面、下面、第１側面、第２側面、第３側面、第４側面等を含む。説明の便宜上、同一の方向に配置された面は同一の名称で説明するが、区別するために、異なる符号を付する。

「２ポート継手」
本発明において２ポート継手とは、２つの流体通過孔を有し、一方は流体入口、他方は流体出口である継手を指す。

図１Ａ～図１Ｆは、本発明の２ポート継手１ａの第１形態である。図１Ａ、図１Ｂに示すように、２ポート継手１ａは、第１ユニット１１と、第２ユニット１２とを有し、第１ユニット１１は第２ユニット１２に設けられる。

第１ユニット１１は、第１位置決めブロック１１ａと、第１舌部１１ｃとを含む。且つ、第１ユニット１１は、上面１１１と、上面１１１に対向する下面１１２と、上面１１１及び下面１１２にそれぞれ接続される第１側面１１３、第２側面１１４、第３側面１１５、第４側面１１６とをさらに有し、第１側面１１３は第３側面１１５に対応して設けられ、第２側面１１４は第４側面１１６に対応して設けられる。第２ユニット１２は第２位置決めブロック１２ａと、第２陥没部１２ｂとを含む。第２位置決めブロック１２ａは第１ユニット１１の下面１１２の一部より張り出し、第１ユニット１１の下面１１２のもう一部は、第２位置決めブロック１２ａが設けられたことによって内側に向かって陥没して第２陥没部１２ｂを形成し、第２陥没部１２ｂは下面１１２のもう一部と第２位置決めブロック１２ａとの間に隣り合う（図１Ｅ参照）。第２ユニット１２は、下面１２２と、下面１２２にそれぞれ接続される第１側面１２３、第２側面１２４、第３側面１２５、第４側面１２６とを有し、第１側面１２３は第３側面１２５に対応して設けられ、第２側面１２４は第４側面１２６に対応して設けられる。

第１ユニット１１と第２ユニット１２は同じ幅Ｗを有し、第１ユニット１１の長さＬ１は第２ユニット１２の長さＬ２より大きく、第１ユニット１１と第２ユニット１２は一体成形された構造であり、第１ユニット１１の第３側面１１５と第２ユニット１２の第３側面１２５は面一となって一体成形された面である。同様に、第１ユニット１１の第２側面１１４と第２ユニット１２の第２側面１２４は一体成形された面であり、第１ユニット１１の第４側面１１６と第２ユニット１２の第４側面１２６も一体成形された面である。

さらに、図１Ｃ、図１Ｄ、図１Ｆに示すように、第１ユニット１１は第１位置決めピン孔１１１１ａと、第２位置決めピン孔１１１１ｂと、第１流体通過孔１１１２ａと、第２流体通過孔１１１２ｂと、第１ねじ孔１１１３ａと、第２ねじ孔１１１３ｂと、第３ねじ孔１１１３ｃと、第４ねじ孔１１１３ｄと、第１下方ねじ孔１１２１ａと、第２下方ねじ孔１１２１ｂと、第１ボルト孔１１１４ａと、第２ボルト孔１１１４ｂとを含む。第１位置決めピン孔１１１１ａ、第２位置決めピン孔１１１１ｂは、上面１１１及び下面１１２を貫通する貫通孔として、上面１１１の第１側面１１３に近い側に設けられる。

第１流体通過孔１１１２ａ、第２流体通過孔１１１２ｂは上面１１１の第１側面１１３及び第３側面１１５に近い側にそれぞれに設けられる。ただし、第１流体通過孔１１１２ａは第１位置決めピン孔１１１１ａと第２位置決めピン孔１１１１ｂとの間に設けられ、第２流体通過孔１１１２ｂは第３ねじ孔１１１３ｃと第４ねじ孔１１１３ｄとの間に設けられる。図１Ｅに示すように、第１流体通過孔１１１２ａと第２流体通過孔１１１２ｂとの間に、第１流体通過孔１１１２ａと第２流体通過孔１１１２ｂとを連通する第１チャンネル１１１５ａが設けられる。本実施例において、第１チャンネル１１１５ａは第１ユニット１１の第２位置決めブロック１２ａに近い一端より第１ユニット１１の第２陥没部１２ｂに近い一端まで延在し、これは第１ユニット１１の第３側面１１５に近い一端より第１ユニット１１の第１側面１１３に近い一端まで延在するように理解されてもよい。第１チャンネル１１１５ａを通過する流体がその内部に残留することを防ぐために、第１チャンネル１１１５ａに対し円滑面を有するように処理してもよい。前記「処理」とは、例えば、第１側面１１３において、第１チャンネル１１１５ａに連通する開口を設け、第１チャンネル１１１５ａに対し円滑面を有するように研磨処理を行って、溶接の方式で当該開口を閉鎖させるように行ってもよい。

第１ねじ孔１１１３ａ、第２ねじ孔１１１３ｂ、第３ねじ孔１１１３ｃ、第４ねじ孔１１１３ｄ、第１下方ねじ孔１１２１ａ、第２下方ねじ孔１１２１ｂは、いずれもねじ山が設けられた止まり孔であり、すなわち貫通していない空洞部である。ただし、第１ねじ孔１１１３ａ、第２ねじ孔１１１３ｂは上面１１１の第１側面１１３に近い側に設けられ、第１ねじ孔１１１３ａは第１位置決めピン孔１１１１ａの近くに設けられ、第２ねじ孔１１１３ｂは第２位置決めピン孔１１１１ｂの近くに設けられ、且つ、第３ねじ孔１１１３ｃ、第４ねじ孔１１１３ｄは上面１１１の第３側面１１５に近い側に設けられ、第３ねじ孔１１１３ｃは第２側面１１４の近くに設けられ、第４ねじ孔１１１３ｄは第４側面１１６の近くに設けられ、且つ、第１下方ねじ孔１１２１ａ、第２下方ねじ孔１１２１ｂは下面１１２において、第１ボルト孔１１１４ａ及び第２ボルト孔１１１４ｂの近くに設けられる。

図１Ｅに示すように、本発明の１つの実施例において、第２流体通過孔１１１２ｂは拡大部１１１２１と、階段面１１１２２と、チャンネル部１１１２３とを含む。拡大部１１１２１はチャンネル部１１１２３よりも内径が大きく、階段面１１１２２は拡大部１１１２１とチャンネル部１１１２３との間に接続され且つ研磨された円滑面であり、これによって第２流体通過孔１１１２ｂが他の流体制御部品に連通する時、密封の効果が得られる。他の実施例、形態において流体通過孔は上述したのと同一の構造であるため、説明の重複を避けるため省略される。

第１ボルト孔１１１４ａ、第２ボルト孔１１１４ｂは上面１１１の第２側面１１４に近い側、第４側面１１６に近い側にそれぞれに設けられる。より具体的には、第１ボルト孔１１１４ａは第１ねじ孔１１１３ａと第３ねじ孔１１１３ｃとの間に近く設けられ、第２ボルト孔１１１４ｂは第２ねじ孔１１１３ｂと第４ねじ孔１１１３ｄとの間に近く設けられる。第１ボルト孔１１１４ａ、第２ボルト孔１１１４ｂはいずれも上面１１１及び下面１１２を貫通する貫通孔であり、且つ、当該貫通孔である第１ボルト孔１１１４ａ及び第２ボルト孔１１１４ｂにはいずれも突出部が設けられ、これによって当該貫通孔である第１ボルト孔１１１４ａ及び第２ボルト孔１１１４ｂは、異なる直径Ｒ１と直径Ｒ２を有し、上面１１１に近い方は直径がＲ１、下面１１２に近い方は直径がＲ２であり、Ｒ１はＲ２より大きい（図１Ｆ参照）。

本発明の２ポート継手の第２形態である２ポート継手１ｂは、図２に示すように、第３ねじ孔１１１３ｃと第４ねじ孔１１１３ｄとのピッチが、２ポート継手１ａの第１形態における第３ねじ孔１１１３ｃと第４ねじ孔１１１３ｄとのピッチよりも短いことで異なる以外、上記の２ポート継手１ａの第１形態と同一の構成である。

図３Ａ～図３Ｅは、本発明の２ポート継手１ｃの第３形態である。２ポート継手１ｃは第１ユニット１１と、第２ユニット１２とを有し、第１ユニット１１は第１位置決めブロック１１ａと、第１陥没部１１ｂと、第１舌部１１ｃとを含む。第１ユニット１１は上面１１１と、上面１１１に対向する下面１１２と、上面１１１及び下面１１２にそれぞれ接続される第１側面１１３、第２側面１１４、第３側面１１５、第４側面１１６とをさらに有し、第１側面１１３は第３側面１１５に対応して設けられ、第２側面１１４は第４側面１１６に対応して設けられる。第２ユニット１２は第２位置決めブロック１２ａと、第２陥没部１２ｂと、第２舌部１２ｃとを含む。第２位置決めブロック１２ａは第１ユニット１１の下面１１２の一部より張り出し、第１ユニット１１の下面１１２のもう一部は、第２位置決めブロック１２ａが設けられたことによって内側に向かって陥没して第２陥没部１２ｂを形成し、第２陥没部１２ｂは下面１１２のもう一部と第２位置決めブロック１２ａとの間に隣り合う（図３Ｅ参照）。第２舌部１２ｃは、第２位置決めブロック１２ａより、第２陥没部１２ｂから離れる側に向かって延在し且つ第１ユニット１１に張り出し、第２ユニット１２は上面１２１と、上面１２１に対向する下面１２２と、上面１２１及び下面１２２にそれぞれ接続される第１側面１２３、第２側面１２４、第３側面１２５、第４側面１２６とを有し、第１側面１２３は第３側面１２５に対応して設けられ、第２側面１２４は第４側面１２６に対応して設けられる。

本実施例において、第１ユニット１１と第２ユニット１２は一体成形された構造である。具体的には、第１ユニット１１と第２ユニット１２は同じ幅Ｗを有し、第１ユニット１１の第２側面１１４と第２ユニット１２の第２側面１２４は面一となってＺ字形の平面が形成され、第１ユニット１１の第４側面１１６と第２ユニット１２の第４側面１２６も面一となってＺ字形の平面が形成される。

図３Ｃ、図３Ｄに示すように、第１ユニット１１は、第１位置決めピン孔１１１１ａと、第２位置決めピン孔１１１１ｂと、第１流体通過孔１１１２ａと、第２流体通過孔１１１２ｂと、第１ねじ孔１１１３ａと、第２ねじ孔１１１３ｂと、第３ねじ孔１１１３ｃと、第４ねじ孔１１１３ｄと、第１下方ねじ孔１１２１ａと、第２下方ねじ孔１１２１ｂと、第１ボルト孔１１１４ａと、第２ボルト孔１１１４ｂとをさらに含む。

第１位置決めピン孔１１１１ａ、第２位置決めピン孔１１１１ｂはいずれも上面１１１及び下面１１２を貫通する貫通孔であり、第１位置決めピン孔１１１１ａは第１ねじ孔１１１３ａと第１側面１１３との間に介在し、第２位置決めピン孔１１１１ｂは第２ねじ孔１１１３ｂと第１側面１１３との間に介在する。第１流体通過孔１１１２ａ、第２流体通過孔１１１２ｂは、上面１１１の第１側面１１３及び第３側面１１５に近い側にそれぞれ設けられる。第１流体通過孔１１１２ａと第２流体通過孔１１１２ｂとの間に、第１流体通過孔１１１２ａと第２流体通過孔１１１２ｂとを連通する第１チャンネル１１１５ａが設けられる（図３Ｅ参照）。本実施例において、第１チャンネル１１１５ａは、第１ユニット１１の第２位置決めブロック１２ａに近い一端より第１ユニット１１の第２陥没部１２ｂに近い一端まで延在する。第１チャンネル１１１５ａを通過する流体がその内部に残留することを防ぐために、上述したように、当該チャンネルに対し円滑面を有するように研磨処理を行ってもよい。

第１ねじ孔１１１３ａ、第２ねじ孔１１１３ｂ、第３ねじ孔１１１３ｃ、第４ねじ孔１１１３ｄ、第１下方ねじ孔１１２１ａ、第２下方ねじ孔１１２１ｂは、いずれもねじ山が設けられた止まり孔である。ただし、第１ねじ孔１１１３ａ、第２ねじ孔１１１３ｂは第１ユニット１１の上面１１１の第１側面１１３に近い側に設けられ、第３ねじ孔１１１３ｃは上面１１１の第２側面１１４に近い側に設けられ、第４ねじ孔１１１３ｄは第４側面１１６の近くに設けられる。本形態において、第１ねじ孔１１１３ａ、第２ねじ孔１１１３ｂ、第２流体通過孔１１１２ｂは略二等辺三角形の頂点に配置され、第１下方ねじ孔１１２１ａ、第２下方ねじ孔１１２１ｂは下面１１２において、第１ボルト孔１１１４ａ及び第２ボルト孔１１１４ｂの近くに設けられる。

第１ボルト孔１１１４ａ、第２ボルト孔１１１４ｂはいずれも上面１１１及び下面１１２を貫通する貫通孔であり、当該貫通孔にはいずれも突出部が設けられ、これによって当該貫通孔である第１ボルト孔１１１４ａ及び第２ボルト孔１１１４ｂは、異なる直径Ｒ１とＲ２を有し、上面１１１に近い方は直径がＲ１、下面１１２に近い方は直径がＲ２であり、Ｒ１はＲ２より大きい（当該ボルト孔の構造は図１Ｆを参照する）。本形態において、第１ボルト孔１１１４ａは第１ねじ孔１１１３ａと第３ねじ孔１１１３ｃとの間に設けられ、第２ボルト孔１１１４ｂは第２ねじ孔１１１３ｂと第４ねじ孔１１１３ｄとの間に設けられる。

第２ユニット１２は、第１位置決めピン孔１２１１ａと、第２位置決めピン孔１２１１ｂと、第１貫通孔１２１６ａと、第２貫通孔１２１６ｂと、第５ねじ孔１２１３ｅと、第６ねじ孔１２１３ｆとをさらに含む。

第１位置決めピン孔１２１１ａ、第２位置決めピン孔１２１１ｂはいずれも上面１２１及び下面１２２を貫通する貫通孔として、第２ユニット１２の上面１２１の第１ユニット１１に近い側に設けられる。第５ねじ孔１２１３ｅ、第６ねじ孔１２１３ｆは第２ユニット１２の上面１２１の第１ユニット１１から離れる側に設けられる。本形態において、第５ねじ孔１２１３ｅ、第６ねじ孔１２１３ｆは上面１２１及び下面１２２を貫通する貫通孔であり、第１貫通孔１２１６ａ、第２貫通孔１２１６ｂは第１位置決めピン孔１２１１ａと第５ねじ孔１２１３ｅとの間、第２位置決めピン孔１２１１ｂと第６ねじ孔１２１３ｆとの間にそれぞれ設けられる。

本発明の２ポート継手１ｄの第４形態を図４に示す。２ポート継手１ｄは、２ポート継手１ｄが第１位置決めピン孔１１１１ａ、第２位置決めピン孔１１１１ｂ、第１下方ねじ孔１１２１ａ、第２下方ねじ孔１１２１ｂを備えないこと、第１ねじ孔１１１３ａと第２ねじ孔１１１３ｂが互いに近接して設けられること、第１流体通過孔１１１２ａに対して互いに対称に設けられること、及び第１ねじ孔１１１３ａ、第２ねじ孔１１１３ｂ、第１流体通過孔１１１２ａが仮想の直線に並ぶことが、２ポート継手１ｃと異なる。その他は、上記の２ポート継手１ｃの第３形態と同一の構成である。

「３ポート継手」
本発明において３ポート継手とは、流体入口又は流体出口として３つの通過孔を有する継手を指す。例えば、実際に使用する時は、流体入口１つと流体出口２つ、もしくは流体入口２つと流体出口１つとしてもよいし、又は２つの通過孔をそれぞれ１つの流体入口及び１つの流体出口として使用してもよい。

図５Ａ～図５Ｇは、本発明の３ポート継手２ａの第１形態である。３ポート継手２ａは第１ユニット１１と、第２ユニット１２と、延出ユニット１３とを有し、第１ユニット１１は第１位置決めブロック１１ａと、第１陥没部１１ｂと、第１舌部１１ｃとを含む。第１ユニット１１は上面１１１と、上面１１１に対向する下面１１２と、上面１１１及び下面１１２にそれぞれ接続される第１側面１１３、第２側面１１４、第３側面１１５、第４側面１１６とを有し、第１側面１１３は第３側面１１５に対応して設けられ、第２側面１１４は第４側面１１６に対応して設けられる。

第２ユニット１２は第２位置決めブロック１２ａと、第２陥没部１２ｂと、第２舌部１２ｃとを含む。第２位置決めブロック１２ａは第１ユニット１１の下面１１２の一部より張り出し、第１ユニット１１の下面１１２のもう一部は、第２位置決めブロック１２ａが設けられたことによって内側に向かって陥没して第２陥没部１２ｂを形成し、第２陥没部１２ｂは下面１１２のもう一部と第２位置決めブロック１２ａとの間に隣り合い（図５Ｂ参照）、第２舌部１２ｃは第２位置決めブロック１２ａより、第２陥没部１２ｂから離れる側に向かって延在し且つ第１ユニット１１に張り出し、第２ユニット１２も上面１２１と、上面１２１に対向する下面１２２と、上面１２１及び下面１２２にそれぞれ接続される第１側面１２３、第２側面１２４、第３側面１２５、第４側面１２６とを有し、第１側面１２３は第３側面１２５に対応して設けられ、第２側面１２４は第４側面１２６に対応して設けられる。

延出ユニット１３は第１ユニット１１及び第２ユニット１２の第２側面１１４、１２４に近い一端より外側に向かって張り出し、延出ユニット１３は上面１３１と、上面１３１に対向する下面１３２と、上面１３１及び下面１３２にそれぞれ接続される第１側面１３３、第２側面１３４、第３側面１３５とを含む。第１側面１３３は第３側面１３５に対応して設けられ、延出ユニット１３は第２舌部１２ｃに対して平行に延在するように張り出すバリアウォール１３７をさらに含む（図５Ａ参照）。延出ユニット１３の第１側面１３３と第１ユニット１１の第２側面１１４との間に円弧状の第１凹部２１が形成され、延出ユニット１３の第３側面１３５と第２ユニット１２の第２側面１２４との間にも円弧状の第２凹部２２が形成され、バリアウォール１３７と第３側面１１５との間に円弧状の第３凹部２３が形成される。

本実施例において、第１ユニット１１、第２ユニット１２と延出ユニット１３は一体成形された構造である。即ち、第１ユニット１１と第２ユニット１２は同じ幅Ｗを有する。

第１ユニット１１は第１位置決めピン孔１１１１ａと、第２位置決めピン孔１１１１ｂと、第１流体通過孔１１１２ａと、第２流体通過孔１１１２ｂと、第１ねじ孔１１１３ａと、第２ねじ孔１１１３ｂと、第３ねじ孔１１１３ｃと、第４ねじ孔１１１３ｄと、第１下方ねじ孔１１２１ａと、第２下方ねじ孔１１２１ｂと、第１ボルト孔１１１４ａと、第２ボルト孔１１１４ｂとをさらに含む。延出ユニット１３は第３流体通過孔１３１２と、第５ねじ孔１３１３ａと、第６ねじ孔１３１３ｂとをさらに含む。

ただし、第１位置決めピン孔１１１１ａ、第２位置決めピン孔１１１１ｂはいずれも上面１１１及び下面１１２を貫通する貫通孔として、上面１１１の第１側面１１３に近い側に設けられる。

第１流体通過孔１１１２ａ、第２流体通過孔１１１２ｂは、上面１１１の第１側面１１３及び第３側面１１５に近い側にそれぞれに設けられ、第３流体通過孔１３１２は上面１３１の第２側面１３４に近い側に設けられる。第１流体通過孔１１１２ａと第２流体通過孔１１１２ｂとの間に、第１流体通過孔１１１２ａと第２流体通過孔１１１２ｂとが連通するように第１チャンネル１１１５ａが設けられ、且つ、第２流体通過孔１１１２ｂと第３流体通過孔１３１２との間に、第２流体通過孔１１１２ｂと第３流体通過孔１３１２とが連通するように第２チャンネル１１１５ｂがさらに設けられる。ただし、第１チャンネル１１１５ａと第２チャンネル１１１５ｂは互いにつながって連通し且つ互いに直交する方向に延在する。言い換えれば、第１流体通過孔１１１２ａは第１チャンネル１１１５ａと第２チャンネル１１１５ｂを介して第２流体通過孔１１１２ｂ、第３流体通過孔１３１２に連通する。本形態において、これらのチャンネルを通過する流体がその内部に残留することを防ぐために、これらのチャンネルは円滑面を有するように処理される。

第１ねじ孔１１１３ａ、第２ねじ孔１１１３ｂ、第３ねじ孔１１１３ｃ、第４ねじ孔１１１３ｄ、第５ねじ孔１３１３ａ、第６ねじ孔１３１３ｂ、第１下方ねじ孔１１２１ａ、第２下方ねじ孔１１２１ｂは、いずれもねじ山が設けられた止まり孔である。ただし、第１位置決めピン孔１１１１ａ、第２位置決めピン孔１１１１ｂは第１ユニット１１の上面１１１の第１側面１１３に近い側に設けられ、第１位置決めピン孔１１１１ａ、第２位置決めピン孔１１１１ｂも上面１１１の第１側面１１３に近い側に設けられ、且つ、第３ねじ孔１１１３ｃは上面１１１の第２側面１１４に近い側に設けられ、第４ねじ孔１１１３ｄは上面１１１の第４側面１１６に近い側に設けられ、且つ、第５ねじ孔１３１３ａ、第６ねじ孔１３１３ｂは延出ユニット１３の上面１３１の第２側面１３４に近い側に設けられ、第３流体通過孔１３１２は第５ねじ孔１３１３ａと第６ねじ孔１３１３ｂとの間に設けられる。第１下方ねじ孔１１２１ａ、第２下方ねじ孔１１２１ｂは下面１１２において、第１ボルト孔１１１４ａ及び第２ボルト孔１１１４ｂの近くに設けられる。

第１ボルト孔１１１４ａ、第２ボルト孔１１１４ｂはいずれも上面１１１及び下面１１２を貫通する貫通孔である。上述した当該ボルト孔と構造が同一であり（図１Ｆ参照）、当該貫通孔にはいずれも突出部が設けられ、これによって当該貫通孔である第１ボルト孔１１１４ａ及び第２ボルト孔１１１４ｂは異なる直径Ｒ１とＲ２を有し、上面１１１に近い方は直径がＲ１、下面１１２に近い方は直径がＲ２であり、Ｒ１はＲ２より大きい。本形態において、第１ボルト孔１１１４ａは第１ねじ孔１１１３ａと第３ねじ孔１１１３ｃとの間に設けられ、第２ボルト孔１１１４ｂは第２ねじ孔１１１３ｂと第４ねじ孔１１１３ｄとの間に設けられる。

第２ユニット１２は第３位置決めピン孔１２１１ｃと、第４位置決めピン孔１２１１ｄと、第１貫通孔１２１６ａと、第２貫通孔１２１６ｂと、第７ねじ孔１２１３ｇと、第８ねじ孔１２１３ｈとをさらに含む。

第３位置決めピン孔１２１１ｃ、第４位置決めピン孔１２１１ｄはいずれも上面１２１及び下面１２２を貫通する貫通孔として、第２ユニット１２の上面１２１の第１ユニット１１に近い側に設けられる。第７ねじ孔１２１３ｇ、第８ねじ孔１２１３ｈは第２ユニット１２の上面１２１の第１ユニット１１から離れる側に設けられる。本形態において、第７ねじ孔１２１３ｇ、第８ねじ孔１２１３ｈも、上面１２１及び下面１２２を貫通する貫通孔である。第１貫通孔１２１６ａ、第２貫通孔１２１６ｂは、第３位置決めピン孔１２１１ｃ及び第７ねじ孔１２１３ｇの近くに、第４位置決めピン孔１２１１ｄ及び第８ねじ孔１２１３ｈの近くにそれぞれに設けられる。

本発明の３ポート継手２ｂの第２形態を図６に示す。３ポート継手２ｂは、第１形態と第１ユニット１１の上面１１１が異なり、他には同一の構成である。３ポート継手２ｂにおいて、その第１ユニット１１の上面１１１は第１位置決めピン孔１１１１ａ及び第２位置決めピン孔１１１１ｂを備えず、且つ、第１ねじ孔１１１３ａ及び第２ねじ孔１１１３ｂの変位により両者は第１流体通過孔１１１２ａと仮想の直線に並ぶ。

「４ポート以上の継手」
本発明において「４ポート以上の継手」とは、特定の方向に限定されないが、流体入口又は流体出口として、４つ以上の流体通過孔を有する継手を指す。

図７Ａ～図７Ｃは、本発明の４ポート以上の継手３ａの第１形態である。第１ユニット１１は第４流体通過孔１１１２ｃをさらに含む以外は、上述した３ポート継手２ａと同一の構成であるため、次に他の構造の説明を省略し、その流体通過孔の構造だけを説明する。

４ポート以上の継手３ａの第１流体通過孔１１１２ａ、第２流体通過孔１１１２ｂは上面１１１の第１側面１１３及び第３側面１１５に近い側にそれぞれに設けられ、第４流体通過孔１１１２ｃは第１流体通過孔１１１２ａと第２流体通過孔１１１２ｂとの間に、第２流体通過孔１１１２ｂの近くに設けられる。１つの実施例において、第１流体通過孔１１１２ａ、第２流体通過孔１１１２ｂ、第４流体通過孔１１１２ｃは上面１１１において仮想の直線に並ぶ。第３流体通過孔１３１２は延出ユニット１３の上面１３１の第２側面１３４に近い側に設けられ、且つ、第３流体通過孔１３１２は第５ねじ孔１３１３ａと第６ねじ孔１３１３ｂとの間に設けられる。

第１流体通過孔１１１２ａと第４流体通過孔１１１２ｃとの間に、第１流体通過孔１１１２ａと第４流体通過孔１１１２ｃとを連通する第１チャンネル１１１５ａが設けられる。第２流体通過孔１１１２ｂと第３流体通過孔１３１２との間に、第２流体通過孔１１１２ｂと第３流体通過孔１３１２とを連通する第２チャンネル１１１５ｂが設けられる。本形態において、第１チャンネル１１１５ａと第２チャンネル１１１５ｂが互いに連通せずに４ポートの構造が形成されること、第１チャンネル１１１５ａと第２チャンネル１１１５ｂは互いに直交する方向に延在することで、３ポート継手のチャンネルと設計が異なる。本形態において、これらのチャンネルを通過する流体がその内部に残留することを防ぐために、これらのチャンネルはいずれも円滑面を有するように処理される。

本発明の４ポート以上の継手３ｂの第２形態を図８に示す。４ポート以上の継手３ｂにおいて、第１形態と第１ユニット１１の上面１１１が異なる。その他は同一の構成である。第２形態において、その第１ユニット１１の上面１１１に第１位置決めピン孔１１１１ａ又は第２位置決めピン孔１１１１ｂが設けられず、且つ、第１ねじ孔１１１３ａ及び第２ねじ孔１１１３ｂの変位により両者は第１流体通過孔１１１２ａと仮想の直線に並ぶ。

本発明の４ポート以上の継手３ｃの第３形態を図９Ａ～図９Ｆに示す。４ポート以上の継手３ｃは第１ユニット１１と、第２ユニット１２と、延出ユニット１３とを有する。第１ユニット１１は上面１１１と、上面１１１に対向する下面１１２と、上面１１１及び下面１１２にそれぞれ接続される第１側面１１３、第２側面１１４、第３側面１１５、第４側面１１６とを有し、第１側面１１３は第３側面１１５に対応して設けられ、第２側面１１４は第４側面１１６に対応して設けられる。本形態において、第２ユニット１２は第２位置決めブロック１２ａと、第２陥没部１２ｂとを含む。第２位置決めブロック１２ａは第１ユニット１１の下面１１２の一部より張り出し、第１ユニット１１の下面１１２のもう一部は、第２位置決めブロック１２ａが設けられたことによって内側に向かって陥没して第２陥没部１２ｂを形成し、第２陥没部１２ｂは下面１１２のもう一部と第２位置決めブロック１２ａとの間に隣り合う（図９Ａ参照）。ただし、第２ユニット１２は下面１２２と、下面１２２に接続される第１側面１２３、第２側面１２４、第３側面１２５、第４側面１２６とを有し、第１側面１２３は第３側面１２５に対応して設けられ、第２側面１２４は第４側面１２６に対応して設けられる。

延出ユニット１３は第１ユニット１１及び第２ユニット１２の第２側面１１４、１２４に近い側端より外側に向かって張り出す。本実施例において、当該側端は第１位置決めブロック１１ａ、第２位置決めブロック１２ａの張り出す端部と異なり、延出ユニット１３は上面１３１と、上面１３１に対向する下面１３２と、上面１３１及び下面１３２にそれぞれ接続される第１側面１３３、第２側面１３４、第３側面１３５とを含む。第１側面１３３は第３側面１３５に対応して設けられる。延出ユニット１３の第１側面１３３と第１ユニット１１の第２側面１１４との間に円弧状の第１凹部２１が形成され、延出ユニット１３の第３側面１３５と第１ユニット１１の第２側面１１４との間に円弧状の第２凹部２２が形成され、第３側面１３５と第２ユニット１２の第２側面１２４との間に円弧状の第３凹部２３が形成される。

本実施例において、第１ユニット１１、第２ユニット１２と延出ユニット１３は一体成形された構造である。本実施例において、第２ユニット１２は第１ユニット１１より面積が小さく、これによって第１ユニット１１の第３側面１１５と第２ユニット１２の第３側面１２５は面一となって平坦面が形成される。

第１ユニット１１は第１位置決めピン孔１１１１ａと、第２位置決めピン孔１１１１ｂと、第１流体通過孔１１１２ａと、第２流体通過孔１１１２ｂと、第４流体通過孔１１１２ｃと、第５流体通過孔１１１２ｄと、第６流体通過孔１１１２ｅと、第１ねじ孔１１１３ａと、第２ねじ孔１１１３ｂと、第３ねじ孔１１１３ｃと、第４ねじ孔１１１３ｄと、第７ねじ孔１１１３ｅと、第８ねじ孔１１１３ｆと、第９ねじ孔１１１３ｇと、第１０ねじ孔１１１３ｈと、第１下方ねじ孔１１２１ａと、第２下方ねじ孔１１２１ｂと、第１ボルト孔１１１４ａと、第２ボルト孔１１１４ｂとをさらに含む。延出ユニット１３は第３流体通過孔１３１２と、第５ねじ孔１３１３ａと、第６ねじ孔１３１３ｂとをさらに含む。ただし、第１位置決めピン孔１１１１ａ及び第２位置決めピン孔１１１１ｂはいずれも上面１１１及び下面１１２を貫通する貫通孔として、上面１１１の第１側面１１３に近い側に設けられる。

第１流体通過孔１１１２ａ、第２流体通過孔１１１２ｂは上面１１１の第１側面１１３及び第３側面１１５に近い側にそれぞれに設けられ、第３流体通過孔１３１２は延出ユニット１３の上面１３１の第２側面１３４に近い側に設けられ、第４流体通過孔１１１２ｃは第１流体通過孔１１１２ａと第２流体通過孔１１１２ｂとの間に設けられ、第５流体通過孔１１１２ｄは第１流体通過孔１１１２ａと第４流体通過孔１１１２ｃとの間に設けられ、第６流体通過孔１１１２ｅは第４流体通過孔１１１２ｃと第２流体通過孔１１１２ｂとの間に設けられ、これによって第１流体通過孔１１１２ａ、第２流体通過孔１１１２ｂ、第４流体通過孔１１１２ｃ、第５流体通過孔１１１２ｄ、第６流体通過孔１１１２ｅは仮想の直線に並ぶ。

第１流体通過孔１１１２ａと第５流体通過孔１１１２ｄとの間に、第１流体通過孔１１１２ａと第５流体通過孔１１１２ｄとを連通する第１チャンネル１１１５ａが設けられ、第２流体通過孔１１１２ｂと第６流体通過孔１１１２ｅとの間に、第２流体通過孔１１１２ｂと第６流体通過孔１１１２ｅとを連通する第２チャンネル１１１５ｂが設けられ、また、第３流体通過孔１３１２と第４流体通過孔１１１２ｃとの間に、第３流体通過孔１３１２と第４流体通過孔１１１２ｃとを連通する第３チャンネル１１１５ｃが設けられる。本形態において、第１チャンネル１１１５ａ、第２チャンネル１１１５ｂ、第３チャンネル１１１５ｃは互いに連通せずに６ポートの構造が形成される。また、第１チャンネル１１１５ａと第２チャンネル１１１５ｂは互いに平行となる方向に延在し、第１チャンネル１１１５ａと第３チャンネル１１１５ｃは互いに直交する方向に延在する。さらに、通過する流体がこれらのチャンネルに残留することを防ぐために、本形態において、これらのチャンネルはいずれも円滑面を有するように処理される。

第１ねじ孔１１１３ａ、第２ねじ孔１１１３ｂ、第３ねじ孔１１１３ｃ、第４ねじ孔１１１３ｄ、第５ねじ孔１３１３ａ、第６ねじ孔１３１３ｂ、第７ねじ孔１１１３ｅ、第８ねじ孔１１１３ｆ、第９ねじ孔１１１３ｇ、第１０ねじ孔１１１３ｈ、第１下方ねじ孔１１２１ａ、第２下方ねじ孔１１２１ｂはいずれもねじ山が設けられた止まり孔である。

ただし、第１ねじ孔１１１３ａ、第２ねじ孔１１１３ｂは、第１ユニット１１の上面１１１の第１側面１１３に近い側に設けられ、且つ、第１ねじ孔１１１３ａ及び第２ねじ孔１１１３ｂと上面１１１の第１側面１１３に近い側との間に、第１位置決めピン孔１１１１ａと、第２位置決めピン孔１１１１ｂとがそれぞれ設けられる。

第３ねじ孔１１１３ｃ、第９ねじ孔１１１３ｇはいずれも上面１１１の第２側面１１４に近い側に設けられ、第５ねじ孔１３１３ａ、第６ねじ孔１３１３ｂは延出ユニット１３の上面１３１の第２側面１３４に近いところに設けられる。より具体的には、第３ねじ孔１１１３ｃは第１凹部２１の近くに設けられ、第９ねじ孔１１１３ｇは第２凹部２２の近くに設けられる。且つ、第３流体通過孔１３１２は、第５ねじ孔１３１３ａと第６ねじ孔１３１３ｂとの間に設けられる。

第７ねじ孔１１１３ｅ、第８ねじ孔１１１３ｆは第１ユニット１１の第３側面１１５に近い側に設けられ、これによって第２流体通過孔１１１２ｂは第７ねじ孔１１１３ｅと第８ねじ孔１１１３ｆとの間に設けられる。

第４ねじ孔１１１３ｄ、第１０ねじ孔１１１３ｈは第４側面１１６の近くであって、第２ねじ孔１１１３ｂと第８ねじ孔１１１３ｆとの間に設けられる。ただし、第４ねじ孔１１１３ｄは第２ねじ孔１１１３ｂの近くに設けられ、第１０ねじ孔１１１３ｈは第８ねじ孔１１１３ｆの近くに設けられる。第１下方ねじ孔１１２１ａ、第２下方ねじ孔１１２１ｂは下面１１２において、第１ボルト孔１１１４ａ及び第２ボルト孔１１１４ｂの近くに設けられる。

第１ボルト孔１１１４ａ、第２ボルト孔１１１４ｂはいずれも上面１１１及び下面１１２を貫通する貫通孔である。当該貫通孔にはいずれも突出部が設けられ、これによって当該貫通孔である第１ボルト孔１１１４ａ及び第２ボルト孔１１１４ｂは、異なる直径Ｒ１、直径Ｒ２を有する。上面１１１に近い方は直径がＲ１、下面１１２に近い方は直径がＲ２であり、Ｒ１はＲ２より大きい（図１Ｆ参照）。本形態において、第１ボルト孔１１１４ａは、第１ねじ孔１１１３ａと第３ねじ孔１１１３ｃとの間に設けられ、第２ボルト孔１１１４ｂは第２ねじ孔１１１３ｂと第４ねじ孔１１１３ｄとの間に設けられる。

「接続部品」
接続部品は、上述した２ポート継手、３ポート継手、４ポート以上の継手、配管を接続するために用いられる。本発明において、以下の２種の形態を例に挙げて説明する。

図１０Ａ～図１０Ｃは、本発明に係る接続部品４ａの第１形態である。接続部品４ａは第１ユニットと、第２ユニットとを有する。

当該第１ユニットは、上面１１１と、上面１１１に対向する下面（図示せず）と、上面１１１及び当該下面にそれぞれ接続される第１側面１１３、第２側面１１４、第３側面１１５、第４側面（図示せず）とを有し、第１側面１１３は第３側面１１５に対応して設けられ、第２側面１１４は当該第４側面（図示せず）に対応して設けられる。

当該第１ユニットの上面１１１は、第１貫通孔１１１６ａと、第２貫通孔１１１６ｂと、第１流体通過孔１１１２ａとを含む。ただし、第１流体通過孔１１１２ａは第１貫通孔１１１６ａと第２貫通孔１１１６ｂとの間に設けられる。

本形態において、第１貫通孔１１１６ａ、第２貫通孔１１１６ｂはそれぞれ上面１１１、当該下面（図示せず）を貫通し、第１流体通過孔１１１２ａは第２側面１１４に配置される開口端１１４１を有する。

当該第２ユニットは中空の管状構造を有する構成要素であり、内面１２７と、外面１２８とを含む。且つ、当該第２ユニットの一端は第１流体通過孔１１１２ａの開口端１１４１に連通する。

本発明に係る接続部品４ｂの第２形態を図１１Ａ、図１１Ｂに示す。接続部品４ｂは第１ユニットのみを含む。当該第１ユニットは上面１１１と、上面１１１に対向する下面１１２とを有する。当該第１ユニットの上面１１１は第１貫通孔１１１６ａと、第２貫通孔１１１６ｂと、凹溝１１１７とを含む。凹溝１１１７は第１貫通孔１１１６ａと第２貫通孔１１１６ｂとの間に設けられる。

本形態において、第１貫通孔１１１６ａ、第２貫通孔１１１６ｂはそれぞれ上面１１１及び下面１１２を貫通する貫通孔であり、凹溝１１１７は突出部を有し、これによって凹溝１１１７は異なる直径を有する。上面１１１に近い方は、下面１１２に近い方よりも直径が大きい。

「流体制御装置」
本発明の流体制御装置は主に、基台と、複数の接続ブロックと、複数の流体制御部品とを含み、当該接続ブロックは上述した２ポート継手、３ポート継手、４ポート以上の継手から少なくとも２つを選択して、互いに隣接させるように構成される。次に、具体的な実施例を用いて、これらの継手と機器をどのように組み合わせて本発明の流体制御装置を構成するかを説明する。なお、上述した２ポート継手、３ポート継手、４ポート以上の継手、接続部品を組み合わせるに際し特定の順番はなく、当業者は実際のニーズに応じて適宜組み合わせることができる。

例えば、これらの継手を介してフィルターを本発明の流体制御装置に組み立てる場合は、当該フィルターを同一の形態又は異なる形態の２つの２ポート継手に接続させてもよいし、当該フィルターを１つの２ポート継手及び１つの３ポート継手に接続させてもよい。別の実施例において、これらの継手を介して２ポート遮断弁を本発明の流体制御装置に組み立てる場合は、２つの継手の一方は当該２ポート継手、他方は２ポート継手、３ポート継手、４ポート以上の継手、又は接続部品としてもよい。また別の実施例において、これらの継手を介して３ポート遮断弁を本発明の流体制御装置に組み立てる場合は、２つの継手の一方は当該３ポート継手、他方は２ポート継手、３ポート継手、４ポート以上の継手、又は接続部品としてもよい。又は１つの実施例において、２ポート継手１ｄの第４形態は複数の継手においてその端部として使用されるのに適し、即ち２ポート継手１ｄの第４形態は片側が他方の継手に接続され、他側は設けない。

図１２Ａ～図１２Ｃは、本発明の流体制御装置の１つの実施例を示す。当該流体制御装置は基台２０と、複数の接続ブロックと、複数の流体制御部品とを含む。当該接続ブロックは２ポート継手１ｄと、２ポート継手１ｃと、４ポート以上の継手３ａとを含む。当該流体制御部品は吸気部品１０３と、手動弁１０４と、第１の２ポート遮断弁１０５ａとを含む。当該接続ブロックは基台２０に設けられ、当該接続ブロックは互いにオーバーラップして横方向に組み立てられ、当該流体制御部品は当該接続ブロックに設けられ、また、当該流体制御装置は複数のシールプレート３０をさらに含む。シールプレート３０は当該流体制御部品と当該接続ブロックとの間に配置され、シールプレート３０は複数の流体通過孔３１と、複数の位置決め孔３２と、流体通過孔３１に設けられるガスケット３３とを有する。

基台２０は複数の位置決め溝２１を含む。材質は金属であってもよい。当該接続ブロックの組立に関しては、図３、図４、図１２Ｃを参照して、２ポート継手１ｃ、２ポート継手１ｄで説明する。２ポート継手１ｃの第２ユニット１２の第２舌部１２ｃは２ポート継手１ｄの第２ユニット１２の第２陥没部１２ｂに設けられ、これによって２ポート継手１ｄの第２ユニット１２の第３側面１２５が２ポート継手１ｃの第２ユニット１２の第１側面１２３に当接する。２ポート継手１ｄの第１位置決めピン孔１２１１ａ、第２位置決めピン孔１２１１ｂ、第１貫通孔１２１６ａ、第２貫通孔１２１６ｂ、第５ねじ孔１２１３ｅ、第６ねじ孔１２１３ｆはそれぞれ２ポート継手１ｃの第１位置決めピン孔１１１１ａ、第２位置決めピン孔１１１１ｂ、第１下方ねじ孔１１２１ａ、第２下方ねじ孔１１２１ｂ、第１ボルト孔１１１４ａ、第２ボルト孔１１１４ｂに合わせる。

ただし、２つの第１固定部品４０ａはそれぞれ第１位置決めピン孔１２１１ａと第１位置決めピン孔１１１１ａとの間、第２位置決めピン孔１２１１ｂと第２位置決めピン孔１１１１ｂとの間を貫通し、これによって２ポート継手１ｄと２ポート継手１ｃは互いに位置決めされる。２つの第２固定部品４０ｂはそれぞれ基台２０の位置決め溝２０１より、第１貫通孔１２１６ａと第１下方ねじ孔１１２１ａとの間、第２貫通孔１２１６ｂと第２下方ねじ孔１１２１ｂとの間に穿設され、これによって２ポート継手１ｃ及び２ポート継手１ｄと基台２０は互いに固定される。２つの第３固定部品４０ｃはそれぞれ第１ボルト孔１１１４ａと第５ねじ孔１２１３ｅとの間、第２ボルト孔１１１４ｂと第６ねじ孔１２１３ｆとの間を貫通し、これによって２ポート継手１ｃと２ポート継手１ｄは互いに固着される。４つの第４固定部品４０ｄは手動弁１０４の開孔、シールプレート３０の位置決め孔３２を通して２ポート継手１ｃの第３ねじ孔１１１３ｃ、第４ねじ孔１１１３ｄ及び２ポート継手１ｄの第３ねじ孔１１１３ｃ、第４ねじ孔１１１３ｄに固着される。本実施例において、第１固定部品４０ａはラッチであり、第２固定部品４０ｂ、第３固定部品４０ｃ、第４固定部品４０ｄはボルトである。また、複数の第５固定部品４０ｅは吸気部品１０３の開孔を通して２ポート継手１ｄの第１ねじ孔１１１３ａ及び第２ねじ孔１１１３ｂに固着される。

図１３は、本発明の１つの実施例の流体制御装置の概略図である。

図１３に示すように、当該流体制御装置は基台２０と、継手モジュール１と、流体制御部品モジュール１００とを含む。流体制御部品モジュール１００は複数の流体制御部品を含む。本実施例において、当該流体制御装置の流体制御部品には、ガスが入る方向からガスが流れていく方向に、吸気部品１０３、手動弁１０４、第１の２ポート遮断弁１０５ａ、第１の３ポート遮断弁１０６ａ、高清浄度圧力調整弁１０７、圧力センサー１０８、フィルター１０９、第２の２ポート遮断弁１０５ｂ、マスフローコントローラー１１０、第２の３ポート遮断弁１０６ｂ、第３の２ポート遮断弁１０５ｃがこの順に設けられることが好ましい。

図１３に示すように、継手モジュール１は、少なくとも１つの流体入口、少なくとも１つの流体出口、当該流体入口と当該流体出口との間に連通し且つ水平方向に延在する少なくとも１つの接続チャンネルＣを備える上半部Ｕと、陥没部、当該陥没部から離れて当該軸方向に延在するように張り出す舌部を備える下半部Ｌとを有し、軸方向に配列される複数の接続ブロックを含む。本実施例において、接続チャンネルＣは当該舌部の上面Ｐよりも上方に設けられ、且つ、接続チャンネルＣは当該接続ブロックの底面に対して所定の高さで離れ、隣り合う当該接続ブロックは、当該舌部によって当該陥没部内に収容されて互いに接続する。上半部Ｕは縦方向に貫通する上方固定孔を有し、下半部Ｌは当該舌部を縦方向に貫通し且つ当該上方固定孔に対応する下方固定孔を含む。隣り合う当該接続ブロックは少なくとも１つの固定部品によって当該上方固定孔と当該下方固定孔とに穿設されて互いに固定される。例えば、図１２Ｃにおいて、第３固定部品４０ｃは第１ボルト孔１１１４ａと第５ねじ孔１２１３ｅとの間をそれぞれ貫通する。本実施例において、当該流体入口、当該流体出口、接続チャンネルＣによって１つの当該接続ブロック内に貫設されたＵ字形のチャンネルが形成される。

又は、継手モジュール１は軸方向に配列される複数の接続ブロックを含む。各接続ブロックは少なくとも１つの流体入口と、少なくとも１つの流体出口と、当該流体入口と当該流体出口との間に連通し、且つ、水平方向に延在することにより当該接続ブロックの底面に対して所定の高さで離れる少なくとも１つの接続チャンネルを有する。ただし、当該接続ブロックの一端に第１舌部が張り出すように形成され、他端に陥没部が形成され、隣り合う当該接続ブロックは当該第１舌部によって当該陥没部内に収容されて互いに接続する。本実施例において、当該舌部の張り出す方向は当該軸方向に平行である。当該第１舌部は縦方向に貫通する第１固定孔を有し、当該接続ブロックの当該他端に第２舌部が張り出すように形成され、且つ、当該第２舌部は縦方向に貫通する第２固定孔を有し、隣り合う当該接続ブロックは固定部品によって当該第１固定孔及び当該第２固定孔に穿設されて互いに固定される。本実施例において、当該流体入口、当該流体出口、接続チャンネルＣによって１つの当該接続ブロック内に貫設されたＵ字形のチャンネルが形成される。当該流体制御部品は基台２０及び継手モジュール１の上方に設けられ、当該流体制御部品は出口Ｏと、入口Ｉとを有し、出口Ｏ、入口Ｉは当該接続ブロックの当該流体入口、隣り合う当該接続ブロックの当該流体出口にそれぞれ接続される。

当該固定孔、当該固定部品、当該流体入口、当該流体出口、当該陥没部、当該舌部等の特徴的な構造に関しては、図１Ａ～図９Ｆを参照されたい。

継手モジュール１は複数の継手を含む。当該流体制御部品を基台２０に締め付けるために用いられる。図１３で使用される継手には、ガスが入る方向からガスが流れていく方向に、２ポート継手１ｄ、２ポート継手１ｃ、４ポート以上の継手３ａ、２ポート継手１ｄ、２ポート継手１ｄ、２ポート継手１ｄ、２ポート継手１ｄ、２ポート継手１ａ、２ポート継手１ａ、４ポート以上の継手３ａ、４ポート以上の継手３ａがこの順に設けられる。本発明において、これらの継手はその第１ユニットと隣り合う継手の第２ユニットによって互いに重ね合わされて、組立と取外しの簡素化という目的が達成される。さらに、ガスはこれらの継手と流体制御部品との間に流動し、ガスが漏洩するリスクが低減される。

上記の内容において本発明を詳細に説明しており、当該内容は本発明の実施の範囲を限定するためではなく、本発明の好ましい実施例を示すものに過ぎない。よって、本発明の特許請求の範囲に準じてなされた均等な補正や差し替えは、いずれも本発明の特許請求の範囲に含まれる。

Claims (16)

1. 第１位置決めブロック、及び当該第１位置決めブロックに隣り合って設けられ且つ当該第１位置決めブロックに対して一体的に接続される第１舌部を備える第１ユニットであって、上面、当該上面に対向する下面、当該上面に設けられる第１流体通過孔、当該上面に設けられる第２流体通過孔、及び当該第１流体通過孔と当該第２流体通過孔とを連通するように当該第１ユニット内に貫設される第１チャンネルを有する第１ユニットと、
   当該第１位置決めブロックの当該下面より張り出す第２位置決めブロック、当該第１舌部の当該下面に向かって陥没する第１陥没部、及び当該第２位置決めブロックより当該第１陥没部から離隔する方向に向かって延在する第２舌部を有し、当該第１ユニットの下方に設けられる第２ユニットと、を含み、
   当該第１ユニットの当該第１舌部は、当該第１舌部を貫通するように当該上面に設けられた複数の第１位置決めピン孔、当該第１舌部を貫通しないように当該上面に設けられた複数の第１ねじ孔、当該第１舌部を貫通しないように当該下面に設けられた複数の下方ねじ孔、及び当該第１舌部を貫通するように当該上面に設けられた複数のボルト孔を有し、
   当該第２ユニットの当該第２舌部は、当該第２舌部を貫通する複数の第２位置決めピン孔、当該第２舌部を貫通する複数の第２ねじ孔、及び当該第２舌部を貫通する複数の貫通孔を有することを特徴とする流体制御装置用の継手。
2. 当該第１チャンネルは円滑面を有することを特徴とする請求項１に記載の継手。
3. 第３流体通過孔を有し、且つ、当該第３流体通過孔と当該第２流体通過孔との間に、当該第２流体通過孔と当該第３流体通過孔とを連通する第２チャンネルが設けられ、当該第１ユニットの側端より外側に向かって張り出す延出ユニットをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の継手。
4. 第１位置決めブロック、及び当該第１位置決めブロックに隣り合って設けられ且つ当該第１位置決めブロックに対して一体的に接続される第１舌部を備える第１ユニットであって、上面、当該上面に対向する下面、当該上面に設けられる第１流体通過孔、当該上面に設けられる第２流体通過孔、及び当該上面に設けられる第４流体通過孔を有し、当該第１流体通過孔と当該第４流体通過孔との間に、当該第１流体通過孔と当該第４流体通過孔とを連通する第１チャンネルが設けられる第１ユニットと、
   第３流体通過孔を有し、且つ、当該第３流体通過孔と当該第２流体通過孔との間に、当該第２流体通過孔と当該第３流体通過孔とを連通する第２チャンネルが設けられ、当該第１ユニットの側端より外側に向かって張り出す延出ユニットと、
   当該第１位置決めブロックの当該下面より張り出す第２位置決めブロック、当該第１舌部の当該下面に向かって陥没する第１陥没部、及び当該第２位置決めブロックより当該第１陥没部から離隔する方向に向かって一体的に延在する第２舌部を有し、当該第１ユニットの下方に設けられる第２ユニットと、を含み、
   当該第１ユニットの当該第１舌部は、当該第１舌部を貫通するように当該上面に設けられた複数の第１位置決めピン孔、当該第１舌部を貫通しないように当該上面に設けられた複数の第１ねじ孔、当該第１舌部を貫通しないように当該下面に設けられた複数の下方ねじ孔、及び当該第１舌部を貫通するように当該上面に設けられた複数のボルト孔を有し、
   当該第２ユニットの当該第２舌部は、当該第２舌部を貫通する複数の第２位置決めピン孔、当該第２舌部を貫通する複数の第２ねじ孔、及び当該第２舌部を貫通する複数の貫通孔を有することを特徴とする流体制御装置用の継手。
5. 当該第１チャンネルと当該第２チャンネルは互いに独立して構成されることを特徴とする請求項４に記載の継手。
6. 第１位置決めブロック、及び当該第１位置決めブロックに隣り合って設けられ且つ当該第１位置決めブロックに対して一体的に接続される第１舌部を備える第１ユニットであって、上面、当該上面に対向する下面、当該上面に設けられる第１流体通過孔、当該上面に設けられる第２流体通過孔、当該上面に設けられる第４流体通過孔、当該上面に設けられる第５流体通過孔、及び当該上面に設けられる第６流体通過孔を有する第１ユニットであって、当該第１流体通過孔と当該第５流体通過孔との間に、当該第１流体通過孔と当該第５流体通過孔とを連通する第１チャンネルが設けられ、当該第２流体通過孔と当該第６流体通過孔との間に、当該第２流体通過孔と当該第６流体通過孔とを連通する第２チャンネルが設けられる第１ユニットと、
   第３流体通過孔を有し、且つ、当該第３流体通過孔と当該第４流体通過孔との間に、当該第３流体通過孔と当該第４流体通過孔とを連通する第３チャンネルが設けられ、当該第１ユニットの側端より外側に向かって張り出す延出ユニットと、
   当該第１位置決めブロックの当該下面より張り出す第２位置決めブロック、当該第１舌部の当該下面に向かって陥没する第１陥没部、及び当該第２位置決めブロックより当該第１陥没部から離隔する方向に向かって一体的に延在する第２舌部を有し、当該第１ユニットの下方に設けられる第２ユニットと、を含み、
   当該第１ユニットの当該第１舌部は、当該第１舌部を貫通するように当該上面に設けられた複数の第１位置決めピン孔、当該第１舌部を貫通しないように当該上面に設けられた複数の第１ねじ孔、当該第１舌部を貫通しないように当該下面に設けられた複数の下方ねじ孔、及び当該第１舌部を貫通するように当該上面に設けられた複数のボルト孔を有し、
   当該第２ユニットの当該第２舌部は、当該第２舌部を貫通する複数の第２位置決めピン孔、当該第２舌部を貫通する複数の第２ねじ孔、及び当該第２舌部を貫通する複数の貫通孔を有することを特徴とする流体制御装置用の継手。
7. 当該第１チャンネル、当該第２チャンネルと当該第３チャンネルは互いに独立して構成されることを特徴とする請求項６に記載の継手。
8. 軸方向に配列される複数の接続ブロックを含み、当該複数の接続ブロックのそれぞれは上半部及び下半部を有し、当該上半部は、少なくとも１つの流体入口、少なくとも１つの流体出口、及び当該流体入口と当該流体出口との間に連通し且つ水平方向に延在する少なくとも１つの接続チャンネルを備え、当該下半部は、陥没部、及び当該陥没部から離れて当該軸方向に延在するように張り出す舌部を備え、当該接続チャンネルは当該舌部の上面よりも上方に設けられ、
   当該上半部は複数の上方固定孔を有し、これらの上方固定孔は縦方向に貫通する複数の第１位置決めピン孔、貫通しないように当該上半部の上面に設けられた複数の第１ねじ孔、貫通しないように当該上半部の下面に設けられた複数の下方ねじ孔、及び当該上半部を縦方向に貫通する複数のボルト孔を含み、
   当該下半部は複数の下方固定孔を有し、これらの下方固定孔は当該舌部を縦方向に貫通し且つ各当該第１位置決めピン孔にそれぞれ対応する複数の第２位置決めピン孔、当該舌部を縦方向に貫通し且つ各当該下方ねじ孔にそれぞれ対応する複数の貫通孔、及び当該舌部を縦方向に貫通し且つ各当該ボルト孔にそれぞれ対応する複数の第２ねじ孔を含み、
   隣り合う当該接続ブロックは複数の固定部品によってそれぞれ各当該上方固定孔及び各当該下方固定孔に対応して穿設されることによって互いに固定され、且つ、
   隣り合う当該接続ブロックは、当該舌部によって当該陥没部内に収容されて互いに接続することを特徴とする流体制御装置用の継手モジュール。
9. 当該流体入口、当該流体出口、及び当該接続チャンネルによって１つの当該接続ブロック内に貫設されたＵ字形のチャンネルが形成されることを特徴とする請求項８に記載の継手モジュール。
10. 軸方向に配列される複数の接続ブロックを含み、当該複数の接続ブロックのそれぞれは、少なくとも１つの流体入口、少なくとも１つの流体出口、及び当該流体入口と当該流体出口との間に連通し、且つ、水平方向に延在することにより当該接続ブロックの底面に対して所定の高さで離れる少なくとも１つの接続チャンネルを有し、当該接続ブロックの一端には第１舌部が張り出すように形成され、他端には陥没部が形成され、隣り合う当該接続ブロックは当該第１舌部によって当該陥没部内に収容されて互いに接続し、当該接続ブロックの当該他端にはさらに第２舌部が張り出すように形成され、
    当該第１舌部は複数の第１固定孔を有し、これらの第１固定孔は縦方向に貫通する複数の第１位置決めピン孔、貫通しないように当該第１舌部の上面に設けられた複数の第１ねじ孔、貫通しないように当該第１舌部の下面に設けられた複数の下方ねじ孔、及び当該第１舌部を縦方向に貫通する複数のボルト孔を含み、
    当該第２舌部は複数の第２固定孔を有し、これらの第２固定孔は当該第２舌部を縦方向に貫通し且つ各当該第１位置決めピン孔にそれぞれ対応する複数の第２位置決めピン孔、当該第２舌部を縦方向に貫通し且つ各当該下方ねじ孔にそれぞれ対応する複数の貫通孔、及び当該第２舌部を縦方向に貫通し且つ各当該ボルト孔にそれぞれ対応する複数の第２ねじ孔を含み、
    隣り合う当該接続ブロックは複数の固定部品によって各当該第１固定孔及び各当該第２固定孔にそれぞれ対応して穿設されることによって互いに固定されることを特徴とする流体制御装置用の継手モジュール。
11. 当該流体入口、当該流体出口、及び当該接続チャンネルによって１つの当該接続ブロック内に貫設されたＵ字形のチャンネルが形成されることを特徴とする請求項１０に記載の継手モジュール。
12. 基台と、
    当該基台に設けられる継手モジュールと、
    当該継手モジュールによって当該基台に締め付けられる流体制御部品と、を含む流体制御装置であって、
    当該継手モジュールは、第１継手と第２継手を有し、
    当該第１継手は、
    第１位置決めブロック、及び当該第１位置決めブロックに隣り合って設けられ且つ当該第１位置決めブロックに対して一体的に接続される第１舌部を備える第１ユニットであって、第１上面、当該第１上面に対向する第１下面、当該第１上面に設けられる第１流体通過孔、当該第１上面に設けられる第２流体通過孔、及び当該第１流体通過孔と当該第２流体通過孔とを連通するように当該第１ユニット内に貫設される第１チャンネルを備える第１ユニットと、
    当該第１位置決めブロックの当該第１下面より張り出す第２位置決めブロック、当該第１舌部の当該下面に向かって陥没する第１陥没部を備え、当該第１ユニットの下方に設けられる第２ユニットと、を有し、
    当該第２継手は、
    第３位置決めブロック、及び当該第２位置決めブロックに隣り合って設けられ且つ当該第３位置決めブロックに対して一体的に接続される第２舌部を備える第３ユニットであって、第２上面、当該第２上面に対向する第２下面、当該第２上面に設けられる第３流体通過孔、当該第２上面に設けられる第４流体通過孔、及び当該第３流体通過孔と当該第４流体通過孔とを連通するように当該第３ユニット内に貫設される第２チャンネルを備える第３ユニットと、
    当該第３位置決めブロックの当該第２下面より張り出す第３位置決めブロック、当該第２舌部の当該下面に向かって陥没する第２陥没部、及び当該第３位置決めブロックより当該第２陥没部から離れる方向に延在する第３舌部を備え、当該第３ユニットの下方に設けられる第４ユニットと、を有し、
    当該第１継手は、当該第２ユニットの当該第１陥没部によって当該第４ユニットの当該舌部に収容されて当該第２継手と互いに隣り合って当接し、
    当該流体制御部品は、当該第１継手と当該第２継手とにまたがって接続され、
    当該第１ユニットの当該第１舌部は複数の上方固定孔を有し、これらの上方固定孔は縦方向に貫通する複数の第１位置決めピン孔、貫通しないように当該第１舌部の上面に設けられた複数の第１ねじ孔、貫通しないように当該第１舌部の下面に設けられた複数の下方ねじ孔、及び当該第１舌部を縦方向に貫通する複数のボルト孔を含み、
    当該第４ユニットの当該第３舌部は複数の下方固定孔を有し、これらの下方固定孔は当該第３舌部を縦方向に貫通し且つ各当該第１位置決めピン孔にそれぞれ対応する複数の第２位置決めピン孔、当該第３舌部を縦方向に貫通し且つ各当該下方ねじ孔にそれぞれ対応する複数の貫通孔、及び当該第３舌部を縦方向に貫通し且つ各当該ボルト孔にそれぞれ対応する複数の第２ねじ孔を含み、
    当該第１継手と当該第２継手は複数の固定部品によって当該第１ユニットの各当該上方固定孔及び当該第４ユニットの各当該下方固定孔に穿設されることによって互いに固定されることを特徴とする流体制御装置。
13. 当該流体制御部品は、減圧弁、圧力計、マスフローコントローラー、フィルター、手動弁、２ポート遮断弁、３ポート遮断弁、高清浄度圧力調整弁、圧力センサー、及びこれらの組み合わせからなる群から選択されることを特徴とする請求項１２に記載の流体制御装置。
14. 当該第１継手と当該第２継手は少なくとも１つの固定部品によって当該第１ユニットの当該上方固定孔及び当該第４ユニットの当該下方固定孔に穿設されることによって互いに固定されることを特徴とする請求項１２に記載の流体制御装置。
15. 軸方向に延在する基台と、
    出口及び入口を有し、当該基台の上方に設けられる流体制御部品と、
    当該流体制御部品と当該基台との間に設けられる継手モジュールと、を含み、
    当該継手モジュールは、
    当該軸方向に配列される複数の接続ブロックであって、それぞれが、
    当該接続ブロックの上面に設けられる流体入口と流体出口、及び当該流体入口と当該流体出口とを連通するＵ字形の接続チャンネルを備える流体チャンネル、
    複数の第１固定孔を有し、これらの第１固定孔は縦方向に貫通する複数の第１位置決めピン孔、貫通しないように上方舌部の下面に設けられた複数の下方ねじ孔、及び当該上方舌部を縦方向に貫通する複数のボルト孔を備え、当該接続ブロックの一端に張り出すように形成される上方舌部、
    並びに、
    複数の第２固定孔を有し、これらの第２固定孔は下方舌部を縦方向に貫通し且つ各当該第１位置決めピン孔にそれぞれ対応する複数の第２位置決めピン孔、当該下方舌部を縦方向に貫通し且つ各当該下方ねじ孔にそれぞれ対応する複数の貫通孔、及び当該下方舌部を縦方向に貫通し且つ各当該ボルト孔にそれぞれ対応する複数の第２ねじ孔を備え、当該接続ブロックの他端に張り出すように形成される下方舌部を有する複数の接続ブロックと、
    当該接続ブロックの当該上方舌部の各当該第１固定孔及び隣り合う当該接続ブロックの各当該下方舌部の当該第２固定孔にそれぞれ対応して穿設される複数の固定部品と、を有し、
    当該流体制御部品は、２つの隣り合う当該接続ブロックにまたがって接続され、且つ、当該流体制御部品の当該出口は一方の接続ブロックの当該流体入口に接続され、当該流体制御部品の当該入口は他方の接続ブロックの当該流体出口に接続されることを特徴とする流体制御装置。
16. 複数の位置決め溝を有し、軸方向に延在する基台と、
    出口及び入口を有し、当該基台の上方に設けられる流体制御部品と、
    当該流体制御部品と当該基台との間に設けられる継手モジュールと、を含み、
    当該継手モジュールは、
    当該軸方向に配列される複数の接続ブロックであって、それぞれが、
    当該接続ブロックの上面に設けられる流体入口、流体出口、及び当該流体入口と当該流体出口とを連通するＵ字形の接続チャンネルを備える流体チャンネル、
    複数の第１固定孔を有し、これらの第１固定孔は縦方向に貫通する複数の第１位置決めピン孔、貫通しないように上方舌部の下面に設けられた複数の下方ねじ孔、及び当該上方舌部を縦方向に貫通する複数のボルト孔を備え、当該接続ブロックの一端に張り出すように形成される上方舌部、
    並びに、
    複数の第２固定孔、及び各当該下方ねじ孔にそれぞれ対応するように下方舌部の下面に設けられた複数の第３固定孔を有し、これらの第２固定孔は当該下方舌部を縦方向に貫通し且つ各当該第１位置決めピン孔にそれぞれ対応する複数の第２位置決めピン孔、及び当該下方舌部を縦方向に貫通し且つ各当該ボルト孔にそれぞれ対応する複数の第２ねじ孔を備え、当該接続ブロックの他端に張り出すように形成される下方舌部を有する複数の接続ブロックと、
    当該接続ブロックの当該上方舌部の各当該第１固定孔及び隣り合う当該接続ブロックの各当該下方舌部の当該第２固定孔にそれぞれ対応して穿設される複数の上方固定部品と、
    当該接続ブロックの当該下方舌部の各当該第３固定孔及び当該基台の各位置決め溝にそれぞれ対応して穿設される複数の下方固定部品と、を有し、
    当該流体制御部品は、２つの隣り合う当該接続ブロックにまたがって接続され、且つ、当該流体制御部品の当該出口は一方の接続ブロックの当該流体入口に接続され、当該流体制御部品の当該入口は他方の接続ブロックの当該流体出口に接続されることを特徴とする流体制御装置。

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