JP2010196792A - 流体制御装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】集積度を高めることができるとともに、部品点数を削減でき、かつ、流体制御機器の組み合わせの自由度も制限されることがない流体制御装置を提供する。
【解決手段】流体制御機器2〜7は、制御機器本体21,31,41,61,71と、この制御機器本体よりも配列前後方向へ突出する突出部22A,22B…72A,72Bを有する継手部22,32,42,62,72とを備える。継手部は、隣接する継手部の突出部が上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置される。上側継手部には、制御機器本体に連通し突出部下面に開口する上側流路25A,25B、42A,42Bが形成され、下側継手部には、制御機器本体に連通し突出部上面に開口する下側流路35A,35B、75A,75Bが形成される。下側継手部の突出部の上に上側継手部の突出部が重ねられ、下側継手部に対して上側継手部が着脱可能に連結される。
【選択図】図1
【解決手段】流体制御機器2〜7は、制御機器本体21,31,41,61,71と、この制御機器本体よりも配列前後方向へ突出する突出部22A,22B…72A,72Bを有する継手部22,32,42,62,72とを備える。継手部は、隣接する継手部の突出部が上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置される。上側継手部には、制御機器本体に連通し突出部下面に開口する上側流路25A,25B、42A,42Bが形成され、下側継手部には、制御機器本体に連通し突出部上面に開口する下側流路35A,35B、75A,75Bが形成される。下側継手部の突出部の上に上側継手部の突出部が重ねられ、下側継手部に対して上側継手部が着脱可能に連結される。
【選択図】図1
Description
本発明は、流体を一列に配列された複数の流体制御機器を通して制御する流体制御装置に関する。
半導体製造設備などにおいて、ガスなどの流体の供給を制御する装置として、複数の流体制御機器を一列に連結した集積化ガススティックや、この集積化ガススティックをベースプレート上に多数並設した集積化ガスパネルなどが知られている。
例えば、特許文献1には、上面に装着穴および凹部を有し、一側面に凹部に連通するガス流入通路を、他側面に凹部に連通するガス流出通路を有する複数の流路ブロックを、隣接する流路ブロックのガス流出流路とガス流入通路とが連通するように一列に配置するとともに、これらを順次ターンバックル式ナットにより連結し、これをガス供給ラインに沿ってベースプレート上に固定した集積化ガスパネルが示されている。
また、特許文献2には、取付板上に複数の流体制御機器を一列に配列するとともに、流体制御機器と取付板との間に、隣接する流体制御機器間に跨って流路ブロックを配置し、この流路ブロックにより、隣接する流体制御機器に流体を流通させるようにした集積弁が示されている。
また、特許文献3には、複数の手動弁と、これらを一列に配列した状態で取り付けるとともに、内部にこれら手動弁に連通する流路を形成した流路ブロックとを備えた集積弁ユニットが示されている。
また、特許文献3には、複数の手動弁と、これらを一列に配列した状態で取り付けるとともに、内部にこれら手動弁に連通する流路を形成した流路ブロックとを備えた集積弁ユニットが示されている。
しかし、特許文献1に示された集積化ガスパネルは、複数の流路ブロックを、隣接する流路ブロックのガス流出流路とガス流入通路とが連通するように一列に配置するとともに、これらを順次ターンバックル式ナットにより連結した構造であるため、流路ブロックの数が多くなるに従ってガスラインの長さが長くなり、集積度が制限される。
また、特許文献2に示された集積弁は、隣接する流体制御機器を連通させるために、これら隣接する流体制御機器間に跨って流路ブロックを設置する必要があるため、連結する流体制御機器の数が増えるに伴って部品点数が増える。
また、特許文献3に示された集積弁ユニットは、複数の手動弁を1つの流路ブロックで連結できるため部品点数を増やさなくてもよい反面、流体制御機器の数や組み合わせなどが一律的に決まり、流体制御機器の数や組み合わせの自由度に欠ける。
本発明の目的は、集積度を高めることができるとともに、部品点数を削減でき、かつ、流体制御機器の組み合わせの自由度も制限されることがない流体制御装置を提供することにある。
本発明の流体制御装置は、流体を一列に配列された複数の流体制御機器を通して制御する流体制御装置において、前記流体制御機器は、制御機器本体と、この制御機器本体に設けられ該制御機器本体よりも前記配列前後方向へ突出する突出部を有する継手部とを備え 、前記継手部は、隣接する継手部の突出部が上下にかつ前記配列方向に沿って上下交互に重なるように配置され、前記上側に配置された上側継手部には、前記制御機器本体に連通するとともに該上側継手部の突出部下面に開口する上側流路が形成され、前記下側に配置された下側継手部には、前記制御機器本体に連通するとともに該下側継手部の突出部上面に開口しかつ前記上側流路に連通する下側流路が形成され、前記下側継手部の突出部の上に前記上側継手部の突出部が重ねられた状態で、前記下側継手部に対して前記上側継手部が着脱可能に連結されている、ことを特徴とする。
この発明によれば、流体制御機器は、制御機器本体と、この制御機器本体に設けられ制御機器本体よりも配列前後方向へ突出する突出部を有する継手部とを備え、継手部は、隣接する継手部の突出部が上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置されているから、継手部の突出部が上下に重なった部分だけ配列方向の長さ寸法を短くできる。従って、流体制御機器の集積度を高めることができる。
また、下側継手部の突出部の上に上側継手部の突出部が重ねられると、上側継手部に形成された上側流路が、下側継手部に形成された下側流路に連通されるから、隣接する流体制御機器を連通させるための連結ブロックなどを不要にできる。従って、部品点数を削減できる。
更に、複数の流体制御機器を組み合わせるにも、隣接する継手部の突出部を、上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置するだけでよいから、流体制御機器の組み合わせの自由度も制限されることがない。
また、下側継手部の突出部の上に上側継手部の突出部が重ねられると、上側継手部に形成された上側流路が、下側継手部に形成された下側流路に連通されるから、隣接する流体制御機器を連通させるための連結ブロックなどを不要にできる。従って、部品点数を削減できる。
更に、複数の流体制御機器を組み合わせるにも、隣接する継手部の突出部を、上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置するだけでよいから、流体制御機器の組み合わせの自由度も制限されることがない。
本発明の流体制御装置において、前記下側継手部を載置するベースプレートを備え、 前記上側継手部の下面と前記下側継手部の上面との接合面において、前記上側流路と前記下側流路との間にはガスケットが挿入され、前記上側継手部および下側継手部の重ね合わされた突出部を通して前記ベースプレートに螺合されたボルトにより、前記下側継手部に対して前記上側継手部が着脱可能に連結されている、ことが好ましい。
この発明によれば、下側継手部の突出部の上に上側継手部の突出部が重ねられた状態において、上側継手部および下側継手部の重ね合わされた突出部を通して、ベースプレートにボルトを締め付け螺合すると、下側継手部に対して上側継手部が着脱可能に連結される。このとき、上側継手部の下面と下側継手部の上面との接合面において、上側流路と下側流路との間に挿入されたガスケットが圧縮されるため、上側流路と下側流路との間を確実にシールすることができる。つまり、ボルトの締め付け動作により、下側継手部に対して上側継手部を着脱可能に連結することができると同時に、上側流路と下側流路との間を確実にシールすることができる。
本発明の流体制御装置において、前記下側流路は、前記下側継手部の側面から該下側継手部の内部に向かって形成された内部流路と、この内部流路から前記下側継手部の上面に開口され前記制御機器本体に流通する第1上向き流路と、前記内部流路から前記下側継手部の突出部上面に開口され前記上側流路に連通される第2上向き流路と、前記内部流路の開口端を塞ぐ栓部材とを備える、ことが好ましい。
この発明によれば、下側継手部に、内部流路、第1上向き流路、第2上向き流路をドリルなどにより孔あけ加工したのち、内部流路の開口端を栓部材によって塞げば、下側流路を形成することができるから、簡単に加工できる。
例えば、下側継手部の内部に、内部流路、第1上向き流路、第2上向き流路を有するU字状流路を形成するには、通常、内部流路を分断し、分断した内部流路および第1上向き流路を有する第1部材と、分断した内部流路および第2上向き流路を有する第2部材とを形成し、これを結合する必要があるため、工数が増え、高くつくという欠点がある。これに対して、本発明では、上述したように1つの部材に孔あけ加工することによって構成することができるため、簡単かつ安価にできる利点がある。
この発明によれば、下側継手部に、内部流路、第1上向き流路、第2上向き流路をドリルなどにより孔あけ加工したのち、内部流路の開口端を栓部材によって塞げば、下側流路を形成することができるから、簡単に加工できる。
例えば、下側継手部の内部に、内部流路、第1上向き流路、第2上向き流路を有するU字状流路を形成するには、通常、内部流路を分断し、分断した内部流路および第1上向き流路を有する第1部材と、分断した内部流路および第2上向き流路を有する第2部材とを形成し、これを結合する必要があるため、工数が増え、高くつくという欠点がある。これに対して、本発明では、上述したように1つの部材に孔あけ加工することによって構成することができるため、簡単かつ安価にできる利点がある。
本発明の流体制御装置において、前記上側流路は、前記上側継手部の側面から該上側継手部の内部に向かって形成された内部流路と、この内部流路から前記上側継手部の上面に開口され前記制御機器本体に流通する上向き流路と、前記内部流路から前記上側継手部の突出部下面に開口され前記下側流路に連通される下向き流路と、前記内部流路の開口端を塞ぐ栓部材とを備える、ことが好ましい。
この発明によれば、上側流路と同様に、上側継手部に、内部流路、上向き流路、下向き流路をドリルなどにより孔あけ加工したのち、内部流路の開口端を栓部材によって塞げば、下側流路を形成することができるから、簡単かつ安価にできる。
この発明によれば、上側流路と同様に、上側継手部に、内部流路、上向き流路、下向き流路をドリルなどにより孔あけ加工したのち、内部流路の開口端を栓部材によって塞げば、下側流路を形成することができるから、簡単かつ安価にできる。
本実施形態は、流体(ガス)を一列に配列された複数の流体制御機器を通して制御する集積化ガススティックに適用した例である。
この集積化ガススティックは、図1および図2に示すように、ベースプレート1と、このベースプレート1の上に一列に配列された複数の流体制御機器、ここでは、マニュアルバルブ2、エアーバルブ3、マスフローコントローラ4、エアーバルブ5、ニードルバルブ6およびフィルタ7と、マニュアルバルブ2に支持ブロック8を介して流体を供給する配管9と、フィルタ7からの流体を半導体製造設備などに供給する配管10とを備える。
この集積化ガススティックは、図1および図2に示すように、ベースプレート1と、このベースプレート1の上に一列に配列された複数の流体制御機器、ここでは、マニュアルバルブ2、エアーバルブ3、マスフローコントローラ4、エアーバルブ5、ニードルバルブ6およびフィルタ7と、マニュアルバルブ2に支持ブロック8を介して流体を供給する配管9と、フィルタ7からの流体を半導体製造設備などに供給する配管10とを備える。
マニュアルバルブ2は、制御機器本体としてのマニュアルバルブ本体21と、このマニュアルバルブ本体21の下部に設けられマニュアルバルブ本体21よりも配列前後方向(図1,図2中左右方向)へ突出する突出部22A,22Bを有する継手部22とを備える。
マニュアルバルブ本体21は、手動操作によって弁21Aを後述する弁座に対して昇降させる構造である。
継手部22は、後段のエアーバルブ3の継手部の上側に配置される上側継手部を構成するもので、上面中央位置にマニュアルバルブ本体21の下端部を取り付けるための取付穴23および弁座24が形成されているとともに、内部に取付穴23を介してマニュアルバルブ本体21に連通するとともに上側継手部22の突出部22A,22Bの下面に開口する流体流入用上側流路25Aおよび流体流出用上側流路25Bが形成されている。取付穴23の内周面には雌ねじが形成されている。
マニュアルバルブ本体21は、手動操作によって弁21Aを後述する弁座に対して昇降させる構造である。
継手部22は、後段のエアーバルブ3の継手部の上側に配置される上側継手部を構成するもので、上面中央位置にマニュアルバルブ本体21の下端部を取り付けるための取付穴23および弁座24が形成されているとともに、内部に取付穴23を介してマニュアルバルブ本体21に連通するとともに上側継手部22の突出部22A,22Bの下面に開口する流体流入用上側流路25Aおよび流体流出用上側流路25Bが形成されている。取付穴23の内周面には雌ねじが形成されている。
流体流入用上側流路25Aは、図3に示すように、上側継手部22の前側面から該上側継手部の内部に向かって形成された内部流路26Aと、この内部流路26Aから弁座24を介して取付穴23に開口されマニュアルバルブ本体21に流通する上向き流路27Aと、内部流路26Aから上側継手部22の突出部22A下面に開口された下向き流路28Aと、内部流路26Aの開口端(継手部の前側面の開口端)を塞ぐ栓部材29Aとを備える。下向き流路28Aは、支持ブロック8に形成された流路8Aを介して、配管9に接続されている。
流体流出用上側流路25Bは、図3に示すように、上側継手部22の後側面から該上側継手部22の内部に向かって形成された内部流路26Bと、この内部流路26Bから取付穴23に開口されマニュアルバルブ本体21に連通する上向き流路27Bと、内部流路26Bから上側継手部22の突出部22B下面に開口された下向き流路28Bと、内部流路26Bの開口端(継手部の後側面の開口端)を塞ぐ栓部材29Bとを備える。
流体流出用上側流路25Bは、図3に示すように、上側継手部22の後側面から該上側継手部22の内部に向かって形成された内部流路26Bと、この内部流路26Bから取付穴23に開口されマニュアルバルブ本体21に連通する上向き流路27Bと、内部流路26Bから上側継手部22の突出部22B下面に開口された下向き流路28Bと、内部流路26Bの開口端(継手部の後側面の開口端)を塞ぐ栓部材29Bとを備える。
エアーバルブ3,5は、制御機器本体としてのエアーバルブ本体31と、このエアーバルブ本体31に設けられエアーバルブ本体31よりも配列前後方向へ突出する突出部32A,32Bを有する継手部32とを備える。
エアーバルブ本体31は、エアーの供給・遮断を制御することによって弁31Aを後述する弁座に対して昇降させる構造である。
継手部32は、下側継手部を構成するもので、上面中央位置にエアーバルブ本体31の下端部を取り付けるための取付穴33および弁座34が形成されているとともに、内部に取付穴33を介してエアーバルブ本体31に連通するとともに下側継手部32の突出部32A,32Bの上面に開口する流体流入用下側流路35Aおよび流体流出用下側流路35Bが形成されている。
エアーバルブ本体31は、エアーの供給・遮断を制御することによって弁31Aを後述する弁座に対して昇降させる構造である。
継手部32は、下側継手部を構成するもので、上面中央位置にエアーバルブ本体31の下端部を取り付けるための取付穴33および弁座34が形成されているとともに、内部に取付穴33を介してエアーバルブ本体31に連通するとともに下側継手部32の突出部32A,32Bの上面に開口する流体流入用下側流路35Aおよび流体流出用下側流路35Bが形成されている。
流体流入用下側流路35Aは、図4に示すように、下側継手部32の前側面から該下側継手部32の内部に向かって形成された内部流路36Aと、この内部流路36Aから弁座34を介して取付穴33に開口されエアーバルブ本体31に流通する上向き流路37Aと、内部流路36Aから上側継手部32の突出部32A上面に開口された上向き流路38Aと、内部流路36Aの開口端(継手部の前側面の開口端)を塞ぐ栓部材39Aとを備える。
流体流出用下側流路35Bは、図4に示すように、下側継手部32の後側面から該下側継手部32の内部に向かって形成された内部流路36Bと、この内部流路36Bから取付穴33に開口されエアーバルブ本体31に連通する上向き流路37Bと、内部流路36Bから下側継手部32の突出部32B上面に開口された上向き流路38Bと、内部流路36Bの開口端(継手部の後側面の開口端)を塞ぐ栓部材39Bとを備える。
流体流出用下側流路35Bは、図4に示すように、下側継手部32の後側面から該下側継手部32の内部に向かって形成された内部流路36Bと、この内部流路36Bから取付穴33に開口されエアーバルブ本体31に連通する上向き流路37Bと、内部流路36Bから下側継手部32の突出部32B上面に開口された上向き流路38Bと、内部流路36Bの開口端(継手部の後側面の開口端)を塞ぐ栓部材39Bとを備える。
マスフローコントローラ4は、制御機器本体としてのマスフローコントローラ本体41と、このマスフローコントローラ本体41に設けられマスフローコントローラ本体41よりも配列前後方向へ突出する突出部42A,42Bを有する継手部42とを備える。
マスフローコントローラ本体41は、詳細構造を図示していないが、流体の流量を検出する流量検出部と、この流量検出部で検出された流量と設定された流量とを比較し、検出流量が設定流量になるように流体の流量を制御する制御部とを備える。
継手部42は、上側継手部を構成するもので、マスフローコントローラ本体41に連通するとともに該上側継手部42の突出部42A,42B下面に開口する流体流入用上側流路45Aおよび流体流出用上側流路45Bが形成されている。
マスフローコントローラ本体41は、詳細構造を図示していないが、流体の流量を検出する流量検出部と、この流量検出部で検出された流量と設定された流量とを比較し、検出流量が設定流量になるように流体の流量を制御する制御部とを備える。
継手部42は、上側継手部を構成するもので、マスフローコントローラ本体41に連通するとともに該上側継手部42の突出部42A,42B下面に開口する流体流入用上側流路45Aおよび流体流出用上側流路45Bが形成されている。
ニードルバルブ6は、制御機器本体としてのニードルバルブ本体61と、このニードルバルブ本体61に設けられニードルバルブ本体61よりも配列前後方向へ突出する突出部62A,62Bを有する継手部62とを備える。
ニードルバルブ本体61は、弁座に対して、ニードル61Aを進退させることにより流量を調整するよう構成されている。
継手部62は、上側継手部を構成するもので、図3に示す構成と同様な構成を備えている。このため、上側継手部62の詳細については、図3をもって説明を省略する。
ニードルバルブ本体61は、弁座に対して、ニードル61Aを進退させることにより流量を調整するよう構成されている。
継手部62は、上側継手部を構成するもので、図3に示す構成と同様な構成を備えている。このため、上側継手部62の詳細については、図3をもって説明を省略する。
フィルタ7は、制御機器本体としてのフィルタ本体71と、このフィルタ本体71に設けられフィルタ本体71よりも配列前後方向へ突出する突出部72A,72Bを有する継手部72とを備える。
フィルタ本体71は、ニードルバルブ6から排出された流体を濾過するものである。
継手部72は、下側継手部を構成するもので、内部にフィルタ本体71に連通するとともに下側継手部72の突出部72A,72Bの上面に開口する流体流入用下側流路75Aおよび流体流出用下側流路75Bが形成されている。これら流体流入用下側流路75Aおよび流体流出用下側流路75Bは、基本的には図4と同じ構成を備えているため、詳細な説明は省略する。ただし、流体流出用下側流路75Bの開口端は、栓部材で塞がれていず、配管10が接続されている。
フィルタ本体71は、ニードルバルブ6から排出された流体を濾過するものである。
継手部72は、下側継手部を構成するもので、内部にフィルタ本体71に連通するとともに下側継手部72の突出部72A,72Bの上面に開口する流体流入用下側流路75Aおよび流体流出用下側流路75Bが形成されている。これら流体流入用下側流路75Aおよび流体流出用下側流路75Bは、基本的には図4と同じ構成を備えているため、詳細な説明は省略する。ただし、流体流出用下側流路75Bの開口端は、栓部材で塞がれていず、配管10が接続されている。
このように構成された流体制御機器は、ベースプレート1の上に一列に配列される。つまり、マニュアルバルブ2、エアーバルブ3、マスフローコントローラ4、エアーバルブ5、ニードルバルブ6、フィルタ7が一列に配列される。
この際、これら流体制御機器の隣接する継手部22,32,42,32,62,72の突出部22A,22B、32A,32B、42A,42B、32A,32B、62A,62B、72A,72Bが上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置される。具体的には、支持ブロック8の上にマニュアルバルブ2の上側継手部22の突出部22Aが重ねられ、この上側継手部22の突出部22Bの下にエアーバルブ3の下側継手部32の突出部32Aが挿入され、この下側継手部32の突出部32Bの上にマスフローコントローラ4の上側継手部42の突出部42Aが重ねられる。同様にして、エアーバルブ5の下側継手部32、ニードルバルブ6の上側継手部62、フィルタ7の下側継手部72の突出部が上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置される。
なお、これらの配置にあたって、上側継手部22,42,62の下面と下側継手部32,32,72の上面との接合面において、上側流路と下側流路との間にガスケット81を挿入しておく。
この際、これら流体制御機器の隣接する継手部22,32,42,32,62,72の突出部22A,22B、32A,32B、42A,42B、32A,32B、62A,62B、72A,72Bが上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置される。具体的には、支持ブロック8の上にマニュアルバルブ2の上側継手部22の突出部22Aが重ねられ、この上側継手部22の突出部22Bの下にエアーバルブ3の下側継手部32の突出部32Aが挿入され、この下側継手部32の突出部32Bの上にマスフローコントローラ4の上側継手部42の突出部42Aが重ねられる。同様にして、エアーバルブ5の下側継手部32、ニードルバルブ6の上側継手部62、フィルタ7の下側継手部72の突出部が上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置される。
なお、これらの配置にあたって、上側継手部22,42,62の下面と下側継手部32,32,72の上面との接合面において、上側流路と下側流路との間にガスケット81を挿入しておく。
すると、配管9→支持ブロック8の流路8A→上側継手部22の流体流入用上側流路25A→マニュアルバルブ本体21→上側継手部22の流体流出用上側流路25B→下側継手部32の流体流入用下側流路35A→エアーバルブ本体31→下側継手部32の流体流出用下側流路35B→上側継手部42の流体流入用上側流路45A→マスフローコントローラ本体41へと流路が形成される。
また、マスフローコントローラ本体41→上側継手部42の流体流出用上側流路45B→下側継手部32の流体流入用下側流路35A→エアーバルブ本体31→下側継手部32の流体流出用上側流路35B→上側継手部62の流体流入用上側流路25A→ニードルバルブ本体61→上側継手部62の流体流出用上側流路25B→下側継手部72の流体流入用下側流路75A→フィルタ本体71→下側継手部72の流体流出用下側流路75B→配管10へと流路が形成される。
また、マスフローコントローラ本体41→上側継手部42の流体流出用上側流路45B→下側継手部32の流体流入用下側流路35A→エアーバルブ本体31→下側継手部32の流体流出用上側流路35B→上側継手部62の流体流入用上側流路25A→ニードルバルブ本体61→上側継手部62の流体流出用上側流路25B→下側継手部72の流体流入用下側流路75A→フィルタ本体71→下側継手部72の流体流出用下側流路75B→配管10へと流路が形成される。
この状態、つまり、上側継手部22,42,62の突出部および下側継手部32,32,72の突出部が上下に重ね合わされた状態において、これらの重ね合わされた突出部のうえからボルト82を突出部を通してベースプレート1に螺合させる。具体的には、図2に示すように、突出部の幅方向(配列方向に対して直交する方向)の両端側からボルト82をベースプレート1に締め付ける。
すると、下側継手部32,32,72に対して上側継手部22,42,62が着脱可能に連結される。同時に、上側継手部22,42,62の下面と下側継手部32,32,72の上面との接合面において、上側流路と下側流路との間に挿入されたガスケット81が圧縮されるため、上側流路と下側流路との間を確実にシールすることができる。つまり、ボルト82の締め付け動作により、下側継手部32,32,72に対して上側継手部22,42,62を着脱可能に連結することができると同時に、上側流路と下側流路との間を確実にシールすることができる。
すると、下側継手部32,32,72に対して上側継手部22,42,62が着脱可能に連結される。同時に、上側継手部22,42,62の下面と下側継手部32,32,72の上面との接合面において、上側流路と下側流路との間に挿入されたガスケット81が圧縮されるため、上側流路と下側流路との間を確実にシールすることができる。つまり、ボルト82の締め付け動作により、下側継手部32,32,72に対して上側継手部22,42,62を着脱可能に連結することができると同時に、上側流路と下側流路との間を確実にシールすることができる。
<実施形態の効果>
(1)各流体制御機器に設けられた継手部22,32,42,32,62,72は、隣接する継手部22,32,42,32,62,72の突出部が上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置されているから、継手部22,32,42,32,62,72の突出部が上下に重なった部分だけ配列方向の長さ寸法を短くできる。従って、流体制御機器の集積度を高めることができる。
(2)下側継手部32,32,72の突出部の上に上側継手部22,42,62の突出部が重ねられると、上側継手部22,42,62に形成された上側流路25A,25B、45A,45B、25A,25Bが、下側継手部32,32,72に形成された下側流路35A,35B、35A,35B、75A,75Bに連通されるから、隣接する流体制御機器を連通させるための連結ブロックなどを不要にできる。従って、部品点数を削減できる。
(3)複数の流体制御機器を組み合わせるにも、隣接する継手部22,32,42,32,62,72の突出部を、上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置するだけでよいから、流体制御機器の組み合わせの自由度も制限されることがない。
(1)各流体制御機器に設けられた継手部22,32,42,32,62,72は、隣接する継手部22,32,42,32,62,72の突出部が上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置されているから、継手部22,32,42,32,62,72の突出部が上下に重なった部分だけ配列方向の長さ寸法を短くできる。従って、流体制御機器の集積度を高めることができる。
(2)下側継手部32,32,72の突出部の上に上側継手部22,42,62の突出部が重ねられると、上側継手部22,42,62に形成された上側流路25A,25B、45A,45B、25A,25Bが、下側継手部32,32,72に形成された下側流路35A,35B、35A,35B、75A,75Bに連通されるから、隣接する流体制御機器を連通させるための連結ブロックなどを不要にできる。従って、部品点数を削減できる。
(3)複数の流体制御機器を組み合わせるにも、隣接する継手部22,32,42,32,62,72の突出部を、上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置するだけでよいから、流体制御機器の組み合わせの自由度も制限されることがない。
(4)マスフローコントローラ4は、マスフローコントローラ本体41と、上側継手部42とを備え、上側継手部42がエアーバルブ3,5の下側継手部32,32の上に重ねられた状態で着脱可能に連結されているから、マスフローコントローラ4の脱着を容易に行うことができる。
一般的に、マスフローコントローラは、メンテナンスや故障などのために定期的に取り外す必要が生じるが、本実施形態では、上述した構成であるから、マスフローコントローラの脱着を容易に行うことができる。
一般的に、マスフローコントローラは、メンテナンスや故障などのために定期的に取り外す必要が生じるが、本実施形態では、上述した構成であるから、マスフローコントローラの脱着を容易に行うことができる。
(5)この際、マスフローコントローラ4の前段および後段にエアーバルブ3,5が配置されているから、エアーバルブ3,5によって流体の流通を遮断することができる。そのため、マスフローコントローラ4の脱着時に流体を遮断した状態で行うことができるため、脱着作業を容易に行うことができる。
(6)下側継手部32,32,72の突出部の上に上側継手部22,42,62の突出部が重ねられた状態において、上側継手部22,42,62および下側継手部32,32,72の重ね合わされた突出部を通して、ベースプレート1にボルト82を螺合すると、下側継手部32,32,72に対して上側継手部22,42,62が着脱可能に連結される。このとき、上側継手部22,42,62の下面と下側継手部32,32,72の上面との接合面において、上側流路と下側流路との間に挿入されたガスケット81が圧縮されるため、上側流路と下側流路との間を確実にシールすることができる。つまり、ボルト82の締め付け動作により、下側継手部32,32,72に対して上側継手部22,42,62を着脱可能に連結することができると同時に、上側流路と下側流路との間を確実にシールすることができる。
(7)下側継手部32の下側流路35A,35Bは、下側継手部32に内部流路36A,36B、上向き流路37A,37B、38A,38Bをドリルなどにより孔あけ加工したのち、内部流路36A,36Bの開口端を栓部材39A,39Bによって塞げば、構成することができるから、簡単に加工できる。
同様に、上側継手部22の上側流路25A,25Bについても、同様に行える。
同様に、上側継手部22の上側流路25A,25Bについても、同様に行える。
<変形例>
本発明は、前述の実施形態に限定されるものでなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本発明に含まれる。
前記実施形態では、6つの流体制御機器を一列に配列した流体制御装置を例に説明したが、流体制御機器の数については、前記実施形態に限られない。例えば、マスフローコントローラ4と、これに隣接して接続される2つのバルブとで構成してもよい。あるいは、複数の流体制御機器を一列に配列した集積化ガススティックを、ベースプレート1の上に複数並設して集積化ガスパネルとしてもよい。
要は、少なくとも3つ以上の流体制御機器を一列に配列した流体制御装置であれば、全てに適用できる。
本発明は、前述の実施形態に限定されるものでなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本発明に含まれる。
前記実施形態では、6つの流体制御機器を一列に配列した流体制御装置を例に説明したが、流体制御機器の数については、前記実施形態に限られない。例えば、マスフローコントローラ4と、これに隣接して接続される2つのバルブとで構成してもよい。あるいは、複数の流体制御機器を一列に配列した集積化ガススティックを、ベースプレート1の上に複数並設して集積化ガスパネルとしてもよい。
要は、少なくとも3つ以上の流体制御機器を一列に配列した流体制御装置であれば、全てに適用できる。
前記実施形態では、流体の流量を制御するシステムについて説明したが、これに限らず、流体の圧力を制御する流体制御装置であってもよい。
また、流体としては、ガスに限らず、液体であってもよい。
また、流体としては、ガスに限らず、液体であってもよい。
前記実施形態では、上側流路および下側流路を、ドリルなどで穴あけ加工した内部流路、上向き流路、下向き流路と、栓部材によって構成したが、これに限られない。
本発明は、例えば、半導体製造設備などにおいて、流体の流量を制御する装置や、流体の圧力を制御する装置などに利用できる。
1…ベースプレート、
2…マニュアルバルブ(流体制御機器)、
3…エアーバルブ(流体制御機器)、
4…マスフローコントローラ(流体制御機器)、
5…エアーバルブ(流体制御機器)、
6…ニードルバルブ(流体制御機器)、
7…フィルタ(流体制御機器)、
21…マニュアルバルブ本体(制御機器本体)、
22…継手部(上側継手部)、
22A,22B…突出部、
25A…流体流入用上側流路、
25B…流体流出用上側流路、
26A,26B…内部流路、
27A,27B…上向き流路、
28A,28B…下向き流路、
29A,29B…栓部材、
31…エアーバルブ本体(制御機器本体)、
32…継手部(下側継手部)、
32A,32B…突出部、
35A…流体流入用上側流路、
35B…流体流出用上側流路、
36A,36B…内部流路、
37A,37B…第1上向き流路、
38A,38B…第2上向き流路、
39A,39B…栓部材、
41…マスフローコントローラ本体(制御機器本体)、
42…継手部(上側継手部)、
42A,42B…突出部、
45A…流体流入用上側流路、
45B…流体流出用上側流路、
61…ニードルバルブ本体(制御機器本体)、
62…継手部(下側継手部)、
62A,62B…突出部、
71…フィルタ本体(制御機器本体)、
72…継手部(上側継手部)、
72A,72B…突出部、
75A…流体流入用上側流路、
75B…流体流出用上側流路、
81…ガスケット、
82…ボルト。
2…マニュアルバルブ(流体制御機器)、
3…エアーバルブ(流体制御機器)、
4…マスフローコントローラ(流体制御機器)、
5…エアーバルブ(流体制御機器)、
6…ニードルバルブ(流体制御機器)、
7…フィルタ(流体制御機器)、
21…マニュアルバルブ本体(制御機器本体)、
22…継手部(上側継手部)、
22A,22B…突出部、
25A…流体流入用上側流路、
25B…流体流出用上側流路、
26A,26B…内部流路、
27A,27B…上向き流路、
28A,28B…下向き流路、
29A,29B…栓部材、
31…エアーバルブ本体(制御機器本体)、
32…継手部(下側継手部)、
32A,32B…突出部、
35A…流体流入用上側流路、
35B…流体流出用上側流路、
36A,36B…内部流路、
37A,37B…第1上向き流路、
38A,38B…第2上向き流路、
39A,39B…栓部材、
41…マスフローコントローラ本体(制御機器本体)、
42…継手部(上側継手部)、
42A,42B…突出部、
45A…流体流入用上側流路、
45B…流体流出用上側流路、
61…ニードルバルブ本体(制御機器本体)、
62…継手部(下側継手部)、
62A,62B…突出部、
71…フィルタ本体(制御機器本体)、
72…継手部(上側継手部)、
72A,72B…突出部、
75A…流体流入用上側流路、
75B…流体流出用上側流路、
81…ガスケット、
82…ボルト。
Claims (4)
- 流体を一列に配列された複数の流体制御機器を通して制御する流体制御装置において、
前記流体制御機器は、制御機器本体と、この制御機器本体に設けられ該制御機器本体よりも前記配列前後方向へ突出する突出部を有する継手部とを備え、
前記継手部は、隣接する継手部の突出部が上下にかつ前記配列方向に沿って上下交互に重なるように配置され、
前記上側に配置された上側継手部には、前記制御機器本体に連通するとともに該上側継手部の突出部下面に開口する上側流路が形成され、
前記下側に配置された下側継手部には、前記制御機器本体に連通するとともに該下側継手部の突出部上面に開口しかつ前記上側流路に連通する下側流路が形成され、
前記下側継手部の突出部の上に前記上側継手部の突出部が重ねられた状態で、前記下側継手部に対して前記上側継手部が着脱可能に連結されている、ことを特徴とする流体制御装置。 - 請求項1に記載の流体制御装置において、
前記下側継手部を載置するベースプレートを備え、
前記上側継手部の下面と前記下側継手部の上面との接合面において、前記上側流路と前記下側流路との間にはガスケットが挿入され、
前記上側継手部および前記下側継手部の重ね合わされた突出部を通して前記ベースプレートに螺合されたボルトにより、前記下側継手部に対して前記上側継手部が着脱可能に連結されている、ことを特徴とする流体制御装置。 - 請求項1または請求項2に記載の流体制御装置において、
前記下側流路は、前記下側継手部の側面から該下側継手部の内部に向かって形成された内部流路と、この内部流路から前記下側継手部の上面に開口され前記制御機器本体に流通する第1上向き流路と、前記内部流路から前記下側継手部の突出部上面に開口され前記上側流路に連通される第2上向き流路と、前記内部流路の開口端を塞ぐ栓部材とを備える、ことを特徴とする流体制御装置。 - 請求項1〜請求項3のいずれかに記載の流体制御装置において、
前記上側流路は、前記上側継手部の側面から該上側継手部の内部に向かって形成された内部流路と、この内部流路から前記上側継手部の上面に開口され前記制御機器本体に流通する上向き流路と、前記内部流路から前記上側継手部の突出部下面に開口され前記下側流路に連通される下向き流路と、前記内部流路の開口端を塞ぐ栓部材とを備える、ことを特徴とする流体制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009042316A JP2010196792A (ja) | 2009-02-25 | 2009-02-25 | 流体制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2009042316A JP2010196792A (ja) | 2009-02-25 | 2009-02-25 | 流体制御装置 |
Publications (1)
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ID=42821715
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JP2009042316A Pending JP2010196792A (ja) | 2009-02-25 | 2009-02-25 | 流体制御装置 |
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JP (1) | JP2010196792A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN104704283A (zh) * | 2012-04-27 | 2015-06-10 | 株式会社富士金 | 流体控制装置 |
-
2009
- 2009-02-25 JP JP2009042316A patent/JP2010196792A/ja active Pending
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