TW201839305A - 轉換接頭、具有此轉換接頭的整合型流體供給裝置以及流體零件的安裝方法 - Google Patents

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Abstract

為了提供一種作成可使用尺寸與對應於基塊之流體用零件相異之流體用零件的轉換接頭，本發明之轉換接頭係包括：在基塊上所配置之第1基部；第2基部，係在離開基塊之第1方向與第1基部分開，並被設置尺寸與在基塊上所設置之流體用零件相異的第1流體用零件；中間部，係連接第1基部與第2基部；一端側流路，係貫穿第2基部、中間部以及第1基部，並與基塊之第1流路的一端連接；以及另一端側流路，係貫穿第2基部、中間部以及第1基部，並與基塊之第2流路的另一端連接；一端側流路之第2基部側的第1開口部與另一端側流路之第2基部側的第2開口部被設定成可與第1流體用零件之流體流入口及第1流體用零件之流體流出口連接。

Description

轉換接頭、具有此轉換接頭的整合型流體供給裝置以及流體零件的安裝方法
本發明係有關於一種轉換接頭、具有此轉換接頭的整合型流體供給裝置以及流體零件的安裝方法。
以往，在半導體製造裝置，在供給各種氣體之供給管線使用整合化流體供給裝置(以下亦稱為整合型流體供給裝置)(參照專利文獻1)。 具體而言，在一條氣體供給管線，使用手動閥、壓力轉換器、調壓器、過濾器、質量流量控制器以及氣動閥等的流體用零件，但是藉由以位於下側之方式形成於該流體用零件之流體流入口及流體流出口，且將形成連接流體用零件之間的流路之基塊配置於流體用零件之下側，將流體用零件之排列方向的寬度整合成小型。 [先行專利文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2002－130479號公報
[發明所欲解決之課題]
而，在整合型流體供給裝置，有使用外形尺寸為約1.5英吋之基塊及對應於該基塊之流體用零件的時期，但是因為要求進一步的整合化，在現在，使用外形尺寸是約1.125英吋之基塊者成為主流，各流體用零件亦成為對應於外形尺寸是約1.125英吋之基塊者。
可是，最近，出現使過去所使用之1.5英吋之基塊的整合型流體供給裝置復活，生產小批量之半導體晶圓的使用者或購買中古市場之1.5英吋之基塊的整合型流體供給裝置來生產半導體晶圓的使用者等。
而且，從這些使用者伴隨流體用零件之更換，有對應於1.5英吋之基塊之流體用零件的交易，但是在現況，因為對應於1.5英吋之基塊的流體用零件係變成接單生產，所以具有昂貴且交貨期長的問題。根據情況，1.5英吋之流體用零件變成停止生產，而僅生產1.125英吋之流體用零件的亦不少。
本發明係鑑於上述之情況所開發者，其目的在於提供一種作成可使用尺寸與對應於基塊之流體用零件相異之流體用零件的轉換接頭及具有該轉換接頭之整合型流體供給裝置。 [解決課題之手段]
本發明係為了達成該目的，藉以下的構成所掌握。 (1) 本發明之轉換接頭係具有與在基塊所形成之第1流路及第2流路連接之流路的轉換接頭，其特徵為：該轉換接頭係包括：在一個該基塊上或2個該基塊上所配置之第1基部；第2基部，係在離開該基塊之第1方向與該第1基部分開，並被設置尺寸與在該基塊之設置該轉換接頭的位置所設置之流體用零件相異的第1流體用零件；中間部，係位於該第1基部與該第2基部之間，並連接該第1基部與該第2基部；一端側流路，係貫穿該第2基部、該中間部以及該第1基部，並與該基塊之該第1流路的一端連接；以及另一端側流路，係貫穿該第2基部、該中間部以及該第1基部，並與該基塊之該第2流路的另一端連接；該一端側流路之該第2基部側的第1開口部與該另一端側流路之該第2基部側的第2開口部被設定成可與該第1流體用零件之流體流入口及該第1流體用零件之流體流出口連接。
(2)在該(1)項的構成，該第1基部係形成沿著從該第1流體用零件之該流體流入口往該流體流出口之方向的第2方向配置2組相向的側面中之1組相向的側面之大致矩形的第1外形；該第2基部係形成為具有與該第1外形相異之第2外形的大致矩形；該中間部係與該第1方向及該第2方向正交之第3方向的第1寬度比該一端側流路之第1內徑及該另一端側流路之第2內徑更大，且比2組該第1外形之相向的側面之間的距離之任一距離更小。
(3)在該(2)項的構成，該中間部係該第1寬度比2組該第2外形之相向的側面之間的距離之任一距離更小。
(4)在該(2)或(3)項的構成，在該第1基部，4個螺絲貫穿部被設置於形成矩形的位置；在該第2基部，4個螺絲螺合部被設置於形成矩形的位置；該中間部係該第1寬度比4個鄰接之該螺絲貫穿部之間的距離之任一距離更小，且比4個鄰接之該螺絲螺合部之間的距離之任一距離更小。
(5)在該(4)項的構成，在以該第2基部為正面，並在該第1基部與該第2基部所重疊之方向觀察時，該第2基部與該螺絲貫穿部的螺絲所在之部分的至少一部分重疊；該螺絲貫穿部係以在該第1基部之側面開放的缺口形成於該第1基部。
(6)在該(1)至(5)項中任一項的構成，該第1開口部與該一端側流路之該第1基部側的第3開口部之間之該一端側流路的第1內徑係大致均勻的內徑；該第3開口部被擴徑成比該一端側流路之第1內徑更大；該第2開口部與該另一端側流路之該第1基部側的第4開口部之間之該另一端側流路的第2內徑係大致均勻的內徑；該第4開口部被擴徑成比該另一端側流路之第2內徑更大。
(7)本發明之整合型流體供給裝置係至少包括：具有該(1)至(6)項中任一項之構成的轉換接頭；至少具有該第1流路及該第2流路之一個該基塊，或至少具有該第1流路之該基塊及至少具有該第2流路之該基塊的2個該基塊；以及該第1流體用零件。
(8)本發明之流體零件的安裝方法係使用具有與在基塊所形成之第1流路及第2流路連接之流路的轉換接頭之流體零件的安裝方法，該轉換接頭係包括：在該基塊上所配置之第1基部；第2基部，係在離開該基塊之第1方向與該第1基部分開，並被設置尺寸與在該基塊之設置該轉換接頭的位置所設置之流體用零件相異的第1流體用零件；中間部，係位於該第1基部與該第2基部之間，並連接該第1基部與該第2基部；一端側流路，係貫穿該第2基部、該中間部以及該第1基部，並與該基塊之該第1流路的一端連接；以及另一端側流路，係貫穿該第2基部、該中間部以及該第1基部，並與該基塊之該第2流路的另一端連接；使用轉換接頭使流體用零件之流路與在該基塊所形成之該第1流路及該第2流路連通，該轉換接頭係該一端側流路之該第2基部側的第1開口部與該另一端側流路之該第2基部側的第2開口部被設定成可與該第1流體用零件之流體流入口及該第1流體用零件之流體流出口連接。 [發明效果]
若依據本發明，可提供一種具有作成可使用尺寸與對應於基塊之流體用零件相異的流體用零件之轉換接頭的整合型流體供給裝置。
以下，根據附加之圖面，詳細地說明用以實施本發明之形態(以下稱為「實施形態」)。 此外，在實施形態之說明的整體，對相同之元件附加相同之符號。
第1圖係說明成為使用本發明之實施形態的轉換接頭40之對象的整合型流體供給裝置1之立體圖，表示使用約1.5英吋之基塊A的整合型流體供給裝置1。
此外，在以下的說明，在第1圖所示之XYZ軸，將Z軸方向稱為第1方向Z，將X軸方向稱為第2方向X，將Y軸方向稱為第3方向Y，在其他的圖也是一樣。
如第1圖所示，整合型流體供給裝置1係包括：複數個基塊A，係在成為基塊A之排列方向的第2方向X所排列；及流體用零件B，係被設置成將鄰接的基塊A之間架橋；各基塊A係被固定於未圖示之基板上之既定位置。
流體用零件B係一般從手動閥、壓力轉換器、調壓器、過濾器、質量流量控制器以及氣動閥等所選擇，按照何種順序排列哪個零件係根據氣體供給管線所要求之規格所決定。
因此，根據規格，流體用零件B有使用手動閥、壓力轉換器、調壓器、過濾器、質量流量控制器以及氣動閥以外之具有別的功能之零件的情況。
此外，第1圖係僅圖示與一種氣體供給管線對應的部分，整合型流體供給裝置1係因應於所需之氣體種類的個數，將一樣之氣體供給管線整合成在第3方向Y排列。
第2圖係說明替換成係尺寸與被設置成在第1圖所示之第1基塊A1及第2基塊A2之間架橋之預定的流體用零件B1(例如1.5英吋用之氣動閥)相異之第1流體用零件30(例如1.125英吋用之氣動閥)的情況之側視圖。
此外，在第2圖，為了了解形成於第1基塊A1內之第1流路10及形成於第2基塊A2內之第2流路20，將第1基塊A1及第2基塊A2畫成剖面圖。 又，關於第1流體用零件30，亦為了了解流體流入口31及流體流出口32，而將流體流入口31及流體流出口32之周邊的一部分畫成剖面圖。
1.125英吋用之第1流體用零件30係整體上比被設置成在第1基塊A1及第2基塊A2之間架橋之預定之1.5英吋用的流體用零件B1更小型化，如上述所示，第1基塊A1及第2基塊A2係被固定於基板上之既定位置。
因此，如第2圖所示，將第1流體用零件30設置成在第1基塊A1及第2基塊A2之間架橋，亦因為不僅第1基塊A1之第1流路10之一端側開口部11的位置與第1流體用零件30之流體流入口31的位置不一致，而且一端側開口部11與流體流入口31之包含密封構造的尺寸本身亦不一致，所以無法連接成流體不洩漏。
一樣地，因為不僅第2基塊A2之第2流路20之另一端側開口部21的位置與第1流體用零件30之流體流出口32的位置不一致，而且另一端側開口部21與流體流出口32之包含密封構造的尺寸本身亦不一致，所以無法連接成流體不洩漏。
因此，藉由使用在以下所說明轉換接頭40，即使是尺寸與被設置成在第1基塊A1及第2基塊A2之間架橋之預定的1.5英吋用之流體用零件B1相異之1.125英吋用的第1流體用零件30，亦可設置成如上述所示之流體的洩漏不會發生。
第3圖係本實施形態之轉換接頭40的立體圖，第3圖的下側係第1基塊A1及第2基塊A2所在之側，上側係第1流體用零件30所在之側。
又，第4圖係從第3圖之箭號C1方向觀察轉換接頭40之側視圖，第5圖係從第3圖之箭號C2方向觀察轉換接頭40之側視圖，第6圖係從第3圖之箭號C3方向觀察轉換接頭40之平面圖。
進而，第7圖係表示使用轉換接頭40將第1流體用零件30與第1基塊A1及第2基塊A2連接時的側視圖。
此外，在第7圖，為了了解與第1基塊A1之第1流路10、第2基塊A2之第2流路20以及轉換接頭40之流路(與第1基塊A1之第1流路10的一端(一端側開口部11)連接之一端側流路44及與第2基塊A2之第2流路20的另一端(另一端側開口部21)連接之另一端側流路45)，而將第1基塊A1、第2基塊A2以及轉換接頭40畫成剖面圖。
又，在第7圖，與第2圖一樣，第1流體用零件30也為了了解流體流入口31及流體流出口32，而將流體流入口31及流體流出口32之周邊的一部分畫成剖面圖。
如第3圖至第7圖所示，轉換接頭40包括：第1基部41，係被配置於第1圖及第2圖所示之具有第1流路10的基塊A(第1基塊A1)及具有第2流路20之基塊A(第2基塊A2)的2個基塊A上；第2基部42，係在離開第1基塊A1及第2基塊A2之第1方向Z與第1基部41分開；以及中間部43，係位於第1基部41與第2基部42之間，並連接第1基部41與第2基部42。
此外，第2基部42係如後面之說明所示，是被設置尺寸與在設置於2個基塊A(第1基塊A1及第2基塊A2)之轉換接頭40的位置所設置之流體用零件B1相異之第1流體用零件30的部分。
又，如第7圖所示，轉換接頭40包括：一端側流路44，係貫穿第2基部42、中間部43以及第1基部41，並與第1基塊A1之第1流路10的一端(一端側開口部11)連接；及另一端側流路45，係貫穿第2基部42、中間部43以及第1基部41，並與第2基塊A2之第2流路20的另一端(另一端側開口部21)連接。
而，一端側流路44之第2基部42側的第1開口部44a與另一端側流路45之第2基部42側的第2開口部45a係第1開口部44a與第2開口部45a之間的分開距離被形成為與第1流體用零件30的流體流入口31與第1流體用零件30的流體流出口32之間的分開距離相同，並被設定成可與第1流體用零件30之流體流入口31與第1流體用零件30之流體流出口32連接。
又，在第1開口部44a的外周，如第6圖及第7圖所示，形成收容密封構件(例如金屬墊圈)的第1環狀槽44b，此第1環狀槽44b亦與在第1流體用零件30之流體流入口31的外周所形成之收容密封構件的入口側環狀槽31a(參照第7圖)相同。
因此，可原封不動地使用在第1流體用零件30所使用之密封構件。
一樣地，在第2開口部45a的外周，如第6圖及第7圖所示，形成收容密封構件的第2環狀槽45b，此第2環狀槽45b亦與在第1流體用零件30之流體流出口32的外周所形成之收容密封構件的出口側環狀槽32a(參照第7圖)相同。
因此，可原封不動地使用在第1流體用零件30所使用之密封構件。
另一方面，一端側流路44的第1內徑d1係被作成與第1流體用零件30之流體流入口31的開口徑大致接近的內徑，第1開口部44a與一端側流路44之第1基部41側的第3開口部44c之間的一端側流路44之第1內徑d1係成為大致均勻的內徑。
而，第3開口部44c係比一端側流路44之第1內徑d1更被擴徑成具有與第1基塊A1之第1流路10的一端側開口部11同程度的內徑，並作成第3開口部44c與一端側開口部11的連接不會成為異徑連接。
又，在第3開口部44c的外周，如第7圖所示，形成收容密封構件之第3環狀槽44d，此第3環狀槽44d亦成為與在第1基塊A1之一端側開口部11的外周所形成之收容密封構件的一端側環狀槽11a相同者。
因此，可原封不動地使用在第1基塊A1所使用之密封構件。
可是，雖然可將一端側流路44的第1內徑d1朝向第3開口部44c側擴大成錐狀亦不會成為異徑連接，但是因為依此方式時加工費用變貴，所以如本實施形態所示，將一端側流路44的第1內徑d1作成大致均勻的內徑，且第3開口部44c比一端側流路44的第1內徑d1更擴徑較佳。
一樣地，另一端側流路45的第2內徑d2係被作成與第1流體用零件30之流體流出口32的開口徑大致接近的內徑，第2開口部45a與另一端側流路45之第1基部41側的第4開口部45c之間的另一端側流路45之第2內徑d2係成為大致均勻的內徑。
而，第4開口部45c係比另一端側流路45之第2內徑d2更擴徑成具有與第2基塊A2之第2流路20的另一端側開口部21同程度的內徑，並作成第4開口部45c與另一端側開口部21的連接不會成為異徑連接。
又，在第4開口部45c的外周，如第7圖所示，形成收容密封構件之第4環狀槽45d，此第4環狀槽45d亦成為與在第2基塊A2之另一端側開口部21的外周所形成之收容密封構件的另一端側環狀槽21a相同者。
因此，可原封不動地使用在第2基塊A2所使用之密封構件。
在此情況，亦雖然可將另一端側流路45的第2內徑d2朝向第4開口部45c側擴大成錐狀不會成為異徑連接，但是因為依此方式時加工費用變貴，所以如本實施形態所示，將另一端側流路45的第2內徑d2作成大致均勻的內徑，且第4開口部45c比另一端側流路45的第2內徑d2更擴徑較佳。
此外，與在第1開口部44a及第2開口部45a之說明一樣，第3開口部44c與第4開口部45c之間的分開距離係被形成為與第1基塊A1之一端側開口部11和第2基塊A2的另一端側開口部21之間的分開距離相同，並被設定成可與一端側開口部11及另一端側開口部21連接。
而，在使用轉換接頭40時，第1基部41被固定於第1基塊A1及第2基塊A2，第1流體用零件30被固定於第2基部42，以下，說明此固定所需之構造等。
如第6圖所示，第1基部41係被形成為大致矩形的第1外形，在本實施形態，被形成為4個側面41a、41b、41c以及41d的長度都是D1之大致正四角形的第1外形。
具體而言，配合第1圖及第2圖所示之第1基塊A1及第2基塊A2之第3方向Y的寬度是約39.0[mm]，將長度D1作成約39.0[mm]。
而且，第1基部41係沿著成為第1圖所示之第1基塊A1及第2基塊A2的排列方向之第2方向X配置2組相向的側面(相向之側面41b、41d及相向之側面41a、41c)中一方之相向的側面(相向之側面41b、41d)。
此第2方向X係亦是從在第1基塊A1及第2基塊A2上所配置之流體用零件B1的流體流入口往流體流出口的方向。 因此，換言之，第1基部41係被形成為沿著從在第1基塊A1及第2基塊A2上所配置之流體用零件B1的流體流入口往流體流出口的方向之第2方向X配置2組相向的側面(相向之側面41b、41d及相向之側面41a、41c)中一方之相向的側面(相向之側面41b、41d)之大致矩形的第1外形。
在此情況，在側面41a及41c之長度D1比第1基塊A1及第2基塊A2之第3方向Y的寬度更長的情況，將轉換接頭40配置成將第1基塊A1及第2基塊A2之間架橋時，第1基部41成為比第1基塊A1及第2基塊A2更向第3方向Y側突出。
可是，如本實施形態所示，若側面41a及41c之長度D1與第1基塊A1及第2基塊A2之第3方向Y的寬度一致，可不會發生那種突出，而可避免與鄰接地配置之別的氣體供給管線發生干涉。 又，為了避免與鄰接之1.5英吋用之流體用零件B(參照第1圖)發生干涉，側面41b及41d之長度D1亦成為與第1基塊A1及第2基塊A2之第3方向Y的寬度一致。
此外，自此，成為第1基塊A1及第2基塊A2之排列方向的第2方向X相向之側面41a、41c及在與第2方向X正交之第3方向Y相向之側面41b、41d的長度D1係都是第1基塊A1及第2基塊A2之第3方向Y的寬度以下較佳，例如在是1.5英吋之第1基塊A1及第2基塊A2的情況，長度D1係約39[mm]以下。
而，如第6圖所示，在第1基部41，在相向之側面41b、41d將4個螺絲貫穿部41ba、41bb、41da以及41db設置於形成矩形的位置。
具體而言，在第1基部41之相向之側面41b、41d的第1基塊A1側，在與形成於第1基塊A1之螺絲螺合部對應的位置，以向第1基部41之側面41b、41d開放的缺口，形成螺絲貫穿部41ba、41da。
又，在第1基部41之相向之側面41b、41d的第2基塊A2側，在與形成於第2基塊A2之螺絲螺合部對應的位置，以向第1基部41之側面41b、41d開放的缺口，形成螺絲貫穿部41bb、41db。
此處，從第6圖得知，第2基部42係成為與第1基部41之第1外形相異的第2外形，更具體而言，比第1基部41之第1外形更小的外形。
依此方式，易接近第1基部41之4個螺絲貫穿部41ba、41bb、41da以及41db。 另一方面，第2基部42係具有大至可形成用以固定第1流體用零件30之螺絲螺合部42ba、42bb、42da以及42db之程度的第2外形。
因此，雖然第2基部42成為比第1基部41之第1外形更小的第2外形，但是如第6圖所示，在以第2基部42為正面，並在第1基部41與第2基部42所重疊之方向觀察時，因為第2基部42與螺絲貫穿部41ba、41bb、41da以及41db的螺絲所在之部分(R形狀部)的一部分重疊，所以成為難進行從上側以螺絲將第1基部41固定於第1基塊A1及第2基塊A2之作業的狀態。
此外，在以螺絲所在之部分(R形狀部)的中心為基準時，螺絲貫穿部41ba與41bb之間及螺絲貫穿部41da與41db之間的距離係約26.0[mm]，螺絲貫穿部41ba與41da之間及螺絲貫穿部41bb與41db之間的距離係約30.0[mm]。
因此，在本實施形態，不是以貫穿孔形成螺絲貫穿部41ba、41bb、41da以及41db，而是以缺口形成，藉此，作成能以從第1基部41之側面41b、41d滑動至內側的方式插入螺絲之構造。
若預先作成依此方式，因為使螺絲從第1基部41之側面41b、41d滑動至內側，並將螺絲轉動至以手指可輕輕地轉動處，使螺絲的上面與第2基部42之間之間隙的距離變大後，最後以六角扳手鎖緊，可進行固定作業，所以可提高作業性。
又，以缺口形成螺絲貫穿部41ba、41bb、41da以及41db時，因為可使用長度僅更長第1基部41的厚度H1(參照第4圖及第5圖)份量之長的螺絲，所以可使螺絲之鎖緊長度變長，而可確實地固定。
此外，在本實施形態，將第1基部41的厚度H1作成6.0[mm]。但是第1基部41的厚度H1係為了可得到充分的強度，是4.0[mm]以上較佳，是5.0[mm]以上更佳，是6.0[mm]以上尤其佳。
另一方面，厚度H1變成太厚時，若考慮到以缺口形成螺絲貫穿部41ba、41bb、41da以及41db的勞力與時間增加或第1方向Z的高度變高，第1基部41的厚度H1是10.0[mm]以下較佳，是9.0[mm]以下更佳，是8.0[mm]以下尤其佳。
其次，觀察第2基部42時，如第6圖所示，第2基部42亦與第1基部41一樣，形成為大致矩形的第2外形，在本實施形態，形成為4個側面42a、42b、42c以及42d的長度都是D2之大致正四角形的第2外形，具體而言，為了配合第1流體用零件30之底面的尺寸，將長度D2作成約28.5[mm]。
此外，在本實施形態，表示第2基部42係對4個角進行倒角加工成R形狀的例子，但是亦可未必對4個角進行倒角加工。 又，即使是進行倒角加工的情況，亦可是如切掉直線狀之倒角，而不是R形狀的倒角。
這一點係在第1基部41亦一樣。 即，在本實施形態，亦可第1基部41係未對4個角進行倒角加工，但是如第2基部42所示實施倒角加工。
而，第2基部42係被設置成2組相向的側面(相向之側面42b、42d及相向之側面42a、42c)中一方之相向的側面(相向之側面42b、42d)位於沿著成為第1圖所示之第1基塊A1及第2基塊A2的排列方向之第2方向X。
又，如第6圖所示，在第2基部42，在第1流體用零件30之與使螺絲穿過之螺絲貫穿孔對應的位置所設置之4個螺絲螺合部42ba、42bb、42da以及42db被設置於形成矩形的位置。
具體而言，在以螺絲螺合部42ba、42bb、42da以及42db之中心為基準時，螺絲螺合部42ba與42bb之間及螺絲螺合部42da與42db之間的距離係約20.0[mm]，螺絲螺合部42ba與42da之間及螺絲螺合部42bb與42db之間的距離係約21.8[mm]。
又，在本實施形態，將第2基部42的厚度H2(參照第4圖及第5圖)作成與第1基部41之厚度H1相同的6.0[mm]，但是與第1基部41一樣，第2基部42的厚度H2係為了可得到充分的強度，是4.0[mm]以上較佳，是5.0[mm]以上更佳，是6.0[mm]以上尤其佳，厚度H2變成太厚時，因為第1方向Z的高度變高，所以第2基部42的厚度H2是10.0[mm]以下較佳，是9.0[mm]以下更佳，是8.0[mm]以下尤其佳。
其次，觀察中間部43時，如第4圖所示，中間部43之第2方向X的第2寬度係從第2基部42的寬度W1往第1基部41的寬度W2擴大成錐狀。
此外，在本實施形態，中間部43係第1方向Z的高度F成為8.0[mm]，但是在此高度低的情況，因為將後述之一端側流路44及另一端側流路45形成為大為傾斜，所以要形成流路逐漸變難。 另一方面，在此高度F高的情況，第1方向Z的高度變高。 因此，此高度F係6.0[mm]以上且10.0[mm]以下較佳，7.0[mm]以上且9.0[mm]以下更佳。
而，依此方式，藉由作成第2方向X的第2寬度從第2基部42往第1基部41變寬，可形成連接與第1流體用零件30之流體流入口31及流體流出口32組應的第1開口部44a及第2開口部45a、和與第1基塊A1之一端側開口部11及第2基塊A2之另一端側開口部21組應的第3開口部44c及第4開口部45c之間的一端側流路44及另一端側流路45。
另一方面，如第5圖所示，中間部43之與第1方向Z及第2方向X正交之第3方向Y的第1寬度W3係為了形成一端側流路44及另一端側流路45，比一端側流路44之第1內徑d1(參照第7圖)及另一端側流路45之之第2內徑d2更大，具體而言，在本實施形態，第1寬度W3係成為約14.0[mm]。
而且，第1寬度W3係比第6圖所示之2組第1基部41之第1外形之相向的側面(相向之側面41b、41d及相向之側面41a、41c)之間的距離(參照長度D1)之任一距離更小，且比2組第2基部42之第2外形之相向的側面(相向之側面42b、42d及相向之側面42a、42c)之間的距離(參照長度D2)之任一距離更小，作為轉換接頭40的形狀成為在中間部43處縮腰的形狀。
更具體而言，第1寬度W3係比第1基部41之4個鄰接的螺絲貫穿部41ba、41bb、41da以及41db之間的距離之任一距離更小，且比第2基部42之4個鄰接的螺絲螺合部42ba、42bb、42da以及42db之間的距離之任一距離更小。
藉由依此方式，可確實地形成第1基部41的4個鄰接的螺絲貫穿部41ba、41bb、41da以及41db及第2基部42之4個螺絲螺合部42ba、42bb、42da以及42db。
但，在將第2基部42之4個螺絲螺合部42ba、42bb、42da以及42db形成為位於第2基部42之厚度H2內的情況，係不必在意第2基部42之4個螺絲螺合部42ba、42bb、42da以及42db，只要第1寬度W3係成為可形成第1基部41的4個鄰接的螺絲貫穿部41ba、41bb、41da以及41db之程度的寬度即可。
以上，根據實施形態，說明了本發明，但是本發明係不是被限定為實施形態，當然可在不超出本發明之主旨的範圍，進行各種的變更。
在上述之實施形態，說明了將流體用零件B1配置成跨在具有第1流路10之基塊A(第1基塊A1)及具有第2流路20之基塊A(第2基塊A2)的情況。
可是，亦有將第1流路10與第2流路20之雙方的流路形成於一個基塊A，並將流體用零件B1配置於該一個基塊A上的情況。
在此情況，亦將尺寸與流體用零件B1相異的第1流體用零件30配置於基塊A上時，與在上述之實施形態所說明者一樣，具有無法將第1流體用零件30與第1流路10及第2流路20連接的問題，但是藉由使用轉換接頭40，可解決那種問題。
於是，本發明係不是被限定為上述之實施形態，進行各種的變更者亦被包含於本發明之技術性範圍，對本專業者從申請專利範圍之記載，這是顯然。
1‧‧‧整合型流體供給裝置
10‧‧‧第1流路
11‧‧‧一端側開口部
11a‧‧‧一端側環狀槽
20‧‧‧第2流路
21‧‧‧另一端側開口部
21a‧‧‧另一端側環狀槽
30‧‧‧第1流體用零件
31‧‧‧流體流入口
31a‧‧‧入口側環狀槽
32‧‧‧流體流出口
32a‧‧‧出口側環狀槽
40‧‧‧轉換接頭
41‧‧‧第1基部
41a、41b、41c、41d‧‧‧側面
41ba、41bb、41da、41db‧‧‧螺絲貫穿部
42‧‧‧第2基部
42a、42b、42c、42d‧‧‧側面
42ba、42bb、42da、42db‧‧‧螺絲螺合部
43‧‧‧中間部
44‧‧‧一端側流路
44a‧‧‧第1開口部
44b‧‧‧第1環狀槽
44c‧‧‧第3開口部
44d‧‧‧第3環狀槽
45‧‧‧另一端側流路
45a‧‧‧第2開口部
45b‧‧‧第2環狀槽
45c‧‧‧第4開口部
45d‧‧‧第4環狀槽
A‧‧‧基塊
A1‧‧‧第1基塊
A2‧‧‧第2基塊
B、B1‧‧‧流體用零件
D1‧‧‧長度
D2‧‧‧長度
d1‧‧‧第1內徑
d2‧‧‧第2內徑
F‧‧‧高度
H1、H2‧‧‧厚度
W1、W2‧‧‧寬度
W3‧‧‧第1寬度
X‧‧‧第2方向
Y‧‧‧第3方向
Z‧‧‧第1方向
第1圖係說明成為使用本發明之實施形態的轉換接頭之對象的整合型流體供給裝置之立體圖。 第2圖係說明替換成係尺寸與被設置成在第1圖所示之第1基塊及第2基塊之間架橋之預定的流體用零件相異之第1流體用零件的情況之側視圖。 第3圖係本發明之實施形態之轉換接頭的立體圖。 第4圖係從第3圖之箭號C1方向觀察本發明之實施形態的轉換接頭之側視圖。 第5圖係從第3圖之箭號C2方向觀察本發明之實施形態的轉換接頭之側視圖。 第6圖係從第3圖之箭號C3方向觀察本發明之實施形態的轉換接頭之平面圖。 第7圖係表示使用本發明之實施形態的轉換接頭將第1流體用零件與第1基塊及第2基塊連接時的側視圖。

Claims (8)

  1. 一種轉換接頭，係具有與在基塊所形成之第1流路及第2流路連接之流路的轉換接頭，其特徵為：該轉換接頭係包括： 在該基塊上所配置之第1基部；第2基部，係在離開該基塊之第1方向與該第1基部分開，並被設置尺寸與在該基塊之設置該轉換接頭的位置所設置之流體用零件相異的第1流體用零件；中間部，係位於該第1基部與該第2基部之間，並連接該第1基部與該第2基部；一端側流路，係貫穿該第2基部、該中間部以及該第1基部，並與該基塊之該第1流路的一端連接；以及另一端側流路，係貫穿該第2基部、該中間部以及該第1基部，並與該基塊之該第2流路的另一端連接；該一端側流路之該第2基部側的第1開口部與該另一端側流路之該第2基部側的第2開口部被設定成可與該第1流體用零件之流體流入口及該第1流體用零件之流體流出口連接。
  2. 如申請專利範圍第1項之轉換接頭，其中該第1基部係形成沿著從該第1流體用零件之該流體流入口往該流體流出口之方向的第2方向配置2組相向的側面中之1組相向的側面之大致矩形的第1外形；該第2基部係形成為具有與該第1外形相異之第2外形的大致矩形；該中間部係與該第1方向及該第2方向正交之第3方向的第1寬度比該一端側流路之第1內徑及該另一端側流路之第2內徑更大，且比2組該第1外形之相向的側面之間的距離之任一距離更小。
  3. 如申請專利範圍第2項之轉換接頭，其中該中間部係該第1寬度比2組該第2外形之相向的側面之間的距離之任一距離更小。
  4. 如申請專利範圍第2或3項之轉換接頭，其中在該第1基部，4個螺絲貫穿部被設置於形成矩形的位置；在該第2基部，4個螺絲螺合部被設置於形成矩形的位置；該中間部係該第1寬度比4個鄰接之該螺絲貫穿部之間的距離之任一距離更小，且比4個鄰接之該螺絲螺合部之間的距離之任一距離更小。
  5. 如申請專利範圍第4項之轉換接頭，其中在以該第2基部為正面，並在該第1基部與該第2基部所重疊之方向觀察時，該第2基部與該螺絲貫穿部的螺絲所在之部分的至少一部分重疊；該螺絲貫穿部係以在該第1基部之側面開放的缺口形成於該第1基部。
  6. 如申請專利範圍第1至5項中任一項之轉換接頭，其中該第1開口部與該一端側流路之該第1基部側的第3開口部之間之該一端側流路的第1內徑係大致均勻的內徑；該第3開口部被擴徑成比該一端側流路之第1內徑更大；該第2開口部與該另一端側流路之該第1基部側的第4開口部之間之該另一端側流路的第2內徑係大致均勻的內徑；該第4開口部被擴徑成比該另一端側流路之第2內徑更大。
  7. 一種整合型流體供給裝置，其特徵為至少包括：如申請專利範圍第1至6項中任一項之轉換接頭；該基塊；以及該第1流體用零件。
  8. 一種流體零件的安裝方法，係使用具有與在基塊所形成之第1流路及第2流路連接之流路的轉換接頭之流體零件的安裝方法，其特徵為：該轉換接頭係包括： 在該基塊上所配置之第1基部；第2基部，係在離開該基塊之第1方向與該第1基部分開，並被設置尺寸與在該基塊之設置該轉換接頭的位置所設置之流體用零件相異的第1流體用零件；中間部，係位於該第1基部與該第2基部之間，並連接該第1基部與該第2基部；一端側流路，係貫穿該第2基部、該中間部以及該第1基部，並與該基塊之該第1流路的一端連接；以及另一端側流路，係貫穿該第2基部、該中間部以及該第1基部，並與該基塊之該第2流路的另一端連接； 使用轉換接頭使流體用零件之流路與在該基塊所形成之該第1流路及該第2流路連通，該轉換接頭係該一端側流路之該第2基部側的第1開口部與該另一端側流路之該第2基部側的第2開口部被設定成可與該第1流體用零件之流體流入口及該第1流體用零件之流體流出口連接。
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