JP5009081B2 - 流体機器の接続構造及びその接続構造を備える流体機器ユニット - Google Patents
流体機器の接続構造及びその接続構造を備える流体機器ユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP5009081B2 JP5009081B2 JP2007201199A JP2007201199A JP5009081B2 JP 5009081 B2 JP5009081 B2 JP 5009081B2 JP 2007201199 A JP2007201199 A JP 2007201199A JP 2007201199 A JP2007201199 A JP 2007201199A JP 5009081 B2 JP5009081 B2 JP 5009081B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid device
- connection
- guide member
- portions
- fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Joints With Sleeves (AREA)
Description
あるため、フランジ部107A,107Bの接続面が外力によって塑性変形しやすく、流体機器ユニット100が見た目上もとの形状に戻っても、シール不良を起こす可能性があった。この場合、作業者は、流体機器ユニット100が取扱時に変形してシール不良を生じても、不良品を発見することが難しかった。よって、作業者は、流体機器ユニット100を取り扱う時に細かい注意を払わざるを得ず、流体機器ユニット100の取扱いにかかる負担が大きかった。
(1)第1流体機器の第1接続部と第2流体機器の第2接続部との間に配置したシール部材を介して、前記第1接続部と前記第2接続部とをシールさせる流体機器の接続構造において、前記第1接続部と前記第2接続部とが接続する接続部分の外周に配置される筒状のガイド部材と、前記ガイド部材を前記第1流体機器に固定する第1固定部材と、前記ガイド部材を前記第2流体機器に固定する第2固定部材と、を有し、前記ガイド部材が、前記第1固定部材に係止される第1係止部と、前記第2固定部材に係止される第2係止部とを有し、前記第1固定部材は前記第1流体機器に螺合し、前記第2固定部材は前記第2流体機器に螺合すること、前記第1固定部材と前記第2固定部材は、一端が閉鎖した円筒形状をなし、閉鎖面に前記ガイド部材が挿通される挿通孔が形成されており、前記ガイド部材は、前記第1及び前記第2係止部を複数に分割するように両端部からスリットが形成されている。
図1は、本発明の実施形態に係る流体機器ユニット1の回路図である。
本実施形態の流体機器ユニット10は、例えば、半導体製造装置に組み付けられる。半導体装置は、例えば、処理室を2個備える。各処理室には、ウエハに薬液を供給するノズル1が配置される。尚、以下、各処理室のノズル1を区別するために、「A」,「B」の添え字を付けて説明する。
図2は、図1に示す点線部を具体化した流体機器ユニット10の外観斜視図である。
流体機器ユニット10は、第1接続ユニット11(後述)と第2接続ユニット12(後述)を用いて、エアオペレイトバルブ4A,4Bと流量計5A,5Bと手動弁6A,6Bをパネル9に取り付けて、供給ライン3A,3Bを構成している。
図3は、図2に示す第1接続ユニット11を用いた流体機器の接続構造Xの断面図である。分岐管7Aと分岐管7B、及び、分岐管7A,7Bと継手部材8、分岐管7A,7Bとエアオペレイトバルブ4A,4B、手動弁6A,6Bと継手部材8は、それぞれ、第1接続ユニット11を用いて同様に接続される。そこで、以下の説明では、分岐管7A(「第1流体機器」の一例)と分岐管7B(「第2流体機器」の一例)との接続部分を例に挙げて流体機器の接続構造Xを説明する。
分岐管7A,7Bは、接続部13A,13Bが円筒状に形成されている。接続部13A,13Bは、PTFEやPFAなどの樹脂を材質とする。接続部13A,13Bは、外径寸法が分岐管7A,7Bの外径寸法より小径になるように設けられている。そのため、分岐管7A,7Bの外周面と接続部13A,13Bの外周面との間には、段差面14A,14Bが形成されている。
図4は、図3に示すシール部材20の平面図である。図5は、図4のA−A縦断面図である。
図4及び図5に示すように、シール部材20は、PFAなどの樹脂を材質とし、短い円筒形状に形作られている。シール部材20は、両端面に、接続部13A,13Bの環状突起17A,17Bに嵌合する環状溝21,22が形成されている。シール部材20は、断面H型をなし、環状溝21,22を挟んで断面が対象形状になっている。環状溝21,22の内側内壁と外側内壁面には、肉厚部23,24がそれぞれ設けられ、環状溝21,22の溝幅が環状突起17A,17Bの幅寸法より小さくなっている。シール部材20は、図5に示すように、内周面と外周面に、シール溝16A,16Bの底部に設けた傾斜と対応するように傾斜が設けられている。
図3に示すように、第1接続ユニット11は、接続部13A,13Bが接続する接続部分の外周に装着されるガイド部材27と、ガイド部材27を分岐管7Aに固定する第1固定部材28と、ガイド部材27を分岐管7Bに固定する第2固定部材29とを有する。ガイド部材27と第1及び第2固定部材28,29は、PVDFなどの硬度が高くて剛性がある樹脂を材質とする。
図6は、図4に示すガイド部材27の外観斜視図である。図7は、図6に示すガイド部材の上面図である。図8は、図7に示すガイド部材を図中右側から見た図であって、スリット34を開いた状態を示す。図9は、図7に示すガイド部材を図中右側から見た図であって、スリット34を閉じた状態を示す。
ガイド部材27は、接続部13A,13Bの外周に装着される本体31が円筒状に形成されている。本体31の両端外周面には、第1固定部材28に係止される第1係止部32と、第2固定部材29に係止される第2係止部33とが、外向きに突設されている。
図10は、図3に示す流体機器の接続構造Xの分解斜視図である。
第1及び第2固定部材28,29は、同一形状をなす。第1及び第2固定部材28,29は、一端が閉鎖された円筒形状をなす。第1及び第2固定部材28,29の閉鎖面には、ガイド部材27を挿通するための挿通孔41,43が中央に形成されている。
分岐管7A,7Bは、流体機器の接続構造Xを用いて、次のようにして接続される。
図9に示すように、第1接続ユニット11のガイド部材27に内向きの力を加え、結合36を折り曲げながらスリット34を閉じ、分割片35を互いに当接させる。この状態で、ガイド部材27の第1係止部32を設けた端部を第1固定部材28の挿通孔41に挿通し、ガイド部材27の第2係止部33を設けた端部を第2固定部材29の挿通孔43に挿通する。
図11は、図2に示す第2接続ユニット12を用いた流体機器の接続構造Yの側面図である。
エアオペレイトバルブ4A,4Bと流量計5A,5B、及び、流量計5A,5Bと手動弁6A,6Bは、それぞれ、第2接続ユニット12を用いて同様に接続される。そこで、以下の説明では、エアオペレイトバルブ4A(「第1流体機器」の一例)と流量計5A(「第2流体機器」の一例)との接続部分を例に挙げて流体機器の接続構造Yを説明する。
流体機器の接続構造Yは、エアオペレイトバルブ4Aと流量計5Aが、入力ポート57と出力ポート58が接続部13A,13Bの端面に開口している。エアオペレイトバルブ4Aと流量計5Aは、接続部13A,13Bの他、段差面14A,14B、シール溝16A,16B、環状突起17A,17B、雄ねじ18A,18Bを備える。接続部13A,13B、段差面14A,14B、シール溝16A,16B、環状突起17A,17B、雄ねじ18A,18Bは、分岐管7A,7Bと同様であるので、説明を省略する。
シール部材50は、全長がシール部材20より短いことを除き、シール部材20と同様に構成されている。
図12に示すように、第2接続ユニット12は、エアオペレイトバルブ4Aの接続部13Aと流量計5Aの接続部13Bとの接続部分の外周にガイド部材51を配置し、第1及び第2固定部材28,29によってガイド部材51をエアオペレイトバルブ4Aと流量計5Aに固定している。また、第2接続ユニット12は、ガイド部材51の外周に螺合する環状部材52によって、パネル9に固定されている。第1及び第2固定部材28,29の構成は、既に説明したので、ここではガイド部材51と環状部材52の構成を説明する。
図14は、図12に示すガイド部材51の外観斜視図である。図15は、図14に示すガイド部材51の上面図である。図16は、図15に示すガイド部材51を図中右側から見た図であって、スリット34を開いた状態を示す。図17は、図15に示すガイド部材51を図中右側から見た図であって、スリット34を閉じた状態を示す。
ガイド部材51は、本体53の全長がガイド部材27を構成する本体31の全長より長く、雄ねじ部54とストッパ部55を備える点を除き、ガイド部材27と同じ構成を有する。
環状部材52は、環状をなし、雄ねじ部54に螺合する雌ねじ56が内周面に形成されている。
エアオペレイトバルブ4Aと流量計5Aは、次のようにして接続される。図18は、図11に示す流体機器の接続構造Yの分解斜視図である。
ガイド部材51の第2係止部33を設けた端部をスリット34を閉じるように変形させ、第2固定部材29の挿通孔43に第2係止部33を挿通した後、スリット34を開くようにガイド部材51を変形させることにより、ガイド部材51に第2固定部材29を取り付ける。
上記流体機器ユニット10は、分岐管7A,7Bが継手部材8を介して薬液の一次側配管と二次側配管に接続される。また、手動弁6A,6Bが、継手部材8を介して、ノズル1A,1Bに接続される。手動弁6A,6Bは、流体機器ユニット10を半導体製造装置に組み付けた後、弁開される。
以上説明したように、本実施形態の流体機器の接続構造X(Y)は、接続部13Aと接続部13Bとが接続する接続部分の外周に配置したガイド部材27(51)が、第1固定部材28によって分岐管7A(エアオペレイトバルブ4A)に固定され、第2固定部材29によって分岐管7B(流量計5A)に固定され、接続部13A,13Bの同軸性を接続部分で直接出して支持している(図3、図12参照)。そのため、分岐管7A,7B(エアオペレイトバルブ4A、流量計5A)などの各種流体機器は、第1接続ユニット11(第2接続ユニット12)を用いれば、二次元のみならず、三次元にも配置することが可能である(図2参照)。そして、接続部13A,13Bの接続方向に対して直角方向に作用する荷重が接続部13A,13Bに作用しても、接続部13A,13Bがガイド部材27,51に支持されて撓まないため、接続部13A,13Bの接続部分(シール部)が変形せず、シール性能を低下させない。
また、例えば、図21及び図22に示すガイド部材51Aに示すように、本体65の両端部からスリット62,63を所定の深さで形成し、第1及び第2係止部32,33を分割させても良い。例えば、スリット62,63を雌ねじ部54及びストッパ部55まで形成し、複数の爪部66,67を設けても良い。
(5)例えば、上記実施形態では、第1及び第2係止部32,33をガイド部材27,51の両端部に環状に設けた。これに対して。ガイド部材27,51の外周面に複数の突起を設け、その突起を第1及び第2係止部としても良い。
(6)例えば、上記実施形態では、シール部材20,50の外周面に、張出部25とガイド部26を円周方向に等間隔に設けた。これに対して、張出部25とガイド部26は必ずしも円周方向に等間隔に設けなくても良い。
5A 流量計(第2流体機器)
7A 分岐管(第1流体機器)
7B 分岐管(第2流体機器)
9 パネル
9a 貫通孔
10A 流体機器ユニット
13A 接続部(第1接続部)
13B 接続部(第2接続部)
20,50 シール部材
27,51 ガイド部材
28 第1固定部材
29 第2固定部材
32 第1係止部
33 第2係止部
34 スリット
35 分割片
36 結合部
41,43 挿通孔
42 環状部材
54 雄ねじ部
55 ストッパ部
56 雌ねじ
X,Y 流体機器の接続構造
Claims (3)
- 第1流体機器の第1接続部と第2流体機器の第2接続部との間に配置したシール部材を介して、前記第1接続部と前記第2接続部とをシールさせる流体機器の接続構造において、
前記第1接続部と前記第2接続部とが接続する接続部分の外周に配置される筒状のガイド部材と、
前記ガイド部材を前記第1流体機器に固定する第1固定部材と、
前記ガイド部材を前記第2流体機器に固定する第2固定部材と、を有し、
前記ガイド部材が、前記第1固定部材に係止される第1係止部と、前記第2固定部材に係止される第2係止部とを有し、
前記第1固定部材は前記第1流体機器に螺合し、
前記第2固定部材は前記第2流体機器に螺合すること、
前記第1固定部材と前記第2固定部材は、一端が閉鎖した円筒形状をなし、閉鎖面に前記ガイド部材が挿通される挿通孔が形成されており、
前記ガイド部材は、前記第1及び前記第2係止部を複数に分割するように両端部からスリットが形成されていること、
を特徴とする流体機器の接続構造。 - 請求項1に記載する流体機器の接続構造において、
雌ねじが内周面に形成された環状部材を有し、
前記ガイド部材は、前記雌ねじに螺合する雄ねじ部が形成され、前記雄ねじ部の片側に外周面から突出するストッパ部を有し、
貫通孔が形成されたパネルに前記ストッパ部を突き当てるように前記ガイド部材を前記貫通孔に挿通し、前記環状部材の前記雌ねじを前記ガイド部材の前記雄ねじ部に締め付ける
ことを特徴とする流体機器の接続構造。 - 請求項1又は請求項2に記載する流体機器の接続構造を用いて、流体機器を接続することを特徴とする流体機器ユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007201199A JP5009081B2 (ja) | 2007-08-01 | 2007-08-01 | 流体機器の接続構造及びその接続構造を備える流体機器ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007201199A JP5009081B2 (ja) | 2007-08-01 | 2007-08-01 | 流体機器の接続構造及びその接続構造を備える流体機器ユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009036308A JP2009036308A (ja) | 2009-02-19 |
JP5009081B2 true JP5009081B2 (ja) | 2012-08-22 |
Family
ID=40438399
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007201199A Expired - Fee Related JP5009081B2 (ja) | 2007-08-01 | 2007-08-01 | 流体機器の接続構造及びその接続構造を備える流体機器ユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5009081B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006059362A1 (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-08 | Ckd Corporation | 流体用機器の接続部シール構造 |
TWI720187B (zh) * | 2016-04-29 | 2021-03-01 | 美商聖高拜塑膠製品公司 | 舌槽流體輸送子組件及總成 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3346426B2 (ja) * | 1993-07-12 | 2002-11-18 | 東洋技研株式会社 | ケーブル保持具 |
JP2000146041A (ja) * | 1998-11-13 | 2000-05-26 | Bantekku Kk | 管体の継手構造、管体の組み付け方法、及び内面ライニング管用パッキン |
-
2007
- 2007-08-01 JP JP2007201199A patent/JP5009081B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009036308A (ja) | 2009-02-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7644961B2 (en) | Tube joint | |
JP6531162B2 (ja) | 高純度流体通路を接合するための超密閉ガスケット | |
JP5096696B2 (ja) | 流体機器ユニット構造 | |
US20070145691A1 (en) | Fluid gasket | |
JP2007058352A (ja) | 流体制御装置 | |
WO2004090409A1 (ja) | 配管部材の接続構造 | |
KR20010041622A (ko) | 모듈형 표면 실장 매니폴드 | |
JP2017514087A5 (ja) | ||
US5443290A (en) | Floating ring expansion joint liner seal | |
JP5009081B2 (ja) | 流体機器の接続構造及びその接続構造を備える流体機器ユニット | |
WO2007007508A1 (ja) | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 | |
US20100013213A1 (en) | Structure for connection between integrated panel and fluid device | |
TW201925662A (zh) | 閥裝置、使用該閥裝置的流體控制裝置及半導體製造裝置 | |
JP4324576B2 (ja) | 流体機器どうしの接続構造 | |
JP5079393B2 (ja) | 流体機器ユニット構造 | |
JP4437553B2 (ja) | マニホールドブロック及びそれを用いたバルブユニット | |
RU2407939C2 (ru) | Универсальный корпус клапана | |
JP2006153180A (ja) | 流体用ガスケット | |
JP5437779B2 (ja) | 流体装置 | |
US20230003325A1 (en) | Additive manufactured liquid manifold with orifice | |
JP4210643B2 (ja) | 流体用ガスケット | |
JP4672639B2 (ja) | 流体制御機器のマニホールド構造 | |
JP2005344796A (ja) | 流体機器 | |
JP2006132662A (ja) | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 | |
JP4557932B2 (ja) | 流体デバイスどうしの接続構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100226 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111115 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120110 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120529 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120530 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150608 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |