KR20190130008A - 변환 조인트, 그 변환 조인트를 가지는 집적형 유체 공급 장치 및 유체용 부품의 장착 방법 - Google Patents

변환 조인트, 그 변환 조인트를 가지는 집적형 유체 공급 장치 및 유체용 부품의 장착 방법 Download PDF

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료스케 이와사와
히데히로 도야
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가부시키가이샤 후지킨
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Abstract

베이스 블록에 대응한 유체용 부품과 상이한 사이즈의 유체용 부품을 사용 가능하도록 하는 변환 조인트를 제공하기 위하여, 본 발명의 변환 조인트는, 베이스 블록 상에 배치되는 제1 베이스부와, 베이스 블록으로부터 멀어지는 제1 방향으로 제1 베이스부로부터 이격하고, 베이스 블록 상에 설치되는 유체용 부품과 상이한 사이즈의 제1 유체용 부품이 설치되는 제2 베이스부와, 제1 베이스부 및 제2 베이스부를 연결하는 중간부와, 제2 베이스부, 중간부 및 제1 베이스부를 관통하고, 베이스 블록의 제1 유로의 일단(一端)에 접속되는 일단측 유로와, 제2 베이스부, 중간부 및 제1 베이스부를 관통하고, 베이스 블록의 제2 유로의 타단에 접속되는 타단측 유로를 구비하고, 일단측 유로의 제2 베이스부 측의 제1 개구부와 타단측 유로의 제2 베이스부 측의 제2 개구부가, 제1 유체용 부품의 유체 유입구와 제1 유체용 부품의 유체 유출구에 접속 가능하게 설정되어 있다.

Description

변환 조인트, 그 변환 조인트를 가지는 집적형 유체 공급 장치 및 유체용 부품의 장착 방법
본 발명은 변환 조인트, 그 변환 조인트를 가지는 집적형 유체 공급 장치 및 유체용 부품의 장착 방법에 관한 것이다.
종래, 반도체 제조 장치에서는, 각종 가스를 공급하는 공급 라인에 집적화 유체 공급 장치(이하, 집적형 유체 공급 장치라고도 함)가 사용되고 있다(특허문헌1 참조).
구체적으로는, 1개의 가스 공급 라인에는, 수동 밸브, 압력 트랜스듀서, 레귤레이터, 필터, 질량 유량 제어기(mass flow controller) 에어 오퍼레이션 밸브 등의 유체용 부품이 사용되지만, 이 유체용 부품의 유체 유입구 및 유체 유출구를 아래쪽에 위치하도록 형성하고, 또한 유체용 부품 사이를 접속하는 유로를 형성한 베이스 블록을 유체용 부품의 아래쪽에 배치함으로써 유체용 부품의 배열 방향의 폭을 콤팩트하게 집적화하고 있다.
일본공개특허 제2002-130479호 공보
그리고, 집적형 유체 공급 장치에서는, 외형 사이즈가 대략 1.5인치의 베이스 블록 및 그 베이스 블록에 대응한 유체용 부품이 사용되던 시기가 있었지만, 더 한층의 집적화의 요구에 의해, 현재에는, 대략 1.125인치의 외형 사이즈인 베이스 블록이 사용되는 것이 주류로 되어 있고, 각 유체용 부품도 그 1.125인치의 외형 사이즈의 베이스 블록에 대응한 것으로 되어 있다.
그런데, 최근이 되어, 과거에 사용하고 있던 1.5인치의 베이스 블록의 집적형 유체 공급 장치를 부활시켜, 소(小) 로트(lot)의 반도체 웨이퍼의 생산을 행하는 사용자나 중고 시장에 있는 1.5인치의 베이스 블록의 집적형 유체 공급 장치를 구입하여 반도체 웨이퍼의 생산을 행하는 사용자 등이 나타나고 있다.
그리고, 이들 사용자로부터 유체용 부품의 교환에 따라, 1.5인치의 베이스 블록에 대응한 유체용 부품의 수요가 있지만, 현상태에서는, 1.5인치의 베이스 블록에 대응한 유체용 부품는 수주 생산이 되므로, 고가이며 납기 기간이 긴 문제가 있다. 경우에 따라서는, 1.5인치의 유체용 부품이 생산 중지가 되어, 1.125인치의 유체용 부품만을 생산하고 있는 경우도 적지 않다.
본 발명은, 상기한 문제점을 해결하기 위해 이루어 것이며, 베이스 블록에 대응한 유체용 부품과 상이한 사이즈의 유체용 부품을 사용할 수 있도록 하는 변환 조인트 및 그 변환 조인트를 가지는 집적형 유체 공급 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 상기 목적을 달성하기 위하여, 이하의 구성에 의해 파악된다.
(1) 본 발명의 변환 조인트는, 베이스 블록에 형성된 제1 유로와 제2 유로에 접속되는 유로를 가지는 변환 조인트로서, 상기 변환 조인트는, 1개의 상기 베이스 블록 상 또는 2개의 상기 베이스 블록 상에 배치되는 제1 베이스부와, 상기 베이스 블록으로부터 멀어지는 제1 방향으로 상기 제1 베이스부로부터 이격하고, 상기 베이스 블록의 상기 변환 조인트가 설치되는 장소에 설치되는 유체용 부품과 상이한 사이즈의 제1 유체용 부품이 설치되는 제2 베이스부와, 상기 제1 베이스부와 상기 제2 베이스부 사이에 위치하고, 상기 제1 베이스부와 상기 제2 베이스부를 연결하는 중간부와, 상기 제2 베이스부, 상기 중간부 및 상기 제1 베이스부를 관통하고, 상기 베이스 블록의 상기 제1 유로의 일단(一端)에 접속되는 일단측 유로와, 상기 제2 베이스부, 상기 중간부 및 상기 제1 베이스부를 관통하고, 상기 베이스 블록의 상기 제2 유로의 타단에 접속되는 타단측 유로를 구비하고, 상기 일단측 유로의 상기 제2 베이스부 측의 제1 개구부와 상기 타단측 유로의 상기 제2 베이스부 측의 제2 개구부가, 상기 제1 유체용 부품의 유체 유입구와 상기 제1 유체용 부품의 유체 유출구에 접속 가능하게 설정되어 있다.
(2) 상기 (1)의 구성에 있어서, 상기 제1 베이스부는, 2세트 있는 마주보는 측면 중 1조가 마주보는 측면이 상기 제1 유체용 부품의 상기 유체 유입구로부터 상기 유체 유출구를 향하는 방향인 제2 방향을 따라 배치되는 대략 직사각형의 제1 외형으로 형성되고, 상기 제2 베이스부는, 상기 제1 외형과 상이한 제2 외형을 가지는 대략 직사각형으로 형성되고, 상기 중간부는, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 직교하는 제3 방향의 제1 폭이 상기 일단측 유로의 제1 내경(內徑) 및 상기 타단측 유로의 제2 내경보다 크고, 또한 2개 있는 상기 제1 외형이 마주보는 측면 사이의 거리 중 어느 거리보다 작다.
(3) 상기 (2)의 구성에 있어서, 상기 중간부는, 상기 제1 폭이 2세트 있는 상기 제2 외형이 마주보는 측면 사이의 거리 중 어느 거리보다 작다.
(4) 상기 (2) 또는 (3)의 구성에 있어서, 상기 제1 베이스부에는, 4개의 나사 관통부가 직사각형을 이루는 위치에 형성되어 있고, 상기 제2 베이스부에는, 4개의 나사 결합부가 직사각형을 이루는 위치에 형성되어 있고, 상기 중간부는, 상기 제1 폭이 4개 있는 인접하는 상기 나사 관통부 사이의 거리 중 어느 거리보다 작고, 또한 4개 있는 인접하는 상기 나사 결합부 사이의 거리 중 어느 거리보다 작다.
(5) 상기 (4)의 구성에 있어서, 상기 제2 베이스부를 정면으로 하여, 상기 제1 베이스부와 상기 제2 베이스부가 중첩되는 방향으로 보았을 때, 상기 나사 관통부의 나사가 위치하는 부분 중 적어도 일부에 상기 제2 베이스부가 중첩되어 있고, 상기 나사 관통부는, 상기 제1 베이스부의 측면에 개방된 절결(切缺)로서 상기 제1 베이스부에 형성되어 있다.
(6) 상기 (1) 내지 (5) 중 어느 하나의 구성에 있어서, 상기 제1 개구부와 상기 일단측 유로의 상기 제1 베이스부 측의 제3 개구부 사이의 상기 일단측 유로의 제1 내경이 대략 균일한 내경이며, 상기 제3 개구부가 상기 일단측 유로의 제1 내경보다 확경(擴徑)되어 있고, 상기 제2 개구부와 상기 타단측 유로의 상기 제1 베이스부 측의 제4 개구부 사이의 상기 타단측 유로의 제2 내경이 대략 균일한 내경이며, 상기 제4 개구부가 상기 타단측 유로의 제2 내경보다 확경되어 있다.
(7) 본 발명의 집적형 유체 공급 장치는, 상기 (1) 내지 (6) 중 어느 하나의 구성을 가지는 변환 조인트와, 적어도 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로를 가지는 1개의 상기 베이스 블록 또는 적어도 상기 제1 유로를 가지는 상기 베이스 블록 및 적어도 상기 제2 유로를 가지는 상기 베이스 블록에 2개의 상기 베이스 블록과, 상기 제1 유체용 부품을 적어도 구비하고 있다.
(8) 본 발명의 유체용 부품의 장착 방법은, 베이스 블록에 형성된 제1 유로와 제2 유로에 접속되는 유로를 가지는 변환 조인트를 사용하는 유체용 부품의 장착 방법으로서, 상기 변환 조인트는, 상기 베이스 블록 상에 배치되는 제1 베이스부와, 상기 베이스 블록으로부터 멀어지는 제1 방향으로 상기 제1 베이스부로부터 이격하고, 상기 베이스 블록의 상기 변환 조인트가 설치되는 장소에 설치되는 유체용 부품과 상이한 사이즈의 제1 유체용 부품이 설치되는 제2 베이스부와, 상기 제1 베이스부와 상기 제2 베이스부 사이에 위치하고, 상기 제1 베이스부와 상기 제2 베이스부를 연결하는 중간부와, 상기 제2 베이스부, 상기 중간부 및 상기 제1 베이스부를 관통하고, 상기 베이스 블록의 상기 제1 유로의 일단에 접속되는 일단측 유로와, 상기 제2 베이스부, 상기 중간부 및 상기 제1 베이스부를 관통하고, 상기 베이스 블록의 상기 제2 유로의 타단에 접속되는 타단측 유로를 구비하고, 상기 일단측 유로의 상기 제2 베이스부 측의 제1 개구부와 상기 타단측 유로의 상기 제2 베이스부 측의 제2 개구부가, 상기 제1 유체용 부품의 유체 유입구와 상기 제1 유체용 부품의 유체 유출구에 접속 가능하게 설정되어 있는 변환 조인트를 사용하여 상기 베이스 블록에 형성된 상기 제1 유로와 상기 제2 유로에 유체용 부품의 유로를 연통시킨다.
본 발명에 의하면, 베이스 블록에 대응한 유체용 부품과 상이한 사이즈의 유체용 부품을 사용 가능하게 하는 변환 조인트 및 그 변환 조인트를 가지는 집적형 유체 공급 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 실시형태의 변환 조인트가 사용되는 대상이 되는 집적형 유체 공급 장치를 설명하는 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 제1 베이스 블록과 제2 베이스 블록 사이의 가교하도록 설치될 예정의 유체용 부품과 상이한 사이즈인 제1 유체용 부품으로 변경한 경우를 설명하는 측면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 실시형태의 변환 조인트의 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 실시형태의 변환 조인트를 도 3의 화살표 C1 방향으로부터 본 측면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 실시형태의 변환 조인트를 도 3의 화살표 C2 방향으로부터 본 측면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 실시형태의 변환 조인트를 도 3의 화살표 C3 방향으로부터 본 평면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 실시형태의 변환 조인트를 사용하여 제1 베이스 블록 및 제2 베이스 블록에 제1 유체용 부품을 접속한 것을 나타내는 측면도이다.
이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태(이하, 「실시형태」라고 함)를, 첨부 도면에 기초하여 상세하게 설명한다.
그리고, 실시형태의 설명 전체를 통하여 동일한 요소에는 동일한 번호를 부여하고 있다.
도 1은 본 발명에 따른 실시형태의 변환 조인트(40)가 사용되는 대상이 되는 집적형 유체 공급 장치(1)를 설명하는 사시도이며, 약 1.5인치의 베이스 블록(A)을 사용한 집적형 유체 공급 장치(1)를 나타내고 있다.
그리고, 이하의 설명에서는, 도 1에 나타낸 XYZ 축에 있어서, Z축 방향을 제1 방향(Z), X축 방향을 제2 방향(X), Y축 방향을 제3 방향(Y)이라 하기로 하고, 그 외의 도면에 있어서도 동일하다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 집적형 유체 공급 장치(1)는, 베이스 블록(A)의 배열 방향이 되는 제2 방향(X)으로 배열된 복수의 베이스 블록(A)과, 인접하는 베이스 블록(A) 사이를 가교하도록 설치된 유체용 부품(B)을 구비하고 있고, 각 베이스 블록(A)은, 도시하지 않은 베이스 플레이트 상의 결정된 위치에 고정되어 있다.
유체용 부품(B)은, 일반적으로, 수동 밸브, 압력 트랜스듀서, 레귤레이터, 필터, 질량 유량 제어기 및 에어 오퍼레이션 밸브 등으로부터 선택되고, 어떤 순서로 어느 부품이 배열되는 것에 대해서는, 가스 공급 라인에 요구되는 사양에 의해 결정된다.
따라서, 사양에 따라서는, 유체용 부품(B)에 수동 밸브, 압력 트랜스듀서, 레귤레이터, 필터, 질량 유량 제어기 및 에어 오퍼레이션 밸브 이외의 다른 기능을 가지는 부품이 사용되고 있는 경우가 있다.
그리고, 도 1은, 1종의 가스 공급 라인에 대응하는 부분만을 도시하고 있으며, 집적형 유체 공급 장치(1)는, 필요한 가스의 종류의 수에 따라, 제3 방향(Y)으로 배열되도록 동일한 가스 공급 라인이 집적되어 있다.
도 2는, 도 1에 나타낸 제1 베이스 블록(A1)과 제2 베이스 블록(A2) 사이를 가교하도록 설치될 예정의 유체용 부품(B1)(예를 들면, 1.5인치용의 에어 오퍼레이션 밸브)과 상이한 사이즈인 제1 유체용 부품(30)(예를 들면, 1.125인치용의 에어 오퍼레이션 밸브)으로 변경한 경우를 설명하는 측면도이다.
그리고, 도 2에서는, 제1 베이스 블록(A1) 내에 형성되어 있는 제1 유로(10) 및 제2 베이스 블록(A2) 내에 형성되어 있는 제2 유로(20)를 알 수 있도록, 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2)을 단면도로서 나타내고 있다.
또한, 제1 유체용 부품(30)에 대해서도, 유체 유입구(31) 및 유체 유출구(32)를 알 수 있도록, 유체 유입구(31) 및 유체 유출구(32)의 주변 일부를 단면도로서 나타내고 있다.
제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2) 사이를 가교하도록 설치될 예정의 1.5인치용의 유체용 부품(B1)보다 1.125인치용의 제1 유체용 부품(30)은, 전체적으로 소형화되어 있고, 앞서 언급한 것처럼, 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2)은, 베이스 플레이트 상의 결정된 위치에 고정되어 있다.
이 때문에, 도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2) 사이를 가교하도록 제1 유체용 부품(30)을 설치해도, 제1 베이스 블록(A1)의 제1 유로(10)의 일단측 개구부(11)의 위치와 제1 유체용 부품(30)의 유체 유입구(31)의 위치가 맞지 않을 뿐만 아니라, 일단측 개구부(11)와 유체 유입구(31)의 실링 구조를 포함하는 사이즈 자체도 맞지 않으므로, 유체가 누설(leak)하지 않도록 접속할 수 없다.
마찬가지로, 제2 베이스 블록(A2)의 제2 유로(20)의 타단측 개구부(21)의 위치와 제1 유체용 부품(30)의 유체 유출구(32)의 위치가 맞지 않을 뿐만 아니라, 타단측 개구부(21)와 유체 유출구(32)의 실링 구조를 포함하는 사이즈 자체도 맞지 않으므로, 유체가 누설하지 않도록 접속할 수 없다.
이에, 이하에서 설명하는 변환 조인트(40)를 사용함으로써, 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2) 사이를 가교하도록 설치될 예정의 1.5인치용의 유체용 부품(B1)과 상이한 사이즈인 1.125인치용의 제1 유체용 부품(30)이라도, 상술한 바와 같이 유체의 누설이 생기지 않도록 설치하는 것을 가능하게 했다.
도 3은 본 실시형태의 변환 조인트(40)의 사시도이며, 도 3의 하측이 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2)이 위치하는 측이며, 상측이 제1 유체용 부품(30)이 위치하는 측이다.
또한, 도 4는 변환 조인트(40)를 도 3의 화살표 C1 방향으로부터 본 측면도이며, 도 5는 변환 조인트(40)를 도 3의 화살표 C2 방향으로부터 본 측면도이며, 도 6은 변환 조인트(40)를 도 3의 화살표 C3 방향으로부터 본 평면도이다.
또한, 도 7은 변환 조인트(40)를 사용하여 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2)에 제1 유체용 부품(30)을 접속한 것을 나타내는 측면도이다.
그리고, 도 7에서는, 제1 베이스 블록(A1)의 제1 유로(10), 제2 베이스 블록(A2)의 제2 유로(20) 및 변환 조인트(40)의 유로(제1 베이스 블록(A1)의 제1 유로(10)의 일단(일단측 개구부(11))에 접속되는 일단측 유로(44) 및 제2 베이스 블록(A2)의 제2 유로(20)의 타단(타단측 개구부(21))에 접속되는 타단측 유로(45))를 알 수 있도록, 제1 베이스 블록(A1), 제2 베이스 블록(A2) 및 변환 조인트(40)를 단면도로서 나타내고 있다.
또한, 도 7에서는, 도 2와 마찬가지로, 제1 유체용 부품(30)에 대해서도, 유체 유입구(31) 및 유체 유출구(32)를 알 수 있도록, 유체 유입구(31) 및 유체 유출구(32)의 주변 일부를 단면도로서 나타내고 있다.
도 3 내지 도 7에 나타낸 바와 같이, 변환 조인트(40)는, 도 1 및 도 2에 나타낸 제1 유로(10)를 가지는 베이스 블록(A)(제1 베이스 블록(A1)) 및 제2 유로(20)를 가지는 베이스 블록(A)(제2 베이스 블록(A2))의 2개의 베이스 블록(A) 상에 배치되는 제1 베이스부(41)와, 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2)으로부터 멀어지는 제1 방향(Z)에 제1 베이스부(41)로부터 이격된 제2 베이스부(42)와, 제1 베이스부(41)와 제2 베이스부(42) 사이에 위치하고, 제1 베이스부(41)와 제2 베이스부(42)를 연결하는 중간부(43)를 구비하고 있다.
그리고, 제2 베이스부(42)는, 나중에 설명하는 바와 같이, 2개의 베이스 블록(A)(제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2))의 변환 조인트(40)가 설치되는 장소에 설치되는 유체용 부품(B1)과 상이한 사이즈의 제1 유체용 부품(30)이 설치되는 부분이다.
또한, 도 7에 나타낸 바와 같이, 변환 조인트(40)는, 제2 베이스부(42), 중간부(43) 및 제1 베이스부(41)를 관통하고, 제1 베이스 블록(A1)의 제1 유로(10)의 일단(일단측 개구부(11))에 접속되는 일단측 유로(44)와, 제2 베이스부(42), 중간부(43) 및 제1 베이스부(41)를 관통하고, 제2 베이스 블록(A2)의 제2 유로(20)의 타단(타단측 개구부(21))에 접속되는 타단측 유로(45)를 구비하고 있다.
그리고, 일단측 유로(44)의 제2 베이스부(42) 측의 제1 개구부(44a)와 타단측 유로(45)의 제2 베이스부(42) 측의 제2 개구부(45a)는, 제1 개구부(44a)와 제2 개구부(45a) 사이의 이격 거리가, 제1 유체용 부품(30)의 유체 유입구(31)와 제1 유체용 부품(30)의 유체 유출구(32) 사이의 이격 거리와 동일하게 되도록 형성되어, 제1 유체용 부품(30)의 유체 유입구(31)와 제1 유체용 부품(30)의 유체 유출구(32)에 접속 가능하게 설정되어 있다.
또한, 제1 개구부(44a)의 외주(外周)에는, 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 실링 부재(예를 들면, 메탈 패킹)를 수용하는 제1 링형 홈(44b)이 형성되어 있지만, 이 제1 링형 홈(44b)도 제1 유체용 부품(30)의 유체 유입구(31)의 외주에 형성되어 있는 실링 부재를 수용하는 입구측 링형 홈(31a)(도 7 참조)과 동일한 것으로 되어 있다.
이에 따라 제1 유체용 부품(30)에 사용되는 실링 부재가 그대로 사용할 수 있도록 되어 있다.
마찬가지로, 제2 개구부(45a)의 외주에는, 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 실링 부재를 수용하는 제2 링형 홈(45b)이 형성되어 있지만, 이 제2 링형 홈(45b)도 제1 유체용 부품(30)의 유체 유출구(32)의 외주에 형성되어 있는 실링 부재를 수용하는 출구측 링형 홈(32a)(도 7 참조)과 동일한 것으로 되어 있다.
이에 따라 제1 유체용 부품(30)에 사용되는 실링 부재가 그대로 사용할 수 있도록 되어 있다.
한편, 일단측 유로(44)의 제1 내경(d1)은, 제1 유체용 부품(30)의 유체 유입구(31)의 개구 직경에 거의 유사한 내경이 되고, 제1 개구부(44a)와 일단측 유로(44)의 제1 베이스부(41) 측의 제3 개구부(44c) 사이의 일단측 유로(44)의 제1 내경(d1)은, 대략 균일한 내경이 되어 있다.
그리고, 제3 개구부(44c)는, 제1 베이스 블록(A1)의 제1 유로(10)의 일단측 개구부(11)와 동일한 정도의 내경을 가지도록 일단측 유로(44)의 제1 내경(d1)보다 확경되어 있고, 제3 개구부(44c)와 일단측 개구부(11)의 접속이 이경(異徑) 접속이 되지 않도록 되어 있다.
또한, 제3 개구부(44c)의 외주에는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 실링 부재를 수용하는 제3 링형 홈(44d)이 형성되어 있지만, 이 제3 링형 홈(44d)도 제1 베이스 블록(A1)의 일단측 개구부(11)의 외주에 형성되어 있는 실링 부재를 수용하는 일단측 링형 홈(11a)과 동일한 것으로 되어 있다.
이에 따라 제1 베이스 블록(A1)에 사용되는 실링 부재가 그대로 사용할 수 있도록 되어 있다.
그런데, 일단측 유로(44)의 제1 내경(d1)을 제3 개구부(44c) 측을 향하여 테이퍼형으로 넓하는 것에 의해서도 이경 접속이 되지 않도록 할 수 있지만, 그렇게 하면 가공비가 높아지므로, 본 실시형태와 같이, 일단측 유로(44)의 제1 내경(d1)을 대략 균일한 내경으로 하고, 제3 개구부(44c)가 일단측 유로(44)의 제1 내경(d1)보다 확경되는 것이 바람직하다.
마찬가지로, 타단측 유로(45)의 제2 내경(d2)은, 제1 유체용 부품(30)의 유체 유출구(32)의 개구 직경에 거의 유사한 내경이 되고, 제2 개구부(45a)와 타단측 유로(45)의 제1 베이스부(41) 측의 제4 개구부(45c) 사이의 타단측 유로(45)의 제2 내경(d2)은, 대략 균일한 내경이 되어 있다.
그리고, 제4 개구부(45c)는, 제2 베이스 블록(A2)의 제2 유로(20)의 타단측 개구부(21)와 동일한 정도의 내경을 가지도록 타단측 유로(45)의 제2 내경(d2)보다 확경되어 있어, 제4 개구부(45c)와 타단측 개구부(21)의 접속이 이경 접속이 되지 않도록 되어 있다.
또한, 제4 개구부(45c)의 외주에는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 실링 부재를 수용하는 제4 링형 홈(45d)이 형성되어 있지만, 이 제 4링형 홈(45d)도 제2 베이스 블록(A2)의 타단측 개구부(21)의 외주에 형성되어 있는 실링 부재를 수용하는 타단측 링형 홈(21a)과 동일한 것으로 되어 있다.
이에 따라 제2 베이스 블록(A2)에 사용되는 실링 부재가 그대로 사용할 수 있도록 되어 있다.
이 경우도, 타단측 유로(45)의 제2 내경(d2)을 제4 개구부(45c) 측을 향하여 테이퍼형으로 넓히는 것에 의해 이경 접속이 되지 않도록 할 수 있지만, 그렇게 하면 가공비가 높아지므로, 본 실시형태와 같이, 타단측 유로(45)의 제2 내경(d2)을 대략 균일한 내경으로 하고, 제4 개구부(45c)가 타단측 유로(45)의 제2 내경(d2)보다 확경되는 것이 바람직하다.
그리고, 제1 개구부(44a) 및 제2 개구부(45a)에서 설명한 것과 마찬가지로, 제3 개구부(44c)와 제4 개구부(45c) 사이의 이격 거리는, 제1 베이스 블록(A1)의 일단측 개구부(11)와 제2 베이스 블록(A2)의 타단측 개구부(21) 사이의 이격 거리와 동일하게 되도록 형성되고, 일단측 개구부(11)와 타단측 개구부(21)에 접속 가능하게 설정되어 있다.
그런데, 변환 조인트(40)를 사용하는 데 있어서는, 제1 베이스부(41)가 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2)에 고정되고, 제1 유체용 부품(30)이 제2 베이스부(42)에 고정되게 되며, 이하, 이 고정을 위한 구조 등에 대하여 설명한다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 제1 베이스부(41)는, 대략 직사각형의 제1 외형으로 형성되어 있고, 본 실시형태에서는, 4개의 측면(41a, 41b, 41c 및 41d)의 길이가 모두 D1인 대략 정사각형의 제1 외형으로 형성되어 있다.
구체적으로는, 도 1 및 도 2에 나타낸 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2)의 제3 방향(Y)의 폭이 약 39.0[mm]인 것에 맞추어, 길이(D1)를 약 39.0 [mm]로 하고 있다.
그리고, 제1 베이스부(41)는, 2개 있는 마주보는 측면(마주보는 측면(41b, 41d) 및 마주보는 측면(41a, 41c)) 중 한쪽의 마주보는 측면(마주보는 측면(41b, 41d))이, 도 1에 나타낸 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2)의 배열 방향이 되는 제2 방향(X)을 따라 배치된다.
이 제2 방향(X)은, 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2) 상에 배치되는 유체용 부품(B1)의 유체 유입구로부터 유체 유출구를 향하는 방향이기도 하다.
따라서, 달리 표현하면, 제1 베이스부(41)는, 2개 있는 마주보는 측면(마주보는 측면(41b, 41d) 및 마주보는 측면(41a, 41c)) 중 한쪽의 마주보는 측면(마주보는 측면(41b, 41d))이, 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2) 상에 배치되는 유체용 부품(B1)의 유체 유입구로부터 유체 유출구를 향하는 방향의 제2 방향(X)을 따라 배치되는 대략 직사각형의 제1 외형으로 형성되어 있다.
이 경우, 측면(41a 및 41c)의 길이(D1)가 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2)의 제3 방향(Y)의 폭보다 긴 경우, 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2) 사이를 가교하도록 변환 조인트(40)를 배치하면, 제1 베이스부(41)가 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2)보다 제3 방향(Y) 측으로 돌출되게 된다.
그러나, 본 실시형태와 같이, 측면(41a 및 41c)의 길이(D1)가 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2)의 제3 방향(Y)의 폭에 맞춘 것으로 되어 있으면, 그러한 돌출의 발생이 없도록 할 수 있어, 인접하여 배치되는 다른 가스 공급 라인과 간섭하는 것이 회피할 수 있다.
또한, 인접하는 1.5인치용의 유체용 부품(B)(도 1 참조)과의 간섭을 회피하기 위하여, 측면(41b 및 41d)의 길이(D1)도 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2)의 제3 방향(Y)의 폭에 맞춘 것으로 되어 있다.
그리고, 전술한 것을 고려하여, 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2)의 배열 방향이 되는 제2 방향(X)을 마주보는 측면(41a, 41c) 및 제2 방향(X)에 직교하는 제3 방향(Y)을 마주보는 측면(41b, 41d)의 길이(D1)는, 모두 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2)의 제3 방향(Y)의 폭 이하, 예를 들면, 1.5인치의 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2)인 경우, 길이(D1)는 약 39 [mm] 이하인 것이 바람직하다.
그리고, 도 6에 나타낸 바와 같이, 제1 베이스부(41)에는, 마주보는 측면(41b, 41d)에 4개의 나사 관통부(41ba, 41bb, 41da 및 41db)가 직사각형을 이루는 위치에 설치되어 있다.
구체적으로는, 제1 베이스부(41)의 마주보는 측면(41b, 41d)의 제1 베이스 블록(A1) 측에는, 제1 베이스 블록(A1)에 형성되어 있는 나사 결합부에 대응하는 위치에, 제1 베이스부(41)의 측면(41b, 41d)에 개방된 절결(切缺)로서 나사 관통부(41ba, 41da)가 형성되어 있다.
또한, 제1 베이스부(41)의 마주보는 측면(41b, 41d)의 제2 베이스 블록(A2) 측에는, 제2 베이스 블록(A2)에 형성되어 있는 나사 결합부에 대응하는 위치에, 제1 베이스부(41)의 측면(41b, 41d)에 개방된 절결로서 나사 관통부(41bb, 41db)가 형성되어 있다.
여기서, 도 6을 보면 알 수 있는 바와 같이, 제2 베이스부(42)는, 제1 베이스부(41)의 제1 외형과 상이한 제2 외형, 보다 구체적으로는, 제1 베이스부(41)의 제1 외형보다 작은 외형이 되어 있다.
이와 같이 하면, 제1 베이스부(41)의 4개의 나사 관통부(41ba, 41bb, 41da 및 41db)에 액세스하기 쉽다.
한편, 제2 베이스부(42)는, 제1 유체용 부품(30)을 고정시키기 위한 나사 결합부(42ba, 42bb, 42da 및 42db)를 형성할 수 있는 정도로 큰 제2 외형을 가지고 있다.
이에 따라, 제2 베이스부(42)가 제1 베이스부(41)의 제1 외형보다 작은 제2 외형이 되어 있지만, 도 6에 나타낸 바와 같이, 제2 베이스부(42)를 정면으로 하여, 제1 베이스부(41)와 제2 베이스부(42)가 중첩되는 방향으로 보았을 때, 나사 관통부(41ba, 41bb, 41da 및 41db)의 나사가 위치하는 부분(R 형상부)의 일부에 제2 베이스부(42)가 중첩되어 있으므로, 상측으로부터는 나사로 제1 베이스부(41)를 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2)에 고정시키는 작업이 행하기 곤란한 상태로 되어 있다.
그리고, 나사가 위치하는 부분(R 형상부)의 중심을 기준으로 했을 때, 나사 관통부(41ba)와 나사 관통부(41bb) 사이 및 나사 관통부(41da)와 나사 관통부(41db) 사이의 거리는 약 26.0[mm]이며, 나사 관통부(41ba)와 나사 관통부(41da) 사이 및 나사 관통부(41bb)와 나사 관통부(41db) 사이의 거리는 약 30.0[mm]가 되어 있다.
이에, 본 실시형태에서는, 나사 관통부(41ba, 41bb, 41da 및 41db)를 관통공으로서 형성하는 것이 아니고, 절결로서 형성함으로써, 나사를 제1 베이스부(41)의 측면(41b, 41d)으로부터 안쪽으로 슬라이딩시키도록 삽입할 수 있는 구조로 하고 있다.
이와 같이 해 두면, 제1 베이스부(41)의 측면(41b, 41d)으로부터 안쪽으로 나사를 슬라이딩시켜, 손가락으로 가볍게 회전시킬 수 있는 곳까지 나사를 회전시켜, 나사의 상면과 제2 베이스부(42) 사이의 간극의 거리를 크게 하고 나서, 마지막으로 육각 렌치 등으로 더욱 체결을 행하도록 하여 고정 작업을 할 수 있으므로, 작업성을 향상시킬 수 있다.
또한, 나사 관통부(41ba, 41bb, 41da 및 41db)를 절결로서 형성하면, 제1 베이스부(41)의 두께(H1)(도 4 및 도 5 참조)분만큼, 길이가 긴 나사를 사용할 수 있으므로, 나사 체결 여유값을 크게 할 수 있어, 확실한 고정을 할 수 있다.
그리고, 본 실시형태에서는, 제1 베이스부(41)의 두께(H1)를 6.0[mm]로 하고 있지만, 제1 베이스부(41)의 두께(H1)는, 충분한 강도가 얻어지도록, 4.0[mm] 이상인 것이 바람직하고, 5.0[mm] 이상인 것이 보다 바람직하고, 6.0 [mm] 이상인 것이 더욱 바람직하다.
한편, 두께(H1)가 지나치게 두꺼워지면, 나사 관통부(41ba, 41bb, 41da 및 41db)를 절결로서 형성할 때의 품이 많이 들거나 제1 방향(Z)의 높이가 높아지는 것을 고려하면, 제1 베이스부(41)의 두께(H1)는, 10.0[mm] 이하인 것이 바람직하고, 9.0[mm] 이하인 것이 보다 바람직하고, 8.0[mm] 이하인 것이 더욱 바람직하다.
다음으로, 제2 베이스부(42)에 대하여 보면, 도 6에 나타낸 바와 같이, 제2 베이스부(42)도, 제1 베이스부(41)와 마찬가지로, 대략 직사각형의 제2 외형으로 형성되어 있고, 본 실시형태에서는, 4개의 측면(42a, 42b, 42c 및 42d)의 길이가 모두(D2)인 대략 정사각형의 제2 외형으로 형성되어 있고, 구체적으로는, 제1 유체용 부품(30)의 바닥면의 사이즈에 맞도록, 길이(D2)를 약 28.5[mm]로 하고 있다.
그리고, 본 실시형태에서는, 제2 베이스부(42)는, 4개의 모서리를 R 형상으로 모따기를 행하고 있는 예를 나타내고 있지만, 반드시 4개의 모서리를 모따기를 실시하지 않아도 된다.
또한, 모따기를 행하는 경우라도, R 형상의 모따기가 아닌, 직선형의 모서리를 잘라내는 모따기라도 된다.
이러한 점은, 제1 베이스부(41)에 있어서도 동일하다.
즉, 본 실시형태에서는, 제1 베이스부(41)는 4개의 모서리에 모따기를 실시하지 않고 있지만, 제2 베이스부(42)와 같이 모따기를 실시해도 된다.
그리고, 제2 베이스부(42)는, 2개 있는 마주보는 측면(마주보는 측면(42b, 42d) 및 마주보는 측면(42a, 42c)) 중 한쪽의 마주보는 측면(마주보는 측면(42b, 42d))이, 도 1에 나타낸 제1 베이스 블록(A1) 및 제2 베이스 블록(A2)의 배열 방향이 되는 제2 방향(X)을 따라 위치하도록 설치되어 있다.
또한, 도 6에 나타낸 바와 같이, 제2 베이스부(42)에는, 제1 유체용 부품(30)의 나사를 통과시키는 나사 관통공에 대응하는 위치에 설치된 4개의 나사 결합부(42ba, 42bb, 42da 및 42db)가 직사각형을 이루는 위치에 설치되어 있다.
구체적으로는, 나사 결합부(42ba, 42bb, 42da 및 42db)의 중심을 기준으로 했을 때, 나사 결합부(42ba)와 나사 결합부(42bb) 사이 및 나사 결합부(42da)와 나사 결합부(42db) 사이의 거리는 약 20.0[mm]이며, 나사 결합부(42ba)와 나사 결합부(42da) 사이 및 나사 결합부(42bb)와 나사 결합부(42db) 사이의 거리는 약 21.8[mm]가 되어 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 제2 베이스부(42)의 두께(H2)(도 4 및 도 5 참조)를 제1 베이스부(41)의 두께(H1)와 동일한 6.0[mm]로 하고 있지만, 제1 베이스부(41)와 마찬가지로, 제2 베이스부(42)의 두께(H2)는, 충분한 강도가 얻어지도록, 4.0[mm] 이상인 것이 바람직하고, 5.0[mm] 이상인 것이 보다 바람직하고, 6.0[mm] 이상인 것이 더욱 바람직하고, 두께(H2)가 지나치게 두꺼워지면, 제1 방향(Z)의 높이가 높아지므로, 제2 베이스부(42)의 두께(H2)는, 10.0[mm] 이하인 것이 바람직하고, 9.0[mm] 이하인 것이 보다 바람직하고, 8.0[mm] 이하인 것이 더욱 바람직하다.
다음으로 중간부(43)에 대하여 보면, 도 4에 나타낸 바와 같이, 중간부(43)의 제2 방향(X)의 제2 폭은, 제2 베이스부(42)의 폭(W1)으로부터 제1 베이스부(41)의 폭(W2)을 향하여 테이퍼형으로 넓어지고 있다.
그리고, 본 실시형태에서는, 중간부(43)는, 제1 방향(Z)의 높이(F)가 8.0[mm]가 되어 있지만, 이 높이가 낮은 경우, 후술하는 일단측 유로(44) 및 타단측 유로(45)를 크게 비스듬하게 경사지게 하여 형성하게 되므로, 유로를 형성하는 것이 곤란하게 된다.
한편, 이 높이(F)가 높은 경우, 제1 방향(Z)의 높이가 높아진다.
이 때문에, 이 높이(F)는, 6.0[mm] 이상 10.0[mm] 이하가 바람직하고, 7.0[mm] 이상 9.0[mm] 이하가 보다 바람직하다.
그리고, 이와 같이 제2 방향(X)의 제2 폭이 제2 베이스부(42)로부터 제1 베이스부(41)를 향하여 넓어지도록 함으로써, 제1 유체용 부품(30)의 유체 유입구(31) 및 유체 유출구(32)에 대응한 제1 개구부(44a) 및 제2 개구부(45a)와, 제1 베이스 블록(A1)의 일단측 개구부(11) 및 제2 베이스 블록(A2)의 타단측 개구부(21)에 대응한 제3 개구부(44c) 및 제4 개구부(45c)의 사이를 연결하는 일단측 유로(44) 및 타단측 유로(45)를 형성할 수 있게 된다.
한편, 도 5에 나타낸 바와 같이, 중간부(43)의 제1 방향(Z) 및 제2 방향(X)에 직교하는 제3 방향(Y)의 제1 폭(W3)은, 일단측 유로(44) 및 타단측 유로(45)를 형성하기 위하여, 일단측 유로(44)의 제1 내경(d1)(도 7 참조) 및 타단측 유로(45)의 제2 내경(d2)보다 작게 되어 있고, 구체적으로는, 본 실시형태에서는, 제1 폭(W3)은 약 14.0[mm]가 되어 있다.
그리고, 제1 폭(W3)은, 도 6에 나타낸 2개 있는 제1 베이스부(41)의 제1 외형이 마주보는 측면(마주보는 측면(41b, 41d) 및 마주보는 측면(41a, 41c)) 사이의 거리(길이(D1) 참조) 중 어느 쪽 거리보다 작고, 또한 2개 있는 제2 베이스부(42)의 제2 외형이 마주보는 측면(마주보는 측면(42b, 42d) 및 마주보는 측면(42a, 42c)) 사이의 거리(길이(D2) 참조)의 어느 쪽 거리보다 작고, 변환 조인트(40)로서의 형상이 중간부(43)에서 잘록한 형상이 되어 있다.
보다 구체적으로는, 제1 폭(W3)은, 제1 베이스부(41)의 4개 있는 인접하는 나사 관통부(41ba, 41bb, 41da 및 41db) 사이의 거리의 어느 쪽 거리보다 작고, 또한 제2 베이스부(42)의 4개 있는 인접하는 나사 결합부(42ba, 42bb, 42da 및 42db) 사이의 거리의 어느 쪽 거리보다 작아지고 있다.
이와 같이함으로써, 제1 베이스부(41)의 4개 있는 나사 관통부(41ba, 41bb, 41da 및 41db) 및 제2 베이스부(42)의 4개 있는 나사 결합부(42ba, 42bb, 42da 및 42db)를 확실하게 형성할 수 있게 된다.
다만, 제2 베이스부(42)의 4개 있는 나사 결합부(42ba, 42bb, 42da 및 42db)를 제2 베이스부(42)의 두께(H2) 내에 들어가도록 형성하는 경우에는, 제2 베이스부(42)의 4개 있는 나사 결합부(42ba, 42bb, 42da 및 42db)를 신경 쓸 필요는 없고, 제1 폭(W3)은 제1 베이스부(41)의 4개 있는 나사 관통부(41ba, 41bb, 41da 및 41db)를 형성할 수 있는 정도의 폭이 되어 있으면 된다.
이상, 본 발명을 실시형태에 기초하여 설명하였으나, 본 발명은 실시형태로 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능한 것도 말할 필요도 없다.
상기 실시형태에서는, 제1 유로(10)를 가지는 베이스 블록(A)(제1 베이스 블록(A1)) 및 제2 유로(20)를 가지는 베이스 블록(A)(제2 베이스 블록(A2))의 2개의 베이스 블록(A)을 넘도록 유체용 부품(B1)이 배치되는 경우에 대하여 설명하였다.
그러나, 1개의 베이스 블록(A)에 제1 유로(10)와 제2 유로(20)의 양쪽 유로가 형성되어 있고, 그 1개의 베이스 블록(A) 상에 유체용 부품(B1)이 배치되는 경우도 있다.
이 경우에도, 베이스 블록(A) 상에 유체용 부품(B1)과 상이한 사이즈의 제1 유체용 부품(30)을 배치하면, 상기 실시형태에서 설명한 것과 마찬가지로, 제1 유체용 부품(30)을 제1 유로(10) 및 제2 유로(20)에 접속할 수 없는 문제가 있지만, 변환 조인트(40)를 사용함으로써, 그러한 문제점을 해결할 수 있다.
이와 같이, 본 발명은, 상기 실시형태로 한정되지 않고, 다양한 변경을 행한 것도 본 발명의 기술적 범위에 포함되는 것이며, 그 점은, 당업자에 있어서 특허청구의 범위 기재로부터 명확하다.
1: 집적형 유체 공급 장치
10: 제1 유로
11: 일단측 개구부
11a: 일단측 링형 홈
20: 제2 유로
21: 타단측 개구부
21a: 타단측 링형 홈
30: 제1 유체용 부품
31: 유체 유입구
31a: 입구측 링형 홈
32: 유체 유출구
32a: 출구측 링형 홈
40: 변환 조인트
41: 제1 베이스부
41a, 41b, 41c, 41d: 측면
41ba, 41bb, 41da, 41db: 나사 관통부
42: 제2 베이스부
42a, 42b, 42c, 42d: 측면
42ba, 42bb, 42da, 42db: 나사 결합부
43:ㅍ중간부
44: 일단측 유로
44a: 제1 개구부
44b: 제1 링형 홈
44c: 제3 개구부
44d: 제3 링형 홈
45: 타단측 유로
45a: 제2 개구부
45b: 제2 링형 홈
45c: 제4 개구부
45d: 제4 링형 홈
A: 베이스 블록
A1: 제1 베이스 블록
A2: 제2 베이스 블록
B, B1: 유체용 부품
D1: 길이
D2: 길이
d1: 제1 내경
d2: 제2 내경
F: 높이
H1, H2: 두께
W1, W2: 폭
W3: 제1 폭
X: 제2 방향
Y: 제3 방향
Z: 제1 방향

Claims (8)

  1. 베이스 블록에 형성된 제1 유로(流路)와 제2 유로에 접속되는 유로를 가지는 변환 조인트로서,
    상기 변환 조인트는,
    상기 베이스 블록 상에 배치되는 제1 베이스부;
    상기 베이스 블록으로부터 멀어지는 제1 방향으로 상기 제1 베이스부로부터 이격하고, 상기 베이스 블록의 상기 변환 조인트가 설치되는 장소에 설치되는 유체용(流體用) 부품과 상이한 사이즈의 제1 유체용 부품이 설치되는 제2 베이스부;
    상기 제1 베이스부와 상기 제2 베이스부 사이에 위치하고, 상기 제1 베이스부와 상기 제2 베이스부를 연결하는 중간부;
    상기 제2 베이스부, 상기 중간부 및 상기 제1 베이스부를 관통하고, 상기 베이스 블록의 상기 제1 유로의 일단(一端)에 접속되는 일단측 유로; 및
    상기 제2 베이스부, 상기 중간부 및 상기 제1 베이스부를 관통하고, 상기 베이스 블록의 상기 제2 유로의 타단에 접속되는 타단측 유로를 구비하고,
    상기 일단측 유로의 상기 제2 베이스부 측의 제1 개구부와 상기 타단측 유로의 상기 제2 베이스부 측의 제2 개구부가, 상기 제1 유체용 부품의 유체 유입구와 상기 제1 유체용 부품의 유체 유출구에 접속 가능하게 설정되어 있는,
    변환 조인트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 베이스부는, 2세트 있는 마주보는 측면 중 1세트가 마주보는 측면이 상기 제1 유체용 부품의 상기 유체 유입구로부터 상기 유체 유출구를 향하는 방향인 제2 방향을 따라 배치되는 대략 직사각형의 제1 외형으로 형성되고,
    상기 제2 베이스부는, 상기 제1 외형과 상이한 제2 외형을 가지는 대략 직사각형으로 형성되고,
    상기 중간부는, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 직교하는 제3 방향의 제1 폭이 상기 일단측 유로의 제1 내경(內徑) 및 상기 타단측 유로의 제2 내경보다 크고, 또한 2개 있는 상기 제1 외형이 마주보는 측면 사이의 거리 중 어느 거리보다 작은, 변환 조인트.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 중간부는, 상기 제1 폭이 2세트 있는 상기 제2 외형이 마주보는 측면 사이의 거리 중 어느 거리보다 작은, 변환 조인트.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 제1 베이스부에는, 4개의 나사 관통부가 직사각형을 이루는 위치에 형성되어 있고,
    상기 제2 베이스부에는, 4개의 나사 결합부가 직사각형을 이루는 위치에 형성되어 있고,
    상기 중간부는, 상기 제1 폭이 4개 있는 인접하는 상기 나사 관통부 사이의 거리 중 어느 거리보다 작고, 또한 4개 있는 인접하는 상기 나사 결합부 사이의 거리 중 어느 거리보다 작은, 변환 조인트.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2 베이스부를 정면으로 하여, 상기 제1 베이스부와 상기 제2 베이스부가 중첩하는 방향으로 보았을 때, 상기 나사 관통부의 나사가 위치하는 부분 중 적어도 일부에 상기 제2 베이스부가 중첩되어 있고,
    상기 나사 관통부는, 상기 제1 베이스부의 측면으로 개방된 절결(切缺)로서 상기 제1 베이스부에 형성되어 있는, 변환 조인트.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 개구부와 상기 일단측 유로의 상기 제1 베이스부 측의 제3 개구부 사이의 상기 일단측 유로의 제1 내경이 대략 균일한 내경이며,
    상기 제3 개구부가 상기 일단측 유로의 제1 내경보다 확경(擴徑)되어 있고,
    상기 제2 개구부와 상기 타단측 유로의 상기 제1 베이스부 측의 제4 개구부 사이의 상기 타단측 유로의 제2 내경이 대략 균일한 내경이며,
    상기 제4 개구부가 상기 타단측 유로의 제2 내경보다 확경되어 있는, 변환 조인트.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 변환 조인트;
    상기 베이스 블록; 및
    상기 제1 유체용 부품을 적어도 구비하고 있는, 집적형 유체 공급 장치.
  8. 베이스 블록에 형성된 제1 유로와 제2 유로에 접속되는 유로를 가지는 변환 조인트를 사용하는 유체용 부품의 장착 방법으로서,
    상기 변환 조인트는,
    상기 베이스 블록 상에 배치되는 제1 베이스부;
    상기 베이스 블록으로부터 멀어지는 제1 방향으로 상기 제1 베이스부로부터 이격하고, 상기 베이스 블록의 상기 변환 조인트가 설치되는 장소에 설치되는 유체용 부품과 상이한 사이즈의 제1 유체용 부품이 설치되는 제2 베이스부;
    상기 제1 베이스부와 상기 제2 베이스부 사이에 위치하고, 상기 제1 베이스부와 상기 제2 베이스부를 연결하는 중간부;
    상기 제2 베이스부, 상기 중간부 및 상기 제1 베이스부를 관통하고, 상기 베이스 블록의 상기 제1 유로의 일단에 접속되는 일단측 유로; 및
    상기 제2 베이스부, 상기 중간부 및 상기 제1 베이스부를 관통하고, 상기 베이스 블록의 상기 제2 유로의 타단에 접속되는 타단측 유로를 구비하고,
    상기 일단측 유로의 상기 제2 베이스부 측의 제1 개구부와 상기 타단측 유로의 상기 제2 베이스부 측의 제2 개구부가, 상기 제1 유체용 부품의 유체 유입구와 상기 제1 유체용 부품의 유체 유출구에 접속 가능하게 설정되어 있는 변환 조인트를 사용하여 상기 베이스 블록에 형성된 상기 제1 유로와 상기 제2 유로에 유체용 부품의 유로를 연통시키는,
    유체용 부품의 장착 방법.
KR1020197031846A 2017-03-29 2018-03-09 변환 조인트, 그 변환 조인트를 가지는 집적형 유체 공급 장치 및 유체용 부품의 장착 방법 KR20190130008A (ko)

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