JP2015021524A - 流体制御装置用継手部材および流体制御装置 - Google Patents
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- 1つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、下段に配置された継手部材がベース部材におねじ部材によって取り付けられる流体制御装置において使用される継手部材であって、
第1通路ブロックおよび第2通路ブロックからなり、
第1通路ブロックは、上面に対して凹まされて第2通路ブロックを収納する凹所を有するとともに、一端が凹所の底面に開口して他端が上面に開口する第1通路を有しており、
第2通路ブロックは、ライン方向の中央部が第1通路の凹所側の開口に対応するように第1通路ブロックの凹所に収納されるとともに、一端がライン方向の中央部において下面に開口して第1通路に連通し、他端がライン方向に対して斜め上方にのびて上面に開口する第2通路を有しており、
第2通路ブロックの第1通路ブロックへの配置位置として、第2通路の上面開口が第1通路の上面開口に近い第1の位置と、第1の位置から180°回転させられた位置であって第2通路の上面開口が第1通路の上面開口から遠い第2の位置とが選択可能とされていることを特徴とする流体制御装置用継手部材。 - 1つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、下段に配置された継手部材がベース部材におねじ部材によって取り付けられる流体制御装置において、
流体制御機器として、ラインを流れる流体の流量を調整する流量調整器と、流量調整器の流体の通路を遮断開放する遮断開放器とを備えており、
流量調整器と遮断開放器との間に配された継手部材が請求項1の継手部材とされており、
継手部材は、その第1通路ブロックが遮断開放器を、その第2通路ブロックが流量調整器を支持するようにベース部材に取り付けられていることを特徴とする流体制御装置。 - ベース部材に設けられるめねじのピッチが等間隔とされていることを特徴とする請求項2の流体制御装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018180373A1 (ja) * | 2017-03-29 | 2018-10-04 | 株式会社フジキン | 変換継手、その変換継手を有する集積型流体供給装置および流体用パーツの取付け方法 |
KR20210016029A (ko) * | 2018-07-11 | 2021-02-10 | 콘티넨탈 테베스 아게 운트 코. 오하게 | 모듈식 유압 제어 하우징 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001254900A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Toshiba Corp | 流体制御装置 |
JP2002372181A (ja) * | 2001-03-06 | 2002-12-26 | Asml Us Inc | モジュール式流体配管装置 |
WO2004021412A2 (en) * | 2002-08-27 | 2004-03-11 | Celerity Group, Inc. | Modular substrate gas panel having manifold connections in a common plane |
JP2004183771A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Fujikin Inc | 流体制御装置 |
JP2007321833A (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-13 | Hitachi Metals Ltd | ガス供給機器用流路ブロックおよび半導体製造用ガス供給ユニット |
JP2011149554A (ja) * | 2011-03-29 | 2011-08-04 | Fujikin Inc | 流体制御装置用継手 |
JP2015010623A (ja) * | 2013-06-27 | 2015-01-19 | 株式会社フジキン | 流体制御装置用継手および流体制御装置 |
-
2013
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001254900A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Toshiba Corp | 流体制御装置 |
JP2002372181A (ja) * | 2001-03-06 | 2002-12-26 | Asml Us Inc | モジュール式流体配管装置 |
WO2004021412A2 (en) * | 2002-08-27 | 2004-03-11 | Celerity Group, Inc. | Modular substrate gas panel having manifold connections in a common plane |
JP2004183771A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Fujikin Inc | 流体制御装置 |
JP2007321833A (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-13 | Hitachi Metals Ltd | ガス供給機器用流路ブロックおよび半導体製造用ガス供給ユニット |
JP2011149554A (ja) * | 2011-03-29 | 2011-08-04 | Fujikin Inc | 流体制御装置用継手 |
JP2015010623A (ja) * | 2013-06-27 | 2015-01-19 | 株式会社フジキン | 流体制御装置用継手および流体制御装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018180373A1 (ja) * | 2017-03-29 | 2018-10-04 | 株式会社フジキン | 変換継手、その変換継手を有する集積型流体供給装置および流体用パーツの取付け方法 |
TWI681141B (zh) * | 2017-03-29 | 2020-01-01 | 日商富士金股份有限公司 | 轉換接頭、具有此轉換接頭的整合型流體供給裝置以及流體零件的安裝方法 |
JPWO2018180373A1 (ja) * | 2017-03-29 | 2020-02-06 | 株式会社フジキン | 変換継手、その変換継手を有する集積型流体供給装置および流体用パーツの取付け方法 |
JP7036349B2 (ja) | 2017-03-29 | 2022-03-15 | 株式会社フジキン | 変換継手、その変換継手を有する集積型流体供給装置および流体用パーツの取付け方法 |
KR20210016029A (ko) * | 2018-07-11 | 2021-02-10 | 콘티넨탈 테베스 아게 운트 코. 오하게 | 모듈식 유압 제어 하우징 |
KR102493110B1 (ko) | 2018-07-11 | 2023-01-27 | 콘티넨탈 테베스 아게 운트 코. 오하게 | 모듈식 유압 제어 하우징 |
US11702057B2 (en) | 2018-07-11 | 2023-07-18 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Modular hydraulic control housing |
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