JP2021085470A - 流体供給ユニット - Google Patents

Abstract

【課題】流体導入部の数を削減することができる流体供給ユニットを提供する。【解決手段】流体供給ユニット１００は、第１方向に沿って延在するとともに第１方向と直交する第２方向に沿って配列される複数の流体供給ライン１と、隣接する複数の流体供給ライン１の一端に跨って設けられ、流体供給源から供給されるプロセスガス又はパージガスの流れを複数の流体供給ライン１に分岐させる継手部材２と、を備える。継手部材２は、流体供給源に接続される単一の流体流入流路２１と、三つの流体供給ライン１のそれぞれに接続される三つの流体分岐流出流路２２と、流体流入流路２１と三つの流体分岐流出流路２２との間に形成されて流体流入流路２１と三つの流体分岐流出流路２２とを連通する単一の連通流路２３と、を有する。【選択図】図１

Description

本発明は、流体供給ユニットに関する。

特許文献１には、長手方向に沿って延在するとともに幅方向に沿って配列される複数の流体供給ラインを備える流体供給ユニットが開示されている。

国際公開第２０１７／２２１８９１号

しかしながら、特許文献１に記載の流体供給ユニットでは、流体供給源から供給される流体を導入するための流体導入部を、流体供給ライン毎に設ける必要がある。

本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、流体導入部の数を削減することができる流体供給ユニットを提供することを目的とする。

本発明のある態様によれば、第１方向に沿って延在するとともに第１方向と直交する第２方向に沿って配列される複数の流体供給ラインと、隣接する複数の前記流体供給ラインの一端に跨って設けられ、流体供給源から供給される流体の流れを複数の前記流体供給ラインに分岐させる継手部材と、を備え、前記継手部材は、前記流体供給源に接続される単一の流体流入流路と、複数の前記流体供給ラインのそれぞれに接続される複数の流体分岐流出流路と、前記流体流入流路と複数の前記流体分岐流出流路との間に形成されて前記流体流入流路と複数の前記流体分岐流出流路とを連通する単一の連通流路と、を有する、流体供給ユニットが提供される。

本発明の態様によれば、流体導入部の数を削減することができる。

本発明の実施形態に係る流体供給ユニットを示す斜視図である。 流体供給ユニットを示す側面図である。 複数の流体供給ラインの一端に跨って設けられた継手部材を示す平面図である。 継手部材を示す斜視図である。 継手部材を示す平面図である。 図５におけるＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。 流体導入部の変形例を示す斜視図である。

以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態（以下、本実施形態と称する。）について説明する。本明細書においては、全体を通じて、同一の要素には同一の符号を付する。

まず、図１及び図２を参照しながら本実施形態に係る流体供給ユニット１００について説明する。

図１は、流体供給ユニット１００を示す斜視図である。図２は、流体供給ユニット１００を示す側面図である。図１及び図２において、互いに直交する流体供給ユニット１００の長手方向、幅方向及び高さ方向をそれぞれＸ軸に沿う方向、Ｙ軸に沿う方向及びＺ軸に沿う方向とする。以下、説明の便宜上、流体供給ユニット１００の長手方向、幅方向及び高さ方向を単に第１方向、第２方向及び第３方向と称する。

本実施形態に係る流体供給ユニット１００は、図示しない半導体製造装置（ＣＶＤ装置、スパッタリング装置、エッチング装置等／図示しない）におけるプロセスガス又はパージガスの供給手段に用いられる。

図１及び図２に示すように、流体供給ユニット１００は、金属製のベースプレートＢＳ、複数（ここでは、十二）の流体供給ライン１、複数（ここでは、四つ）の継手部材２及び複数（ここでは、四つ）の流体導入部３を備える。なお、継手部材２の数は、流体導入部３の数と同じである。

ベースプレートＢＳは、平面視にて矩形状に設けられる。なお、Ｇ１は上流側、Ｇ２は下流側の方向を示している。ベースプレートＢＳ上には、第２方向に沿って配列され第１方向に沿って延在する複数の流体供給ライン１が設けられる。

複数の継手部材２及び複数の流体導入部３は、いずれも第２方向に沿って配列される。各継手部材２は、隣接する複数（ここでは、三つ）の流体供給ライン１の一端（図２の左端）に跨って設けられる。各流体導入部３は、各継手部材２に設けられ、複数（ここでは、三つ）の流体供給ライン１に接続される。そして、流体供給ライン１の数は、流体導入部３の数の三の整数倍である。すなわち、流体供給ライン１のトータル数（ここでは、十二）は、各継手部材２が跨った流体供給ライン１の数（ここでは、三つ）の整数倍である。

複数の流体供給ライン１は、それぞれ流体供給源（図示しない）から継手部材２及び流体導入部３を経由して供給される流体としてのプロセスガス又はパージガスの流量を適宜制御して半導体制御装置に供給する。

複数の流体供給ライン１は、同じ構造を有するため、一つの流体供給ライン１を代表例として説明する。流体供給ライン１は、レール部材４、複数（ここでは、四つ）のベースブロック５、各種の流体機器６及び流体導出部としての流体導出管７を有する。

レール部材４は、複数のベースブロック５を摺動可能に案内して保持するための長尺部材である。複数のレール部材４は、第１方向に沿って延在するようにベースプレートＢＳに設けられる。また、複数のレール部材４は、第２方向に沿って配列される。

ベースプレートＢＳに背向するレール部材４の端面（図１の上面）には、レール部材４の一端からレール部材４の他端まで第１方向に沿って延在する案内溝４１が形成される。案内溝４１は、複数のベースブロック５の後述する係合コマ５５と係合可能に形成される。そして、複数のベースブロック５の係合コマ５５を、案内溝４１の一端又は他端から案内溝４１に挿入することによって、複数のベースブロック５を案内溝４１に対し摺動させることができる。

レール部材４には、複数のベースブロック５を介してボルト締めによって各種の流体機器６が固定される。ベースブロック５には、レール部材４に対向する複数のベースブロック５の一端面（図２の下端面）からレール部材４側（図１の下側）に突出する係合コマ５５が設けられる。複数のベースブロック５によって、上流側Ｇ１から下流側Ｇ２に向かって流体が流通する流体流路がそれぞれ形成される。

複数のベースブロック５は、レール部材４の一端側（上流側Ｇ１）からレール部材４の他端側（下流側Ｇ２）に順に配列される第１ベースブロック５１、第２ベースブロック５２、第３ベースブロック５３及び第４ベースブロック５４から構成される。なお、レール部材４に背向する第１ベースブロック５１の他端面（図２の上端面）には、継手部材２を通じて流体導入部３が設けられる。

また、第１ベースブロック５１、第２ベースブロック５２、第３ベースブロック５３及び第４ベースブロック５４は、第２方向における幅が同じであり、１０ｍｍ以下であることが好ましい。これにより、流体供給ライン１の第２方向における幅を小さくすることができるので、流体供給ユニット１００の第２方向における小型化を図ることができる。

第１ベースブロック５１は、流体流路としての側面視にて略Ｕ字状の第１流体流路５１１が形成される。第１流体流路５１１は、一端が第１ベースブロック５１の他端面（図２の上端面）の上流側Ｇ１で開口するとともに、他端が第１ベースブロック５１の他端面（図２の上端面）の下流側Ｇ２で開口するように形成される。

第１ベースブロック５１と同様に、第２ベースブロック５２は、流体流路としての側面視にて略Ｕ字状の第２流体流路５２１が形成される。第２流体流路５２１は、一端が第２ベースブロック５２の他端面（図２の上端面）の上流側Ｇ１で開口するとともに、他端が第２ベースブロック５２の他端面（図２の上端面）の下流側Ｇ２で開口するように形成される。

第１ベースブロック５１及び第２ベースブロック５２と同様に、第３ベースブロック５３は、流体流路としての側面視にて略Ｕ字状の第３流体流路５３１が形成される。第３流体流路５３１は、一端が第３ベースブロック５３の他端面（図２の上端面）の上流側Ｇ１で開口するとともに、他端が第３ベースブロック５３の他端面（図２の上端面）の下流側Ｇ２で開口するように形成される。

第４ベースブロック５４は、流体流路としての側面視にて略Ｖ字状の第４流体流路５４１が形成される。第４流体流路５４１は、一端が第３ベースブロック５３の他端面（図２の上端面）で開口するとともに、他端が第４ベースブロック５４の側面で開口するように形成される。

流体機器６は、流体供給ユニット１００に使用される機器であって、流体流路を画定する流路形成ブロックを有し、この流路形成ブロックの端面（図２の下端面）で開口する二つの流路口を有する機器である。具体的には、各種の流体機器６には、上流側Ｇ１から下流側Ｇ２に順に設けられる第１開閉弁６１、マスフローコントローラ６２及び第２開閉弁６３が含まれるが、これらに限定されるものではない。なお、第１開閉弁６１と第２開閉弁６３とは、同じ構造を有してもよく、異なる構造を有してもよい。

第１開閉弁６１は、第１流路形成ブロック６１１及び第１アクチュエータ６１２を有する。第１流路形成ブロック６１１は、第１流体流入流路６１１ａ及び第１流体流出流路６１１ｂを有し、第１ベースブロック５１及び第２ベースブロック５２に跨って設けられる。

第１流体流入流路６１１ａは、一端が第１ベースブロック５１に対向する第１流路形成ブロック６１１の端面（図２の下端面）の上流側Ｇ１で開口するように形成される。第１ベースブロック５１の第１流体流路５１１と第１流路形成ブロック６１１の第１流体流入流路６１１ａとは、第１流体流路５１１の他端と第１流体流入流路６１１ａの一端との接合によって連通される。

なお、第１ベースブロック５１と第１流路形成ブロック６１１との間には、図示しないガスケットが介装される。具体的には、ガスケットは、第１流体流路５１１の他端と第１流体流入流路６１１ａの一端とが接合する接合箇所の外周側に設けられる。

第１流体流出流路６１１ｂは、一端が第２ベースブロック５２に対向する第１流路形成ブロック６１１の端面（図２の下端面）の下流側Ｇ２で開口するように形成される。第１流路形成ブロック６１１の第１流体流出流路６１１ｂと第２ベースブロック５２の第２流体流路５２１とは、第１流体流出流路６１１ｂの一端と第２流体流路５２１の一端との接合によって連通される。

なお、第１流路形成ブロック６１１と第２ベースブロック５２との間には、図示しないガスケットが介装される。具体的には、ガスケットは、第１流体流出流路６１１ｂの一端と第２流体流路５２１の一端とが接合する接合箇所の外周側に設けられる。

第１アクチュエータ６１２は、第１流体流入流路６１１ａと第１流体流出流路６１１ｂとを遮断又は連通させる。第１アクチュエータ６１２は、第１流路形成ブロック６１１に立設される。

マスフローコントローラ６２は、上流側Ｇ１から供給されるプロセスガス又はパージガスの流量を適宜制御する。マスフローコントローラ６２は、第５流体流路６２１を有し、第２ベースブロック５２及び第３ベースブロック５３に跨って設けられる。

第５流体流路６２１は、一端が第２ベースブロック５２に対向するマスフローコントローラ６２の端面（図２の下端面）の上流側Ｇ１で開口するように形成される。第２ベースブロック５２の第２流体流路５２１とマスフローコントローラ６２の第５流体流路６２１とは、第２流体流路５２１の他端と第５流体流路６２１の一端との接合によって連通される。

なお、第２ベースブロック５２とマスフローコントローラ６２との間には、図示しないガスケットが介装される。具体的には、ガスケットは、第２流体流路５２１の他端と第５流体流路６２１の一端とが接合する接合箇所の外周側に設けられる。

また、第５流体流路６２１は、他端が第２ベースブロック５２に対向するマスフローコントローラ６２の端面（図２の下端面）の下流側Ｇ２で開口するように形成される。マスフローコントローラ６２の第５流体流路６２１と第３ベースブロック５３の第３流体流路５３１とは、第５流体流路６２１の他端と第３流体流路５３１の一端との接合によって連通される。

なお、マスフローコントローラ６２と第３ベースブロック５３との間には、図示しないガスケットが介装される。具体的には、ガスケットは、第５流体流路６２１の他端と第３流体流路５３１の一端とが接合する接合箇所の外周側に設けられる。

第２開閉弁６３は、第２流路形成ブロック６３１及び第２アクチュエータ６３２を有する。第２流路形成ブロック６３１は、第２流体流入流路６３１ａ及び第２流体流出流路６３１ｂを有し、第３ベースブロック５３及び第４ベースブロック５４に跨って設けられる。

第２流体流入流路６３１ａは、一端が第３ベースブロック５３に対向する第２流路形成ブロック６３１の端面（図２の下端面）の上流側Ｇ１で開口するように形成される。第３ベースブロック５３の第３流体流路５３１と第２流路形成ブロック６３１の第２流体流入流路６３１ａとは、第３流体流路５３１の他端と第２流体流入流路６３１ａの一端との接合によって連通される。

なお、第３ベースブロック５３と第２流路形成ブロック６３１との間には、図示しないガスケットが介装される。具体的には、ガスケットは、第３流体流路５３１の他端と第２流体流入流路６３１ａの一端とが接合する接合箇所の外周側に設けられる。

第２流体流出流路６３１ｂは、一端が第４ベースブロック５４に対向する第２流路形成ブロック６３１の端面（図２の下端面）の下流側Ｇ２で開口するように形成される。第２流路形成ブロック６３１の第２流体流出流路６３１ｂと第４ベースブロック５４の第４流体流路５４１とは、第２流体流出流路６３１ｂの一端と第４流体流路５４１の一端との接合によって連通される。

なお、第２流路形成ブロック６３１と第４ベースブロック５４との間には、図示しないガスケットが介装される。具体的には、ガスケットは、第２流体流出流路６３１ｂの一端と第４流体流路５４１の一端とが接合する接合箇所の外周側に設けられる。

第２アクチュエータ６３２は、第２流体流入流路６３１ａと第２流体流出流路６３１ｂとを遮断又は連通させる。第２アクチュエータ６３２は、第２流路形成ブロック６３１に立設される。

流体導出管７は、第１方向に沿って流体導出管７を貫通する第６流体流路７１を有し、第４ベースブロック５４の側面に設けられる。第４ベースブロック５４の第４流体流路５４１と流体導出管７の第６流体流路７１とは、第４流体流路５４１の他端と第６流体流路７１の一端との接合によって連通される。流体導出管７は、図示しない他の配管を介して図示しないチャンバ等に接続される。

このように、流体供給ライン１において、プロセスガス又はパージガスは、上流側Ｇ１から下流側Ｇ２に向かって順に第１ベースブロック５１の第１流体流路５１１、第１流路形成ブロック６１１の第１流体流入流路６１１ａ及び第１流体流出流路６１１ｂ、第２ベースブロック５２の第２流体流路５２１、マスフローコントローラ６２の第５流体流路６２１、第３ベースブロック５３の第３流体流路５３１、第２流路形成ブロック６３１の第２流体流入流路６３１ａ及び第２流体流出流路６３１ｂ、第４ベースブロック５４の第４流体流路５４１及び流体導出管７の第６流体流路７１を経由して供給される。

次に、図１から図６を参照しながら流体供給ユニット１００の要部としての継手部材２及び流体導入部３について説明する。

図３は、複数の流体供給ライン１の一端に跨って設けられた継手部材２を示す平面図である。図４は、継手部材２を示す斜視図である。図５は、継手部材２を示す平面図である。図６は、図５におけるＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。

複数（ここでは、四つ）の継手部材２は、同じ構造を有するため、一つの継手部材２を代表例として説明する。また、複数（ここでは、四つ）の流体導入部３は、同じ構造を有するため、一つの継手部材２に対応する一つの流体導入部３を代表例として説明する。

図１から図６に示すように、継手部材２は、流体供給源から流体導入部３を介して供給されるプロセスガス又はパージガスの流れを、複数（ここでは、三つ）の流体供給ライン１に分岐させる。継手部材２は、継手ブロック２１及び突出管２２を有する。

本実施形態では、継手部材２は、その第２方向における幅が複数（ここでは、三つ）の流体供給ライン１の第２方向における幅と同じであるように設けられているが、これに限定されるものではなく、例えば、その第２方向における幅が三つの流体供給ライン１の第２方向における幅よりも小さくなるように設けられてもよい。すなわち、継手部材２は、その第２方向における幅が三つの流体供給ライン１の第２方向における幅以下である。これにより、隣接する複数の継手部材２の干渉を確実に回避することができる。

継手ブロック２１は、直方体をなし、流体供給ライン１の一端である第１ベースブロック５１に設けられる。具体的には、継手ブロック２１は、レール部材４に背向する第１ベースブロック５１の他端面（図２の上端面）に積層されるように設けられる。

図５及び図６に示すように、継手ブロック２１は、単一の流体流入流路２１１と、複数（ここでは、三つ）の流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）と、流体流入流路２１１と複数の流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）との間に形成されて流体流入流路２１１と複数の流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）とを連通する単一の連通流路２１３と、を有する。

これにより、流体供給源から供給されるプロセスガス又はパージガスは、順に単一の流体流入流路２１１及び単一の連通流路２１３を経由して、複数（ここでは、三つ）の流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）に分岐され、複数の流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）のそれぞれに接続される複数（ここでは、三つ）の流体供給ライン１のそれぞれに供給される。このように、流体供給源から供給されるプロセスガス又はパージガスを単一の継手部材２によって複数の流体供給ライン１に供給することができるので、流体導入部３の数を削減することができる。なお、流体流入流路２１１、流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）及び連通流路２１３は、同じ径を有することが好ましい。

流体流入流路２１１は、第３方向に沿って延在するように形成される。流体流入流路２１１は、一端（図６の上端）が第１ベースブロック５１に背向する継手ブロック２１の一端面（図６の上端面）で開口するとともに、他端（図６の下端）が連通流路２１３に連通する。

一方、突出管２２は、継手ブロック２１の一端面（図４の上端面）から第３方向に沿って突出するように設けられる。突出管２２の一端（図２の上端）には、溶接等によって流体導入部３が接続される。すなわち、流体導入部３は、突出管２２を介して継手ブロック２１の一端面（図４の上端面）に取り付けられる。突出管２２の他端（図２の下端）には、継手ブロック２１の一端面が接続される。

上述したように、流体流入流路２１１の一端は、第１ベースブロック５１に背向する継手ブロック２１の一端面（図６の上端面）で開口するため、流体流入流路２１１に連通する貫通孔２２１が形成される突出管２２を、継手ブロック２１の一端面（図６の上端面）から第３方向に沿って突出させるように設けることができる。これにより、突出管２２に接続される流体導入部３を第３方向に沿って延在させるように設けることができる。

本実施形態では、流体流入流路２１１は、一端が第１ベースブロック５１に背向する継手ブロック２１の一端面（図６の上端面）で開口するように形成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、一端が継手ブロック２１の側面で開口するように形成されてもよい。この場合、流体流入流路２１１に連通する貫通孔２２１が形成される突出管２２及び突出管２２に接続される流体導入部３は、第１方向に沿って延在するように設けられる。

ただし、流体流入流路２１１の一端が第１ベースブロック５１に背向する継手ブロック２１の一端面（図６の上端面）で開口する場合、流体導入部３を第３方向に沿って延在させることができるので、流体流入流路２１１の一端が継手ブロック２１の側面で開口し、流体導入部３が第１方向に沿って延在するものに比べ、流体供給ユニット１００の第１方向における小型化を図ることができる。

また、本実施形態では、継手部材２は、継手ブロック２１及び突出管２２を有しているが、これに限定されるものではなく、例えば、継手ブロック２１のみを有してもよい。この場合、流体導入部３は、溶接等によって直接継手ブロック２１の一端面（図４の上端面）に取り付けられる。

各流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）は、一端（図６の下端）が第１ベースブロック５１に対向する継手ブロック２１の他端面（図６の下端面）で開口するとともに、他端（図６の上端）が連通流路２１３に連通する。

このように、流体分岐流出流路２１２の一端（図６の下端）は、第１ベースブロック５１に対向する継手ブロック２１の他端面（図６の下端面）で開口するため、流体分岐流出流路２１２の一端（図６の下端）を、継手ブロック２１に対向する流体供給ライン１の第１ベースブロック５１の他端面（図２の上端面）で開口する第１流体流路５１１の一端に容易に接合させることができる。したがって、複数（ここでは、三つ）の流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）のそれぞれと、複数（ここでは、三つ）の第１ベースブロック５１の第１流体流路５１１のそれぞれとは、流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）の一端と第１流体流路５１１の一端との接合によって連通される。

なお、継手ブロック２１と第１ベースブロック５１との間には、複数（ここでは、三つ）の図示しないガスケットが介装される。具体的には、各ガスケットは、流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）の一端と第１流体流路５１１の一端とが接合する接合箇所の外周側に設けられる。

また、複数（ここでは、三つ）の流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）は、第２方向に沿って等間隔を空けて配列される（図５参照）。これにより、複数の流体分岐流出流路２１２の一端のそれぞれと複数の第１ベースブロック５１における第１流体流路５１１の一端との接合を、第１方向における同じ位置において行うことができる。この結果、同じ構造を有する複数の流体供給ライン１を第２方向に沿って整列させることができる。

複数（ここでは、三つ）の流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）は、流体流入流路２１１と平行して第３方向に沿って延在するように形成される。これにより、流体流入流路２１１の長さ及び流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）の長さを短縮させることができるので、継手ブロック２１の薄型化を図ることができる。

連通流路２１３は、第２方向に沿って延在するように形成される。連通流路２１３の一端（図６の左端）には、流体分岐流出流路２１２ａの他端が連通され、連通流路２１３の中央には、流体分岐流出流路２１２ｂの他端が連通され、連通流路２１３の他端（図６の右端）には、流体分岐流出流路２１２ｃの他端が連通される。

また、図５及び図６に示すように、流体流入流路２１１は、隣接する二つの流体分岐流出流路２１２ｂ，２１２ｃの間に位置するように形成される。これにより、流体流入流路２１１の他端が連通流路２１３の一端、中央及び他端のいずれか一方に連通されるものに比べ、流体流入流路２１１から供給されるプロセスガス又はパージガスが偏って流体分岐流出流路２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃのいずれか一方に流れ込むことを回避することができる。このため、各流体供給ライン１の昇圧時間の均一化を図ることができるので、流体供給ユニット１００の供給精度が向上する。

さらに、継手ブロック２１には、継手ブロック２１の一端面から継手ブロック２１の他端面まで継手ブロック２１を貫通する複数（ここでは、三つ）のボルト孔対２１４（２１４ａ，２１４ｂ，２１４ｃ）が形成される。各ボルト孔対２１４には、締め付け用のボルトが貫通される。なお、ボルト孔対２１４（２１４ａ，２１４ｂ，２１４ｃ）の数は、継手ブロック２１に接続される第１ベースブロック５１（すなわち、流体供給ライン１）の数と同じである。

複数（ここでは、三つ）のボルト孔対２１４（２１４ａ，２１４ｂ，２１４ｃ）は、第２方向に沿って等間隔を空けて配列される。各ボルト孔対２１４（２１４ａ，２１４ｂ，２１４ｃ）は、各流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）を挟むように当該流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）とともに第１方向に沿って配列される。

これにより、継手ブロック２１（すなわち、継手部材２）をボルト締めによって複数（ここでは、三つ）の第１ベースブロック５１に確実に積層して固定することができる。

また、各流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）は、各ボルト孔対２１４（２１４ａ，２１４ｂ，２１４ｃ）の間の中央に位置するように形成されることが好ましい。これにより、平面視にて継手ブロック２１を反転させても第１ベースブロック５１に設けて使用することができる。

一方、上述したように、流体導入部３は、継手部材２に接続され、流体流入流路２１１の延長線上（すわなち、第３方向）に延在して設けられるので、流体導入部３は、第２方向において流体分岐流出流路２１２ｂ，２１２ｃの間に位置する。すなわち、流体導入部３は、複数のボルト孔対２１４（２１４ａ，２１４ｂ，２１４ｃ）のいずれか一つが配置される直線上に位置していない。

これにより、継手ブロック２１が小さい場合であっても、流体導入部３がボルト孔対２１４（２１４ａ，２１４ｂ，２１４ｃ）の間に設けられたものに比べ、最も近接するボルト孔対２１４と流動導入部３との間の距離を大きくすることができるので、ボルトを締めるための工具（ここでは、六角レンチ）と流体導入部３との干渉を回避しやすくなる。

流体導入部３は、一端（図２の下端）が突出管２２の一端（図２の上端）に接続される中空の管部３１と、管部３１の他端（図２の上端）に設けられ図示しない流体供給管と接続するための接続ブロック３２と、を有する。管部３１は、第３方向に沿って延在するように設けられる。

そして、継手部材２に接続される複数（ここでは、三つ）の流体供給ライン１における第１開閉弁６１のいずれか一つを開放するとともに、継手部材２に接続される複数（ここでは、三つ）の流体供給ライン１における第１開閉弁６１の他の二つを遮閉するように流体供給ユニット１００を制御する。これにより、継手部材２に接続される複数（ここでは、三つ）の流体供給ライン１のいずれか一つを選択的に使用することができる。

次に、本実施形態による作用効果について説明する。

本実施形態に係る流体供給ユニット１００は、第１方向に沿って延在するとともに第１方向と直交する第２方向に沿って配列される複数の流体供給ライン１と、隣接する複数の流体供給ライン１の一端に跨って設けられ、流体供給源から供給されるプロセスガス又はパージガスの流れを複数の流体供給ライン１に分岐させる継手ブロック２１（継手部材２）と、を備える。継手ブロック２１（継手部材２）は、流体供給源に接続される単一の流体流入流路２１１と、複数の流体供給ライン１のそれぞれに接続される複数の流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）と、流体流入流路２１１と複数の流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）との間に形成されて流体流入流路２１１と複数の流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）とを連通する単一の連通流路２１３と、を有する。

この構成によれば、流体供給源から供給されるプロセスガス又はパージガスの流れは、順に単一の流体流入流路２１１及び単一の連通流路２１３を経由して、複数（ここでは、三つ）の流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）に分岐され、複数（ここでは、三つ）の流体供給ライン１のそれぞれに供給される。このように、流体供給源から供給されるプロセスガス又はパージガスを単一の継手部材２によって複数の流体供給ライン１に供給することができるので、流体導入部３の数を削減することができる。

また、本実施形態では、流体流入流路２１１は、一端が流体供給ライン１に背向する継手ブロック２１（継手部材２）の一端面で開口する。

この構成によれば、流体導入部３を第３方向に沿って延在させることができるので、流体流入流路２１１の一端が継手ブロック２１の側面で開口し、流体導入部３が第１方向に沿って延在するものに比べ、流体供給ユニット１００の第１方向における小型化を図ることができる。

また、本実施形態では、流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）は、一端が流体供給ライン１に対向する継手ブロック２１（継手部材２）の他端面で開口する。

この構成によれば、流体分岐流出流路２１２の一端（図６の下端）を、継手ブロック２１に対向する流体供給ライン１の第１ベースブロック５１の他端面（図２の上端面）で開口する第１流体流路５１１の一端に容易に接合させることができる。したがって、複数（ここでは、三つ）の流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）のそれぞれと、複数（ここでは、三つ）の第１ベースブロック５１の第１流体流路５１１のそれぞれとは、流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）の一端と第１流体流路５１１の一端との接合によって連通される。

また、本実施形態では、複数の流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）は、第２方向に沿って配列される。

この構成によれば、複数の流体分岐流出流路２１２の一端のそれぞれと複数の第１ベースブロック５１における第１流体流路５１１の一端との接合を、第１方向における同じ位置において行うことができる。この結果、同じ構造を有する複数の流体供給ライン１を第２方向に沿って綺麗に配列させることができる。

また、本実施形態では、流体流入流路２１１と複数の流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）とは、第１方向及び第２方向の両者と直交する第３方向に延在するように形成される。

この構成によれば、流体流入流路２１１の長さ及び流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）の長さを短縮させることができるので、継手ブロック２１の薄型化を図ることができる。

また、本実施形態では、複数の流体分岐流出流路２１２は、三つの流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）から構成され、流体流入流路２１１は、隣接する二つの流体分岐流出流路２１２ｂ，２１２ｃの間に位置するように形成される。

この構成によれば、流体流入流路２１１の他端が連通流路２１３の一端、中央及び他端のいずれか一方に連通されるものに比べ、流体流入流路２１１から供給されるプロセスガス又はパージガスが偏って流体分岐流出流路２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃのいずれか一方に流れ込むことを回避することができる。このため、各流体供給ライン１の昇圧時間の均一化を図ることができるので、流体供給ユニット１００の供給精度が向上する。

また、本実施形態では、継手ブロック２１（継手部材２）には、継手ブロック２１（継手部材２）の一端面から継手ブロック２１（継手部材２）の他端面まで継手ブロック２１（継手部材２）を貫通する複数のボルト孔対２１４（２１４ａ，２１４ｂ，２１４ｃ）が形成され、各ボルト孔対２１４（２１４ａ，２１４ｂ，２１４ｃ）は、各流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）を挟むように当該流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）とともに第１方向に沿って配列される。

この構成によれば、継手ブロック２１（すなわち、継手部材２）をボルト締めによって複数（ここでは、三つ）の第１ベースブロック５１に確実に積層して固定することができる。

また、本実施形態では、継手ブロック２１（継手部材２）には、継手ブロック２１（継手部材２）の一端面から継手ブロック２１（継手部材２）の他端面まで継手ブロック２１（継手部材２）を貫通する複数のボルト孔対２１４（２１４ａ，２１４ｂ，２１４ｃ）が形成され、各ボルト孔対２１４（２１４ａ，２１４ｂ，２１４ｃ）は、各流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）を挟むように当該流体分岐流出流路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ）とともに第１方向に沿って配列され、継手ブロック２１（継手部材２）に接続され、流体流入流路２１１の延長線上に延在して設けられる流体導入部３をさらに備える。

この構成によれば、継手ブロック２１が小さい場合であっても、流体導入部３がボルト孔対２１４（２１４ａ，２１４ｂ，２１４ｃ）の間に設けられたものに比べ、最も近接するボルト孔対２１４と流動導入部３との間の距離を大きくすることができるので、ボルトを締めるための工具（ここでは、六角レンチ）と流体導入部３との干渉を回避しやすくなる。

以上、本実施形態について説明したが、上述した実施形態は、本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上述した実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。

（変形例）
次に、図７を参照しながら流体導入部３の変形例について説明する。

図７は、変形例に係る流体導入部３の変形例を示す斜視図である。

上述した実施形態では、流体導入部３は、第３方向に沿って延在する管部３１と、管部３１の他端（図２の上端）に設けられる接続ブロック３２と、を有しているが、これに限定されるものではなく、例えば、図７に示すように、第３方向に沿って延在する管部３１と、管部３１の他端（図７の上端）に設けられる接続ブロック３２Ａと、接続ブロック３２Ａの側面（図７の正面）に接続され第１方向に沿って延在する水平管３３と、水平管の先端に設けられる接続継手３４を有してもよい。

１ 流体供給ライン
２ 継手部材
３ 流体導入部
４ レール部材
５ ベースブロック
６ 流体機器
７ 流体導出管
２１ 継手ブロック
２２ 突出管
５１ 第１ベースブロック
２１１ 流体流入流路
２１２ 流体分岐流出流路
２１３ 連通流路
２１４ ボルト孔対
１００ 流体供給ユニット

Claims (8)

1. 第１方向に沿って延在するとともに第１方向と直交する第２方向に沿って配列される複数の流体供給ラインと、
   隣接する複数の前記流体供給ラインの一端に跨って設けられ、流体供給源から供給される流体の流れを複数の前記流体供給ラインに分岐させる継手部材と、を備え、
   前記継手部材は、前記流体供給源に接続される単一の流体流入流路と、複数の前記流体供給ラインのそれぞれに接続される複数の流体分岐流出流路と、前記流体流入流路と複数の前記流体分岐流出流路との間に形成されて前記流体流入流路と複数の前記流体分岐流出流路とを連通する単一の連通流路と、を有する、
   流体供給ユニット。
2. 前記流体流入流路は、一端が前記流体供給ラインに背向する前記継手部材の一端面で開口する、
   請求項１に記載の流体供給ユニット。
3. 前記流体分岐流出流路は、一端が前記流体供給ラインに対向する前記継手部材の他端面で開口する、
   請求項２に記載の流体供給ユニット。
4. 複数の前記流体分岐流出流路は、第２方向に沿って配列される、
   請求項３に記載の流体供給ユニット。
5. 前記流体流入流路と複数の前記流体分岐流出流路とは、第１方向及び第２方向の両者と直交する第３方向に延在するように形成される、
   請求項３又は４に記載の流体供給ユニット。
6. 複数の前記流体分岐流出流路は、三つ以上の前記流体分岐流出流路から構成され、
   前記流体流入流路は、隣接する二つの前記流体分岐流出流路の間に位置するように形成される、
   請求項３から５のいずれか１項に記載の流体供給ユニット。
7. 前記継手部材には、前記継手部材の前記一端面から前記継手部材の前記他端面まで前記継手部材を貫通する複数のボルト孔対が形成され、
   各ボルト孔対は、各流体分岐流出流路を挟むように当該流体分岐流出流路とともに第１方向に沿って配列される、
   請求項３から６のいずれか１項に記載の流体供給ユニット。
8. 前記継手部材には、前記継手部材の前記一端面から前記継手部材の前記他端面まで前記継手部材を貫通する複数のボルト孔対が形成され、
   各ボルト孔対は、各流体分岐流出流路を挟むように当該流体分岐流出流路とともに第１方向に沿って配列され，
   前記継手部材に接続され、前記流体流入流路の延長線上に延在して設けられる流体導入部をさらに備える、
   請求項６に記載の流体供給ユニット。

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