JP6588237B2 - バルブおよび流体制御装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体製造装置等に使用される流体制御装置で用いられるバルブおよびそのバルブを備える流体制御装置に関する。

従来より、複数のガスラインを備える流体制御装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。各ガスラインは、複数の流体制御機器と、複数の継手とを有し、複数の継手の上面に複数の流体制御機器を装着することにより、複数の流体制御機器同士が接続され、流体が供給される。そして、マスフローコントローラの入口側には三方弁が設けられ、当該三方弁の下側には、一つのマニホールドが複数のガスラインに対して設けられ、各ガスラインの三方弁に対し連結されている。マニホールドには、パージガスが供給され、複数の三方弁に対し供給されるように構成されている。

特開２００２−３４９７９７号公報

従来のマニホールドでは、仕様変更等によりガスラインの増減が生じた場合、ガスライン数に応じた長さのマニホールドに取り換える必要があり、マニホールドに連結されている流体制御機器を全て取り外す必要がある。このため、仕様変更等に工数および時間がかかってしまう。

また、マニホールドの流路は、ガンドリルで切削することにより形成される。このため、流路の長さはドリルビットの長さに依存するが、ドリルビットの長さを長くするとドリルビットが破損し易くなるので、流路の長さをあまり長くすることができない。よって、マニホールドあたりのガスラインの数が限られていた。

そこで本発明は、ガスラインの数を制限せず、かつ容易にガスラインを増減可能なバルブおよび流体制御装置を提供することを目的とする。

上記目的を解決するために、本発明の一態様であるバルブは、第１流路および第２流路が形成されたボディと、前記第１流路と前記第２流路との間を連通または遮断する弁体と、を備えたバルブであって、前記ボディは、前記弁体側に位置する第１面と、前記第１面の反対側に位置する第２面と、を有する基部と前記第２面と段差部を形成する第３面を有する第１連結部と、前記第１面と段差部を形成する第４面を有する第２連結部と、を有し、前記第１流路は、第１−１流路と、第１−２流路とを有し、前記第１−１流路の第１−１ポートは前記第３面に開口し、前記第１−２流路の第１−３ポートは、前記第１−１流路の第１−２ポートに連通し、かつ前記弁体に向かって開口し、前記第１−２流路の第１−４ポートは前記第４面に開口し、前記第１−３ポートを介して、前記第１流路と前記第２流路とが連通可能であり、前記第１連結部は、別のバルブのボディにおける前記第２連結部に相当する部分に対し連結され、前記第１−１流路と前記別のバルブのボディにおける前記第１−２流路に相当する流路とが連通する。

また、前記ボディには、第３流路が形成され、前記バルブは、前記第１流路と前記第３流路との間を連通または遮断する他の弁体を更に備え、前記第１−２流路は、前記第１−３ポートと前記第１−４ポートとの間において前記他の弁体に向かって開口する第１−５ポートを有し、前記第１−５ポートを介して、前記第１流路と前記第３流路とが連通可能でも良い。

また、本発明の一態様である流体制御装置は、上記に記載のバルブが連結されたマニホールドバルブを備える。

本発明によれば、ガスラインの数を制限せず、かつ容易にガスラインを増減可能なバルブおよび流体制御装置を提供することができる。

実施形態に係るバルブを備える流体制御装置の斜視図を示す。 実施形態に係るバルブを備える流体制御装置の側面図を示す。 バルブの外観斜視図を示す。 （ａ）は、第１方向に直交する平面における閉状態にあるバルブの部分断面図を示し、（ｂ）は、（ａ）のＩＶｂ−ＩＶｂ線に沿った閉状態にあるバルブの部分断面図を示す。 開状態にあるバルブの部分断面図を示す。 （ａ）は、ボディの本体部に形成された流路の説明図を示し、（ｂ）は、ボディの本体部が他部材と連結するための構造の説明図を示す。 隣り合うバルブのボディが連結された状態を示す図である。 変形例に係るバルブの説明図を示す。

本発明の第１の実施形態に係るバルブおよび流体制御装置について、図面を参照して説明する。以下の説明における上下は、図１の上下とし、ガスライン３の延びる方向を第１方向Ｄ１とし、基盤２に平行でかつ第１方向Ｄ１に直交する方向を第２方向Ｄ２とする。

図１は、本実施形態に係るバルブ２０を備える流体制御装置１の斜視図を示している。図２は、本実施形態に係るバルブ２０を備える流体制御装置１の側面図を示している。

流体制御装置１は、基盤２と、複数（３ライン）のガスライン３と、ガスアウトマニホールド４とを備えている。また、各ガスライン３の構成は同じであるので、以下では複数のガスライン３のうちの一つのガスライン３についてのみ説明を行う。

図１に示すように、ガスライン３は、複数の継手１０、１１と、複数の流体制御機器１２〜１７、２０と、を備える。

複数の継手１０、１１は、プロセスガスの入口となる入口継手１０と、入口継手１０とガスアウトマニホールド４との間に配置される複数のブロック状の継手１１とにより構成さている。複数の継手１０、１１は、基盤２上に一列に並ぶように設けられ、図示せぬボルトにより基盤２に固定されている。図２に示すように、各継手１０、１１には、ガスの流路１０ａ、１１ａが形成されている。また、ガスアウトマニホールド４には、第２方向Ｄ２に沿って延びる流出路４ａが形成され、出口配管４Ｂが接続されている。

複数の流体制御機器１２〜１７は、自動弁（例えば流体駆動式の自動弁）１２〜１４、２０と、手動式のレギュレータ（減圧弁）１５と、フィルタ１６と、流量制御機器（例えば、マスフローコントローラ（ＭＦＣ：Ｍａｓｓ Ｆｌｏｗ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ））１７と、により構成されている。図１に示すように、各流体制御機器１２〜１７、２０は、ボルト５（図の簡略化のため一つのボルト５にのみ参照番号を付している。）により、継手１０、１１、ガスアウトマニホールド４に対しそれぞれ連結されている。

そして、入口継手１０から流入するプロセスガスは、流体制御機器１２〜１７、２０、複数の継手１１、およびガスアウトマニホールド４を通過して、図示せぬチャンバへ供給される。なお、後述のように複数のバルブ２０は、互いに連結可能に構成され、一体となって２つの閉止ブロック７と共にマニホールドバルブを構成する。

次に、バルブ２０について、図３〜図５を参照して説明する。

図３は、バルブ２０の外観斜視図を示している。図４（ａ）は、第１方向Ｄ１に直交する平面における閉状態にあるバルブ２０の部分断面図を示し、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＩＶｂ−ＩＶｂ線に沿った閉状態にあるバルブ２０の部分断面図を示している。図５は、開状態にあるバルブ２０の部分断面図を示している。

図３に示すように、バルブ２０は、ボディ３０と、ボンネット部２１と、アクチュエータ２２とを備える。

図４に示すように、ボディ３０は、本体部３１と円筒部３２とを備え、例えば、鋳造、ロストワックス、または３Ｄプリンタにより製造される。本体部３１には、第１流路３１ａと、第２流路３１ｂとが形成されている。円筒部３２は、本体部３１の上側に設けられ、弁室３２ａが形成されている。また、弁室３２ａには環状の溝３２ｂが形成されている。第１流路３１ａは弁室３２ａに連通し、第２流路３１ｂは溝３２ｂと連通するように構成されている。なお、本体部３１の詳細な構成については後述する。

ボンネット部２１は、ボンネット２１Ａと、ボンネットナット２１Ｂと、シート２１Ｃと、ダイヤフラム２１Ｄと、押さえアダプタ２１Ｅと、ダイヤフラム押さえ２１Ｆ、ホルダ２１Ｇと、ステム２１Ｈと、バネ２１Ｊとを有する。

ボンネット２１Ａは、略円筒状をなし、ボンネットナット２１Ｂが円筒部３２に対し螺合されることにより、ボディ３０に対し固定されている。シート２１Ｃは、環状をなし、円筒部３２の弁室３２ａと第１流路３１ａとが連通する箇所の周縁に設けられている。ダイヤフラム２１Ｄは、押さえアダプタ２１Ｅにより、その外周縁部が狭圧され、ボディ３０に対し保持されている。弁体であるダイヤフラム２１Ｄは、略球殻状をなし、上に凸の略円弧状が自然状態となっている。ダイヤフラム２１Ｄがシート２１Ｃに対し当接および離間することによって、第１流路３１ａと第２流路３１ｂとの間の連通または遮断が行われる。バルブ２０が閉状態にあるときには、ダイヤフラム２１Ｄがシート２１Ｃに当接し、第１流路３１ａと第２流路３１ｂとが遮断される。図５に示すように、バルブ２０が開状態にあるときには、ダイヤフラム２１Ｄがシート２１Ｃから離間し、第１流路３１ａと第２流路３１ｂとが連通する。

ダイヤフラム押さえ２１Ｆは、ダイヤフラム２１Ｄの上側に設けられ、ダイヤフラム２１Ｄの中央部を押圧可能に構成されている。ダイヤフラム押さえ２１Ｆはホルダ２１Ｇに嵌合され、ホルダ２１Ｇは、ボンネット２１Ａにより上下方向に移動可能に支持されている。ステム２１Ｈは、ホルダ２１Ｇに対し螺合されて連結されている。バネ２１Ｊは、ホルダ２１Ｇを常に下側に付勢している。

ステム２１Ｈは、駆動部であるアクチュエータ２２により駆動されて、上側へ移動される。アクチュエータ２２は、外部からの流体により駆動力を発生させる。これにより、ホルダ２１Ｇもバネ２１Ｊの付勢力に抗して上側に移動し、ダイヤフラム２１Ｄの弾性力および第１流路３１ａを流れるガスの圧力によりダイヤフラム２１Ｄは略円弧状に戻り、図５に示すようにバルブ２０は開状態となる。

次に、ボディ３０の本体部３１について図３、４、６を参照して説明する。図６（ａ）は、ボディ３０の本体部３１に形成された流路の説明図を示し、図６（ｂ）は、ボディ３０の本体部３１が他部材と連結するための構造の説明図を示している。

図３に示すように、ボディ３０の本体部３１は、基部３３と、第１連結部３４と、第２連結部３５とを備える。

基部３３は、略直方体状をなし、第１面３３Ａと第１面３３Ａの反対側に位置する第２面３３Ｂとを有する。第１面３３Ａには、円筒部３２が設けられる。第２面３３Ｂは、バルブ２０が継手１１に連結される時に継手１１に当接する。第２面３３Ｂには、第１方向Ｄ１に沿った２箇所に環状凹部３３ｃ（図４（ｂ）、図６（ａ））が形成されている。

第１連結部３４は、基部３３に対して第２方向Ｄ２の一方の側に突出するように設けられている。第１連結部３４は、第２面３３Ｂと段差部３６を形成する第３面３４Ａを有する。第３面３４Ａには、環状凹部３４ｂ（図４（ａ）、図６（ａ））が形成されている。

第２連結部３５は、基部３３に対して第２方向Ｄ２の他方の側に突出するように設けられている。第２連結部３５は、第１面３３Ａと段差部３７を形成する第４面３５Ａを有する。第４面３５Ａには、環状凹部３５ｂが形成されている。また、第３面３４Ａと第４面３５Ａとは、略同一平面上に位置する。なお、第１連結部３４の第３面３４Ａの反対側に位置する第５面３４Ｄと第１面３３Ａとは、面一の関係にあり、第２連結部３５の第４面３５Ａの反対側に位置する第６面３５Ｄと第２面３３Ｂとは面一の関係にある。また、バルブ２０における他部材との連結するための構造については後述する。

また、上記のように、ボディ３０の本体部３１には、図４、６に示すように、第１流路３１ａと第２流路３１ｂとが形成されている。

第１流路３１ａは、パージガス（例えば、窒素）を流すための流路であり、第１−１流路３１ｃと、第１−２流路３１ｄとを有する。

第１−１流路３１ｃは、環状凹部３４ｂを介して第３面３４Ａに開口する第１−１ポート３１ｃ１と、第１−２流路３１ｄに開口する第１−２ポート３１ｃ２とを有する。第１−１流路３１ｃは、第１−１ポート３１ｃ１から上方に延びる部分と、上方に延びる部分の上端から第２方向Ｄ２に沿って延びる部分とにより構成される。

第１−２流路３１ｄは、ダイヤフラム２１Ｄに向かって開口する第１−３ポート３１ｄ１と、環状凹部３５ｂを介して第４面３５Ａに開口する第１−４ポート３１ｄ２とを有する。第１−２流路３１ｄは、第１−３ポート３１ｄ１から下方に向かって延びる部分と、下方に延びる部分の下端から第２方向Ｄ２に沿って延びる部分と、第２方向Ｄ２に延びる部分の端部から下方に向かって延びる部分と、下方に延びる部分の下端から第２方向Ｄ２に沿って延びる部分と、第２方向Ｄ２に沿って延びる部分の端部から上方に向かって延びる部分とにより構成される。

第２流路３１ｂは、プロセスガスおよびパージガスを流すための流路であり、第２−１流路３１ｅと、第２−２流路３１ｆとを有する。

第２−１流路３１ｅは、逆Ｖ字状をなし、環状凹部３３ｃを介して第２面３３Ｂに開口する２つの第２−１ポート３１ｅ１および第２−２ポート３１ｅ２を有する。第２−１ポート３１ｅ１は、第２−２ポート３１ｅ２よりもプロセスガスの流れの上流側に位置する。

第２−２流路３１ｆは、溝３２ｂを介してダイヤフラム２１Ｄに向かって開口する第２−３ポート３１ｆ１と、第２−１流路３１ｅに開口する第２−４ポート３１ｆ２とを有する。第２−２流路３１ｆは、第２−３ポート３１ｆ１から第２−４ポート３１ｆ２へ下方に向かって延びるように構成されている。

また、図６（ｂ）に示すように、本体部３１において、基部３３の４隅に接続穴３３ｄが、第１連結部３４に一対のボルト挿入穴３４ｃが、第２連結部３５に一対の雌ネジ穴３５ｃが形成されている。

各接続穴３３ｄには、ボルト５（図１）が挿入され、当該ボルト５が継手１１に対し螺合され、本体部３１が継手１１に対し連結される。一対のボルト挿入穴３４ｃには、それぞれボルト６（図１）が挿入され、隣接するバルブ２０のボディ３０の雌ネジ穴３５ｃに螺合され、図７に示すように、隣り合うバルブ２０のボディ３０が連結される。

図７は、隣り合うバルブ２０のボディ３０が連結された状態を示す図である。なお、図７において、ボディ３０の本体部３１および閉止ブロック７のみ断面図で示されており、３個の本体部３１に対し、図７における右側から順に参照番号３１Ｘ、３１Ｙ、３１Ｚを付して説明する。

図７に示すように、本体部３１Ｘの第１連結部３４に閉止ブロック７が連結されて第１−１ポート３１ｃ１が閉じられ、本体部３１Ｚの第２連結部３５に閉止ブロック７が連結され第１−４ポート３１ｄ２が閉じられている。

本体部３１Ｙの第１連結部３４が、本体部３１Ｘの第２連結部３５に対し、上下方向で重なった状態で互いに連結されている。換言すれば、本体部３１Ｙの第１連結部３４が本体部３１Ｘの段差部３７（図３、４（ａ））内に位置し、本体部３１Ｘの第２連結部３５が本体部３１Ｙの段差部３６（図３、４（ａ））内に位置するようにして連結されている。これにより、本体部３１Ｘの第１−２流路３１ｄと、本体部３１Ｙの第１−１流路３１ｃとが互いに連通する。

本体部３１Ｘの第２連結部３５の環状凹部３５ｂおよび本体部３１Ｙの第１連結部３４の環状凹部３４ｂには、ガスケット３８が挿入され、本体部３１Ｘと本体部３１Ｙとの連結部分がシールされている。

本体部３１Ｚは、本体部３１Ｙが本体部３１Ｘに連結された形態と同様の形態で、本体部３１Ｙに連結されている。

また、本体部３１Ｘの第１連結部３４の環状凹部３４ｂおよび閉止ブロック７の凹部７ａに、ガスケット３８が挿入され、本体部３１Ｘの第１連結部３４と閉止ブロック７との連結部分がシールされている。本体部３１Ｚの第２連結部３５の環状凹部３５ｂおよび閉止ブロック７の凹部７ａに、ガスケット３８が挿入され、本体部３１Ｚの第２連結部３５と閉止ブロック７との連結部分がシールされている。

また、各本体部３１の環状凹部３３ｃおよび各継手１１の図示せぬ環状凹部にもガスケット３８が挿入され、本体部３１と継手１１との連結部分がシールされている。

このようにして、本体部３１が連結されることにより、３つのバルブ２０が第２方向Ｄ２に沿って連結されて、各バルブ２０を貫き各第２流路に連通可能な一本の流路を有するマニホールドバルブが構成される。

次に、バルブ２０が閉状態および開状態にあるときのガスの流れについて説明する。

プロセスガスを図示せぬチャンバに供給する際、バルブ２０は図４に示す閉状態にされる。これにより、ガスライン３へ供給されるプロセスガスが、本体部３１の第２−１ポート３１ｅ１から第２流路３１ｂへ流入しても、第１流路３１ａへは流れず、第２−２ポート３１ｅ２から流出し、下流側のマスフローコントローラ１７へ流れる。

一方、パージガスによりマスフローコントローラ１７等をパージする際、バルブ２０は図５に示す開状態にされる。これにより、パージガスを供給するためのガスライン３を流れるパージガスは、本体部３１の第２−１ポート３１ｅ１から第２流路３１ｂへ流入し、溝３２ｂおよび弁室３２ａを通過して第１流路３１ａへ流入する。なお、パージガスを供給するガスライン３以外のガスライン３では、自動弁１３は閉状態にされる。

例えば、図７において、パージガスを供給するためのガスライン３が、本体部３１Ｘを備えるガスライン３である場合、パージガスは、本体部３１Ｘの第２流路３１ｂから第１流路３１ａへ流入する。その後、パージガスは、本体部３１Ｘの第１−２流路３１ｄから本体部３１Ｙの第１−１流路３１ｃへ流入する。本体部３１Ｙの第１−１流路３１ｃへ流入したパージガスは、一部が溝３２ｂおよび弁室３２ａを通過して本体部３１Ｙの第２流路３１ｂへ流入し、残部が本体部３１Ｙの第１−２流路３１ｄへ流入する。

本体部３１Ｙの第２流路３１ｂへ流入したパージガスは、自動弁１３が閉状態にあるので、マスフローコントローラ１７側に流れ、マスフローコントローラ１７、自動弁１４、およびガスアウトマニホールド４を通過し、図示せぬチャンバまで流れる。

一方、本体部３１Ｙの第１−２流路３１ｄへ流入したパージガスは、本体部３１Ｚの第１−１流路３１ｃへ流入し、溝３２ｂおよび弁室３２ａを通過して本体部３１Ｚの第２流路３１ｂへ流入する。そして、本体部３１Ｚの第２流路３１ｂへ流入したパージガスは、自動弁１３が閉状態にあるので、マスフローコントローラ１７側に流れ、マスフローコントローラ１７、自動弁１４、およびガスアウトマニホールド４を通過し、図示せぬチャンバまで流れる。

次に、バルブ２０を備えた流体制御装置１においてガスライン３を増設または削減する方法について図１、図７に基づき説明する。

ガスライン３の増設時には、ガスアウトマニホールド４およびこれに固定されている自動弁１４を全て外し、増設するガスライン３の複数の継手１０、１１およびガスライン３の数に応じた新たなガスアウトマニホールド４を基盤２に固定する。次に、本体部３１Ｚの第２連結部３５から閉止ブロック７を外して、増設するバルブ２０の本体部３１の第１連結部３４を、本体部３１Ｚの第２連結部３５にボルト６により連結させる。増設したバルブ２０の本体部３１の第２連結部３５に閉止ブロック７を固定する。増設するガスライン３の複数の流体制御機器１２〜１７、増設したバルブ２０を複数の継手１０、１１に連結する。さらに、既存のガスライン３の自動弁１４を新たなガスアウトマニホールド４に連結する。

ガスライン３の削減時には、閉止ブロック７を本体部３１Ｚの第２連結部３５から外し、削減するガスライン３の複数の継手１０、１１および複数の流体制御機器１２〜１７、２０を基盤２から外す。さらに、ガスアウトマニホールド４およびこれに固定されている自動弁１４を全て外す。次に、本体部３１Ｙの第２連結部３５に対し、閉止ブロック７を固定する。また、ガスライン３の数に応じた新たなガスアウトマニホールド４を基盤２に固定し、新たなガスアウトマニホールド４に対し自動弁１４を連結する。

上記のようなバルブ２０によれば、バルブ２０のボディ３０の第１連結部３４を、別のバルブ２０のボディ３０の第２連結部３５に連結または第２連結部３５から外すことにより、容易にマニホールドバルブの長さの変更することができる。これにより、ガスライン３の数が制限されず、かつ容易にガスライン３の増減を行うことができる。

また、バルブ２０のボディ３０の第１連結部３４が、隣接するバルブ２０のボディ３０の第２連結部３５に対し、上下方向で重なった状態で、上側からボルト５により互いに連結されている。このため、バルブ２０を連結または取り外す際には、上方からのアクセスのみで、バルブ２０を連結または取り外すことができる。よって、広いスペースを確保しなくても、バルブ２０の連結および取外しを行うことができる。

なお、本発明は、上述した実施例に限定されない。当業者であれば、本発明の範囲内で、種々の追加や変更等を行うことができる。

例えば、図８に示すように、上記の実施形態のバルブ２０を複数（図８では２つ）連結したようなバルブ１２０であっても良い。図８（ａ）に示すように、ボディ１３０は、本体部１３１と２つの円筒部１３２Ａ、１３２Ｂとを備える。各円筒部１３２Ａ、１３２Ｂに対し、ボンネット部２１およびアクチュエータ２２が設けられている。本体部１３１は、基部１３３と、第１連結部３４と、第２連結部３５とを備える。２つの円筒部１３２Ａ、１３２Ｂは、基部１３３の第１面１３３Ａに対して設けられている。基部１３３は、第１面１３３Ａの反対側に位置する第２面１３３Ｂを有する。基部１３３には、バルブ１２０を複数の継手１１に接続するための接続穴１３３ｄが複数形成されている。

そして、図８（ｂ）に示すように、本体部１３１には、第１流路１３１ａと、第２流路３１ｂと、第３流路１３１ｇとが形成されている。第１流路１３１ａの第１−２流路１３１ｄは、円筒部１３２Ａ内のダイヤフラム２１Ｄ（図４（ｂ））に向かって開口する第１−３ポート１３１ｄ１と、第４面３５Ａに開口する第１−４ポート１３１ｄ２と、第１−３ポート１３１ｄ１と第１−４ポート１３１ｄ２との間において円筒部１３２Ｂ内のダイヤフラム２１Ｄ（図４（ｂ））に向かって開口する第１−５ポート１３１ｄ３とを有する。

第３流路１３１ｇは、プロセスガスおよびパージガスを流すための流路であり、第２流路３１ｂと同様の形状をなしている。すなわち、第３流路１３１ｇは、第２流路３１ｂの第２−１流路３１ｅおよび第２−２流路３１ｆに相当する第３−１流路および第３−２流路を有している。よって、第３−１流路は、逆Ｖ字状をなし、環状凹部１３３ｃを介して第２面１３３Ｂに開口する２つのポートを有する。第３−２流路は、円筒部１３２Ｂにおいて溝３２ｂ（図４（ｂ））を介してダイヤフラム２１Ｄ（図４（ｂ））に向かって開口するポートと、第３−１流路に開口するポートとを有する。そして、ダイヤフラム２１Ｄがシート２１Ｃに対し当接および離間することによって、第１流路１３１ａと第３流路１３１ｇとの間の連通または遮断が行われる。かかる構成のバルブ１２０によれば、複数のガスライン３の増減を容易に行うことができる。

また、第１流路３１ａの第１−１流路３１ｃは、環状凹部３４ｂを介して第３面３４Ａに開口する第１−１ポート３１ｃ１と、第１−２流路３１ｄに開口する第１−２ポート３１ｃ２とを有していれば、どのような形状であっても良い。同様に、第１流路３１ａの第１−２流路３１ｄは、ダイヤフラム２１Ｄに向かって開口する第１−３ポート３１ｄ１と、環状凹部３５ｂを介して第４面３５Ａに開口する第１−４ポート３１ｄ２とを有していれば、どのような形状であっても良い。

さらに、第２流路３１ｂの第２−１流路３１ｅは、環状凹部３３ｃを介して第２面３３Ｂに開口する２つの第２−１ポート３１ｅ１および第２−２ポート３１ｅ２を有していれば、どのような形状であっても良い。第２流路３１ｂの第２−２流路３１ｆは、溝３２ｂを介してダイヤフラム２１Ｄに向かって開口する第２−３ポート３１ｆ１と、第２−１流路３１ｅに開口する第２−４ポート３１ｆ２とを有していれば、どのような形状であっても良い。

また、複数のガスライン３のうちの一つのガスライン３をパージガスを流すガスラインとして用いたが、第２方向Ｄ２において端部に位置するバルブ２０のボディ３０の第１連結部３４または第２連結部３５に配管を接続して、パージガスを流すようにしても良い。

また、ステム２１Ｈを上下動させる駆動手段は、自動式の駆動手段であったが、手動式の駆動手段であっても良い。また、自動式の駆動手段としては、電磁式の駆動手段でも良い。また、バルブ２０、１２０は、ダイヤフラムバルブであったが、他のバルブであっても良い。

また、実施形態では、流体制御装置１は、流体制御機器として開閉弁、フィルタ、レギュレータ、およびマスフローコントローラを備えていたが、これらの他に、逆止弁、圧力計等を備えていても良い。

１：流体制御装置
２：基盤
３：ガスライン
４：ガスアウトマニホールド
４ａ：流出路
４Ｂ：出口配管
５、６：ボルト
７：閉止ブロック
７ａ：凹部
１０、１１：継手
１２〜１７：流体制御機器
２０、１２０：バルブ
２１：ボンネット部
２１Ｃ：シート
２１Ｄ：ダイヤフラム
２１Ｈ：ステム
２２：アクチュエータ
３０、１３０：ボディ
３１ａ、１３１ａ：第１流路
３１ｂ：第２流路
３１ｃ：第１−１流路
３１ｃ１：第１−１ポート
３１ｃ２：第１−２ポート
３１ｄ、１３１ｄ：第１−２流路
３１ｄ１、１３１ｄ１：第１−３ポート
３１ｄ２、１３１ｄ２：第１−４ポート
３１ｅ：第２−１流路
３１ｅ１：第２−１ポート
３１ｅ２：第２−２ポート
３１ｆ：第２−２流路
３１ｆ１：第２−３ポート
３１ｆ２：第２−４ポート
３２ａ：弁室
３２ｂ：環状の溝
３３、１３３：基部
３３Ａ、１３３Ａ：第１面
３３Ｂ、１３３Ｂ：第２面
３３ｃ 、３４ｂ、３５ｂ、１３３ｃ：環状凹部
３３ｄ、１３３ｄ：接続穴
３４：第１連結部
３４Ａ：第３面
３４ｃ：ボルト挿入穴
３４Ｄ：第５面
３５：第２連結部
３５Ａ：第４面
３５ｃ：雌ネジ穴
３５Ｄ：第６面
３６、３７：段差部
３８：ガスケット
１３１ｄ３：第１−５ポート
１３１ｇ：第３流路

Claims (4)

1. 第１流路および第２流路が形成されたボディと、
   前記第１流路と前記第２流路との間を連通または遮断する弁体と、
   を備えたバルブであって、
   前記ボディは、
   前記弁体側に位置する第１面と、前記第１面の反対側に位置する第２面と、を有する基部と、
   前記第２面と段差部を形成する第３面を有する第１連結部と、
   前記第１面と段差部を形成する第４面を有する第２連結部と、を有し、
   前記第１流路は、第１−１流路と、第１−２流路とを有し、
   前記第１−１流路の第１−１ポートは前記第３面に開口し
   前記第１−２流路の第１−３ポートは、前記第１−１流路の第１−２ポートに連通し、かつ前記弁体に向かって開口し、
   前記第１−２流路の第１−４ポートは前記第４面に開口し、
   前記第１−３ポートを介して、前記第１流路と前記第２流路とが連通可能であり、
   前記第１連結部は、別のバルブのボディにおける前記第２連結部に相当する部分に対し連結され、前記第１−１流路と前記別のバルブのボディにおける前記第１−２流路に相当する流路とが連通し、
   前記ボディに弁室が形成され、前記弁室に前記弁体が配置されている、バルブ。
2. 前記ボディには、第３流路が形成され、
   前記バルブは、
   前記第１流路と前記第３流路との間を連通または遮断する他の弁体
   を更に備え、
   前記第１−２流路は、前記第１−３ポートと前記第１−４ポートとの間において前記他の弁体に向かって開口する第１−５ポートを有し、
   前記第１−５ポートを介して、前記第１流路と前記第３流路とが連通可能である、請求項１に記載のバルブ。
3. 請求項１または請求項２に記載のバルブが連結されたマニホールドバルブを備える流体制御装置。
4. 複数のガスラインを備え、各ガスラインに請求項１または請求項２に記載のバルブが１つ設けられ互いに連結されて前記マニホールドバルブが構成されている、請求項３に記載の流体制御装置。

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