KR20020011331A - 집적화 가스 제어 장치 - Google Patents
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Description
Claims (12)
- 바닥면 측으로 개방된 제1 가스 유로 및 제2 가스 유로를 갖는 복수 종류의 가스 제어 기기와, 양측에 돌출부를 갖고, 이들 돌출부 사이에 홈 모양의 오목부를 갖는 기초부와, 이 기초부의 오목부의 중간부에 배치되고, 양측부가 정상부 측으로 개방된 가스 유로를 갖는 중간 유로 블록과, 상기 기초부의 오목부의 양측 단부에 배치되고, 인접하는 상기 중간 유로 블록측 근처 위치에서 정상부 측으로 일측부가 개방된 가스 유로를 갖는 종단 유로 블록과, 상기 기초부의 양측 돌출부에 떼어낼 수 있게 장착되고, 각 가스 제어 기기의 제1 가스 유로 및 제2 가스 유로의 개방부를 인접하는 상기 유로 블록의 가스 유로의 인접하는 개방부와 연통시킬 수 있는 위치 결정 상태에서, 각 가스 제어 기기를 상기 유로 블록 측으로 이동할 수 있도록 지지할 수 있는 지지 수단 및 각 지지 수단에 의해 위치 결정 상태로 지지된 각 가스 제어 기기를 상기 유로 블록 측으로 가압해서 접속하기 위한 접속 수단으로 이루어지는 가스 제어 기기 장착 수단과, 각 가스 제어 기기의 각 가스 유로와 각 유로 블록의 가스 유로를 연통시킨 상태에서 양자 사이를 밀봉하는 밀봉 수단을 구비한 집적화 가스 제어 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 가스 제어 기기는 제1 가스 유로 및 제2 가스 유로가 바닥면 측으로 개방된 원주형의 본체를 갖고, 상기 가스 제어 기기 장착 수단의 지지 수단은 상기 가스 제어 기기의 본체를 삽입할 수 있는 원통형부와, 이 원통형부의 하부 외주에 일체적으로 설치되고, 기초부의 양측 돌출부 상에 겹치지는 플랜지부를 갖는 지지대를 구비하고, 상기 가스 제어 기기 장착 수단의 접속 수단은 상기 지지대의 원통형부의 상부 주위에 형성된 나사부와, 상기 가스 제어 기기의 본체의 외주에 설치되고, 상기 본체를 상기 지지대의 원통형부에 삽입한 상태에서, 상기 나사부에 나사 결합해서 상기 본체를 상기 유로 블록 측으로 가압하는 통형 접속 부재를 구비한 것인 집적화 가스 제어 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 가스 제어 기기 장착 수단의 지지대와 중간 유로 블록 및 종단 유로 블록은 서로 형성된 요철형의 위치 결정용 걸어맞춤부에 의해 위치 결정되는 것인 집적화 가스 제어 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 가스 제어 기기 장착 수단의 지지 수단의 플랜지부는 기초부의 양측 돌출부에 정상면 측으로부터 바닥면 측을 향해 형성된 나사 구멍에 나사에 의하여 부착된 것인 집적화 가스 제어 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 가스 제어 기기는 바닥부의 양측 중앙부에 제1 가스 유로 및 제2 가스 유로가 바닥면 측으로 개방된 돌출 블록을 갖고, 상기 가스 제어 기기 장착 수단의 지지 수단은 상기 돌출 블록을 지지하도록 기초부의 양측 돌출부의 4개 위치에 세워져 설치된 지주를 구비하며, 상기 가스 제어 기기 장착 수단의 접속 수단은 상기 돌출 블록의 양측에 배치된 상기 지주에 걸쳐 연계되고, 중앙부에 관통하는 나사 구멍을 갖는 클램프용 블록과, 이 클램프용 블록의 나사 구멍에 나사 결합되어 상기 돌출 블록을 상기 유로 블록 측으로 가압하는 볼트를 구비한 것인 집적화 가스 제어 장치.
- 제5항에 있어서, 상기 가스 제어 기기 장착 수단의 지주는 기초부의 양측 돌출부에 정상면 측으로부터 바닥면 측을 향해 형성된 나사 구멍에 나사 삽입된 것인 집적화 가스 제어 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 밀봉 수단은 각 가스 제어 기기의 제1 가스 유로 및 제2 가스 유로의 바닥면 개방측 주연부에 형성된 밀봉용 환상 돌출부와, 상기 중간 유로 블록 및 종단 유로 블록의 정상면 개방측 주연부에 형성된 밀봉용 환상 돌출부와, 각 가스 제어 기기의 제1 가스 유로 및 제2 가스 유로와 상기 유로 블록의 가스 유로를 연통시키는 구멍을 갖고, 상기 가스 제어 기기와 상기 유로 블록과의 사이에 각 밀봉용 환상 돌출부가 침입한 상태에서 개재되는 금속 가스켓을 구비한 것인 집적화 가스 제어 장치.
- 제7항에 있어서, 상기 금속 가스켓은 상기 가스 제어 기기 측에 유지 수단에 의해 유지된 것인 집적화 가스 제어 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 중간 유로 블록 및 종단 유로 블록은 상기 가스 제어기기 장착 수단에 의해 가스 제어 기기를 접속할 때에 밀봉 수단을 통해 상기 기초부에 대하여 떼어낼 수 있게 압박·고정되는 것인 집적화 가스 제어 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 가스 제어 기기는 하나의 구성 단위로서 조립된 상태로 상기 가스 제어 기기 장착 수단에 의해 상기 유로 블록에 떼어낼 수 있게 접속되는 것인 집적화 가스 제어 장치.
- 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스 제어 기기는 토글형 수동 다이어프램 밸브, 필터 유닛, 레귤레이터, 압력 변환기, 자동 다이어프램 밸브, 퍼지 밸브로부터 선택·사용되는 것인 집적화 가스 제어 장치.
- 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 가스 제어 기기는 질량 유량 제어기인 것인 집적화 가스 제어 장치.
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