JP2002506181A - モジュール式表面取付型マニホルド - Google Patents

モジュール式表面取付型マニホルド

Info

Publication number
JP2002506181A
JP2002506181A JP2000534799A JP2000534799A JP2002506181A JP 2002506181 A JP2002506181 A JP 2002506181A JP 2000534799 A JP2000534799 A JP 2000534799A JP 2000534799 A JP2000534799 A JP 2000534799A JP 2002506181 A JP2002506181 A JP 2002506181A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fluid
bridge
fitting
inlet
outlet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000534799A
Other languages
English (en)
Inventor
エイズモア,ポール・ジー
Original Assignee
スウエイジロク・カンパニー
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by スウエイジロク・カンパニー filed Critical スウエイジロク・カンパニー
Publication of JP2002506181A publication Critical patent/JP2002506181A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00Construction of housing; Use of materials therefor
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803Modular units
    • F15B13/0807Manifolds
    • F15B13/0814Monoblock manifolds
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803Modular units
    • F15B13/0807Manifolds
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803Modular units
    • F15B13/0821Attachment or sealing of modular units to each other
    • F15B13/0825Attachment or sealing of modular units to each other the modular elements being mounted on a common member, e.g. on a rail
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803Modular units
    • F15B13/0846Electrical details
    • F15B13/086Sensing means, e.g. pressure sensors
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803Modular units
    • F15B13/0878Assembly of modular units
    • F15B13/0885Assembly of modular units using valves combined with other components
    • F15B13/0892Valves combined with fluid components
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003Housing formed from a plurality of the same valve elements
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/5109Convertible
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/8593Systems
    • Y10T137/877With flow control means for branched passages
    • Y10T137/87885Sectional block structure

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Valve Housings (AREA)
  • Fluid-Pressure Circuits (AREA)
  • Branch Pipes, Bends, And The Like (AREA)
  • Quick-Acting Or Multi-Walled Pipe Joints (AREA)

Abstract

(57)【要約】 占める面積が小さく、流体システムの流体用構成部品を相互に連結するモジュール式マニホルドシステムが提供される。本システムは、第1の流体用構成部品の出口ポートと流体連通する入口端部と、第2の流体用構成部品の入口ポートと流体連通する出口端部を持つ1つ以上のブリッジ取付具(52)を備える。ブリッジ取付具は、支持板(40)のチャンネル(44)内部に搭載して構造上の支持とすることができる。オプションの位置決めプレート(30)を用いて、これをブリッジ取付具の端部の上に取りつけて、流体用構成部品の入口と出口ポートを、ブリッジ取付具の入口および出口端部と位置合わせをすることができる。ブリッジ取付具を位置決めプレートに複数方向に取りつけて、複数の流路を形成することもできる。さらに、ブリッジ取付具を積み重ねて、複数の層を形成し、1つの層のブリッジ取付具を他の層のブリッジ取付具と流体連通させることもできる。本発明はさらに、流体ポートと、嵌合するブリッジ取付具端部との間に設けたシールを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の分野】
本発明は全般的に流体システム用マニホルドに関し、より具体的には、本発明
は、半導体ウェファー製造に用いられるクリーンルーム環境など、高純度流体シ
ステムおよび腐食性流体システムで用いられるモジュール式気体分配システムに
関する。
【0002】
【発明の背景】
本出願は、1998年3月5日出願の米国仮出願(US provisional applicati
on)No. 60/076,871の利点(benefit)を請求する。
【0003】 半導体の製造では、各種の高純度気体を用いる。これら気体は高純度バルブ(
high purity valve)、調整装置(regulator)圧力変換装置(pressure transdu
cers)、流量制御装置(mass flow controller)、溶接および高純度金属シール
によって互いに連結されるその他構成部品からなるシステムによって制御される
。これら結合は、溶接作業のための余分な時間と費用がかかり、構成部品間に不
必要なすき間ができ、他の構成部品と部品との間に位置する部品の交換が難しく
なる、といった理由から、多くの応用分野で望ましくない。さらに、これらシス
テムは特注設計、製造(custom designed and manufactured)されているのが普
通で、そのため、製造費用や交換部品の調達が極めて高いものになる。
【0004】 こうした問題を克服するために、業界では最近新型モジュール式マニホルドシ
ステムが導入されるようになった。たとえばバルブ、圧力調整装置(pressure r
egulators)など、こうしたシステムの代表的な構成部品およびその他流体用構 成部品は、入口・出口ポートや取付機構(attachment mechanism)が表面取付型
マニホルドに適合するよう変更が加えられた。これらマニホルドは、高純度金属
を機械加工(machined)したモジュール・ブロックでできていて、機械加工され
た内部流路を持つのが一般的である。これら従来技術によるモジュール式システ
ムは構成部品とモジュール・ブロック面(modular block face)間に金属製シー
ルをを用いることで、ほぼ漏洩のない一体性を保証するのが通常である。そうし
たシステムの目的の一つは、表面取付型構成部品を相互に交換できるように、業
界基準(industry standards)に基づく表面取付型の標準構造(surface mount
standard configurations)を用いることにある。
【0005】 この種の従来のモジュール式システムの欠点は、モジュール・ブロック全体が
高純度金属でできていることである。したがって、金銭、天然資源が十分に活用
されていない。さらに、こうしたブロック構成部品は、単一ブロックについて複
数流路を機械加工するのが複雑で製造コストが高い上、製造が煩雑なため高価な
スクラップが形成される危険が高い。さらに、互いに嵌合するブロックとブロッ
クの間には嵌合するシールを用いる必要があり、そのため製造に余計な時間を要
する上、漏れのないシールを確実にするにはファスナー部材の設置とメークアッ
プトルクの調整を(makeup torque)適正に行わねばならない。。
【0006】
【発明の要旨】
したがって、モジュール式嵌合ブロック間のシールを必要とせず、高価な材料
の使用量を劇的に削減し、製造がより簡単でより安価なシステムであって、その
一方既存システムの性能、安全性(integrity)、信頼性を満たすかまたはこれ を超えるシステムでありながら、設置場所(footprint)あるいはエンベロプが 小さくなった、モジュール式マニホルドデザインの提供が求められる。
【0007】 本発明の一側面では、バルブ、調整装置、圧力変換装置、流量制御装置など、
2つ以上の流体用構成部品と流体連通する(in fluid communication with)こ とを目的とした、流体マニホルドシステムで使用するブリッジ取付具(bridge f
itting)を提供する。ブリッジ取付具は、第1のL字型取付具と、これに連結さ れる第2のL字型取付具を備え、連結されたL字型型取付具はその中を貫通する内
部流路をもつ。ブリッジ取付具の内部流路は入口端部と出口端部を持ち、入口端
部は第1の流体用構成部品の出口ポートと流体連通し、ブリッジ取付具の出口端
部は第2流体用構成部品の入口端部と流体連通している。
【0008】 本発明の他の側面では、3つ以上の流体用構成部品との流体連通を目的とした
、流体マニホルドで使用するブリッジ取付具を提供するもので、前記流体用構成
部品のうち1つ以上が単一ポートを持つ。ブリッジ取付具は、それぞれ端部がT 字取付具に連結される第1と第2のL字型取付具を備える。T字型取付具はL字型
取付具の間に位置し、L字型取付具、T字型取付具はそれぞれ互いに流体連通す る内部流路を持つ。取付具の内部流路は、入口端部と第1および第2の出口端部
を持ち、入口端部は第1の流体用構成部品の出口ポートと流体連通し、流路の出
口端部は第2および第3の流体用構成部品の入口端部とそれぞれ流体連通してい
る。
【0009】 本発明のさらに他の側面では、入口ポートと、出口ポートを持つ、1つ以上の
表面取付型流体用構成部品と連結するモジュール式流体マニホルドシステムが提
供されるもので、モジュール式システムは中を内部流路が貫通する1つ以上のブ
リッジ取付具を具備し、ブリッジ取付具の内部流路は第1の流体用構成部品の出
口ポートと連結するための入口端部と、第2の流体用構成部品の入口ポートと連
結するための出口端部を持ち、これにより、ブリッジ取付具の内部流路は、シス
テムを組み立てた時、第1,第2流体用構成部品と流体連通することになる。
【0010】 最後に、本発明は入口ポート1つと、1つ以上の出口ポートを具備する1つ以
上の流体用構成部品と連結するためのモジュール式流体マニホルドシステムを提
供する。マニホルドシステムは、入口端部と出口端部、ならびに前記端部を連結
する内部通路を持つ1つ以上のブリッジ取付具を備える。システムはさらに、そ
の上に流体用構成部品を搭載するための上面と、流体用構成部品の入口、出口ポ
ートと位置合わせした(aligned with)複数の穴をもつ位置決めプレート(loca
tor plate)を含む。位置決めプレートは、ブリッジ取付具を装着するための下 面を持つ。各ブリッジ取付具の入口端部は流体用構成部品の出口ポートと流体連
通し、各ブリッジ取付具の出口端部は別の流体用構成部品の入口ポートと流体連
通する。
【0011】 これらおよびその他の本発明の特長、利点は添付図面とともに以下の詳細な説
明とクレームから明らかになろう。
【0012】
【詳細な説明】
本発明は特定部品および部品の配置について具体的な形態(physical form) をとりうるもので、その好ましい実施例を本明細書で詳細に記述し、添付図面に
図示するが、添付図面は本書の一部を形成する。
【0013】 ここで図面を参照するが、図面は本発明の好ましい実施例の図示のみを目的と
し、その限定を目的とせず、図1−4に独特のマニホルドシステムを示す。図面
に示され記述される本発明はたとえば、半導体装置の製造に用いられる高純度モ
ジュール式気体分配システム、あるいは腐食性流体に対する耐性が必要なその他
の流体システムの部品として有用である。本発明は高純度流体システムでの使用
に限定されず、流体の流動制御に関連するその他いかなる応用にも有用性を持つ
【0014】 図面、特に図1を参照すると、バルブ12,流量調整装置13,フィルター1
4、などの流体流動制御システム構成部品とともに組立てたモジュール式流体マ
ニホルドシステム10が示される。流体用構成部品は本発明と共に利用できるが
、本発明の一部ではない。流体用構成部品12−14は好ましくは表面取付型構
成部品であり、それぞれの構成部品は入口ポート16を持ち、さらに図3Aに示 すように、流体用構成部品への流体連通を可能にする1つ以上の出口ポート18
を具備する。流体用構成部品の一連の締め具22が流体用構成部品の底部フラン
ジ26開口部24を貫通して、構成部品をモジュール式マニホルドシステム10
に固定するようになっている。
【0015】 本発明のモジュール式マニホルドシステム10は1つ以上のブリッジ取付具5
0、オプションの位置決めプレート30、オプションの端部取付具(複数)45
、およびオプションの密封部材60を備えることができる。これら部材を以下に
詳述する。ブリッジ取付具50は、図3に示すように、2つのL字型取付具52 であり、L字型取付具2はオービタル溶接(orbital welding)などの従来手段に
より、その両端に連結したオプションの管状延長部54でつながっている。L字 型取付具52は入口端部58と、出口端部62,64を持つ内部流路56を持ち
、入口端部58は出口端部62,64に対して95度をなす。オプションの管状
延長部54は、2つの隣接するL字型端部取付具52の隣接流路とつながる内部 流路を持っていて、その結果、U字型流路がブリッジ取付具50の内部に形成さ れ、流路は入口端部62と出口端部64を持つ。図3Aに示すように、ブリッジ 取付具50の入口端部62は流体用構成部品12のそれぞれの出口開口部18と
流体連通しており、ブリッジ取付具50の出口端部64は隣接する流体用構成部
品13の入口と流体連通している。したがって、ブリッジ取付具50は、隣接す
るモジュールブロックを連結する際従来技術では必ず使われていた金属対金属の
シールを隣接ブリッジ取付具50間に設ける必要がなく、12,13などの隣接
流体用構成部品間を流体を移動させるための「ブリッジ」の役割を果たす。ブリ
ッジ取付具50は、316あるいはSCQなどのステンレス鋼、あるいはその他半 導体処理用流体と共に用いるのに適した金属で構成することが好ましい。典型的
な工業用途については、プラスチックあるいは金属など、適切な材料を本発明に
用いることができる。
【0016】 図1に示すように、モジュール式システム10は端部取付具45を具備しても
よく、端部取付具45は、規格VCR型取付具(standard VCR-type fitting)など
の規格取付具(standard fitting)46、あるいは流体ラインの接続に適したそ
の他取付具に接続させた90度の内部流路を持つL字型取付具を具備する。端部 取付具45は流体ライン(図示せず)と嵌合する入口取付具または出口取付具と
して利用できる。したがって、L字型取付具の出口または入口端部はそれぞれ流 体用構成部品の入口または出口端部に連結している。端部取付具45はステンレ
ス鋼、316ステンレス、SCQステンレス、その他半導体処理用流体と共に用い るのに適した材料で構成するのが好ましい。典型的な工業用途では端部取付具4
5を,プラスチックや金属などの適切な材料で構成すればよい。
【0017】 本発明のモジュール式マニホルドシステム10はさらにオプションで支持板(
backing plate)40を備える。支持板40は平坦な板で構成すればよいが、好 ましくは複数のブリッジ取付具50や端部取付具45をその中で受けて固定する
ための内部溝またはチャンネル42をもつ。ブリッジ取付具50と端部取付具4
5のL字型取付具52はそれぞれ、溝またはチャンネル42の形状に嵌合する正 確な寸法の外側形状ボディを持つ。L字型取付具52の外形は長方形または正方 形が好ましいが、必須ではない。チャンネル42を形成する内部側壁44も、正
方形のボディがぴったりはまるのに適した、あるいは対向する側壁の2つが長方
形のボディを受けるのに適した、寸法を持つことが好ましい。チャンネルの形状
がL字型取付具52の形状と合致するものであれば本発明は機能するので、本発 明は上述の形状に限定されない。支持板40は金属など、どのような材料でもよ
いが、アルミニウムなどの低価格で軽量の材料が好ましい。
【0018】 本発明の一実施例(図示せず)では、ブリッジ取付具50と端部取付具45が
チャンネル42の中に完全にはまりこむだけの深さをチャンネル42が持ってい
て、ブリッジ取付具の入口62、出口64および対向するチャンネル壁44の間
でシール60を受けるためのくぼみが形成されている(図示せず)。この実施例
のシステムを組み立てるには、隣接するブリッジ取付具52間のすき間が最小限
になるような間隔で、ブリッジ取付具50を支持板40のチャンネル42に挿入
する。次いで、流体用構成部品12−14の入口および出口ポートを、それぞれ
対応するブリッジ取付具の出口および入口ポートとに、慎重に位置合わせする。
たとえば、第1のブリッジ取付具50の入口端部を第1の流体用構成部品の出口
と位置合わせして流体連通を計る。次ぎに、第1ブリッジ取付具50の出口端部
を第1流体用構成部品に隣接する第2の流体用構成部品の入口と位置合わせする
。入口、出口ポートを慎重に位置合わせした後、締め具22を流体用構成部品の
フランジ26の穴24を介して、支持板40の嵌合穴(mating hole)(図示せ ず)に挿入することで、流体用構成部品を支持板40に固定する。
【0019】 好ましくはマニホルドシステム10はシール60をさらに備え、シール60は
ブリッジ取付具50と流体用構成部品のたがいに嵌合する入口/出口ポートの間
に収まる。シール60には、エラストマー、プラスチック、ゴム、ポリマー材料
など適切な材料を用いればよく、ニッケルなどの軟質金属が好ましい。C字型シ ール(C seal)を用いてよいのはもちろん、複合シール(composite seal)など
も一例としてあげることができる。本技術分野の熟練者にとって、その他のシー
ル技術も本発明と共に用いることができるのは明白であろう。
【0020】 図2,3および3Aに示す本発明の第2実施例では、オプションの位置決めプ レート30を本発明と共に用いることができる。位置決めプレート30は、ブリ
ッジ取付具50の端部62,64を受けるように位置合わせした複数の穴を持つ
。ブリッジ取付具の端部は、好ましくは、位置決めプレート30の厚みよりわず
かに短くして、シール60を受けるくぼみができるようにする。位置決めプレー
ト30はさらに、締め具22を受けるように位置合わせした穴32も持つ。した
がって、本発明の第2実施例によるシステムを組み立てるには、ブリッジ取付具
を支持板40のチャンネル42内に入れた後、位置決めプレートの穴をブリッジ
取付具50の入口および出口端部に位置合わせする。位置決めプレートを次いで
下に降ろして、ブリッジ取付具50の端部が位置決めプレート30の位置合わせ
した穴34に挿入されるようにする。締め具36を支持板の位置合わせした穴3
8に挿入して、位置決めプレート30の位置合わせした穴39に嵌合させる。最
後に、流体用構成部品12−14を締め具22を用いて位置決めプレート30に
固定する。
【0021】 図3bにT字型ブリッジ取付具70の他の実施例を示す。このブリッジ取付具7
0は3つの隣接する流体用構成部品と共に用いることができるもので、たとえば
圧力変換装置など、中央の流体用構成部品は入口ポートを一つだけ持つ。ブリッ
ジ取付具70は2つのL字型取付具52で構成され、それぞれT字型取付具72と
流体連通する内部流路を持つ。T字型取付具72は1つの入口端部74と、2つ
の出口端部76、78を持つ。T字型取付具70の出口端部76は圧力変換装置
などの単一ポート式流体用構成部品と流体連通する。T字型取付具の出口端部7
8はブリッジ取付具の出口端部80と流体連通する。したがって、T字型ブリッ
ジ取付具70は1つの入口端部82と、2つの出口端部76,80を持ち、3つ
の隣接する流体用構成部品間で流れを「ブリッジでつなぐ」あるいは移動させる
ために用いることができるもので、中央の流体用構成部品のポートは一つしかな
い。
【0022】 図4に、複数の流路A、B、CおよびDを流れる流体用に設計された位置決めプレ
ート80のさらに他の実施例を示す。本発明をさらにわかりやすく図示するため
に、ブリッジ50に対して位置決めプレートの裏側を示す(すなわち、図2の逆
)。位置決めプレートの穴82内でのブリッジ50の配置によって、1つ以上の
流路からの流体を組み合わせたり混合することが可能になる。したがって図4に
示すように、4つの独立した流路(A、B、CおよびD)を示すが、これらは流体用
構成部品(図示せず)により所望の割合で混合され、その結果、システムの流体
出口86は所望の割合で混合された流体A、B、CおよびDで構成されることになる
。これは3つのポート構成を(84の位置に)持つバルブなどの流体用構成部品
を用いて達成されるもので、別個の流路からの異なる流体の混合が可能になる。
上記のような結果を達成するために、ブリッジ取付具50が釘差し盤(pegboard
)のような配置で連結されていることに注目されたい。このように、ブリッジ 50は別個の流路を連結あるいは結合するためのもので、特別な部品を用いるこ
となく流体を混合できるようになっている。3つのポートを持つ特別なブロック
が必要になる従来のブロック型モジュール設計に比べて、これは明らかに利点で
ある。
【0023】 この本発明実施例では、位置決めプレート80はブリッジ50の支持として、
また、支持板を必要としない「位置決め」として使用できる。ブリッジ取付具5
0はさらに、位置決めプレート80に設けた位置合わせずみネジ山つき穴82に
挿入するネジ山つき端部(図示せず)を備えることができる。ブリッジ取付具5
0の端部62,64は、位置決めプレート80の位置合わせずみ穴82に押しば
めてもよく、あるいは位置決めプレートに保持クリップ(図示せず)で取りつけ
てもよい。本技術分野の熟練者にとって、その他の取付手段も容易に理解できよ
う。
【0024】 この本発明実施例では、ブリッジ取付具50の端部62,64の高さは可変で
あり、ブリッジ取付具を複数の層(図示せず)にできるだけの高さにする。この
断面層の特長(cross layer feature)は、たとえばラインAのパージガス(purg
e gas)を他のガスラインB、C、Dに供給したい場合に有用になる。これを達成す
るには、ブリッジ取付具50を修正して、上の層にあるブリッジ取付具と嵌合す
るT字型取付具を追加する必要がある。このL字型取付具は図3bに示すL字型取付
具の間に配置され、L字型取付具の内部流路と連通する内部流路を持つものにな る。しかし、図3Bとは異なり、T字型取付具の開口はL字型取付具の開口に対し て180度逆を向いていて、他の層に位置するブリッジ取付具のT字型取付具と 嵌合するようになっている。したがって、この本発明実施例では、複数の流路を
持つ流体マニホルドシステムが得られ、前記流路は複数方向に延長可能である。
さらに、この実施例では、気体流路を複数層または三次元構造の層に構成するこ
とができ、1つの層の流体流路は他の層(複数)の流体流路と流体連通させるこ
とができる。
【0025】 要約すれば、本発明は、好ましくは表面取付型構成部品である流体用構成部品
と共に用いられる、気体または流体流路を形成するためのブリッジ取付具を提供
する。これらブリッジ取付具は従来技術で必要とされた隣接ブロック間の嵌合シ
ールを省くことができ、製造がはるかに簡単で安価である。さらに、本発明によ
れば、複数の流体流路と流体用構成部品を複数方向および複数層に設置するのが
容易である。本発明はまた、流体用構成部品の交換を可能にし、構成部品に容易
にアクセス出来るためメンテナンスが容易になる。
【0026】 本発明の好ましい実施例を図示し説明してきたが、本技術分野の熟練者にとっ
て変更が可能であることは明白であることが理解される。したがって、本発明は
本書で図示、説明した特定の実施例に限定されず、本発明の真の範囲、精神は付
帯クレームによって決まる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 完成マニホルドアセンブリの斜視図であって、主題発明の特長を組み込んだ代
表的な構成部品とシールを示す。
【図2】 図1に示す主題発明の特長を組み込んだマニホルドアセンブリと代表的な構成
部品およびシールを示す分解斜視図。
【図3】 図2のマニホルドの一部分を示す分解斜視図であって、2つの部分的に示した
気体ブリッジの間に位置する1つの完成気体ブリッジと、オプションの代表的な
シールを示す。
【図3a】 図2マニホルド部分を組み立てた状態の断面図。
【図3b】 図3および図3aに示す完成気体ブリッジ8に示される2つのエルボーと管部 分に加え、T字型取付具と追加管部分を組み込んだ、他の気体ブリッジを示す断 面図。
【図4】 異なる方向に伸びる複数の流路を組み込んだ、本発明の他のマニホルドシステ
ムを示す斜視図。
【手続補正書】特許協力条約第34条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成12年3月13日(2000.3.13)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 EP(AT,BE,CH,CY, DE,DK,ES,FI,FR,GB,GR,IE,I T,LU,MC,NL,PT,SE),AL,AM,A T,AU,AZ,BA,BB,BG,BR,BY,CA ,CH,CN,CU,CZ,DE,DK,EE,ES, FI,GB,GE,GH,GM,HR,HU,ID,I L,IS,JP,KE,KG,KP,KR,KZ,LC ,LK,LR,LS,LT,LU,LV,MD,MG, MK,MN,MW,MX,NO,NZ,PL,PT,R O,RU,SD,SE,SG,SI,SK,SL,TJ ,TM,TR,TT,UA,UG,US,UZ,VN, YU,ZW Fターム(参考) 3H051 BB01 CC01 CC14 CC15 FF01 3H089 BB16 BB28 BB30 DC03 GG03 HH02 HH09 HH16 HH21 JJ20 3J106 AA01 AB01 BA10 BB01 BC09 BC12 BD01 BE11 BE31 BE33 CA01 GA02

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 バルブ、調整装置、圧力変換装置、流量制御装置などの2つ
    以上の流体用構成部品と流体連通させるために、流体マニホルドシステムにおい
    て用いられるブリッジ取付具であって、ブリッジ取付具は、 第2のL字型取付具に連結した第1のL字型取付具を備え、前記連結L字型取付 具はその中を貫通する内部流路を持ち、前記ブリッジ取付具の前記内部流路は、
    入口端部と出口端部を持ち、前記入口端部は第1の流体用構成部品の出口ポート
    と流体連通し、前記ブリッジ取付具の前記出口端部は第2の流体用構成部品の入
    口ポートと流体連通する、 ことを特徴とするブリッジ取付具。
  2. 【請求項2】 ブリッジ取付具の内部流路と流体用構成部品のポートとの間
    に挿入されてこれを密封する複数の金属シールをさらに備える、請求項1に記載
    のブリッジ取付具。
  3. 【請求項3】 ブリッジ取付具がステンレス鋼材料でできている請求項1に
    記載のブリッジ取付具。
  4. 【請求項4】 3つ以上の流体用構成部品と流体連通させるために、流体マ
    ニホルドシステムにおいて用いられるブリッジ取付具であって、前記流体用構成
    部品の1つ以上が単一のポートを持ち、ブリッジ取付具が、 それぞれT字型取付具に連結された端部を持つ第1と第2のL字型取付具を備え
    、前記T字型取付具は前記L字型取付具の間に位置し、前記L字型取付具およびT字
    型取付具はそれぞれ、相互に流体連通する内部流体流路を持ち、 前記取付具の前記内部流路は入口端部と、第1および第2出口端部を持ち、前
    記入口端部は第1の流体用構成部品の出口ポートと流体連通し、前記流体流路の
    前記出口端部は、それぞれ第2および第3の流体用構成部品の入口ポートと流体
    連通する、 ことを特徴とする、ブリッジ取付具。
  5. 【請求項5】 入口ポートと、出口ポートを持つ、1つ以上の表面取付型流
    体用構成部品と連結するためのモジュール式流体マニホルドシステムであって、
    モジュール式システムは 中を内部流体流路が貫通する1つ以上のブリッジ取付具を備え、前記ブリッジ
    取付具の前記内部流路は第1の流体用構成部品の出口ポートと連結するための入
    口端部と、第2の流体用構成部品の入口ポートと連結するための出口端部を持つ
    ことで、システムを組み立てた時、前記ブリッジ取付具の前記内部流体流路が第
    1および第2の流体用構成部品と流体連通する、 ことを特徴とするモジュール式流体マニホルドシステム。
  6. 【請求項6】 前記ブリッジ取付具を互いに密着させた状態で支持し、前記
    流体用構成部品をその上に搭載する支持板をさらに備え、前記支持板が前記ブリ
    ッジ取付具と前記流体用構成部品を支持し連結する ことからなる、請求項5に記載のモジュール式システム。
  7. 【請求項7】 前記支持板がさらに、前記ブリッジ取付具を互いに密着させ
    た状態でその中に挿入するための溝を備える、請求項5に記載のモジュール式シ
    ステム。
  8. 【請求項8】 ブリッジ取付具の前記端部と流体用構成部品のポートとの連
    結を密封するために、1つ以上のシールをさらに備える、請求項5に記載のモジ
    ュール式システム。
  9. 【請求項9】 前記流体用構成部品と前記支持板の間に装着される位置決め
    プレートをさらに備え、前記位置決めプレートがさらに、その上に前記流体用構
    成部品を搭載するために、位置合わせをした穴を備え、前記位置決めプレートは
    、前記ブリッジ取付具の前記入口および出口端部をその中で受けて、前記構成部
    品の前記入口および出口ポートを、前記ブリッジ取付具の前記入口および出口端
    部と流体連通させるために、位置合わせした穴を備える、請求項5に記載のモジ
    ュール式システム。
  10. 【請求項10】 ガスケットを受けるためのくぼみが、位置決めプレート上
    面と、前記ブリッジ取付具の入口および出口端部との間に設けられた、請求項9
    に記載のモジュール式システム。
  11. 【請求項11】 前記ガスケットが金属である、請求項10に記載のモジュ
    ール式シスステム。
  12. 【請求項12】 入口ポートと、1つ以上の出口ポートを備える、1つ以上
    の流体用構成部品と連結するためのモジュール式流体マニホルドシステムであっ
    て、マニホルドシステムは、 入口端部と出口端部と、前記端部をその中でつなぐ内部通路を持つ1つ以上の
    ブリッジ取付具と、 その上に前記流体用構成部品を搭載するための上面と、前記流体用構成部品の
    入口および出口ポートと位置合わせした複数の穴を持つ位置決めプレートを備え
    、 前記位置決めプレートは前記ブリッジ取付具を取りつけるための下面を持ち、
    前記各ブリッジ取付具の前記入口端部は、流体用構成部品の出口ポートと流体連
    通し、前記各ブリッジ取付具の出口端部は他の流体用構成部品の入口ポートと流
    体連通する、 ことを特徴とするモジュール式流体マニホルドシステム。
  13. 【請求項13】 位置決めプレート上面と前記ブリッジ取付具の入口および
    出口端部との間でガスケットを受けるためのくぼみが設けられている、請求項1
    2に記載のモジュール式システム。
  14. 【請求項14】 前記ガスケットが金属である、請求項13に記載のシステ
    ム。
  15. 【請求項15】 前記ブリッジ取付具を前記位置決めプレートに固定するた
    めに、保持クリップが設けられた、請求項12に記載のモジュール式システム。
  16. 【請求項16】 前記ブリッジ取付具の前記端部が前記位置決めプレートの
    前記穴に押しばめられる、請求項12に記載のモジュール式システム。
  17. 【請求項17】 前記ブリッジ取付具の1つ以上がさらに、第1と第2のL 字型取付具の間に位置するT字型取付具を備え、前記T字型取付具と前記L字型取 付具は互いに流体連通する内部流体流路を持ち、前記T字型取付具は前記L字型取
    付具の反対側にポートを持っていて、他の層のブリッジ取付具と嵌合するよう位
    置合わせがされている、請求項12に記載のモジュール式システム。
JP2000534799A 1998-03-05 1999-03-05 モジュール式表面取付型マニホルド Pending JP2002506181A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US7687198P 1998-03-05 1998-03-05
US60/076,871 1998-03-05
PCT/US1999/004972 WO1999045302A1 (en) 1998-03-05 1999-03-05 Modular surface mount manifold

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002506181A true JP2002506181A (ja) 2002-02-26

Family

ID=22134680

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000534799A Pending JP2002506181A (ja) 1998-03-05 1999-03-05 モジュール式表面取付型マニホルド

Country Status (9)

Country Link
US (6) US6644353B1 (ja)
EP (1) EP1068464B1 (ja)
JP (1) JP2002506181A (ja)
KR (1) KR100538130B1 (ja)
CN (2) CN1107830C (ja)
AU (1) AU2988099A (ja)
IL (1) IL138258A (ja)
TW (1) TW394834B (ja)
WO (1) WO1999045302A1 (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006022926A (ja) * 2004-07-09 2006-01-26 Ckd Corp 集積弁用下部ブロック
JP2006507463A (ja) * 2002-11-26 2006-03-02 スワゲロック カンパニー モジュール式表面設置流体システム
JP2006511347A (ja) * 2002-12-20 2006-04-06 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 半導体処理装置のためのマイクロ加工一体化流体配送システム
JP2007162734A (ja) * 2005-12-09 2007-06-28 Fujikin Inc 流体制御装置用継手およびそれを用いた流体制御装置
JP2011149554A (ja) * 2011-03-29 2011-08-04 Fujikin Inc 流体制御装置用継手
JP2013127312A (ja) * 2007-07-12 2013-06-27 Talon Innovations Corp Msm構成部品及び関連ガスパネルアッセンブリ
KR20210089575A (ko) * 2020-01-08 2021-07-16 아드반스 덴키 고교 가부시키가이샤 밸브 구조체

Families Citing this family (68)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1107830C (zh) 1998-03-05 2003-05-07 斯瓦戈洛克公司 按标准形式设计的表面安装歧管
US7048007B2 (en) 1998-03-05 2006-05-23 Swagelok Company Modular surface mount manifold assemblies
US6629546B2 (en) 1998-03-05 2003-10-07 Swagelok Company Modular surface mount manifold assemblies
US7036528B2 (en) 1998-05-18 2006-05-02 Swagelok Company Modular surface mount manifold assemblies
EP1471296B1 (en) * 1998-05-18 2006-11-02 Swagelok Company Modular surface mount manifold assemblies
US6186177B1 (en) * 1999-06-23 2001-02-13 Mks Instruments, Inc. Integrated gas delivery system
US6729353B2 (en) * 1999-09-01 2004-05-04 Asml Us, Inc. Modular fluid delivery apparatus
US7017792B2 (en) 2001-02-02 2006-03-28 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Integrated piping plate, machining method for same, machining apparatus for same, and machining equipment for same
DE10212611A1 (de) 2002-03-21 2003-10-30 Siemens Ag Anordnung zur Behandlung von Fluiden
US7080666B2 (en) 2002-03-21 2006-07-25 Siemens Aktiengesellschaft System for treating fluids
JP2004044634A (ja) * 2002-07-09 2004-02-12 Ichimaru Giken:Kk パネルバルブ
KR20060017577A (ko) * 2002-08-27 2006-02-24 셀레리티 인크. 공통 평면 내에 매니폴드 연결부를 갖는 모듈형 기판 가스패널
US6736370B1 (en) * 2002-12-20 2004-05-18 Applied Materials, Inc. Diaphragm valve with dynamic metal seat and coned disk springs
US6874538B2 (en) * 2003-03-26 2005-04-05 Kevin S. Bennett Fluid delivery system
WO2004088186A1 (de) * 2003-04-03 2004-10-14 Alois Schwarz Einrichtung zur steuerung der strömung von flüssigen oder gasförmigen medien
US7178556B2 (en) * 2003-08-07 2007-02-20 Parker-Hannifin Corporation Modular component connector substrate assembly system
US7048008B2 (en) 2004-04-13 2006-05-23 Ultra Clean Holdings, Inc. Gas-panel assembly
US7458397B2 (en) * 2004-07-09 2008-12-02 Michael Doyle Modular fluid distribution system
US20060011246A1 (en) * 2004-07-09 2006-01-19 Leys John A Fluid flow control system and method
US20060070674A1 (en) * 2004-10-01 2006-04-06 Eidsmore Paul G Substrate with offset flow passage
NO322524B1 (no) * 2005-03-31 2006-10-16 Framo Eng As Manifold
US7299825B2 (en) 2005-06-02 2007-11-27 Ultra Clean Holdings, Inc. Gas-panel assembly
US7320339B2 (en) 2005-06-02 2008-01-22 Ultra Clean Holdings, Inc. Gas-panel assembly
US7204272B2 (en) * 2005-06-07 2007-04-17 Micad Marine Systems, Llc Modular manifold
WO2007033027A1 (en) * 2005-09-12 2007-03-22 Fisher Controls International Llc Tank manifold assembly
KR101522725B1 (ko) * 2006-01-19 2015-05-26 에이에스엠 아메리카, 인코포레이티드 고온 원자층 증착용 인렛 매니폴드
US20070224708A1 (en) * 2006-03-21 2007-09-27 Sowmya Krishnan Mass pulse sensor and process-gas system and method
EP2027406B1 (de) * 2006-06-14 2011-10-26 Friedrich Westphal Ventil
US20080009977A1 (en) * 2006-07-10 2008-01-10 Ultra Clean Holdings Apparatus and Method for Monitoring a Chemical-Supply System
WO2008030501A2 (en) * 2006-09-06 2008-03-13 Ultra Clean Holdings, Incorporated Pre-certified process chamber and method
US20100071782A1 (en) * 2007-01-11 2010-03-25 Gary Scheffel Retainer for component connectors
US20080283084A1 (en) * 2007-05-16 2008-11-20 M.E.S. S.R.L. Method for the removal of sediments, fouling agents and the like from ducts and tanks, and apparatus adapted to perform the said method
US20090078324A1 (en) * 2007-09-21 2009-03-26 Ultra Clean Technology, Inc. Gas-panel system
US7905853B2 (en) * 2007-10-30 2011-03-15 Baxter International Inc. Dialysis system having integrated pneumatic manifold
US20090114295A1 (en) * 2007-11-06 2009-05-07 Ultra Clean Holdings, Inc. Gas-panel assembly
US20100282993A1 (en) * 2009-05-11 2010-11-11 Timothy Robert Kerrigan Continuous Flow Bypass Manifold
US8307854B1 (en) 2009-05-14 2012-11-13 Vistadeltek, Inc. Fluid delivery substrates for building removable standard fluid delivery sticks
US8235067B2 (en) 2009-05-15 2012-08-07 Alphabio, Inc. Encapsulated valve system
SG176152A1 (en) 2009-06-10 2011-12-29 Vistadeltek Llc Extreme flow rate and/or high temperature fluid delivery substrates
WO2012151292A2 (en) 2011-05-02 2012-11-08 Advantage Group International Inc. Manifold system for gas and fluid delivery
DE102011111055B4 (de) * 2011-08-24 2014-06-18 Viega Gmbh & Co. Kg System aus einer Befestigungsvorrichtung und einem Fitting
WO2013046660A1 (ja) * 2011-09-30 2013-04-04 株式会社フジキン ガス供給装置
US9574268B1 (en) 2011-10-28 2017-02-21 Asm America, Inc. Pulsed valve manifold for atomic layer deposition
US9388492B2 (en) 2011-12-27 2016-07-12 Asm America, Inc. Vapor flow control apparatus for atomic layer deposition
JP5753831B2 (ja) * 2012-11-29 2015-07-22 株式会社フジキン 流体制御装置
EP3063506B1 (en) 2013-10-30 2024-03-06 Repligen Corporation Fluid monitoring device with disposable inner liner with sensor integration
CN106233119B (zh) 2014-01-17 2019-07-26 艾尔菲能堤有限责任公司 具有传感器功能的流体监测组件
US10128087B2 (en) 2014-04-07 2018-11-13 Lam Research Corporation Configuration independent gas delivery system
DE202014102389U1 (de) * 2014-05-21 2014-06-20 Johnson Electric Germany GmbH & Co. KG Modulares Ventilsystem
DE102014012279B3 (de) * 2014-08-22 2015-08-20 Gea Tds Gmbh Krümmer für einen Rohrbündel-Wärmeaustauscher für große Produktdrücke, Herstellverfahren für einen und Rohrbündel-Wärmeaustauscher mit einem solchen Krümmer und Verwendung eines Rohrbündel-Wärmeaustauschers für große Produktdrücke mit einem solchen Krümmer in einer Zerstäubungstrocknungsanlage
US10557197B2 (en) 2014-10-17 2020-02-11 Lam Research Corporation Monolithic gas distribution manifold and various construction techniques and use cases therefor
US10309818B2 (en) 2015-05-19 2019-06-04 Alphinity, Llc Fluid monitoring assembly with flow sensor
US10022689B2 (en) 2015-07-24 2018-07-17 Lam Research Corporation Fluid mixing hub for semiconductor processing tool
US10118263B2 (en) 2015-09-02 2018-11-06 Lam Researech Corporation Monolithic manifold mask and substrate concepts
US10612681B2 (en) 2015-09-15 2020-04-07 Alphinity, Llc Flexible tubing management system for pharmaceutical, bioprocess applications, and food/dairy applications
EP3896319A1 (en) 2015-10-01 2021-10-20 Repligen Corporation Valve assembly with directional flow path
US10215317B2 (en) 2016-01-15 2019-02-26 Lam Research Corporation Additively manufactured gas distribution manifold
US9879795B2 (en) 2016-01-15 2018-01-30 Lam Research Corporation Additively manufactured gas distribution manifold
DE102016107161A1 (de) * 2016-04-18 2017-10-19 Eto Magnetic Gmbh Pneumatische Mehrventilvorrichtung sowie Herstellverfahren
US10662527B2 (en) 2016-06-01 2020-05-26 Asm Ip Holding B.V. Manifolds for uniform vapor deposition
CN110753796B (zh) * 2017-06-16 2022-04-19 费斯托股份两合公司 过程控制设备
JP2020537097A (ja) * 2017-10-13 2020-12-17 サン−ゴバン パフォーマンス プラスティックス コーポレイション 流体マニホールドおよびそれを作製する方法
IL279861B2 (en) * 2018-07-17 2024-06-01 Compart Systems Pte Ltd Assembly structures for flow media
IL284012B2 (en) * 2018-12-17 2024-10-01 Compart Systems Pte Ltd Universal tube stub plug with sealing opening
US11492701B2 (en) 2019-03-19 2022-11-08 Asm Ip Holding B.V. Reactor manifolds
EP3738694B1 (de) 2019-05-14 2022-06-29 Bühler AG Hydraulik-vorrichtung für eine druckgiessmaschine
KR20210048408A (ko) 2019-10-22 2021-05-03 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 증착 반응기 매니폴드
TWI842659B (zh) * 2021-07-28 2024-05-11 美商艾克爾系統公司 模組化配件組件以及包含該組件的系統

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62135954U (ja) * 1986-02-21 1987-08-27
JPH05321879A (ja) * 1992-05-22 1993-12-07 Hitachi Ltd 真空ポンプ
JPH07122500A (ja) * 1993-10-28 1995-05-12 Fujitsu Ltd ガス機器及びこれを利用したガス供給装置
JPH0914471A (ja) * 1995-06-30 1997-01-14 Fujikin:Kk ダイヤフラム弁
JPH1011147A (ja) * 1996-06-25 1998-01-16 Tadahiro Omi 遮断開放器およびこれを備えた流体制御装置
JPH10311450A (ja) * 1997-05-08 1998-11-24 Tadahiro Omi 流体制御器用継手

Family Cites Families (74)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2225760A (en) * 1938-05-09 1940-12-24 Superheater Co Ltd Return bend clamp block
US2283126A (en) 1939-08-18 1942-05-12 Allis Chalmers Mfg Co Turbine nozzle
US2879788A (en) 1955-04-07 1959-03-31 Beckett Harcum Co Manifold mounted valve
US3523600A (en) 1968-02-13 1970-08-11 Acf Ind Inc Modular hydraulic control system
US3589387A (en) 1969-08-22 1971-06-29 Int Basic Economy Corp Integrated manifold circuits and method of assembly
US3572368A (en) 1969-09-02 1971-03-23 Honeywell Inc Pneumatic control system manifold means
US3806088A (en) 1972-05-01 1974-04-23 Hydro Syst Inc Manifold apparatus
DK134080B (da) 1972-08-08 1976-09-06 Teknova As Apparatsæt til indkobling i en mediumledning, navnlig en trykluftledning.
DE2302267B1 (de) 1973-01-18 1974-06-12 Abex Gmbh Denison, 4010 Hilden Leitungssäule für hydraulische Ventile
DE2630050A1 (de) * 1976-09-29 1978-01-12 Hyman W Paley Verteiler aus kunststoff
US4082324A (en) 1976-10-04 1978-04-04 Obrecht Robert E Connection arrangement for manifold blocks
DE2752938C2 (de) 1977-11-26 1985-06-20 Bürkert GmbH, 7118 Ingelfingen Steuerventilanordnung für zahnärztliche Geräte
SE423269B (sv) 1978-05-08 1982-04-26 Wallberg Kurt Ake Sett att anordna ett stellbart flodesbegrensande ventilorgan vid en rorledning, jemte anordning for utovande av settet
FR2470886A1 (fr) 1979-11-30 1981-06-12 Telemecanique Electrique Sectionneur pneumatique apte a etre place en amont ou en aval d'un groupe de distributeurs
US4458841A (en) 1981-01-22 1984-07-10 Johnson Controls, Inc. Function control module for air treating systems
FR2511448B1 (fr) 1981-08-14 1986-12-12 Compair Climax Sa Systeme modulaire de distribution d'un fluide sous pression de commande d'un dispositif moteur comprenant au moins un distributeur principal et au moins une unite auxiliaire telle qu'un demarreur progressif ou purgeur-bloqueur, montee en amont du distributeur
US4483365A (en) 1982-07-27 1984-11-20 Louis G. Basso, Jr. Interlocking modular valve mounting assembly
JPS6021188A (ja) 1983-07-15 1985-02-02 Kobe Steel Ltd 外部プレハブ式容器内面クラツド方法
US4807660A (en) * 1984-07-13 1989-02-28 Aslanian Jerry L Flow control device for administration of intravenous fluids
US4934411A (en) 1984-08-06 1990-06-19 Albrecht David E Insert means for fluid flow system
US4657047A (en) 1984-12-10 1987-04-14 Nordson Corporation Modular color changers with improved valves and manifolds
US4687020A (en) * 1985-05-17 1987-08-18 Doyle James H Fluid mass flow controller
US4848393A (en) 1986-06-27 1989-07-18 West Robert E Fault tolerant fluid flow apparatus
US4741354A (en) 1987-04-06 1988-05-03 Spire Corporation Radial gas manifold
US4938251A (en) 1989-07-11 1990-07-03 Gilbarco Inc. Universal hose adapter for gasoline pump
US5040714A (en) 1990-04-23 1991-08-20 Vemco Corporation Bore forming sealed coupling and process
US5020570A (en) 1990-08-17 1991-06-04 Power Components, Inc. Combined valve modular control panel
US5178191A (en) 1990-09-05 1993-01-12 Newmatic Controls Inc. Modular pneumatic control systems
US5106169A (en) 1991-02-08 1992-04-21 Eilcon National, Inc. Adapter for interconnecting empty/load valve with storage canister
DE4111893C2 (de) 1991-04-09 1995-04-13 Mannesmann Ag Ventil-Grundplatte, insbesondere für gasförmige Medien
US5178651A (en) 1991-08-07 1993-01-12 Balma Frank R Method for purifying gas distribution systems
US5368062A (en) 1992-01-29 1994-11-29 Kabushiki Kaisha Toshiba Gas supplying system and gas supplying apparatus
US5305788A (en) 1992-08-13 1994-04-26 Whitey Co. Stream selector for process analyzer
US5439026A (en) 1992-12-11 1995-08-08 Tokyo Electron Limited Processing apparatus and flow control arrangement therefor
US5435349A (en) 1993-04-15 1995-07-25 Emhart Glass Machinery Investments Inc. Valve block assembly for I.S. machine
FR2708702B1 (fr) 1993-08-06 1995-10-20 Vygon Rampe de robinets.
US5660201A (en) 1993-12-21 1997-08-26 Lockheed Martin Idaho Technologies Company Multiple source/multiple target fluid transfer apparatus
US5448925A (en) * 1994-02-16 1995-09-12 Mcfadden; Patrick A. Shifting apparatus for controlling a transmission in a vehicle
JP3486238B2 (ja) 1994-09-21 2004-01-13 Smc株式会社 切換弁
DE4443081A1 (de) * 1994-12-03 1996-06-05 Mueller A & K Gmbh Co Kg Einrichtung zum Zusammenschalten mehrerer Elektromagnetventile
US5567868A (en) 1995-01-23 1996-10-22 Hewlett-Packard Company Planar manifold assembly
US5605179A (en) 1995-03-17 1997-02-25 Insync Systems, Inc. Integrated gas panel
JP3546275B2 (ja) 1995-06-30 2004-07-21 忠弘 大見 流体制御装置
JP3605705B2 (ja) * 1995-07-19 2004-12-22 株式会社フジキン 流体制御器
US5709247A (en) 1995-12-15 1998-01-20 Hutton; Peter B. Multiple valve manifold for use with a pressure processing apparatus
US5680883A (en) 1996-04-24 1997-10-28 Eaton Corporation Manifold and valve assembly and filter/gasket therefor
US5662143A (en) 1996-05-16 1997-09-02 Gasonics International Modular gas box system
US5720317A (en) 1996-08-21 1998-02-24 Pgi International, Ltd. Low profile flanged manifold valve
US5904381A (en) 1996-10-15 1999-05-18 Ohmi,Tadahiro, Miyagi Fluid coupling
US6293310B1 (en) * 1996-10-30 2001-09-25 Unit Instruments, Inc. Gas panel
US5890747A (en) * 1996-11-18 1999-04-06 Brockhage Associates, A Trust Double containment butt weld pipe fitting
JP4022696B2 (ja) 1996-11-20 2007-12-19 忠弘 大見 遮断開放器
JP3997337B2 (ja) 1996-11-20 2007-10-24 忠弘 大見 流体制御装置
US5836355A (en) 1996-12-03 1998-11-17 Insync Systems, Inc. Building blocks for integrated gas panel
US5730448A (en) 1997-01-03 1998-03-24 Eg&G Pressure Science, Inc. Seal retainer plate
US5713582A (en) 1997-01-03 1998-02-03 Eg&G Pressure Science, Inc. Seal retainer
US5735532A (en) 1997-01-03 1998-04-07 Eg&G Pressure Science, Inc. Seal compression limiting retainer
US5735533A (en) 1997-01-03 1998-04-07 Eg&G Pressure Science, Inc. Cavity depth increasing retainer
JP3997338B2 (ja) 1997-02-14 2007-10-24 忠弘 大見 流体制御装置
JP3774800B2 (ja) 1997-09-24 2006-05-17 株式会社フジキン 下段部材の固定装置およびこれを備えた流体制御装置
JP4066004B2 (ja) 1997-10-13 2008-03-26 忠弘 大見 上段部材取付けの基準となる孔を有する複数の下段部材の固定方法および固定用治具
US5975590A (en) * 1998-02-17 1999-11-02 Applied Materials, Inc. High pressure fitting
US7048007B2 (en) * 1998-03-05 2006-05-23 Swagelok Company Modular surface mount manifold assemblies
CN1107830C (zh) 1998-03-05 2003-05-07 斯瓦戈洛克公司 按标准形式设计的表面安装歧管
JP3991490B2 (ja) * 1998-04-14 2007-10-17 東レ株式会社 衣服
US6085783A (en) 1998-09-02 2000-07-11 Hollingshead; J. Gregory Unified modular multi-directional flow chemical distribution block
US6345642B1 (en) * 1999-02-19 2002-02-12 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for removing processing liquid from a processing liquid path
US6418960B1 (en) * 1999-10-06 2002-07-16 Applied Materials, Inc. Ultrasonic enhancement for solvent purge of a liquid delivery system
US6283155B1 (en) * 1999-12-06 2001-09-04 Insync Systems, Inc. System of modular substrates for enabling the distribution of process fluids through removable components
US6546960B1 (en) * 2000-03-03 2003-04-15 Creative Pathways, Inc. Self-aligning SmartStrate™
KR100714755B1 (ko) * 2000-03-10 2007-05-07 동경 엘렉트론 주식회사 유체 제어장치
JP4156184B2 (ja) * 2000-08-01 2008-09-24 株式会社キッツエスシーティー 集積化ガス制御装置
JP4655423B2 (ja) * 2001-07-05 2011-03-23 株式会社フジキン 流体制御装置
US6874538B2 (en) * 2003-03-26 2005-04-05 Kevin S. Bennett Fluid delivery system

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62135954U (ja) * 1986-02-21 1987-08-27
JPH05321879A (ja) * 1992-05-22 1993-12-07 Hitachi Ltd 真空ポンプ
JPH07122500A (ja) * 1993-10-28 1995-05-12 Fujitsu Ltd ガス機器及びこれを利用したガス供給装置
JPH0914471A (ja) * 1995-06-30 1997-01-14 Fujikin:Kk ダイヤフラム弁
JPH1011147A (ja) * 1996-06-25 1998-01-16 Tadahiro Omi 遮断開放器およびこれを備えた流体制御装置
JPH10311450A (ja) * 1997-05-08 1998-11-24 Tadahiro Omi 流体制御器用継手

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006507463A (ja) * 2002-11-26 2006-03-02 スワゲロック カンパニー モジュール式表面設置流体システム
JP2006511347A (ja) * 2002-12-20 2006-04-06 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 半導体処理装置のためのマイクロ加工一体化流体配送システム
JP4650832B2 (ja) * 2002-12-20 2011-03-16 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 半導体処理装置に使用するための拡散接合されたガス分配アッセンブリを製造する方法
JP2006022926A (ja) * 2004-07-09 2006-01-26 Ckd Corp 集積弁用下部ブロック
JP2007162734A (ja) * 2005-12-09 2007-06-28 Fujikin Inc 流体制御装置用継手およびそれを用いた流体制御装置
JP2013127312A (ja) * 2007-07-12 2013-06-27 Talon Innovations Corp Msm構成部品及び関連ガスパネルアッセンブリ
JP2011149554A (ja) * 2011-03-29 2011-08-04 Fujikin Inc 流体制御装置用継手
KR20210089575A (ko) * 2020-01-08 2021-07-16 아드반스 덴키 고교 가부시키가이샤 밸브 구조체
JP2021110352A (ja) * 2020-01-08 2021-08-02 アドバンス電気工業株式会社 弁構造体
JP7393788B2 (ja) 2020-01-08 2023-12-07 アドバンス電気工業株式会社 弁構造体
KR102672152B1 (ko) 2020-01-08 2024-06-03 아드반스 덴키 고교 가부시키가이샤 밸브 구조체

Also Published As

Publication number Publication date
US20080202615A1 (en) 2008-08-28
AU2988099A (en) 1999-09-20
US20050263197A1 (en) 2005-12-01
CN1432758A (zh) 2003-07-30
CN1107830C (zh) 2003-05-07
US20030145895A1 (en) 2003-08-07
KR20010041622A (ko) 2001-05-25
US7195037B2 (en) 2007-03-27
US20040112447A1 (en) 2004-06-17
TW394834B (en) 2000-06-21
US7404417B2 (en) 2008-07-29
US20070157984A1 (en) 2007-07-12
CN1298478A (zh) 2001-06-06
EP1068464A1 (en) 2001-01-17
IL138258A0 (en) 2001-10-31
KR100538130B1 (ko) 2005-12-22
IL138258A (en) 2005-08-31
CN1289851C (zh) 2006-12-13
US7712486B2 (en) 2010-05-11
WO1999045302A1 (en) 1999-09-10
US6776193B2 (en) 2004-08-17
EP1068464B1 (en) 2006-10-04
US6938644B2 (en) 2005-09-06
US6644353B1 (en) 2003-11-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2002506181A (ja) モジュール式表面取付型マニホルド
US7686041B2 (en) Modular surface mount manifold assemblies
CN100396980C (zh) 在公共平面中有歧管连接的模块式衬底配气板
US6629546B2 (en) Modular surface mount manifold assemblies
US7036528B2 (en) Modular surface mount manifold assemblies
US20050028878A1 (en) Modular component connector substrate assembly system
JP2003526759A (ja) モジュール式面取付型マニホルド組立体
US20060011246A1 (en) Fluid flow control system and method
EP1571381B1 (en) Modular surface mount manifold
EP1471296B1 (en) Modular surface mount manifold assemblies
EP1767839B1 (en) Modular surface mount manifold assembly and fitting therefor

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060130

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20080204

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090309

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090324

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20090612

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20090619

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20090722

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20090729

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20090820

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20090827

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090924

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100330

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100907