KR20070061373A

KR20070061373A - 유체 제어 장치용 커플링 및 이를 이용한 유체 제어 장치

Info

Publication number: KR20070061373A
Application number: KR1020060122087A
Authority: KR
Inventors: 이치로 도쿠다; 미치오 야마지; 켄지 츠보타; 츠토므 시노하라; 노브카즈 이케다
Original assignee: 가부시키가이샤 후지킨
Priority date: 2005-12-09
Filing date: 2006-12-05
Publication date: 2007-06-13
Also published as: US20070132231A1; TW200730757A; US7841628B2; TWI422768B; JP4780558B2; KR101428806B1; JP2007162734A

Abstract

본 발명은 유체 제어 장치의 수직 벽면에의 배치 작업성을 대폭 향상할 수 있는 경량인 유체 제어 장치용 커플링을 제공하는 것을 목적으로 한다. 유체 제어 장치용 직육면체 커플링(13)은 중앙에 오목홈(18)이 설치되며 또한 오목홈(18)의 양측에 커플링 부착용 볼트(19)의 헤드를 커플링(13)으로부터 돌출하지 않도록 받침 단부(20a)가 형성된 볼트 삽입 관통 구멍(20) 및 장치 구성 부재 부착용 수나사 부재(21)가 나사 체결된 암나사 부(22)가 각각 설치된 오목자 모양의 접속 부재(23)와, 접속 부재(23)의 오목홈(18)에 끼워 넣어지며 또한 U자형 연통로(12)만을 갖는 편평한 직육면체 연통 부재(24)로 전체가 2분할된 연통 부재(24)가 스테인리스강, 접속 부재(23)가 폴리아미드 6으로 이루어진다. 접속 부재(23)의 오목홈(18)의 저면에 위치 결정용 볼록부(36)가 설치되고, 연통 부재(24)의 저면에 위치 결정용 오목부(37)가 설치되며 양자가 감합되어 있다.

유체, 커플링

Description

유체 제어 장치용 커플링 및 이를 이용한 유체 제어 장치{COUPLING FOR FLUID CONTROL APPARATUS AND FLUID CONTROL APPARATUS USING THE COUPLING}

도 1은 본 발명의 커플링이 이용되고 있는 반도체 제조 장치용 유체 제어 장치가 수직 벽면에 그 길이 방향을 수직으로 하여 배치된 상태를 도시하는 일부를 절결한 측면도.

도 2는 본 발명의 일 실시예인 제1 직육면체 커플링의 확대 상세 정면도.

도 3은 도 2의 III-III 선에 따른 단면도.

도 4는 도 2의 제1 직육면체 커플링의 배면도.

도 5는 도 4의 V-V 선에 따른 단면도.

도 6은 도 2의 제1 직육면체 커플링의 확대 분해 사시도.

도 7은 본 발명의 다른 실시예인 제1 직육면체 커플링의 확대 상세 정면도.

도 8은 도 7의 VIII-VIII선에 따른 단면도.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예인 제2 직육면체 커플링의 확대 상세 정면도.

도 10은 도 9의 X-X 선에 따른 단면도.

도 11은 도 7 및 도 8의 제1 직육면체 커플링의 변형예를 도시하는 사시도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1∼8 : 장치 구성 부재 9 : 장치 구성 부재의 유체 통로 출구

10 : 장치 구성 부재의 유체 통로 입구

11 : 기판 12, 16, 55 : 연통로

13, 14, 15, 17, 51 : 커플링 18 , 52 : 오목홈

19 : 커플링 부착용 볼트 20, 57 : 볼트 삽입 관통 구멍

20a : 볼트 삽입 관통 구멍의 단부

E : 유체 제어 장치

본 발명은 반도체 제조 장치 등에 사용되는 유체 제어 장치용 커플링 및 그것을 이용한 유체 제어 장치에 관한 것이다.

유체 제어 장치에 있어서, 1열에 배열된 복수의 장치 구성 부재의 장치 설치측에 배치되며, 인접하는 장치 구성 부재의 한쪽의 장치 구성 부재의 유체 통로 출구와 다른쪽의 장치 구성 부재의 유체 통로 입구를 연통시키거나, 외부 도입관과 유체 제어 장치의 일단의 장치 구성 부재의 유체 통로 입구를 연통시키거나, 또는 외부 배출관과 유체 제어 장치의 타단의 장치 구성 부재의 유체 통로 출구를 연통시키는 스테인리스강제 직육면체의 커플링은 일본 특허 공개 제2003-322127호에서 유체 커플링이라는 발명의 명칭으로 개시되어있다.

유체 제어 장치는 종래에는 바닥의 수평면에 배치되어 있었으나, 최근 바닥 면의 유효 이용을 위해, 방의 수직 벽면에 배치되도록 되어있다. 그런데, 커플링의 연통로를 흐르는 유체는 일반적으로 부식성이 강한 것이므로, 직육면체 커플링에는 내식성이 있는 스테인레스강이 주로 이용되고 있다. 그런데, 스테인레스강은 중량이 크기 때문에, 운반이 불편할 뿐만 아니라, 사람 한 두명이 행하기에는 유체 제어 장치의 수직 벽면 배치에 대한 작업성이 나쁘다.

본 발명의 목적은 운반이 편리하고, 더구나 유체 제어 장치를 수직 벽면에 배치하는 경우에도 그 작업성이 대폭 향상하는 경량인 유체 제어 장치용 커플링 및 그것을 이용한 유체 제어 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명은 상기의 목적을 달성하는 유체 제어 장치용 커플링을 제공하는 것으로, 1열에 배열된 복수의 장치 구성 부재의 장치 설치측에 배치되며, 인접하는 장치 구성 부재의 한쪽의 장치 구성 부재의 유체 통로 출구와 다른쪽의 장치 구성 부재의 유체 통로 입구를 연통시키기 위해, 타 기기의 유체 통로 출구 혹은 유체원으로부터 배관된 외부 도입관과 유체 제어 장치의 일단의 장치 구성 부재의 유체 통로 입구를 연통시키므로, 및 제어 유체 필요 기기에 배관된 외부 배출관과 유체 제어 장치의 타단의 장치 구성 부재의 유체 통로 출구를 연통시키기 위한 어느 하나에 이용되는 유체 제어 장치용 커플링에서, 중앙에 오목홈이 설치되며 또한 장치 구성 부재 부착용 수나사 부재에 의해 장치 구성 부재가 고정되는 접속 부재와, 오목홈 내에 존재하고 또한 연통로가 형성된 연통 부재로 구성되어, 연통 부재는 내 식성이 있는 소재로 이루어지며, 접속 부재는 연통 부재보다 비중이 가벼운 소재로 이루어지는 것이다.

상기 접속 부재에는 장치 구성 부재 부착용 수나사 부재가 나사 체결된 암나사 부품이 매입되어 있으며, 암나사 부품의 소재 및 연통 부재의 소재가 스테인리스강 또는 스테인레스 합금이며, 접속 부재의 소재는 알루미늄으로서, 전체가 용탕 단조법에 의해 주조된 것이 바람직하다.

스테인레스 합금 중에서도 인코넬 및 하스텔로이가 바람직하다. 또한, 알루미늄에는 순수 알루미늄 및 알루미늄 합금이 포함된다.

연통 부재보다 비중이 가벼운 접속 부재의 소재로서는, 알루미늄 외에 합성수지가 있다. 합성수지로서 구체적으로는, 폴리아미드 6, 폴리아미드 66 같은 엔지니어링 플라스틱이 적합하다.

본 발명의 실시예를 이하 도면을 참조하여 설명한다. 이하의 설명에서, 도 1의 좌측을 전, 동일한 도면의 우측을 후, 동일한 도면의 위를 상, 동일한 도면의 아래를 하라고 한다.

도 1은 본 발명의 커플링이 이용되고 있는 반도체 제조 장치용 유체 제어 장치(E)가 박스(B)에 수용되어 수직 벽면(W)에 그 길이 방향을 수직으로 하여 배치된 상태를 도시한다. 도시는 생략하였으나, 동일한 유체 제어 장치(E)가 복수의 그 길이 방향을 수직으로 하며 또한 병렬상태로 배치되어있다. 이 유체 제어 장치(E)는 매스플로우 컨트롤러(1) 하부의 유체 통로 입구측에 위로부터 순서대로 2포트 개폐 밸브(2), 3포트 개폐 밸브(3), 압력계(4), 압력 조정기(5), 필터(G) 및 수동 밸브(7)를 일렬로 구비하고 있으며, 동일한 도면에서 상부의 유체 통로 출구 측에 2포트 개폐 밸브(8)를 구비하고 있다(이하 이들을 단순히 장치 구성 부재 (1)∼(8)이라 함). 장치 구성 부재(1)의 유체 통로 입구측과 유체 통로 출구측에는 직육면체 신장부(1a)(1b)가, 다른 장치 구성 부재(2)∼(8)의 각 하단에는 사각형의 플랜지부(2a)(3a)(4a)(5a)(6a)(7a)(8a)가 각각 설치되고 있고, 이들의 후면은 전부 동일면으로 되어 있다. 장치 구성 부재 (1)∼(8) 각각은, 입구(9) 및 출구(10)가 유체 제어 장치(E)의 길이 방향 즉 가스상태 유체의 유동 방향인 아래로부터 위의 방향으로 배열되어 있는 유체 통로를 갖고 있다.

수직 벽면(W)에 부착된 박스(B)의 저벽에 고정된 기판(11)과, 간격에 있어서 1열로 배열된 8개의 장치 구성 부재 (1)∼(8) 사이에, 내부에 형성된 U자형(도 1에서는 횡 방향 U자형이지만, 이것은 커플링이 보는 방향에 의해 변하는 것이므로, 단순히「U자형」이라고 함) 연통로(12)에 의해 각 인접하는 2개의 장치 구성 부재(7)(6), (6)(5), (5)(4), (4)(3), (3)(2), (2)(1) 및 (1)(8)의 한쪽의 장치 구성 부재의 유체 통로 출구(10)와 다른쪽의 장치 구성 부재의 유체 통로 입구(9)를 각각 스테인리스강제 시일재(도시 생략)을 통해 접속하는 제1 직육면체 커플링(13)(14)(15) 및 내부에 형성된 L자형(도 1에서는 역 L자형이지만, L자형은 커플링이 보는 방향에 의해 변하므로, 단순히「L자형」이라고 함) 연통로(16)에 의해 외부 도입관(도시 생략)과 유체 제어 장치(E)의 하단의 장치 구성 부재(7)의 유체 통로 입구(9)를, 또는 유체 제어 장치(E)의 상단의 장치 구성 부재(8)의 유체 통로 출구(10)와 외부 배출관(도시 생략)을 각각 스테인레스강제 시일재(도시 생략)를 통해 접속하는 제2 직육면체 커플링(17)이, 제1 직육면체 커플링(13)(14)(15)과 함께, 전면이 전부 동일면으로 이루어질 수 있다고 개재되어있다.

상기 유체 제어 장치에 사용한 본 발명에 의한 세 종류의 제1 직육면체 커플링(13)(14)(15) 중의 하나인 제1 직육면체 커플링 부재(13)의 상세를 도 2 내지 도 6에 도시한다.

제1 직육면체 커플링(13)은 유체의 유동 방향 즉 수직 방향으로 늘어난 오목홈(18)이 길이의 중앙에 횡단형으로 설치되며, 또한 오목홈(18)의 양측에 커플링(13)을 기판(11)에 부착하는 커플링 부착용 볼트(19)의 육각 구멍이 형성된 헤드를 커플링(13)으로부터 돌출하지 않도록 받침 단부(20a)가 형성된 볼트 삽입 관통 구멍(20) 및 장치 구성 부재 부착용 수나사 부재(21)가 나사 체결된 암나사 부(22)가 각각 설치된 오목자형의 접속 부재(23)와, 접속 부재(23)의 오목홈(18)에 끼워 넣어지고 또한 연통로(12)만을 갖는 편평한 직육면체 연통 부재(24)로 전체가 2분할되며, 연통 부재(24)가 스테인리스강으로 이루어지고, 접속 부재(23)가 스테인리스강보다 비중이 가벼운 소재인 폴리아미드 6으로 이루어지는 것이다. 또한, 수나사 부재(21)도 육각 구멍이 형성된 헤드를 갖고 있다.

볼트 삽입 관통 구멍(20)은 오목홈(18)의 길이의 중앙 부분을 통해 그 양측으로 오목홈(18)에 근접하여 위치하고 있다. 한쌍의 암나사 부(22)는 U자형 연통로(12)의 입구(25)를 통해, 다른 한 쌍의 암나사 부(22)는 U자형 연통로(12)의 출구(26)를 통해 각각 존재하며, 후자의 각 암나사 부(22)가 각각 접속 부재(23)의 코너에 있는 것에 비해, 전자의 각 암나사 부(22)는 각각 접속 부재(23)의 코너에 서 떨어진 오목홈(18) 근처에 있다. 이와 같이 양자에 간격의 차가 있는 것은, 제1 직육면체 커플링(13)에 부착되는 연통로(12)의 입구(25)측의 장치 구성 부재의 폭과 연통로(12)의 출구(26)측의 장치 구성 부재의 폭에 차이가 있기 때문이다. 따라서, 제1 직육면체 커플링(13)의 양측의 장치 구성 부재의 폭이 이 경우와 반대가 되는 경우, 제1 직육면체 커플링(13)은 그 상하를 역으로 하여 이용된다.

접속 부재(23)는 상기한 바와 같이 폴리아미드 6으로 이루어지므로, 암나사가 설치되지 않는다. 그래서, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 암나사 부(22)가 접속 부재(23)에 매입된 스테인리스강제 암나사 부품(27)에 의해 형성되어있다. 즉, 암나사 부품(27)은 암나사(28)를 구비한 스테인리스강제 원주체 형상의 것으로, 홈(29)이 형성된 헤드(30)를 갖고 있으며, 접속 부재(23)의 전후 방향으로 형성되는 헤드 받침 단부(31a)가 형성된 삽입 통로 구멍(31)에 밀접하게 끼워 넣어져 있다. 그리고, 접속 부재(23)의 상면, 좌측면 또는 우측면으로부터 헤드(30)를 관통하고 있는 바닥이 있는 구멍(32)에 고정핀(33)을 박아 넣음으로써, 암나사 부품(27)이 접속 부재(23)에 고정되며, 수나사 부재(21)와 함께 회동하는 것을 막을 수 있다. 헤드(30)의 홈(29)은 헤드(30)의 구멍과 접속 부재(23)의 구멍을 일치시키므로 암나사 부품(27)을 회동 조정하는 드라이버 선단을 걸어 맞추기 위한 것이다.

접속 부재(23)에 감합된 연통 부재(24)는 오목홈(18)의 길이 방향으로 어긋나지 않도록 되어 있다. 즉, 접속 부재(23)의 오목홈(18)의 양측면 각각에 제1 위치 결정용 볼록부(34)가 볼트 삽입 관통 구멍(20)의 단부(20a)의 일부를 포함하도 록 볼록 원호형으로 설치되고, 연통 부재(24)의 양측면 각각에 제1 위치 결정용 오목부(35)가 오목 원호형으로 설치되며 양자가 감합되고 있다. 또한, 접속 부재(23)의 오목홈(18) 저면에 제2 위치 결정용 볼록부(36)가 설치되며, 연통 부재(24)의 저면에 제2 위치 결정용 오목부(37)가 설치되고 양자가 감합되어 있다. 또한, 제2 위치 결정용 볼록부(36) 및 제2 위치 결정용 오목부(37)는 제1 위치 결정용 볼록부(34) 및 제1 위치 결정용 오목부(35)가 없는 경우에는 필요하지만, 이 경우에는 반드시 필요로 하지 않는다.

제1 직육면체 커플링(13)과 커플링 폭 및 U자형 연통로(12)의 입구(25)측의 한 쌍의 암나사 부(22)의 위치가 다를 뿐, 그 외에는 이와 다르지 않는 다른 제1 직육면체 커플링(14)의 상세를 도 7 및 도 8에 도시한다. 후자의 제1 직육면체 커플링(14)은 전자의 제1 직육면체 커플링(13)보다 폭이 넓고, U자형 연통로(12)의 입구(25)측의 각 암나사 부(22)의 위치가 동일한 출구(26)측의 한 쌍의 암나사 부(22)의 위치와 동일한 접속 부재(23)의 코너에 있는 점이 전자의 제1 직육면체 커플링(13)과 다르다. 후자의 제1 직육면체 커플링(14)은 이에 부착되는 연통로(12)의 입구(25)측의 장치 구성 부재의 폭과 연통로(12)의 출구(26)측의 장치 구성 부재의 폭이 동일하면서 또한 전자의 제1 직육면체 커플링(13)에 부착되는 양측의 장치 구성 부재의 폭보다 폭이 넓은 장치 구성 부재를 접속하는 것에 이용된다.

나아가서 다른 제1 직육면체 커플링(15)의 상세 도시는 생략했지만, 이것은 상기 제1 직육면체 커플링(l4)보다 폭이 좁을 뿐이며, 그 외에는 상기 제1 직육면체 커플링(14)과 다르지 않다.

요컨대, 내부에 형성된 U자형 연통로에 의해 인접하는 2개의 장치 구성 부재의 한쪽의 장치 구성 부재의 유체 통로 출구와 다른쪽의 장치 구성 부재의 유체 통로 입구를 접속하는 제1 직육면체 커플링의 폭은 2개의 장치 구성 부재의 폭에 넓고 좁음이 있는 경우, 폭이 넓은 쪽에 대응할 수 있도록 결정되며, U자형 연통로의 유체 통로 입구측의 한쌍의 암나사 부의 간격은 이 부분에 접속되는 한쪽의 장치 구성 부재의 폭에 대응되고, 동일한 유체 통로 출구측의 한 쌍의 암나사 부의 간격은 이 부분에 접속되는 다른쪽의 장치 구성 부재의 폭에 대응된다.

상기 유체 제어 장치(E)에 사용한 본 발명에 의한 제2 직육면체 커플링 부재(17)의 상세를 도 9 및 도 10에 나타낸다.

동일한 도면에 도시한 제2 직육면체 커플링(17)은 유체 제어 장치(E)의 하단의 장치 구성 부재(7)의 유체 통로 입구(9)와 외부 도입관을 각각 접속하는 것으로, 연통 부재(24)의 하면에 외부 도입관의 접속용 돌출 단통형 입구(38)가 설치된다. 제2 직육면체 커플링(17)을 제1 직육면체 커플링(13)과 대비할 때 그 외에 다른 점은 볼트 삽입 관통 구멍(20)이 오목홈(18)의 하단 근처 부분을 통해 그 양측에 근접하여 위치하고 있는 점 및 한 쌍의 암나사 부(22)만이 L자형 연통로(16)의 출구(39)를 통해 존재하며, 각 암나사 부(22)가 각각 접속 부재(23)의 코너에 있는 점이다.

L자형 연통로(16)에 의해 외부 배출관과 유체 제어 장치(E)의 상단의 장치 구성 부재(8)의 유체 통로 출구(10)를 접속하는 경우에는, 도시한 제2 직육면체 커플링(17)의 상하가 역으로 되어 있다. 그렇게 하면, 볼트 삽입 관통 구멍(20)이 오목홈(l8)의 상단 근처 부분을 통해 그 양측에 근접하여 위치하며, 한 쌍의 암나사 부(22)가 L자형 연통로(16)의 입구(40)를 통해 존재하고, 연통 부재(24)의 상면에 외부 배출관과의 접속용 돌출 단통형 출구(41)가 설치되게 된다(도 1 참조).

3포트 개폐 밸브인 장치 구성 부재(3)에는, 상하의 제1 직육면체 커플링(13)에 끼워지는 동시에, 병렬 배치된 인접한 유체 제어 장치에 접속되면서 또한 L자형 연통로(42)를 갖는 직육면체 커플링(43)이, 좌우 2개의 수나사 부재(44)에 의해 장치 구성 부재(3)의 플랜지부(3a)에 연결되어 있다. 이 직육면체 커플링(43)은 그 폭이 L자형 연통로(42)를 확보할 수 있을 만큼 좁으므로, 종래와 동일한 전체가 스테인리스강제인 본 발명의 대상 외이다. 수나사 부재(44)를 나사 체결한 암나사는 스테인리스강제 직육면체 커플링(43)에 L자형 연통로(42)에 도달하지 않도록 직접 설치된다.

상기 실시예에 있어서, 암나사 부품(27)은 암나사(28)를 구비한 스테인리스강제 원주체 형상의 것으로, 원형 관통 구멍에 밀접하게 끼워 넣어지고 있지만, 암나사 부품을 사각 또는 육각 등의 각주형으로 하여, 이것을 각형 공통 구멍에 밀접하게 끼워 넣어지도록 하면, 수나사 부재가 함께 회동하는 것을 막을 수 있으며 고정핀이 필요없게 된다.

도 11에 도시하는 제1 직육면체 커플링(51)은 도 7 및 도 8에 도시하는 제1 직육면체 커플링(14)의 변형예를 도시하는 것이다.

이 제1 직육면체 커플링(51)은 길이의 중앙에 오목홈(52)이 설치되며 또한 오목홈(52)의 양측에 장치 구성 부재 부착용 수나사 부재(21)가 나사 체결되는 암 나사 부(53)가 각각 2개 코너에 설치된 알루미늄제 접속 부재(54)와, 오목홈(52) 내 전체에 존재하며 또한 U자형 연통로(55)가 형성된 스테인리스강제 연통 부재(56)로 구성되며, 접속 부재(54)의 오목홈(52)의 양측에 접속 부재(54)와 연통 부재(56)에 걸쳐 단부가 형성된 볼트 삽입 관통 구멍(57)이 2개 형성되며(도 11의 긴 점선 부분에 의해 형성됨), 암나사 부(53)가 접속 부재(54)에 매입된 스테인리스강제 원주형 암나사 부품(58)에 의해 형성된 것이다.

상기 제1 직육면체 커플링(51)은 용탕 단조법에 의해, 다음과 같이하여 주조되고 있다. 즉, 평판 부재에 연통 부재(56)의 수직 단면과 동일한 단면으로 이보다 약간 길이가 긴 1개의 횡장각봉형(가로로 긴 각진 봉 모양) 스테인레스강을 두고, 이를 통해 그 양측에 암나사 부품(58)과 동일한 수평 단면에 이보다 약간 길이가 긴 원주형 스테인리스강을 소정 간격을 두어 각 1열에 배치하며, 함께 평판 부재에 작은 나사로 조인다. 이어서, 평판 부재의 주위에 사각형 프레임형의 주형을 끼운 후, 각봉형 스테인레스강과 원주형 스테인리스강을 충전재로서 주형 내에 알루미늄 용탕을 유입시켜, 압력을 가해 주조하여 성형한다. 그 후, 주형을 떼어내고, 이를 연통 부재(56) 상당 크기의 하나의 편평한 직육면체와 4개의 원주체를 갖는 제1 직육면체 커플링(51) 상당 크기가 되도록 복수 개소로 절단함과 동시에, 작은 나사가 있는 부분의 위쪽 위치로부터 아래 부분을 평판 부재와 함께 선반 등에 의해 절단 제거하며, 소정의 직육면체 주괴를 여러 개 얻는다. 각 직육면체 주괴를 뒤집어 놓아, 편평한 직육면체 부분에 U자형 연통로(55)를 가공 형성하여 스테인리스강제 연통 부재(56)로 함과 동시에, 각 원주체 부분에 암나사(53)를 가공 형 성하며 스테인리스강제 원주형 암나사 부품(58)이 매입된 알루미늄제 접속 부재(54)로 이루어진다. 그리고, 접속 부재(54)의 중앙 양측에, 일체가 된 접속 부재(54)와 연통 부재(56)에 걸쳐 단부가 형성된 볼트 삽입 관통 구멍(57)을 2개 형성함으로써 제1 직육면체 커플링(51)을 얻는다.

제1 직육면체 커플링(51)은 도 7및 도 8에 도시하는 제1 직육면체 커플링(14)의 변형예이지만, 이와 동일한 요령으로 도 2 내지 도 6에 도시하는 제1 직육면체 커플링(13), 제1 직육면체 커플링(14) 보다 폭이 좁은 뿐인 제1 직육면체 커플링(15) 및 도 9 및 도 10에 도시하는 제2 직육면체 커플링(17)의 각 변형예를 용탕 단조법에 의해 얻을 수 있다.

상기 실시예에서는, 연통로(12)(55)가 U자형이지만, 이것은 V 자형에서도 바람직하다.

상기의 설명은 본 발명의 커플링이 이용되는 반도체 제조 장치용 유체 제어 장치가 수직 벽면에 그 길이 방향을 수직으로 하여 배치되는 경우에 대한 것이지만, 반도체 제조 장치용 유체 제어 장치는 수직 벽면에 그 길이 방향을 수평으로 하여 배치되는 경우도 있으며, 경우에 따라서는 이것이 바닥의 수평면에 배치되는 경우도 있다.

상기 유체 제어 장치(E)는 반도체 제조 장치용의 경우이지만, 반도체 제조 장치 이외로도 이용된다.

본 발명의 유체 통로 연통용 커플링에 의하면, 커플링의 대부분이 종래의 커 플링에 사용되고 있었던 스테인레스강보다 가벼운 소재로 점유됨으로써, 결과적으로 이 커플링은 전체가 스테인레스강으로 이루어지는 것과 비교하여 대폭 경량화된다. 따라서, 유체 제어 장치를 바닥의 수평면에 배치하든 수직 벽면으로 배치하든, 이것의 조립을 위한 커플링의 운반이 편할 뿐만 아니라, 이 커플링이 이용된 유체 제어 장치를 수직 벽면에 배치하는 경우는 그 작업성이 대폭 향상한다. 더구나, 부식성이 강한 유체가 통과하는 연통로를 구비한 연통 부재는 내식성을 가지므로, 내식성에 관해서는, 전체가 스테인리스강으로 이루어지는 종래의 커플링과 다르지 않다.

Claims

1열로 배열된 복수의 장치 구성 부재의 장치 설치측에 배치되며, 인접하는 장치 구성 부재의 한쪽의 장치 구성 부재의 유체 통로 출구와 다른쪽의 장치 구성 부재의 유체 통로 입구를 연통시키거나, 타 기기의 유체 통로 출구 혹은 유체원으로부터 배관된 외부 도입관과 유체 제어 장치의 일단의 장치 구성 부재의 유체 통로 입구를 연통시키거나, 또는 제어 유체 필요 기기에 배관된 외부 배출관과 유체 제어 장치의 타단의 장치 구성 부재의 유체 통로 출구를 연통시키는 유체 제어 장치용 커플링에 있어서,

중앙에 오목홈이 설치되며 또한 장치 구성 부재 부착용 수나사 부재에 의해 장치 구성 부재가 고정되는 접속 부재와, 오목홈 내에 존재하며 또한 연통로가 형성된 연통 부재로 구성되며, 연통 부재가 내식성이 있는 소재로 이루어지고, 접속 부재가 연통 부재보다 비중이 가벼운 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치용 커플링.

제1항에 있어서, 접속 부재에는 장치 구성 부재 부착용 수나사 부재가 나사 체결되는 암나사 부품이 매입되어 있으며, 암나사 부품의 소재 및 연통 부재의 소재는 스테인리스강 또는 스테인레스 합금이고, 접속 부재의 소재가 알루미늄으로서, 전체가 용탕 단조법에 의해 주조되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치용 커플링.

제2항에 있어서, 접속 부재의 양측에 접속 부재와 연통 부재에 걸쳐 단부(段部)가 형성된 볼트 삽입 관통 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치용 커플링.

수직 벽면에 배치된 유체 제어 장치에 있어서,

기판과, 함께 기판측을 향한 유체 통로 입구 및 유체 통로 출구가 배열되어 있는 유체 통로를 가지며 또한 1열로 배열된 소정 수의 장치 구성 부재 사이에 개재되며, 내부에 형성된 연통로에 의해, 각 인접하는 2개의 장치 구성 부재의 한쪽의 장치 구성 부재의 유체 통로 출구와 다른쪽의 장치 구성 부재의 유체 통로 입구를 접속하거나, 타 기기의 유체 통로 출구 혹은 유체원으로부터 배관된 외부 도입관과 유체 제어 장치의 일단의 장치 구성 부재의 유체 통로 입구를 접속하거나, 또는 제어 유체 필요 기기에 배관된 외부 배출관과 유체 제어 장치의 타단의 장치 구성 부재의 유체 통로 출구를 접속하는 직육면체 커플링으로서,

중앙에 오목홈이 설치되며 또한 오목홈의 양측에 커플링 부착용 볼트의 헤드를 커플링으로부터 돌출하지 않도록 받침 단부(段部)가 형성된 볼트 삽입 관통 구멍 및 장치 구성 부재 부착용 수나사 부재가 나사 체결된 암나사 부가 각각 설치된 오목자형의 접속 부재와, 접속 부재의 오목홈에 끼워 넣어지며 또한 연통로만을 갖는 편평한 직육면체 연통 부재로 전체가 2분할되며, 연통 부재가 스테인리스강 또는 스테인레스 합금으로 이루어지는 것에 비해, 접속 부재는 연통 부재보다 비중이 가벼운 소재로 이루어지고, 끼워 넣어진 접속 부재와 연통 부재에 대향하는 3조의 대향면 중 적어도 1조의 대향면의 어느 한쪽의 면에 위치 결정용 오목부가, 다른쪽의 면에 위치 결정용 볼록부가 각각 설치되어 끼워 넣어지는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치용 커플링.

제4항에 있어서, 위치 결정용 볼록부는 접속 부재의 오목홈의 양측면 각각에, 볼트 삽입 관통 구멍 단부의 일부를 포함하도록 볼록 원호형으로 설치된 것이고, 위치 결정용 오목부는 연통 부재의 양측면 각각에 오목 원호형으로 설치되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치용 커플링.

제4항 또는 제5항에 있어서, 암나사 부가 접속 부재에 매입된 스테인리스강 또는 스테인레스 합금으로 이루어지는 암나사 부품에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치용 커플링.

제4항에 있어서, 연통 부재보다 비중이 가벼운 접속 부재의 소재는 합성수지 또는 알루미늄인 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치용 커플링.

제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 유체 통로 연통용 커플링이 이용되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.