JP3595083B2 - ガス供給ユニット - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置等で使用されるガス供給ユニットに関し、特に、ガス補助機器を接続できるポートをガス機器ブロックに設けたガス供給ユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体等の製造工程においては数種類の腐食性ガスが使用されており、このような数種類の腐食性ガスを供給するガス供給ラインの一部を構成するものとして、本出願人は、特願平8−180383号に記載されたガス供給ユニットを開発した。ここで、かかるガス供給ユニットの一例を図5に示して、簡単に説明する。尚、詳細な説明については、特願平8−180383号に記載されているので省略する。
【0003】
図5のガス供給ユニットは、ガス機器ブロックである手動弁101、レギュレータ102、入口開閉弁104、パージ弁107、フィルタ108、マスフローコントローラ105、出口開閉弁106と、ガス補助機器である圧力計103とが、ガス流路がそれぞれ形成された配管ブロック111、112、113、116、117、118、119に接続され、さらに、配管ブロック109、111、112、113、116、117、118、119が互いに接続されることによって、数種類の腐食性ガスを供給するガス供給ラインの一部を構成している。
【0004】
こうしたガス供給ユニットにおいては、ガス供給ラインを構成するガス機器と配管とが、ガス機器ブロックと配管ブロックとにそれぞれモジュールブロック化されており、ガス機器ブロックである手動弁101、レギュレータ102等や配管ブロック111、112等の間には接続部品を必要としないので、ガス供給ユニット自体の小型化ひいてはガス供給ラインを短縮することができる。さらに、ガス機器ブロックである手動弁101、レギュレータ102等や配管ブロック111、112等の接続にはボルト114を使用しているので、ガス供給ユニット自体のメンテナンス等を簡便に行うことができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図5のガス供給ユニットにおいて、ガス補助機器である圧力計103などは、ガス機器ブロックである手動弁101、レギュレータ102、フィルタ108等に接続することができず、ガス補助機器である圧力計103等を接続できるポートが設けられた配管ブロック113等に接続しなければならなかった。
【0006】
その一方で、ガス供給ラインを通常の配管で構成する際に接続するガス機器においては、ガス補助機器である圧力計や圧力スイッチなどを直に接続できるものもあり、こうした観点から図5のガス供給ユニットを見ると、ガス補助機器である圧力計103などを、ガス機器ブロックである手動弁101、レギュレータ102、フィルタ108等に接続することができれば、ガス供給ユニット自体の小型化をさらに進めることができる。
【0007】
そこで、本発明は、ガス補助機器を接続することができるポートをガス機器ブロックに設けることによって、さらなる小型化を実現したガス供給ユニットを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために成された請求項1に係るガス供給ユニットは、マスフローコントローラ(105)と、出口開閉弁(106)と、下部配管ブロック(120、123)と、中間配管ブロック(119、124)と、マスフローコントローラのベース(121,122)を有し、前記マスフローコントローラ(105)が前記マスフローコントローラのベース(122)を介して前記下部配管ブロック(123)に接続され、前記出口開閉弁(106)が前記中間配管ブロック(119、124)を介して前記下部配管ブロック(123)に接続されることによって、ガス供給ラインの一部を構成するガス供給ユニットにおいて、前記下部配管ブロック(120)の上部に接続されて前記マスフローコントローラ(105)の上流側に配設されるフィルタブロック(1)を有し、前記フィルタブロック(1)は、第1ポート(6)と第2ポート(7)が形成されて前記下部配管ブロック(120)の上部に接続されるベース(4)と、前記ベース(4)の上部にあって前記第1ポート(6)と前記第2ポート(7)とを連通させるとともに、前記第1ポート(6)と連通する通孔(8)が形成された接続ポート(5)が上部に設けられたハウジング(3)と、一方に開口する中空の円筒形の形状を有し、その開口部が前記ベース(4)の前記第2ポート(7)に通じるように前記ハウジング(3)の内部に収納されるフィルタエレメント(2)と、前記接続ポート(5)に連結されることにより前記ハウジング(3)の上部に配設されて、前記通孔(8)における流体の圧力を検知する圧力検知器(20)と、を有することを特徴とする。
【0009】
また、請求項2に係るガス供給ユニットは、請求項1に記載するガス供給ユニットであって、前記フィルタブロック(1)が、前記下部配管ブロック(120)に対して180度回転させた逆向きでも接続されることを特徴とする。
また、請求項3に係るガス供給ユニットは、請求項1に記載するガス供給ユニットであって、前記圧力検知器(20)が圧力計又は圧力スイッチであることを特徴とする。
【0010】
【0011】
このような構成を有する本発明のガス供給ユニットは、弁、レギュレータ、フィルタ、マスフローコントローラ等のガス機器をそれぞれモジュールブロック化したガス機器ブロックと、配管をモジュールブロック化した配管ブロックと、圧力計や圧力スイッチ等のガス補助機器とを有しており、ガス機器ブロック又はガス補助機器を配管ブロックに接続したり、配管ブロックを互いに接続することによって、ガス供給ラインの一部を構成することができる。
【0012】
このとき、ガス補助機器が接続されるポートをガス機器ブロックに設けているので、ガス補助機器が接続される配管ブロックの個数を削減することが可能となって、ガス供給ユニット自体のさらなる小型化を実現することができる。特に、ガス補助機器が接続されるポートを設けたガス機器ブロックが、供給ガスの不純物を除去するフィルタである場合に、かかるフィルタであるガス機器ブロックのポートに接続されるガス補助機器が圧力計や圧力スイッチであるときは、ガス供給ラインの大部分の圧力損失を占めるガス機器ブロックであるフィルタの圧力値をもって、ガス供給ラインを管理・制御することができる。
【0013】
さらに、フィルタであるガス機器ブロックを、配管ブロックに対して180度回転させた逆向きでも接続できるので、フィルタであるガス機器ブロックのポートに接続されたガス補助機器の接続位置を、フィルタのエレメントに対し、ガスの流れの上流側又は下流側に選択的に変更することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照にして説明する。図1は、本実施の形態のガス供給ユニットを示した側面図である。尚、図1のガス供給ユニットにおいては、従来技術の欄で述べたガス機器ブロックや配管ブロックも接続されているので、かかるガス機器ブロックや配管ブロックについては、図5で用いた番号をそのまま使用するとともに、詳細な説明は省略する。
【0015】
図1のガス供給ユニットは、ガス機器ブロックである手動弁101、レギュレータ102、フィルタ1、マスフローコントローラ105、出口開閉弁106とが、ガス流路がそれぞれ形成された配管ブロック109、111、112、119、120、123、及びマスフローコントローラのベース121,122に接続され、さらに、配管ブロック109、111、112、119、120、123、124、及びマスフローコントローラのベース121,122が互いに接続されるとともに、ガス補助機器である圧力計20がガス機器ブロックであるフィルタ1に接続されることによって、数種類の腐食性ガスを供給するガス供給ラインの一部を構成している。
【0016】
ここで、ガス補助機器である圧力計20が接続されるガス機器ブロックであるフィルタ1について、図2、図3、図4を用いて説明する。図2は、ガス機器ブロックであるフィルタ1を図3の線A−Aで切断した断面図である。また、図3は、ガス補助機器である圧力計20が接続されたガス機器ブロックであるフィルタ1の上面図である。また、図4は、ガス補助機器である圧力計20が接続されたガス機器ブロックであるフィルタ1の側面図である。
【0017】
ガス機器ブロックであるフィルタ1は、フィルタエレメント2、ハウジング3、ベース4などから構成されている。フィルタエレメント2は中空の円筒形の形状を有しており、ガスの流れの方向に関係なく供給ガスの不純物を除去するものである。また、ハウジング3はフィルタエレメント2を収納するものであり、その上部にガス補助機器である圧力計20が接続できるポート5を有している。かかるポート5に接続されるガス補助機器である圧力計20は、ハウジング3に形成された通孔8を介して、ガス機器ブロックであるフィルタ1の圧力を測定することができる。
【0018】
また、ベース4には、第1ポート(入口孔)6と第2ポート(出口孔)7が形成されており、第1ポート(入口孔)6はフィルタエレメント2の外側に、第2ポート(出口孔)7はフィルタエレメント2の内側に通じている。かかる第1ポート(入口孔)6と第2ポート(出口孔)7の開口部は、ベース4に対して対称に設けられているので、配管ブロック109、120に対して180度回転させた逆向きでも接続することができる。この場合、第1ポート6が出口孔となり、第2ポート7が入口孔となる。また、図示されていないボルト穴が形成されており、ボルト9を介して、配管ブロック109、120等に接続することができる。また、ハウジング3とベース4は固定されているので、フィルタエレメント2は交換することができない。尚、ガス機器ブロックであるマスフローコントローラ105のベース121、122についても、同様にして、図示されていないボルト穴が形成されており、ボルト9を介して、配管ブロック120、123等に接続することができる。
【0019】
また、図1のガス供給ユニットのガス機器ブロックであるフィルタ1においては、従来技術のガス供給ユニットのガス機器ブロックであるフィルタ108(図5参照)と異なり、垂直方向から配管ブロック109、120等に接続することができるので、ガス機器ブロックであるフィルタ1の交換を容易にすることができる。
【0020】
以上、詳細に説明したように、本実施の形態のガス供給ユニットは、手動弁101、出口開閉弁106、レギュレータ102、フィルタ1、マスフローコントローラ105のガス機器をそれぞれモジュールブロック化したガス機器ブロックと、配管をモジュールブロック化した配管ブロック109、111、112、119、120、123、124と、圧力計20のガス補助機器とを有しており、ガス機器ブロックである手動弁101、出口開閉弁106、レギュレータ102、フィルタ1、マスフローコントローラ105を配管ブロック111、112、119に接続したり、配管ブロック109、111、112、119、120、123、124を互いに接続することによって、ガス供給ラインの一部を構成することができる。
【0021】
このとき、ガス補助機器である圧力計20が接続されるポート5をガス機器ブロックであるフィルタ1に設けているので、ガス補助機器である圧力計20が接続される従来技術の配管ブロック113(図5参照)をなくすことができるので、ガス供給ユニット自体のさらなる小型化を実現することができる。特に、ガス補助機器である圧力計20が接続されるポート5を設けたガス機器ブロックが、供給ガスの不純物を除去するフィルタ1であり、かかるフィルタ1であるガス機器ブロックのポート5に接続されるガス補助機器が圧力計20であるので、ガス供給ラインの大部分の圧力損失を占めるガス機器ブロックであるフィルタ1の圧力値をもって、ガス供給ラインを管理することができる。
【0022】
さらに、フィルタ1であるガス機器ブロックを、配管ブロック109、120に対して180度回転させた逆向きでも接続できるので、フィルタ1であるガス機器ブロックのポート5に接続されたガス補助機器である圧力計20の接続位置を、フィルタ1のエレメント2に対し、ガスの流れの上流側又は下流側に選択的に変更することができる。
【0023】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、本実施の形態のガス供給ユニットにおいては、フィルタ1であるガス機器ブロックのポート5にガス補助機器である圧力計20が接続されているが、かかるポート5にガス補助機器である圧力スイッチを接続すれば、ガス供給ラインの大部分の圧力損失を占めるガス機器ブロックであるフィルタ1の圧力値をもって、ガス供給ラインを制御することができる。
【0024】
【発明の効果】
本発明のガス供給ユニットでは、ガス補助機器が接続されるポートをガス機器ブロックに設けているので、ガス補助機器が接続される配管ブロックの個数を削減することが可能となって、ガス供給ユニット自体のさらなる小型化を実現することができる。特に、ガス補助機器が接続されるポートを設けたガス機器ブロックが、供給ガスの不純物を除去するフィルタである場合に、かかるフィルタであるガス機器ブロックのポートに接続されるガス補助機器が圧力計や圧力スイッチであるときは、ガス供給ラインの大部分の圧力損失を占めるガス機器ブロックであるフィルタの圧力値をもって、ガス供給ラインを管理・制御することができる。
【0025】
さらに、フィルタであるガス機器ブロックを、配管ブロックに対して180度回転させた逆向きでも接続できるので、フィルタであるガス機器ブロックのポートに接続されたガス補助機器の接続位置を、フィルタのエレメントに対し、ガスの流れの上流側又は下流側に選択的に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のガス供給ユニットを示した側面図である。
【図2】本発明のガス供給ユニットにおいて接続されるフィルタを示した断面図である。
【図3】本発明のガス供給ユニットにおいて接続されるフィルタを示した上面図である。
【図4】本発明のガス供給ユニットにおいて接続されるフィルタを示した側面図である。
【図5】従来技術のガス供給ユニットを示した側面図である。
【符号の説明】
1 フィルタ(ガス機器ブロック)
5 ポート
20 圧力計(ガス補助機器ブロック)
101 手動弁(ガス機器ブロック)
102 レギュレータ(ガス機器ブロック)
104 入口開閉弁(ガス機器ブロック)
105 マスフローコントローラ(ガス機器ブロック)
106 出口開閉弁(ガス機器ブロック)
107 パージ弁(ガス機器ブロック)
109、111、112、117、119、120、123、124 配管ブロック
Claims (3)
- マスフローコントローラ(105)と、出口開閉弁(106)と、下部配管ブロック(120、123)と、中間配管ブロック(119、124)と、マスフローコントローラのベース(121,122)を有し、前記マスフローコントローラ(105)が前記マスフローコントローラのベース(122)を介して前記下部配管ブロック(123)に接続され、前記出口開閉弁(106)が前記中間配管ブロック(119、124)を介して前記下部配管ブロック(123)に接続されることによって、ガス供給ラインの一部を構成するガス供給ユニットにおいて、
前記下部配管ブロック(120)の上部に接続されて前記マスフローコントローラ(105)の上流側に配設されるフィルタブロック(1)を有し、
前記フィルタブロック(1)は、
第1ポート(6)と第2ポート(7)が形成されて前記下部配管ブロック(120)の上部に接続されるベース(4)と、
前記ベース(4)の上部にあって前記第1ポート(6)と前記第2ポート(7)とを連通させるとともに、前記第1ポート(6)と連通する通孔(8)が形成された接続ポート(5)が上部に設けられたハウジング(3)と、
一方に開口する中空の円筒形の形状を有し、その開口部が前記ベース(4)の前記第2ポート(7)に通じるように前記ハウジング(3)の内部に収納されるフィルタエレメント(2)と、
前記接続ポート(5)に連結されることにより前記ハウジング(3)の上部に配設されて、前記通孔(8)における流体の圧力を検知する圧力検知器(20)と、を有すること、を特徴とするガス供給ユニット。 - 請求項1に記載するガス供給ユニットにおいて、
前記フィルタブロック(1)が、前記下部配管ブロック(120)に対して180度回転させた逆向きでも接続されることを特徴とするガス供給ユニット。 - 請求項1に記載するガス供給ユニットにおいて、
前記圧力検知器(20)が圧力計又は圧力スイッチであることを特徴とするガス供給ユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP30005996A JP3595083B2 (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | ガス供給ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP30005996A JP3595083B2 (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | ガス供給ユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH10141598A JPH10141598A (ja) | 1998-05-29 |
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Family
ID=17880211
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30005996A Expired - Lifetime JP3595083B2 (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | ガス供給ユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
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Families Citing this family (3)
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TWI386578B (zh) * | 2003-01-17 | 2013-02-21 | Applied Materials Inc | 避免一質量流量控制器涉及一質量流量控制器陣列中之干擾的方法 |
-
1996
- 1996-11-12 JP JP30005996A patent/JP3595083B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPH10141598A (ja) | 1998-05-29 |
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