JP4718037B2 - パージ用気体分配装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は除湿用などに使用される気体分離膜モジュールを複数並列接続する場合において、各気体分離膜モジュールのパージ入口ポートに接続が可能なパージ用気体の分配装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に気体、特に空気中には水分を含んでいるため、空気圧縮機で圧縮された空気を計装装置などの負荷設備に供給する際などには、予め除湿装置で含まれているで水分を除去する。除湿装置として最近注目されているものに、多数の中空糸分離膜を束にして筒体に収容した気体分離膜モジュールを使用する装置がある。そのような気体分離膜モジュールとしては、例えば宇部興産(株)から市販されている型式C10VやドイツのBEKO社から市販されている型式4020などがある。
【0003】
一般に、中空糸分離膜は極めて直径の小さい中空繊維の側壁に無数の微細な連通孔を設けたもので、その一次側(中空糸分離膜の内側)に気体を流すと、気相状態にある水分が水蒸気分圧差により生じる膜の浸透力によって二次側(中空糸分離膜の外側)に分離除去される。そして水分を除去された気体は乾燥気体として気体出口側から排出される。
【0004】
図6は従来の気体分離膜モジュールを使用した除湿装置を模式的に示す斜視図で、図7はその部分断面図である。気体分離膜モジュール1は筒体2に多数の中空糸分離膜3を束ねた束体を収容して構成され、筒体2の気体入口側と気体出口側にはそれぞれキャップ4,5が装着される。圧縮気体源から送られてくる水分を含んだ気体は気体入口側のキャップ4を経て中空糸分離膜3の一次側に供給され、それを通過する間に水分を除去されて気体出口側のキャップ5から乾燥気体として排出する。
【0005】
中空糸分離膜3の二次側における湿度が高くなると分離能力が低下するので、二次側の湿度は常に規定値以下に維持する必要がある。そのため気体出口側の乾燥気体の一部をパージ供給口6より筒体2内に設けたパージ通路7に供給し、そこを通過する間に中空糸分離膜3の二次側に分離された水分を同伴してパージ排出口8から外部に排出するようにしている。
中空糸分離膜3の二次側における湿度除去率はパージ流量によって変化するので、予め設定された湿度を維持するようにニードル弁などの流量調整弁9で調整する。
【0006】
図8は従来の気体分離膜モジュールを使用した除湿装置の他の例を示す部分断面図である。この気体分離膜モジュール1は図6(図7)の例と異なり、出口側のキャップ5の内部から乾燥気体を分離し、それを直接パージ通路7に供給している。
上記図6または図8の除湿装置には1本の気体分離膜モジュール1のみが示されているが、一般に工場やプラントなどにおける負荷設備の乾燥気体消費量は極めて大きいので、通常、複数の気体分離膜モジュールを配管などで並列接続して大容量の除湿装置を構成することが多い。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これら従来の除湿装置には次のような問題がある。すなわち図6の除湿装置は1本の気体分離膜モジュールごとにパージ配管とその流量調整弁9を設けるのでコスト高になり、複数の気体分離膜モジュールを並列接続して使用する場合には、パージ配管類を配置するための設置スペースが大きくなる。また個々にパージの流量調整を行わなければならないので手間がかかる。さらに複数の気体分離膜モジュールを連結するための配管類も必要になる。
【0008】
また、図8の除湿装置はコンパクトであるがパージ気体の流量調整が外部から出来ないので、除湿条件などの変動に有効に対応できない。
そこで本発明はこのような従来の除湿装置における問題を解決することを課題とし、その課題を達成するための気体分配装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
すなわち請求項1に記載の発明は、夫々、多数の中空糸分離膜を束ねた束体を筒体(2)に収容し、その束体の両端に気体出入口ヘッダを構成し、気体入口ポート(10a)が設けられた入口側キャップ(10)と、気体出口ポート(16)が設けられた出口側キャップ(11)とが配置され、筒体(2)内にパージ用の気体を供給するパージ入口ポート(18)が設けられた、複数の気体分離膜モジュール(1)を有し、
その気体分離膜モジュール(1)が複数並列接続される場合において、夫々の気体分離膜モジュール(1)の夫々の気体出口側に接続可能な前記パージ用の気体の分配装置であって、
出口側キャップ(11)の気体出口ポート(16)から供給されるパージ用気体の入口となるパージ入口ポート(22)が端部に形成されている主連通路(24)および、その主連通路(24)から分岐した複数の分岐連通路(25)を有するマニホルドユニット(12)と、
出口側キャップ(11)の気体出口ポート(16)とマニホルドユニット(12)のパージ入口ポート(22)とが連通する連通手段(14)および流量調整手段(15)を有するパージ供給手段(13)と、を具備し、
夫々の気体分離膜モジュール(1)の各パージ入口ポート(18)に、マニホルドユニット(12)の各分岐連通部(25)が連通されることを特徴とするパージ用気体分配装置である。
【0010】
請求項2に記載の発明は、前記マニホルドユニット(12)の前記主連通路(24)に圧力計(26)が取付られ、その圧力計(26)の出力に基づき、前記流量調整手段(15)が制御される請求項1に記載のパージ気体分配装置である。
【0011】
請求項3に記載の発明は、夫々、多数の中空糸分離膜を束ねた束体を筒体(2)に収容し、その束体の両端に気体出入口ヘッダを構成する入口側キャップ(10)と出口側キャップ(11)とが配置され、筒体(2)内にパージ用の気体を供給するパージ入口ポート(18)が設けられた、複数の気体分離膜モジュール(1)を有し、
その気体分離膜モジュール(1)が複数並列接続される場合において、複数の気体分離膜モジュール(1)の気体出口側に直接装着が可能な前記パージ用の気体の分配装置であって、
複数の出口側キャップ(11)に直接連結されるブロック状のマニホルドユニット(12)と、パージ供給手段(13)とを備え、
前記出口側キャップ(11)は、束体の出口側と連通する気体出口ポート(16)と、前記パージ入口ポート(18)とを有し、
前記マニホルドユニット(12)は、パージ入口ポート(22)を端部に有する主連通路(24)と、その主連通路(24)から複数の分岐連通路(25)が分岐され、各分岐連通路(25)の端部がパージ出口ポート(23)を有し
前記出口側キャップ(11)の各パージ入口ポート(18)と、それに対応するマニホルドユニット(12)の各パージ出口ポート(23)が互いに連通され、
パージ供給手段(13)は出口側キャップ(11)の気体出口ポート(16)とマニホルドユニット(12)のパージ入口ポート(22)に連通する連通手段(14)および流量調整手段(15)を有することを特徴とするパージ用気体分配装置である。
【0012】
請求項4に記載の発明は、パージ供給手段(13)における流量調整手段(15)の出口側またはマニホルドユニット(12)の主連通路(24)に圧力計(26)が連通していることを特徴とする請求項3に記載のパージ用気体分配装置である。
【0013】
請求項5に記載の発明は、夫々の気体分離膜モジュール(1) の出口側キャップ(11)は、その周方向の側面に順次隣り合う第1外面と第2外面と第3外面とが互いに直交する平面を有し、互いに平行な第1外面および第3外面に互いに連通された少なくとも一対の気体出口ポート(16)が開口され且つ、第2外面にパージ入口ポート(18)が開口し、
マニホルドユニット(12)は、細長いブロック体からなりその少なくとも一方の側面に定間隔に複数のパージ出口ポート(23)が開口され、
夫々の気体分離膜モジュール(1) の出口側キャップ(11)を互いに接続して各気体出口ポート(16)どうしが接続されると共に、その接続体の側面にマニホルドユニット(12)を接続して、夫々のパージ出口ポート(23)とパージ入口ポート(18)とが連通されるように構成された請求項3または請求項4に記載のパージ用気体分配装置である。
【0014】
請求項6に記載の発明は、出口側キャップ(11)の第2外面に気体出口ポート(16)が開口され、それが第1外面および第3外面の気体出口ポート(16)に互いに連通され、
マニホルドユニット(12)は、両側面に定間隔に複数のパージ出口ポート(23)おび気体貫通(21)が開口され、
夫々の気体分離膜モジュール(1)の出口側キャップ(11)を互いに接続して、その接続体が少なくとも二列に配置され、両列間にマニホルドユニット(12)が介装され、各列の気体出口ポート(16)が同一の列内で連通されると共に、マニホルドユニット(12)の夫々のパージ出口ポート(23)と夫々の気体分離膜モジュール(1)のパージ入口ポート(18)とが連通し且つ、夫々の気体貫通路(21)と気体出口ポート(16)が連通するように構成された請求項5に記載のパージ用気体分配装置である。
【0015】
請求項7に記載の発明は、筒体(2)が直管で構成され、その一端に入口側キャップ(10)が配置され、他端に出口側キャップ(11)が配置され、
入口側キャップ(10)は、その周方向の側面に順次隣り合う第1外面と第2外面と第3外面とが互いに直交する平面を有し、第1外面〜第3外面に互いに連通された3つの気体入口ポート(10a)が開口され、
夫々の気体分離膜モジュール(1)の入口側キャップ(10)を互いに接続して、その接続体が少なくとも二列に配置され、
同一列の各入口側キャップ(10)どうしが、前記第1外面と第3外面の気体入口ポート(10a)で直接接続されるとともに、一方の列の入口側キャップ(10)の前記第2外面の気体入口ポート(10a)と、他方の列の第2外面の気体入口ポート(10a)どうしが直接接続される請求項6に記載のパージ用気体分配装置である。
【0016】
請求項8に記載の発明は、夫々の気体分離膜モジュール(1) の入口側キャップ(10)およびマニホルドユニット(12)並びに出口側キャップ(11)に夫々互いに整合するボルト孔(19)が形成され、
夫々の気体分離膜モジュール(1) が、入口側キャップ(10)およびマニホルドユニット(12)並びに出口側キャップ(11)のボルト孔(19)に挿通された通しボルト(20)により締結固定されると共に、各入口キャップ(10)の気体入口ポート(10a) どうしおよび、気体出口ポート(16)どうし並びに、夫々のパージ出口ポート(23)とパージ入口ポート(18)とがOリング(28)を介して気密に連通される請求項3〜請求項7のいずれかに記載のパージ用気体分配装置である。
【0017】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を図面により説明する。
図1は本発明に係る気体分配装置が装着された除湿装置を示す模式的な斜視図、図2は図1におけるキャップを分解した状態を示す模式的な斜視図、図3はキャップの一部とマニホルドユニットの連結関係を示す模式的な斜視図、図4(a)はマニホルドユニットの正面図,図4(b)は図4(a)のA−A矢視断面図である。また図5は、本発明のパージ用気体分配装置に用いる気体分離膜モジュール1の縦断面図である。
【0018】
図5において、1は気体分離膜モジュール、2は筒体であり、図7に示した従来例と異なる点は、気体の入口室10b,出口室11bから夫々三方に気体入口ポート10a,気体出口ポート16が形成されると共に、それらの各ポートの開口縁およびパージ入口ポート18の開口縁に夫々リング溝が形成され、そこにゴム材よりなるシール用のOリング28が嵌着されていることである。
【0019】
さらに図1〜図5において、10は気体分離膜モジュール1の気体入口側に連結される入口側キャップ、11は気体分離膜モジュール1の気体出口側に連結される本発明に係る出口側キャップ、12はマニホルドユニット、13はパージ供給手段、14はパージ配管などの連通手段、15はニードル弁等の流量調整手段、16は気体出口ポート、17はゴムキャップなどの閉鎖蓋、18はパージ入口ポート、19は貫通されたボルト孔、20は通しボルト、21は気体貫通路、22はパージ入口ポート、23はパージ出口ポート、24は主連通路、24a、25は分岐連通路、26は圧力計、27は計測ポートである。
【0020】
図1の例では6本の気体分離膜モジュール1が2列に配列されている。夫々の気体分離膜モジュール1は、その気体入口側に入口側キャップ10が装着され、気体出口側に出口側キャップ11が装着されている。入口側キャップ10および出口側キャップ11は、夫々6面体の方形のブロック状に形成され、それらブロックの4面の4隅に縦横にボルト孔19が設けられ、そのボルト孔19を利用して互いに通しボルト20で着脱自在に連結されている。そして各入口側キャップ10には気体入口ポート10aが外周側面の三方に開口され、各出口側キャップ11には気体出口ポート16が外周側面の三方に開口され、それらは内部に設けた入口室10bおよび出口室11bにより中空糸分離膜3の入口側および出口側に連通されると共に、各入口側キャップ10間が互いに連通されると共に、各出口側キャップ11間が互いに連通される。
なお、各キャップ10,11の開口の接続部分にはOリング28が挿入されて気密性を維持している。
【0021】
この例のパージ用気体分配装置は、その気体分離膜モジュール1を2列使用し、その列間にマニホルドユニット12を一体的に連結している。なお気体分離膜モジュール1は、多数列とすることも、1列のみの構成とすることもできる。
【0022】
各気体分離膜モジュール1の入口側キャップ10、出口側キャップ11どうしがOリング28を介して、ボルト孔19に挿通された通しボルト20およびナットにより互いに各列方向に締結すると共に、列に対して直角な方向の気体出口ポート16は、図3に示すように、マニホルドユニット12に設けた気体貫通路21を通して反対列の対応する気体出口ポート16に連通する。また各列の気体入口ポート10aどうしは直接接続される。
なお、図1に示すように使用しない気体出口ポート16は気密性を有する閉鎖蓋17で閉鎖する。
【0023】
なお、マニホルドユニット12は図4に示すような方形のブロック状とされ、この例ではその幅方向に3つの気体貫通路21が貫通されている。これらの気体貫通孔21は前記のようにその両側から連結される出口側キャップ11の各気体出口ポート16とそれぞれ連通する。
【0024】
さらにマニホルドユニット12の長手方向の側面にパージ入口ポート22が形成され、そのパージ入口ポート22から長手方向に直径の比較的大きい管状の主連通路24が連通され、その主連通路24から直角に複数(この例では左右に3つずつ合計6つ)の直径の比較的小さい管状の分岐連通路25が分岐され、各分岐連通路25の端部がパージ出口ポート23として幅方向の両側面にそれぞれ開口している。
これら各パージ出口ポート23は出口側キャップ11の対応するパージ入口ポート18と連通する。主連通路24からは更に一本の分岐連通路24aが分岐され、その分岐連通路24aは図1に示す圧力計26を接続する計測ポート27に連通している。なお圧力計26は流量調整手段15とパージ入口ポート22の間に設けることもでき、その場合には計測ポート27を閉鎖蓋で気密に閉鎖する。
【0025】
次に上記パージ用気体分配装置の作用を説明する。図示しない圧縮気体源からの加圧された空気などの気体は、入口側キャップ10に導入され、そこから各気体分離膜モジュール1における中空糸分離膜3の一次側に供給される。気体は中空糸分離膜3を通過する間に含まれている水分が二次側に分離除去され、乾燥気体となってそれぞれの気体出口側の開口から出口側キャップ11の各気体連通部に流入する。流入した乾燥気体はそれら気体連通部で互いに合流し、図1に示す左端の隅部に位置する出口側キャップ11の気体出口ポート16から負荷設備への配管に流出する。
【0026】
配管に流出する乾燥気体の一部はパージ供給手段13を経てマニホルドユニット12のパージ入口ポート22にパージ気体として供給される。このパージ気体の流量はマニホルドユニット12へ供給される乾燥気体の圧力に比例するので、圧力計26の指示圧力が予め規定された値になるように連通手段14に設けたニードル弁等の流量調整手段15で一括的に調整する。そしてこの流量調整によって所望の乾燥度の気体を配管に流出させることができる。
【0027】
マニホルドユニット12のパージ入口ポート22に供給されたパージ気体は主連通路24を経て各分岐連通路25に供給される。各分岐連通路25のパージ気体はそれぞれのパージ出口ポート23から対応する各気体分離膜モジュール1の出口側キャップ11のパージ入力ポート18(図5)に流入し、次いでパージ気体は各気体分離膜モジュール1のパージ通路7を通って各パージ排出口29から外部に排出される。それにより、筒体2内を乾燥状態に保つことができる。このように直径の大きい主連通路24から各分岐連通路25にパージ気体を供給するように構成すると、主連通路24における圧力降下を実質的に無視することができ、それによって各気体分離膜モジュール1のパージ通路7に均一にパージ気体を流通させることができる。
【0028】
上記マニホルドユニット12は、使用する気体分離膜モジュール1の本数に応じてその長さを伸縮することができる。また、上記実施の形態では気体分離膜モジュール1を三つづつ2列の合計6つを連結しているが、例えば気体分離膜モジュール1を一列、3本のみ使用する場合には、マニホルドユニット12の片方の列(例えば図1の右側の列)に設けたパージ出口ポート23(図4参照)と気体貫通路21を全てゴムキャップなどの閉鎖蓋で気密に閉鎖する。
【0029】
なお、それに代えてマニホルドユニット12として1列用に構成したもの(パージ出口ポート23が片方の列のみ設けられ、気体貫通路21を省略したもの)を使用してもよい。
このような方式を採用することにより、乾燥気体の供給容量が設備設置時または設置後を問わず変化する場合などに迅速に対応することができる。
【0030】
【変形例】
なお、上記実施の形態で、入口側キャップ10および出口側キャップ11は、角形ブロックで構成したが、これに限らず複数の従来の気体分離膜モジュールのキャップを用い、そのパージ入口ポートとマニホルドユニットの各分岐通路のパージ出口ポートとを夫々配管で接続することもできる。
【0031】
【発明の効果】
以上のように本発明に係るパージ用気体分配装置によれば、気体分離膜モジュールが複数並列接続される場合に、それら各気体分離膜モジュールに供給するパージ用気体の流量を、パージ供給手段における流量調整手段により一括して調整できる。そのため除湿後の気体乾燥度を迅速且つ簡単に調整することができる。また、複数の気体分離膜モジュールごとにパージ用気体の流量調整手段を設ける従来の装置に比べて設置面積を大幅に減少できる。
さらに本パージ用気体分配装置において、それを構成するキャップとマニホルドユニットまたは複数の気体分離膜モジュールとの間を配管類を使用せずに直接着脱自在に連結する場合には、除湿装置全体をコンパクト化できると共に、その設置スペースを大幅に減少できる。
【0032】
上記パージ用気体分配装置において、パージ供給手段における流量調整手段の出口側またはマニホルドユニットの主連通路に連通して圧力計を設けることができる。このような圧力計を設けるとパージ用気体の流量調整をより容易に行うことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る気体分配装置が装着された除湿装置を示す模式的な斜視図。
【図2】図1におけるキャップを分解した状態を示す模式的な斜視図。
【図3】キャップの一部とマニホルドユニットの連結関係を示す模式的な斜視図。
【図4】(a)はマニホルドユニットの正面図図,(b)は(a)のA−A矢視断面図。
【図5】気体分離膜モジュールの縦断面図。
【図6】従来の気体分離膜モジュールを使用した除湿装置を模式的に示す斜視図。
【図7】図6の部分断面図。
【図8】従来の気体分離膜モジュールを使用した除湿装置の他の例を示す部分断面図。
【符号の説明】
1 気体分離膜モジュール
2 筒体
3 中空糸分離膜
4 キャップ
5 キャップ
6 パージ供給口
7 パージ通路
8 パージ排出口
9 流量調整弁
10 入口側キャップ
10a 気体入口ポート
10b 入口室
11 出口側キャップ
11b 出口室
12 マニホルドユニット
13 パージ供給手段
14 連通手段
15 流量調整手段
16 気体出口ポート
17 閉鎖蓋
18 パージ入口ポート
19 ボルト孔
20 通しボルト
21 気体貫通路
22 パージ入口ポート
23 パージ出口ポート
24 主連通路
24a 分岐連通路
25 分岐連通路
26 圧力計
27 計測ポート
28 Oリング
29 パージ排出口

Claims (8)

  1. 夫々、多数の中空糸分離膜を束ねた束体を筒体(2)に収容し、その束体の両端に気体出入口ヘッダを構成し、気体入口ポート(10a)が設けられた入口側キャップ(10)と、気体出口ポート(16)が設けられた出口側キャップ(11)とが配置され、筒体(2)内にパージ用の気体を供給するパージ入口ポート(18)が設けられた、複数の気体分離膜モジュール(1)を有し、
    その気体分離膜モジュール(1)が複数並列接続される場合において、夫々の気体分離膜モジュール(1)の夫々の気体出口側に接続可能な前記パージ用の気体の分配装置であって、
    出口側キャップ(11)の気体出口ポート(16)から供給されるパージ用気体の入口となるパージ入口ポート(22)が端部に形成されている主連通路(24)および、その主連通路(24)から分岐した複数の分岐連通路(25)を有するマニホルドユニット(12)と、
    出口側キャップ(11)の気体出口ポート(16)とマニホルドユニット(12)のパージ入口ポート(22)とが連通する連通手段(14)および流量調整手段(15)を有するパージ供給手段(13)と、を具備し、
    夫々の気体分離膜モジュール(1)の各パージ入口ポート(18)に、マニホルドユニット(12)の各分岐連通部(25)が連通されることを特徴とするパージ用気体分配装置。
  2. 前記マニホルドユニット(12)の前記主連通路(24)に圧力計(26)が取付られ、その圧力計(26)の出力に基づき、前記流量調整手段(15)が制御される請求項1に記載のパージ用気体分配装置。
  3. 夫々、多数の中空糸分離膜を束ねた束体を筒体(2)に収容し、その束体の両端に気体出入口ヘッダを構成する入口側キャップ(10)と出口側キャップ(11)とが配置され、筒体(2)内にパージ用の気体を供給するパージ入口ポート(18)が設けられた、複数の気体分離膜モジュール(1)を有し、
    その気体分離膜モジュール(1)が複数並列接続される場合において、複数の気体分離膜モジュール(1)の気体出口側に直接装着が可能な前記パージ用の気体の分配装置であって、
    複数の出口側キャップ(11)に直接連結されるブロック状のマニホルドユニット(12)と、パージ供給手段(13)とを備え、
    前記出口側キャップ(11)は、束体の出口側と連通する気体出口ポート(16)と、前記パージ入口ポート(18)とを有し、
    前記マニホルドユニット(12)は、パージ入口ポート(22)を端部に有する主連通路(24)と、その主連通路(24)から複数の分岐連通路(25)が分岐され、各分岐連通路(25)の端部がパージ出口ポート(23)を有し
    前記出口側キャップ(11)の各パージ入口ポート(18)と、それに対応するマニホルドユニット(12)の各パージ出口ポート(23)が互いに連通され、
    パージ供給手段(13)は出口側キャップ(11)の気体出口ポート(16)とマニホルドユニット(12)のパージ入口ポート(22)に連通する連通手段(14)および流量調整手段(15)を有することを特徴とするパージ用気体分配装置。
  4. パージ供給手段(13)における流量調整手段(15)の出口側またはマニホルドユニット(12)の主連通路(24)に圧力計(26)が連通していることを特徴とする請求項3に記載のパージ用気体分配装置。
  5. 夫々の気体分離膜モジュール(1)の出口側キャップ(11)は、その周方向の側面に順次隣り合う第1外面と第2外面と第3外面とが互いに直交する平面を有し、互いに平行な第1外面および第3外面に互いに連通された少なくとも一対の気体出口ポート(16)が開口され且つ、第2外面にパージ入口ポート(18)が開口し、
    マニホルドユニット(12)は、細長いブロック体からなりその少なくとも一方の側面に定間隔に複数のパージ出口ポート(23)が開口され、
    夫々の気体分離膜モジュール(1)の出口側キャップ(11)を互いに接続して各気体出口ポート(16)どうしが接続される共に、その接続体の側面にマニホルドユニット(12)を接続して、夫々のパージ出口ポート(23)とパージ入口ポート(18)とが連通されるように構成された請求項3または請求項4に記載のパージ用気体分配装置。
  6. 出口側キャップ(11)の第2外面に気体出口ポート(16)が開口され、それが第1外面および第3外面の気体出口ポート(16)に互いに連通され、
    マニホルドユニット(12)は、両側面に定間隔に複数のパージ出口ポート(23)おび気体貫通(21)が開口され、
    夫々の気体分離膜モジュール(1)の出口側キャップ(11)を互いに接続して、その接続体が少なくとも二列に配置され、両列間にマニホルドユニット(12)が介装され、各列の気体出口ポート(16)が同一の列内で連通されると共に、マニホルドユニット(12)の夫々のパージ出口ポート(23)と夫々の気体分離膜モジュール(1)のパージ入口ポート(18)とが連通し且つ、夫々の気体貫通路(21)と気体出口ポート(16)が連通するように構成された請求項5に記載のパージ用気体分配装置。
  7. 筒体(2)が直管で構成され、その一端に入口側キャップ(10)が配置され、他端に出口側キャップ(11)が配置され、
    入口側キャップ(10)は、その周方向の側面に順次隣り合う第1外面と第2外面と第3外面とが互いに直交する平面を有し、第1外面〜第3外面に互いに連通された3つの気体入口ポート(10a)が開口され、
    夫々の気体分離膜モジュール(1)の入口側キャップ(10)を互いに接続して、その接続体が少なくとも二列に配置され、
    同一列の各入口側キャップ(10)どうしが、前記第1外面と第3外面の気体入口ポート(10a)で直接接続されるとともに、一方の列の入口側キャップ(10)の前記第2外面の気体入口ポート(10a)と、他方の列の第2外面の気体入口ポート(10a)どうしが直接接続される請求項6に記載のパージ用気体分配装置。
  8. 夫々の気体分離膜モジュール(1)の入口側キャップ(10)およびマニホルドユニット(12)並びに出口側キャップ(11)に夫々互いに整合するボルト孔(19)が形成され、
    夫々の気体分離膜モジュール(1)が、入口側キャップ(10)およびマニホルドユニット(12)並びに出口側キャップ(11)のボルト孔(19)に挿通された通しボルト(20)により締結固定されると共に、各入口キャップ(10)の気体入口ポート(10a)どうしおよび、気体出口ポート(16)どうし並びに、夫々のパージ出口ポート(23)とパージ入口ポート(18)とがOリング(28)を介して気密に連通される請求項3〜請求項7のいずれかに記載のパージ用気体分配装置。
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