KR101271875B1 - 에어 퍼지 장치 및 이를 포함하는 결함 검출기 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 토출되는 영역 전체에 밸런스가 맞는 기체를 토출하는 것이 가능한 에어 퍼지 장치를 제공하는 것을 목적으로 하며, 일측으로 형성된 개구를 포함하며 내부 공간이 마련된 하우징 및 상기 개구를 통하여 내부로 물체가 유입되는 것을 방지하도록 상기 하우징 내부로 기체를 토출하도록 배치된 퍼지 수단을 포함하며, 상기 퍼지 수단은 토출되는 기체의 유량 밸런스를 조절하는 밸런스 조절부를 포함하는 에어 퍼지 장치를 제공한다.

Description

에어 퍼지 장치 및 이를 포함하는 결함 검출기{Air Purge Device and Apparatus for Detecting Crack with it}
본 발명은 기체를 사용하여 하우징 내부로 외부 물질의 유입을 막는 에어 퍼지 장치와 이를 사용하여 대상의 결함을 검출하는 결함 검출 장치에 대한 것으로 보다 구체적으로는, 안정적 기체 흐름을 제공하여 외부 물질을 효과적으로 막을 수 있는 에어 퍼지 장치와 이 에어 퍼지 장치를 포함하며 압연 후 스트립의 에지 크랙을 점검하는 결함 검출 장치에 대한 것이다.
압연기 예를 들어, 냉간 압연기(CRM: cold rolling mill) 및 극박 냉간 압연기(ZRM: sendzimir mill)를 이용하여 전기강판 등의 모재를 압연할 때, 압연기의 설정 오류나 오작동으로 인해 상기 모재에 크랙이 발생할 수 있다. 이를 검출하기 위하여 압연기 내에 크랙 검출 모듈을 장착하였다. 하지만, 압연기 내에는 다량의 오일 및 수증기 등과 같은 오염물질이 존재하기 때문에, 상기 오염물질이 크랙 검출 모듈로 유입되어 크랙 검출 모듈을 오염시키게 된다. 즉, 크랙 검출 모듈을 구성하는 카메라, 카메라의 하측에 배치되어 카메라를 보호하는 윈도우부 및 조명장치에 오염물질이 부착된다. 따라서, 카메라의 시야가 확보되지 않아 우수한 영상을 취득할 수 없을 뿐만 아니라, 조명장치의 밝기를 저하시키는 문제가 발생하였다.
이러한 문제를 해결하기 위하여, 도 1 에서는 모재(S) 상측에 카메라(1)를 배치하고 하측에 조명(2)를 배치하고, 조명(2)에 에어 퍼지 장치(10)를 달아서 오염 물질로부터 조명(2)을 보호하는 장치를 특허 제2008-135568호로 출원된 바 있다.
도 2 에는 조명(2)을 포함하는 에어 퍼지 장치(10)가 구체적으로 도시되어 있다. 도 2 에서 보이듯이, 에어 퍼지 장치(10)는 일측이 개구되며, 타측에 조명(2)이 위치한다. 에어 퍼지 장치(10)의 하우징(13) 양측에는 외부의 기체 공급수단(미도시)으로부터 기체가 공급되는 기체 공급부(11) 및 상기 기체 공급부(11)로부터의 기체를 하우징(13) 내부 공간으로 토출하는 토출부(12)가 형성되며, 상기 토출부(12)에서 토출된 기체는 가이드(14, 15)에 의해서 개구로 토출된다. 그에 따라서, 에어 퍼지 장치(10)는 에어 퍼지 장치(10)의 하우징(13) 내부로 유입되는 오염물질의 유입을 차단한다.
하지만, 오염물질, 특히 수증기 및 오일은 압연 공정에서 덩어리로 형성 및 성장하며, 이러한 덩어리(5)가 에어 퍼지 장치(10)로부터의 기체와 만나는 경우 에어 퍼지 장체(10)의 기체에 의해서 밀려나거나, 덩어리(5)가 작은 입자(5a, 5b)로 파괴된다. 이러한 상황이 도 3a 에 도시되어 있다.
이렇게 작은 입자(5a, 5b)로 파괴되는 경우 일부의 입자(5a)는 에어 퍼지 장치(10) 외부로 낙하하지만, 다른 일부의 입자(5b)의 경우 에어 퍼지 장치(10) 내부로 유입될 수 있다. 이는 파괴에 의하여 여러 방향의 힘을 가지는 입자 중 일부(5b)는 에어 퍼지 장치(10)에서 유량이 적어서 밀어내는 힘이 약한 곳으로 유입될 수 있기 때문이다.
특히, 에어 퍼지 장치(10)의 경우 토출부(12)가 100~200㎛ 의 슬릿으로 형성되어 있는데, 이러한 슬릿형의 경우 중앙부 대비 슬릿 단부측의 유량이 작아 오염물질을 밀어내는 힘이 작아서, 오염물질의 유입이 자주 발생한다.
도 3b 에는 도 2 의 에어 퍼지 장치(10)와 같은 슬릿형 토출부(12)를 가지며, 중앙에서 기체 공급부(11)로 기체가 공급되는 경우에 토출되는 기체의 유량 및 유속을 가시적으로 도시한 것이다.
도 3b 에서 명확하게 파악할 수 있듯이, 슬릿형 토출부(12)의 경우 슬릿 양 단부에서 슬릿과의 마찰이 클 뿐만 아니라, 중앙부에서 기체 공급부(11)가 형성되어 양 단부까지 가는 유량 자체도 적다. 작은 입자는 유량이 적은 부분을 통하여 에어 퍼지 장치(10) 내부로 유입될 수 있다는 문제점이 있다.
본 발명은 위와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 토출되는 영역 전체에 유량 밸런스가 맞는 기체를 토출하는 것이 가능한 에어 퍼지 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 에어 퍼지 장치를 구비한 결함 검출기에서, 외부 오염 물질의 유입을 막아서, 정확한 결함 검출이 가능하게 하는 것을 목적으로 한다.
또, 본 발명은 외부 오염 물질을 끌어당길 수 있는 백플로우를 막을 수 있는 에어 퍼지 장치를 제공하는 것은 목적으로 한다.
위와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 다음과 같은 에어 퍼지 장치 및 이를 포함하는 결함 검출기를 제공한다.
본 발명은 일측으로 형성된 개구를 포함하며 내부 공간이 마련된 하우징 및 상기 개구를 통하여 내부로 물체가 유입되는 것을 방지하도록 상기 하우징 내부로 기체를 토출하도록 배치된 퍼지 수단을 포함하며, 상기 퍼지 수단은 기체의 유출 밸런스를 조절하는 밸런스 조절부를 포함하는 에어 퍼지 장치를 제공한다.
여기서, 상기 밸런스 조정부는 하우징의 길이 방향을 따라서 배치된 복수의 구멍을 포함하며, 상기 복수의 구멍은 균일 간격으로 동일한 크기로 형성된 것일 수 있다.
또한, 상기 밸런스 조정부의 상기 구멍 직경은 1 ~ 2 ㎜, 구멍 사이의 간격은 0.5 ~ 1 ㎜ 사이일 수 있다.
또, 상기 퍼지 수단은 상기 하우징의 길이 방향 양 단부에 구비된 기체 공급부를 통하여 유입된 기체를 토출할 수 있다.
나아가, 상기 퍼지 수단은 상기 개구에 인접하여 배치되는 제 1 퍼지 수단과 상기 제 1 퍼지 수단보다 하우징 내부에 배치된 제 2 퍼지 수단을 포함하여 2단으로 구성되며, 상기 제 1 및 제 2 퍼지 수단으로부터 토출되는 기체를 상기 개구로 가이드 하도록, 상기 제 1 및 제 2 퍼지 수단 상부에 배치되며, 상기 개구측으로 경사진 제 1 및 제 2 가이드 부재 더 포함할 수도 있다.
여기서, 상기 제 1 및 제 2 퍼지 수단은 상기 제 1 및 제 2 가이드측으로 기체를 토출하도록 배치될 수 있다.
한편, 본 발명은 모재의 상측 또는 하측에 배치되는 조명과 다른 측에 배치되는 카메라를 통하여 얻어진 영상으로 모재 결함을 검출하는 결함 검출기로서, 상기 모재의 하측에 배치된 상기 조명 또는 상기 카메라는 상기 에어 퍼지 장치에 상기 개구를 향하도록 수용되는 결함 검출기를 제공한다.
이 때, 상기 모재의 상측에는 카메라가 배치되며, 상기 모재의 하측에 배치되는 상기 에어 퍼지 장치 내부에는 조명이 수용되고, 상기 카메라와 상기 조명은 서로에 대향하여 배치되며, 상기 에어 퍼지 장치의 하우징은 중력 방향에 대하여 경사지게 배치될 수 있다.
또한, 상기 모재는 일방향으로 이동되는 스트립이며, 상기 에어 퍼지 장치의 하우징은 상기 모재의 이동방향으로 경사져 있을 수 있다
나아가, 상기 조명은 상기 모재의 가장자리면에 대응되는 위치에 배치되어, 상기 모재의 에지 크랙을 검출할 수 있다.
본 발명은 위와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 토출되는 영역 전체에 밸런스가 맞는 기체를 토출하는 것이 가능한 에어 퍼지 장치를 제공할 수 있다
또한, 에어 퍼지 장치를 구비한 결함 검출기에서, 외부 오염 물질의 유입을 막아서, 정확한 결함 검출이 가능하다.
또, 본 발명은 외부 오염 물질을 끌어당길 수 있는 백플로우를 막을 수 있는 에어 퍼지 장치를 제공한다.
도 1 은 종래의 결함 검출기의 개략도이다.
도 2 는 종래의 결함 검출기의 에어 퍼지 장치의 상세도이다.
도 3a 는 종래의 결함 검출기에서 오염물질이 유입되는 과정을 도시한 개략도이다.
도 3b 는 종래의 에어 퍼지 장치의 토출부에서 유량을 도시한 개념도이다.
도 4a 는 본 발명의 결함 검출기의 개략도이며, 도 4b 는 본 발명의 결함 검출기에서 오염물질의 유입이 방지되는 과정을 도시한 개략도이고, 도 4c 는 오염물질 덩어리가 파괴될 때에 작용하는 힘을 도시한 개념도이다.
도 5 는 본 발명의 에어 퍼지 장치의 사시도이다.
도 6 은 본 발명의 에어 퍼지 장치의 단면도이다.
도 7a 은 본 발명의 에어 퍼지 장치의 퍼지 수단의 사시도이다.
도 7b 는 본 발명의 에어 퍼지 장치의 퍼지 수단의 부분 단면도이다.
도 7c 는 본 발명의 에어 퍼지 장치의 퍼지 수단이 장착된 상대도이다.
도 8 은 본 발명의 에어 퍼지 장치의 공기 흐름을 보이는 측단면도이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 에어 퍼지 장치 및 이 에어 퍼지 장치를 포함하는 결함 검출기에 대하여 상세히 설명하도록 한다.
종래와 동일한 구성에 대하여는 동일한 도면 부호를 사용하도록 한다.
도 4a 에서는 본 발명의 에어 퍼지 장치(100)가 모재(S) 하방에서 조명(2)을 수용하면서 배치된다. 또한, 조명(2)을 수용한 에어 퍼지 장치(100)는 중력 방향에 대하여 경사각(θ)으로 경사져 있으며, 에어 퍼지 장치(100)와 대향하는 방향으로 모재(S) 상방에는 카메라(1)가 배치된다.
도 4b 에서는 본 발명의 에어 퍼지 장치(100)가 오염물질 덩어리(5)와 부딪혀 덩어리(5)가 파괴되어 작은 입자(5a)로 파괴되는 모습이 도시되어 있다.
본 발명에서 모재(S)는 압연 공정을 끝난 스트립이며, 이와 같은 모재(S)가 도 4a에 도시되어 있는 화살표 방향과 같이 일방향으로 진행하는 상태에서, 상방 및 하방의 조명(2), 카메라(1)를 통하여, 결함 검출기는 지나가는 모재(S)의 균열, 특히 에지부 균열을 검출하게 된다. 에지부 균열을 검출하기 위하여 본 발명의 조명(2) 및 카메라(1)는 모재(S)의 가장자리에 배치되며, 그에 따라서, 모재(S) 상방의 오염물질이 조명(2)이 수용된 에어 퍼지 장치(100)로 낙하할 수 있다.
도 4c 에는 오염물질 덩어리가 파괴될 때에 작용하는 힘을 도시한 개념도가 도시되어 있다. 모재(S)는 일방향으로 진행하고 있기 때문에, 모재(S) 위에서 덩어리(5)로 형성되어 있는 오염물질은 모재(S)에서 낙하할 때, 모재(S)에서 진행방향에 따라서 이동되던 관성력(F1)과, 오염물질(5)에 작용하는 중력(Fg)에 의하여 포물선을 그리면서 낙하한다.
본 발명의 결함 검출기의 에어 퍼지 장치(100)는 중력 방향에 대하여 모재의 진행방향으로 경사져 있으며, 이는 오염물질 덩어리(5)이 낙하할 때 떨어지는 방향과 동일하다. 따라서, 에어 퍼지 장치(100)에서 토출되는 기체는 오염물질에 대하여 진행방향으로 밀어내는 힘을 가하게 된다. 즉, 오염물질(5)을 에어 퍼지 장치(100)옆으로 밀쳐낸다.
종래의 경우, 오염물질 덩어리(5)가 에어 퍼지 장치(10)의 기체에 의해 파괴되는 경우, 오염물질 덩어리(5)는 작은 입자(5a)가 되면서 사방으로 퍼져나가게 되며, 진행 방향과 반대 방향으로 퍼져나가는 입자가 에어 퍼지 장치(10)에서 유량이 부족한 쪽으로 향하게 되면, 에어 퍼지 장치(10)에서 토출되는 기체로부터 충분한 힘을 받지 못하여, 에어 퍼지 장치(10) 하우징(13) 내부로 유입되었다.
하지만, 본 발명에서 에어 퍼지 장치(100)는 모재(S)의 진행방향으로 경사져 있기 때문에, 오염물질(5)가 작은 입자(5a)로 파괴되어,작은 입자(5a)의 일부가 진행방향에 반대방향으로 향하더라도, 에어 퍼지 장치(100)는 작은 입자(5a)를 진행방향으로 밀어내는 힘(Fa)을 가하며, 따라서, 본 발명의 에어 퍼지 장치(100)는 오염물질 덩어리(5)가 작은 입자(5a)로 파괴되더라도 에어 퍼지 장치(100) 내부로 작은 입자(5a)가 유입되지 않는다.
즉, 오염물질(5) 파괴단계에서, 사방으로 퍼져나갈려는 작은 입자(5a)는 오염물질(5)단계에서의 관성에 추가하여 에어 퍼지 장치(100)의 진행방향으로의 힘에 의하여 에어 퍼지 장치(100) 내부가 아닌 에어 퍼지 장치(100)의 진행방향 측 외부로 낙하할 수 있다.
이 때, 에어 퍼지 장치(100)와 중력 방향의 경사각(θ)는 15 ~ 30°사이인 것이 바람직한데, 경사각(θ)이 15°보다 작은 경우, 오염물질의 작은 입자(5a)에 대하여 진행방향으로 충분한 힘을 가해줄 수가 없다(Fax = Facosθ), 경사각(θ)이 30°보다 큰 경우, 카메라(1)의 설치 위치의 이동 범위가 커져서 결함 검출기가 차지하는 공간이 커질 뿐만 아니라, 이 각도를 넘어서는 경우, 모재(S) 가장자리의 크랙이 제대로 검출되지 않을 수 있기 때문이다.
또한, 본 발명의 에어 퍼지 장치(100)는 종래의 에어 퍼지 장치(10)와는 달리 퍼지 수단(110, 120)에서 토출되는 기체의 유량이 균일하게 공급되어, 즉, 유량 밸런스가 갖춰진 상태여서 일부분의 유량이 모잘라 오염물질의 작은 입자(5a)에 충분한 힘을 가하지 못하여 작은 입자(5a)가 유입될 문제 역시 발생하지 않는다. 도 5 내지 8 에서는 균일한 유량을 공급하는 에어 퍼지 장치(100)에 대하여 보다 상세히 살펴보도록 한다.
도 5 에는 본 발명의 에어 퍼지 장치(100)의 사시도가 도시되어 있다. 에어 퍼지 장치(100)는 하우징(101)과 하우징(101)의 상측에는 개구(102)가 형성되어 있다. 개구(102)에는 제 1 가이드(131 ~ 134)가 배치되어, 하우징(101) 내부에 배치된 제 1 퍼지 수단(110)으로부터 토출되는 기체가 개구(102)로 원활히 흐를 수 있도록 한다.
제 1 가이드(131 ~ 134)는 개구(102)를 좁아지게 하는 방향으로 경사져 있어서, 토출되는 기체의 밀도를 높이는 방식으로 형성되는 것이 바람직하다.
하우징(101)은 수평 방향 단면이 장방형을 가지도록 형성되며, 긴 길이를 가지는 방향(이하에서는 '길이 방향'이라고 함) 양 단부에는 외부의 기체 공급원(미도시)으로부터 공급되는 기체가 유입되는 기체 유입부(170, 175)가 형성되어 있다.
한편 하우징(101)은 여러 부품으로 분리가능하게 형성될 수 있으며 개별 부품은 볼트와 같은 결합 수단(103)에 의해서 결합될 수 있다.
도 6 에는 도 5 의 A-A 선에서 본 에어 퍼지 장치(100)의 단면도가 도시되어 있다.
위에서 설명한 바와 같이, 하우징(101)의 상측에는 제 1 가이드(131, 133)가 하우징(101) 중앙 측으로 경사져 있으며, 상기 제 1 가이드(131, 133) 아래에 제 1 퍼지 수단(110)이 배치된다.
상기 제 1 퍼지 수단(110) 아래에 제 2 가이드(141, 143) 가 배치되며, 상기 제 2 가이드(141, 143) 역시 제 1 가이드(131, 133)과 동일하게 하우징 중앙 측으로 경사져 있다. 제 2 가이드(141, 143) 아래에 제 2 퍼지 수단(120)이 위치하며, 제 2 퍼지 수단(120) 하방에는 윈도우(150)가 배치된다.
윈도우(150)는 윈도우(150) 아래에서 하우징(101)에 수용되는 조명(2)을 보호하며, 조명(2)의 빛이 통과할 수 있는 재질로 형성된다.
제 1 가이드(131, 133)는 하우징(101) 중앙측으로 경사져 있는데, 구체적으로는 하우징(101)이 중력 방향으로 배치됐을 때, 상기 중력 방향에 대하여 30~40°정도의 각을 가지게 경사지는 것이 바람직하며, 이는 제 2 가이드(141, 143)도 동일하다.
또한, 제 1 가이드(131, 133) 사이의 거리(l2)로 조명(2)의 광이 나가나, 이 거리(l2)로 외부의 오염물질이 유입될 수 있으므로, 5mm 이하로 설정되는 것이 바람직하다.
한편, 제 1 가이드(131, 133) 및 제 2 가이드(141, 143) 하방에 배치되는 제 1 퍼지 수단(110), 제 2 퍼지 수단(120)은 하우징(101)의 길이 방향을 따라서 구멍(111, 121) 복수 개가 동일 간격으로 배치된다.
또한, 상기 구멍(111)은 제 1 퍼지 수단(110)의 밸런스 조절부(115)에 형성되며, 이 구멍(111)을 통하여, 외부 기체 공급원(미도시)으로부터의 기체가 토출된다. 본 발명의 에어 퍼지 장치(100)에서 상기 제 1 퍼지 수단(110)의 구멍(111)이 제 1 가이드(131)을 향하도록 제 1 퍼지 수단(110)이 배치된다.
마찬가지로, 상기 구멍(121)은 제 2 퍼지 수단(120)의 밸런스 조절부(125)에 형성되며, 이 구멍(121)을 통하여, 외부 기체 공급원(미도시)으로부터의 기체가 토출된다. 본 발명의 에어 퍼지 장치(100)에서 상기 제 2 퍼지 수단(120)의 구멍(121)이 제 2 가이드(141)을 향하도록 제 2 퍼지 수단(120)이 배치된다.
제 1 및 제 2 퍼지 수단(110, 120)을 통하여 공급되는 기체는 하우징 내부 공간(160)을 통하여 개구(102)로 토출되며, 모재(S)로부터 낙하하는 오염물질이 상기 내부 공간(160)에 유입되는 것을 막아, 오염물질이 윈도우(150)에 부착되 조명(2)의 조도가 떨어지는 것을 막을 수 있다.
도 7a 에는 제 1 퍼지 수단(110)의 부품 사시도가 도시되어 있다. 제 1 퍼지 수단(110)은 하우징(101)의 길이 방향을 따라서 일정 간격(l)으로 동일한 직경(d)의 구멍(111)이 복수 개 형성되며, 이렇게 구멍(111)이 형성된 부분을 통하여 기체의 토출 밸런스가 조절되므로, 이를 밸런스 조절부(115)라고 한다.
또한, 제 1 퍼지 수단(110)에서 길이 방향 양단부에는 유입구(171, 176)가 형성되어 있어서, 하우징(101)에 구비된 기체 유입부(170, 175)로부터의 유입기체가 상기 유입구(171)를 통하여 구멍(111)을 통하여 토출된다.
본 발명의 제 1 퍼지 수단(110)은 길이 방향 양 단부에 유입구(171, 176)가 구비되어 있어서, 양 단부에서 기체의 유량이 적게 발생되지 않는다. 또한, 복수의 구멍(111)이 길이 방향을 따라서 밸런스 조절부(115)에 형성되며, 그에 따라서, 토출되는 기체는 복수의 구멍(111)을 통과하면서, 동일한 유량으로 공급될 수 있다.
즉, 복수의 구멍(111)을 통과하면서 토출되는 기체가 전체적으로 균일한 마찰을 받기 때문에 마찰로 인하여 유량의 밸런스가 어긋나지 않게 된다.
또, 복수의 구멍(111)은 직경(d)은 1~2㎜의 범위로 동일하게 형성되는 것이 바람직한데, 2㎜보다 큰 경우, 구멍(111) 내부에서도 유량 편차가 발생하여 전체적 유량 밸런스가 어긋나게 되며, 1㎜보다 작은 경우 구멍(111)으로 인한 마찰 손실이 커서 충분한 유량 공급이 곤란하다.
또한, 구멍(111) 사이 간격(l)은 0.5 ~ 1㎜ 사이인 것이 바람직하다. 구멍 사이의 간격(l)이 1㎜를 초과하는 경우 구멍 사이의 간격으로 인하여, 유량의 편차가 발생되어 유량 밸런스가 어긋난다. 또한, 구멍 사이의 간격(l)이 0.5㎜ 미만인 경우, 구멍(111) 형성이 곤란하다.
한편, 도 7b 에서는 본 발명의 에어 퍼지 장치의 퍼지 수단의 부분 단면도가 도시되어 있다. 도 7b 에서 보이듯이, 구멍(111)을 통하여 토출된 기체는 영역(116)으로 퍼져나가게 된다. 이와 같이 구멍(111)을 통하여 토출된 기체가 퍼져나감에 따라, 이웃한 구멍(111)을 통하여 중첩되는 영역(117)이 발생한다. 이 영역의 경우 이웃한 구멍(111)의 기체까지 존재하게 되므로, 다른 영역에 비하여 압력이 높을 수 있다.
특히, 구멍(111) 사이의 간격부(114)에 인접한 부분에서는 양측 구멍(111)에서부터의 기체가 퍼저나갈 때, 지나가지 않는 영역(118)이 발생하며, 이러한 여역에서는 상대적으로 압력이 낮아지게 되며, 심한 경우 상기 압력이 높은 영역(117)으로부터 압력이 낮은 영역(118)으로 백플로우(back flow)가 발생할 수 있다.
본 발명에서는 제 1 퍼지 수단(110)의 구멍(111)이 제 1 가이드(131)를 향하며, 제 1 가이드(131) 밑에 제 1 퍼지 수단(110) 있어, 구멍(111)으로 토출되는 기체는 제 1 가이드에 부딪히게 되며, 그에 따라서, 압력이 높은 영역(117)으로부터의 백플로우가 방지될 수 있다. 또한, 제 1 가이드(131)로 부딪힌 기체는 제 1 가이드(131)를 따라서, 개구(102)를 향할 수 있다.
이러한 구조는 제 2 퍼지 수단(120) 및 제 2 가이드(141)에도 동일하게 적용된다.
도 8 에는 에어 퍼지 장치(100)의 측단면도가 도시되어 있다. 기체 유입부(170, 175)로 유입된 기체는 제 1 퍼지 수단(110)의 유입구(171, 176) 및 제 2 퍼지 수단(120)의 유입구(172, 177)으로 유입된다.
각 유입구(171, 172, 176, 177)로 유입된 기체는 제 1 퍼지 수단(110)의 구멍(111) 및 제 2 퍼지 수단(120)의 구멍(121)을 통하여 토출된다. 또, 제 1 및 제 2 가이드(132, 134, 142, 144)가 길이 방향 양측단으로 토출되는 기체를 가이드한다.
도 8 에서 화살표로 도시한 바와 같이, 전체 영역에서 유량 밸런스가 상기 제 1 퍼지 수단(110)의 밸런스 조절부(115) 및 제 2 퍼지 수단(120)의 밸런스 조절부(125)에 의해서 맞춰지며, 그에 따라서, 본 발명의 에어 퍼지 장치(100)는 개구 전체 영역에서 고른 유량이 토출될 수 있어서, 오염물질의 작은 입자(5a)가 효과적으로 저지될 수 있다.
이상의 실시예에서는 카메라가 모재 상측에 조명이 모재 하측에서 에어 퍼지 장치에 수용되는 것으로 설명하였으나, 카메라가 모재 하측에 배치되고 조명이 모재 상측에 배치되는 것도 가능하다.
1: 카메라 2: 조명
100: 에어 퍼지 장치 110: 제 1 퍼지 수단
111: 구멍 115: 밸런스 조절부
120: 제 2 퍼지 수단 121: 구멍
131~134: 제 1 가이드 141~144: 제 2 가이드
150: 윈도우 160: 내부 공간
170, 175: 기체 유입부

Claims (10)

  1. 일측으로 형성된 개구를 포함하며 내부 공간이 마련된 하우징 및
    상기 개구를 통하여 내부로 물체가 유입되는 것을 방지하도록 상기 하우징 내부로 기체를 토출하도록 배치된 퍼지 수단을 포함하며,
    상기 퍼지 수단은 토출되는 기체의 유량 밸런스를 조절하는 밸런스 조절부를 포함하며,
    상기 밸런스 조정부는 하우징의 길이 방향을 따라서 배치된 복수의 구멍을 포함하며,
    상기 복수의 구멍은 균일 간격, 동일한 크기로 형성되며,
    상기 퍼지 수단은 상기 개구에 인접하여 배치되는 제 1 퍼지 수단과 상기 제 1 퍼지 수단보다 하우징 내부에 배치된 제 2 퍼지 수단을 포함하는 2단으로 구성되며,
    상기 제 1 및 제 2 퍼지 수단으로부터 토출되는 기체를 상기 개구로 가이드 하도록, 상기 제 1 및 제 2 퍼지 수단 상부에 배치되며, 상기 개구측으로 경사진 제 1 및 제 2 가이드 부재 더 포함하는 에어 퍼지 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 밸런스 조정부의 상기 구멍 직경은 1 ~ 2 ㎜, 구멍 사이의 간격은 0.5 ~ 1 ㎜ 사이인 것을 특징으로 하는 에어 퍼지 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 퍼지 수단은 상기 하우징의 길이 방향 양 단부에 구비된 기체 공급부를 통하여 유입된 기체를 토출하는 것을 특징으로 하는 에어 퍼지 장치.
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 퍼지 수단은 상기 제 1 및 제 2 가이드 부재 측으로 기체를 토출하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 에어 퍼지 장치.
  7. 모재의 상측 또는 하측에 배치되는 조명과 다른 측에 배치되는 카메라를 통하여 얻어진 영상으로 모재 결함을 검출하는 결함 검출기로서,
    상기 모재의 하측에 배치된 상기 조명 또는 상기 카메라는 제 1 항, 제 3 항, 제 4 항 및 제 6 항 중 어느 한 항에 따른 에어 퍼지 장치의 개구를 향하도록 수용되는 결함 검출기.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 모재의 상측에는 카메라가 배치되며, 상기 모재의 하측에 배치되는 상기 에어 퍼지 장치 내부에는 조명이 수용되고,
    상기 카메라와 상기 조명은 서로에 대향하여 배치되며,
    상기 에어 퍼지 장치의 하우징은 중력 방향에 대하여 경사지게 배치된 것을 특징으로 하는 결함 검출기.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 모재는 일방향으로 이동되는 스트립이며,
    상기 에어 퍼지 장치의 하우징은 상기 모재의 이동방향으로 경사져 있는 것을 특징으로 하는 결함 검출기.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 조명은 상기 모재의 가장자리면에 대응되는 위치에 배치되어, 상기 모재의 에지 크랙을 검출하는 것을 특징으로 하는 결함 검출기.
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