JP3564115B2 - ガス供給ユニット - Google Patents
ガス供給ユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP3564115B2 JP3564115B2 JP2002170788A JP2002170788A JP3564115B2 JP 3564115 B2 JP3564115 B2 JP 3564115B2 JP 2002170788 A JP2002170788 A JP 2002170788A JP 2002170788 A JP2002170788 A JP 2002170788A JP 3564115 B2 JP3564115 B2 JP 3564115B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- flow path
- path block
- gas supply
- supply unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/24—Particle separators, e.g. dust precipitators, using rigid hollow filter bodies
- B01D46/2403—Particle separators, e.g. dust precipitators, using rigid hollow filter bodies characterised by the physical shape or structure of the filtering element
- B01D46/2411—Filter cartridges
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/10—Particle separators, e.g. dust precipitators, using filter plates, sheets or pads having plane surfaces
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/877—With flow control means for branched passages
- Y10T137/87885—Sectional block structure
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造工程で使用されるプロセスガスなどの供給を行うためのガス供給ユニットに関し、特に軽量化したコンパクトなガス供給ユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造のウェハ処理工程には、ホトレジスト加工(ホトレジスト塗布、露光、現像、エッチング)のエッチング等にガスが使用され、数種類の中から特定のプロセスガスをチャンバへ供給するためのガス供給回路が構成されている。ガス供給回路は、ガスの種類に従ってガス供給ラインが構成され、各ガスをマスフローコントローラ等の流体制御機器を介してチャンバへと送り込むようにしている。また、ガスは腐食性、毒性があるため、窒素ガス等のパージガスを使用してガスの置換を行い、更にはガスの排気処理を行うため、そのガス供給ラインにはパージガス供給ラインやベントラインが組み合わされている。
【0003】
従って、ガス供給ラインは、プロセスガスやパージガスの流れ或いは排気を制御するため、図17に示すように複数の弁やマスフローコントローラ等の流体機器が必要であり、これらガス供給ラインを構成する流体制御機器101〜108は、設置面積のコンパクト化や流路長さの短縮などの観点から全体取付のユニット化が図られている。そうしたガス供給ユニット100は、ガス供給ラインを構成する流体制御機器101〜108が一つのベース部材110上に一列に並べられ、ベース部材110上に固定される流路ブロック121〜129を介して取り付けられている。流路ブロック121〜129には、122に断面図で示すように、V字型の流路が形成されている。
【0004】
ここで、流体制御機器のうち、フィルタ102は、他の流体制御機器と同様に、流路ブロック121,122の上面に取り付けられていた。この取付方法については、例えば、特開平11−165012号公報にも開示されている。そのフィルタが図17のガス供給ユニットに取り付けられた場合を図18に示す。ベース部材110上に流路ブロック121〜129が取り付けられ、流路ブロック121〜129の上面に流体制御機器101〜108が取り付けられる。特に、フィルタ102は、平面状フィルタ102aとして、フィルタ室102bに配置され、フィルタ102の片側が流路102cを介して流路ブロック121のV字形流路121aと連通している。また、フィルタ102の他の側が流路102dを介して流路ブロック122のV字形流路122aと連通している。
【0005】
流路ブロック121〜129の形状を図19及び図20に示す。いずれの流路ブロックも共通化されているので、図では、番号として121を用いている。図19が、上から見た平面図であり、図20は、AA断面図である。2つの貫通穴131は、流路ブロック121をボルトによりベース部材110に固定するためのものである。この貫通穴131には、ボルトの頭を収納する座ぐり穴131aが形成されている。4つのネジ穴132は、流体制御機器をボルトにより取り付けるためのものである。V字形流路121aの開口部133bには、シールガスケットを収納するためのガスケット収納部133aが形成されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、こうした従来のガス供給ユニット100の場合、次のような問題があった。
すなわち、ガス供給ユニットなどは、チャンバへの配管が長くなってしまうと特性の変わりやすいプロセスガスを長い距離にわたって引き回すことになるので、チャンバ近傍に設置することが望まれている。そのため、ガス供給ユニット100を単に水平に設置するだけでなく、チャンバの炉体に立て掛けるようにして取り付けることが行われたりしている。ところが、従来のガス供給ユニット100の場合、搭載する流体制御機器101〜108の数が多いため、ガス供給ユニット100自体の重量が重く、また寸法も長いものとなってしまっていた。
ガス供給ユニットは、複数列隣り合わせて使用されるのが一般的で有り、そのときに占有スペースが大きくなり、チャンバの近傍に設置することができないという問題がある。また、その重く大きなガス供給ユニット100では、数個のユニットを組み合わせて行う取り付けるときに作業の困難さがあった。
【0007】
そこで本発明は、コンパクトで軽量で、チャンバの近傍に設置可能なガス供給ユニットを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明のガス供給ユニットは、次のような構成を有することを特徴としている。
(1)ベース部材と、2以上の流体制御機器と、該流体制御機器同士を連通させるために該ベース部材の上面かつ該流体制御機器の下面に取り付けられる流路ブロックとを有するガス供給ユニットであって、複数ある流路ブロックの一つが、入力ポートと出力ポートと、入力ポートと前記出力ポートとの間に形成された気密なフィルタ室と、フィルタ室に内蔵されたフィルタとを有する。
【0009】
(2)(1)に記載のガス供給ユニットにおいて、前記フィルタ内蔵の流路ブロックは、前記ベース部材側に開口が形成されたフィルタ室に、金属フィルタが入れられ、その金属フィルタがフィルタ室を気密に閉じる上面開口の器型のフィルタ押えによって位置決めされ、
前記フィルタ押えの側壁を貫いて入力ポートと連通する入口流路が形成され、金属フィルタ上方に出力ポートと連通する出力流路が形成されていることを特徴とする。
(3)(1)又は(2)に記載のガス供給ユニットにおいて、前記フィルタ内蔵の流路ブロックは、前記フィルタが立体形状をしたもの、又は前記フィルタが傾斜して取り付けられたものであることを特徴とする。
【0010】
(4)(1)に記載のガス供給ユニットにおいて、前記フィルタ内蔵の流路ブロックは、挿入側先端を囲んだ筒形状のフィルタを、側面からあけられたフィルタ室内に横方向に挿入して位置決めしたものであって、当該フィルタの内側と外側とに連通する入出力ポートがそれぞれ形成されたものであることを特徴とする。
【0011】
本発明のガス供給ユニットは、以上の構成を有することにより、次のように作用する。ガス供給ユニットを構成する流路ブロックの上面に取り付けられる流体制御機器からフィルタをなくすことができ、それだけユニットの長さを短くコンパクトにすることができた。そしてコンパクト化したことによって重量を減らすことで、軽量化を図ることができた。
ここで、流路ブロックにフィルタを内蔵させるときに、隣り合う流路ブロック間の空間に対して流路ブロックを延設させ延設部を形成し、その延設部にフィルタ室を形成しているので、今まで無駄な空間であった箇所にフィルタ室を形成できるため、全体の大きさ、特にガス供給ユニットの全長を短くすることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に係るガス供給ユニットの一実施形態について、図面を参照しながら説明する。図1は、ガス供給ユニットを示した側面図である。
このガス供給ユニット10は、上流側から各々が流体制御機器である手動弁1、レギュレータ2、圧力トランスデューサ3、遮断弁4、マスフローコントローラ5、パージ弁6、及び逆止弁7の各モジュールの順に並べられ、それぞれベース部材20上に組み付けられたものである。そして各モジュール1〜7は、従来例のガス供給ユニット100と同様に流路ブロック11〜17を介して接続されている。ここで、ベース部材としては、ベースプレート、またはレールを用いる。
【0013】
本実施形態のガス供給ユニット10と従来例のガス供給ユニット100(図17)との相違は、ガス供給ユニット10を構成するモジュールからはフィルタ102が排除されている点にある。フィルタ102は、供給されたガス内の混入不純物を除去するためガス供給ラインを構成する上で必須の構成ではあるが、本実施形態ではそれを手動弁1やレギュレータ2などのようにモジュール化するのではなく、新たにフィルタ機能を内蔵した流路ブロック11を用いることによって代替させることとした。
【0014】
図17に示す従来のガス供給ユニット100では、手動弁101を通ったガスはフィルタ102で不純物が除去され、流路ブロック122を通ってレギュレータ103以下、各モジュールを順次流れていく。このとき、各モジュール101〜108を連結させるのが流路ブロック121〜129であるが、流路ブロック121〜129は、隣り合う各モジュール101〜108の出力ポートと入力ポートとを連結させるためにV字の流路が形成されたものに過ぎなかった。しかし本実施形態では、各モジュールを接続する流路ブロック11〜17のうち、手動弁1とレギュレータ2とを接続する流路ブロック11については、フィルタ機能を内蔵させたものを新たに提案し、採用することとした。なお、その他の流路ブロック12〜17は、従来のものと同様にV字の流路が形成されたものである。
【0015】
図2は、フィルタ内蔵の流路ブロック11を示した断面図である。図8に、フィルタ室を備える流路ブロック11の上から見た平面図を示す。図2は、図8のAA断面図である。
このフィルタ内蔵の流路ブロック11は、上面に手動弁1及びレギュレータ2の各出力ポート及び入力ポートに接続可能なポート31,32が形成され、各ポート31,32はフィルタ室33を介してつながっている。このフィルタ室33は流路ブロック11の底面側からあけられた円形の穴であり、その天井側に金属フィルタ34がはめ込まれ、金属フィルタ34は、フィルタ室33を塞ぐように下から入れられたフィルタ押え35によって押さえ付けられて位置決めされている。
【0016】
フィルタ押え35は、フィルタ室33の形状に合わせて形成された器型の部材であり、円筒形状の側壁がフィルタ室33の内壁面に沿って気密はめ込まれる。フィルタ押え35は、フィルタ室33からのガス漏れを防止するためにも、底面側に見えるフィルタ押え35と流路ブロック11の円周状の隙間部分が溶接によって塞がれ、その溶接によってフィルタ押え35が流路ブロック11に一体に固定される。また、入力ポート31からつながる入力側流路36がフィルタ室33の内壁面に開口部を有しているため、フィルタ押え35には、円筒形状の側壁に入力側流路36とつながる貫通孔37が形成されている。そのためフィルタ押え35を挿入する場合には、はめ込み位置に注意する必要がある。
【0017】
流路ブロック11は、従来の流路ブロックと比較して、図の右側方向、すなわち、図1の隣接する流路ブロック12の方向に延設部21が形成されている。この延設部21が図1に示すように、流路ブロック12との空間に丁度配置されている。フィルタ室33は、延設部21に形成されている。フィルタ室33を流路ブロック11の延設部21に形成することにより、図1に示すように、従来無駄となっていた流路ブロック12との間の空間を利用しているので、余分な空間を使うことなく、ガス供給ユニットをコンパクト化することができる。
図8において、2つの貫通穴23は、流路ブロック11をボルトによりベース部材20に固定するためのものである。この貫通穴23には、ボルトの頭を収納する座ぐり穴23aが形成されている。4つのネジ穴22は、流体制御機器であるモジュールをボルトにより取り付けるためのものである。ポート31,32には、シールガスケットを収納するためのガスケット収納部31a,32aが形成されている。
【0018】
ガス供給ユニット10は、図1に示すように手動弁1、レギュレータ2及びその他のモジュール3〜7が、フィルタ内蔵の流路ブロック11及び通常の流路ブロック12〜17で接続され、一つの流路上に配管されて一連のガス供給ラインが構成されている。そして、このガス供給ユニット10の入力ポート8側がガス供給源に、出力ポート9側がチャンバに配管されている。こうしたガス供給ユニット10は、ガスの種類に従って数個のユニットが並べられ、それぞれが配管されてガス供給回路が構成される。
【0019】
そこで、ガス供給回路を構成する一つのガス供給ユニット10におけるガスの流れを見てみる。入力ポート8から入ったガスは、手動弁1からレギュレータ2に送られる間にフィルタ内蔵の流路ブロック11でガス内の混入不純物が除去される。混入不純物が除去されたガスはレギュレータ2によって圧力調整されて二次側へと送られるが、その際ガス圧が圧力トランスデューサ3によって監視される。そして、遮断弁4を通ってマスフローコントローラ5へと流れて所定流量に絞られ、設定圧力及び設定流量に調整されたガスは、ガス供給弁6及び逆止弁7をを通って出力ポート9からチャンバへと送られる。
【0020】
更に、本実施形態の特徴をなす流路ブロック11について詳しく見てみると、手動弁1から出たガスはポート31から入って入力側流路36を流れ、貫通孔37からフィルタ押え35内に入る。その際、入力側流路36からフィルタ押え35内に入ったガスは流速を落として混入不純物が滞留するとともに金属フィルタ34によって除去される。そして、混入不純物が除去されたガスは出力ポート32からレギュレータ2へと送られる。
【0021】
よって、本実施形態のガス供給ユニット10によれば、構成するモジュールのなかからフィルタをなくし、フィルタ内蔵の流路ブロック11を構成して置き換えたので、それだけユニットの長さを短くコンパクトにすることができた。具体的には、全長が430mmの従来のガス供給ユニット100に対して、本実施形態のガス供給ユニット10は390mmになった。また、こうしてコンパクト化したことによって重量を減らすことができ、軽量化を図ることができた。そのため、従来のガス供給ユニット100に比べて、数個のユニットを組み合わせる取り付け作業の困難さや、設置スペースの制限された場所への設置の困難さが緩和された。
【0022】
ところで、各モジュールを小型化して同じ構造のガス供給ユニットを構成しようとした場合には、フィルタ内蔵の流路ブロックは、そのフィルタ構造部分の寸法が小さくなってしまい、その分流路面積が小さくなってガスが流れにくくなってしまう。そこで以下、流量を十分にとることができるフィルタ内蔵の流路ブロックについて説明する。
【0023】
図3乃至図6は、それぞれフィルタ内蔵の流路ブロックを示した断面図である。なお、各図面の共通部分については同符号を付して説明する。ここに示した流路ブロック50,60,70,80は、いずれもフィルタ部分でより大きな流路面積が確保できるように構成されたものであり、そのうちの流路ブロック50,60,70は、金属フィルタ51,61,71が立体的に形成され、流路ブロック80においては、金属フィルタ81が傾斜を付けて配置されたものである。
【0024】
これは金属フィルタの面積を増やすため、図3乃至図5に示すように金属フィルタ51,61,71を立体形状にして、上下面の他に側面からもガスが通って流れるようになっている。一方、図6に示す金属フィルタ81は、前記実施形態(図2参照)と同様平らなものを使用しているが、枠体82に傾斜させて取り付けるようにしているので、それ自身の面積が大きくなっている。従って、こうした金属フィルタ51,61,71,81を縦方向に配置させるため、フィルタ室41が前記実施形態(図2)に比べるとブロックに対して深めに形成されている。そして、そのフィルタ室41には金属フィルタ51,61,71,81がはめ込まれ、下から入れられたフィルタ押え42によって押さえ付けられるとともに、そのフィルタ押え42によってフィルタ室41内が気密に塞がれる。
【0025】
よって、こうした流路ブロック50,60,70,80によれば、前記実施形態と同様にガス供給ユニットを構成するモジュールのなかからフィルタをなくし、ユニットの長さを短くコンパクトにすることができ、それに加えて小型の集積ユニットを構成した場合にでも、フィルタ部分の流路を小さくすることなく十分な流量を確保することができる。
【0026】
続いて、流量を確保するためのフィルタ内蔵の流路ブロックについて、図7に示す別例を説明する。図7は、フィルタ内蔵の流路ブロックを示した断面図である。これは、前述したものとは異なり、流路ブロック90の側方からあけられたフィルタ室92内に金属フィルタ91を横から挿入するようにしたものである。この金属フィルタ91は、円筒の一端を囲んだ形状をしたものであり、反対の開放端に固定された環状板93をフィルタ室92をはめ込んで、図示するように位置決められている。そして、フィルタ室92の開口が蓋94によって閉じられ、ポート95,96間に金属フィルタ91を配置した流路ブロック90が構成されている。
【0027】
図9に、図7の流路ブロックの90の上から見た平面図を示す。
流路ブロック90は、従来の流路ブロックと比較して、図の右側方向、すなわち、図1の隣接する流路ブロック12の方向に延設部21が形成されている。この延設部21が図1に示すように、流路ブロック12との空間に丁度配置されている。フィルタ室92は、延設部21に形成されている。フィルタ室92を流路ブロック90の延設部21に形成することにより、図1に示すように、従来無駄となっていた流路ブロック12との間の空間を利用しているので、余分な空間を使うことなく、ガス供給ユニットをコンパクト化することができる。
図9において、2つの貫通穴23は、流路ブロック11をボルトによりベース部材20に固定するためのものである。この貫通穴23には、ボルトの頭を収納する座ぐり穴23aが形成されている。4つのネジ穴22は、流体制御機器であるモジュールをボルトにより取り付けるためのものである。ポート95,96には、シールガスケットを収納するためのガスケット収納部95a,96aが形成されている。
【0028】
よって、こうした流路ブロック90によれば、前記実施形態と同様にガス供給ユニットを構成するモジュールのなかからフィルタをなくし、ユニットの長さを短くコンパクトにすることができ、それに加えて小型の集積ユニットを構成した場合にでも、フィルタ部分の流路を小さくすることなく十分な流量を確保することができる。
【0029】
本発明の別の実施の形態を図10〜12に示す。図10は、ガス供給ユニットの全体図であり、図11は、流路ブロックの平面図、図12は流路ブロックの断面図である。本実施の形態の特徴は、フィルタ室を手動弁1の上流側に配置したことである。すなわち、流路ブロック18を新たに設け、流路ブロック18の左端には入力ポート8が固設されている。
フィルタ内蔵の流路ブロック18は、上面に手動弁1の入力ポートに接続可能なポート18bが形成され、入口ポート8とポート18bとは、フィルタ室33を介してつながっている。フィルタ室33は流路ブロック18の底面側からあけられた円形の穴であり、その天井側に金属フィルタ34がはめ込まれ、金属フィルタ34は、フィルタ室33を塞ぐように下から入れられたフィルタ押え35によって押さえ付けられて位置決めされている。
【0030】
フィルタ押え35は、フィルタ室33の形状に合わせて形成された器型の部材であり、円筒形状の側壁がフィルタ室33の内壁面に沿って気密はめ込まれる。フィルタ押え35は、フィルタ室33からのガス漏れを防止するためにも、底面側に見えるフィルタ押え35と流路ブロック11の円周状の隙間部分が溶接によって塞がれ、その溶接によってフィルタ押え35が流路ブロック18に一体に固定される。
【0031】
また、手動弁11の上流に図7に示すタイプのフィルタを配置した場合の平面図を図13に、断面図を図14に示す。配置場所以外の内容は、図7と同じなので詳細な説明を省略する。
また、図15に図7のフィルタの形状違いの実施の形態を示す。図16にその断面図を示す。この実施の形態では、フィルタ25の形状が中空円筒の一端が閉じられた形状となっている。そして、中空の開口部からガスが入り、中空円筒の外側からガスが出る形式である。中空の開口部の端面には、ガスケット26が挟まれている。フィルタ25と流路ブロック24との隙間からのガス漏れを防止するためである。
【0032】
なお、本発明は、前記実施形態に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、前記実施形態では、フィルタ内蔵の流路ブロック11を手動弁1とレギュレータ2との間に設けたが、それ以外の位置に設置するようにしてもよい。
【0033】
【発明の効果】
本発明のガス供給ユニットは、ベース部材と、2以上の流体制御機器と、該流体制御機器同士を連通させるために該ベース部材の上面かつ該流体制御機器の下面に取り付けられる流路ブロックとを有するガス供給ユニットであって、複数ある流路ブロックの一つが、入力ポートと出力ポートと、入力ポートと前記出力ポートとの間に形成された気密なフィルタ室と、フィルタ室に内蔵されたフィルタとを有するので、ガス供給ユニットの長さを短くでき、コンパクトで軽量なガス供給ユニットを提供することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】ガス供給ユニットの一実施形態を示した全体側面図である。
【図2】フィルタ内蔵の流路ブロックを示した断面図である。
【図3】立体的なフィルタを内蔵した流路ブロックを示した断面図である。
【図4】立体的なフィルタを内蔵した流路ブロックを示した断面図である。
【図5】立体的なフィルタを内蔵した流路ブロックを示した断面図である。
【図6】フィルタを傾斜させて内蔵した流路ブロックを示した断面図である。
【図7】フィルタを横向きに内蔵した流路ブロックを示した断面図である。
【図8】フィルタ内蔵の流路ブロック11の平面図である。
【図9】フィルタ内蔵の流路ブロック90の平面図である。
【図10】ガス供給ユニットの別の実施の形態を示した全体図である。
【図11】フィルタ内蔵の流路ブロック18の平面図である。
【図12】フィルタ内蔵の流路ブロック18の断面図である。
【図13】フィルタ内蔵の流路ブロック19の平面図である。
【図14】フィルタ内蔵の流路ブロック19の断面図である。
【図15】フィルタ内蔵の流路ブロック24の平面図である。
【図16】フィルタ内蔵の流路ブロック24の断面図である。
【図17】従来のガス供給ユニットの1例を示した断面図である。
【図18】従来のガス供給ユニットの別の例を示した断面図である。
【図19】従来の流路ブロックの平面図である。
【図20】従来の流路ブロックの断面図である。
【符号の説明】
1 手動弁
2 レギュレータ
3 圧力トランスデューサ
4 遮断弁
5 マスフローコントローラ
6 パージ弁
7 逆止弁
10 ガス供給ユニット
11,18,19,24,50,60,70,80,90 フィルタ内蔵流路ブロック
20 ベース部材
31 入力ポート
32 出力ポート
33 フィルタ室
34,92 金属フィルタ
35 フィルタ押え
Claims (10)
- ベース部材と、2以上の流体制御機器と、該流体制御機器同士を連通させるために該ベース部材の上面かつ該流体制御機器の下面に取り付けられる流路ブロックとを有するガス供給ユニットにおいて、
複数ある前記流路ブロックの一つが、入力ポートと出力ポートと、前記入力ポートと前記出力ポートとの間に形成された気密なフィルタ室と、前記フィルタ室に内蔵されたフィルタとを有することを特徴とするガス供給ユニット。 - 請求項1に記載のガス供給ユニットにおいて、
前記フィルタ内蔵の流路ブロックは、前記ベース部材側に開口が形成されたフィルタ室に、金属フィルタが入れられ、その金属フィルタがフィルタ室を気密に閉じる上面開口の器型のフィルタ押えによって位置決めされ、
前記フィルタ押えの側壁を貫いて入力ポートと連通する入口流路が形成され、
金属フィルタ上方に出力ポートと連通する出力流路が形成されていることを特徴とするガス供給ユニット。 - 請求項1又は請求項2に記載のガス供給ユニットにおいて、
前記フィルタ内蔵の流路ブロックは、前記フィルタが立体形状をしたもの、又は前記フィルタが傾斜して取り付けられたものであることを特徴とするガス供給ユニット。 - 請求項1に記載のガス供給ユニットにおいて、
前記フィルタ内蔵の流路ブロックは、挿入側先端を囲んだ筒形状のフィルタを、側面からあけられたフィルタ室内に横方向に挿入して位置決めしたものであって、当該フィルタの内側と外側とに連通する入出力ポートがそれぞれ形成されたものであることを特徴とするガス供給ユニット。 - 直方体ブロック形状で、下面がベース部材に接して取り付けられ、上面に流体制御機器が取り付けられる流路ブロックにおいて、
前記上面に、入力ポート、出力ポート、前記流路ブロックを前記ベース部材に連結するボルトを通すための貫通孔、前記流体制御機器を前記流路ブロックに連結するためのボルトがねじ止めされるねじ孔とが形成され、
前記入力ポートと前記出力ポートとの間に形成された気密なフィルタ室と、前記フィルタ室に内蔵されたフィルタとを有することを特徴とする流路ブロック。 - 請求項5に記載の流路ブロックにおいて、
前記下面に開口が形成されたフィルタ室に、金属フィルタが入れられ、その金属フィルタがフィルタ室を気密に閉じる上面開口の器型のフィルタ押えによって位置決めされ、
前記フィルタ押えの側壁を貫いて入力ポートと連通する入口流路が形成され、
金属フィルタ上方に出力ポートと連通する出力流路が形成されていることを特徴とする流路ブロック。 - 請求項5または請求項6に記載の流路ブロックにおいて、
前記ねじ孔が、前記入力ポートを中心とする点対称の位置に2箇所と、前記出力ポートを中心とする点対称の位置に2箇所形成されていることを特徴とする流路ブロック。 - 直方体ブロック形状で、下面がベース部材に接して取り付けられ、上面に流体制御機器が取り付けられる流路ブロックにおいて、
前記直方体ブロックの一側面に第1ポートが形成され、
前記上面に、第2ポート、前記流路ブロックを前記ベース部材に連結するボルトを通すための貫通孔、前記流体制御機器を前記流路ブロックに連結するためのボルトがねじ止めされるねじ孔とが形成され、
前記第1ポートと前記第2ポートとの間に形成された気密なフィルタ室と、前記フィルタ室に内蔵されたフィルタとを有することを特徴とする流路ブロック。 - 請求項8に記載の流路ブロックにおいて、
前記下面に開口が形成されたフィルタ室に、金属フィルタが入れられ、その金属フィルタがフィルタ室を気密に閉じる上面開口の器型のフィルタ押えによって位置決めされ、
前記フィルタ押えの側壁を貫いて第1ポートと連通する第1流路が形成され、
金属フィルタ上方に第2ポートと連通する第2流路が形成されていることを特徴とする流路ブロック。 - 請求項8または請求項9に記載の流路ブロックにおいて、
前記ねじ孔が、前記第2ポートを中心とする点対称の位置に2箇所形成されていることを特徴とする流路ブロック。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002170788A JP3564115B2 (ja) | 2001-12-06 | 2002-06-12 | ガス供給ユニット |
US10/305,962 US6886599B2 (en) | 2001-12-06 | 2002-11-29 | Gas supply unit |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001-372206 | 2001-12-06 | ||
JP2001372206 | 2001-12-06 | ||
JP2002170788A JP3564115B2 (ja) | 2001-12-06 | 2002-06-12 | ガス供給ユニット |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004042222A Division JP2004247740A (ja) | 2001-12-06 | 2004-02-19 | ガス供給ユニット |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003234261A JP2003234261A (ja) | 2003-08-22 |
JP3564115B2 true JP3564115B2 (ja) | 2004-09-08 |
JP2003234261A5 JP2003234261A5 (ja) | 2005-02-10 |
Family
ID=26624898
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002170788A Expired - Fee Related JP3564115B2 (ja) | 2001-12-06 | 2002-06-12 | ガス供給ユニット |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6886599B2 (ja) |
JP (1) | JP3564115B2 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002093053A1 (en) | 2001-05-16 | 2002-11-21 | Unit Instruments, Inc. | Fluid flow system |
EP1543544A2 (en) * | 2002-08-27 | 2005-06-22 | Celerity Group, Inc. | Modular substrate gas panel having manifold connections in a common plane |
JP2006083959A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Fujikin Inc | センサ付き継手部材 |
US7410519B1 (en) | 2005-08-16 | 2008-08-12 | Ewald Dieter H | Sandwich filter block |
US7575616B2 (en) * | 2006-02-10 | 2009-08-18 | Entegris, Inc. | Low-profile surface mount filter |
JP4221425B2 (ja) * | 2006-08-11 | 2009-02-12 | シーケーディ株式会社 | パージガスユニット及びパージガス供給集積ユニット |
WO2008024683A1 (en) * | 2006-08-25 | 2008-02-28 | Pall Corporation | Fluid assemblies comprising a purification element |
JP5630731B2 (ja) * | 2006-08-25 | 2014-11-26 | ポール・コーポレーションPallCorporation | 浄化アセンブリ及び浄化アセンブリの組立方法 |
JP5001757B2 (ja) * | 2007-08-31 | 2012-08-15 | シーケーディ株式会社 | 流体混合システム及び流体混合装置 |
US8307854B1 (en) | 2009-05-14 | 2012-11-13 | Vistadeltek, Inc. | Fluid delivery substrates for building removable standard fluid delivery sticks |
SG176152A1 (en) * | 2009-06-10 | 2011-12-29 | Vistadeltek Llc | Extreme flow rate and/or high temperature fluid delivery substrates |
US8950433B2 (en) | 2011-05-02 | 2015-02-10 | Advantage Group International Inc. | Manifold system for gas and fluid delivery |
SG11201808182UA (en) * | 2016-04-07 | 2018-10-30 | Entegris Inc | Gas filter |
CN106439324B (zh) * | 2016-09-22 | 2018-05-22 | 浙江省海洋水产研究所 | 一种气瓶连接装置 |
US20190001242A1 (en) * | 2017-06-30 | 2019-01-03 | Mott Corporation | Filter with non-horizontal cavity |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5605179A (en) * | 1995-03-17 | 1997-02-25 | Insync Systems, Inc. | Integrated gas panel |
JP3657756B2 (ja) | 1997-12-01 | 2005-06-08 | 日本精線株式会社 | フィルター装置 |
US6123340A (en) * | 1998-01-09 | 2000-09-26 | Swagelok Company | Modular flow devices |
US6149718A (en) * | 1998-10-16 | 2000-11-21 | Mott Mettallurgical Corporation | Contamination control system |
WO2000031462A1 (en) * | 1998-11-20 | 2000-06-02 | Mykrolis Corporation | System and method for integrating gas components |
US6283143B1 (en) * | 2000-03-31 | 2001-09-04 | Lam Research Corporation | System and method for providing an integrated gas stick |
-
2002
- 2002-06-12 JP JP2002170788A patent/JP3564115B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-11-29 US US10/305,962 patent/US6886599B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20030106597A1 (en) | 2003-06-12 |
JP2003234261A (ja) | 2003-08-22 |
US6886599B2 (en) | 2005-05-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3564115B2 (ja) | ガス供給ユニット | |
US5819782A (en) | Gas supply unit | |
JP4092164B2 (ja) | ガス供給ユニット | |
US6868867B2 (en) | Fluid control apparatus | |
US6302141B1 (en) | Building blocks for integrated gas panel | |
US6039360A (en) | Couplings for fluid controllers | |
JP4780555B2 (ja) | 流体制御装置 | |
EP0806573B1 (en) | Fluid control device | |
KR100622954B1 (ko) | 유체제어장치 | |
US6109303A (en) | Process gas supply unit | |
US8104516B2 (en) | Gas supply unit and gas supply system | |
US7410519B1 (en) | Sandwich filter block | |
KR20080111443A (ko) | 유체 기기 유닛 구조 | |
JP2922453B2 (ja) | ガス供給集積ユニット | |
JP3871438B2 (ja) | プロセスガス供給ユニット | |
KR20000070053A (ko) | 2부품형 매니폴드 | |
US20090308474A1 (en) | Fluidic device unit structure | |
JP2006234110A (ja) | ガス供給ユニット及びガス供給システム | |
JP2009138837A (ja) | 容器用ブロックバルブ | |
JP2004247740A (ja) | ガス供給ユニット | |
JPH11351500A (ja) | 集積形流体制御装置 | |
JP4718037B2 (ja) | パージ用気体分配装置 | |
KR102403907B1 (ko) | 유체 제어 장치 및 반도체 제조 장치 | |
CN212356533U (zh) | 分子筛模块 | |
JP2000320697A (ja) | ガス供給制御ライン用弁 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040203 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040304 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20040304 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040601 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040604 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080611 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090611 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090611 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100611 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110611 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120611 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120611 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130611 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130611 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140611 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |