JP2003234261A - ガス供給ユニット - Google Patents
ガス供給ユニットInfo
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/24—Particle separators, e.g. dust precipitators, using rigid hollow filter bodies
- B01D46/2403—Particle separators, e.g. dust precipitators, using rigid hollow filter bodies characterised by the physical shape or structure of the filtering element
- B01D46/2411—Filter cartridges
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/10—Particle separators, e.g. dust precipitators, using filter plates, sheets or pads having plane surfaces
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/877—With flow control means for branched passages
- Y10T137/87885—Sectional block structure
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- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Pipeline Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 コンパクトで軽量なガス供給ユニットを提供
すること。 【解決手段】 ベース部材２０と、２以上の流体制御機
器と、該流体制御機器同士を連通させるためにベース部
材２０の上面かつ該流体制御機器の下面に取り付けられ
る流路ブロック１１を有するガス供給ユニットであっ
て、複数ある流路ブロックの一つが、入力ポート３１と
出力ポート３２と、入力ポート３１と出力ポート３２と
の間に形成された気密なフィルタ室３３と、フィルタ室
３３に内蔵されたフィルタ３４とを有する。
すること。 【解決手段】 ベース部材２０と、２以上の流体制御機
器と、該流体制御機器同士を連通させるためにベース部
材２０の上面かつ該流体制御機器の下面に取り付けられ
る流路ブロック１１を有するガス供給ユニットであっ
て、複数ある流路ブロックの一つが、入力ポート３１と
出力ポート３２と、入力ポート３１と出力ポート３２と
の間に形成された気密なフィルタ室３３と、フィルタ室
３３に内蔵されたフィルタ３４とを有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程で
使用されるプロセスガスなどの供給を行うためのガス供
給ユニットに関し、特に軽量化したコンパクトなガス供
給ユニットに関する。
使用されるプロセスガスなどの供給を行うためのガス供
給ユニットに関し、特に軽量化したコンパクトなガス供
給ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造のウェハ処理工程には、ホト
レジスト加工（ホトレジスト塗布、露光、現像、エッチ
ング）のエッチング等にガスが使用され、数種類の中か
ら特定のプロセスガスをチャンバへ供給するためのガス
供給回路が構成されている。ガス供給回路は、ガスの種
類に従ってガス供給ラインが構成され、各ガスをマスフ
ローコントローラ等の流体制御機器を介してチャンバへ
と送り込むようにしている。また、ガスは腐食性、毒性
があるため、窒素ガス等のパージガスを使用してガスの
置換を行い、更にはガスの排気処理を行うため、そのガ
ス供給ラインにはパージガス供給ラインやベントライン
が組み合わされている。
レジスト加工（ホトレジスト塗布、露光、現像、エッチ
ング）のエッチング等にガスが使用され、数種類の中か
ら特定のプロセスガスをチャンバへ供給するためのガス
供給回路が構成されている。ガス供給回路は、ガスの種
類に従ってガス供給ラインが構成され、各ガスをマスフ
ローコントローラ等の流体制御機器を介してチャンバへ
と送り込むようにしている。また、ガスは腐食性、毒性
があるため、窒素ガス等のパージガスを使用してガスの
置換を行い、更にはガスの排気処理を行うため、そのガ
ス供給ラインにはパージガス供給ラインやベントライン
が組み合わされている。
【０００３】従って、ガス供給ラインは、プロセスガス
やパージガスの流れ或いは排気を制御するため、図１７
に示すように複数の弁やマスフローコントローラ等の流
体機器が必要であり、これらガス供給ラインを構成する
流体制御機器１０１〜１０８は、設置面積のコンパクト
化や流路長さの短縮などの観点から全体取付のユニット
化が図られている。そうしたガス供給ユニット１００
は、ガス供給ラインを構成する流体制御機器１０１〜１
０８が一つのベース部材１１０上に一列に並べられ、ベ
ース部材１１０上に固定される流路ブロック１２１〜１
２９を介して取り付けられている。流路ブロック１２１
〜１２９には、１２２に断面図で示すように、Ｖ字型の
流路が形成されている。
やパージガスの流れ或いは排気を制御するため、図１７
に示すように複数の弁やマスフローコントローラ等の流
体機器が必要であり、これらガス供給ラインを構成する
流体制御機器１０１〜１０８は、設置面積のコンパクト
化や流路長さの短縮などの観点から全体取付のユニット
化が図られている。そうしたガス供給ユニット１００
は、ガス供給ラインを構成する流体制御機器１０１〜１
０８が一つのベース部材１１０上に一列に並べられ、ベ
ース部材１１０上に固定される流路ブロック１２１〜１
２９を介して取り付けられている。流路ブロック１２１
〜１２９には、１２２に断面図で示すように、Ｖ字型の
流路が形成されている。
【０００４】ここで、流体制御機器のうち、フィルタ１
０２は、他の流体制御機器と同様に、流路ブロック１２
１，１２２の上面に取り付けられていた。この取付方法
については、例えば、特開平１１−１６５０１２号公報
にも開示されている。そのフィルタが図１７のガス供給
ユニットに取り付けられた場合を図１８に示す。ベース
部材１１０上に流路ブロック１２１〜１２９が取り付け
られ、流路ブロック１２１〜１２９の上面に流体制御機
器１０１〜１０８が取り付けられる。特に、フィルタ１
０２は、平面状フィルタ１０２ａとして、フィルタ室１
０２ｂに配置され、フィルタ１０２の片側が流路１０２
ｃを介して流路ブロック１２１のＶ字形流路１２１ａと
連通している。また、フィルタ１０２の他の側が流路１
０２ｄを介して流路ブロック１２２のＶ字形流路１２２
ａと連通している。
０２は、他の流体制御機器と同様に、流路ブロック１２
１，１２２の上面に取り付けられていた。この取付方法
については、例えば、特開平１１−１６５０１２号公報
にも開示されている。そのフィルタが図１７のガス供給
ユニットに取り付けられた場合を図１８に示す。ベース
部材１１０上に流路ブロック１２１〜１２９が取り付け
られ、流路ブロック１２１〜１２９の上面に流体制御機
器１０１〜１０８が取り付けられる。特に、フィルタ１
０２は、平面状フィルタ１０２ａとして、フィルタ室１
０２ｂに配置され、フィルタ１０２の片側が流路１０２
ｃを介して流路ブロック１２１のＶ字形流路１２１ａと
連通している。また、フィルタ１０２の他の側が流路１
０２ｄを介して流路ブロック１２２のＶ字形流路１２２
ａと連通している。
【０００５】流路ブロック１２１〜１２９の形状を図１
９及び図２０に示す。いずれの流路ブロックも共通化さ
れているので、図では、番号として１２１を用いてい
る。図１９が、上から見た平面図であり、図２０は、Ａ
Ａ断面図である。２つの貫通穴１３１は、流路ブロック
１２１をボルトによりベース部材１１０に固定するため
のものである。この貫通穴１３１には、ボルトの頭を収
納する座ぐり穴１３１ａが形成されている。４つのネジ
穴１３２は、流体制御機器をボルトにより取り付けるた
めのものである。Ｖ字形流路１２１ａの開口部１３３ｂ
には、シールガスケットを収納するためのガスケット収
納部１３３ａが形成されている。
９及び図２０に示す。いずれの流路ブロックも共通化さ
れているので、図では、番号として１２１を用いてい
る。図１９が、上から見た平面図であり、図２０は、Ａ
Ａ断面図である。２つの貫通穴１３１は、流路ブロック
１２１をボルトによりベース部材１１０に固定するため
のものである。この貫通穴１３１には、ボルトの頭を収
納する座ぐり穴１３１ａが形成されている。４つのネジ
穴１３２は、流体制御機器をボルトにより取り付けるた
めのものである。Ｖ字形流路１２１ａの開口部１３３ｂ
には、シールガスケットを収納するためのガスケット収
納部１３３ａが形成されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、こうし
た従来のガス供給ユニット１００の場合、次のような問
題があった。すなわち、ガス供給ユニットなどは、チャ
ンバへの配管が長くなってしまうと特性の変わりやすい
プロセスガスを長い距離にわたって引き回すことになる
ので、チャンバ近傍に設置することが望まれている。そ
のため、ガス供給ユニット１００を単に水平に設置する
だけでなく、チャンバの炉体に立て掛けるようにして取
り付けることが行われたりしている。ところが、従来の
ガス供給ユニット１００の場合、搭載する流体制御機器
１０１〜１０８の数が多いため、ガス供給ユニット１０
０自体の重量が重く、また寸法も長いものとなってしま
っていた。ガス供給ユニットは、複数列隣り合わせて使
用されるのが一般的で有り、そのときに占有スペースが
大きくなり、チャンバの近傍に設置することができない
という問題がある。また、その重く大きなガス供給ユニ
ット１００では、数個のユニットを組み合わせて行う取
り付けるときに作業の困難さがあった。
た従来のガス供給ユニット１００の場合、次のような問
題があった。すなわち、ガス供給ユニットなどは、チャ
ンバへの配管が長くなってしまうと特性の変わりやすい
プロセスガスを長い距離にわたって引き回すことになる
ので、チャンバ近傍に設置することが望まれている。そ
のため、ガス供給ユニット１００を単に水平に設置する
だけでなく、チャンバの炉体に立て掛けるようにして取
り付けることが行われたりしている。ところが、従来の
ガス供給ユニット１００の場合、搭載する流体制御機器
１０１〜１０８の数が多いため、ガス供給ユニット１０
０自体の重量が重く、また寸法も長いものとなってしま
っていた。ガス供給ユニットは、複数列隣り合わせて使
用されるのが一般的で有り、そのときに占有スペースが
大きくなり、チャンバの近傍に設置することができない
という問題がある。また、その重く大きなガス供給ユニ
ット１００では、数個のユニットを組み合わせて行う取
り付けるときに作業の困難さがあった。
【０００７】そこで本発明は、コンパクトで軽量で、チ
ャンバの近傍に設置可能なガス供給ユニットを提供する
ことを目的とする。
ャンバの近傍に設置可能なガス供給ユニットを提供する
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のガス供給ユニッ
トは、次のような構成を有することを特徴としている。 （１）ベース部材と、２以上の流体制御機器と、該流体
制御機器同士を連通させるために該ベース部材の上面か
つ該流体制御機器の下面に取り付けられる流路ブロック
とを有するガス供給ユニットであって、複数ある流路ブ
ロックの一つが、入力ポートと出力ポートと、入力ポー
トと前記出力ポートとの間に形成された気密なフィルタ
室と、フィルタ室に内蔵されたフィルタとを有する。
トは、次のような構成を有することを特徴としている。 （１）ベース部材と、２以上の流体制御機器と、該流体
制御機器同士を連通させるために該ベース部材の上面か
つ該流体制御機器の下面に取り付けられる流路ブロック
とを有するガス供給ユニットであって、複数ある流路ブ
ロックの一つが、入力ポートと出力ポートと、入力ポー
トと前記出力ポートとの間に形成された気密なフィルタ
室と、フィルタ室に内蔵されたフィルタとを有する。
【０００９】（２）（１）に記載のガス供給ユニットに
おいて、前記フィルタ内蔵の流路ブロックは、前記ベー
ス部材側に開口が形成されたフィルタ室に、金属フィル
タが入れられ、その金属フィルタがフィルタ室を気密に
閉じる上面開口の器型のフィルタ押えによって位置決め
され、前記フィルタ押えの側壁を貫いて入力ポートと連
通する入口流路が形成され、金属フィルタ上方に出力ポ
ートと連通する出力流路が形成されていることを特徴と
する。 （３）（１）又は（２）に記載のガス供給ユニットにお
いて、前記フィルタ内蔵の流路ブロックは、前記フィル
タが立体形状をしたもの、又は前記フィルタが傾斜して
取り付けられたものであることを特徴とする。
おいて、前記フィルタ内蔵の流路ブロックは、前記ベー
ス部材側に開口が形成されたフィルタ室に、金属フィル
タが入れられ、その金属フィルタがフィルタ室を気密に
閉じる上面開口の器型のフィルタ押えによって位置決め
され、前記フィルタ押えの側壁を貫いて入力ポートと連
通する入口流路が形成され、金属フィルタ上方に出力ポ
ートと連通する出力流路が形成されていることを特徴と
する。 （３）（１）又は（２）に記載のガス供給ユニットにお
いて、前記フィルタ内蔵の流路ブロックは、前記フィル
タが立体形状をしたもの、又は前記フィルタが傾斜して
取り付けられたものであることを特徴とする。
【００１０】（４）（１）に記載のガス供給ユニットに
おいて、前記フィルタ内蔵の流路ブロックは、挿入側先
端を囲んだ筒形状のフィルタを、側面からあけられたフ
ィルタ室内に横方向に挿入して位置決めしたものであっ
て、当該フィルタの内側と外側とに連通する入出力ポー
トがそれぞれ形成されたものであることを特徴とする。
おいて、前記フィルタ内蔵の流路ブロックは、挿入側先
端を囲んだ筒形状のフィルタを、側面からあけられたフ
ィルタ室内に横方向に挿入して位置決めしたものであっ
て、当該フィルタの内側と外側とに連通する入出力ポー
トがそれぞれ形成されたものであることを特徴とする。
【００１１】本発明のガス供給ユニットは、以上の構成
を有することにより、次のように作用する。ガス供給ユ
ニットを構成する流路ブロックの上面に取り付けられる
流体制御機器からフィルタをなくすことができ、それだ
けユニットの長さを短くコンパクトにすることができ
た。そしてコンパクト化したことによって重量を減らす
ことで、軽量化を図ることができた。ここで、流路ブロ
ックにフィルタを内蔵させるときに、隣り合う流路ブロ
ック間の空間に対して流路ブロックを延設させ延設部を
形成し、その延設部にフィルタ室を形成しているので、
今まで無駄な空間であった箇所にフィルタ室を形成でき
るため、全体の大きさ、特にガス供給ユニットの全長を
短くすることができる。
を有することにより、次のように作用する。ガス供給ユ
ニットを構成する流路ブロックの上面に取り付けられる
流体制御機器からフィルタをなくすことができ、それだ
けユニットの長さを短くコンパクトにすることができ
た。そしてコンパクト化したことによって重量を減らす
ことで、軽量化を図ることができた。ここで、流路ブロ
ックにフィルタを内蔵させるときに、隣り合う流路ブロ
ック間の空間に対して流路ブロックを延設させ延設部を
形成し、その延設部にフィルタ室を形成しているので、
今まで無駄な空間であった箇所にフィルタ室を形成でき
るため、全体の大きさ、特にガス供給ユニットの全長を
短くすることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】次に、本発明に係るガス供給ユニ
ットの一実施形態について、図面を参照しながら説明す
る。図１は、ガス供給ユニットを示した側面図である。
このガス供給ユニット１０は、上流側から各々が流体制
御機器である手動弁１、レギュレータ２、圧力トランス
デューサ３、遮断弁４、マスフローコントローラ５、パ
ージ弁６、及び逆止弁７の各モジュールの順に並べら
れ、それぞれベース部材２０上に組み付けられたもので
ある。そして各モジュール１〜７は、従来例のガス供給
ユニット１００と同様に流路ブロック１１〜１７を介し
て接続されている。ここで、ベース部材としては、ベー
スプレート、またはレールを用いる。
ットの一実施形態について、図面を参照しながら説明す
る。図１は、ガス供給ユニットを示した側面図である。
このガス供給ユニット１０は、上流側から各々が流体制
御機器である手動弁１、レギュレータ２、圧力トランス
デューサ３、遮断弁４、マスフローコントローラ５、パ
ージ弁６、及び逆止弁７の各モジュールの順に並べら
れ、それぞれベース部材２０上に組み付けられたもので
ある。そして各モジュール１〜７は、従来例のガス供給
ユニット１００と同様に流路ブロック１１〜１７を介し
て接続されている。ここで、ベース部材としては、ベー
スプレート、またはレールを用いる。
【００１３】本実施形態のガス供給ユニット１０と従来
例のガス供給ユニット１００（図１７）との相違は、ガ
ス供給ユニット１０を構成するモジュールからはフィル
タ１０２が排除されている点にある。フィルタ１０２
は、供給されたガス内の混入不純物を除去するためガス
供給ラインを構成する上で必須の構成ではあるが、本実
施形態ではそれを手動弁１やレギュレータ２などのよう
にモジュール化するのではなく、新たにフィルタ機能を
内蔵した流路ブロック１１を用いることによって代替さ
せることとした。
例のガス供給ユニット１００（図１７）との相違は、ガ
ス供給ユニット１０を構成するモジュールからはフィル
タ１０２が排除されている点にある。フィルタ１０２
は、供給されたガス内の混入不純物を除去するためガス
供給ラインを構成する上で必須の構成ではあるが、本実
施形態ではそれを手動弁１やレギュレータ２などのよう
にモジュール化するのではなく、新たにフィルタ機能を
内蔵した流路ブロック１１を用いることによって代替さ
せることとした。
【００１４】図１７に示す従来のガス供給ユニット１０
０では、手動弁１０１を通ったガスはフィルタ１０２で
不純物が除去され、流路ブロック１２２を通ってレギュ
レータ１０３以下、各モジュールを順次流れていく。こ
のとき、各モジュール１０１〜１０８を連結させるのが
流路ブロック１２１〜１２９であるが、流路ブロック１
２１〜１２９は、隣り合う各モジュール１０１〜１０８
の出力ポートと入力ポートとを連結させるためにＶ字の
流路が形成されたものに過ぎなかった。しかし本実施形
態では、各モジュールを接続する流路ブロック１１〜１
７のうち、手動弁１とレギュレータ２とを接続する流路
ブロック１１については、フィルタ機能を内蔵させたも
のを新たに提案し、採用することとした。なお、その他
の流路ブロック１２〜１７は、従来のものと同様にＶ字
の流路が形成されたものである。
０では、手動弁１０１を通ったガスはフィルタ１０２で
不純物が除去され、流路ブロック１２２を通ってレギュ
レータ１０３以下、各モジュールを順次流れていく。こ
のとき、各モジュール１０１〜１０８を連結させるのが
流路ブロック１２１〜１２９であるが、流路ブロック１
２１〜１２９は、隣り合う各モジュール１０１〜１０８
の出力ポートと入力ポートとを連結させるためにＶ字の
流路が形成されたものに過ぎなかった。しかし本実施形
態では、各モジュールを接続する流路ブロック１１〜１
７のうち、手動弁１とレギュレータ２とを接続する流路
ブロック１１については、フィルタ機能を内蔵させたも
のを新たに提案し、採用することとした。なお、その他
の流路ブロック１２〜１７は、従来のものと同様にＶ字
の流路が形成されたものである。
【００１５】図２は、フィルタ内蔵の流路ブロック１１
を示した断面図である。図８に、フィルタ室を備える流
路ブロック１１の上から見た平面図を示す。図２は、図
８のＡＡ断面図である。このフィルタ内蔵の流路ブロッ
ク１１は、上面に手動弁１及びレギュレータ２の各出力
ポート及び入力ポートに接続可能なポート３１，３２が
形成され、各ポート３１，３２はフィルタ室３３を介し
てつながっている。このフィルタ室３３は流路ブロック
１１の底面側からあけられた円形の穴であり、その天井
側に金属フィルタ３４がはめ込まれ、金属フィルタ３４
は、フィルタ室３３を塞ぐように下から入れられたフィ
ルタ押え３５によって押さえ付けられて位置決めされて
いる。
を示した断面図である。図８に、フィルタ室を備える流
路ブロック１１の上から見た平面図を示す。図２は、図
８のＡＡ断面図である。このフィルタ内蔵の流路ブロッ
ク１１は、上面に手動弁１及びレギュレータ２の各出力
ポート及び入力ポートに接続可能なポート３１，３２が
形成され、各ポート３１，３２はフィルタ室３３を介し
てつながっている。このフィルタ室３３は流路ブロック
１１の底面側からあけられた円形の穴であり、その天井
側に金属フィルタ３４がはめ込まれ、金属フィルタ３４
は、フィルタ室３３を塞ぐように下から入れられたフィ
ルタ押え３５によって押さえ付けられて位置決めされて
いる。
【００１６】フィルタ押え３５は、フィルタ室３３の形
状に合わせて形成された器型の部材であり、円筒形状の
側壁がフィルタ室３３の内壁面に沿って気密はめ込まれ
る。フィルタ押え３５は、フィルタ室３３からのガス漏
れを防止するためにも、底面側に見えるフィルタ押え３
５と流路ブロック１１の円周状の隙間部分が溶接によっ
て塞がれ、その溶接によってフィルタ押え３５が流路ブ
ロック１１に一体に固定される。また、入力ポート３１
からつながる入力側流路３６がフィルタ室３３の内壁面
に開口部を有しているため、フィルタ押え３５には、円
筒形状の側壁に入力側流路３６とつながる貫通孔３７が
形成されている。そのためフィルタ押え３５を挿入する
場合には、はめ込み位置に注意する必要がある。
状に合わせて形成された器型の部材であり、円筒形状の
側壁がフィルタ室３３の内壁面に沿って気密はめ込まれ
る。フィルタ押え３５は、フィルタ室３３からのガス漏
れを防止するためにも、底面側に見えるフィルタ押え３
５と流路ブロック１１の円周状の隙間部分が溶接によっ
て塞がれ、その溶接によってフィルタ押え３５が流路ブ
ロック１１に一体に固定される。また、入力ポート３１
からつながる入力側流路３６がフィルタ室３３の内壁面
に開口部を有しているため、フィルタ押え３５には、円
筒形状の側壁に入力側流路３６とつながる貫通孔３７が
形成されている。そのためフィルタ押え３５を挿入する
場合には、はめ込み位置に注意する必要がある。
【００１７】流路ブロック１１は、従来の流路ブロック
と比較して、図の右側方向、すなわち、図１の隣接する
流路ブロック１２の方向に延設部２１が形成されてい
る。この延設部２１が図１に示すように、流路ブロック
１２との空間に丁度配置されている。フィルタ室３３
は、延設部２１に形成されている。フィルタ室３３を流
路ブロック１１の延設部２１に形成することにより、図
１に示すように、従来無駄となっていた流路ブロック１
２との間の空間を利用しているので、余分な空間を使う
ことなく、ガス供給ユニットをコンパクト化することが
できる。図８において、２つの貫通穴２３は、流路ブロ
ック１１をボルトによりベース部材２０に固定するため
のものである。この貫通穴２３には、ボルトの頭を収納
する座ぐり穴２３ａが形成されている。４つのネジ穴２
２は、流体制御機器であるモジュールをボルトにより取
り付けるためのものである。ポート３１，３２には、シ
ールガスケットを収納するためのガスケット収納部３１
ａ，３２ａが形成されている。
と比較して、図の右側方向、すなわち、図１の隣接する
流路ブロック１２の方向に延設部２１が形成されてい
る。この延設部２１が図１に示すように、流路ブロック
１２との空間に丁度配置されている。フィルタ室３３
は、延設部２１に形成されている。フィルタ室３３を流
路ブロック１１の延設部２１に形成することにより、図
１に示すように、従来無駄となっていた流路ブロック１
２との間の空間を利用しているので、余分な空間を使う
ことなく、ガス供給ユニットをコンパクト化することが
できる。図８において、２つの貫通穴２３は、流路ブロ
ック１１をボルトによりベース部材２０に固定するため
のものである。この貫通穴２３には、ボルトの頭を収納
する座ぐり穴２３ａが形成されている。４つのネジ穴２
２は、流体制御機器であるモジュールをボルトにより取
り付けるためのものである。ポート３１，３２には、シ
ールガスケットを収納するためのガスケット収納部３１
ａ，３２ａが形成されている。
【００１８】ガス供給ユニット１０は、図１に示すよう
に手動弁１、レギュレータ２及びその他のモジュール３
〜７が、フィルタ内蔵の流路ブロック１１及び通常の流
路ブロック１２〜１７で接続され、一つの流路上に配管
されて一連のガス供給ラインが構成されている。そし
て、このガス供給ユニット１０の入力ポート８側がガス
供給源に、出力ポート９側がチャンバに配管されてい
る。こうしたガス供給ユニット１０は、ガスの種類に従
って数個のユニットが並べられ、それぞれが配管されて
ガス供給回路が構成される。
に手動弁１、レギュレータ２及びその他のモジュール３
〜７が、フィルタ内蔵の流路ブロック１１及び通常の流
路ブロック１２〜１７で接続され、一つの流路上に配管
されて一連のガス供給ラインが構成されている。そし
て、このガス供給ユニット１０の入力ポート８側がガス
供給源に、出力ポート９側がチャンバに配管されてい
る。こうしたガス供給ユニット１０は、ガスの種類に従
って数個のユニットが並べられ、それぞれが配管されて
ガス供給回路が構成される。
【００１９】そこで、ガス供給回路を構成する一つのガ
ス供給ユニット１０におけるガスの流れを見てみる。入
力ポート８から入ったガスは、手動弁１からレギュレー
タ２に送られる間にフィルタ内蔵の流路ブロック１１で
ガス内の混入不純物が除去される。混入不純物が除去さ
れたガスはレギュレータ２によって圧力調整されて二次
側へと送られるが、その際ガス圧が圧力トランスデュー
サ３によって監視される。そして、遮断弁４を通ってマ
スフローコントローラ５へと流れて所定流量に絞られ、
設定圧力及び設定流量に調整されたガスは、ガス供給弁
６及び逆止弁７をを通って出力ポート９からチャンバへ
と送られる。
ス供給ユニット１０におけるガスの流れを見てみる。入
力ポート８から入ったガスは、手動弁１からレギュレー
タ２に送られる間にフィルタ内蔵の流路ブロック１１で
ガス内の混入不純物が除去される。混入不純物が除去さ
れたガスはレギュレータ２によって圧力調整されて二次
側へと送られるが、その際ガス圧が圧力トランスデュー
サ３によって監視される。そして、遮断弁４を通ってマ
スフローコントローラ５へと流れて所定流量に絞られ、
設定圧力及び設定流量に調整されたガスは、ガス供給弁
６及び逆止弁７をを通って出力ポート９からチャンバへ
と送られる。
【００２０】更に、本実施形態の特徴をなす流路ブロッ
ク１１について詳しく見てみると、手動弁１から出たガ
スはポート３１から入って入力側流路３６を流れ、貫通
孔３７からフィルタ押え３５内に入る。その際、入力側
流路３６からフィルタ押え３５内に入ったガスは流速を
落として混入不純物が滞留するとともに金属フィルタ３
４によって除去される。そして、混入不純物が除去され
たガスは出力ポート３２からレギュレータ２へと送られ
る。
ク１１について詳しく見てみると、手動弁１から出たガ
スはポート３１から入って入力側流路３６を流れ、貫通
孔３７からフィルタ押え３５内に入る。その際、入力側
流路３６からフィルタ押え３５内に入ったガスは流速を
落として混入不純物が滞留するとともに金属フィルタ３
４によって除去される。そして、混入不純物が除去され
たガスは出力ポート３２からレギュレータ２へと送られ
る。
【００２１】よって、本実施形態のガス供給ユニット１
０によれば、構成するモジュールのなかからフィルタを
なくし、フィルタ内蔵の流路ブロック１１を構成して置
き換えたので、それだけユニットの長さを短くコンパク
トにすることができた。具体的には、全長が４３０ｍｍ
の従来のガス供給ユニット１００に対して、本実施形態
のガス供給ユニット１０は３９０ｍｍになった。また、
こうしてコンパクト化したことによって重量を減らすこ
とができ、軽量化を図ることができた。そのため、従来
のガス供給ユニット１００に比べて、数個のユニットを
組み合わせる取り付け作業の困難さや、設置スペースの
制限された場所への設置の困難さが緩和された。
０によれば、構成するモジュールのなかからフィルタを
なくし、フィルタ内蔵の流路ブロック１１を構成して置
き換えたので、それだけユニットの長さを短くコンパク
トにすることができた。具体的には、全長が４３０ｍｍ
の従来のガス供給ユニット１００に対して、本実施形態
のガス供給ユニット１０は３９０ｍｍになった。また、
こうしてコンパクト化したことによって重量を減らすこ
とができ、軽量化を図ることができた。そのため、従来
のガス供給ユニット１００に比べて、数個のユニットを
組み合わせる取り付け作業の困難さや、設置スペースの
制限された場所への設置の困難さが緩和された。
【００２２】ところで、各モジュールを小型化して同じ
構造のガス供給ユニットを構成しようとした場合には、
フィルタ内蔵の流路ブロックは、そのフィルタ構造部分
の寸法が小さくなってしまい、その分流路面積が小さく
なってガスが流れにくくなってしまう。そこで以下、流
量を十分にとることができるフィルタ内蔵の流路ブロッ
クについて説明する。
構造のガス供給ユニットを構成しようとした場合には、
フィルタ内蔵の流路ブロックは、そのフィルタ構造部分
の寸法が小さくなってしまい、その分流路面積が小さく
なってガスが流れにくくなってしまう。そこで以下、流
量を十分にとることができるフィルタ内蔵の流路ブロッ
クについて説明する。
【００２３】図３乃至図６は、それぞれフィルタ内蔵の
流路ブロックを示した断面図である。なお、各図面の共
通部分については同符号を付して説明する。ここに示し
た流路ブロック５０，６０，７０，８０は、いずれもフ
ィルタ部分でより大きな流路面積が確保できるように構
成されたものであり、そのうちの流路ブロック５０，６
０，７０は、金属フィルタ５１，６１，７１が立体的に
形成され、流路ブロック８０においては、金属フィルタ
８１が傾斜を付けて配置されたものである。
流路ブロックを示した断面図である。なお、各図面の共
通部分については同符号を付して説明する。ここに示し
た流路ブロック５０，６０，７０，８０は、いずれもフ
ィルタ部分でより大きな流路面積が確保できるように構
成されたものであり、そのうちの流路ブロック５０，６
０，７０は、金属フィルタ５１，６１，７１が立体的に
形成され、流路ブロック８０においては、金属フィルタ
８１が傾斜を付けて配置されたものである。
【００２４】これは金属フィルタの面積を増やすため、
図３乃至図５に示すように金属フィルタ５１，６１，７
１を立体形状にして、上下面の他に側面からもガスが通
って流れるようになっている。一方、図６に示す金属フ
ィルタ８１は、前記実施形態（図２参照）と同様平らな
ものを使用しているが、枠体８２に傾斜させて取り付け
るようにしているので、それ自身の面積が大きくなって
いる。従って、こうした金属フィルタ５１，６１，７
１，８１を縦方向に配置させるため、フィルタ室４１が
前記実施形態（図２）に比べるとブロックに対して深め
に形成されている。そして、そのフィルタ室４１には金
属フィルタ５１，６１，７１，８１がはめ込まれ、下か
ら入れられたフィルタ押え４２によって押さえ付けられ
るとともに、そのフィルタ押え４２によってフィルタ室
４１内が気密に塞がれる。
図３乃至図５に示すように金属フィルタ５１，６１，７
１を立体形状にして、上下面の他に側面からもガスが通
って流れるようになっている。一方、図６に示す金属フ
ィルタ８１は、前記実施形態（図２参照）と同様平らな
ものを使用しているが、枠体８２に傾斜させて取り付け
るようにしているので、それ自身の面積が大きくなって
いる。従って、こうした金属フィルタ５１，６１，７
１，８１を縦方向に配置させるため、フィルタ室４１が
前記実施形態（図２）に比べるとブロックに対して深め
に形成されている。そして、そのフィルタ室４１には金
属フィルタ５１，６１，７１，８１がはめ込まれ、下か
ら入れられたフィルタ押え４２によって押さえ付けられ
るとともに、そのフィルタ押え４２によってフィルタ室
４１内が気密に塞がれる。
【００２５】よって、こうした流路ブロック５０，６
０，７０，８０によれば、前記実施形態と同様にガス供
給ユニットを構成するモジュールのなかからフィルタを
なくし、ユニットの長さを短くコンパクトにすることが
でき、それに加えて小型の集積ユニットを構成した場合
にでも、フィルタ部分の流路を小さくすることなく十分
な流量を確保することができる。
０，７０，８０によれば、前記実施形態と同様にガス供
給ユニットを構成するモジュールのなかからフィルタを
なくし、ユニットの長さを短くコンパクトにすることが
でき、それに加えて小型の集積ユニットを構成した場合
にでも、フィルタ部分の流路を小さくすることなく十分
な流量を確保することができる。
【００２６】続いて、流量を確保するためのフィルタ内
蔵の流路ブロックについて、図７に示す別例を説明す
る。図７は、フィルタ内蔵の流路ブロックを示した断面
図である。これは、前述したものとは異なり、流路ブロ
ック９０の側方からあけられたフィルタ室９２内に金属
フィルタ９１を横から挿入するようにしたものである。
この金属フィルタ９１は、円筒の一端を囲んだ形状をし
たものであり、反対の開放端に固定された環状板９３を
フィルタ室９２をはめ込んで、図示するように位置決め
られている。そして、フィルタ室９２の開口が蓋９４に
よって閉じられ、ポート９５，９６間に金属フィルタ９
１を配置した流路ブロック９０が構成されている。
蔵の流路ブロックについて、図７に示す別例を説明す
る。図７は、フィルタ内蔵の流路ブロックを示した断面
図である。これは、前述したものとは異なり、流路ブロ
ック９０の側方からあけられたフィルタ室９２内に金属
フィルタ９１を横から挿入するようにしたものである。
この金属フィルタ９１は、円筒の一端を囲んだ形状をし
たものであり、反対の開放端に固定された環状板９３を
フィルタ室９２をはめ込んで、図示するように位置決め
られている。そして、フィルタ室９２の開口が蓋９４に
よって閉じられ、ポート９５，９６間に金属フィルタ９
１を配置した流路ブロック９０が構成されている。
【００２７】図９に、図７の流路ブロックの９０の上か
ら見た平面図を示す。流路ブロック９０は、従来の流路
ブロックと比較して、図の右側方向、すなわち、図１の
隣接する流路ブロック１２の方向に延設部２１が形成さ
れている。この延設部２１が図１に示すように、流路ブ
ロック１２との空間に丁度配置されている。フィルタ室
９２は、延設部２１に形成されている。フィルタ室９２
を流路ブロック９０の延設部２１に形成することによ
り、図１に示すように、従来無駄となっていた流路ブロ
ック１２との間の空間を利用しているので、余分な空間
を使うことなく、ガス供給ユニットをコンパクト化する
ことができる。図９において、２つの貫通穴２３は、流
路ブロック１１をボルトによりベース部材２０に固定す
るためのものである。この貫通穴２３には、ボルトの頭
を収納する座ぐり穴２３ａが形成されている。４つのネ
ジ穴２２は、流体制御機器であるモジュールをボルトに
より取り付けるためのものである。ポート９５，９６に
は、シールガスケットを収納するためのガスケット収納
部９５ａ，９６ａが形成されている。
ら見た平面図を示す。流路ブロック９０は、従来の流路
ブロックと比較して、図の右側方向、すなわち、図１の
隣接する流路ブロック１２の方向に延設部２１が形成さ
れている。この延設部２１が図１に示すように、流路ブ
ロック１２との空間に丁度配置されている。フィルタ室
９２は、延設部２１に形成されている。フィルタ室９２
を流路ブロック９０の延設部２１に形成することによ
り、図１に示すように、従来無駄となっていた流路ブロ
ック１２との間の空間を利用しているので、余分な空間
を使うことなく、ガス供給ユニットをコンパクト化する
ことができる。図９において、２つの貫通穴２３は、流
路ブロック１１をボルトによりベース部材２０に固定す
るためのものである。この貫通穴２３には、ボルトの頭
を収納する座ぐり穴２３ａが形成されている。４つのネ
ジ穴２２は、流体制御機器であるモジュールをボルトに
より取り付けるためのものである。ポート９５，９６に
は、シールガスケットを収納するためのガスケット収納
部９５ａ，９６ａが形成されている。
【００２８】よって、こうした流路ブロック９０によれ
ば、前記実施形態と同様にガス供給ユニットを構成する
モジュールのなかからフィルタをなくし、ユニットの長
さを短くコンパクトにすることができ、それに加えて小
型の集積ユニットを構成した場合にでも、フィルタ部分
の流路を小さくすることなく十分な流量を確保すること
ができる。
ば、前記実施形態と同様にガス供給ユニットを構成する
モジュールのなかからフィルタをなくし、ユニットの長
さを短くコンパクトにすることができ、それに加えて小
型の集積ユニットを構成した場合にでも、フィルタ部分
の流路を小さくすることなく十分な流量を確保すること
ができる。
【００２９】本発明の別の実施の形態を図１０〜１２に
示す。図１０は、ガス供給ユニットの全体図であり、図
１１は、流路ブロックの平面図、図１２は流路ブロック
の断面図である。本実施の形態の特徴は、フィルタ室を
手動弁１の上流側に配置したことである。すなわち、流
路ブロック１８を新たに設け、流路ブロック１８の左端
には入力ポート８が固設されている。フィルタ内蔵の流
路ブロック１８は、上面に手動弁１の入力ポートに接続
可能なポート１８ｂが形成され、入口ポート８とポート
１８ｂとは、フィルタ室３３を介してつながっている。
フィルタ室３３は流路ブロック１８の底面側からあけら
れた円形の穴であり、その天井側に金属フィルタ３４が
はめ込まれ、金属フィルタ３４は、フィルタ室３３を塞
ぐように下から入れられたフィルタ押え３５によって押
さえ付けられて位置決めされている。
示す。図１０は、ガス供給ユニットの全体図であり、図
１１は、流路ブロックの平面図、図１２は流路ブロック
の断面図である。本実施の形態の特徴は、フィルタ室を
手動弁１の上流側に配置したことである。すなわち、流
路ブロック１８を新たに設け、流路ブロック１８の左端
には入力ポート８が固設されている。フィルタ内蔵の流
路ブロック１８は、上面に手動弁１の入力ポートに接続
可能なポート１８ｂが形成され、入口ポート８とポート
１８ｂとは、フィルタ室３３を介してつながっている。
フィルタ室３３は流路ブロック１８の底面側からあけら
れた円形の穴であり、その天井側に金属フィルタ３４が
はめ込まれ、金属フィルタ３４は、フィルタ室３３を塞
ぐように下から入れられたフィルタ押え３５によって押
さえ付けられて位置決めされている。
【００３０】フィルタ押え３５は、フィルタ室３３の形
状に合わせて形成された器型の部材であり、円筒形状の
側壁がフィルタ室３３の内壁面に沿って気密はめ込まれ
る。フィルタ押え３５は、フィルタ室３３からのガス漏
れを防止するためにも、底面側に見えるフィルタ押え３
５と流路ブロック１１の円周状の隙間部分が溶接によっ
て塞がれ、その溶接によってフィルタ押え３５が流路ブ
ロック１８に一体に固定される。
状に合わせて形成された器型の部材であり、円筒形状の
側壁がフィルタ室３３の内壁面に沿って気密はめ込まれ
る。フィルタ押え３５は、フィルタ室３３からのガス漏
れを防止するためにも、底面側に見えるフィルタ押え３
５と流路ブロック１１の円周状の隙間部分が溶接によっ
て塞がれ、その溶接によってフィルタ押え３５が流路ブ
ロック１８に一体に固定される。
【００３１】また、手動弁１１の上流に図７に示すタイ
プのフィルタを配置した場合の平面図を図１３に、断面
図を図１４に示す。配置場所以外の内容は、図７と同じ
なので詳細な説明を省略する。また、図１５に図７のフ
ィルタの形状違いの実施の形態を示す。図１６にその断
面図を示す。この実施の形態では、フィルタ２５の形状
が中空円筒の一端が閉じられた形状となっている。そし
て、中空の開口部からガスが入り、中空円筒の外側から
ガスが出る形式である。中空の開口部の端面には、ガス
ケット２６が挟まれている。フィルタ２５と流路ブロッ
ク２４との隙間からのガス漏れを防止するためである。
プのフィルタを配置した場合の平面図を図１３に、断面
図を図１４に示す。配置場所以外の内容は、図７と同じ
なので詳細な説明を省略する。また、図１５に図７のフ
ィルタの形状違いの実施の形態を示す。図１６にその断
面図を示す。この実施の形態では、フィルタ２５の形状
が中空円筒の一端が閉じられた形状となっている。そし
て、中空の開口部からガスが入り、中空円筒の外側から
ガスが出る形式である。中空の開口部の端面には、ガス
ケット２６が挟まれている。フィルタ２５と流路ブロッ
ク２４との隙間からのガス漏れを防止するためである。
【００３２】なお、本発明は、前記実施形態に限定され
ることなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が
可能である。例えば、前記実施形態では、フィルタ内蔵
の流路ブロック１１を手動弁１とレギュレータ２との間
に設けたが、それ以外の位置に設置するようにしてもよ
い。
ることなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が
可能である。例えば、前記実施形態では、フィルタ内蔵
の流路ブロック１１を手動弁１とレギュレータ２との間
に設けたが、それ以外の位置に設置するようにしてもよ
い。
【００３３】
【発明の効果】本発明のガス供給ユニットは、ベース部
材と、２以上の流体制御機器と、該流体制御機器同士を
連通させるために該ベース部材の上面かつ該流体制御機
器の下面に取り付けられる流路ブロックとを有するガス
供給ユニットであって、複数ある流路ブロックの一つ
が、入力ポートと出力ポートと、入力ポートと前記出力
ポートとの間に形成された気密なフィルタ室と、フィル
タ室に内蔵されたフィルタとを有するので、ガス供給ユ
ニットの長さを短くでき、コンパクトで軽量なガス供給
ユニットを提供することが可能となった。
材と、２以上の流体制御機器と、該流体制御機器同士を
連通させるために該ベース部材の上面かつ該流体制御機
器の下面に取り付けられる流路ブロックとを有するガス
供給ユニットであって、複数ある流路ブロックの一つ
が、入力ポートと出力ポートと、入力ポートと前記出力
ポートとの間に形成された気密なフィルタ室と、フィル
タ室に内蔵されたフィルタとを有するので、ガス供給ユ
ニットの長さを短くでき、コンパクトで軽量なガス供給
ユニットを提供することが可能となった。
【図１】ガス供給ユニットの一実施形態を示した全体側
面図である。
面図である。
【図２】フィルタ内蔵の流路ブロックを示した断面図で
ある。
ある。
【図３】立体的なフィルタを内蔵した流路ブロックを示
した断面図である。
した断面図である。
【図４】立体的なフィルタを内蔵した流路ブロックを示
した断面図である。
した断面図である。
【図５】立体的なフィルタを内蔵した流路ブロックを示
した断面図である。
した断面図である。
【図６】フィルタを傾斜させて内蔵した流路ブロックを
示した断面図である。
示した断面図である。
【図７】フィルタを横向きに内蔵した流路ブロックを示
した断面図である。
した断面図である。
【図８】フィルタ内蔵の流路ブロック１１の平面図であ
る。
る。
【図９】フィルタ内蔵の流路ブロック９０の平面図であ
る。
る。
【図１０】ガス供給ユニットの別の実施の形態を示した
全体図である。
全体図である。
【図１１】フィルタ内蔵の流路ブロック１８の平面図で
ある。
ある。
【図１２】フィルタ内蔵の流路ブロック１８の断面図で
ある。
ある。
【図１３】フィルタ内蔵の流路ブロック１９の平面図で
ある。
ある。
【図１４】フィルタ内蔵の流路ブロック１９の断面図で
ある。
ある。
【図１５】フィルタ内蔵の流路ブロック２４の平面図で
ある。
ある。
【図１６】フィルタ内蔵の流路ブロック２４の断面図で
ある。
ある。
【図１７】従来のガス供給ユニットの１例を示した断面
図である。
図である。
【図１８】従来のガス供給ユニットの別の例を示した断
面図である。
面図である。
【図１９】従来の流路ブロックの平面図である。
【図２０】従来の流路ブロックの断面図である。
１ 手動弁
２ レギュレータ
３ 圧力トランスデューサ
４ 遮断弁
５ マスフローコントローラ
６ パージ弁
７ 逆止弁
１０ ガス供給ユニット
１１，１８，１９，２４，５０，６０，７０，８０，９
０ フィルタ内蔵流路ブロック ２０ ベース部材 ３１ 入力ポート ３２ 出力ポート ３３ フィルタ室 ３４，９２ 金属フィルタ ３５ フィルタ押え
０ フィルタ内蔵流路ブロック ２０ ベース部材 ３１ 入力ポート ３２ 出力ポート ３３ フィルタ室 ３４，９２ 金属フィルタ ３５ フィルタ押え
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 西田 成伸
愛知県春日井市堀ノ内町850番地 シーケ
ーディ株式会社春日井事業所内
(72)発明者 三輪 敏一
愛知県春日井市堀ノ内町850番地 シーケ
ーディ株式会社春日井事業所内
Ｆターム(参考） 5F004 AA16 BB28 BC03 DB26
Claims (4)
- 【請求項１】 ベース部材と、２以上の流体制御機器
と、該流体制御機器同士を連通させるために該ベース部
材の上面かつ該流体制御機器の下面に取り付けられる流
路ブロックとを有するガス供給ユニットにおいて、 複数ある前記流路ブロックの一つが、入力ポートと出力
ポートと、前記入力ポートと前記出力ポートとの間に形
成された気密なフィルタ室と、前記フィルタ室に内蔵さ
れたフィルタとを有することを特徴とするガス供給ユニ
ット。 - 【請求項２】 請求項１に記載のガス供給ユニットにお
いて、 前記フィルタ内蔵の流路ブロックは、前記ベース部材側
に開口が形成されたフィルタ室に、金属フィルタが入れ
られ、その金属フィルタがフィルタ室を気密に閉じる上
面開口の器型のフィルタ押えによって位置決めされ、 前記フィルタ押えの側壁を貫いて入力ポートと連通する
入口流路が形成され、 金属フィルタ上方に出力ポートと連通する出力流路が形
成されていることを特徴とするガス供給ユニット。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載のガス供給
ユニットにおいて、 前記フィルタ内蔵の流路ブロックは、前記フィルタが立
体形状をしたもの、又は前記フィルタが傾斜して取り付
けられたものであることを特徴とするガス供給ユニッ
ト。 - 【請求項４】 請求項１に記載のガス供給ユニットにお
いて、 前記フィルタ内蔵の流路ブロックは、挿入側先端を囲ん
だ筒形状のフィルタを、側面からあけられたフィルタ室
内に横方向に挿入して位置決めしたものであって、当該
フィルタの内側と外側とに連通する入出力ポートがそれ
ぞれ形成されたものであることを特徴とするガス供給ユ
ニット。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002170788A JP3564115B2 (ja) | 2001-12-06 | 2002-06-12 | ガス供給ユニット |
| US10/305,962 US6886599B2 (en) | 2001-12-06 | 2002-11-29 | Gas supply unit |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001-372206 | 2001-12-06 | ||
| JP2001372206 | 2001-12-06 | ||
| JP2002170788A JP3564115B2 (ja) | 2001-12-06 | 2002-06-12 | ガス供給ユニット |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004042222A Division JP2004247740A (ja) | 2001-12-06 | 2004-02-19 | ガス供給ユニット |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003234261A true JP2003234261A (ja) | 2003-08-22 |
| JP3564115B2 JP3564115B2 (ja) | 2004-09-08 |
| JP2003234261A5 JP2003234261A5 (ja) | 2005-02-10 |
Family
ID=26624898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002170788A Expired - Fee Related JP3564115B2 (ja) | 2001-12-06 | 2002-06-12 | ガス供給ユニット |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6886599B2 (ja) |
| JP (1) | JP3564115B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6769463B2 (en) | 2001-05-16 | 2004-08-03 | Celerity Group, Inc. | Fluid flow system |
| KR20060017577A (ko) * | 2002-08-27 | 2006-02-24 | 셀레리티 인크. | 공통 평면 내에 매니폴드 연결부를 갖는 모듈형 기판 가스패널 |
| JP2006083959A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Fujikin Inc | センサ付き継手部材 |
| US7410519B1 (en) | 2005-08-16 | 2008-08-12 | Ewald Dieter H | Sandwich filter block |
| JP4221425B2 (ja) * | 2006-08-11 | 2009-02-12 | シーケーディ株式会社 | パージガスユニット及びパージガス供給集積ユニット |
| US9061227B2 (en) * | 2006-08-25 | 2015-06-23 | Pall Corporation | Purification assemblies and methods of assembling purification assemblies |
| WO2008024683A1 (en) * | 2006-08-25 | 2008-02-28 | Pall Corporation | Fluid assemblies comprising a purification element |
| JP5001757B2 (ja) * | 2007-08-31 | 2012-08-15 | シーケーディ株式会社 | 流体混合システム及び流体混合装置 |
| US8307854B1 (en) | 2009-05-14 | 2012-11-13 | Vistadeltek, Inc. | Fluid delivery substrates for building removable standard fluid delivery sticks |
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