JP2008298180A - 流体制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 支持通路ブロック9,10は、張出通路ブロック11a,11bの流体通路11c,11dの開口にシール部20を介して突き合わされる流体通路9a,10aの開口を有し張出通路ブロック11a,11bの下面に当接する大ブロック部25,27と、大ブロック部25,27と下面が面一でこれより高さが低い小ブロック部26,28とからなる。小ブロック部26,28に、ベース部材30に支持通路ブロック9,10を取り付けるためのおねじ部材挿通孔26a,28aが形成されている。
【選択図】 図1
Description
(9)(10)(31)(32) 支持通路ブロック
(9a)(10a)(31a)(32a) 流体通路
(11) 流量調整器(流体制御器)
(11a)(11b) 張出通路ブロック
(11c)(11d) 流体通路
(20) シール部(シール手段)
(25)(27)(35)(37) 大ブロック部
(26)(28)(36)(38) 小ブロック部
(26a)(28a)(36a)(38a) おねじ部材挿通孔
(30) ベース部材
Claims (3)
- 流体制御器と、流体制御器の両側に設けられた張出通路ブロックと、張出通路ブロックに連通する流体通路を有しベース部材に固定されて流体制御器を支持する1対の支持通路ブロックとを備えている流体制御装置において、
支持通路ブロックは、張出通路ブロックの流体通路の開口にシール部を介して突き合わされる流体通路の開口を有し張出通路ブロックの下面に当接する大ブロック部と、大ブロック部と下面が面一でこれより高さが低い小ブロック部とからなり、小ブロック部に、ベース部材に支持通路ブロックを取り付けるためのおねじ部材挿通孔が形成されていることを特徴とする流体制御装置。 - 張出通路ブロックは、その下面が流体制御器本体下面よりも上方にあるように流体制御器本体に取り付けられており、大ブロック部は、その頂部側面が流量調整器本体の側面に当接させられていることを特徴とする請求項1の流体制御装置。
- 各張出通路ブロックを対応する支持通路ブロックに取り付けるためのおねじ部材は、上方からの1本だけとされており、シール手段よりも外側に配されていることを特徴とする請求項1の流体制御装置。
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