JP2016014483A - 流体機構及び該流体機構を構成する支持部材 - Google Patents
流体機構及び該流体機構を構成する支持部材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016014483A JP2016014483A JP2015212890A JP2015212890A JP2016014483A JP 2016014483 A JP2016014483 A JP 2016014483A JP 2015212890 A JP2015212890 A JP 2015212890A JP 2015212890 A JP2015212890 A JP 2015212890A JP 2016014483 A JP2016014483 A JP 2016014483A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- port
- fluid device
- input port
- longitudinal direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 152
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 19
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 23
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 12
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 6
- 238000009795 derivation Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Valve Housings (AREA)
Abstract
【解決手段】
各流体機器ユニット10の長手方向側面同士を密着させて配置するとともに、外部流体機器V1、V2を、流体機器ユニット10の幅方向外側に並べて配置するようにした。さらに、外部流体機器V1、V2と流体機器ユニット10とを接続する流入経路9c及び流出経路9dにおいて、短い流入経路9cは長い流出経路9dに接続するようにした。
【選択図】 図8
Description
また、近時ではフットプリント縮小等のため、前記マスフローコントローラを含めた流体機構のスリム化が要求されている。
本実施形態に係る流体機構100は、例えば、半導体製造装置に用いられるものであり、図1に全体流体回路図を示すように、複数本(ここでは4本)の並列するガス供給ラインを形成するものである。各材料ガス供給ラインには、上流側外部流体機器たる上流側開閉弁V1、流体機器ユニットたるマスフローコントローラ10及び下流側外部流体機器たる下流側開閉弁V2が、上流側からこの順でそれぞれ並べてあり、各材料ガス供給ラインにおいて互いに独立して材料ガスの流量を制御できるようにしてある。
次に、上流側開閉弁V1及び下流側開閉弁V2について説明する。
この支持部材9は、等厚矩形平板状をなすものであり、その一方の面板部(以下、上面とも言う)において、前記複数のマスフローコントローラ10と上流側開閉弁V1及び下流側開閉弁V2と支持するものである。
前記導出ポート9b及び流出流路9dについても同様である。
また、支持部材は、板状のもののみならず、複数の配管で形成されたものでも構わない。
流入路、流出路は、直線状でなく、途中で曲がっているようなものでもよい。
外部流体機器も、開閉弁のみならず、例えば、三方弁、圧力センサ、流体抵抗素子、流量調整弁などでもよい。また、必ずしも流体機器ユニット群の両側方に設ける必要はなく、片側だけ(例えば開閉弁V1だけ)でも構わない。
外部流体機器は、正確に直線状に並んでいる必要はなく、配置の観点から若干ジグザグに配置してもよい。
その他、本発明は前記図示例に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
10・・・マスフローコントローラ(流体機器ユニット)
21・・・上流側圧力センサ(流体機器)
22・・・上流側圧力センサ(流体機器)
3・・・流体抵抗部材(流体機器)
6・・・情報処理回路
7・・・第1ハウジング
8・・・第2ハウジング
9a・・・導入ポート
9b・・・導出ポート
1d・・・入力ポート
1e・・・出力ポート
9c・・・流入経路
9d・・・流出経路
Claims (3)
- 流体が流入する入力ポートと流体が流出する出力ポートとの間に1又は複数の流体機器が設けられ、平面方向から視て前記入力ポートと出力ポートとを結ぶ方向が長手方向に設定されている複数の流体機器ユニットと、
前記入力ポートに接続されて該入力ポートに流体を導入する流入流路、及び、前記出力ポートに接続されて該出力ポートから流体を導出する流出流路を有し、前記複数の流体機器ユニットを、それらの長手方向が互いに略平行となるように隣接させて支持する1つの支持部材とを具備する流体機構。 - 前記流体機器ユニットが、前記入力ポート側及び前記出力ポート側の2点のみで前記支持部材に固定されている請求項1記載の流体機構。
- 前記流体機器ユニットが、前記入力ポート側に挿通された1つの螺子部材及び前記出力ポート側に挿通された1つの螺子部材のみによって前記支持部材に固定されている請求項2記載の流体機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015212890A JP6082082B2 (ja) | 2015-10-29 | 2015-10-29 | 流体機構及び該流体機構を構成する支持部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015212890A JP6082082B2 (ja) | 2015-10-29 | 2015-10-29 | 流体機構及び該流体機構を構成する支持部材 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011222058A Division JP5833403B2 (ja) | 2011-10-05 | 2011-10-06 | 流体機構及び該流体機構を構成する支持部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016014483A true JP2016014483A (ja) | 2016-01-28 |
JP6082082B2 JP6082082B2 (ja) | 2017-02-15 |
Family
ID=55230809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015212890A Active JP6082082B2 (ja) | 2015-10-29 | 2015-10-29 | 流体機構及び該流体機構を構成する支持部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6082082B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112016006319T5 (de) | 2016-01-28 | 2018-10-18 | Denso Corporation | Ventilvorrichtung |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05172265A (ja) * | 1991-05-31 | 1993-07-09 | Motoyama Seisakusho:Kk | ガス制御装置 |
JP2002349797A (ja) * | 2001-05-23 | 2002-12-04 | Fujikin Inc | 流体制御装置 |
JP2007170484A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Kitz Sct:Kk | 流量制御機器の取付構造 |
WO2008023711A1 (fr) * | 2006-08-23 | 2008-02-28 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Appareil à tableau de distribution de gaz intégré |
JP2008298180A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Fujikin Inc | 流体制御装置 |
JP2010203533A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-09-16 | Ckd Corp | マニホールドバルブ |
-
2015
- 2015-10-29 JP JP2015212890A patent/JP6082082B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05172265A (ja) * | 1991-05-31 | 1993-07-09 | Motoyama Seisakusho:Kk | ガス制御装置 |
JP2002349797A (ja) * | 2001-05-23 | 2002-12-04 | Fujikin Inc | 流体制御装置 |
JP2007170484A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Kitz Sct:Kk | 流量制御機器の取付構造 |
WO2008023711A1 (fr) * | 2006-08-23 | 2008-02-28 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Appareil à tableau de distribution de gaz intégré |
JP2008298180A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Fujikin Inc | 流体制御装置 |
JP2010203533A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-09-16 | Ckd Corp | マニホールドバルブ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112016006319T5 (de) | 2016-01-28 | 2018-10-18 | Denso Corporation | Ventilvorrichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6082082B2 (ja) | 2017-02-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101931375B1 (ko) | 유량 측정 장치 및 유량 제어 장치 | |
US9766634B2 (en) | Fluid mechanism, support member constituting fluid mechanism and fluid control system | |
US10114385B2 (en) | Fluid control valve | |
JP5697453B2 (ja) | 流量測定機構、マスフローコントローラ及び圧力センサ | |
JP5887188B2 (ja) | 流体制御用機器 | |
JP6014225B2 (ja) | 測定機構 | |
US20070205384A1 (en) | Flow Rate Control Apparatus | |
TWI576678B (zh) | Pressure flow control device | |
JP5833403B2 (ja) | 流体機構及び該流体機構を構成する支持部材 | |
JP6082082B2 (ja) | 流体機構及び該流体機構を構成する支持部材 | |
KR20120092585A (ko) | 유량 조정 밸브 및 매스 플로우 콘트롤러 | |
JP6106773B2 (ja) | 流量測定装置及び流量制御装置 | |
TW201816312A (zh) | 流體控制閥、流體控制裝置以及驅動機構 | |
KR20220058536A (ko) | 유량 제어 밸브 또는 유량 제어 장치 | |
JP5669583B2 (ja) | 流量算出システム、集積型ガスパネル装置及びベースプレート | |
KR101993208B1 (ko) | 유량 측정 장치 | |
JP6055941B2 (ja) | 流体制御用機器 | |
JP2021026257A (ja) | 流量制御装置、流体制御装置および半導体製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151029 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160810 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160818 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161017 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161227 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170119 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6082082 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |