JP5833403B2 - 流体機構及び該流体機構を構成する支持部材 - Google Patents
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Description
また、近時ではフットプリント縮小等のため、前記マスフローコントローラを含めた流体機構のスリム化が要求されている。
本実施形態に係る流体機構100は、例えば、半導体製造装置に用いられるものであり、図1に全体流体回路図を示すように、複数本(ここでは4本)の並列するガス供給ラインを形成するものである。各材料ガス供給ラインには、上流側外部流体機器たる上流側開閉弁V1、流体機器ユニットたるマスフローコントローラ10及び下流側外部流体機器たる下流側開閉弁V2が、上流側からこの順でそれぞれ並べてあり、各材料ガス供給ラインにおいて互いに独立して材料ガスの流量を制御できるようにしてある。
次に、上流側開閉弁V1及び下流側開閉弁V2について説明する。
この支持部材9は、等厚矩形平板状をなすものであり、その一方の面板部(以下、上面とも言う)において、前記複数のマスフローコントローラ10と上流側開閉弁V1及び下流側開閉弁V2と支持するものである。
前記導出ポート9b及び流出流路9dについても同様である。
また、支持部材は、板状のもののみならず、複数の配管で形成されたものでも構わない。
流入路、流出路は、直線状でなく、途中で曲がっているようなものでもよい。
外部流体機器も、開閉弁のみならず、例えば、三方弁、圧力センサ、流体抵抗素子、流量調整弁などでもよい。また、必ずしも流体機器ユニット群の両側方に設ける必要はなく、片側だけ(例えば開閉弁V1だけ)でも構わない。
外部流体機器は、正確に直線状に並んでいる必要はなく、配置の観点から若干ジグザグに配置してもよい。
その他、本発明は前記図示例に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
10・・・マスフローコントローラ(流体機器ユニット)
21・・・上流側圧力センサ(流体機器)
22・・・上流側圧力センサ(流体機器)
3・・・流体抵抗部材(流体機器)
6・・・情報処理回路
7・・・第1ハウジング
8・・・第2ハウジング
9a・・・導入ポート
9b・・・導出ポート
1d・・・入力ポート
1e・・・出力ポート
9c・・・流入経路
9d・・・流出経路
Claims (7)
- 流体が流入する入力ポートと流体が流出する出力ポートとの間に1又は複数の流体機器が設けられ、平面方向から視て前記入力ポートと出力ポートとを結ぶ方向が長手方向に設定されている流体機器ユニットと、
複数の前記流体機器ユニットを、それらの長手方向が互いに略平行となるように隣接させて支持する支持部材とを具備し、
前記支持部材が、
前記入力ポートに接続されて該入力ポートに流体を導入する流入流路と、
前記出力ポートに接続されて該出力ポートから流体を導出する流出流路とを具備し、
前記流入流路の始端に形成される導入ポートが、平面方向から視て前記長手方向とは直交する方向である幅方向において、最も外側に位置する一方の流体機器ユニットのさらに外側に配置してあり、
前記流出流路の終端に形成される導出ポートが、前記幅方向において、最も外側に位置する他方の流体機器ユニットのさらに外側に配置してあることを特徴とする流体機構。 - 前記各入力ポート及び各出力ポートがそれぞれ前記幅方向に沿って略直列するように、前記流体機器ユニットが配置してあり、
前記流入流路が、前記長手方向に略並ぶ前記導入ポートを、前記入力ポートに近い端のものから順に、前記幅方向に略並ぶ前記入力ポートの、前記導入ポートに近い端のものに順に、それぞれ接続するものであり、
前記流出流路が、前記長手方向に略並ぶ前記導出ポートを、前記出力ポートに近い端のものから順に、前記幅方向に略並ぶ前記出力ポートの、前記導出ポートに近い端のものに順に、それぞれ接続するものであることを特徴とする請求項1記載の流体機構。 - 前記一方の流体機器ユニットの幅方向外側において前記長手方向に略沿って配置されるとともに前記各導入ポートにそれぞれ接続される、流体機器ユニットと同数の上流側外部流体機器、及び/又は、
前記他方の流体機器ユニットの幅方向外側において前記長手方向に略沿って配置されるとともに前記各導出ポートにそれぞれ接続される、流体機器ユニットと同数の下流側外部流体機器をさらに具備し、
平面方向から視て前記外部流体機器の配置に要する最短寸法が、前記流体機器ユニットの幅方向寸法よりも大きいことを特徴とする請求項1又は2記載の流体機構。 - 前記上流側外部流体機器の配置状態での全体の長手方向寸法及び前記下流側外部流体機器の配置状態での全体の長手方向寸法が、流体機器ユニットの長手方向寸法と略合致するか又はそれよりも小さくなるように、流体機器ユニットの個数が定められていることを特徴とする請求項3記載の流体機構。
- 前記支持部材が平板状をなし、その内部に前記流入流路及び流出流路が形成されたものであるとともに、その上面に前記流体機器ユニットを取り付けてあることを特徴とする請求項1乃至4いずれか記載の流体機構。
- 流体が流入する入力ポートと流体が流出する出力ポートとの間に1又は複数の流体機器が設けられ、平面方向から視て前記入力ポートと出力ポートとを結ぶ方向が長手方向に設定されている流体機器ユニットを複数、それらの長手方向が互いに平行となるように隣接させて支持する支持部材であって、
前記入力ポートに接続されて該入力ポートに流体を導入する流入流路と、
前記出力ポートに接続されて該出力ポートから流体を導出する流出流路とを具備し、
前記流入流路の始端に形成される導入ポートが、平面方向から視て前記長手方向とは直交する方向である幅方向において、最も外側に配置される一方の流体機器ユニットのさらに外側に配置してあり、
前記流出流路の終端に形成される導出ポートが、前記幅方向において、最も外側に配置される他方の流体機器ユニットのさらに外側に配置してあることを特徴とする支持部材。 - 前記各入力ポート及び各出力ポートがそれぞれ前記幅方向に沿って略直列するように、前記流体機器ユニットが配置されるように構成してあり、
前記流入流路が、前記長手方向に略並ぶ前記導入ポートを、前記入力ポートに近い端のものから順に、前記幅方向に略並ぶ前記入力ポートの、前記導入ポートに近い端のものに順に、それぞれ接続するものであり、
前記流出流路が、前記長手方向に略並ぶ前記導出ポートを、前記出力ポートに近い端のものから順に、前記幅方向に略並ぶ前記出力ポートの、前記導出ポートに近い端のものに順に、それぞれ接続するものであることを特徴とする請求項6記載の支持部材。
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