JP5697453B2 - 流量測定機構、マスフローコントローラ及び圧力センサ - Google Patents
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Description
本発明は上記のような問題点を鑑みてなされたものであって、圧力測定感度の低下を招くことなく、幅方向寸法を従来に比べて飛躍的に低減できる圧力センサや流量測定機構、あるいはマスフローコントローラを提供すべく図ったものである。
前記内部流路が前記ボディユニットの一端部から他端部に向かって延びており、その内部流路の流れ方向に平行な面に部品取付面を設定したものであり、前記部品取付面に前記圧力センサを、その感圧面が前記部品取付面に略垂直でなおかつ前記流れ方向に略平行となるように取り付けていることを特徴とする。
また、測定すべき対象流体を導入するための圧力導入口と、前記流体が充填される流体充填室と、前記流体充填室及び圧力導入口を連通する直線状の流体導入路とを有する本体部材を具備し、前記流体充填室の一面を圧力検知のための感圧面に設定したものであって、前記流体導入路の流体充填室に対する開口部位が、感圧面に対して略垂直な側面部位に設定されているものや、前記感圧面に対し、前記流体導入路が平行乃至斜めに形成されているものも本発明の課題を好適に解決できる。
10・・・流量測定機構
1・・・ボディユニット
1a・・・内部流路
1a(2)・・・上流側内部流路
1a(3)・・・下流側内部流路
1c・・・部品取付面
21、22・・・圧力センサ
2a1・・・圧力導入口
2b1・・・感圧面
3・・・流体抵抗部材
3a・・・抵抗流路
3c・・・連通路
4・・・流量調整弁
6・・・制御回路
本実施形態に係るマスフローコントローラ100は、例えばガスパネルに搭載されて半導体製造装置の材料供給ラインの一部を構成するもので、図1に流体回路図、図2に全体斜視図を示すように、流量制御対象である流体が流れる内部流路1aを有するボディユニット1と、前記内部流路1a上に設けられた流量調整弁4と、この流量調整弁4よりも下流側に設けられ、当該内部流路1aを流れる流体の質量流量を測定する流量測定機構10と、この流量測定機構10による測定流量が予め定めた目標流量になるように前記流量調整弁4を制御する制御回路6(図1には示していない)とから構成されている。以下に各部を詳述する。
Claims (6)
- 測定すべき対象流体が流れる内部流路を有したボディユニットと、前記内部流路を分断するとともに分断された上流側内部流路及び下流側内部流路を連通する抵抗流路を有した流体抵抗部材と、前記ボディユニットに取り付けられて前記上流側内部流路又は下流側内部流路の少なくとも一方の圧力を検知する圧力センサとを具備し、前記圧力センサが検知した流体圧力に基づいて前記流体の流量を算出可能に構成したものであって、
前記内部流路が前記ボディユニットの一端部から他端部に向かって延びており、その内部流路の流れ方向に平行な面に部品取付面を設定したものであり、前記部品取付面に前記圧力センサを、その感圧面が前記部品取付面に略垂直でなおかつ前記流れ方向に略平行となるように取り付けていることを特徴とする流量測定機構。 - 請求項1記載の流量測定機構と、前記ボディユニットに取り付けた流量調整弁と、前記流量測定機構による測定流量が予め定めた目標流量になるように前記流量調整弁を制御する制御回路とを具備したことを特徴とするマスフローコントローラ。
- 所定の一面を取付面に設定した本体部材を具備し、その本体部材内に測定すべき流体の圧力を検知する感圧面が形成されたものであって、
前記取付面が、長手方向を有する面であり、
前記感圧面を前記取付面に対して略垂直でなおかつ前記長手方向に略平行となるように構成していることを特徴とする圧力センサ。 - 前記本体部材を扁平な形状とし、その扁平面に対して垂直な一面を前記取付面とするとともに、前記扁平面と略平行に前記感圧面を設けていることを特徴とする請求項3記載の圧力センサ。
- 測定すべき対象流体を導入するための圧力導入口と、前記流体が充填される流体充填室と、前記流体充填室及び圧力導入口を連通する流体導入路とを有する本体部材を具備し、前記流体充填室の一面を圧力検知のための感圧面に設定したものであって、
前記流体導入路の、流体充填室に対する開口部位が、感圧面に対して略垂直な側面部位に設定されていることを特徴とする圧力センサ。 - 測定すべき対象流体を導入するための圧力導入口と、前記流体が充填される流体充填室と、前記流体充填室及び圧力導入口を連通する直線状の流体導入路とを有する本体部材を具備し、前記流体充填室の一面を圧力検知のための感圧面に設定したものであって、前記感圧面に対し、前記流体導入路が平行乃至斜めに形成されていることを特徴とする圧力センサ。
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GB2549286B (en) * | 2016-04-11 | 2019-07-24 | Perkins Engines Co Ltd | EGR valve with integrated sensor |
US10303189B2 (en) | 2016-06-30 | 2019-05-28 | Reno Technologies, Inc. | Flow control system, method, and apparatus |
US11144075B2 (en) | 2016-06-30 | 2021-10-12 | Ichor Systems, Inc. | Flow control system, method, and apparatus |
US10679880B2 (en) | 2016-09-27 | 2020-06-09 | Ichor Systems, Inc. | Method of achieving improved transient response in apparatus for controlling flow and system for accomplishing same |
US10838437B2 (en) | 2018-02-22 | 2020-11-17 | Ichor Systems, Inc. | Apparatus for splitting flow of process gas and method of operating same |
US10663337B2 (en) | 2016-12-30 | 2020-05-26 | Ichor Systems, Inc. | Apparatus for controlling flow and method of calibrating same |
JP2020089037A (ja) * | 2018-11-22 | 2020-06-04 | 株式会社堀場エステック | ピエゾアクチュエータ、流体制御バルブ、及び、流体制御装置 |
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JP2024512898A (ja) | 2021-03-03 | 2024-03-21 | アイコール・システムズ・インク | マニホールドアセンブリを備える流体流れ制御システム |
TWI773284B (zh) * | 2021-04-28 | 2022-08-01 | 茂特隆股份有限公司 | 壓力量測裝置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10311768A (ja) * | 1997-05-12 | 1998-11-24 | Omron Corp | 圧力センサ及びガスメータ |
JP2004212220A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Yamatake Corp | 差圧・圧力発信器 |
JP2007265395A (ja) * | 2006-03-02 | 2007-10-11 | Smc Corp | 流量制御装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4315523A (en) * | 1980-03-06 | 1982-02-16 | American Flow Systems, Inc. | Electronically controlled flow meter and flow control system |
JPH0255123U (ja) | 1988-10-12 | 1990-04-20 | ||
JP4378553B2 (ja) * | 1997-10-13 | 2009-12-09 | 忠弘 大見 | 流体制御装置 |
JP4110304B2 (ja) * | 1998-06-30 | 2008-07-02 | 株式会社フジキン | 流体制御装置および流体制御装置組立て方法 |
US6186177B1 (en) * | 1999-06-23 | 2001-02-13 | Mks Instruments, Inc. | Integrated gas delivery system |
US6539968B1 (en) * | 2000-09-20 | 2003-04-01 | Fugasity Corporation | Fluid flow controller and method of operation |
TWI421660B (zh) | 2005-07-08 | 2014-01-01 | Entegris Inc | 具非污染性主體之化學惰性流量控制器 |
US7866337B2 (en) | 2005-07-08 | 2011-01-11 | Entegris, Inc. | Chemically inert flow controller with non-contaminating body |
US20070205384A1 (en) | 2006-03-02 | 2007-09-06 | Smc Kabushiki Kaisha | Flow Rate Control Apparatus |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10311768A (ja) * | 1997-05-12 | 1998-11-24 | Omron Corp | 圧力センサ及びガスメータ |
JP2004212220A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Yamatake Corp | 差圧・圧力発信器 |
JP2007265395A (ja) * | 2006-03-02 | 2007-10-11 | Smc Corp | 流量制御装置 |
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