WO2017033745A1 - 流体制御装置におけるシール部材の固定構造、継手および流体制御装置 - Google Patents

流体制御装置におけるシール部材の固定構造、継手および流体制御装置 Download PDF

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passage
passage member
control device
seal member
fluid control
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PCT/JP2016/073520
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耕平 執行
廣瀬　隆
西野　功二
土肥　亮介
安本　直史
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株式会社フジキン
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    • F16B5/00—Joining sheets or plates, e.g. panels, to one another or to strips or bars parallel to them
    • F16B5/02—Joining sheets or plates, e.g. panels, to one another or to strips or bars parallel to them by means of fastening members using screw-thread

Definitions

  • the present invention relates to a seal member fixing structure, a joint, and a fluid control device in a fluid control device, and more particularly to a seal member fixing structure suitable for use in a fluid control device that is desired to be narrowed.
  • the present invention relates to a joint having a fixing structure and a fluid control device having a fixing structure of the seal member.
  • the passage members are usually joined by four bolts respectively arranged at four corners of the passage member so as to avoid the fluid passage.
  • the sealing member is fixed.
  • the width of the passage member constituting the fluid control device is a problem.
  • Arranging the four bolts at the four corners of the passage member is an obstacle to the narrowing of the fluid control device.
  • the bolt is arranged at the center in the width direction and the passage members are connected to each other with the two bolts. It is desirable to combine.
  • two bolt insertion holes provided symmetrically with respect to the seal portion, that is, two through holes are required, and the passage member includes a fluid passage. Therefore, there is a problem that it is difficult to provide two through holes while avoiding the fluid passage.
  • An object of the present invention is to provide a sealing member fixing structure, a joint, and a fluid control device in a fluid control device capable of connecting passage members using two bolts.
  • the fixing structure of the seal member in the fluid control apparatus is a block-shaped first passage member and second passage member having fluid passages communicating with each other, and the abutment of both the passage members.
  • a seal member in a fluid control device comprising: a seal member interposed in a portion; and a coupling means for coupling the first passage member and the second passage member, each passage member Has a required width, height, and length, and a fluid passage is provided in the center of the width. Two bolts are used as the coupling means, and the female screw and the thread are faced.
  • One bolt insertion hole is provided at each of both ends of the central portion of the width of the first passage member and the second passage member, and the bolt insertion holes are inserted through the bolt insertion holes of the first passage member.
  • the fixing structure of the seal member in the fluid control apparatus is a block-like first passage member and second passage member having fluid passages communicating with each other, and the abutment of both the passage members.
  • a seal member in a fluid control device including a seal member interposed in a portion and a coupling means for coupling the first passage member and the second passage member to each other, wherein each of the passage members is , Having a required width, height and length, a fluid passage is provided at the center of the width, two bolts are used as the coupling means, and the sealing member is a gasket type filter.
  • the diameter of the gasket type filter is about the same as the width of the first passage member and the second passage member, and the diameter of the first passage member and the second passage member is the same.
  • the filter housing recess is formed so as to be exposed to the outside in the width direction.
  • the fluid control device includes, for example, a fluid control device in which a flow control, opening / closing and the like are provided in a body (corresponding to one passage member) in which a fluid passage is formed, and a fluid passage in which a fluid passage is formed. It is assumed that a passage block (corresponding to the other passage member) on the inlet side and the outlet side coupled to the body of the control device is provided.
  • the fluid control device is also provided with a gasket type orifice for controlling the flow rate, a control valve provided upstream of the gasket type orifice, and an upstream pressure of the gasket type orifice provided between the gasket type orifice and the control valve.
  • a pressure type flow rate control device that includes an upstream pressure sensor for detection and feedback-controls the flow rate through the orifice by opening and closing the control valve using the upstream pressure or the upstream pressure and the downstream pressure. is there.
  • the fluid control device also includes a plurality of fluid control devices having a body (corresponding to a passage member) in which a fluid passage is formed, and a block-shaped joint member (corresponding to a passage member) that communicates these fluid control devices. Sometimes it is said to be.
  • Each of the first and second passage members may be a body integrally provided in a control unit (part having a required control function such as flow rate control, opening and closing), and either one of them is
  • the other part may be a single member (for example, a block-shaped joint member) provided integrally with the control unit.
  • the passage members of the fluid control device are coupled through a seal member, and the seal member is fixed by coupling the passage members with bolts.
  • one passage member is provided with a plurality of bolt insertion holes, and the other passage member is provided with a female screw corresponding to each bolt insertion hole. This is done by screwing a bolt.
  • the sealing member fixing structure according to the present invention is for enabling the width of the fluid control device to be narrowed, and has a required width, height, and length, and a fluid passage is provided at the center of the width.
  • the passage members are joined by two bolts instead of the conventional joining of the passage members using four bolts.
  • the two bolts are opposite to each other, and one bolt is disposed in the center in the width direction at both ends in the length direction at the butted portion.
  • the bolts are opposite to each other, the bolts are less likely to loosen than when the two bolts are tightened from the same direction, and the fixing structure of the seal member is resistant to vibration.
  • the sealing member fixing structure of the present invention it is easy to avoid the fluid passage by providing two bolt insertion holes one by one in the first passage member and the second passage member,
  • the passage members can be connected to each other using two bolts. That is, for the passage member that needed a width for arranging two bolts side by side in the width direction, the width of the passage member can be made smaller than twice the diameter of the bolt this time. The width can be reduced.
  • the fluid passage provided in the passage member has various shapes such as an I-shape, an L-shape, a V-shape, and a U-shape depending on the application, and the shape of the fluid passage is considered for the passage member. Then, a bolt insertion hole and a female screw are provided.
  • At least one of the passage members may have a bent (for example, L-shaped) fluid passage.
  • L-shaped fluid passage When there is an L-shaped fluid passage in the center of the width, it is difficult to use two bolts and avoid the fluid passage, but as described above, the two bolts are opposite to each other. This prevents the bolt and the fluid passage from interfering with each other even in the L-shaped fluid passage.
  • the bent fluid passage includes a first passage that is open to the butting surface and orthogonal or inclined to the abutting surface, and a second passage that is orthogonal or inclined to the first passage and opens to a surface that is orthogonal to the butting surface. It is supposed to consist of
  • the seal member is, for example, a gasket, but may be a gasket type filter having a filter function or a gasket type orifice having an orifice function.
  • the gasket type orifice includes, for example, a first and a second orifice base (part corresponding to the gasket) fitted together, and an orifice plate sandwiched between the fitting surfaces of these orifice bases. Both end surfaces of both orifice bases abut against each passage member to form a seal surface.
  • the gasket type filter is composed of a filter base (portion corresponding to the gasket) and a filter element attached to the filter base, and both end surfaces of the filter base are in contact with each passage member to form a sealing surface. .
  • the passage member In order to narrow the width of the fluid control device, the passage member is narrowed, and the width of the seal member is also narrowed accordingly.
  • the diameter of the gasket-type filter is approximately the same as the width of the first passage member and the second passage member (or larger than the width of the first and second passage members).
  • the filter housing recess in the two-pass member is preferably formed so as to be exposed to the outside in the width direction. By doing in this way, the flow volume fall can be prevented.
  • the female screw and the bolt insertion hole facing the female screw are respectively provided at both ends of the central portion of the width of the first passage member and the second passage member.
  • the joint according to the present invention includes a block-shaped first passage member and a second passage member having fluid passages communicating with each other, a seal member interposed in a butting portion of the both passage members, the first passage member,
  • a joint comprising a coupling means for coupling the second passage members to each other and a fixing structure for the seal member, wherein the fixing structure for the seal member is fixed in the fluid control device according to any one of the above. It is a structure.
  • the fluid control apparatus includes a block-shaped first passage member and a second passage member having fluid passages communicating with each other, a seal member interposed in a butt portion of the both passage members, and the first
  • a fluid control apparatus comprising: a coupling means for coupling the passage member and the second passage member; and a fixing structure for the seal member, wherein the sealing member has the fixing structure for the sealing member described above. This is a fixed structure.
  • the passage members can be coupled to each other using two bolts, and the fluid control device can be narrowed. Moreover, since the two bolts are opposite to each other, the bolts are difficult to loosen.
  • FIG. 1 is a front cross-sectional view of first and second embodiments of a sealing member fixing structure, a joint, and a fluid control device in a fluid control device according to the present invention.
  • FIG. 2 is a right side view of the body of the control valve.
  • FIG. 3 is a left side view of the outlet side passage block.
  • FIG. 4 is a left side view of the body of the control valve.
  • FIG. 5 is a right side view of the entrance-side passage block.
  • FIG. 6A is an enlarged view of the first orifice base of the gasket type orifice.
  • FIG. 6B is an enlarged view of the second orifice base of the gasket type orifice.
  • FIG. 7 is an enlarged view of the gasket type filter.
  • FIG. 8 is a front view of the second embodiment.
  • FIG. 1 is a front view, and the top and bottom are the top and bottom of the figure.
  • FIG. 1 shows an example of a fluid control device targeted by a sealing member fixing structure (11) in a fluid control device according to the present invention.
  • the fluid control device (1) includes a control valve (2), a control valve, and a control valve.
  • An inlet side passage block (passage member) (3) provided on the inlet side of the valve (2), an outlet side passage block (passage member) (4) provided on the outlet side of the control valve (2), and a control
  • the fluid control device (1) is called a pressure-type flow control device, and opens and closes the control valve (2) using the upstream pressure of the gasket type orifice (6), or the upstream and downstream pressures. Thus, the flow rate through the orifice is feedback-controlled.
  • the control valve (2) is a normally closed type metal diaphragm valve, and is composed of a body (9) and an actuator (not shown) that is accommodated in the casing (10) and opens and closes the fluid passage.
  • the body (9) is made of stainless steel in the form of a block, one end opens on the left side (the surface that abuts the inlet side passage block (3)), and the other end communicates with the valve chamber (12) A passage (13) and an outlet passage (one end of which communicates with the valve chamber (12) and the other end opens on the right side surface (the surface abutted against the outlet side passage block (4)) via the gasket type orifice (6) 14).
  • the inlet side passage block (3) and the outlet side passage block (4) are arranged on the left and right sides of the body (9) of the control valve (2), respectively, and two bolts (15) (16 ) To the body (9) of the control valve (2).
  • the inlet side passage block (3) is made of stainless steel in the form of a block, with one end opening at the lower end and the other end on the right side (the surface that faces the body (9) of the control valve (2))
  • An L-shaped inlet passage (17) that opens and communicates with the inlet passage (13) of the body (9) of the control valve (2) is provided.
  • the inlet passage (17) has a first passage (17a) that opens to the right side surface (butting surface) and is orthogonal to the right side surface, and a lower surface (surface that is orthogonal to the butting surface) perpendicular to the first passage (17a). ) To the second passage (17b).
  • the outlet side passage block (4) is made of stainless steel in the shape of a block, and one end opens to the left side (the surface that abuts the body (9) of the control valve (2)) and the control valve (2)
  • the body (9) has an L-shaped outlet passage (18) that communicates with the outlet passage (14) and opens at the other end on the lower surface (a surface orthogonal to the butting surface).
  • the exit passage (18) has a first passage (18a) extending obliquely downward to the right from the abutting surface, and a second passage opening at a lower surface (a surface perpendicular to the abutting surface) at an obtuse angle with the first passage (18a).
  • the passage (18b) has a first passage (18a) extending obliquely downward to the right from the abutting surface, and a second passage opening at a lower surface (a surface perpendicular to the abutting surface) at an obtuse angle with the first passage (18a).
  • an orifice storage recess that opens to the outlet side passage block (4) side and stores the gasket type orifice (6) ( 20) is formed.
  • the upstream pressure sensor (5) detects the upstream pressure of the gasket type orifice (6)
  • the downstream pressure sensor (8) detects the downstream pressure of the gasket type orifice (6).
  • a disc-shaped orifice plate (23) is sandwiched between the fitting surfaces of the short cylindrical first orifice base (21) and the long cylindrical second orifice base (22). It is a thing.
  • the first orifice base (21) communicates with the outlet passage (14) of the body (9) of the control valve (2) as shown in an enlarged view in FIG. 6A.
  • An entrance-side passage (21a) extending to the right side, and a stepped recess (21b) provided continuously to the right end of the entrance-side passage (21a).
  • the second orifice base (22) has a stepped left end (22a), and the stepped left end (22a) is the first orifice base (21).
  • the first orifice base (21) and the second orifice base (22) are integrated with each other to sandwich the orifice plate (23).
  • the second orifice base (22) communicates with the first passage (22b) that communicates with the inlet-side passage (21a) of the first orifice base (21), and communicates with the first passage (22b) than the first passage (22b).
  • a second passage (22c) having a large diameter.
  • the orifice plate (23) is formed by pressing an ultra-thin plate made of stainless steel, and at its center is a tapered part located on the high-pressure side (upstream side) of the fluid, and continues to the tapered part.
  • an orifice hole (not shown) including a straight portion located on the low pressure side (downstream side) of the fluid is formed.
  • the gasket-type filter (7) is arranged at the abutting portion between the inlet passage (13) of the body (9) of the control valve (2) and the inlet passage (17) of the inlet-side passage block (3) to improve the sealing performance. This ensures the filter function.
  • the gasket type filter (7) includes an annular filter base (24) made of SUS316L-P (W melt) communicating with the outlet passage (14) of the body (9), and a filter. It consists of a disk-shaped sintered filter element (25) attached to the base (24), is held by the retainer (26), and is housed in the filter housing recess (19).
  • the gasket type filter (7) is not limited to the above-mentioned one.
  • a filter element the outer peripheral edge of a stainless steel ultrathin disc instead of the sintered filter element (25) is used. You may use what was formed by opening many small holes by etching in the part except.
  • the body (9) of the control valve (2) includes a rectangular parallelepiped passage forming portion (31) formed with the inlet passage (13) and the outlet passage (14), and a passage forming portion (31).
  • a rectangular parallelepiped first bolt insertion hole forming portion (32) provided in a downward projecting manner at the left end portion of the lower surface, and a rectangular parallelepiped first shape provided in a downward projecting manner at the right end portion of the lower surface of the passage forming portion (31). It consists of a 2 bolt insertion hole formation part (33).
  • the first bolt insertion hole forming part (32) is provided with a first bolt insertion hole (34) penetrating the first bolt insertion hole forming part (32) in the left-right direction.
  • a second bolt insertion hole (35) penetrating in the direction is provided.
  • the left side surface of the passage forming portion (31) is symmetrical with the center of the first bolt insertion hole (34) with respect to the center of the filter housing recess (19) on the left side surface of the passage forming portion (31).
  • a female screw (36A) extending rightward is provided at the position of the orifice storage recess (20) on the right side surface of the passage forming portion (31) on the right side surface of the passage forming portion (31).
  • a female screw (36B) extending leftward is provided at a position symmetrical to the center of the second bolt insertion hole (35) with respect to the center.
  • the entrance-side passage block (3) is provided in the upper and lower right-hand side of the passage-forming portion (37) having a rectangular parallelepiped-like passage-forming portion (37) in which the L-shaped inlet passage (17) is formed.
  • the first bolt insertion hole forming part (38) and the second bolt insertion hole forming part (39) provided at the lower left end of the passage forming part (38).
  • the first bolt insertion hole forming part (38) is provided with a first bolt insertion hole (40) penetrating in the left-right direction, and the second bolt insertion hole forming part (39) is vertically
  • a second bolt insertion hole (41) penetrating in the direction is provided.
  • a female screw (42) extending leftward is provided at a point-symmetrical position.
  • the outlet side passage block (4) includes a rectangular parallelepiped passage forming portion (43) in which the L-shaped outlet passage (18) is formed, and a left end portion on the upper surface of the passage forming portion (43).
  • the first bolt insertion hole forming portion (44) is provided with a first bolt insertion hole (46) penetrating in the left-right direction, and the second bolt insertion hole forming portion (45) is provided with an upper and lower direction.
  • a second bolt insertion hole (47) penetrating in the direction is provided.
  • a female screw (48) extending rightward is provided at a point-symmetrical position.
  • FIG. 2 is a view of the body (9) of the control valve (2) as viewed from the outlet side passage block (4) side. As shown in FIG. 2, the control valve (2) is connected to the outlet side passage block (4).
  • the butting surface (9a) includes an orifice storage recess (20), a female screw (36B) located above the orifice storage recess (20), and a second bolt located below the orifice storage recess (20).
  • the insertion hole (35) is exposed.
  • the distance from the center of the orifice housing recess (20) to the center of the female screw (36B) is preferably equal to the distance from the center of the orifice housing recess (20) to the center of the second bolt insertion hole (35). .
  • FIG. 3 is a view of the outlet side passage block (4) as viewed from the body (9) side of the control valve (2). As shown in FIG. 3, the right side surface of the outlet side passage block (4) (body (9 ), The orifice storage recess (20), the first bolt insertion hole (46) located above the orifice storage recess (20), and the orifice storage recess (20) below The located female screw (48) is exposed.
  • the distance from the center of the orifice housing recess (20) to the center of the first bolt insertion hole (46) is preferably equal to the distance from the center of the orifice housing recess (20) to the center of the female screw (48). .
  • the sealing member is a gasket type orifice (6), two upper and lower bolts (15) and (16) as coupling means, and two passage members (4 ) (9), that is, formed by the screw (36B) (48) and the bolt insertion hole (35) (46) for forming in the body (9) and outlet side passage block (4) of the control valve (2), respectively. ing.
  • the upper bolt (15) is inserted from the right side into the first bolt insertion hole (46) provided in the outlet side passage block (4), and is provided in the body (9) of the control valve (2). 36B).
  • the lower bolt (16) is inserted into the second bolt insertion hole (35) provided in the body (9) of the control valve (2) from the left side and is provided in the outlet side passage block (4). Screwed into (48).
  • the dimension of the passage member (4) and (9) of the sealing member fixing structure (11) is the smallest, and the fluid is placed at the center of the width. Passages (exit passage (14) and exit passage (18)) are provided. Then, since the two bolts (15) and (16) are opposite to each other, any of the bolts (15) and (16) interferes with the fluid passage (the outlet passage (14) and the outlet passage (18)). Therefore, it is possible to perform tightening that applies an equal force to the gasket type orifice (6) that is a sealing member.
  • FIG. 4 is a view of the body (9) of the control valve (2) as seen from the inlet side passage block (3) side. As shown in FIG. 4, the control valve (2) is connected to the inlet side passage block (3) of the body (9).
  • the butting surface (9b) includes a filter housing recess (19), a female screw (36A) located above the filter housing recess (19), and a first bolt located below the filter housing recess (19).
  • the insertion hole (34) is exposed. It is desirable that the distance from the center of the filter housing recess (19) to the center of the female screw (36A) is equal to the distance from the center of the filter housing recess (19) to the center of the first bolt insertion hole (34). .
  • FIG. 5 is a view of the inlet side passage block (3) as viewed from the body (9) side of the control valve (2). As shown in FIG. 5, the inlet side passage block (3) is connected to the body (9).
  • the butting surface includes a filter housing recess (19), a first bolt insertion hole (40) located above the filter housing recess (19), and a female screw located below the filter housing recess (19). 42) and are exposed.
  • the distance from the center of the filter housing recess (19) to the center of the first bolt insertion hole (40) is preferably equal to the distance from the center of the orifice housing recess (20) to the center of the female screw (42). .
  • the sealing member is a gasket type filter (7), two upper and lower bolts (15) and (16) as coupling means, and two passage members, These are formed in the body (9) and the inlet side passage block (3) of the control valve (2), and are formed by screws (36A) (42) and bolt insertion holes (34) (40).
  • the upper bolt (15) is inserted from the left side into the first bolt insertion hole (40) provided in the inlet side passage block (3), and is provided in the body (9) of the control valve (2). Screwed into 36A).
  • the lower bolt (16) is inserted from the right side into the first bolt insertion hole (34) provided in the body (9) of the control valve (2) and is provided in the inlet side passage block (3). Screwed into (42).
  • the two bolts (15) and (16) are opposite to each other, so that any of the bolts (15) and (16) are fluid passages (inlet passage (13) and inlet passage ( It is possible to perform tightening that applies an equal force to the gasket type filter (7) as a seal member without interfering with 17)).
  • the diameter of the gasket-type filter (7) is the narrow body (9) of the control valve (2).
  • the inlet side passage block (3) the diameter does not fit within the width of the body (9) and the inlet side passage block (3) of the control valve (2). May have a large diameter. Accordingly, the filter housing recess (19) is formed to be exposed to the outside in the width direction. Therefore, as shown in FIG. 8, when the sealing member fixing structure (11) is viewed from the outside, a window (in the abutting portion between the body (9) of the control valve (2) and the inlet side passage block (3) is provided. 50) is formed, and a part of the filter base (24) and a part of the retainer (26) of the gasket type filter (7) are exposed from the window (50).
  • the diameter of the gasket type filter (7) is reduced in accordance with the narrowing of the body (9) of the control valve (2) and the inlet side passage block (3), the required flow rate cannot be secured.
  • the diameter of the gasket type filter (7) can be increased, thereby preventing a decrease in the flow rate.
  • the sealing member fixing structure (11) can be used in a joint for connecting the first passage member and the second passage member having various shapes. That is, in a joint provided with a seal member interposed between the butted portions of both passage members, a coupling means for joining the first and second passage members, and a fixing structure for the seal member, the fixing structure for the sealing member Can be as described above.
  • the passage members using two bolts can be connected to each other, so that the joint and fluid control device using this structure can be narrowed. This can contribute to improving the performance of a semiconductor manufacturing apparatus using the joint or the fluid control device.

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Abstract

各通路部材3,4,9は、所要の幅、高さおよび長さを有し、幅の中央部に流体通路13,14,17,18が設けられている。結合手段として２本のボルト15,16が使用されている。めねじ36A,36B,42,48およびこれに臨まされるボルト挿通孔34,35,40,47が各通路部材3,4,9の幅の中央部の両端部にそれぞれ１つずつ設けられている。上側のボルト15が一方の通路部材3,4に挿通されて他方の通路部材9のめねじ36A,36Bにねじ合わされている。下側のボルト16が他方の通路部材9に挿通されて一方の通路部材3,4のめねじ42,44にねじ合わされている。上下２本のボルト15,16によって、通路部材同士が結合されることにより、シール部材6,7が固定されている。

Description

流体制御装置におけるシール部材の固定構造、継手および流体制御装置
　この発明は、流体制御装置におけるシール部材の固定構造、継手および流体制御装置に関し、特に、幅狭化が望まれている流体制御装置での使用に適したシール部材の固定構造、このシール部材の固定構造を備えた継手およびこのシール部材の固定構造を備えた流体制御装置に関する。
　半導体製造装置で使用される流体制御装置においては、複数の流体制御機器の通路部材同士をシール部材を介して突き合わせ、ボルトによって結合する集積化が進んでいる（例えば特許文献１）。
　このような流体制御装置では、１対の通路部材同士を結合するために、通常、流体通路を避けるように通路部材の４隅にそれぞれ配置された４本のボルトによって、通路部材同士が結合されて、シール部材が固定されている。
特開２００５－１４９０７５号公報
　集積化された流体制御装置においては、設置面積を小さくすることが望まれており、これに対応するために、流体制御装置を構成する通路部材の幅狭化が課題となっている。
　４本のボルトを通路部材の４隅に配置することは、流体制御機器の幅狭化の障害となっており、ボルトを幅方向の中央に配置して、２本のボルトで通路部材同士を結合することが望まれる。しかしながら、２本のボルトで通路部材同士を結合するには、シール箇所に対して対称に設けられた２つのボルト挿通孔、すなわち、２つの貫通孔が必要であり、通路部材には、流体通路が設けられていることから、この流体通路を避けて２つの貫通孔を設けることが困難であるという問題がある。
  この発明の目的は、２本のボルトを使用しての通路部材同士の結合を可能とした流体制御装置におけるシール部材の固定構造、継手および流体制御装置を提供することにある。
  第１の発明（請求項１の発明）による流体制御装置におけるシール部材の固定構造は、互いに連通する流体通路を有するブロック状の第１通路部材および第２通路部材と、前記両通路部材の突き合わせ部分に介在させられたシール部材と、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士を結合する結合手段とを備えている流体制御装置におけるシール部材を固定する構造であって、前記各通路部材は、所要の幅、高さおよび長さを有し、幅の中央部に流体通路が設けられており、前記結合手段として２本のボルトが使用されるとともに、めねじおよびこれに臨まされるボルト挿通孔が前記第１通路部材および前記第２通路部材の幅の中央部の両端部にそれぞれ１つずつ設けられており、前記第１通路部材の前記ボルト挿通孔に挿通されて前記第２通路部材の前記めねじにねじ合わされた第１のボルトと、前記第２通路部材の前記ボルト挿通孔に挿通されて前記第１通路部材の前記めねじにねじ合わされた第２のボルトとによって、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士が結合されることにより、前記シール部材が固定されているものである。
  第２の発明（請求項８の発明）による流体制御装置におけるシール部材の固定構造は、互いに連通する流体通路を有するブロック状の第１通路部材および第２通路部材と、前記両通路部材の突き合わせ部分に介在させられたシール部材と、前記第１通路部材および第２通路部材同士を結合する結合手段とを備えている流体制御装置におけるシール部材を固定する構造であって、前記各通路部材は、所要の幅、高さおよび長さを有し、幅の中央部に流体通路が設けられており、前記結合手段として２本のボルトが使用されるとともに、前記シール部材が、ガスケット型フィルタとされ、前記ガスケット型フィルタの径は、前記第１通路部材および前記第２通路部材の幅と同程度であり、前記第１通路部材および前記第２通路部材におけるフィルタ収納凹所は、幅方向において外部に露出するように形成されているものである。
　流体制御装置は、例えば、流体通路が形成されたボディ（一方の通路部材に相当）に流量制御、開閉などの所要の制御部分が設けられた流体制御機器と、流体通路が形成されていて流体制御機器のボディに結合される入口側および出口側の通路ブロック（他方の通路部材に相当）とを備えているものとされる。
　流体制御装置は、また、流量制御用のガスケット型オリフィスと、ガスケット型オリフィスの上流側に設けたコントロールバルブと、ガスケット型オリフィスとコントロールバルブとの間に設けられてガスケット型オリフィスの上流側圧力を検出する上流側圧力センサとを備え、上流側圧力、あるいは上流側圧力および下流側圧力を用いてコントロールバルブの開閉によりオリフィス通過流量をフィードバック制御するようにした圧力式流量制御装置とされることがある。
　流体制御装置は、また、流体通路が形成されたボディ（通路部材に相当）を有する複数の流体制御機器およびこれらの流体制御機器を連通させるブロック状の継手部材（通路部材に相当）を備えているものとされることもある。
　第１および第２の通路部材は、いずれもが制御部（流量制御、開閉などの所要の制御機能を有する部分）に一体に設けられているボディであってもよく、また、いずれか一方が制御部に一体に設けられて、他方は、単独の部材（例えばブロック状の継手部材）であってもよい。
　流体制御装置の通路部材同士は、シール部材を介して結合され、シール部材は、通路部材同士がボルトによって結合されることで固定される。
　ボルトによって通路部材同士を結合するには、通常、一方の通路部材に複数のボルト挿通孔を設けるとともに、他方の通路部材に各ボルト挿通孔に対応するめねじを設けて、一方の通路部材側からボルトをねじ込むことで行われる。
　この場合に、ボルト挿通孔は、通路部材の流体通路を避けて設ける必要があり、従来では、通路部材の４隅にボルト挿通孔を形成することで、ボルト挿通孔と流体通路とが干渉することを避けていた。
　この発明のシール部材の固定構造は、流体制御装置の幅狭化を可能とするためのものであり、所要の幅、高さおよび長さを有し、幅の中央部に流体通路が設けられている流体制御装置において、従来のボルト４本を使用した通路部材同士の結合に代えて、２本のボルトによって通路部材同士を結合するものとされている。２本のボルトは、互いに逆向きとされて、突き合わせ部分における長さ方向の両端部の幅方向の中央に、それぞれ１本ずつ配置される。
　２本のボルトが互いに逆向きとされていることで、２本のボルトが同方向から締め付けている場合に比べて、ボルトが緩みにくくなり、シール部材の固定構造が振動に強いものとなる。
　流体通路の形状によっては、各通路部材に設けられている流体通路を避けた上で、その長さ方向の両端部の幅方向の中央に２つのボルト挿通孔を設けることができないことがあるが、この発明のシール部材の固定構造によると、２つのボルト挿通孔を第１通路部材および第２通路部材に１つずつ設けるようにすることで、流体通路を避けることが容易となり、これによって、２本のボルトを使用しての通路部材同士の結合が可能となる。すなわち、２本のボルトを幅方向に並べて配置するための幅が必要であった通路部材について、今回、通路部材の幅をボルトの径の２倍よりも狭くすることができ、流体制御装置の幅狭化が可能となる。
　通路部材に設けられる流体通路は、その用途に応じて、Ｉ字状、Ｌ字状、Ｖ字状、Ｕ字状などの種々の形状とされ、通路部材には、その流体通路の形状を考慮して、ボルト挿通孔およびめねじが設けられる。
　少なくとも一方の通路部材が屈曲した（例えばＬ字状の）流体通路を有していることがある。幅の中央部にＬ字状の流体通路がある場合、２本のボルトを使用しかつ流体通路を避けることが困難であるが、上記のように、２本のボルトが互いに逆向きとされることで、Ｌ字状の流体通路であっても、ボルトと流体通路とが干渉することが防止される。
　屈曲した流体通路は、突き合わせ面に開口かつ突き合わせ面に対して直交または傾斜した第１の通路と、第１の通路に直交または傾斜して突き合わせ面に直交する面に開口する第２の通路とからなるものとされる。
　シール部材は、例えばガスケットとされるが、フィルタ機能を併せ持つガスケット型フィルタとされることがあり、また、オリフィス機能を併せ持つガスケット型オリフィスとされることもある。
　ガスケット型オリフィスは、例えば、互いに嵌め合わされた第１および第２のオリフィスベース（ガスケットに相当する部分）と、これらのオリフィスベースの嵌め合わせ面間に挟持されたオリフィスプレートとからなるものとされ、両オリフィスベースの両端面が各通路部材に当接することでシール面を形成する。
　ガスケット型フィルタは、フィルタベース（ガスケットに相当する部分）と、フィルタベースに取り付けられたフィルタエレメントとからなるものとされ、フィルタベースの両端面が各通路部材に当接することでシール面を形成する。
　流体制御装置の幅狭化のために、通路部材が幅狭とされ、これに伴って、シール部材の幅も狭くされる。しかしながら、通路部材の幅狭化に伴って、ガスケット型フィルタの径を小さくすると、必要な流量を確保できないおそれがある。そこで、ガスケット型フィルタについては、その径が第１通路部材および第２通路部材の幅と同程度（または第１および第２通路部材の幅よりも大きな径）とされており、第１および第２通路部材におけるフィルタ収納凹所は、幅方向において外部に露出するように形成されていることが好ましい。このようにすることで、流量低下を防止することができる。
　第２の発明による流体制御装置におけるシール部材の固定構造において、めねじおよびこれに臨まされるボルト挿通孔が第１通路部材および第２通路部材の幅の中央部の両端部にそれぞれ１つずつ設けられており、第１通路部材に挿通されて第２通路部材のめねじにねじ合わされた第１のボルトと、第２通路部材に挿通されて第１通路部材のめねじにねじ合わされた第２のボルトとによって、第１および第２の通路部材同士が結合されることにより、シール部材が固定されていることが好ましい。
　この発明による継手は、互いに連通する流体通路を有するブロック状の第１通路部材および第２通路部材と、前記両通路部材の突き合わせ部分に介在させられたシール部材と、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士を結合する結合手段と、シール部材の固定構造とを備えている継手であって、前記シール部材の固定構造が上記いずれかに記載されている流体制御装置におけるシール部材の固定構造であるものである。
　また、この発明による流体制御装置は、互いに連通する流体通路を有するブロック状の第１通路部材および第２通路部材と、前記両通路部材の突き合わせ部分に介在させられたシール部材と、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士を結合する結合手段と、シール部材の固定構造とを備えている流体制御装置であって、前記シール部材の固定構造が上記いずれかに記載されているシール部材の固定構造であるものである。
　この発明の流体制御装置におけるシール部材の固定構造、継手および流体制御装置によると、２本のボルトを使用しての通路部材同士の結合が可能となり、流体制御装置を幅狭化することができる。また、２本のボルトが互いに逆向きとされていることで、ボルトが緩みにくいものとなる。
図１は、この発明による流体制御装置におけるシール部材の固定構造、継手および流体制御装置の第１および第２実施形態の正面断面図である。 図２は、コントロールバルブのボディの右側面図である。 図３は、出口側通路ブロックの左側面図である。 図４は、コントロールバルブのボディの左側面図である。 図５は、入口側通路ブロックの右側面図である。 図６Ａは、ガスケット型オリフィスの第１オリフィスベースの拡大図である。 図６Ｂは、ガスケット型オリフィスの第２オリフィスベースの拡大図である。 図７は、ガスケット型フィルタの拡大図である。 図８は、第２実施形態の正面図である。
(1)：流体制御装置
(2)：コントロールバルブ
(3)：入口側通路ブロック（通路部材）
(4)：出口側通路ブロック（通路部材）
(6)：ガスケット型オリフィス（シール部材）
(7)：ガスケット型フィルタ（シール部材）
(9)：ボディ（通路部材）
(11)：シール部材の固定構造
(13)：入口通路
(14)：出口通路
(15)(16)：ボルト（結合手段）
(17)：入口通路
(18)：出口通路
(34)：第１ボルト挿通孔（ボルト挿通孔）
(35)：第２ボルト挿通孔（ボルト挿通孔）
(36A)(36B)：めねじ
(40)(46)：第１ボルト挿通孔（ボルト挿通孔）
(42)(48)：めねじ
　この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、図１を正面図とし、上下は、図の上下をいうものとする。
　図１は、この発明による流体制御装置におけるシール部材の固定構造(11)が対象としている流体制御装置の１例を示すもので、流体制御装置(1)は、コントロールバルブ(2)と、コントロールバルブ(2)の入口側に設けられた入口側通路ブロック（通路部材）(3)と、コントロールバルブ(2)の出口側に設けられた出口側通路ブロック（通路部材）(4)と、コントロールバルブ(2)のボディ（通路部材）(9)に設けられた上流側圧力センサ(5)と、コントロールバルブ(2)のボディ(9)と出口側通路ブロック(4)との突き合わせ部分に設けられた流量制御用のガスケット型オリフィス(6)と、入口側通路ブロック(3)とコントロールバルブ(2)のボディ(9)との突き合わせ部分に設けられたガスケット型フィルタ(7)と、出口側通路ブロック(4)に設けられた下流側圧力センサ(8)とを備えている。
　流体制御装置(1)は、圧力式流量制御装置と称されているもので、ガスケット型オリフィス(6)の上流側圧力、あるいは上流側圧力および下流側圧力を用いてコントロールバルブ(2)の開閉によりオリフィス通過流量をフィードバック制御するようにしたものである。
　コントロールバルブ(2)は、ノーマルクローズ型のメタルダイヤフラムバルブで、ボディ(9)と、ケーシング(10)内に収容されて流体通路の開閉を行うアクチュエータ（図示略）とからなる。
　ボディ(9)は、ステンレス鋼によりブロック状に形成されており、一端が左側面（入口側通路ブロック(3)に突き合わせられる面）に開口し、他端が弁室(12)に連通する入口通路(13)と、一端が弁室(12)に連通し、他端がガスケット型オリフィス(6)を介して右側面（出口側通路ブロック(4)に突き合わせられる面）に開口する出口通路(14)とを備えている。
　入口側通路ブロック(3)および出口側通路ブロック(4)は、コントロールバルブ(2)のボディ(9)の左側および右側にそれぞれ配置されて、結合手段としての２本のボルト(15)(16)によりコントロールバルブ(2)のボディ(9)に固定されている。
　入口側通路ブロック(3)は、ステンレス鋼によりブロック状に形成されており、一端が下端に開口し、他端が右側面（コントロールバルブ(2)のボディ(9)に突き合わされる面）に開口してコントロールバルブ(2)のボディ(9)の入口通路(13)に連通するＬ字状の入口通路(17)を有している。
　入口通路(17)は、右側面（突き合わせ面）に開口して右側面に直交する第１の通路(17a)と、第１の通路(17a)に直交して下面（突き合わせ面に直交する面）に開口する第２の通路(17b)とからなる。
　出口側通路ブロック(4)は、ステンレス鋼によりブロック状に形成されており、一端が左側面（コントロールバルブ(2)のボディ(9)に突き合わされる面）に開口してコントロールバルブ(2)のボディ(9)の出口通路(14)に連通し、他端が下面（突き合わせ面に直交する面）に開口するＬ字状の出口通路(18)を有している。
　出口通路(18)は、突き合わせ面から右斜め下にのびる第１の通路(18a)と、第１の通路(18a)と鈍角をなして下面（突き合わせ面に直交する面）に開口する第２の通路(18b)とからなる。
　ボディ(9)の左側面（入口側通路ブロック(3)に突き合わされる面）および入口側通路ブロック(3)の右側面（ボディ(9)に突き合わされる面）には、それぞれ凹所が互いに対称となるように形成されており、これらの凹所によってガスケット型フィルタ(7)を収納するフィルタ収納凹所(19)が形成されている。
　ボディ(9)の右側面（出口側通路ブロック(4)に突き合わされる面）には、出口側通路ブロック(4)側に開口し、ガスケット型オリフィス(6)を収納するオリフィス収納凹所(20)が形成されている。
　上流側圧力センサ(5)は、ガスケット型オリフィス(6)の上流側圧力を検出し、下流側圧力センサ(8)は、ガスケット型オリフィス(6)の下流側圧力を検出する。
　ガスケット型オリフィス(6)は、短円筒状の第１オリフィスベース(21)と長円筒状の第２オリフィスベース(22)との嵌め合わせ面間に円板状のオリフィスプレート(23)が挟持されたものである。
　第１オリフィスベース(21)は、図６Ａに拡大して示すように、コントロールバルブ(2)のボディ(9)の出口通路(14)に連通し第１オリフィスベース(21)の左右の中央部までのびる入口側通路(21a)と、入口側通路(21a)の右端に連なって設けられた段付きの凹所(21b)とを有している。
　第２オリフィスベース(22)は、図６Ｂに拡大して示すように、段付きの左端部(22a)を有しており、この段付きの左端部(22a)が第１オリフィスベース(21)の凹所(21b)に嵌め入れられることで、第１オリフィスベース(21)と第２オリフィスベース(22)とが一体化されて、オリフィスプレート(23)を挟持している。第２オリフィスベース(22)は、第１オリフィスベース(21)の入口側通路(21a)に通じる第１通路(22b)と、第１通路(22b)に連通し第１通路(22b)よりも径が大き大きい第２通路(22c)とを有している。
　オリフィスプレート(23)は、ステンレス鋼製の極薄板材をプレス加工することにより形成されており、その中心部には、流体の高圧側（上流側）に位置するテーパ部と、テーパ部に連続して流体の低圧側（下流側）に位置するストレート部とからなるオリフィス孔（図示略）が形成されている。
　ガスケット型フィルタ(7)は、コントロールバルブ(2)のボディ(9)の入口通路(13)と入口側通路ブロック(3)の入口通路(17)との突き合せ部分に配置されてシール性を確保するとともに、フィルタ機能を果たすものである。
  図７に拡大して示すように、ガスケット型フィルタ(7)は、ボディ(9)の出口通路(14)に連通する環状のＳＵＳ３１６Ｌ－Ｐ（Ｗメルト）製のフィルタベース(24)と、フィルタベース(24)に取り付けられた円板状の焼結フィルタエレメント(25)とからなり、リテーナ(26)に保持されて、フィルタ収納凹所(19)に収納されている。
　なお、ガスケット型フィルタ(7)は、上記のものに限定されるものではなく、例えば、フィルタエレメントとして、焼結フィルタエレメント(25)に代えてステンレス鋼製の極薄円板の外周縁部を除く部分に多数の小孔をエッチングで開けることにより形成したものを使用してもよい。
　コントロールバルブ(2)のボディ(9)は、上記の入口通路(13)および出口通路(14)が形成された左右に長い直方体状の通路形成部(31)と、通路形成部(31)の下面の左端部に下方突出状に設けられた直方体状の第１ボルト挿通孔形成部(32)と、通路形成部(31)の下面の右端部に下方突出状に設けられた直方体状の第２ボルト挿通孔形成部(33)とからなる。
　第１ボルト挿通孔形成部(32)には、これを左右方向に貫通する第１ボルト挿通孔(34)が設けられており、第２ボルト挿通孔形成部(33)には、これを左右方向に貫通する第２ボルト挿通孔(35)が設けられている。通路形成部(31)の左側面には、通路形成部(31)の左側面上のフィルタ収納凹所(19)の中心に対して、第１ボルト挿通孔(34)の中心と該点対称の位置に、右方にのびるめねじ(36A)が設けられており、通路形成部(31)の右側面には、通路形成部(31)の右側面上のオリフィス収納凹所(20)の中心に対して、第２ボルト挿通孔(35)の中心と該点対称の位置に、左方にのびるめねじ(36B)が設けられている。
　入口側通路ブロック(3)は、上記のＬ字状の入口通路(17)が形成された上下に長い直方体状の通路形成部(37)と、通路形成部(37)の上面右部に設けられた第１ボルト挿通孔形成部(38)と、通路形成部(38)の左面下端部に設けられた第２ボルト挿通孔形成部(39)とからなる。第１ボルト挿通孔形成部(38)には、これを左右方向に貫通する第１ボルト挿通孔(40)が設けられており、第２ボルト挿通孔形成部(39)には、これを上下方向に貫通する第２ボルト挿通孔(41)が設けられている。通路形成部(37)の右側面中程には、通路形成部(37)の右側面上のフィルタ収納凹所(19)の中心に対して、第１ボルト挿通孔(40)の中心と該点対称の位置に、左方にのびるめねじ(42)が設けられている。
　出口側通路ブロック(4)は、上記のＬ字状の出口通路(18)が形成された直方体状の通路形成部(43)と、通路形成部(43)の上面左端部に設けられた第１ボルト挿通孔形成部(44)と、通路形成部(43)の右面下端部に設けられた第２ボルト挿通孔形成部(45)とからなる。第１ボルト挿通孔形成部(44)には、これを左右方向に貫通する第１ボルト挿通孔(46)が設けられており、第２ボルト挿通孔形成部(45)には、これを上下方向に貫通する第２ボルト挿通孔(47)が設けられている。通路形成部(43)の左側面中程には、通路形成部(43)の左側面上のオリフィス収納凹所(20)の中心に対して、第１ボルト挿通孔(46)の中心と該点対称の位置に、右方にのびるめねじ(48)が設けられている。
　図２は、コントロールバルブ(2)のボディ(9)を出口側通路ブロック(4)側から見た図で、同図に示すように、ボディ(9)の出口側通路ブロック(4)との突き合わせ面(9a)には、オリフィス収納凹所(20)と、オリフィス収納凹所(20)の上方に位置するめねじ(36B)と、オリフィス収納凹所(20)の下方に位置する第２ボルト挿通孔(35)とが露出させられている。オリフィス収納凹所(20)の中心からめねじ(36B)の中心までの距離と、オリフィス収納凹所(20)の中心から第２ボルト挿通孔(35)の中心までの距離とは等しいことが望ましい。
　図３は、出口側通路ブロック(4)をコントロールバルブ(2)のボディ(9)側から見た図で、同図に示すように、出口側通路ブロック(4)の右側面（ボディ(9)との突き合わせ面）には、オリフィス収納凹所(20)と、オリフィス収納凹所(20)の上方に位置する第１ボルト挿通孔(46)と、オリフィス収納凹所(20)の下方に位置するめねじ(48)とが露出させられている。オリフィス収納凹所(20)の中心から第１ボルト挿通孔(46)の中心までの距離と、オリフィス収納凹所(20)の中心からめねじ(48)の中心までの距離とは等しいことが望ましい。
　シール部材の固定構造(11)の第１実施形態は、シール部材がガスケット型オリフィス(6)であり、結合手段としての上下２本のボルト(15)(16)と、２つの通路部材(4)(9)、すなわち、コントロールバルブ(2)のボディ(9)および出口側通路ブロック(4)にそれぞれ形成されためねじ(36B)(48)およびボルト挿通孔(35)(46)によって形成されている。
　上側のボルト(15)は、右側から出口側通路ブロック(4)に設けられた第１ボルト挿通孔(46)に挿通されて、コントロールバルブ(2)のボディ(9)に設けられためねじ(36B)にねじ込まれている。下側のボルト(16)は、左側からコントロールバルブ(2)のボディ(9)に設けられた第２ボルト挿通孔(35)に挿通されて、出口側通路ブロック(4)に設けられためねじ(48)にねじ込まれている。
　こうして、２本のボルト(15)(16)によってコントロールバルブ(2)のボディ（第１通路部材）(9)および出口側通路ブロック（第２通路部材）(4)が結合されることにより、シール部材であるガスケット型オリフィス(6)が固定されている。
　図１、図２および図３から分かるように、このシール部材の固定構造(11)の通路部材(4)(9)の寸法については、幅が最も小さくなされており、幅の中央部に流体通路（出口通路(14)および出口通路(18)）が設けられている。そして、２本のボルト(15)(16)が互いに逆向きとされることにより、いずれのボルト(15)(16)も流体通路（出口通路(14)および出口通路(18)）と干渉することなく、シール部材であるガスケット型オリフィス(6)に均等な力が掛かる締付けが可能とされている。
　図４は、コントロールバルブ(2)のボディ(9)を入口側通路ブロック(3)側から見た図で、同図に示すように、ボディ(9)の入口側通路ブロック(3)との突き合わせ面(9b)には、フィルタ収納凹所(19)と、フィルタ収納凹所(19)の上方に位置するめねじ(36A)と、フィルタ収納凹所(19)の下方に位置する第１ボルト挿通孔(34)とが露出させられている。フィルタ収納凹所(19)の中心からめねじ(36A)の中心までの距離と、フィルタ収納凹所(19)の中心から第１ボルト挿通孔(34)の中心までの距離とは等しいことが望ましい。
　図５は、入口側通路ブロック(3)をコントロールバルブ(2)のボディ(9)側から見た図で、同図に示すように、入口側通路ブロック(3)のボディ(9)との突き合わせ面には、フィルタ収納凹所(19)と、フィルタ収納凹所(19)の上方に位置する第１ボルト挿通孔(40)と、フィルタ収納凹所(19)の下方に位置するめねじ(42)とが露出させられている。フィルタ収納凹所(19)の中心から第１ボルト挿通孔(40)の中心までの距離と、オリフィス収納凹所(20)の中心からめねじ(42)の中心までの距離とは等しいことが望ましい。
　シール部材の固定構造(11)の第２実施形態は、シール部材がガスケット型フィルタ(7)であり、結合手段としての上下２本のボルト(15)(16)と、２つの通路部材、すなわち、コントロールバルブ(2)のボディ(9)および入口側通路ブロック(3)にそれぞれ形成されためねじ(36A)(42)およびボルト挿通孔(34)(40)によって形成されている。
　上側のボルト(15)は、左側から入口側通路ブロック(3)に設けられた第１ボルト挿通孔(40)に挿通されて、コントロールバルブ(2)のボディ(9)に設けられためねじ(36A)にねじ込まれている。下側のボルト(16)は、右側からコントロールバルブ(2)のボディ(9)に設けられた第１ボルト挿通孔(34)に挿通されて、入口側通路ブロック(3)に設けられためねじ(42)にねじ込まれている。
　こうして、２本のボルト(15)(16)によってコントロールバルブ(2)のボディ（第１通路部材）(9)および入口側通路ブロック（第２通路部材）(3)が結合されることにより、シール部材であるガスケット型フィルタ(7)が固定されている。
　こうして、この実施形態においても、２本のボルト(15)(16)が互いに逆向きとされることにより、いずれのボルト(15)(16)も流体通路（入口通路(13)および入口通路(17)）と干渉することなく、シール部材であるガスケット型フィルタ(7)に均等な力が掛かる締付けが可能とされている。
　シール部材がガスケット型フィルタ(7)であるシール部材の固定構造(11)の第２実施形態において、ガスケット型フィルタ(7)の径は、幅狭とされたコントロールバルブ(2)のボディ(9)および入口側通路ブロック(3)に対応して、コントロールバルブ(2)のボディ(9)および入口側通路ブロック(3)の幅内に収まる径とされているのではなく、これらの幅よりも大きな径とされる場合がある。これに伴って、フィルタ収納凹所(19)は、幅方向において外部に露出するように形成されている。したがって、図８に示すように、このシール部材の固定構造(11)を外から見た場合、コントロールバルブ(2)のボディ(9)と入口側通路ブロック(3)との突き合わせ部分に窓(50)が形成されており、この窓(50)からガスケット型フィルタ(7)のフィルタベース(24)の一部およびリテーナ(26)の一部が露出するようになされている。
　この実施形態によると、コントロールバルブ(2)のボディ(9)および入口側通路ブロック(3)の幅狭化に応じて、ガスケット型フィルタ(7)の径を小さくすると、必要な流量を確保できないおそれがあるという問題に対し、ガスケット型フィルタ(7)の径を大きくすることができ、これにより、流量低下を防止することができる。
　なお、上記シール部材の固定構造(11)は、種々の形状とされた第１通路部材と第２通路部材とを結合する継手で使用することができる。すなわち、両通路部材の突き合わせ部分に介在させられたシール部材と、第１および第２通路部材同士を結合する結合手段と、シール部材の固定構造とを備えている継手において、シール部材の固定構造を上記のものとすることができる。
　この発明のシール部材を固定する構造によると、２本のボルトを使用しての通路部材同士の結合が可能となるので、この構造を使用した継手や流体制御装置の幅狭化が可能となり、この継手や流体制御装置を使用する半導体製造装置などの性能向上に寄与できる。

Claims (11)

  1. 　互いに連通する流体通路を有するブロック状の第１通路部材および第２通路部材と、前記両通路部材の突き合わせ部分に介在させられたシール部材と、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士を結合する結合手段とを備えている流体制御装置におけるシール部材を固定する構造であって、
    　前記各通路部材は、所要の幅、高さおよび長さを有し、幅の中央部に流体通路が設けられており、前記結合手段として２本のボルトが使用されるとともに、めねじおよびこれに臨まされるボルト挿通孔が前記第１通路部材および前記第２通路部材の幅の中央部の両端部にそれぞれ１つずつ設けられており、前記第１通路部材の前記ボルト挿通孔に挿通されて前記第２通路部材の前記めねじにねじ合わされた第１のボルトと、前記第２通路部材の前記ボルト挿通孔に挿通されて前記第１通路部材の前記めねじにねじ合わされた第２のボルトとによって、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士が結合されることにより、前記シール部材が固定されている流体制御装置におけるシール部材の固定構造。
  2. 　前記両通路部材の少なくとも一方が屈曲した流体通路を有している請求項１の流体制御装置におけるシール部材の固定構造。
  3. 　前記シール部材は、オリフィス機能を併せ持つガスケット型オリフィスとされている請求項１の流体制御装置におけるシール部材の固定構造。
  4. 　前記流体制御装置は、圧力式の流量制御装置であり、前記第１通路部材は、コントロールバルブのボディであり、前記第２通路部材は、ボディの出口側に設けられた出口側通路ブロックである請求項３の流体制御装置におけるシール部材の固定構造。
  5. 　前記シール部材は、フィルタ機能を併せ持つガスケット型フィルタとされている請求項１の流体制御装置におけるシール部材の固定構造。
  6. 　前記ガスケット型フィルタの径は、前記第１通路部材および第２通路部材の幅と同程度であり、前記第１通路部材および前記第２通路部材におけるフィルタ収納凹所は、幅方向において外部に露出するように形成されている請求項５の流体制御装置におけるシール部材の固定構造。
  7. 　前記流体制御装置は、圧力式の流量制御装置であり、前記第１通路部材は、コントロールバルブのボディであり、前記第２通路部材は、前記ボディの入口側に設けられた入口側通路ブロックである請求項５の流体制御装置におけるシール部材の固定構造。
  8. 　互いに連通する流体通路を有するブロック状の第１通路部材および第２通路部材と、前記両通路部材の突き合わせ部分に介在させられたシール部材と、前記第１通路部材および第２通路部材同士を結合する結合手段とを備えている流体制御装置におけるシール部材を固定する構造であって、
    　前記各通路部材は、所要の幅、高さおよび長さを有し、幅の中央部に流体通路が設けられており、前記結合手段として２本のボルトが使用されるとともに、前記シール部材が、ガスケット型フィルタとされ、前記ガスケット型フィルタの径は、前記第１通路部材および前記第２通路部材の幅と同程度であり、前記第１通路部材および前記第２通路部材におけるフィルタ収納凹所は、幅方向において外部に露出するように形成されている流体制御装置におけるシール部材の固定構造。
  9. 　めねじおよびこれに臨まされるボルト挿通孔が前記第１通路部材および前記第２通路部材の幅の中央部の両端部にそれぞれ１つずつ設けられており、前記第１通路部材の前記ボルト挿通孔に挿通されて前記第２通路部材の前記めねじにねじ合わされた第１のボルトと、前記第２通路部材の前記ボルト挿通孔に挿通されて前記第１通路部材の前記めねじにねじ合わされた第２のボルトとによって、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士が結合されることにより、前記シール部材が固定されている請求項８の流体制御装置におけるシール部材の固定構造。
  10. 　互いに連通する流体通路を有するブロック状の第１通路部材および第２通路部材と、前記両通路部材の突き合わせ部分に介在させられたシール部材と、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士を結合する結合手段と、シール部材の固定構造とを備えている継手であって、前記シール部材の固定構造が請求項１から９までのいずれかに記載されている流体制御装置におけるシール部材の固定構造である継手。
  11. 　互いに連通する流体通路を有するブロック状の第１通路部材および第２通路部材と、前記両通路部材の突き合わせ部分に介在させられたシール部材と、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士を結合する結合手段と、シール部材の固定構造とを備えている流体制御装置であって、前記シール部材の固定構造が請求項１から９までのいずれかに記載されているシール部材の固定構造である流体制御装置。
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