JP6899141B2 - 流体制御装置におけるシール部材の固定構造、継手および流体制御装置 - Google Patents

流体制御装置におけるシール部材の固定構造、継手および流体制御装置 Download PDF

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Description

この発明は、流体制御装置におけるシール部材の固定構造、継手および流体制御装置に関し、特に、幅狭化が望まれている流体制御装置での使用に適したシール部材の固定構造、このシール部材の固定構造を備えた継手およびこのシール部材の固定構造を備えた流体制御装置に関する。
半導体製造装置で使用される流体制御装置においては、複数の流体制御機器の通路部材同士をシール部材を介して突き合わせ、ボルトによって結合する集積化が進んでいる（例えば特許文献１）。
このような流体制御装置では、１対の通路部材同士を結合するために、通常、流体通路を避けるように通路部材の４隅にそれぞれ配置された４本のボルトによって、通路部材同士が結合されて、シール部材が固定されている。
特開２００５−１４９０７５号公報
集積化された流体制御装置においては、設置面積を小さくすることが望まれており、これに対応するために、流体制御装置を構成する通路部材の幅狭化が課題となっている。
４本のボルトを通路部材の４隅に配置することは、流体制御機器の幅狭化の障害となっており、ボルトを幅方向の中央に配置して、２本のボルトで通路部材同士を結合することが望まれる。しかしながら、２本のボルトで通路部材同士を結合するには、シール箇所に対して対称に設けられた２つのボルト挿通孔、すなわち、２つの貫通孔が必要であり、通路部材には、流体通路が設けられていることから、この流体通路を避けて２つの貫通孔を設けることが困難であるという問題がある。
この発明の目的は、２本のボルトを使用しての通路部材同士の結合を可能とした流体制御装置におけるシール部材の固定構造、継手および流体制御装置を提供することにある。
第１の発明（請求項１の発明）による流体制御装置におけるシール部材の固定構造は、互いに連通する流体通路を有するブロック状の第１通路部材および第２通路部材と、前記両通路部材の突き合わせ部分に介在させられたシール部材と、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士を結合する結合手段とを備えている流体制御装置におけるシール部材を固定する構造であって、前記各通路部材は、所要の幅、高さおよび長さを有し、幅の中央部に流体通路が設けられており、前記結合手段として２本のボルトが使用されるとともに、めねじおよびこれに臨まされるボルト挿通孔が前記第１通路部材および前記第２通路部材の幅の中央部の両端部にそれぞれ１つずつ設けられており、前記第１通路部材の前記ボルト挿通孔に挿通されて前記第２通路部材の前記めねじにねじ合わされた第１のボルトと、前記第２通路部材の前記ボルト挿通孔に挿通されて前記第１通路部材の前記めねじにねじ合わされた第２のボルトとによって、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士が結合されることにより、前記シール部材が固定されているものである。
第２の発明（請求項８の発明）による流体制御装置におけるシール部材の固定構造は、互いに連通する流体通路を有するブロック状の第１通路部材および第２通路部材と、前記両通路部材の突き合わせ部分に介在させられたシール部材と、前記第１通路部材および第２通路部材同士を結合する結合手段とを備えている流体制御装置におけるシール部材を固定する構造であって、前記各通路部材は、所要の幅、高さおよび長さを有し、幅の中央部に流体通路が設けられており、前記結合手段として２本のボルトが使用されるとともに、前記シール部材が、ガスケット型フィルタとされ、前記ガスケット型フィルタの径は、前記第１通路部材および前記第２通路部材の幅と同程度であり、前記第１通路部材および前記第２通路部材におけるフィルタ収納凹所は、幅方向において外部に露出するように形成されているものである。
流体制御装置は、例えば、流体通路が形成されたボディ（一方の通路部材に相当）に流量制御、開閉などの所要の制御部分が設けられた流体制御機器と、流体通路が形成されていて流体制御機器のボディに結合される入口側および出口側の通路ブロック（他方の通路部材に相当）とを備えているものとされる。
流体制御装置は、また、流量制御用のガスケット型オリフィスと、ガスケット型オリフィスの上流側に設けたコントロールバルブと、ガスケット型オリフィスとコントロールバルブとの間に設けられてガスケット型オリフィスの上流側圧力を検出する上流側圧力センサとを備え、上流側圧力、あるいは上流側圧力および下流側圧力を用いてコントロールバルブの開閉によりオリフィス通過流量をフィードバック制御するようにした圧力式流量制御装置とされることがある。
流体制御装置は、また、流体通路が形成されたボディ（通路部材に相当）を有する複数の流体制御機器およびこれらの流体制御機器を連通させるブロック状の継手部材（通路部材に相当）を備えているものとされることもある。
第１および第２の通路部材は、いずれもが制御部（流量制御、開閉などの所要の制御機能を有する部分）に一体に設けられているボディであってもよく、また、いずれか一方が制御部に一体に設けられて、他方は、単独の部材（例えばブロック状の継手部材）であってもよい。
流体制御装置の通路部材同士は、シール部材を介して結合され、シール部材は、通路部材同士がボルトによって結合されることで固定される。
ボルトによって通路部材同士を結合するには、通常、一方の通路部材に複数のボルト挿通孔を設けるとともに、他方の通路部材に各ボルト挿通孔に対応するめねじを設けて、一方の通路部材側からボルトをねじ込むことで行われる。
この場合に、ボルト挿通孔は、通路部材の流体通路を避けて設ける必要があり、従来では、通路部材の４隅にボルト挿通孔を形成することで、ボルト挿通孔と流体通路とが干渉することを避けていた。
この発明のシール部材の固定構造は、流体制御装置の幅狭化を可能とするためのものであり、所要の幅、高さおよび長さを有し、幅の中央部に流体通路が設けられている流体制御装置において、従来のボルト４本を使用した通路部材同士の結合に代えて、２本のボルトによって通路部材同士を結合するものとされている。２本のボルトは、互いに逆向きとされて、突き合わせ部分における長さ方向の両端部の幅方向の中央に、それぞれ１本ずつ配置される。
２本のボルトが互いに逆向きとされていることで、２本のボルトが同方向から締め付けている場合に比べて、ボルトが緩みにくくなり、シール部材の固定構造が振動に強いものとなる。
流体通路の形状によっては、各通路部材に設けられている流体通路を避けた上で、その長さ方向の両端部の幅方向の中央に２つのボルト挿通孔を設けることができないことがあるが、この発明のシール部材の固定構造によると、２つのボルト挿通孔を第１通路部材および第２通路部材に１つずつ設けるようにすることで、流体通路を避けることが容易となり、これによって、２本のボルトを使用しての通路部材同士の結合が可能となる。すなわち、２本のボルトを幅方向に並べて配置するための幅が必要であった通路部材について、今回、通路部材の幅をボルトの径の２倍よりも狭くすることができ、流体制御装置の幅狭化が可能となる。
通路部材に設けられる流体通路は、その用途に応じて、Ｉ字状、Ｌ字状、Ｖ字状、Ｕ字状などの種々の形状とされ、通路部材には、その流体通路の形状を考慮して、ボルト挿通孔およびめねじが設けられる。
少なくとも一方の通路部材が屈曲した（例えばＬ字状の）流体通路を有していることがある。幅の中央部にＬ字状の流体通路がある場合、２本のボルトを使用しかつ流体通路を避けることが困難であるが、上記のように、２本のボルトが互いに逆向きとされることで、Ｌ字状の流体通路であっても、ボルトと流体通路とが干渉することが防止される。
屈曲した流体通路は、突き合わせ面に開口かつ突き合わせ面に対して直交または傾斜した第１の通路と、第１の通路に直交または傾斜して突き合わせ面に直交する面に開口する第２の通路とからなるものとされる。
シール部材は、例えばガスケットとされるが、フィルタ機能を併せ持つガスケット型フィルタとされることがあり、また、オリフィス機能を併せ持つガスケット型オリフィスとされることもある。
ガスケット型オリフィスは、例えば、互いに嵌め合わされた第１および第２のオリフィスベース（ガスケットに相当する部分）と、これらのオリフィスベースの嵌め合わせ面間に挟持されたオリフィスプレートとからなるものとされ、両オリフィスベースの両端面が各通路部材に当接することでシール面を形成する。
ガスケット型フィルタは、フィルタベース（ガスケットに相当する部分）と、フィルタベースに取り付けられたフィルタエレメントとからなるものとされ、フィルタベースの両端面が各通路部材に当接することでシール面を形成する。
流体制御装置の幅狭化のために、通路部材が幅狭とされ、これに伴って、シール部材の幅も狭くされる。しかしながら、通路部材の幅狭化に伴って、ガスケット型フィルタの径を小さくすると、必要な流量を確保できないおそれがある。そこで、ガスケット型フィルタについては、その径が第１通路部材および第２通路部材の幅と同程度（または第１および第２通路部材の幅よりも大きな径）とされており、第１および第２通路部材におけるフィルタ収納凹所は、幅方向において外部に露出するように形成されていることが好ましい。このようにすることで、流量低下を防止することができる。
第２の発明による流体制御装置におけるシール部材の固定構造において、めねじおよびこれに臨まされるボルト挿通孔が第１通路部材および第２通路部材の幅の中央部の両端部にそれぞれ１つずつ設けられており、第１通路部材に挿通されて第２通路部材のめねじにねじ合わされた第１のボルトと、第２通路部材に挿通されて第１通路部材のめねじにねじ合わされた第２のボルトとによって、第１および第２の通路部材同士が結合されることにより、シール部材が固定されていることが好ましい。
この発明による継手は、互いに連通する流体通路を有するブロック状の第１通路部材および第２通路部材と、前記両通路部材の突き合わせ部分に介在させられたシール部材と、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士を結合する結合手段と、シール部材の固定構造とを備えている継手であって、前記シール部材の固定構造が上記いずれかに記載されている流体制御装置におけるシール部材の固定構造であるものである。
また、この発明による流体制御装置は、互いに連通する流体通路を有するブロック状の第１通路部材および第２通路部材と、前記両通路部材の突き合わせ部分に介在させられたシール部材と、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士を結合する結合手段と、シール部材の固定構造とを備えている流体制御装置であって、前記シール部材の固定構造が上記いずれかに記載されているシール部材の固定構造であるものである。
この発明の流体制御装置におけるシール部材の固定構造、継手および流体制御装置によると、２本のボルトを使用しての通路部材同士の結合が可能となり、流体制御装置を幅狭化することができる。また、２本のボルトが互いに逆向きとされていることで、ボルトが緩みにくいものとなる。
図１は、この発明による流体制御装置におけるシール部材の固定構造、継手および流体制御装置の第１および第２実施形態の正面断面図である。 図２は、コントロールバルブのボディの右側面図である。 図３は、出口側通路ブロックの左側面図である。 図４は、コントロールバルブのボディの左側面図である。 図５は、入口側通路ブロックの右側面図である。 図６Ａは、ガスケット型オリフィスの第１オリフィスベースの拡大図である。 図６Ｂは、ガスケット型オリフィスの第２オリフィスベースの拡大図である。 図７は、ガスケット型フィルタの拡大図である。 図８は、第２実施形態の正面図である。
(1)：流体制御装置
(2)：コントロールバルブ
(3)：入口側通路ブロック（通路部材）
(4)：出口側通路ブロック（通路部材）
(6)：ガスケット型オリフィス（シール部材）
(7)：ガスケット型フィルタ（シール部材）
(9)：ボディ（通路部材）
(11)：シール部材の固定構造
(13)：入口通路
(14)：出口通路
(15)(16)：ボルト（結合手段）
(17)：入口通路
(18)：出口通路
(34)：第１ボルト挿通孔（ボルト挿通孔）
(35)：第２ボルト挿通孔（ボルト挿通孔）
(36A)(36B)：めねじ
(40)(46)：第１ボルト挿通孔（ボルト挿通孔）
(42)(48)：めねじ
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、図１を正面図とし、上下は、図の上下をいうものとする。
図１は、この発明による流体制御装置におけるシール部材の固定構造(11)が対象としている流体制御装置の１例を示すもので、流体制御装置(1)は、コントロールバルブ(2)と、コントロールバルブ(2)の入口側に設けられた入口側通路ブロック（通路部材）(3)と、コントロールバルブ(2)の出口側に設けられた出口側通路ブロック（通路部材）(4)と、コントロールバルブ(2)のボディ（通路部材）(9)に設けられた上流側圧力センサ(5)と、コントロールバルブ(2)のボディ(9)と出口側通路ブロック(4)との突き合わせ部分に設けられた流量制御用のガスケット型オリフィス(6)と、入口側通路ブロック(3)とコントロールバルブ(2)のボディ(9)との突き合わせ部分に設けられたガスケット型フィルタ(7)と、出口側通路ブロック(4)に設けられた下流側圧力センサ(8)とを備えている。
流体制御装置(1)は、圧力式流量制御装置と称されているもので、ガスケット型オリフィス(6)の上流側圧力、あるいは上流側圧力および下流側圧力を用いてコントロールバルブ(2)の開閉によりオリフィス通過流量をフィードバック制御するようにしたものである。
コントロールバルブ(2)は、ノーマルクローズ型のメタルダイヤフラムバルブで、ボディ(9)と、ケーシング(10)内に収容されて流体通路の開閉を行うアクチュエータ（図示略）とからなる。
ボディ(9)は、ステンレス鋼によりブロック状に形成されており、一端が左側面（入口側通路ブロック(3)に突き合わせられる面）に開口し、他端が弁室(12)に連通する入口通路(13)と、一端が弁室(12)に連通し、他端がガスケット型オリフィス(6)を介して右側面（出口側通路ブロック(4)に突き合わせられる面）に開口する出口通路(14)とを備えている。
入口側通路ブロック(3)および出口側通路ブロック(4)は、コントロールバルブ(2)のボディ(9)の左側および右側にそれぞれ配置されて、結合手段としての２本のボルト(15)(16)によりコントロールバルブ(2)のボディ(9)に固定されている。
入口側通路ブロック(3)は、ステンレス鋼によりブロック状に形成されており、一端が下端に開口し、他端が右側面（コントロールバルブ(2)のボディ(9)に突き合わされる面）に開口してコントロールバルブ(2)のボディ(9)の入口通路(13)に連通するＬ字状の入口通路(17)を有している。
入口通路(17)は、右側面（突き合わせ面）に開口して右側面に直交する第１の通路(17a)と、第１の通路(17a)に直交して下面（突き合わせ面に直交する面）に開口する第２の通路(17b)とからなる。
出口側通路ブロック(4)は、ステンレス鋼によりブロック状に形成されており、一端が左側面（コントロールバルブ(2)のボディ(9)に突き合わされる面）に開口してコントロールバルブ(2)のボディ(9)の出口通路(14)に連通し、他端が下面（突き合わせ面に直交する面）に開口するＬ字状の出口通路(18)を有している。
出口通路(18)は、突き合わせ面から右斜め下にのびる第１の通路(18a)と、第１の通路(18a)と鈍角をなして下面（突き合わせ面に直交する面）に開口する第２の通路(18b)とからなる。
ボディ(9)の左側面（入口側通路ブロック(3)に突き合わされる面）および入口側通路ブロック(3)の右側面（ボディ(9)に突き合わされる面）には、それぞれ凹所が互いに対称となるように形成されており、これらの凹所によってガスケット型フィルタ(7)を収納するフィルタ収納凹所(19)が形成されている。
ボディ(9)の右側面（出口側通路ブロック(4)に突き合わされる面）には、出口側通路ブロック(4)側に開口し、ガスケット型オリフィス(6)を収納するオリフィス収納凹所(20)が形成されている。
上流側圧力センサ(5)は、ガスケット型オリフィス(6)の上流側圧力を検出し、下流側圧力センサ(8)は、ガスケット型オリフィス(6)の下流側圧力を検出する。
ガスケット型オリフィス(6)は、短円筒状の第１オリフィスベース(21)と長円筒状の第２オリフィスベース(22)との嵌め合わせ面間に円板状のオリフィスプレート(23)が挟持されたものである。
第１オリフィスベース(21)は、図６Ａに拡大して示すように、コントロールバルブ(2)のボディ(9)の出口通路(14)に連通し第１オリフィスベース(21)の左右の中央部までのびる入口側通路(21a)と、入口側通路(21a)の右端に連なって設けられた段付きの凹所(21b)とを有している。
第２オリフィスベース(22)は、図６Ｂに拡大して示すように、段付きの左端部(22a)を有しており、この段付きの左端部(22a)が第１オリフィスベース(21)の凹所(21b)に嵌め入れられることで、第１オリフィスベース(21)と第２オリフィスベース(22)とが一体化されて、オリフィスプレート(23)を挟持している。第２オリフィスベース(22)は、第１オリフィスベース(21)の入口側通路(21a)に通じる第１通路(22b)と、第１通路(22b)に連通し第１通路(22b)よりも径が大き大きい第２通路(22c)とを有している。
オリフィスプレート(23)は、ステンレス鋼製の極薄板材をプレス加工することにより形成されており、その中心部には、流体の高圧側（上流側）に位置するテーパ部と、テーパ部に連続して流体の低圧側（下流側）に位置するストレート部とからなるオリフィス孔（図示略）が形成されている。
ガスケット型フィルタ(7)は、コントロールバルブ(2)のボディ(9)の入口通路(13)と入口側通路ブロック(3)の入口通路(17)との突き合せ部分に配置されてシール性を確保するとともに、フィルタ機能を果たすものである。
図７に拡大して示すように、ガスケット型フィルタ(7)は、ボディ(9)の出口通路(14)に連通する環状のＳＵＳ３１６Ｌ−Ｐ（Ｗメルト）製のフィルタベース(24)と、フィルタベース(24)に取り付けられた円板状の焼結フィルタエレメント(25)とからなり、リテーナ(26)に保持されて、フィルタ収納凹所(19)に収納されている。
なお、ガスケット型フィルタ(7)は、上記のものに限定されるものではなく、例えば、フィルタエレメントとして、焼結フィルタエレメント(25)に代えてステンレス鋼製の極薄円板の外周縁部を除く部分に多数の小孔をエッチングで開けることにより形成したものを使用してもよい。
コントロールバルブ(2)のボディ(9)は、上記の入口通路(13)および出口通路(14)が形成された左右に長い直方体状の通路形成部(31)と、通路形成部(31)の下面の左端部に下方突出状に設けられた直方体状の第１ボルト挿通孔形成部(32)と、通路形成部(31)の下面の右端部に下方突出状に設けられた直方体状の第２ボルト挿通孔形成部(33)とからなる。
第１ボルト挿通孔形成部(32)には、これを左右方向に貫通する第１ボルト挿通孔(34)が設けられており、第２ボルト挿通孔形成部(33)には、これを左右方向に貫通する第２ボルト挿通孔(35)が設けられている。通路形成部(31)の左側面には、通路形成部(31)の左側面上のフィルタ収納凹所(19)の中心に対して、第１ボルト挿通孔(34)の中心と該点対称の位置に、右方にのびるめねじ(36A)が設けられており、通路形成部(31)の右側面には、通路形成部(31)の右側面上のオリフィス収納凹所(20)の中心に対して、第２ボルト挿通孔(35)の中心と該点対称の位置に、左方にのびるめねじ(36B)が設けられている。
入口側通路ブロック(3)は、上記のＬ字状の入口通路(17)が形成された上下に長い直方体状の通路形成部(37)と、通路形成部(37)の上面右部に設けられた第１ボルト挿通孔形成部(38)と、通路形成部(38)の左面下端部に設けられた第２ボルト挿通孔形成部(39)とからなる。第１ボルト挿通孔形成部(38)には、これを左右方向に貫通する第１ボルト挿通孔(40)が設けられており、第２ボルト挿通孔形成部(39)には、これを上下方向に貫通する第２ボルト挿通孔(41)が設けられている。通路形成部(37)の右側面中程には、通路形成部(37)の右側面上のフィルタ収納凹所(19)の中心に対して、第１ボルト挿通孔(40)の中心と該点対称の位置に、左方にのびるめねじ(42)が設けられている。
出口側通路ブロック(4)は、上記のＬ字状の出口通路(18)が形成された直方体状の通路形成部(43)と、通路形成部(43)の上面左端部に設けられた第１ボルト挿通孔形成部(44)と、通路形成部(43)の右面下端部に設けられた第２ボルト挿通孔形成部(45)とからなる。第１ボルト挿通孔形成部(44)には、これを左右方向に貫通する第１ボルト挿通孔(46)が設けられており、第２ボルト挿通孔形成部(45)には、これを上下方向に貫通する第２ボルト挿通孔(47)が設けられている。通路形成部(43)の左側面中程には、通路形成部(43)の左側面上のオリフィス収納凹所(20)の中心に対して、第１ボルト挿通孔(46)の中心と該点対称の位置に、右方にのびるめねじ(48)が設けられている。
図２は、コントロールバルブ(2)のボディ(9)を出口側通路ブロック(4)側から見た図で、同図に示すように、ボディ(9)の出口側通路ブロック(4)との突き合わせ面(9a)には、オリフィス収納凹所(20)と、オリフィス収納凹所(20)の上方に位置するめねじ(36B)と、オリフィス収納凹所(20)の下方に位置する第２ボルト挿通孔(35)とが露出させられている。オリフィス収納凹所(20)の中心からめねじ(36B)の中心までの距離と、オリフィス収納凹所(20)の中心から第２ボルト挿通孔(35)の中心までの距離とは等しいことが望ましい。
図３は、出口側通路ブロック(4)をコントロールバルブ(2)のボディ(9)側から見た図で、同図に示すように、出口側通路ブロック(4)の右側面（ボディ(9)との突き合わせ面）には、オリフィス収納凹所(20)と、オリフィス収納凹所(20)の上方に位置する第１ボルト挿通孔(46)と、オリフィス収納凹所(20)の下方に位置するめねじ(48)とが露出させられている。オリフィス収納凹所(20)の中心から第１ボルト挿通孔(46)の中心までの距離と、オリフィス収納凹所(20)の中心からめねじ(48)の中心までの距離とは等しいことが望ましい。
シール部材の固定構造(11)の第１実施形態は、シール部材がガスケット型オリフィス(6)であり、結合手段としての上下２本のボルト(15)(16)と、２つの通路部材(4)(9)、すなわち、コントロールバルブ(2)のボディ(9)および出口側通路ブロック(4)にそれぞれ形成されためねじ(36B)(48)およびボルト挿通孔(35)(46)によって形成されている。
上側のボルト(15)は、右側から出口側通路ブロック(4)に設けられた第１ボルト挿通孔(46)に挿通されて、コントロールバルブ(2)のボディ(9)に設けられためねじ(36B)にねじ込まれている。下側のボルト(16)は、左側からコントロールバルブ(2)のボディ(9)に設けられた第２ボルト挿通孔(35)に挿通されて、出口側通路ブロック(4)に設けられためねじ(48)にねじ込まれている。
こうして、２本のボルト(15)(16)によってコントロールバルブ(2)のボディ（第１通路部材）(9)および出口側通路ブロック（第２通路部材）(4)が結合されることにより、シール部材であるガスケット型オリフィス(6)が固定されている。
図１、図２および図３から分かるように、このシール部材の固定構造(11)の通路部材(4)(9)の寸法については、幅が最も小さくなされており、幅の中央部に流体通路（出口通路(14)および出口通路(18)）が設けられている。そして、２本のボルト(15)(16)が互いに逆向きとされることにより、いずれのボルト(15)(16)も流体通路（出口通路(14)および出口通路(18)）と干渉することなく、シール部材であるガスケット型オリフィス(6)に均等な力が掛かる締付けが可能とされている。
図４は、コントロールバルブ(2)のボディ(9)を入口側通路ブロック(3)側から見た図で、同図に示すように、ボディ(9)の入口側通路ブロック(3)との突き合わせ面(9b)には、フィルタ収納凹所(19)と、フィルタ収納凹所(19)の上方に位置するめねじ(36A)と、フィルタ収納凹所(19)の下方に位置する第１ボルト挿通孔(34)とが露出させられている。フィルタ収納凹所(19)の中心からめねじ(36A)の中心までの距離と、フィルタ収納凹所(19)の中心から第１ボルト挿通孔(34)の中心までの距離とは等しいことが望ましい。
図５は、入口側通路ブロック(3)をコントロールバルブ(2)のボディ(9)側から見た図で、同図に示すように、入口側通路ブロック(3)のボディ(9)との突き合わせ面には、フィルタ収納凹所(19)と、フィルタ収納凹所(19)の上方に位置する第１ボルト挿通孔(40)と、フィルタ収納凹所(19)の下方に位置するめねじ(42)とが露出させられている。フィルタ収納凹所(19)の中心から第１ボルト挿通孔(40)の中心までの距離と、オリフィス収納凹所(20)の中心からめねじ(42)の中心までの距離とは等しいことが望ましい。
シール部材の固定構造(11)の第２実施形態は、シール部材がガスケット型フィルタ(7)であり、結合手段としての上下２本のボルト(15)(16)と、２つの通路部材、すなわち、コントロールバルブ(2)のボディ(9)および入口側通路ブロック(3)にそれぞれ形成されためねじ(36A)(42)およびボルト挿通孔(34)(40)によって形成されている。
上側のボルト(15)は、左側から入口側通路ブロック(3)に設けられた第１ボルト挿通孔(40)に挿通されて、コントロールバルブ(2)のボディ(9)に設けられためねじ(36A)にねじ込まれている。下側のボルト(16)は、右側からコントロールバルブ(2)のボディ(9)に設けられた第１ボルト挿通孔(34)に挿通されて、入口側通路ブロック(3)に設けられためねじ(42)にねじ込まれている。
こうして、２本のボルト(15)(16)によってコントロールバルブ(2)のボディ（第１通路部材）(9)および入口側通路ブロック（第２通路部材）(3)が結合されることにより、シール部材であるガスケット型フィルタ(7)が固定されている。
こうして、この実施形態においても、２本のボルト(15)(16)が互いに逆向きとされることにより、いずれのボルト(15)(16)も流体通路（入口通路(13)および入口通路(17)）と干渉することなく、シール部材であるガスケット型フィルタ(7)に均等な力が掛かる締付けが可能とされている。
シール部材がガスケット型フィルタ(7)であるシール部材の固定構造(11)の第２実施形態において、ガスケット型フィルタ(7)の径は、幅狭とされたコントロールバルブ(2)のボディ(9)および入口側通路ブロック(3)に対応して、コントロールバルブ(2)のボディ(9)および入口側通路ブロック(3)の幅内に収まる径とされているのではなく、これらの幅よりも大きな径とされる場合がある。これに伴って、フィルタ収納凹所(19)は、幅方向において外部に露出するように形成されている。したがって、図８に示すように、このシール部材の固定構造(11)を外から見た場合、コントロールバルブ(2)のボディ(9)と入口側通路ブロック(3)との突き合わせ部分に窓(50)が形成されており、この窓(50)からガスケット型フィルタ(7)のフィルタベース(24)の一部およびリテーナ(26)の一部が露出するようになされている。
この実施形態によると、コントロールバルブ(2)のボディ(9)および入口側通路ブロック(3)の幅狭化に応じて、ガスケット型フィルタ(7)の径を小さくすると、必要な流量を確保できないおそれがあるという問題に対し、ガスケット型フィルタ(7)の径を大きくすることができ、これにより、流量低下を防止することができる。
なお、上記シール部材の固定構造(11)は、種々の形状とされた第１通路部材と第２通路部材とを結合する継手で使用することができる。すなわち、両通路部材の突き合わせ部分に介在させられたシール部材と、第１および第２通路部材同士を結合する結合手段と、シール部材の固定構造とを備えている継手において、シール部材の固定構造を上記のものとすることができる。
この発明のシール部材を固定する構造によると、２本のボルトを使用しての通路部材同士の結合が可能となるので、この構造を使用した継手や流体制御装置の幅狭化が可能となり、この継手や流体制御装置を使用する半導体製造装置などの性能向上に寄与できる。

Claims (12)

  1. 互いに連通する流体通路を有するブロック状の第１通路部材および第２通路部材と、前記両通路部材の突き合わせ部分に介在させられたシール部材と、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士を結合する結合手段とを備えている流体制御装置におけるシール部材を固定する構造であって、
    前記シール部材は、前記両通路部材のいずれか一方から他方に流れる流体に対するオリフィス機能を併せ持つガスケット型オリフィスおよび前記両通路部材のいずれか一方から他方に流れる流体に対するフィルタ機能を併せ持つガスケット型フィルタのいずれかとされており、
    前記各通路部材は、所要の幅、高さおよび長さを有し、幅の中央部に流体通路が設けられており、前記結合手段として２本のボルトが使用されるとともに、めねじおよびこれに臨まされるボルト挿通孔が前記第１通路部材および前記第２通路部材の幅の中央部の両端部にそれぞれ１つずつ設けられており、前記第１通路部材の前記ボルト挿通孔に挿通されて前記第２通路部材の前記めねじにねじ合わされた第１のボルトと、前記第２通路部材の前記ボルト挿通孔に挿通されて前記第１通路部材の前記めねじにねじ合わされた第２のボルトとによって、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士が結合されることにより、前記シール部材が固定されている、流体制御装置におけるシール部材の固定構造。
  2. 前記両通路部材の少なくとも一方が屈曲した流体通路を有している、請求項１の流体制御装置におけるシール部材の固定構造。
  3. 前記シール部材は、オリフィス機能を併せ持つガスケット型オリフィスとされている、請求項１の流体制御装置におけるシール部材の固定構造。
  4. 前記流体制御装置は、圧力式の流量制御装置であり、前記第１通路部材は、コントロールバルブのボディであり、前記第２通路部材は、ボディの出口側に設けられた出口側通路ブロックである、請求項３の流体制御装置におけるシール部材の固定構造。
  5. 前記シール部材は、フィルタ機能を併せ持つガスケット型フィルタとされている、請求項１の流体制御装置におけるシール部材の固定構造。
  6. 前記ガスケット型フィルタの径は、前記第１通路部材および第２通路部材の幅と同程度であり、前記第１通路部材および前記第２通路部材におけるフィルタ収納凹所は、幅方向において外部に露出するように形成されている、請求項５の流体制御装置におけるシール部材の固定構造。
  7. 前記流体制御装置は、圧力式の流量制御装置であり、前記第１通路部材は、コントロールバルブのボディであり、前記第２通路部材は、前記ボディの入口側に設けられた入口側通路ブロックである、請求項５の流体制御装置におけるシール部材の固定構造。
  8. 互いに連通する流体通路を有するブロック状の第１通路部材および第２通路部材と、前記両通路部材の突き合わせ部分に介在させられたシール部材と、前記第１通路部材および第２通路部材同士を結合する結合手段とを備えている流体制御装置におけるシール部材を固定する構造であって、
    前記各通路部材は、所要の幅、高さおよび長さを有し、幅の中央部に流体通路が設けられており、前記結合手段として２本のボルトが使用されるとともに、前記シール部材が、ガスケット型フィルタとされ、前記ガスケット型フィルタの径は、前記第１通路部材および前記第２通路部材の幅と同程度であり、前記第１通路部材および前記第２通路部材におけるフィルタ収納凹所は、幅方向において外部に露出するように形成されており、
    シール部材の固定構造を外から見た場合、前記第１通路部材と前記第２通路部材との突き合わせ部分に窓が形成されており、この窓からガスケット型フィルタの一部が露出するようになされている、流体制御装置におけるシール部材の固定構造。
  9. めねじおよびこれに臨まされるボルト挿通孔が前記第１通路部材および前記第２通路部材の幅の中央部の両端部にそれぞれ１つずつ設けられており、前記第１通路部材の前記ボルト挿通孔に挿通されて前記第２通路部材の前記めねじにねじ合わされた第１のボルトと、前記第２通路部材の前記ボルト挿通孔に挿通されて前記第１通路部材の前記めねじにねじ合わされた第２のボルトとによって、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士が結合されることにより、前記シール部材が固定されている、請求項８の流体制御装置におけるシール部材の固定構造。
  10. 互いに連通する流体通路を有するブロック状の第１通路部材および第２通路部材と、前記両通路部材の突き合わせ部分に介在させられたシール部材と、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士を結合する結合手段とを備えている流体制御装置におけるシール部材を固定する構造であって、
    前記各通路部材は、所要の幅、高さおよび長さを有し、幅の中央部に流体通路が設けられており、前記結合手段として２本のボルトが使用されるとともに、めねじおよびこれに臨まされるボルト挿通孔が前記第１通路部材および前記第２通路部材の幅の中央部の両端部にそれぞれ１つずつ設けられており、前記第１通路部材の前記ボルト挿通孔に挿通されて前記第２通路部材の前記めねじにねじ合わされた第１のボルトと、前記第２通路部材の前記ボルト挿通孔に挿通されて前記第１通路部材の前記めねじにねじ合わされた第２のボルトとによって、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士が結合されることにより、前記シール部材が固定されており、
    前記シール部材の径は、前記第１通路部材および前記第２通路部材の幅と同程度であり、前記第１通路部材および前記第２通路部材におけるシール部材収納凹所は、幅方向において外部に露出するように形成されており、
    シール部材の固定構造を外から見た場合、前記第１通路部材と前記第２通路部材との突き合わせ部分に窓が形成されており、この窓からシール部材の一部が露出するようになされている、流体制御装置におけるシール部材の固定構造。
  11. 互いに連通する流体通路を有するブロック状の第１通路部材および第２通路部材と、前記両通路部材の突き合わせ部分に介在させられたシール部材と、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士を結合する結合手段と、シール部材の固定構造とを備えている継手であって、前記シール部材の固定構造が請求項１から１０までのいずれかに記載されている流体制御装置におけるシール部材の固定構造である、継手。
  12. 互いに連通する流体通路を有するブロック状の第１通路部材および第２通路部材と、前記両通路部材の突き合わせ部分に介在させられたシール部材と、前記第１通路部材および前記第２通路部材同士を結合する結合手段と、シール部材の固定構造とを備えている流体制御装置であって、前記シール部材の固定構造が請求項１から１０までのいずれかに記載されているシール部材の固定構造である、流体制御装置。
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