CN107532740A - 流体控制装置中的密封部件的固定构造、接头及流体控制装置 - Google Patents

流体控制装置中的密封部件的固定构造、接头及流体控制装置 Download PDF

Info

Publication number
CN107532740A
CN107532740A CN201680019404.2A CN201680019404A CN107532740A CN 107532740 A CN107532740 A CN 107532740A CN 201680019404 A CN201680019404 A CN 201680019404A CN 107532740 A CN107532740 A CN 107532740A
Authority
CN
China
Prior art keywords
passage components
seal member
passage
control device
fluid control
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201680019404.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107532740B (zh
Inventor
执行耕平
广濑隆
西野功二
土肥亮介
安本直史
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujikin Inc
Original Assignee
Fujikin Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujikin Inc filed Critical Fujikin Inc
Publication of CN107532740A publication Critical patent/CN107532740A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107532740B publication Critical patent/CN107532740B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L23/00—Flanged joints
    • F16L23/02—Flanged joints the flanges being connected by members tensioned axially
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B1/00—Devices for securing together, or preventing relative movement between, constructional elements or machine parts
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
    • F16K27/0236—Diaphragm cut-off apparatus
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L23/00—Flanged joints
    • F16L23/16—Flanged joints characterised by the sealing means
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B33/00—Features common to bolt and nut
    • F16B33/004—Sealing; Insulation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B5/00—Joining sheets or plates, e.g. panels, to one another or to strips or bars parallel to them
    • F16B5/02—Joining sheets or plates, e.g. panels, to one another or to strips or bars parallel to them by means of fastening members using screw-thread

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Valve Housings (AREA)
  • Branch Pipes, Bends, And The Like (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

各通路部件(3、4、9)具有所需的宽度、高度和长度，在宽度中央部设有流体通路(13、14、17、18)。作为结合机构而使用两根螺栓(15、16)。在各通路部件(3、4、9)的宽度中央部的两端部上分别各设有一个内螺纹(36A、36B、42、48)及与该内螺纹相对的螺栓穿插孔(34、35、40、47)。上侧的螺栓(15)穿插于一个通路部件(3、4)中并与另一个通路部件(9)的内螺纹(36A、36B)螺合。下侧的螺栓(16)穿插于另一个通路部件(9)中并与一个通路部件(3、4)的内螺纹(42、44)螺合。通过利用上下两根螺栓(15、16)使通路部件彼此结合，密封部件(6、7)被固定。

Description

流体控制装置中的密封部件的固定构造、接头及流体控制 装置
技术领域
本发明涉及流体控制装置中的密封部件的固定构造、接头及流体控制装置，特别涉及适合在要求窄幅化的流体控制装置中使用的密封部件的固定构造、具有该密封部件的固定构造的接头及具有该密封部件的固定构造的流体控制装置。
背景技术
在半导体制造装置所使用的流体控制装置中，将多个流体控制设备的通路部件彼此隔着密封部件对接并利用螺栓使之结合的集成化不断发展(例如专利文献1)。
在这种流体控制装置中，为了将一对通路部件彼此结合，通常利用以避开流体通路的方式分别配置在通路部件的四个角部的四根螺栓将通路部件相互结合，从而将密封部件固定。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2005－149075号公报
发明内容
对于集成化的流体控制装置而言希望减小设置面积，而为了应对该需求，构成流体控制装置的通路部件的窄幅化成为课题。
将四根螺栓配置在通路部件四个角部会妨碍流体控制设备的窄幅化，从而希望将螺栓配置在宽度方向的中央，使用两根螺栓将通路部件彼此结合。但问题在于，利用两根螺栓将通路部件彼此结合需要相对于密封部位对称设置的两个螺栓穿插孔即两个贯穿孔，由于通路部件中设有流体通路，从而很难避开该流体通路而设置两个贯穿孔。
本发明的目的在于提供一种能够使用两根螺栓实现通路部件彼此的结合的流体控制装置中的密封部件的固定构造、接头及流体控制装置。
第1发明(技术方案1的发明)的流体控制装置中的密封部件的固定构造对流体控制装置中的密封部件进行固定，该流体控制装置包括：块状的第1通路部件和块状的第2通路部件，其具有相互连通的流体通路；密封部件，其夹设在所述第1通路部件和所述第2通路部件相对接的对接部分；以及结合机构，其将所述第1通路部件和所述第2通路部件彼此结合，在所述流体控制装置中的密封部件的固定构造中，所述第1通路部件和所述第2通路部件具有所需的宽度、高度及长度，在宽度中央部设有流体通路，作为所述结合机构而使用两根螺栓，并且，在所述第1通路部件和所述第2通路部件的宽度中央部的两端部上分别各设有一个内螺纹及与该内螺纹相对的螺栓穿插孔，通过穿插于所述第1通路部件的所述螺栓穿插孔中并与所述第2通路部件的所述内螺纹螺合的第1螺栓、和穿插于所述第2通路部件的所述螺栓穿插孔中并与所述第1通路部件的所述内螺纹螺合的第2螺栓，使所述第1通路部件和所述第2通路部件彼此结合，从而所述密封部件被固定。
第2发明(技术方案8的发明)的流体控制装置中的密封部件的固定构造对流体控制装置中的密封部件进行固定，该流体控制装置包括：块状的第1通路部件和块状的第2通路部件，其具有相互连通的流体通路；密封部件，其夹设在所述第1通路部件与所述第2通路部件相对接的对接部分；以及结合机构，其将所述第1通路部件和第2通路部件彼此结合，在所述流体控制装置中的密封部件的固定构造中，所述第一通路部件和所述第二通路部件具有所需的宽度、高度及长度，在宽度中央部设有流体通路，作为所述结合机构而使用两根螺栓，并且，所述密封部件是垫圈型过滤器，所述垫圈型过滤器的直径与所述第1通路部件及所述第2通路部件的宽度为相同程度，所述第1通路部件及所述第2通路部件上的过滤器收纳凹部在宽度方向上露出于外部。
流体控制装置例如包括：流体控制设备，其在形成有流体通路的主体(与一个通路部件相当)上设有流量控制、开闭等所需要的控制部分；和入口侧通路块及出口侧通路块(与另一个通路部件相当)，其形成有流体通路且与流体控制设备的主体相结合。
另外，流体控制装置有时采用压力式流量控制装置，其包括流量控制用的垫圈型节流孔、设置于垫圈型节流孔上游侧的控制阀、以及设置在垫圈型节流孔与控制阀之间且用于检测垫圈型节流孔的上游侧压力的上游侧压力传感器，该压力式流量控制装置使用上游侧压力、或者使用上游侧压力和下游侧压力，通过控制阀的开闭对节流孔通过流量进行反馈控制。
另外，流体控制装置也可以是包括多个流体控制设备和块状的接头部件(与通路部件相当)的装置，该多个流体控制设备具有形成有流体通路的主体(与通路部件相当)，该接头部件使上述多个流体控制设备相连通。
第1通路部件和第2通路部件可以是二者均一体设置于控制部(设有流量控制、开闭等所需要的控制功能的部分)的主体，也可以是某一个通路部件一体设置于控制部，另一个通路部件为独立的部件(例如块状的接头部件)。
流体控制装置的通路部件彼此经由密封部件而结合，密封部件通过利用螺栓使通路部件彼此结合而被固定。
对于利用螺栓使通路部件彼此结合，通常在一个通路部件上设置多根螺栓穿插孔，并且在另一个通路部件上设置与各螺栓穿插孔对应的内螺纹，通过从一个通路部件侧旋入螺栓来进行上述结合。
在这种情况下，螺栓穿插孔必须避开通路部件的流体通路来设置，现有技术中通过将螺栓穿插孔形成在通路部件的四个角部来避免螺栓穿插孔与流体通路干涉。
本发明的密封部件的固定构造用于使得能够实现流体控制装置的窄幅化，在具有所需的宽度、高度和长度且在宽度中央部设有流体通路的流体控制装置中，代替现有的使用四根螺栓进行的通路部件彼此的结合而通过两根螺栓将通路部件彼此结合。两根螺栓的朝向彼此相反，在对接部分中的长度方向的两端部的宽度方向中央分别各配置一根螺栓。
通过使两根螺栓的朝向彼此相反，与两根螺栓从同一方向紧固的情况相比，螺栓不易松弛，从而密封部件的固定构造耐振动。
根据流体通路的形状不同，存在避开了在各通路部件上设置的流体通路后无法在通路部件的长度方向两端部的宽度方向中央设置两个螺栓穿插孔的情况，但根据本发明的密封部件的固定构造，通过将两个螺栓穿插孔在第1通路部件和第2通路部件上各设置一个，从而容易避开流体通路，由此能够使用两根螺栓实现通路部件彼此的结合。即，对于需要具有用于将两根螺栓沿宽度方向排列配置的宽度的通路部件，本发明能够将通路部件的宽度设为比螺栓直径的两倍窄，能够实现流体控制装置的窄幅化。
设置于通路部件的流体通路根据其用途而设为I字状、L字状、V字状、U字状等各种形状，能够考虑该流体通路的形状而在通路部件上设置螺栓穿插孔和内螺纹。
存在至少一个通路部件具有弯曲的(例如L字状的)流体通路的情况。在宽度中央部存在L字状的流体通路的情况下，很难在使用两根螺栓时避开流体通路，但通过按照上述方式使两根螺栓的朝向彼此相反，即使是L字状的流体通路也能够防止螺栓与流体通路干涉。
弯曲的流体通路由在对接面上开口并且相对于对接面正交或倾斜的第1通路、和相对于第1通路正交或倾斜并在与对接面正交的面上开口的第2通路构成。
密封部件采用例如垫圈，有时采用兼具有过滤器功能的垫圈型过滤器，另外，还有时采用兼具有节流孔的垫圈型节流孔。
垫圈型节流孔例如由相互嵌合的第1节流孔基座和第2节流孔基座(与垫圈相当的部分)以及夹设在上述第1节流孔基座和第2节流孔基座之间的节流孔板构成，通过使两个节流孔基座的两端面与各通路部件抵接而形成密封面。
垫圈型过滤器采用包括过滤器基座(与垫圈相当的部分)和安装在过滤器基座上的过滤元件的构造，通过使过滤器基座的两端面与各通路部件抵接而形成密封面。
为了实现流体控制装置的窄幅化，减小通路部件的宽度，相应地，密封部件的宽度也减小。但是，在伴随通路部件的窄幅化而减小垫圈型过滤器直径的情况下，可能难以确保所需的流量。因此，对于垫圈型过滤器，优选其直径与第1通路部件及第2通路部件的宽度为相同程度(或者是比第1通路部件及第2通路部件的宽度大的直径)，第1通路部件和第2通路部件上的过滤器收纳凹部在宽度方向上露出于外部。由此能够防止流量不足。
对于第2发明的流体控制装置中的密封部件的固定构造，优选的是，在第1通路部件和第2通路部件的宽度中央部的两端部上分别各设有一个内螺纹及与该内螺纹相对的螺栓穿插孔，通过穿插于第1通路部件中并与第2通路部件的内螺纹螺合的第1螺栓、和穿插于第2通路部件中并与第1通路部件的内螺纹螺合的第2螺栓，使第1通路部件和第2通路部件彼此结合，从而密封部件被固定。
本发明的接头包括：块状的第1通路部件和块状的第2通路部件，其具有相互连通的流体通路；密封部件，其夹设在所述第1通路部件和所述第2通路部件相对接的对接部分；结合机构，其将所述第1通路部件和所述第2通路部件彼此结合；以及密封部件的固定构造，在所述接头中，所述密封部件的固定构造以上任一项所记载的流体控制装置中的密封部件的固定构造。
另外，本发明的流体控制装置包括：块状的第1通路部件和块状的第2通路部件，其具有相互连通的流体通路；密封部件，其夹设在所述第1通路部件和所述第2通路部件相对接的对接部分；结合机构，其将所述第1通路部件和所述第2通路部件彼此结合；以及密封部件的固定构造，在所述流体控制装置中，所述密封部件的固定构造是以上任一项所述的密封部件的固定构造。
发明的效果
根据本发明的流体控制装置中的密封部件的固定构造、接头及流体控制装置，能够使用两根螺栓实现通路部件彼此的结合，能够实现流体控制装置的窄幅化。另外，通过使两根螺栓的朝向彼此相反，能够使得螺栓不易松弛。
附图说明
图1是本发明的流体控制装置中的密封部件的固定构造、接头及流体控制装置的第1和第2实施方式的正面剖视图。
图2是控制阀的主体的右侧视图。
图3是出口侧通路块的左侧视图。
图4是控制阀的主体的左侧视图。
图5是入口侧通路块的右侧面图。
图6A是垫圈型节流孔的第1节流孔基座的放大图。
图6B是垫圈型节流孔的第2节流孔基座的放大图。
图7是垫圈型过滤器的放大图。
图8是第2实施方式的主视图。
附图标记说明
(1)：流体控制装置
(2)：控制阀
(3)：入口侧通路块(通路部件)
(4)：出口侧通路块(通路部件)
(6)：垫圈型节流孔(密封部件)
(7)：垫圈型过滤器(密封部件)
(9)：主体(通路部件)
(11)：密封部件的固定构造
(13)：入口通路
(14)：出口通路
(15)(16)：螺栓(结合机构)
(17)：入口通路
(18)：出口通路
(34)：第1螺栓穿插孔(螺栓穿插孔)
(35)：第2螺栓穿插孔(螺栓穿插孔)
(36A)(36B)：内螺纹
(40)(46)：第1螺栓穿插孔(螺栓穿插孔)
(42)(48)：内螺纹
具体实施方式
以下参照附图说明本发明的实施方式。在以下说明中，将图1作为主视图，上下是指图的上下。
图1示出以本发明的流体控制装置中的密封部件的固定构造(11)为对象的流体控制装置的一个例子，流体控制装置(1)包括控制阀(2)、设置在控制阀(2)入口侧的入口侧通路块(通路部件)(3)、设置在控制阀(2)出口侧的出口侧通路块(通路部件)(4)、设置在控制阀(2)的主体(通路部件)(9)上的上游侧压力传感器(5)、设置在控制阀(2)的主体(9)与出口侧通路块(4)相对接的对接部分处的流量控制用的垫圈型节流孔(6)、设置在入口侧通路块(3)与控制阀(2)的主体(9)相对接的对接部分处的垫圈型过滤器(7)、以及设置在出口侧通路块(4)上的下游侧压力传感器(8)。
流体控制装置(1)被称为压力式流量控制装置，其使用垫圈型节流孔(6)的上游侧压力、或者使用垫圈型节流孔(6)的上游侧压力及下游侧压力，通过控制阀(2)的开闭来对节流孔通过流量进行反馈控制。
控制阀(2)是常闭型的金属隔膜阀，包括主体(9)和收纳在外壳(10)内且进行流体通路的开闭的致动器(省略图示)。
主体(9)由不锈钢形成为块状，具有入口通路(13)和出口通路(14)，该入口通路(13)的一端在左侧面(与入口侧通路块(3)对接的面)上开口，另一端与阀室(12)连通，该出口通路(14)的一端与阀室(12)连通，另一端经由垫圈型节流孔(6)在右侧面(与出口侧通路块(4)对接的面)上开口。
入口侧通路块(3)和出口侧通路块(4)分别配置在控制阀(2)的主体(9)的左侧和右侧，通过作为结合机构的两根螺栓(15)(16)固定于控制阀(2)的主体(9)。
入口侧通路块(3)由不锈钢形成为块状，具有L字状的入口通路(17)，该入口通路(17)的一端在下端开口，另一端在右侧面(与控制阀(2)的主体(9)对接的面)上开口并与控制阀(2)的主体(9)的入口通路(13)连通。
入口通路(17)由在右侧面(对接面)上开口并与右侧面正交的第1通路(17a)、和与第1通路(17a)正交并在下表面(与对接面正交的面)上开口的第2通路(17b)构成。
出口侧通路块(4)由不锈钢形成为块状，具有L字状的出口通路(18)，该出口通路(18)的一端在左侧面(与控制阀(2)的主体(9)对接的面)上开口并与控制阀(2)的主体(9)的出口通路(14)连通，另一端在下表面(与对接面正交的面)上开口。
出口通路(18)由从对接面朝向右斜下方延伸的第1通路(18a)、和与第1通路(18a)之间形成钝角并在下表面(与对接面正交的面)上开口的第2通路(18b)构成。
在主体(9)的左侧面(与入口侧通路块(3)对接的面)和入口侧通路块(3)的右侧面(与主体(9)对接的面)上分别以使凹部相互对称的方式形成有凹部，通过这些凹部形成用于收纳垫圈型过滤器(7)的过滤器收纳凹部(19)。
在主体(9)的右侧面(与出口侧通路块(4)对接的面)上形成有节流孔收纳凹部(20)，该节流孔收纳凹部(20)在出口侧通路块(4)侧开口，用于收纳垫圈型节流孔(6)。
上游侧压力传感器(5)用于检测垫圈型节流孔(6)的上游侧压力，下游侧压力传感器(8)用于检测垫圈型节流孔(6)的下游侧压力。
垫圈型节流孔(6)形成为，在短圆筒状的第1节流孔基座(21)和长圆筒状的第2节流孔基座(22)相嵌合的嵌合面之间夹持有圆板状的节流孔板(23)。
如图6A放大所示，第1节流孔基座(21)具有入口侧通路(21a)和带层差的凹部(21b)，该入口侧通路(21a)与控制阀(2)的主体(9)的出口通路(14)连通，并延伸至第1节流孔基座(21)的左右中央部，该带层差的凹部(21b)与入口侧通路(21a)的右端相连地设置。
如图6B放大所示，第2节流孔基座(22)具有带层差的左端部(22a)，通过将该带层差的左端部(22a)嵌入于第1节流孔基座(21)的凹部(21b)，从而第1节流孔基座(21)与第2节流孔基座(22)一体化，并夹持节流孔板(23)。第2节流孔基座(22)具有与第1节流孔基座(21)的入口侧通路(21a)连通的第1通路(22b)、和与第1通路(22b)连通且直径比第1通路(22b)的直径大的第2通路(22c)。
节流孔板(23)通过对不锈钢制的极薄板材进行冲压加工而形成，在其中心部形成有由位于流体的高压侧(上游侧)的锥形部和与锥形部连续且位于流体的低压侧(下游侧)的直线部构成的节流孔(省略图示)。
垫圈型过滤器(7)配置在控制阀(2)的主体(9)的入口通路(13)与入口侧通路块(3)的入口通路(17)相对接的对接部分，用于确保密封性以及实现过滤功能。
如图7放大所示，垫圈型过滤器(7)包括与主体(9)的出口通路(14)连通的环状的SUS316L－P(二次重熔，日语：Wメルト)制的过滤器基座(24)、和安装于过滤器基座(24)的圆板状的烧结过滤元件(25)，该垫圈型过滤器(7)由保持件(26)保持，收纳在过滤器收纳凹部(19)中。
需要说明的是，垫圈型过滤器(7)并不限定于上述构造，例如作为过滤元件也可以取代烧结过滤元件(25)而使用通过在不锈钢制的极薄圆板的除了外周缘部以外的部分上利用蚀刻开设多个小孔而形成的部件。
控制阀(2)的主体(9)包括：左右较长的长方体状的通路形成部(31)，其形成有上述入口通路(13)和上述出口通路(14)；长方体状的第1螺栓穿插孔形成部(32)，其以向下突出状设置在通路形成部(31)的下表面的左端部；以及长方体状的第2螺栓穿插孔形成部(33)，其以向下突出状设置在通路形成部(31)的下表面的右端部。
在第1螺栓穿插孔形成部(32)上形成有将该第1螺栓穿插孔形成部(32)沿着左右方向贯穿的第1螺栓穿插孔(34)，在第2螺栓穿插孔形成部(33)上形成有将该第2螺栓穿插孔形成部(33)沿着左右方向贯穿的第2螺栓穿插孔(35)。在通路形成部(31)的左侧面上，在相对于通路形成部(31)的左侧面上的过滤器收纳凹部(19)的中心而与第1螺栓穿插孔(34)的中心成为点对称的位置设有向右方延伸的内螺纹(36A)，在通路形成部(31)的右侧面上，在相对于通路形成部(31)的右侧面上的节流孔收纳凹部(20)的中心而与第2螺栓穿插孔(35)的中心成为点对称的位置设有向左方延伸的内螺纹(36B)。
入口侧通路块(3)包括形成有上述L字状的入口通路(17)的上下较长的长方体状的通路形成部(37)、设于通路形成部(37)的上表面右侧部的第1螺栓穿插孔形成部(38)、以及设于通路形成部(38)的左侧面下端部的第2螺栓穿插孔形成部(39)。在第1螺栓穿插孔形成部(38)上设有将该第1螺栓穿插孔形成部(38)沿着左右方向贯穿的第1螺栓穿插孔(40)，在第2螺栓穿插孔形成部(39)上形成有将该第2螺栓穿插孔形成部(39)沿着上下方向贯穿的第2螺栓穿插孔(41)。在通路形成部(37)的右侧面中部，在相对于通路形成部(37)的右侧面上的过滤器收纳凹部(19)的中心而与第1螺栓穿插孔(40)的中心成为点对称的位置设有向左方延伸的内螺纹(42)。
出口侧通路块(4)包括形成有上述L字状的出口通路(18)的长方体状的通路形成部(43)、设于通路形成部(43)的上表面左端部的第1螺栓穿插孔形成部(44)、以及设于通路形成部(43)的右侧面下端部的第2螺栓穿插孔形成部(45)。在第1螺栓穿插孔形成部(44)上设有将该第1螺栓穿插孔形成部(44)沿着左右方向贯穿的第1螺栓穿插孔(46)，在第2螺栓穿插孔形成部(45)上设有将该第2螺栓穿插孔形成部(45)沿着上下方向贯穿的第2螺栓穿插孔(47)。在通路形成部(43)的左侧面中部，在相对于通路形成部(43)的左侧面上的节流孔收纳凹部(20)的中心而与第1螺栓穿插孔(46)的中心成为点对称的位置设有向右方延伸的内螺纹(48)。
图2是从出口侧通路块(4)侧观察控制阀(2)的主体(9)的图，如该图所示，节流孔收纳凹部(20)、位于节流孔收纳凹部(20)上方的内螺纹(36B)、和位于节流孔收纳凹部(20)下方的第2螺栓穿插孔(35)在主体(9)的与出口侧通路块(4)相对接的对接面(9a)上露出。期望从节流孔收纳凹部(20)的中心到内螺纹(36B)的中心的距离与从节流孔收纳凹部(20)的中心到第2螺栓穿插孔(35)的中心的距离相等。
图3是从控制阀(2)的主体(9)侧观察出口侧通路块(4)的图，如该图所示，节流孔收纳凹部(20)、位于节流孔收纳凹部(20)上方的第1螺栓穿插孔(46)、和位于节流孔收纳凹部(20)下方的内螺纹(48)在出口侧通路块(4)的右侧面(与主体(9)相对接的对接面)上露出。期望从节流孔收纳凹部(20)的中心到第1螺栓穿插孔(46)的中心的距离与从节流孔收纳凹部(20)的中心到内螺纹(48)的中心的距离相等。
在密封部件的固定构造(11)的第1实施方式中，密封部件为垫圈型节流孔(6)，该固定构造(11)由作为结合机构的上下两根螺栓(15)(16)、和分别形成在两个通路部件(4)(9)、即控制阀(2)的主体(9)及出口侧通路块(4)上的内螺纹(36B)(48)及螺栓穿插孔(35)(46)形成。
上侧的螺栓(15)从右侧穿插于设置在出口侧通路块(4)上的第1螺栓穿插孔(46)中，并旋入在控制阀(2)的主体(9)上设置的内螺纹(36B)中。下侧的螺栓(16)从左侧穿插于设置在控制阀(2)的主体(9)上的第2螺栓穿插孔(35)中，并旋入在出口侧通路块(4)上设置的内螺纹(48)中。
如上所述，通过两根螺栓(15)(16)将控制阀(2)的主体(第1通路部件)(9)和出口侧通路块(第2通路部件)(4)结合，由此，作为密封部件的垫圈型节流孔(6)被固定。
根据图1、图2及图3可知，该密封部件的固定构造(11)的通路部件(4)(9)的宽度尺寸被设为最小，并在宽度的中央部设置有流体通路(出口通路(14)和出口通路(18))。并且，通过将两根螺栓(15)(16)的朝向设为彼此相反，从而任何一根螺栓(15)(16)均不会与流体通路(出口通路(14)和出口通路(18))干涉，能够实现对作为密封部件的垫圈型节流孔(6)施加均等的力的紧固。
图4是从入口侧通路块(3)侧观察控制阀(2)的主体(9)的图，如该图所示，过滤器收纳凹部(19)、位于过滤器收纳凹部(19)上方的内螺纹(36A)、和位于过滤器收纳凹部(19)下方的第1螺栓穿插孔(34)在主体(9)的与入口侧通路块(3)相对接的对接面(9b)上露出。期望从过滤器收纳凹部(19)的中心到内螺纹(36A)的中心的距离与从过滤器收纳凹部(19)的中心到第1螺栓穿插孔(34)的中心的距离相等。
图5是从控制阀(2)的主体(9)侧观察入口侧通路块(3)的图，如该图所示，过滤器收纳凹部(19)、位于过滤器收纳凹部(19)上方的第1螺栓穿插孔(40)、和位于过滤器收纳凹部(19)下方的内螺纹(42)在入口侧通路块(3)的与主体(9)相对接的对接面上露出。期望从过滤器收纳凹部(19)的中心到第1螺栓穿插孔(40)的中心的距离与从节流孔收纳凹部(20)的中心到内螺纹(42)的中心的距离相等。
在密封部件的固定构造(11)的第2实施方式中，密封部件是垫圈型过滤器(7)，该固定构造(11)由作为结合机构的上下两根螺栓(15)(16)、和分别形成在两个通路部件、即控制阀(2)的主体(9)及入口侧通路块(3)上的内螺纹(36A)(42)及螺栓穿插孔(34)(40)形成。
上侧的螺栓(15)从左侧穿插于设置在入口侧通路块(3)上的第1螺栓穿插孔(40)中，并旋入在控制阀(2)的主体(9)上设置的内螺纹(36A)中。下侧的螺栓(16)从右侧穿插于设置在控制阀(2)的主体(9)上的第1螺栓穿插孔(34)中，并旋入在入口侧通路块(3)上设置的内螺纹(42)中。
如上所述，通过两根螺栓(15)(16)将控制阀(2)的主体(第1通路部件)(9)和入口侧通路块(第2通路部件)(3)结合，由此，作为密封部件的垫圈型过滤器(7)被固定。
如上所述，在本实施方式中也同样地，通过将两根螺栓(15)(16)的朝向设为彼此相反，从而任何一根螺栓(15)(16)均不会与流体通路(入口通路(13)和入口通路(17))干涉，能够实现对作为密封部件的垫圈型过滤器(7)施加均等的力的紧固。
在密封部件为垫圈型过滤器(7)的密封部件的固定构造(11)的第2实施方式中，存在以下情况：垫圈型过滤器(7)的直径并未对应于控制阀(2)的窄幅的主体(9)和窄幅的入口侧通路块(3)而设为处于控制阀(2)的主体(9)和入口侧通路块(3)的宽度范围内的大小，而是设为比二者的宽度大的直径。相应地，过滤器收纳凹部(19)形成为在宽度方向上露出于外部。因此，如图8所示，在从外部观察该密封部件的固定构造(11)时，在控制阀(2)的主体(9)与入口侧通路块(3)相对接的对接部分形成有窗部(50)，垫圈型过滤器(7)的过滤器基座(24)的局部和保持件(26)的局部从该窗部(50)露出。
在对应于控制阀(2)的主体(9)和入口侧通路块(3)的窄幅化而将垫圈型过滤器(7)的直径设得较小时，可能无法确保所需的流量，而根据本实施方式，能够针对这一问题将垫圈型过滤器(7)的直径设得较大，从而能够防止流量不足。
此外，上述密封部件的固定构造(11)能够应用于将各种形状的第1通路部件和第2通路部件结合的接头。换言之，在具有夹设于两个通路部件的对接部分的密封部件、将第1通路部件和第2通路部件结合的结合机构、以及密封部件的固定构造的接头中，能够将密封部件的固定构造设为上述方式。
工业实用性
根据本发明的用于固定密封部件的构造，由于能够使用两根螺栓实现通路部件彼此的结合，因此能够实现使用该构造的接头、流体控制装置的窄幅化，有助于提高使用该接头、流体控制装置的半导体制造装置等的性能。

Claims (11)

1.一种流体控制装置中的密封部件的固定构造，其对流体控制装置中的密封部件进行固定，该流体控制装置包括：块状的第1通路部件和块状的第2通路部件，其具有相互连通的流体通路；密封部件，其夹设在所述第1通路部件和所述第2通路部件相对接的对接部分；以及结合机构，其将所述第1通路部件和所述第2通路部件彼此结合，所述流体控制装置中的密封部件的固定构造的特征在于，
所述第1通路部件和所述第2通路部件具有所需的宽度、高度及长度，在宽度中央部设有流体通路，作为所述结合机构而使用两根螺栓，并且，在所述第1通路部件和所述第2通路部件的宽度中央部的两端部上分别各设有一个内螺纹及与该内螺纹相对的螺栓穿插孔，通过穿插于所述第1通路部件的所述螺栓穿插孔中并与所述第2通路部件的所述内螺纹螺合的第1螺栓、和穿插于所述第2通路部件的所述螺栓穿插孔中并与所述第1通路部件的所述内螺纹螺合的第2螺栓，使所述第1通路部件和所述第2通路部件彼此结合，从而所述密封部件被固定。
2.根据权利要求1所述的流体控制装置中的密封部件的固定构造，其特征在于，
所述第1通路部件和所述第2通路部件中的至少一方具有弯曲的流体通路。
3.根据权利要求1所述的流体控制装置中的密封部件的固定构造，其特征在于，
所述密封部件是兼具有节流孔功能的垫圈型节流孔。
4.根据权利要求3所述的流体控制装置中的密封部件的固定构造，其特征在于，
所述流体控制装置是压力式流量控制装置，所述第1通路部件是控制阀的阀体，所述第2通路部件是设置于阀体的出口侧的出口侧通路块。
5.根据权利要求1所述的流体控制装置中的密封部件的固定构造，其特征在于，
所述密封部件是兼具有过滤器功能的垫圈型过滤器。
6.根据权利要求5所述的流体控制装置中的密封部件的固定构造，其特征在于，
所述垫圈型过滤器的直径与所述第1通路部件及第2通路部件的宽度为相同程度，所述第1通路部件和所述第2通路部件上的过滤器收纳凹部形成为在宽度方向上露出于外部。
7.根据权利要求5所述的流体控制装置中的密封部件的固定构造，其特征在于，
所述流体控制装置是压力式流量控制装置，所述第1通路部件是控制阀的阀体，所述第2通路部件是设置于所述阀体的入口侧的入口侧通路块。
8.一种流体控制装置中的密封部件的固定构造，其对流体控制装置中的密封部件进行固定，该流体控制装置包括：块状的第1通路部件和块状的第2通路部件，其具有相互连通的流体通路；密封部件，其夹设在所述第1通路部件与所述第2通路部件相对接的对接部分；以及结合机构，其将所述第1通路部件和第2通路部件彼此结合，所述流体控制装置中的密封部件的固定构造的特征在于，
所述第一通路部件和所述第二通路部件具有所需的宽度、高度及长度，在宽度中央部设有流体通路，作为所述结合机构而使用两根螺栓，并且，所述密封部件是垫圈型过滤器，所述垫圈型过滤器的直径与所述第1通路部件及所述第2通路部件的宽度为相同程度，所述第1通路部件及所述第2通路部件上的过滤器收纳凹部形成为在宽度方向上露出于外部。
9.根据权利要求8所述的流体控制装置中的密封部件的固定构造，其特征在于，
在所述第1通路部件和所述第2通路部件的宽度中央部的两端部上分别各设有一个内螺纹及与该内螺纹相对的螺栓穿插孔，通过穿插于所述第1通路部件的所述螺栓穿插孔中并与所述第2通路部件的所述内螺纹螺合的第1螺栓、和穿插于所述第2通路部件的所述螺栓穿插孔中并与所述第1通路部件的所述内螺纹螺合的第2螺栓，使所述第1通路部件和所述第2通路部件彼此结合，从而所述密封部件被固定。
10.一种接头，包括：块状的第1通路部件和块状的第2通路部件，其具有相互连通的流体通路；密封部件，其夹设在所述第1通路部件和所述第2通路部件相对接的对接部分；结合机构，其将所述第1通路部件和所述第2通路部件彼此结合；以及密封部件的固定构造，所述接头的特征在于，
所述密封部件的固定构造是权利要求1至9中任一项所述的流体控制装置中的密封部件的固定构造。
11.一种流体控制装置，包括：块状的第1通路部件和块状的第2通路部件，其具有相互连通的流体通路；密封部件，其夹设在所述第1通路部件和所述第2通路部件相对接的对接部分；结合机构，其将所述第1通路部件和所述第2通路部件彼此结合；以及密封部件的固定构造，所述流体控制装置的特征在于，
所述密封部件的固定构造是权利要求1至9中任一项所述的密封部件的固定构造。
CN201680019404.2A 2015-08-24 2016-08-10 流体控制装置中的密封部件的固定构造、接头及流体控制装置 Expired - Fee Related CN107532740B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015-164439 2015-08-24
JP2015164439 2015-08-24
PCT/JP2016/073520 WO2017033745A1 (ja) 2015-08-24 2016-08-10 流体制御装置におけるシール部材の固定構造、継手および流体制御装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107532740A true CN107532740A (zh) 2018-01-02
CN107532740B CN107532740B (zh) 2019-11-19

Family

ID=58100062

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201680019404.2A Expired - Fee Related CN107532740B (zh) 2015-08-24 2016-08-10 流体控制装置中的密封部件的固定构造、接头及流体控制装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10385998B2 (zh)
JP (1) JP6899141B2 (zh)
KR (1) KR102024449B1 (zh)
CN (1) CN107532740B (zh)
TW (1) TWI707102B (zh)
WO (1) WO2017033745A1 (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007141828A1 (ja) * 2006-06-02 2007-12-13 Ckd Corporation ガス供給ユニット及びガス供給システム
JP2007321833A (ja) * 2006-05-31 2007-12-13 Hitachi Metals Ltd ガス供給機器用流路ブロックおよび半導体製造用ガス供給ユニット
JP2013068268A (ja) * 2011-09-22 2013-04-18 Tokyo Electron Ltd 継手
JP2015109022A (ja) * 2013-12-05 2015-06-11 株式会社フジキン 圧力式流量制御装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3654960A (en) * 1969-12-31 1972-04-11 Hydro Stack Mfg Corp Modular hydraulic system
JP4298476B2 (ja) 2003-11-14 2009-07-22 株式会社フジキン 流体制御装置
JP5127304B2 (ja) * 2007-05-31 2013-01-23 株式会社フジキン 流体制御装置
TWI498502B (zh) * 2009-10-29 2015-09-01 Parker Hannifin Corp 滑鎖氣體輸送系統
US9114788B2 (en) * 2011-01-27 2015-08-25 Wabtec Holding Corp. Manifold joint seal
JP5746117B2 (ja) * 2012-09-14 2015-07-08 リンナイ株式会社 ガス管の接続構造

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007321833A (ja) * 2006-05-31 2007-12-13 Hitachi Metals Ltd ガス供給機器用流路ブロックおよび半導体製造用ガス供給ユニット
WO2007141828A1 (ja) * 2006-06-02 2007-12-13 Ckd Corporation ガス供給ユニット及びガス供給システム
JP2013068268A (ja) * 2011-09-22 2013-04-18 Tokyo Electron Ltd 継手
JP2015109022A (ja) * 2013-12-05 2015-06-11 株式会社フジキン 圧力式流量制御装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW201713888A (zh) 2017-04-16
US10385998B2 (en) 2019-08-20
JPWO2017033745A1 (ja) 2018-06-07
JP6899141B2 (ja) 2021-07-07
WO2017033745A1 (ja) 2017-03-02
KR20170120184A (ko) 2017-10-30
TWI707102B (zh) 2020-10-11
US20180112805A1 (en) 2018-04-26
CN107532740B (zh) 2019-11-19
KR102024449B1 (ko) 2019-09-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106168310B (zh) 空气动力型降噪笼
TWI688722B (zh) 流體控制裝置、接頭塊體、半導體製造方法、平面顯示器的製造方法及太陽能面板的製造方法
CN103711922A (zh) 阀座设备和方法
CN105792640A (zh) 滴灌灌水器及形成滴灌管的方法
WO2006094581A8 (de) Durchflussmengenregler
CN107956921A (zh) 与阀一起使用的防空化元件
JP6162487B2 (ja) 油圧制御装置
JP2008298179A (ja) 流体制御装置およびその組立方法
DE602006005169D1 (de) Gehäuse mit sich überschneidenden Durchgängen
CN111381609A (zh) 流体控制装置
WO2018168559A1 (ja) 継手および流体制御装置
CN209325060U (zh) 控制阀内件组件和控制阀
JP2009036336A (ja) 流量制御弁
CN103672094B (zh) 带有改进的下流体腔的阀体
CN107532740A (zh) 流体控制装置中的密封部件的固定构造、接头及流体控制装置
CN105351555A (zh) 具有多个流修改区域的限流器
JP5840987B2 (ja) 制御バルブ
TWI615201B (zh) 噴嘴裝置及處理裝置
WO2016036502A1 (en) Flow device and methods of creating different pressure drops based on a direction of flow
JP7036349B2 (ja) 変換継手、その変換継手を有する集積型流体供給装置および流体用パーツの取付け方法
CN102466499B (zh) 流量传感器
KR102403907B1 (ko) 유체 제어 장치 및 반도체 제조 장치
JP6486035B2 (ja) マニホールドバルブおよび流体制御装置
KR102296001B1 (ko) 스크러버의 배기가스 유입장치
EP2410135B1 (en) Exhaust plenum flow splitter

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20191119

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee