JP6487652B2 - 流体機器及び流体制御機器 - Google Patents
流体機器及び流体制御機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6487652B2 JP6487652B2 JP2014176646A JP2014176646A JP6487652B2 JP 6487652 B2 JP6487652 B2 JP 6487652B2 JP 2014176646 A JP2014176646 A JP 2014176646A JP 2014176646 A JP2014176646 A JP 2014176646A JP 6487652 B2 JP6487652 B2 JP 6487652B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- flow path
- dimensional structure
- fluid device
- internal flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims description 105
- 239000011162 core material Substances 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010146 3D printing Methods 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Valve Housings (AREA)
Description
[1] コア材料が空隙を規則的に設けて立体配置された立体構造部と、前記立体構造部内に形成された内部流路と、を備え、
外表面及び前記内部流路の内表面には、前記立体構造部の空隙を流体密に閉塞する閉塞部が設けられている、流体機器。
[2] 前記立体構造部は、ハニカム構造又はラチス構造を有している、前記[1]に記載の流体機器。
[3] 前記閉塞部は、前記立体構造部を被覆する外壁部と、前記内部流路を形成する流路壁部と、他の部材との接合部と、を有し、前記接合部は前記流路壁部と同等以上の厚みを有している、前記[1]又は[2]に記載の流体機器。
[4] 前記接合部及び前記流路壁部は前記外壁部より厚く形成されている、前記[3]に記載の流体機器。
[5] 前記流体機器は継手、マスフローコントローラ、レギュレータ又はバルブの何れかである、前記[1]乃至[4]の何れかに記載の流体機器。
[6] 前記[1]乃至[5]の何れかに記載の一以上の流体機器が接続されて構成された、流体制御装置。
[第1実施形態]
本発明の実施形態に係る流体機器は、流路を形成するための部品であり、例えば継手、バルブ、レギュレータ、マスフローコントローラその他の流体コンポーネントである。第1実施形態では、バルブ本体、レギュレータ本体、マスフローコントローラ本体などの本体部をはじめ他の流体機器を接続するために使用される継手を例にとって説明する。
図6及び図7は本発明の第2実施形態に係る流体制御装置及び流体機器を示している。図6に示す流体制御装置50は、図7に示す流体機器10が他の流体機器とともに多数使用されて互いに接続されることで、半導体製造装置において各種のガスを供給する装置として構成されている。
流体機器10の形状は任意である。第1実施形態では2個の接続用開口部11を同一の面側に設けてV字状の1本の内部流路13を設けたが、3個以上の接続用開口部11を設けて複数の内部流路13を設けたり、内部で分岐した内部流路13を設けたりしてもよい。複数の接続用開口部11を互いに異なる面側に設けてもよく、各接続用開口部11間を直線状又は曲線状の内部流路13で連通させることも可能である。1個の接続用開口11から内部流路13が設けられたものであってもよい。第1実施形態では、集積化し易いという理由で流体機器10を略直方体形状に設けたが、その形状についても何ら限定されるものではない。
11:接続用開口部
13:内部流路
15:被固定部
17:固定部
21:ベース部材
23:バルブ本体
25:バルブ
31:コア材料
33:空隙
35:立体構造部
37:閉塞部
37a:流路壁部
37b:接合部
37c:外壁部
39:凹部
41:装置要素
50:流体制御装置
Claims (6)
- コア材料が空隙を規則的に設けて立体配置された立体構造部と、前記立体構造部内に形成された内部流路と、を備え、
外表面及び前記内部流路の内表面には、前記立体構造部の空隙を流体密に閉塞する閉塞部が設けられている、流体機器。 - 前記立体構造部は、ハニカム構造又はラチス構造を有している、請求項1に記載の流体機器。
- 前記閉塞部は、前記立体構造部を被覆する外壁部と、前記内部流路を形成する流路壁部と、他の部材との接合部と、を有し、前記接合部は前記流路壁部と同等以上の厚みを有している、請求項1又は2に記載の流体機器。
- 前記接合部及び前記流路壁部は前記外壁部より厚く形成されている、請求項3に記載の流体機器。
- 前記流体機器は継手、マスフローコントローラ、レギュレータ又はバルブの何れかである、請求項1乃至4の何れかに記載の流体機器。
- 請求項1乃至5の何れかに記載の一以上の流体機器が接続されて構成された、流体制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014176646A JP6487652B2 (ja) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | 流体機器及び流体制御機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014176646A JP6487652B2 (ja) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | 流体機器及び流体制御機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016050635A JP2016050635A (ja) | 2016-04-11 |
JP6487652B2 true JP6487652B2 (ja) | 2019-03-20 |
Family
ID=55658294
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014176646A Active JP6487652B2 (ja) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | 流体機器及び流体制御機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6487652B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10895329B2 (en) | 2016-09-12 | 2021-01-19 | Fujikin Incorporated | Fluid control system, base block used for same, and method for manufacturing fluid control system |
EP3473902A1 (en) * | 2017-10-23 | 2019-04-24 | Hamilton Sundstrand Corporation | Servo valve housing |
CN111278605B (zh) | 2017-10-27 | 2022-04-22 | 株式会社富士金 | 手动工具、用于该手动工具的刀头以及扭矩传感器 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01311568A (ja) * | 1988-06-09 | 1989-12-15 | Fuji Electric Co Ltd | 燃料電池用電極 |
JP2008210982A (ja) * | 2007-02-26 | 2008-09-11 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置のガス供給システム及びガス供給集積ユニット |
-
2014
- 2014-08-29 JP JP2014176646A patent/JP6487652B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016050635A (ja) | 2016-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106985386B (zh) | 晶格结构的阀本体或调节器本体 | |
JP5571585B2 (ja) | 高温バルブ | |
JP6487652B2 (ja) | 流体機器及び流体制御機器 | |
JP7140402B2 (ja) | バルブ装置、このバルブ装置を用いた流体制御装置および半導体製造装置 | |
JP2007078005A (ja) | 流体制御装置 | |
KR20010041622A (ko) | 모듈형 표면 실장 매니폴드 | |
KR102341939B1 (ko) | 밸브 장치, 이 밸브 장치를 사용한 유체제어장치 및 반도체 제조 장치 | |
US10125888B2 (en) | Pilot type solenoid valve | |
JP6147113B2 (ja) | 流体制御装置用継手および流体制御装置 | |
KR20160140719A (ko) | 바이패스 체크 밸브 및 이를 가지는 벤튜리 디바이스 | |
JP2019215085A (ja) | エンジンシステムのノイズ減衰ユニット | |
JP2012077894A (ja) | 逆止弁 | |
JP2004108535A (ja) | ガス供給ユニット | |
US11286963B2 (en) | Fluid control device and connector for fluid control device | |
JP2017508922A5 (ja) | ||
KR20170102458A (ko) | 엔진 내 소음 감쇄 유닛을 위한 소음 감쇄 부재 | |
JP2006242222A (ja) | 集積化ガス制御装置と集積化ガス制御方法 | |
KR20210114534A (ko) | 유로 어셈블리, 이 유로 어셈블리를 사용한 밸브 장치, 유체제어장치, 반도체 제조 장치 및 반도체 제조 방법 | |
KR970028015A (ko) | 유체 및 가스 시스템을 위한 편평한 하부 구성 요소 및 편평한 하부 구조를 이용한 밸브 및 장치 | |
WO2018180449A1 (ja) | 継手ブロックおよびこれを用いた流体制御装置 | |
JP5009081B2 (ja) | 流体機器の接続構造及びその接続構造を備える流体機器ユニット | |
US20150013777A1 (en) | Multi-part concentric manifold and method of making the manifold | |
JP7303560B2 (ja) | 流体供給システム | |
KR101968845B1 (ko) | 고무호스용 금형 | |
JP2008267528A (ja) | 流体制御弁及び流体制御用モジュールユニット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170529 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180328 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180403 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180604 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181106 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190129 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190222 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6487652 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |