KR100622954B1 - 유체제어장치 - Google Patents

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KR100622954B1
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미치오 야마지
나오야 마쓰다
다카시 히로세
고쯔케 요코야마
노부카즈 이케다
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다다히로 오미
가부시키가이샤 후지킨
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Abstract

본 발명에 따른 유체 제어 장치는 상단에 배치된 복수의 유체 제어 부재(7, 8, 9, 10) 및 하단에 배치된 복수의 조인트(11, 12, 13, 14, 15)를 구비하고 있다. 좌측으로부터 2번째의 유체 제어 부재(8)는, 상측으로 꺼낼 수 있도록 조인트(12)에 장착된 블록형 본체(18)에 1개의 압력 조정기(19)와 1개의 압력 센서(20)가 일체적으로 설치된 것이다. 좌측으로부터 3번째의 유체 제어 부재(9)는, 상측으로 꺼낼 수 있도록 조인트(13, 14)에 장착된 블록형 본체(22)에 복수의 개폐 밸브(23, 24)가 일체적으로 설치된 것이다.

Description

유체 제어 장치{FLUID CONTROL APPARATUS}
본 발명은 반도체 제조 장치 등에 사용되는 유체 제어 장치에 관한 것이다.
본 명세서에 있어서 상하는 도 1의 상하를 말하는 것이지만, 이 상하는 편의적인 것으로, 상하를 반대로 하거나, 가로로 하여 사용할 수도 있다.
근래, 반도체 제조 장치에 있어서, 유체 제어 장치에는 장치의 점유 공간의 감소 및 통로의 용적의 감소가 요구되어 있고, 이 요구에 따른 것으로서, 일본 특허 공개 평5-172265호 공보에는 3종 이상의 단기능(單機能) 부재(필터, 질량 유량 제어기, 개폐 밸브 등)를 일체적으로 직접 연결하는 것(집적화)이 제안되어 있다.
반도체 제조 장치에 있어서, 유체 제어 장치에는 상기 요구에 덧붙여서, 부품수의 감소, 유지 관리의 용이함 및 압력 손실 감소 등의 요구도 있고, 현시점에서는 이들 여러 가지 요구를 충족시키는 유체 제어 장치는 알려져 있지 않다.
본 발명의 목적은 집적화, 부품수의 감소 및 유지 관리의 용이함의 모든 요구를 충족시키는 유체 제어 장치를 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 목적은 압력 손실 감소의 요구도 충족시키는 유체 제어 장치를 제공하는데 있다.
본 발명에 따른 유체 제어 장치는, 상면 및 하면을 가지는데 상기 하면이 다른 블록형 본체의 하면과 동일면 상에 있는 것인 블록형 본체; 하나 이상의 유체 제어용 단기능 부재를 일체적으로 설치하기 위하여 상기 블록형 본체의 상면에 형성된 하나 이상의 오목부: 및 상기 유체 제어용 단기능 부재와 상기 블록형 본체의 하면과의 사이에 형성된 하나 이상의 유체 통로를 구비하는 복수 개의 유체 제어 부재들로서, 상층부에 배치되는 것인 복수 개의 유체 제어 부재들과, 상면을 가지는데 상기 상면은 하나 이상의 상기 유체 제어 부재의 하단에 장착되고, 다른 직방체형 본체의 상면과 동일면 상에 있는 것인 직방체형 본체; 및 서로 다른 두 개 이상의 상기 유체 제어 부재들의 상기 유체 통로들 사이를 연결하는 하나 이상의 연통로를 구비하는 복수 개의 조인트들로서, 하나 이상의 상기 유체 제어 부재의 하층부에 설치되는 것인 복수 개의 조인트들과, 상기 유체 제어 부재의 상기 유체 통로와 상기 연통로 사이에 설치되는 밀봉부와, 복수 개의 상기 조인트들을 고정시켜 지지하는 기판을 포함하는데, 복수 개의 상기 유체 제어 부재의 각각의 블록형 본체가, 하나 이상의 상기 조인트에 상방을 향하여 탈착 가능하게 장착되는 장치다.
단기능 부재로서는 개폐 밸브, 압력 조정기, 필터, 압력 센서 등이 있고, 상기의 유체 제어 부재로서는 1개의 블록형 본체에 2 또는 3개의 개폐 밸브가 일체적으로 설치된 것, 1개의 블록형 본체에 1개의 압력 조정기 및 1개의 압력 센서가 일체적으로 설치된 것 등이 있다.
본 발명의 유체 제어 장치에 따르면, 블록형 본체에 복수의 단기능 부재가 일체적으로 설치되기 때문에, 블록형 본체, 밀봉 부재 등의 부품수의 감소가 가능하고, 또한 복수의 단기능 부재 중 어느 것을 교환할 필요가 있게 되었을 때에는 유체 제어 부재를 상측으로 꺼내어 해당 단기능 부재를 교환하면 되므로, 유지 관리도 용이하다. 또한, 교환의 빈도가 비교적 적은 유체 제어 부재에 대해서는 1개의 블록형 본체에 복수의 단기능 부재가 일체적으로 설치된 것으로 하고, 교환의 빈도가 비교적 많은 유체 제어 부재에 대해서는 각 단기능 부재를 단일체로 이용하는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 부품수의 감소와 유지 관리의 용이함을 함께 도모하기 쉽다.
또한, 인접하는 유체 제어 부재끼리를 연통시키는 조인트 중 적어도 1개는 V자형 연통로를 갖는 직방체형 조인트인 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 1개의 조인트에 의해 인접하는 유체 제어 부재끼리를 연통시킬 수 있으므로, 부품수를 더욱 감소시킬 수 있다.
또한, 인접하는 유체 제어 부재끼리를 연통시키는 조인트의 적어도 1개는, 서로 맞대어져 U자형 연통로를 형성하는 2개의 직방체형 조인트 구성 부재로 이루어지는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, V자형 연통로에서는 통로가 비스듬하게 되어 있는 만큼만 통로의 횡단 면적이 개구 면적보다 작아지는 반면에, U자형 연통로에서는 통로의 횡단 면적을 개구 면적과 동일하게 할 수 있으므로, V자형 연통로에 비하여, 연통로의 직경을 크게 할 수 있으며, 이것에 의해, 유체 제어 장치에 있어서의 압력 손실을 작게 할 수 있다.
본 발명의 실시예를 이하 도면을 참조하여 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 도 1의 좌우를 "좌우"라고 한다. 또한, 도 1의 앞면을 "전(前)", 뒷면을 "후(後)"라고 한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 유체 제어 장치의 제1 실시예를 도시하고 있다. 이 유체 제어 장치(1)는 반도체 제조 장치 등에 있어서 이용되는 것으로, 질량 유량 제어기(2)와, 질량 유량 제어기(2)의 좌측에 설치된 입구측 차단 개방부(3), 그리고 질량 유량 제어기(2)의 우측에 설치된 출구측 차단 개방부(4)로 이루어진다.
질량 유량 제어기(2)의 하부 좌측면에는 하면으로 통하는 입구 통로(5a)를 갖는 직방체형 좌측 돌출 블록(제1 유체 제어 부재)(5)이 설치되고, 동일 우측면에는 하면으로 통하는 출구 통로(6a)를 갖는 직방체형 우측 돌출 블록(제2 유체 제어 부재)(6)이 설치되어 있다. 양 돌출 블록(5, 6)은 횡방향으로 체결되는 나사에 의해 질량 유량 제어기(2)의 본체에 고정되어 있다.
입구측 차단 개방부(3)는 상단에 배치된 4개의 유체 제어 부재(7, 8, 9, 10)와 하단에 배치된 5개의 직방체형 조인트(11, 12, 13, 14, 15)로 이루어진다.
입구측 차단 개방부(3)의 좌측 단부에 배치된 제3 유체 제어 부재(7)는 하향의 입구 통로(16a) 및 출구 통로(16b)를 갖는 블록형 본체(16)에 일체적으로 설치되는 동시에 이들 통로(16a, 16b)끼리의 연통을 차단 개방하는 제1 개폐 밸브(17)로 이루어진다.
입구측 차단 개방부(3)의 좌측 단부로부터 2번째에 배치된 제4 유체 제어 부재(8)는 하향의 입구 통로(18a) 및 출구 통로(18b)를 갖는 동시에 상면 좌측부에 경사면이 형성되어 있으며 거의 직방체형인 블록형 본체(18)와, 본체(18) 경사면에 설치되는 동시에 입구 통로(18a)와 출구 통로(18b)의 연통부에 배치되어 압력을 조정하는 압력 조정기(19)와, 본체(18) 우측 상면의 평탄부에 설치되는 동시에 출구 통로(18b)로 통하는 통로를 통해 유체압을 측정하는 압력 센서(20)로 이루어진다. 본체(18)의 입구 통로(18a)에는 필터(21)가 설치되어 있다.
입구측 차단 개방부(3)의 좌측 단부로부터 3번째에 배치된 제5 유체 제어 부재(9)는 1개의 직방체형인 블록형 본체(22)에 일체적으로 설치된 제2 및 제3 개폐 밸브(23, 24)로 이루어진다. 본체(22)에는 좌측 단부에 설치된 하향의 제1 입구 통로(22a)와, 제1 입구 통로(22a)에 제2 개폐 밸브(23)를 통해 연통되는 우향의 출구 통로(22b)와, 출구 통로(22b)에 제3 개폐 밸브(24)를 통해 연통되는 하향의 제2 입구 통로(22c)가 설치되어 있다.
입구측 차단 개방부(3)의 좌측 단부로부터 4번째에 배치된 제6 유체 제어 부재(10)는 1개의 직방체형인 통로 블록으로 이루어진다. 제6 유체 제어 부재(10)에는 일단이 제5 유체 제어 부재 본체(22)의 출구 통로(22b)로 통하고, 타단이 아래쪽으로 개구하고 있는 연통로(10a)가 설치되어 있다.
입구측 차단 개방부(3)의 좌측 단부에 배치된 제1 조인트(11)에는 제3 유체 제어 부재 본체(16)의 입구 통로(16a)로 통하고 좌측으로 통하는 L자형 상류측 연통로(11a)와, 제3 유체 제어 부재 본체(16)의 출구 통로(16b)로 통하고 우측으로 통하는 L자형 하류측 연통로(11b)가 설치되어 있다. 제1 조인트(11)의 상면에는 상류측 연통로(11a)로 통하는 제1 입구 관접속부(25)가 설치되어 있다.
상류측 차단 개방부(3)의 좌측 단부로부터 2번째에 배치된 제2 조인트(12)에는 제1 조인트(11)의 출구 통로(11b)와 제4 유체 제어 부재 본체(18)의 입구 통로(18a)를 연통시키는 L자형 상류측 연통로(12a)와, 일단이 제4 유체 제어 부재 본체(18)의 출구 통로(18b)로 통하고 타단이 우측으로 통하는 L자형 하류측 연통로(12b)가 설치되어 있다.
상류측 차단 개방부(3)의 좌측 단부로부터 3번째에 배치된 제3 조인트(13)에는 제2 조인트(12)의 출구 통로(12b)와 제5 유체 제어 부재 본체(22)의 제1 입구 통로(22a)를 연통하는 L자형 연통로(13a)가 설치되어 있다.
상류측 차단 개방부(3)의 좌측 단부로부터 4번째에 배치된 제4 조인트(14)에는 일단이 제5 유체 제어 부재 본체(22)의 제2 입구 통로(22c)로 통하고, 타단이 후방으로 통하는 연통로(14a)가 설치되어 있다. 제4 조인트(14)의 후면에는 연통로(14a)로 통하는 제2 입구관 접속부(도시생략)가 설치되어 있다.
상류측 차단 개방부(3)의 좌측 단부로부터 5번째에 배치된 제5 조인트(15)에는 일단이 제6 유체 제어 부재(10)의 연통로(10a) 출구로 통하고, 타단이 질량 유량 제어기(2)의 좌측 돌출 블록(5)의 입구 통로(5a)로 통하고 있는 V자형 연통로(15a)가 설치되어 있다.
하류측 차단 개방부(4)는 상단에 배치된 제7 유체 제어 부재(26)와 하단에 배치된 제6 및 제7 직방체형 조인트(27, 28)로 이루어진다. 제7 유체 제어 부재(26)는 하향의 입구 통로(29a) 및 출구 통로(29b)를 갖는 블록형 본체(29)에 일체적으로 설치되는 동시에 이들 통로(29a, 29b)끼리의 연통을 차단 개방하는 제4 개폐 밸브(30)로 이루어진다. 하류측 차단 개방부(4)의 좌측에 배치된 제6 조인트(27)에는 일단이 질량 유량 제어기(2)의 우측 돌출 블록(6)의 출구 통로(6a)로 통하고, 타단이 제7 유체 제어 부재 본체(29)의 입구 통로(29a)로 통하고 있는 V자형 연통로(27a)가 설치되어 있다. 하류측 차단 개방부(4)의 우측에 배치된 제7 조인트(28)에는 일단이 제7 유체 제어 부재 본체(29)의 출구 통로(29b)로 통하고, 타단이 후방으로 통하는 연통로(28a)가 설치되어 있다. 제7 조인트(28)의 후면에는 연통로(28a)로 통하는 출구관 접속부(도시생략)가 설치되어 있다.
유체 제어 부재(5, 6, 7, 8, 9, 10, 26)의 하면은 전부 균일하게 되는 동시에 각 조인트(11, 12, 13, 14, 15)의 상면도 서로 균일하게 되고, 조인트(11, 12, 13, 14, 15, 27, 28)가 기판(31)에 고정되며, 각 유체 제어 부재(5, 6, 7, 8, 9, 10, 26)가 상측으로부터 체결되는 나사(32)에 의해 조인트(11, 12, 13, 14, 15, 27, 28)에 고정되어 있다.
이렇게 해서, 제1 조인트(11)의 제1 입구관 접속부(25) 및 제4 조인트(14)의 제2 입구관 접속부로부터 각각 다른 유체가 도입되고, 이들 유체가 적절하게 절환되어 질량 유량 제어기(2)를 거쳐서 제7 조인트(28)의 출구관 접속부로부터 배출되는 유체 제어 장치(1)가 구성되어 있다.
이 유체 제어 장치(1)에 의하면, 질량 유량 제어기(2)는 좌우의 돌출 블록(5, 6)과 함께 상측으로 꺼낼 수 있다. 또한, 제3 내지 제7 유체 제어 부재(7, 8, 9, 10, 26)는 유체 제어 부재(7, 8, 9, 10, 26)를 개별적으로 상측으로 꺼낼 수 있다. 예컨대, 압력 조정기(19)를 교환할 필요가 있는 경우에는 제4 유체 제어 부재(8) 전체를 분리하여 압력 조정기(19)를 교환한 후, 제4 유체 제어 부재(8) 전체를 원래 상태로 되돌린다. 또한, 제5 유체 제어 부재(9)중의 제2 및 제3 개폐 밸브(23, 24)중 어느 한쪽을 교환할 필요가 있는 경우에는 제5 유체 제어 부재(9) 전체를 분리하여 교환후, 제5 유체 제어 부재(9) 전체를 원래 상태로 되돌리게 된다. 유체 제어 부재(5, 6, 7, 8, 9, 10, 26)끼리의 연통부, 조인트(11, 12, 13, 14, 15)끼리의 연통부 및 유체 제어 부재(5, 6, 7, 8, 9, 10, 26)와 조인트(11, 12, 13, 14, 15)와의 연통부에는 각각 밀봉부(33)가 마련되어 있다. 제1 실시예의 유체 제어 장치(1)는 모두 13 개소에 밀봉부(33)가 마련되어 있다.
또, 입구측 및 출구측의 차단 개방부(3, 4)는 상기 실시예에 한정되는 것이 아니라, 예컨대 입구측 차단 개방부(3)로부터 제4 유체 제어 부재(8)를 제거하거나, 입구측 차단 개방부(3)의 제5 유체 제어 부재(9)와 같은 것을 출구측 차단 개방부(4)에 추가하거나, 제7 유체 제어 부재(26) 대신에 배치하는 것도 가능하다. 또한, 제4 유체 제어 부재(8)의 블록형 본체(18)에 압력 조정기(19) 및 압력 센서(20)를 고정하는 것은 용접 또는 나사식 중 어느 것이라도 좋다.
도 3은 본 발명의 유체 제어 장치의 제2 실시예를 도시하고 있다. 이 제2 실시예가 제1 실시예와 다른 점은 제1 실시예의 제1, 제2 및 제3 조인트(11, 12, 13)가 1개의 직방체형 조인트(제8 조인트)로 대체되고 있는 점에 있다. 동 도면에 도시된 바와 같이, 이 제8 조인트(41)에는 일단이 제3 유체 제어 부재 본체(16)의 입구 통로(16a)로 통하고 타단이 좌측으로 통하는 상류측 연통로(41a)와, 일단이 제3 유체 제어 부재 본체(16)의 출구 통로(16a)로 통하고 타단이 제4 유체 제어 부재 본체(18)의 입구 통로(18a)로 통하는 제1 V자형 연통로(41b)와, 일단이 제4 유체 제어 부재 본체(18)의 출구 통로(18b)로 통하고 타단이 제5 유체 제어 부재 본체(22)의 제1 입구 통로(22a)로 통하는 제2 V자형 연통로(41c)가 설치되어 있다. 또한, 제8 조인트(41)의 좌측면에는 상류측 연통로(41a)로 통하는 제1 입구관 접속부(25)가 설치되어 있다. 좌우 길이가 긴 제1 V자형 연통로(41b)의 유로 직경을 확보하기 위해서, 제8 조인트(41)의 높이가 제1 실시예의 제1, 제2 및 제3 조인트(11, 12, 13)의 높이보다도 높아지는 동시에 제1 V자형 연통로(41b)의 깊이가 제2 V자형 연통로(41c)의 깊이보다도 깊어지고 있다. 이에 따라, 제4, 제5, 제6 및 제7 조인트(14, 15, 27, 28)에 있어서는 연통로(14a, 15a, 27a, 28a)의 깊이는 변경하지 않고, 높이만이 제8 조인트(41)와 같게 되어 있다. 그 이외의 구성은 제1 실시예의 것과 같고, 같은 구성에 같은 부호를 붙여서 설명을 생략한다.
제2 실시예의 유체 제어 장치에 의하면, 밀봉부(33)가 2개소로 감소하고, 조인트의 수도 2개 감소하고 있다.
도 4는 본 발명의 유체 제어 장치의 제3 실시예를 도시하고 있다. 이 제3 실시예가 제1 실시예와 다른 점은 제1 실시예의 제5 및 제6 조인트(15, 27), 즉, V자형 연통로(15a, 27a)를 구비하는 조인트(15, 27)가 2개의 직방체형 조인트 구성 부재로 이루어지는 U자형 연통로가 마련된 조인트(제9 및 제10 조인트)로 대체되고 있는 점에 있다. 동 도면에 도시된 바와 같이, 제9 조인트(51)를 구성하는 제1 조인트 구성 부재(52)에는 일단이 제6 유체 제어 부재 본체(10)의 연통로(10a) 출구로 통하고, 타단이 우측으로 개구하고 있는 L자형 상류측 연통로(52a)가 설치되며, 제2 조인트 구성 부재(53)에는 일단이 제1 조인트 구성 부재(52)의 상류측 연통로(52a)에 통하고, 타단이 질량 유량 제어기(2)의 좌측 돌출 블록(5)의 입구 통로(5a)로 통하고 있는 L자형 하류측 연통로(53a)가 설치되어 있다. 제1 및 제2 조인트 구성 부재(52, 53)가 상류측 연통로(52a)와 하류측 연통로(53a)를 연통시키도록 밀봉부(33)를 통해 중첩됨으로써, 제9 조인트(51)에는 제6 유체 제어 부재 본체(10)의 연통로(10a)와 질량 유량 제어기(2)의 좌측 돌출 블록(5)의 입구 통로(5a)를 연통시키는 U자형 연통로(51a)가 형성되어 있다. 동일하게, 제10 조인트(54)를 구성하는 제1 조인트 구성 부재(55)에는 일단이 질량 유량 제어기(2)의 우측 돌출 블록(6)의 출구 통로(6a)로 통하고, 타단이 우측으로 개구하고 있는 L자형 상류측 연통로(55a)가 설치되며, 제2 조인트 구성 부재(56)에는 일단이 제1 조인트 구성 부재(55)의 하류측 연통로(55a)로 통하고, 타단이 제7 유체 제어 부재 본체(29)의 입구 통로(29a)로 통하고 있는 L자형 하류측 연통로(56a)가 설치되어 있다. 제1 및 제2 조인트 구성 부재(55, 56)가 상류측 연통로(55a)와 하류측 연통로(56a)를 연통시키도록 밀봉부(33)를 통해 중첩됨으로써, 제10 조인트(54)에는 질량 유량 제어기(2)의 우측 돌출 블록(6)의 출구 통로(6a)와 제7 유체 제어 부재 본체(29)의 입구 통로(29a)를 연통하는 U자형 연통로(54a)가 형성되어 있다. 그 이외의 구성은 제1 실시예의 것과 같으며, 같은 구성에 같은 부호를 붙여서 설명을 생략한다.
본 발명의 유체 제어 장치에 따르면, 블록형 본체에 복수의 단기능 부재가 일체적으로 설치되기 때문에, 블록형 본체, 밀봉 부재 등의 부품수의 감소가 가능하고, 또한, 복수의 단기능 부재중의 어느 것을 교환할 필요가 있게 되었을 때에는 유체 제어 부재를 상측으로 꺼내어 소요의 단기능 부재를 교환하면 되므로, 유지 관리도 용이하다.
또한, 교환의 빈도가 비교적 적은 유체 제어 부재에 대해서는 1개의 블록형 본체에 복수의 단기능 부재가 일체적으로 설치된 것으로 하고, 교환의 빈도가 비교적 많은 유체 제어 부재에 대해서는 각 단기능 부재를 단일체로 이용하는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 부품수의 감소와 유지 관리의 용이함을 함께 도모하기 쉽다.
또한, 인접하는 유체 제어 부재끼리를 연통시키는 조인트 중 적어도 1개는 V자형 연통로를 갖는 직방체형 조인트인 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 1개의 조인트에 의해 인접하는 유체 제어 부재끼리를 연통시킬 수 있으므로, 부품수를 더욱 감소시킬 수 있다.
또한, 인접하는 유체 제어 부재끼리를 연통시키는 조인트의 적어도 1개는, 서로 맞대어져 U자형 연통로를 형성하는 2개의 직방체형 조인트 구성 부재로 이루어지는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, V자형 연통로에서는 통로가 비스듬하게 되어 있는 만큼만 통로의 횡단 면적이 개구 면적보다 작아지는 반면에, U자형 연통로에서는 통로의 횡단 면적을 개구 면적과 동일하게 할 수 있으므로, V자형 연통로에 비하여, 연통로의 직경을 크게 할 수 있으며, 이에 의해 유체 제어 장치에 있어서의 압력 손실을 작게 할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제1 실시예를 도시하는 측면도.
도 2는 동일 평면도.
도 3은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제2 실시예를 도시하는 측면도.
도 4는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제3 실시예를 도시하는 측면도.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉
1 : 유체 제어 장치
5, 6 : 돌출 블록(유체 제어 부재)
7, 8, 9, 10, 26 : 유체 제어 부재
11, 12, 13, 14, 15, 27, 28 : 조인트
18, 22 : 블록형 본체
19 : 압력 조정기(단기능 부재)
20 : 압력 센서(단기능 부재)
23, 24 : 개폐 밸브(단기능 부재)
41 : V자형 연통로가 마련된 조인트
51, 54 : U자형 연통로가 마련된 조인트
52, 53, 55, 56 : 조인트 구성 부재

Claims (5)

  1. 상면 및 하면을 가지는데 상기 하면이 다른 블록형 본체의 하면과 동일면상에 있는 것인 블록형 본체 하나 이상의 유체 제어용 단기능 부재를 일체적으로 설치하기 위하여 상기 블록형 본체의 상면에 형성된 하나 이상의 오목부 및 상기 유체 제어용 단기능 부재와 상기 블록형 본체의 하면과의 사이에 형성된 하나 이상의 유체 통로를 구비하는 복수 개의 유체 제어 부재들로서 상층부에 배치되는 것인 복수 개의 유체 제어 부재들과
    상면을 가지는데, 상기 상면은 하나 이상의 상기 유체 제어 부재의 하단에 장착되고, 다른 직방체형 본체의 상면과 동일면 상에 있는 것인 직방체형 본체 및 서로 다른 두 개 이상의 상기 유체 제어 부재들의 상기 유체 통로들 사이를 연결하는 하나 이상의 연통로를 구비하는 복수 개의 조인트들로서, 하나 이상의 상기 유체 제어 부재의 하층부에 설치되는 것인 복수 개의 조인트들과
    상기 유체 제어 부재의 상기 유체 통로와 상기 연통로 사이에 설치되는 밀봉부와
    복수 개의 상기 조인트들을 고정시켜 지지하는 기판을 포함하는데
    복수 개의 상기 유체 제어 부재의 각각의 블록형 본체가 하나 이상의 상기 조인트에 상방을 향하여 탈착 가능하게 장착되는 것인 유체 제어 장치.
  2. 제1항에 있어서, 인접하는 유체 제어 부재끼리를 연통하는 조인트 중 하나 이상이, V자형 연통로를 갖는 직방체형 조인트인 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  3. 제1항에 있어서, 인접하는 유체 제어 부재끼리를 연통시키는 조인트 중 하나 이상이 서로 맞대어져 U자형 연통로를 형성하는 2개의 직방체형 조인트 구성 부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  4. 제1항에 있어서, 복수의 단기능 부재가 전부 개폐 밸브인 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  5. 제1항에 있어서, 복수의 단기능 부재가 1개의 압력 조정기와 1개의 압력 센서인 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
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