KR19990037044A - 유체 제어 장치 - Google Patents

유체 제어 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR19990037044A
KR19990037044A KR1019980042685A KR19980042685A KR19990037044A KR 19990037044 A KR19990037044 A KR 19990037044A KR 1019980042685 A KR1019980042685 A KR 1019980042685A KR 19980042685 A KR19980042685 A KR 19980042685A KR 19990037044 A KR19990037044 A KR 19990037044A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
fluid control
joint
communication path
control member
members
Prior art date
Application number
KR1019980042685A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100622954B1 (ko
Inventor
다다히로 오미
미치오 야마지
나오야 마쓰다
다카시 히로세
고쯔케 요코야마
노부카즈 이케다
Original Assignee
오오미 다다히로
이데이 노부유끼
소니 가부시끼 가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 오오미 다다히로, 이데이 노부유끼, 소니 가부시끼 가이샤 filed Critical 오오미 다다히로
Publication of KR19990037044A publication Critical patent/KR19990037044A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100622954B1 publication Critical patent/KR100622954B1/ko

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003Housing formed from a plurality of the same valve elements
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/8593Systems
    • Y10T137/877With flow control means for branched passages
    • Y10T137/87885Sectional block structure

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Valve Housings (AREA)
  • Flow Control (AREA)
  • Supply Devices, Intensifiers, Converters, And Telemotors (AREA)
  • Control Of Fluid Pressure (AREA)
  • Quick-Acting Or Multi-Walled Pipe Joints (AREA)
  • Pipeline Systems (AREA)

Abstract

상단에 배치된 복수의 유체 제어 부재(7, 8, 9, 10) 및 하단에 배치된 복수의 조인트(11, 12, 13, 14, 15)를 구비하고 있다. 좌측으로부터 2번째의 유체 제어 부재(8)는 상측으로 꺼낼 수 있도록 조인트(12)에 장착된 블록형 본체(18)에 1개의 압력 조정기(19)와 1개의 압력 센서(20)가 일체적으로 설치된 것이다. 좌측으로부터 3번째의 유체 제어 부재(9)는 상측으로 꺼낼 수 있도록 조인트(13, 14)에 장착된 블록형 본체(22)에 복수의 개폐 밸브(23, 24)가 일체적으로 설치된 것이다.

Description

유체 제어 장치
본 발명은 반도체 제조 장치 등에 사용되는 유체 제어 장치에 관한 것이다.
본 명세서에 있어서 상하는 도 1의 상하를 말하는 것이지만, 이 상하는 편의적인 것으로, 상하를 반대로 하거나, 가로로 하여 사용할 수도 있다.
근래, 반도체 제조 장치에 있어서, 유체 제어 장치에는 장치의 점유 공간의 감소 및 통로의 용적의 감소가 요구되어 있고, 이 요구에 따른 것으로서, 일본 특허 공개 평5-172265호 공보에는 3종 이상의 단기능(單機能) 부재(필터, 질량 유량 제어기, 개폐 밸브 등)를 일체적으로 직접 연결하는 것(집적화)이 제안되어 있다.
반도체 제조 장치에 있어서, 유체 제어 장치에는 상기 요구에 덧붙여서, 부품수의 감소, 유지 관리의 용이함 및 압력 손실 감소 등의 요구도 있고, 현시점에서는 이들 여러 가지 요구를 만족하는 유체 제어 장치는 알려져 있지 않다.
본 발명의 목적은 집적화, 부품수의 감소 및 유지 관리의 용이함의 모든 요구를 충족시키는 유체 제어 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 목적은 또 압력 손실 감소의 요구도 충족시키는 유체 제어 장치를 제공하는데 있다.
도 1은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제1 실시예를 도시하는 측면도.
도 2는 동일 평면도.
도 3은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제2 실시예를 도시하는 측면도.
도 4는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제3 실시예를 도시하는 측면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 유체 제어 장치
5, 6 : 돌출 블록(유체 제어 부재)
7, 8, 9, 10, 26 : 유체 제어 부재
11, 12, 13, 14, 15, 27, 28 : 조인트
18, 22 : 블록형 본체
19 : 압력 조정기(단기능 부재)
20 : 압력 센서(단기능 부재)
23, 24 : 개폐 밸브(단기능 부재)
41 : V자형 연통로가 달린 조인트
51, 54 : U자형 연통로가 달린 조인트
52, 53, 55, 56 : 조인트 구성 부재
본 발명에 따른 유체 제어 장치는 상단에 배치된 복수의 유체 제어 부재 및 하단에 배치된 복수의 조인트를 구비하고, 적어도 1개의 유체 제어 부재가 상측으로 꺼낼 수 있도록 조인트에 장착된 블록형 본체에 복수의 단기능 부재가 일체적으로 설치된 장치이다.
단기능 부재로서는 개폐 밸브, 압력 조정기, 필터, 압력 센서 등이 있고, 상기의 유체 제어 부재로서는 1개의 블록형 본체에 2 또는 3의 개폐 밸브가 일체적으로 설치된 것, 1개의 블록형 본체에 1개의 압력 조정기 및 1개의 압력 센서가 일체적으로 설치된 것 등이 있다.
본 발명의 유체 제어 장치에 따르면, 블록형 본체에 복수의 단기능 부재가 일체적으로 설치되기 때문에, 블록형 본체, 밀봉 부재 등의 부품수의 감소가 가능하고, 또한, 복수의 단기능 부재중의 어느 것을 교환할 필요가 있게 되었을 때에는 유체 제어 부재를 상측으로 꺼내어 소요의 단기능 부재를 교환하면 되므로, 유지 관리도 용이하다. 또, 교환의 빈도가 비교적 적은 유체 제어 부재에 대해서는 1개의 블록형 본체에 복수의 단기능 부재가 일체적으로 설치된 것으로 하고, 교환의 빈도가 비교적 큰 유체 제어 부재에 대해서는 단기능 부재 단체인 채로 이용하는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 부품수의 감소와 유지 관리의 용이함과의 양립을 도모하기 쉽다.
또한, 인접하는 유체 제어 부재끼리를 연통하는 조인트중 적어도 1개가 V자형 연통로를 갖는 블록형 조인트인 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 1개의 조인트에 의해 인접하는 유체 제어 부재끼리를 연통할 수 있으므로, 부품수를 더욱 감소시킬 수 있다.
또한, 인접하는 유체 제어 부재끼리를 연통하는 조인트의 적어도 1개가 서로 맞대어져 U자형 연통로를 형성하는 2개의 블록형 조인트 구성 부재로 이루어지는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, V자형 연통로에서는 통로가 비스듬하게 되어 있는 만큼만 통로의 횡단 면적이 개구 면적보다 작아지는데 대하여 통로의 횡단 면적을 개구 면적과 동일하게 할 수 있으므로, V자형 연통로에 비하여, 연통로의 지름을 크게 할 수 있으며, 이것에 의해, 유체 제어 장치에 있어서의 압력 손실을 작게 할 수 있다.
본 발명의 실시예를 이하 도면을 참조하여 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 도 1의 좌우를 "좌우"라고 한다. 또한, 도 1의 앞면을 "전(前)", 뒷면을 "후(後)"라고 한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 유체 제어 장치의 제1 실시예를 도시하고 있다. 이 유체 제어 장치(1)는 반도체 제조 장치 등에 있어서 이용되는 것으로, 질량 유량 제어기(2)와, 질량 유량 제어기(2)의 좌측에 설치된 입구측 차단 개방부(3)와 질량 유량 제어기(2)의 우측에 설치된 출구측 차단 개방부(4)로 이루어진다.
질량 유량 제어기(2)의 하부 좌측면에는 하면으로 개구하는 입구 통로(5a)를 갖는 직방체형 좌측 돌출 블록(제1 유체 제어 부재)(5)이 설치되고, 동일 우측면에는 하면으로 개구하는 출구 통로(6a)를 갖는 직방체형 우측 돌출 블록(제2 유체 제어 부재)(6)이 설치되어 있다. 양 돌출 블록(5, 6)은 가로로부터의 나사에 의해 질량 유량 제어기(2)의 본체에 고정되어 있다.
입구측 차단 개방부(3)는 상단에 배치된 4개의 유체 제어 부재(7, 8, 9, 10)와 하단에 배치된 5개의 직방체형 조인트(11, 12, 13, 14, 15)로 이루어진다.
입구측 차단 개방부(3)의 좌단에 배치된 제3 유체 제어 부재(7)는 하향의 입구 통로(16a) 및 출구 통로(16b)를 갖는 블록형 본체(16)에 일체적으로 설치되는 동시에 이들 통로(16a, 16b)끼리의 연통을 차단 개방하는 제1 개폐 밸브(17)로 이루어진다.
입구측 차단 개방부(3)의 좌단으로부터 2번째에 배치된 제4 유체 제어 부재(8)는 하향의 입구 통로(18a) 및 출구 통로(18b)를 갖는 동시에 상면 좌측부에 경사면이 형성되어 있는 거의 직방체 블록형 본체(18)와, 본체(18) 경사면에 설치되는 동시에 입구 통로(18a)와 출구 통로(18b)의 연통부에 배치되어 압력을 조정하는 압력 조정기(19)와, 본체(18) 우측 상면의 평탄부에 설치되는 동시에 출구 통로(18b)로 통하는 통로를 통해 유체압을 측정하는 압력 센서(20)로 이루어진다. 본체(18)의 입구 통로(18a)에는 필터(21)가 설치되어 있다.
입구측 차단 개방부(3)의 좌단으로부터 3번째에 배치된 제5 유체 제어 부재(9)는 1개의 직방체 블록형 본체(22)에 일체적으로 설치된 제2 및 제3 개폐 밸브(23, 24)로 이루어진다. 본체(22)에는 좌단부에 설치된 하향의 제1 입구 통로(22a)와, 제1 입구 통로(22a)에 제2 개폐 밸브(23)를 통해 연통하는 우측방향의 출구 통로(22b)와, 출구 통로(22b)에 제3 개폐 밸브(24)를 통해 연통하는 하향의 제2 입구 통로(22c)가 설치되어 있다.
입구측 차단 개방부(3)의 좌단으로부터 4번째에 배치된 제6 유체 제어 부재(10)는 1개의 직방체 통로 블록으로 이루어진다. 제6 유체 제어 부재(10)에는 일단이 제5 유체 제어 부재 본체(22)의 출구 통로(22b)로 통하고, 타단이 아래쪽으로 개구하고 있는 연통로(10a)가 설치되어 있다.
입구측 차단 개방부(3)의 좌단에 배치된 제1 조인트(11)에는 제3 유체 제어 부재 본체(16)의 입구 통로(16a)로 통하는 동시에 좌측으로 개구하는 L자형 상류측 연통로(11a)와, 제3 유체 제어 부재 본체(16)의 출구 통로(16b)로 통하는 동시에 우측으로 개구하는 L자형 하류측 연통로(11b)가 설치되어 있다. 제1 조인트(11)의 상면에는 상류측 연통로(11a)로 통하는 제1 입구 관접속부(25)가 설치되어 있다.
상류측 차단 개방부(3)의 좌단으로부터 2번째에 배치된 제2 조인트(12)에는 제1 조인트(11)의 출구 통로(11b)와 제4 유체 제어 부재 본체(18)의 입구 통로(18a)를 연통하는 L자형 상류측 연통로(12a)와, 일단이 제4 유체 제어 부재 본체(18)의 출구 통로(18b)로 통하는 동시에 타단이 우측으로 개구하는 L자형 하류측 연통로(12b)가 설치되어 있다.
상류측 차단 개방부(3)의 좌단으로부터 3번째에 배치된 제3 조인트(13)에는 제2 조인트(12)의 출구 통로(12b)와 제5 유체 제어 부재 본체(22)의 제1 입구 통로(22a)를 연통하는 L자형 연통로(13a)가 설치되어 있다.
상류측 차단 개방부(3)의 좌단으로부터 4번째에 배치된 제4 조인트(14)에는 일단이 제5 유체 제어 부재 본체(22)의 제2 입구 통로(22c)로 통하고, 타단이 후방으로 개구하는 연통로(14a)가 설치되어 있다. 제4 조인트(14)의 후면에는 연통로(14a)로 통하는 제2 입구관 접속부(도시생략)가 설치되어 있다.
상류측 차단 개방부(3)의 좌단으로부터 5번째에 배치된 제5 조인트(15)에는 일단이 제6 유체 제어 부재(10)의 연통로(10a) 출구로 통하고, 타단이 질량 유량 제어기(2)의 좌측 돌출 블록(5)의 입구 통로(5a)로 통하고 있는 V자형 연통로(15a)가 설치되어 있다.
하류측 차단 개방부(4)는 상단에 배치된 제7 유체 제어 부재(26)와 하단에 배치된 제6 및 제7 직방체형 조인트(27, 28)로 이루어진다. 제7 유체 제어 부재(26)는 하향의 입구 통로(29a) 및 출구 통로(29b)를 갖는 블록형 본체(29)에 일체적으로 설치되는 동시에 이들 통로(29a, 29b)끼리의 연통을 차단 개방하는 제4 개폐 밸브(30)로 이루어진다. 하류측 차단 개방부(4)의 좌측에 배치된 제6 조인트(27)에는 일단이 질량 유량 제어기(2)의 우측 돌출 블록(6)의 출구 통로(6a)로 통하고, 타단이 제7 유체 제어 부재 본체(29)의 입구 통로(29a)로 통하고 있는 V자형 연통로(27a)가 설치되어 있다. 하류측 차단 개방부(4)의 우측에 배치된 제7 조인트(28)에는 일단이 제7 유체 제어 부재 본체(29)의 출구 통로(29b)로 통하고, 타단이 후방으로 개구하는 연통로(28a)가 설치되어 있다. 제7 조인트(28)의 후면에는 연통로(28a)로 통하는 출구관 접속부(도시생략)가 설치되어 있다.
유체 제어 부재(5, 6, 7, 8, 9, 10, 26)의 하면은 전부 균일하게 되는 동시에 각 조인트(11, 12, 13, 14, 15)의 상면끼리도 균일하게 되고, 조인트(11, 12, 13, 14, 15, 27, 28)가 기판(31)에 고정되며, 각 유체 제어 부재(5, 6, 7, 8, 9, 10, 26)가 상측으로부터의 나사(32)에 의해 조인트(11, 12, 13, 14, 15, 27, 28)에 고정되어 있다.
이렇게 해서, 제1 조인트(11)의 제1 입구관 접속부(25) 및 제4 조인트(14)의 제2 입구관 접속부로부터 각각 다른 유체가 도입되고, 이들 유체가 적절하게 교체되어 질량 유량 제어기(2)를 거쳐서 제7 조인트(28)의 출구관 접속부로부터 배출되는 유체 제어 장치(1)가 구성되어 있다.
이 유체 제어 장치(1)에 의하면, 질량 유량 제어기(2)는 좌우의 돌출 블록(5, 6)과 함께 상측으로 꺼낼 수 있다. 또한, 제3 내지 제7 유체 제어 부재(7, 8, 9, 10, 26)는 유체 제어 부재(7, 8, 9, 10, 26) 단위로 상측으로 꺼낼 수 있다. 예컨대, 압력 조정기(19)에 교환의 필요가 생겼을 때에는 제4 유체 제어 부재(8) 전체를 분리하여 압력 조정기(19)를 교환한 후, 제4 유체 제어 부재(8) 전체를 원래 상태로 되돌리게 된다. 또한, 제5 유체 제어 부재(9)중의 제2 및 제3 개폐 밸브(23, 24)중 어느 한쪽에 교환의 필요가 생겼을 때에는 제5 유체 제어 부재(9) 전체를 분리하여 교환후, 제5 유체 제어 부재(9) 전체를 원래 상태로 되돌리게 된다. 유체 제어 부재(5, 6, 7, 8, 9, 10, 26)끼리의 연통부, 조인트(11, 12, 13, 14, 15)끼리의 연통부 및 유체 제어 부재(5, 6, 7, 8, 9, 10, 26)와 조인트(11, 12, 13, 14, 15)와의 연통부에는 각각 밀봉부(33)가 설치되어 있다. 제1 실시예의 유체 제어 장치(1)는 모두 13 지점의 밀봉부(33)를 가지고 있다.
또, 입구측 및 출구측의 차단 개방부(3, 4)는 상기 실시예에 한정되는 것이 아니라, 예컨대, 입구측 차단 개방부(3)로부터 제4 유체 제어 부재(8)를 제거하거나, 입구측 차단 개방부(3)의 제5 유체 제어 부재(9)와 같은 것을 출구측 차단 개방부(4)에 추가하거나, 제7 유체 제어 부재(26) 대신에 배치하는 것도 가능하다. 또한, 제4 유체 제어 부재(8)의 블록형 본체(18)로의 압력 조정기(19) 및 압력 센서(20)의 고정은 용접 또는 나사식중 어느 것이라도 좋다.
도 3은 본 발명의 유체 제어 장치의 제2 실시예를 도시하고 있다. 이 제2 실시예가 제1 실시예와 다른 점은 제1 실시예의 제1, 제2 및 제3 조인트(11, 12, 13)가 1개의 직방체형 조인트(제8 조인트)로 대체되고 있는 점에 있다. 이 제8 조인트(41)에는 동 도면에 도시된 바와 같이, 일단이 제3 유체 제어 부재 본체(16)의 입구 통로(16a)로 통하는 동시에 타단이 좌측으로 개구하는 상류측 연통로(41a)와, 일단이 제3 유체 제어 부재 본체(16)의 출구 통로(16b)로 통하는 동시에 타단이 제4 유체 제어 부재 본체(18)의 입구 통로(18a)로 통하는 제1 V자형 연통로(41b)와, 일단이 제4 유체 제어 부재 본체(18)의 출구 통로(18b)로 통하는 동시에 타단이 제5 유체 제어 부재 본체(22)의 제1 입구 통로(22a)로 통하는 제2 V자형 연통로(41c)가 설치되어 있다. 또한, 제8 조인트(41)의 좌측면에는 상류측 연통로(41a)로 통하는 제1 입구관 접속부(25)가 설치되어 있다. 좌우 길이가 긴 제1 V자형 연통로(41b)의 유로 지름을 확보하기 위해서, 제8 조인트(41)의 높이가 제1 실시예의 제1, 제2 및 제3 조인트(11, 12, 13)의 높이보다도 높아지는 동시에 제1 V자형 연통로(41b)의 깊이가 제2 V자형 연통로(41c)의 깊이보다도 깊어지고 있다. 이것에 따라, 제4, 제5, 제6 및 제7 조인트(14, 15, 27, 28)에 대해서는 연통로(14a, 15a, 27a, 28a)의 깊이는 변경하지 않고, 높이만이 제8 조인트(41)와 같게 되어 있다. 그 이외의 구성은 제1 실시예의 것과 같고, 같은 구성에 같은 부호를 붙여서 설명을 생략한다.
제2 실시예의 유체 제어 장치에 의하면, 밀봉부(33)가 2지점 감소하고, 조인트의 수도 2개 감소하고 있다.
도 4는 본 발명의 유체 제어 장치의 제3 실시예를 도시하고 있다. 이 제3 실시예가 제1 실시예와 다른 점은 제1 실시예의 제5 및 제6 조인트(15, 27), 즉, V자형 연통로(15a, 27a)가 달린 조인트(15, 27)가 2개의 직방체형 조인트 구성 부재로 이루어지는 U자형 연통로가 달린 조인트(제9 및 제10 조인트)로 대체되고 있는 점에 있다. 동 도면에 도시된 바와 같이, 제9 조인트(51)를 구성하는 제1 조인트 구성 부재(52)에는 일단이 제6 유체 제어 부재 본체(10)의 연통로(10a) 출구로 통하고, 타단이 우측으로 개구하고 있는 L자형 상류측 연통로(52a)가 설치되며, 제2 조인트 구성 부재(53)에는 일단이 제1 조인트 구성 부재(52)의 상류측 연통로(52a)에 통하고, 타단이 질량 유량 제어기(2)의 좌측 돌출 블록(5)의 입구 통로(5a)로 통하고 있는 L자형 하류측 연통로(53a)가 설치되어 있다. 제1 및 제2 조인트 구성 부재(52, 53)가 상류측 연통로(52a)와 하류측 연통로(53a)를 연통하도록 밀봉부(33)를 통해 중첩됨으로써, 제9 조인트(51)에는 제6 유체 제어 부재 본체(10)의 연통로(10a)와 질량 유량 제어기(2)의 좌측 돌출 블록(5)의 입구 통로(5a)를 연통하는 U자형 연통로(51a)가 형성되어 있다. 동일하게, 제10 조인트(54)를 구성하는 제1 조인트 구성 부재(55)에는 일단이 질량 유량 제어기(2)의 우측 돌출 블록(6)의 출구 통로(6a)로 통하고, 타단이 우측으로 개구하고 있는 L자형 상류측 연통로(55a)가 설치되며, 제2 조인트 구성 부재(56)에는 일단이 제1 조인트 구성 부재(55)의 하류측 연통로(55a)로 통하고, 타단이 제7 유체 제어 부재 본체(29)의 입구 통로(29a)로 통하고 있는 L자형 하류측 연통로(56a)가 설치되어 있다. 제1 및 제2 조인트 구성 부재(55, 56)가 상류측 연통로(55a)와 하류측 연통로(56a)를 연통하도록 밀봉부(33)를 통해 중첩됨으로써, 제10 조인트(54)에는 질량 유량 제어기(2)의 우측 돌출 블록(6)의 출구 통로(6a)와 제7 유체 제어 부재 본체(29)의 입구 통로(29a)를 연통하는 U자형 연통로(54a)가 형성되어 있다. 그 이외의 구성은 제1 실시예의 것과 같으며, 같은 구성에 같은 부호를 붙여서 설명을 생략한다.
본 발명의 유체 제어 장치에 따르면, 블록형 본체에 복수의 단기능 부재가 일체적으로 설치되기 때문에, 블록형 본체, 밀봉 부재 등의 부품수의 감소가 가능하고, 또한, 복수의 단기능 부재중의 어느 것을 교환할 필요가 있게 되었을 때에는 유체 제어 부재를 상측으로 꺼내어 소요의 단기능 부재를 교환하면 되므로, 유지 관리도 용이하다.
또, 교환의 빈도가 비교적 적은 유체 제어 부재에 대해서는 1개의 블록형 본체에 복수의 단기능 부재가 일체적으로 설치된 것으로 하고, 교환의 빈도가 비교적 큰 유체 제어 부재에 대해서는 단기능 부재 단체인 채로 이용하는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 부품수의 감소와 유지 관리의 용이함과의 양립을 도모하기 쉽다.
또한, 인접하는 유체 제어 부재끼리를 연통하는 조인트중 적어도 1개가 V자형 연통로를 갖는 블록형 조인트인 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 1개의 조인트에 의해 인접하는 유체 제어 부재끼리를 연통할 수 있으므로, 부품수를 더욱 감소시킬 수 있다.
또한, 인접하는 유체 제어 부재끼리를 연통하는 조인트의 적어도 1개가 서로 맞대어져 U자형 연통로를 형성하는 2개의 블록형 조인트 구성 부재로 이루어지는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, V자형 연통로에서는 통로가 비스듬하게 되어 있는 만큼만 통로의 횡단 면적이 개구 면적보다 작아지는데 대하여 통로의 횡단 면적을 개구 면적과 동일하게 할 수 있으므로, V자형 연통로에 비하여, 연통로의 지름을 크게 할 수 있으며, 이것에 의해, 유체 제어 장치에 있어서의 압력 손실을 작게 할 수 있다.

Claims (5)

  1. 상단에 배치된 복수의 유체 제어 부재 및 하단에 배치된 복수의 조인트를 구비하고, 하나 이상의 유체 제어 부재가 상측으로 꺼낼 수 있도록 하나 이상의 조인트에 장착된 블록형 본체에 복수의 단기능 부재가 일체적으로 설치된 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  2. 제1항에 있어서, 인접하는 유체 제어 부재끼리를 연통하는 조인트중 하나 이상의 V자형 연통로를 갖는 블록형 조인트인 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  3. 제1항에 있어서, 인접하는 유체 제어 부재끼리를 연통하는 조인트중 하나 이상이 서로 맞대어져 U자형 연통로를 형성하는 2개의 블록형 조인트 구성 부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  4. 제1항에 있어서, 복수의 단기능 부재가 전부 개폐 밸브인 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  5. 제1항에 있어서, 복수의 단기능 부재가 1개의 압력 조정기와 1개의 압력 센서인 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
KR1019980042685A 1997-10-13 1998-10-13 유체제어장치 KR100622954B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27849597A JP4378553B2 (ja) 1997-10-13 1997-10-13 流体制御装置
JP97-278495 1997-10-13

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19990037044A true KR19990037044A (ko) 1999-05-25
KR100622954B1 KR100622954B1 (ko) 2007-06-07

Family

ID=17598122

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019980042685A KR100622954B1 (ko) 1997-10-13 1998-10-13 유체제어장치

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6273139B1 (ko)
EP (1) EP0908930B8 (ko)
JP (1) JP4378553B2 (ko)
KR (1) KR100622954B1 (ko)
CA (1) CA2249925C (ko)
DE (1) DE69840204D1 (ko)
IL (1) IL126530A (ko)
TW (1) TW360758B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100706147B1 (ko) * 1997-10-29 2007-04-11 셀레리티 인크. 가스 패널

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4378553B2 (ja) * 1997-10-13 2009-12-09 忠弘 大見 流体制御装置
US6817381B2 (en) * 1999-08-24 2004-11-16 Tokyo Electron Limited Gas processing apparatus, gas processing method and integrated valve unit for gas processing apparatus
JP2001147722A (ja) * 1999-11-22 2001-05-29 Ace:Kk ガス流量制御装置
JP3482601B2 (ja) * 2000-06-30 2003-12-22 東京エレクトロン株式会社 流体制御装置
JP2002089798A (ja) * 2000-09-11 2002-03-27 Ulvac Japan Ltd 流体制御装置およびこれを用いたガス処理装置
JP4487135B2 (ja) * 2001-03-05 2010-06-23 東京エレクトロン株式会社 流体制御装置
US20030079786A1 (en) * 2001-10-30 2003-05-01 Diana Michael J. Modular fluid pressure regulator with bypass
KR20060017577A (ko) * 2002-08-27 2006-02-24 셀레리티 인크. 공통 평면 내에 매니폴드 연결부를 갖는 모듈형 기판 가스패널
JP4092164B2 (ja) * 2002-09-20 2008-05-28 シーケーディ株式会社 ガス供給ユニット
JP2004183771A (ja) * 2002-12-03 2004-07-02 Fujikin Inc 流体制御装置
US6874538B2 (en) * 2003-03-26 2005-04-05 Kevin S. Bennett Fluid delivery system
JP2004340199A (ja) * 2003-05-14 2004-12-02 Fujikin Inc 加熱装置付き流体制御装置
JP4874576B2 (ja) * 2004-08-11 2012-02-15 サーパス工業株式会社 流量制御システム
JP2006083959A (ja) 2004-09-16 2006-03-30 Fujikin Inc センサ付き継手部材
JP4677805B2 (ja) * 2005-03-22 2011-04-27 株式会社フジキン 流体制御装置
JP2007034667A (ja) * 2005-07-27 2007-02-08 Surpass Kogyo Kk 流量コントローラ、これに用いるレギュレータユニット、バルブユニット
JP2007046697A (ja) * 2005-08-10 2007-02-22 Fujikin Inc 継手付き流体制御器
US7410519B1 (en) * 2005-08-16 2008-08-12 Ewald Dieter H Sandwich filter block
JP5085867B2 (ja) 2006-01-24 2012-11-28 株式会社フジキン 圧力センサ装置および圧力センサ内蔵流体制御機器
US7575616B2 (en) * 2006-02-10 2009-08-18 Entegris, Inc. Low-profile surface mount filter
US7854299B2 (en) * 2006-02-17 2010-12-21 Cameron International Corporation Integrated lubrication module for compressors
JP5096696B2 (ja) * 2006-03-02 2012-12-12 サーパス工業株式会社 流体機器ユニット構造
JP2007327542A (ja) * 2006-06-07 2007-12-20 Surpass Kogyo Kk 流体機器ユニット構造
US20110041470A1 (en) * 2006-08-25 2011-02-24 Pall Corporation Fluid assemblies comprising a purification element
KR101574743B1 (ko) * 2006-08-25 2015-12-04 폴 코포레이션 정화 조립체, 및 정화 조립체의 조립 방법
US7841363B1 (en) * 2007-04-03 2010-11-30 Spx Corporation Modular upgradeable pneumatic/hydraulic manifold
US20080302426A1 (en) * 2007-06-06 2008-12-11 Greg Patrick Mulligan System and method of securing removable components for distribution of fluids
EP2181254B1 (en) 2007-07-13 2019-07-03 Ingersoll-Rand Company Integrated rotary valve
JP4505009B2 (ja) * 2007-12-28 2010-07-14 株式会社堀場エステック 集積タイプのマスフローコントローラ及びガス供給ライン
US8307854B1 (en) 2009-05-14 2012-11-13 Vistadeltek, Inc. Fluid delivery substrates for building removable standard fluid delivery sticks
SG176152A1 (en) * 2009-06-10 2011-12-29 Vistadeltek Llc Extreme flow rate and/or high temperature fluid delivery substrates
WO2011040270A1 (ja) * 2009-10-01 2011-04-07 株式会社堀場エステック 流量測定機構、マスフローコントローラ及び圧力センサ
US8950433B2 (en) 2011-05-02 2015-02-10 Advantage Group International Inc. Manifold system for gas and fluid delivery
JP6240661B2 (ja) * 2013-03-08 2017-11-29 株式会社フジキン 流体制御装置および流体制御装置へのサーマルセンサ設置構造
JP6671299B2 (ja) * 2015-01-16 2020-03-25 株式会社キッツエスシーティー ブロック弁と原料容器用ブロック弁
JP6632804B2 (ja) * 2015-03-18 2020-01-22 株式会社フジキン 継手および流体制御装置
JP7128306B2 (ja) * 2021-01-15 2022-08-30 アイコール・システムズ・インク 液体送達システム
US20220372997A1 (en) * 2021-05-24 2022-11-24 Festo Se & Co. Kg Fluid control system

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US126530A (en) * 1872-05-07 Improvement in printing-telegraphs
US2249925A (en) * 1940-05-15 1941-07-22 Frank J Wittmann Dough molder
US3654960A (en) * 1969-12-31 1972-04-11 Hydro Stack Mfg Corp Modular hydraulic system
US3831951A (en) * 1972-04-26 1974-08-27 Weatherhead Co Face type o-ring seal groove and method of producing same
US4142860A (en) * 1976-06-23 1979-03-06 Mayeaux Donald P Apparatus for producing a calibration sample for analytical instrumentation
JPS5325775A (en) * 1976-08-24 1978-03-09 Miller Fluid Power Corp Module type fluid flow control element
DE2648751C2 (de) * 1976-10-27 1986-04-30 Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., 3400 Göttingen Vorrichtung für die Zuführung flüssiger oder gasförmiger Substanzen zu einem Verarbeitungsgefäß
US4524807A (en) * 1982-05-21 1985-06-25 Humphrey Products Company Snap-together modular manifold construction
US4930401A (en) * 1988-10-28 1990-06-05 Ross Operating Valve Company Valve system and arrangement for on-line valve replacement
JP2731080B2 (ja) * 1991-05-31 1998-03-25 株式会社本山製作所 ガス制御装置
JP3021798B2 (ja) * 1991-07-09 2000-03-15 エスエムシー株式会社 流体制御機構付マニホールド
US5368062A (en) * 1992-01-29 1994-11-29 Kabushiki Kaisha Toshiba Gas supplying system and gas supplying apparatus
EP0585692A3 (en) * 1992-08-31 1995-02-01 Eaton Corp Modular valve assembly.
JP2568365B2 (ja) * 1993-02-10 1997-01-08 株式会社東芝 ガス供給装置
JP2875958B2 (ja) * 1993-02-10 1999-03-31 シーケーディ株式会社 開閉弁取付構造
JP2698530B2 (ja) * 1993-04-12 1998-01-19 シーケーディ株式会社 電磁弁マニホールド
US5605179A (en) * 1995-03-17 1997-02-25 Insync Systems, Inc. Integrated gas panel
JP3605705B2 (ja) * 1995-07-19 2004-12-22 株式会社フジキン 流体制御器
KR100232112B1 (ko) * 1996-01-05 1999-12-01 아마노 시게루 가스공급유닛
US5720317A (en) * 1996-08-21 1998-02-24 Pgi International, Ltd. Low profile flanged manifold valve
US5992463A (en) * 1996-10-30 1999-11-30 Unit Instruments, Inc. Gas panel
JP4022696B2 (ja) * 1996-11-20 2007-12-19 忠弘 大見 遮断開放器
JPH10300000A (ja) * 1997-02-28 1998-11-13 Benkan Corp 集積化ガス制御装置
JP4378553B2 (ja) * 1997-10-13 2009-12-09 忠弘 大見 流体制御装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100706147B1 (ko) * 1997-10-29 2007-04-11 셀레리티 인크. 가스 패널

Also Published As

Publication number Publication date
TW360758B (en) 1999-06-11
EP0908930A2 (en) 1999-04-14
EP0908930A3 (en) 2002-09-25
CA2249925C (en) 2008-01-15
CA2249925A1 (en) 1999-04-13
JPH11118054A (ja) 1999-04-30
IL126530A0 (en) 1999-08-17
IL126530A (en) 2002-07-25
US6273139B1 (en) 2001-08-14
KR100622954B1 (ko) 2007-06-07
EP0908930B1 (en) 2008-11-12
EP0908930B8 (en) 2009-03-25
JP4378553B2 (ja) 2009-12-09
DE69840204D1 (de) 2008-12-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100622954B1 (ko) 유체제어장치
KR100570492B1 (ko) 유체 제어 장치
US6615871B2 (en) Fluid control apparatus
US20090183792A1 (en) Fluid Control Device
US6116282A (en) Fluid control device
JPH10311450A (ja) 流体制御器用継手
KR101560962B1 (ko) 퍼지 라인 변경용 블록 조인트 및 유체 제어 장치
KR19980042523A (ko) 차단 개방기
KR20080047393A (ko) 유체 제어 장치
KR20100021471A (ko) 유체 제어 장치
CN100360845C (zh) 用于控制液体或气体介质流动的装置
US8365768B2 (en) Fluidic device unit structure
KR100633747B1 (ko) 유체 제어 장치용 이음 부재 및 그 제조 방법
JP3616875B2 (ja) 流体制御装置用継手部材およびその製造方法
KR20050089894A (ko) 유체 제어 장치 및 열처리 장치
JP6486035B2 (ja) マニホールドバルブおよび流体制御装置
US20020074049A1 (en) Flow control valve
KR970028015A (ko) 유체 및 가스 시스템을 위한 편평한 하부 구성 요소 및 편평한 하부 구조를 이용한 밸브 및 장치
KR102024449B1 (ko) 유체 제어 장치에 있어서의 시일 부재의 고정 구조, 커넥터 및 유체 제어 장치
JP2006057645A (ja) 流路ブロック構造
KR0135593Y1 (ko) 콘트롤밸브의 유량합류장치
JPH08312813A (ja) 三方ダイヤフラム弁
KR20030059922A (ko) 솔레노이드 밸브 어셈블리
KR20050067597A (ko) 3방향밸브 및 3방향밸브가 적용된 보일러시스템
JPS59153217A (ja) 複パイロツト型自力式自動弁

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20110829

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120730

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150819

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160811

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170818

Year of fee payment: 12

LAPS Lapse due to unpaid annual fee