JP4505009B2 - 集積タイプのマスフローコントローラ及びガス供給ライン - Google Patents
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Description
この発明は上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、バルブ等の他の構成部材と同じベース取付け部を有することでガス供給ラインを小型化できる集積タイプのマスフローコントローラ及びガス供給ラインを提供することである。
本体ブロックに流体入口と流体出口を形成し、
前記流体入口と前記流体出口を接続する流体流路中に、
流体の流量測定を行う流量センサ部と、
流体の一部を流量センサ部に向かわせずにバイパスさせるバイパス素子と、
制御バルブと、を設け、
前記流量センサ部からの流量測定信号と流量設定信号とを比較制御回路において比較し、
この比較制御回路から出力される制御信号に基づいて前記制御バルブの開度を制御するようにしたマスフローコントローラにおいて、
前記本体ブロック、前記流量センサ部、前記バイパス素子及び前記制御バルブの基板への投影面が全て内側に収まる前記本体ブロックの基板への設置面に流体入口と流体出口を有し、
前記バイパス素子は、前記バイパス素子の長手方向と前記制御バルブの作動方向が同じになる向きで前記本体ブロック内に設けられ、
前記制御バルブは、前記本体ブロックの基板への設置面に対向する面に設けられている(請求項1)。
この場合、前記制御バルブの下部フランジは、前記本体ブロックの基板への設置面に対向する面に固定されているのが好ましい(請求項2)。
また、この発明は、別の観点から、請求項1又は2に記載の集積タイプのマスフローコントローラを有するガス供給ラインを提供する(請求項3)。
図1〜図5は、この発明の一実施形態を示す。なお、図1は、この発明の集積タイプのマスフローコントローラ3の内部構造を基板4上に設置した状態で示し、マスフローコントローラ3の流体入口8aと流体出口8bの基板4への設置方向を両矢印Yで示すとともに、両矢印Yで示す方向に垂直な上方向、すなわち、マスフローコントローラ3の高さ方向を矢印Zで示している。図2は、基板4上に設置された前記マスフローコントローラ3を上面からみた図で、前記両矢印Yで示す方向(以下、縦方向Yという)に直角な方向を両矢印Xで示している(以下、横方向Xという)。図3〜図5は、基板4上にマスフローコントローラ3とバルブと例えばフィルタを設置して構成したガス供給ラインLを示している。
図1〜図5において、1は本体ブロックで、平面視正方形(一辺aの長さが例えば39mm)のベース取付け部2が形成されている。すなわち、横の長さAも縦の長さBも同じ(A=B=a)である。このベース取付け部2の四隅には、半導体の製造に用いられるパージガスを含む各種のガスをウェハー等に供給するガス供給ラインLを形成するための基板4にマスフローコントローラ3を取り付けて固定するためのネジ穴5が所定のピッチbを有して設けられている。5aはネジ穴5に螺合するボルトである。前記ピッチbは、例えば30mmである。このピッチbは、例えば半導体製造プロセスでのウェハーの膜付けや、エッチング等に使用されるガスを流すためのガス供給ラインLにマスフローコントローラ3とともに設置される各種のバルブ50、逆止弁あるいはフィルタ51等の構成部材のベース取付け部52に形成されているネジ穴55,55(図5参照)間のピッチと同一に設定してある。
2,52 ベース取付け部
3 マスフローコントローラ
4 基板
5 ネジ穴
7 バイパス素子
8a 流体入口
8b 流体出口
10 流量センサ部
31 制御バルブ
44 六角穴付ボルト
50,51 構成部材
n 本体ブロックの一方側面
S 本体ブロックの上面
Claims (3)
- 本体ブロックに流体入口と流体出口を形成し、
前記流体入口と前記流体出口を接続する流体流路中に、
流体の流量測定を行う流量センサ部と、
流体の一部を流量センサ部に向かわせずにバイパスさせるバイパス素子と、
制御バルブと、を設け、
前記流量センサ部からの流量測定信号と流量設定信号とを比較制御回路において比較し、
この比較制御回路から出力される制御信号に基づいて前記制御バルブの開度を制御するようにしたマスフローコントローラにおいて、
前記本体ブロック、前記流量センサ部、前記バイパス素子及び前記制御バルブの基板への投影面が全て内側に収まる前記本体ブロックの基板への設置面に流体入口と流体出口を有し、
前記バイパス素子は、前記バイパス素子の長手方向と前記制御バルブの作動方向が同じになる向きで前記本体ブロック内に設けられ、
前記制御バルブは、前記本体ブロックの基板への設置面に対向する面に設けられていることを特徴とする集積タイプのマスフローコントローラ。 - 前記制御バルブの下部フランジは、前記本体ブロックの基板への設置面に対向する面に固定されている請求項1に記載の集積タイプのマスフローコントローラ。
- 請求項1又は2に記載の集積タイプのマスフローコントローラを有するガス供給ライン。
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JP2007340951A JP4505009B2 (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 集積タイプのマスフローコントローラ及びガス供給ライン |
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Citations (4)
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JPH0615107U (ja) * | 1992-07-15 | 1994-02-25 | 株式会社エステック | マスフローコントローラ |
JPH06193761A (ja) * | 1992-12-25 | 1994-07-15 | Tokyo Electron Ltd | 流量制御装置 |
JPH11118054A (ja) * | 1997-10-13 | 1999-04-30 | Tadahiro Omi | 流体制御装置 |
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- 2007-12-28 JP JP2007340951A patent/JP4505009B2/ja not_active Expired - Lifetime
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