JPH0615107U - マスフローコントローラ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ブロック体そのものを短小とし、ブロック体
内における流路長をできるだけ短くすることにより、ガ
ス置換性が優れると共に、流路内に異物が溜まりにくい
コンパクトな構成のマスフローコントローラを提供する
こと。 【構成】 方形状のブロック体１の外部に流体流量を検
出する流量検出部１１と流体流量を制御する流量制御部
１５とを設けたマスフローコントローラ２２において、
前記流量制御部１５を、流体を前記ブロック体１に導入
するための一次側継手４が設けられた側面２に対応する
側面８に設けると共に、流体を前記ブロック体１から導
出するための二次側継手９を、前記一次側継手４が設け
られた側面２と直交する側面２３に設けている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、方形状のブロック体の外部に流体流量を検出する流量検出部と流体 流量を制御する流量制御部とを設けたマスフローコントローラの改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】

上記マスフローコントローラとして、例えば図３に示すものがある。この図に おいて、１は方形状のブロック体で、その一つの側面２には流体導入口３が開設 され、液体または気体などの流体をブロック体１に導入するための一次側継手４ が着脱自在に設けられている。４ａは一次側継手４内の流路である。

【０００３】 ５は前記流体導入口３に連なる逆Ｌ字状の流路で、その他端はブロック体１の 上面６において開口していると共に、その水平な部分にはバイパス素子７が設け られている。また、ブロック体１の側面２に対応する側面８には、流体をブロッ ク体１から導出するための二次側継手９が連設されている。そして、ブロック体 １には、一端が上面６において開口し、他端が二次側継手９内の流路９ａに連な ったＬ字状の流路１０が形成されている。

【０００４】 １１はブロック体１の上面６に立設される流量検出部で、ハウジング１２内に 、図外のブリッジ回路に接続される２つの検出コイル１３を適宜の間隔をおいて 巻設した細い測定管路１４を設けて構成されている。測定管路１４の上流側およ び下流側の端部は、前記バイパス素子７の上流位置および下流位置においてそれ ぞれ流路５と連通接続されている。

【０００５】 １５はブロック体１の上面６に、前記流量検出部１１と並ぶようにして立設さ れる流量制御部で、ハウジング１６内に、前記流路５，１０の上面６側の開口５ ａ，１０ａに跨がって設けられ、これらを開閉する弁体１７と、これを駆動する 弁体駆動部１８とを収容してなる。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記従来のマスフローコントローラ１９においては、一次側継 手４と二次側継手９がブロック体１の対向する側面２，８にそれぞれ設けられて いると共に、流量検出部１１と流量制御部１５とが、前記側面２，８と直交する 方向の上面６に設けられているため、ブロック体１が長大であると共に、一次側 継手４と弁体１７との間の流路５および弁体１７と二次側継手９との間の流路１ ０は、共に上方に折れ曲がった形状をしており、そのため、両流路５，１０のト ータル長さが大きくなっていた。そのため、所謂デッドボリュームが大きく、ガ ス置換に時間がかかると云った不都合があると共に、マスフローコントローラ全 体の小型が阻まれていた。そして、流路５，１０内に異物が溜まりやすかった。

【０００７】 また、上記従来のマスフローコントローラ１９を例えば並列接続するには、図 ４に示すように、複数のエルボー２０とＴ字状のチーズ２１を用いる必要があり 、それだけ、部品点数が多くなると云った欠点もあった。

【０００８】 本考案は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的とするところは、 ブロック体そのものを短小とし、ブロック体内における流路長をできるだけ短く することにより、ガス置換性が優れると共に、流路内に異物が溜まりにくいコン パクトな構成のマスフローコントローラを提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、本考案においては、方形状のブロック体の外部に流 体流量を検出する流量検出部と流体流量を制御する流量制御部とを設けたマスフ ローコントローラにおいて、前記流量制御部を、流体を前記ブロック体に導入す るための一次側継手が設けられた側面に対応する側面に設けると共に、流体を前 記ブロック体から導出するための二次側継手を、前記一次側継手が設けられた側 面と直交する側面に設けている。

【００１０】

【作用】

上記特徴的構成よりなるマスフローコントローラにおいては、バイパス素子か ら弁体までの流路長および弁体から二次側継手までの流路長が大幅に短縮され、 これに伴って、ブロック体内における流路長が短くなると共に、ブロック体内に おけるデッドスペースがなくなったので、ガス置換性が向上すると共に、流路内 に異物が溜まりにくくなる。また、マスフローコントローラを含むガス供給系全 体がコンパクトになる。

【００１１】

【実施例】

以下、本考案の実施例を、図面に基づいて説明する。 図１は例えば微少流量制御を行うための所謂ノルマルクローズタイプのマスフ ローコントローラ２２を示している。この図において、図３に示した符号と同一 のものは同一物を示している。

【００１２】 この実施例に係るマスフローコントローラ２２が、前記図３に示したマスフロ ーコントローラ１９と大きく異なる点は、流量制御部１５を、一次側継手４が設 けられた側面２に対応する側面８に設けると共に、二次側継手９を、側面２，８ と直交する面（図示例では下面）２３に設けたことである。２４は測定流路１４ と並列に設けられ、バイパス素子７を備えたバイパス流路、２５はこのバイパス 流路２４と流量制御部１５の弁体１７との間を接続する流路、２６は弁体１７と 二次側継手９との間を接続する流路で、いずれもブロック体１内に設けられてい る。

【００１３】 上記構成のマスフローコントローラ２２においては、バイパス素子７から弁体 １７までの流路２５が極めて短くなると共に、弁体１７から二次側継手９までの 流路２６も短くなる。従って、ブロック体１内における流路長が大幅に短くなる と共に、ブロック体１内におけるデッドスペースがなくなったので、ガス置換性 が向上すると共に、流路内に異物が溜まりにくくなる。また、マスフローコント ローラ全体２２がコンパクトになる。

【００１４】 前記実施例においては、二次側継手９をブロック体１の下面２３に設けたが、 これを、側面２，８の間の左右の側面に設けてもよい。図２は、二次側継手９を 互いに対称の位置に設けた２つのマスフローコントローラ２２をチーズ２１によ って並列的接続した状態を示す図である。この図から理解されるように、従来の マスフローコントローラ１９では必要であったエルボー２０（図４参照）が不要 になり、極めてコンパクトな状態で接続することできる。前記図１に示したマス フローコントローラ２２においても同様に接続できることは云うまでもない。

【００１５】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば、バイパス素子から弁体までの流路長が 大幅に短縮され、これに伴って、ブロック体内における流路長が短くなると共に 、ブロック体内におけるデッドスペースがなくなったので、ガス置換性が向上す ると共に、流路内に異物が溜まりにくくなる。また、マスフローコントローラ全 体がコンパクトになる。また、マスフローコントローラどうしを並列接続するよ うな場合、継手部材が少なくて済み、極めてコンパクトな状態で接続することで きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るマスフローコントローラの一例を
示す縦断面図である。

【図２】本考案の他の実施例に係るマスフローコントロ
ーラを並列的に接続した状態を示す断面斜視図である。

【図３】従来のマスフローコントローラを示す縦断面図
である。

【図４】従来のマスフローコントローラを並列的に接続
した状態を示す図である。

【符号の説明】

１…ブロック体、２，８，２３…側面、４…一次側継
手、９…二次側継手、１１…流量検出部、１５…流量制
御部、２２…マスフローコントローラ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 方形状のブロック体の外部に流体流量を
   検出する流量検出部と流体流量を制御する流量制御部と
   を設けたマスフローコントローラにおいて、前記流量制
   御部を、流体を前記ブロック体に導入するための一次側
   継手が設けられた側面に対応する側面に設けると共に、
   流体を前記ブロック体から導出するための二次側継手
   を、前記一次側継手が設けられた側面と直交する側面に
   設けたことを特徴とするマスフローコントローラ。